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KR101254619B1 - apparatus for transferring glass substrates And transferring method using the same - Google Patents

apparatus for transferring glass substrates And transferring method using the same Download PDF

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KR101254619B1
KR101254619B1 KR1020050097485A KR20050097485A KR101254619B1 KR 101254619 B1 KR101254619 B1 KR 101254619B1 KR 1020050097485 A KR1020050097485 A KR 1020050097485A KR 20050097485 A KR20050097485 A KR 20050097485A KR 101254619 B1 KR101254619 B1 KR 101254619B1
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KR
South Korea
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substrate
cassette
unloading
loading
robot arm
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KR1020050097485A
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Inventor
우용태
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 할 수 있도록 한 기판 반송 장치 및 방법에 관한 것으로서, 일정한 간격으로 복수의 슬롯이 구성되고 상기 슬롯 각각에 기판을 수납하는 카세트와, 상기 카세트에 상기 기판을 수납하는 로딩과 상기 카세트에서 상기 기판을 외부로 반출하는 언로딩을 동시에 수행하는 기판 이재용 로봇을 구비하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a substrate transport apparatus and method for simultaneously loading and unloading a substrate, comprising: a cassette configured with a plurality of slots at regular intervals and accommodating the substrate in each of the slots; And a substrate transfer robot configured to simultaneously perform loading and unloading for carrying out the substrate from the cassette.

기판, 카세트, 로봇, 암, 로딩/언로딩 Board, Cassette, Robot, Arm, Loading / Unloading

Description

기판 반송 장치 및 기판 반송 방법{apparatus for transferring glass substrates And transferring method using the same}Substrate transfer apparatus and transferring method {apparatus for transferring glass substrates And transferring method using the same}

도 1은 종래의 기판 반송 장치를 개략적으로 나타낸 도면1 is a view schematically showing a conventional substrate transport apparatus

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치를 개략적으로 나타낸 도면2 is a schematic view showing a substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention;

도 3은 도 2에 도시된 구동부를 나타낸 도면3 is a view showing a driving unit shown in FIG.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치를 이용한 기판 반송 방법을 단계적으로 나타낸 도면4A to 4D are diagrams illustrating a substrate conveying method using a substrate conveying apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.

도면의 주요 부분에 대한 부호설명Explanation of Signs of Major Parts of Drawings

110 : 카세트 112 : 슬롯110: cassette 112: slot

120 : 기판 150 : 기판 이재용 로봇120: substrate 150: substrate transfer robot

152 : 제 1 로봇 암부 154 : 제 2 로봇 암부152: first robot arm 154: second robot arm

160 : 지지대 162a, 162b : 리프터160: support 162a, 162b: lifter

166a, 166b : 래크 167 : 피니언166a, 166b: rack 167: pinion

170 : 구동부 170a, 170b : 구동축170: drive unit 170a, 170b: drive shaft

172a, 172b : 암 180a, 180b : 포크172a, 172b: arm 180a, 180b: fork

본 발명은 액정표시장치용 제조장치에 관한 것으로, 특히 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 할 수 있도록 한 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a manufacturing apparatus for a liquid crystal display device, and more particularly, to a substrate conveying apparatus and a substrate conveying method which enable simultaneous loading and unloading of a substrate.

일반적인 액정 표시장치나 플라즈마 디스플레이 패널 등과 같은 평판 표시장치의 제조공정은 기판 제조공정, 셀 공정 및 모듈 공정을 거치기 위해 기판을 각각의 공정에 사용되는 제조장치로 순차적으로 또는 그룹 형태로 반송시키게 된다.In the manufacturing process of a flat panel display such as a liquid crystal display or a plasma display panel, a substrate is returned to a manufacturing apparatus used in each process sequentially or in a group form in order to pass through a substrate manufacturing process, a cell process, and a module process.

상기 기판을 해당 공정의 제조장치로 반송하거나 제조장치에서 다른 제조장치로의 반송을 위하여 복수의 기판을 수납하는 카세트를 이용한다.The cassette which accommodates a several board | substrate is used for conveying the said board | substrate to the manufacturing apparatus of the said process, or from a manufacturing apparatus to another manufacturing apparatus.

그리고, 상기 카세트에 수납된 기판을 해당 제조장치로 로딩시키거나 제조장치에서 기판을 언로딩시켜 카세트에 수납하기 위하여 기판 이재용 로봇을 이용한다.Then, the substrate transfer robot is used to load the substrate stored in the cassette into the manufacturing apparatus or to unload the substrate in the manufacturing apparatus and store the substrate in the cassette.

도 1은 종래 기술에 의한 기판 반송 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows schematically the board | substrate conveyance apparatus by a prior art.

도 1에 도시한 바와 같이, 종래의 기판 반송 장치는 복수의 기판(20)을 수납할 수 있는 카세트(10)와, 상기 카세트(10)에 상기 기판(20)을 한 장씩 로딩 또는 언로딩시키기 위한 기판 이재용 로봇(50)을 포함하여 구성되어 있다.As illustrated in FIG. 1, a conventional substrate transfer apparatus includes a cassette 10 capable of accommodating a plurality of substrates 20, and loading or unloading the substrate 20 into the cassette 10 one by one. It is comprised including the board | substrate transfer robot 50 for.

여기서, 상기 카세트(10)는 복수의 기판(20)을 수납하기 위해 일정한 간격을 갖고 측면에 복수의 슬롯(12)이 구성되어 있다.Here, the cassette 10 has a plurality of slots 12 on the side surface at regular intervals for accommodating the plurality of substrates 20.

또한, 상기 기판 이재용 로봇(50)은 상기 카세트(10)에 기판(20)을 낱장으로 로딩 또는 언로딩시키기 위한 포크(80)와, 상기 포크(80)를 수평방향으로 이동시키기 위한 암(Arm)(72)과, 상기 암(72)에 수직방향으로 연결된 구동축(70)과, 상기 구동축(70)을 수직방향으로 이동시키기 위한 리프터(62)와, 상기 리프터(62)를 지지하는 지지대(60)를 포함하여 구성되어 있다.In addition, the substrate transfer robot 50 has a fork 80 for loading or unloading the substrate 20 into the cassette 10 in a sheet, and an arm for moving the fork 80 in a horizontal direction. 72, a drive shaft 70 connected to the arm 72 in the vertical direction, a lifter 62 for moving the drive shaft 70 in the vertical direction, and a support for supporting the lifter 62. 60).

한편, 상기 지지대(60)의 하면에는 기판 이재용 로봇(50)을 X축 방향으로 이송시키기 위한 복수의 이송용 바퀴가 설치된다. 이에 따라, 상기 지지대(60)는 복수의 바퀴의 회전에 의해 원하는 X축 방향으로 주행한다.On the other hand, the lower surface of the support 60 is provided with a plurality of transfer wheels for transferring the substrate transfer robot 50 in the X-axis direction. Accordingly, the support 60 travels in the desired X axis direction by the rotation of the plurality of wheels.

또한, 상기 리프터(62)는 도시하지 않은 구동모터에 의해 구동축(70)을 수직방향으로 이동시킨다.In addition, the lifter 62 moves the drive shaft 70 in the vertical direction by a drive motor (not shown).

또한, 상기 구동축(70)은 상기 리프터(62)의 구동에 의해 수직 방향, 즉 Z축 방향으로 구동되어 암(72) 및 포크(80)를 Z축 방향으로 구동하게 된다.In addition, the drive shaft 70 is driven in the vertical direction, that is, the Z-axis direction by the drive of the lifter 62 to drive the arm 72 and the fork 80 in the Z-axis direction.

상기 암(72)은 상기 구동축(70)에 연결되어 회전하는 제 1 링크와 제 1 링크와 포크(80)간에 연결되어 회전하는 제 2 링크를 포함한다. The arm 72 includes a first link that is connected to the drive shaft 70 and rotates, and a second link that is connected between the first link and the fork 80 and rotates.

상기와 같은 암(72)은 도시하지 않은 구동부에 의해 회전하는 제 1 링크 및 제 2 링크의 회전에 의해 포크(80)를 수평방향, 즉 Y축 방향으로 전진시키거나 후진시킨다.The arm 72 as described above moves the fork 80 in the horizontal direction, that is, the Y-axis direction by the rotation of the first link and the second link rotated by the driving unit (not shown).

또한, 상기 포크(80)는 상기 암(72)의 회전에 따라 수평방향으로 전진하거나 후진하고, 상기 암(72)의 회전운동에 응답하여 카세트(10) 쪽으로 전진되어 카세트(10) 내부에 기판(20)을 로딩시켜 수납하거나 상기 카세트(10)에 수납된 기판(20)을 꺼내어 언로딩시킨다.In addition, the fork 80 is moved forward or backward in the horizontal direction in accordance with the rotation of the arm 72, and is advanced toward the cassette 10 in response to the rotational movement of the arm 72 is a substrate inside the cassette 10 20 is loaded and stored or the substrate 20 stored in the cassette 10 is taken out and unloaded.

상기와 같이 구성된 종래의 기판 반송 장치를 이용하여 기판의 로딩 방법을 설명하면 다음과 같다.Referring to the substrate loading method using a conventional substrate transfer apparatus configured as described above are as follows.

먼저, 제조장치에서 제조 공정을 마친 기판(20)을 포크(80) 상에 탑재시킨다.First, the substrate 20, which has been manufactured in the manufacturing apparatus, is mounted on the fork 80.

다음, 구동축(70)을 구동하여 카세트(10) 내의 원하는 위치에 대응되는 암(72)을 수직방향으로 구동한다.Next, the drive shaft 70 is driven to drive the arm 72 corresponding to the desired position in the cassette 10 in the vertical direction.

다음, 상기 암(72)을 회전시킴으로써 기판(20)이 탑재된 포크(80)를 전진시켜 카세트(10) 내부로 삽입한다.Next, the fork 80 on which the substrate 20 is mounted is advanced by rotating the arm 72 and inserted into the cassette 10.

그런 다음, 상기 구동축(70)을 구동하여 암(72)을 소정 거리만큼 하강시킴으로써 포크(80)에 안착된 기판(20)의 가장자리를 카세트(10)의 측면에 구성된 슬롯(12)에 안착시켜 수납한다.Then, the drive shaft 70 is driven to lower the arm 72 by a predetermined distance, thereby seating the edge of the substrate 20 seated on the fork 80 in the slot 12 formed on the side of the cassette 10. I receive it.

다음, 상기 암(72)을 회전시켜 카세트(10)에 삽입된 포크(80)를 후진시켜 다른 기판을 카세트(10)에 로딩시키기 위한 위치로 복귀한다.Next, the arm 72 is rotated to reverse the fork 80 inserted in the cassette 10 to return to the position for loading another substrate into the cassette 10.

반면, 종래의 기판 반송 장치를 이용하여 기판의 언로딩 방법은 상기 기판(20)의 로딩 방법의 역순으로 이루어진다.On the other hand, the unloading method of the substrate using the conventional substrate transfer apparatus is performed in the reverse order of the loading method of the substrate 20.

그러나, 이와 같은 종래의 기판 반송 장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, such a conventional substrate transfer apparatus has the following problems.

즉, 기판 이재용 로봇(50)을 이용하여 하나의 기판(20)을 카세트(10)에 로딩시키거나 언로딩시킴으로써 기판 이재 시간이 증가하여 생산성이 감소한다.That is, by loading or unloading one substrate 20 into the cassette 10 using the substrate transfer robot 50, the substrate transfer time is increased and productivity is reduced.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 할 수 있도록 한 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a substrate transfer device and a substrate transfer method for simultaneously loading and unloading a substrate.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치는 일정한 간격으로 복수의 슬롯이 구성되고 상기 슬롯 각각에 기판을 수납하는 카세트와, 상기 카세트에 상기 기판을 수납하는 로딩과 상기 카세트에서 상기 기판을 외부로 반출하는 언로딩을 동시에 수행하는 기판 이재용 로봇을 구비하는 것을 특징으로 한다.In accordance with another aspect of the present invention, a substrate conveying apparatus includes a cassette configured with a plurality of slots at regular intervals and accommodating the substrate in each of the slots; It is characterized in that it comprises a substrate transfer robot for performing the unloading to simultaneously carry out the substrate from the cassette.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 방법은 일정한 간격으로 복수의 슬롯이 구성되고 상기 슬롯 각각에 기판을 수납하는 카세트를 마련하는 단계와, 상기 기판을 수납하는 로딩과 상기 카세트에서 상기 기판을 외부로 반출하는 언로딩을 동시에 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the substrate conveying method according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is provided with a cassette having a plurality of slots are configured at regular intervals to accommodate the substrate in each of the slots, and receiving the substrate And simultaneously loading and unloading the substrate to the outside from the cassette.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a substrate conveying apparatus and a substrate conveying method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 지지대의 내부에 설치된 구동부를 나타낸 도면이다.2 is a view schematically showing a substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view showing a drive unit installed in the support shown in FIG.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치는 일정한 간격을 갖는 복수의 슬롯(112) 각각에 기판(120)을 수납할 수 있는 카세트(110)와, 상기 카세트(110) 내에서 적어도 2 슬롯 떨어져 있는 기판(120)을 로딩시킴과 동시에 카세트(110)에서 기판(120)을 언로딩시키기 위한 기판 이재용 로봇(150)을 포함하여 구성되어 있다.2 and 3, the substrate transport apparatus according to the embodiment of the present invention includes a cassette 110 capable of accommodating the substrate 120 in each of a plurality of slots 112 having a predetermined interval, and the And a substrate transfer robot 150 for loading and unloading the substrate 120 from the cassette 110 while loading the substrate 120 at least two slots away from the cassette 110.

여기서, 상기 카세트(110)는 복수의 기판(120)을 수납하기 위한 복수의 슬롯(112)을 포함하여 구성된다.Here, the cassette 110 includes a plurality of slots 112 for accommodating the plurality of substrates 120.

또한, 상기 기판 이재용 로봇(150)은 기판(120)을 카세트(110)에 로딩(또는 언로딩)시키기 위한 제 1 로봇 암부(152)와, 상기 제 1 로봇 암부(152)와 반대로 동작하는 제 2 로봇 암부(154)와, 상기 제 1 및 제 2 로봇 암부(152, 154)를 구동시킴과 아울러 지지하는 지지대(160)와, 상기 지지대(160)의 내부에 설치되어 제 1 및 제 2 로봇 암부(152, 154)를 구동하는 구동부(170)를 포함하여 구성되어 있다.In addition, the substrate transfer robot 150 may include a first robot arm 152 for loading (or unloading) the substrate 120 into the cassette 110, and a first robot arm 152 that operates opposite to the first robot arm 152. 2 a robot arm 154, a support 160 for driving and supporting the first and second robot arm parts 152, 154, and the first and second robots installed in the support 160; It is comprised including the drive part 170 which drives the arm parts 152,154.

여기서, 상기 제 1 로봇 암부(152)는 기판(120)을 카세트(110)에 로딩시키거나 기판(120)을 카세트(110)에서 언로딩시키기 위한 제 1 포크(180a)와, 상기 제 1 포크(180a)를 수평방향으로 이동시키기 위한 제 1 암(Arm)(172a)과, 상기 제 1 암(172a)에 수직방향으로 연결되어 구동부(170)의 구동에 의해 제 1 암(172a)을 수직방향으로 구동시키는 제 1 구동축(170a)을 구비한다.Here, the first robot arm 152 may include a first fork 180a for loading the substrate 120 into the cassette 110 or unloading the substrate 120 from the cassette 110, and the first fork. A first arm 172a for moving the 180a in the horizontal direction and a first arm 172a vertically connected to the first arm 172a to vertically rotate the first arm 172a by driving the driving unit 170. A first drive shaft 170a for driving in the direction is provided.

또한, 상기 제 1 구동축(170a)은 구동부(170)의 구동에 의해 수직 방향, 즉 Z축 방향으로 구동되어 제 1 암(172a) 및 제 1 포크(180a)를 Z축 방향으로 구동하게 된다. 이때, 제 1 구동축(170a)의 일부는 지지대(160) 상에 설치된 제 1 커버(171a)에 의해 감싸진다.In addition, the first driving shaft 170a is driven in the vertical direction, that is, in the Z-axis direction by the driving of the driving unit 170 to drive the first arm 172a and the first fork 180a in the Z-axis direction. At this time, a part of the first drive shaft 170a is wrapped by the first cover 171a installed on the support 160.

또한, 상기 제 1 암(172a)은 제 1 구동축(170a)에 연결되어 회전하는 제 1 링크와 제 1 링크와 제 1 포크(180a)간에 연결되어 회전하는 제 2 링크를 포함하고, 도시하지 않은 구동부에 의해 회전하는 제 1 링크 및 제 2 링크의 회전에 의해 제 1 포크(180a)를 수평방향, 즉 Y축 방향으로 전진시키거나 후진시킨다.In addition, the first arm 172a includes a first link that is connected to the first drive shaft 170a and rotates, and a second link that is connected between the first link and the first fork 180a and rotates. The first fork 180a is advanced or retracted in the horizontal direction, that is, the Y-axis direction by the rotation of the first link and the second link, which are rotated by the driving unit.

또한, 상기 제 1 포크(180a)는 제 1 암(172a)의 회전에 따라 수평방향으로 전진하거나 후진하고, 상기 제 1 암(172a)의 회전운동에 응답하여 카세트(110) 쪽으로 전진되어 카세트(110)에 기판(120)을 로딩시켜 수납하거나 카세트(110)에 수납된 기판(120)을 꺼내어 언로딩시킨다.In addition, the first fork 180a is moved forwards or backwards in the horizontal direction according to the rotation of the first arm 172a, and is advanced toward the cassette 110 in response to the rotational movement of the first arm 172a. The substrate 120 is loaded and stored in the 110, or the substrate 120 stored in the cassette 110 is taken out and unloaded.

또한, 상기 제 2 로봇 암부(154)는 기판(120)을 카세트(110)에 로딩시키거나 기판(120)을 카세트(110)에서 언로딩시키기 위한 제 2 포크(180b)와, 상기 제 2 포크(180b)를 수평방향으로 이동시키기 위한 제 2 암(172b)과, 상기 제 2 암(172b)에 수직방향으로 연결되어 구동부(170)의 구동에 의해 제 2 암(172b)을 수직방향으로 구동시키는 제 2 구동축(170b)을 구비한다.In addition, the second robot arm 154 may include a second fork 180b for loading the substrate 120 into the cassette 110 or unloading the substrate 120 from the cassette 110, and the second fork. A second arm 172b for moving the 180b in the horizontal direction and a second arm 172b vertically connected to the second arm 172b to drive the second arm 172b in the vertical direction by the driving of the driving unit 170. The second drive shaft 170b is provided.

또한, 상기 제 2 구동축(170b)은 구동부(170)의 구동에 의해 수직 방향, 즉 Z축 방향으로 구동되어 제 2 암(172b) 및 제 2 포크(180b)를 Z축 방향으로 구동하게 된다. 이때, 제 2 구동축(170b)의 일부는 지지대(160) 상에 설치된 제 2 커버(171b)에 의해 감싸진다.In addition, the second driving shaft 170b is driven in the vertical direction, that is, the Z-axis direction by the driving of the driving unit 170 to drive the second arm 172b and the second fork 180b in the Z-axis direction. At this time, a part of the second drive shaft 170b is surrounded by the second cover 171b provided on the support 160.

또한, 상기 제 2 암(172b)은 제 2 구동축(170b)에 연결되어 회전하는 제 3 링크와 제 3 링크와 제 2 포크(180b)간에 연결되어 회전하는 제 4 링크를 포함하고, 도시하지 않은 구동부에 의해 회전하는 제 3 링크 및 제 4 링크의 회전에 의해 제 2 포크(180b)를 수평방향, 즉 Y축 방향으로 전진시키거나 후진시킨다.In addition, the second arm 172b includes a third link that is connected to the second drive shaft 170b and rotates, and a fourth link that is connected between the third link and the second fork 180b and rotates, not shown. The second fork 180b is advanced or retracted in the horizontal direction, that is, the Y-axis direction by the rotation of the third link and the fourth link, which are rotated by the driving unit.

또한, 상기 제 2 포크(180b)는 제 2 암(172b)의 회전에 따라 수평방향으로 전진하거나 후진하고, 상기 제 2 암(172b)의 회전운동에 응답하여 카세트(110) 쪽으로 전진되어 카세트(110)에 기판(120)을 로딩시켜 수납하거나 카세트(110)에 수 납된 기판(120)을 꺼내어 언로딩시킨다.In addition, the second fork 180b is moved forward or backward in the horizontal direction according to the rotation of the second arm 172b, and is advanced toward the cassette 110 in response to the rotational movement of the second arm 172b, thereby moving the cassette ( The substrate 120 is loaded and received in the 110 or the substrate 120 stored in the cassette 110 is taken out and unloaded.

또한, 상기 지지대(160)는 제 1 및 제 2 로봇 암부(152, 154)를 구동시킴과 아울러 지지한다. In addition, the support 160 drives and supports the first and second robot arm portions 152 and 154.

그리고, 상기 지지대(160)의 하면에는 기판 이재용 로봇(150)을 X축 방향으로 이송시키기 위한 복수의 이송용 바퀴가 설치된다. 이에 따라, 상기 지지대(160)는 복수의 바퀴의 회전에 의해 원하는 X축 방향으로 주행한다.In addition, a plurality of transfer wheels for transferring the substrate transfer robot 150 in the X-axis direction are installed on the bottom surface of the support 160. Accordingly, the support 160 travels in the desired X-axis direction by the rotation of the plurality of wheels.

또한, 상기 지지대(160)의 내부에 설치된 구동부(170)는 도 3에 도시된 바와 같이 제 1 구동축(170a)에 연결된 제 1 리프터(162a)와, 상기 제 2 구동축(170b)에 연결된 제 2 리프터(162b)와, 상기 제 1 리프터(162a)와 제 2 리프터(162b)간에 설치되어 제 1 리프터(162a)와 제 2 리프터(162b)를 서로 다른 수직 방향으로 구동시키는 래크(rack)(166a, 166b)와 피니언(Pinion)(167)을 구비한다.In addition, the driving unit 170 installed in the support 160 has a first lifter 162a connected to the first driving shaft 170a and a second connection to the second driving shaft 170b as shown in FIG. 3. A rack 166a installed between the lifter 162b and the first lifter 162a and the second lifter 162b to drive the first lifter 162a and the second lifter 162b in different vertical directions. 166b and a pinion 167.

그리고, 상기 래크(166a, 166b)는 상기 제 1 리프터(162a)에 설치된 제 1 래크(166a)와, 상기 제 1 래크(166a)와 마주보도록 제 2 리프터(162b)에 설치된 제 2 래크(166b)를 구비한다.The racks 166a and 166b may include a first rack 166a installed on the first lifter 162a and a second rack 166b provided on the second lifter 162b to face the first rack 166a. ).

또한, 상기 피니언(167)은 도시하지 않은 구동모터에 연동되어 제 1 및 제 2 래크(166a, 166b)를 서로 다른 수직 방향으로 구동시킨다.In addition, the pinion 167 is coupled to a drive motor (not shown) to drive the first and second racks 166a and 166b in different vertical directions.

한편, 상기 1 래크(166a)는 제 1 리프터(162a)의 측면에 설치되어 피니언(167)에 접속되고, 상기 제 2 래크(166b)는 제 1 래크(166a)에 마주보도록 제 2 리프터(162b)의 측면에 설치되어 피니언(167)에 접속된다.On the other hand, the first rack 166a is installed on the side of the first lifter 162a and connected to the pinion 167, and the second rack 166b is second lifter 162b to face the first rack 166a. ) Is connected to the pinion 167.

또한, 상기 제 1 리프터(162a)는 제 1 래크(166a)의 수직 운동에 연동되어 제 1 구동축(170a)을 수직방향으로 구동한다. 이때, 상기 제 1 리프터(162a)는 피니언(167)이 정방향으로 회전할 경우 제 1 래크(166a)의 상승에 의해 제 1 구동축(170a)을 상승시키는 반면에 피니언(167)이 역방향으로 회전할 경우 제 1 래크(166a)의 하강에 의해 제 1 구동축(170a)을 하강시킨다.In addition, the first lifter 162a drives the first drive shaft 170a in the vertical direction in association with the vertical motion of the first rack 166a. In this case, when the pinion 167 rotates in the forward direction, the first lifter 162a raises the first drive shaft 170a by the rise of the first rack 166a while the pinion 167 rotates in the reverse direction. In this case, the first drive shaft 170a is lowered by the lowering of the first rack 166a.

또한, 상기 제 2 리프터(162b)는 제 2 래크(166b)의 수직 운동에 연동되어 제 2 구동축(170b)을 수직방향으로 구동한다. 이때, 제 2 리프터(162b)는 피니언(167)이 정방향으로 회전할 경우 제 2 래크(166b)의 하강에 의해 제 2 구동축(170b)을 하강시키는 반면에 피니언(167)이 역방향으로 회전할 경우 제 2 래크(166b)의 상승에 의해 제 2 구동축(170b)을 상승시킨다.In addition, the second lifter 162b drives the second drive shaft 170b in the vertical direction in association with the vertical motion of the second rack 166b. At this time, when the pinion 167 rotates in the forward direction, the second lifter 162b lowers the second drive shaft 170b by lowering the second rack 166b, while the pinion 167 rotates in the reverse direction. The second drive shaft 170b is raised by raising the second rack 166b.

한편, 상기 구동부(170)는 상기 피니언(167)을 회전시키는 구동모터의 구동 토크(Torque)를 최소화하기 위하여, 상기 제 1 리프터(162a)와 제 2 리프터(162b)에 연결된 체인(165)과, 체인(165)에 치합되도록 걸쳐지는 웨이팅 밸런싱 스프로켓(Weight Balancing Sprocket)(164)을 더 구비한다.On the other hand, the drive unit 170 and the chain 165 connected to the first lifter 162a and the second lifter 162b to minimize the drive torque (Torque) of the drive motor for rotating the pinion 167 and And a weight balancing sprocket 164 spanning to engage the chain 165.

이러한, 상기 체인(165) 및 웨이팅 밸런싱 스프로켓(164)은 피니언(167)의 회전에 의한 제 1 리프터(162a)와 제 2 리프터(162b) 각각의 상승 및 하강시 연동되어 피니언(167)의 구동 토크를 최소화한다.The chain 165 and the weight balancing sprocket 164 interlock with each other when the first lifter 162a and the second lifter 162b are driven up and down by the rotation of the pinion 167 to drive the pinion 167. Minimize the torque.

이와 같은, 상기 구동부(170)는 카세트(110)에서 동시에 수행되는 기판(120)의 로딩 및 언로딩시 제 1 포크(180a)와 제 2 포크(180b)간의 높이 차이를 조정하게 된다. As such, the driving unit 170 adjusts the height difference between the first fork 180a and the second fork 180b when loading and unloading the substrate 120 simultaneously performed in the cassette 110.

즉, 상기 구동부(170)는 카세트(110) 내에서 적어도 2 슬롯(112) 떨어져 있 는 기판(120)을 동시에 로딩 및 언로딩시키기 위하여 피니언(167)을 회전을 제어하여 제 1 포크(180a)와 제 2 포크(180b)간의 높이 차이를 조정하게 된다.That is, the driving unit 170 controls the rotation of the pinion 167 to simultaneously load and unload the substrate 120 spaced apart from at least two slots 112 in the cassette 110 by the first fork 180a. And height difference between the second fork 180b.

이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치는 피니언(167)의 회전에 의해 제 1 및 제 2 포크(180a, 180b)를 서로 다른 위치로 구동함으로써 한 번의 동작으로 기판(120)을 카세트(110)에 로딩시킴과 동시에 기판(120)을 카세트(110)에서 언로딩시킬 수 있다.As described above, the substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention cassettes the substrate 120 in one operation by driving the first and second forks 180a and 180b to different positions by the rotation of the pinion 167. The substrate 120 may be unloaded from the cassette 110 at the same time as it is loaded on the 110.

따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치는 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행함으로써 기판의 이재 시간을 감소시킬 수 있다.Therefore, the substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention can reduce the transfer time of the substrate by simultaneously loading and unloading the substrate.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치를 이용한 기판 반송 방법을 단계적으로 나타낸 도면이다.4A through 4D are diagrams illustrating a substrate conveying method using a substrate conveying apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4d를 도 2 및 도 3과 결부하여 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치를 이용한 기판 반송 방법을 단계적으로 설명하면 다음과 같다.4A to 4D will be described with reference to FIGS. 2 and 3 step by step substrate transfer method using a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

여기서, 제 1 로봇 암부(152)는 카세트(110)의 제 1 슬롯에 수납된 기판(120)을 언로딩시키고, 제 2 로봇 암부(154)는 카세트(110)의 제 3 슬롯에 기판(120)을 로딩시켜 수납하는 것으로 가정하기로 한다.Here, the first robot arm 152 unloads the substrate 120 stored in the first slot of the cassette 110, and the second robot arm 154 has the substrate 120 in the third slot of the cassette 110. Let's assume that you are loading and storing).

먼저, 도 4a와 같이 제 2 로봇 암부(154)의 제 2 포크(180b)에는 작업 포트로부터 카세트(110)의 제 3 슬롯에 로딩시킬 기판(120)이 안착된다.First, as shown in FIG. 4A, the substrate 120 to be loaded into the third slot of the cassette 110 is mounted on the second fork 180b of the second robot arm 154 from the working port.

다음, 구동부(170)는 제 1 포크(180a)가 카세트(110)의 제 2 슬롯에 삽입될 수 있고, 제 2 포크(180b)가 카세트(110)의 제 3 슬롯에 삽입될 수 있도록 피니언(167)을 회전시켜 제 1 및 제 2 구동축(170a, 170b)을 서로 다른 수직 방향으로 구 동시킨다. 이에 따라, 제 1 포크(180a)와 제 2 포크(180b)간의 높이 차(H1)는 카세트(110)의 2 슬롯 간의 거리에 대응되도록 조정된다.Next, the driver 170 may include a pinion such that the first fork 180a may be inserted into the second slot of the cassette 110, and the second fork 180b may be inserted into the third slot of the cassette 110. Rotating 167 drives the first and second driving shafts 170a and 170b in different vertical directions. Accordingly, the height difference H1 between the first fork 180a and the second fork 180b is adjusted to correspond to the distance between two slots of the cassette 110.

그런 다음, 도 4b와 같이 구동부(170)는 제 1 암(172a)을 회전시켜 제 1 포크(180a)를 카세트(110)의 제 2 슬롯에 삽입시킴과 동시에 제 2 암(172b)을 회전시켜 제 2 포크(180b)를 카세트(110)의 제 3 슬롯에 삽입시킨다.Then, as shown in FIG. 4B, the driving unit 170 rotates the first arm 172a to insert the first fork 180a into the second slot of the cassette 110 and simultaneously rotates the second arm 172b. The second fork 180b is inserted into the third slot of the cassette 110.

그런 다음, 도 4c와 같이 구동부(170)는 피니언(167)을 회전시켜 제 1 구동축(170a)을 상승시킴과 동시에 제 2 구동축(170b)을 하강시킨다. 이에 따라, 제 1 포크(180a)에는 카세트(110)의 제 1 슬롯에 수납된 기판(120)이 포킹(forking)되어 안착되고, 제 2 포크(180b)에 안착된 기판(120)은 카세트(110)의 제 3 슬롯에 안착되어 수납된다.Then, as shown in FIG. 4C, the driving unit 170 rotates the pinion 167 to raise the first driving shaft 170a and simultaneously lower the second driving shaft 170b. Accordingly, the substrate 120 accommodated in the first slot of the cassette 110 is forked and seated on the first fork 180a, and the substrate 120 seated on the second fork 180b is a cassette ( It is seated in the third slot of the 110.

그런 다음, 도 4d와 같이 구동부(170)는 제 1 암(172a)을 회전시켜 기판(120)이 안착된 1 포크(180a)를 다른 작업 포트로 언로딩하기 위한 위치로 이동시킴과 아울러 다른 기판(120)을 카세트(110)에 로딩시키기 위한 위치로 제 2 포크(180b)를 다른 작업 포트로 이동시킨다. 이에 따라, 제 1 포크(180a)에 안착된 기판(120)은 언로딩 장치에 의해 다른 작업 포트로 언로딩되고, 제 2 포크(180b)에는 다른 작업 포트에서 카세트(110)에 로딩시키기 위한 다른 기판(120)이 안착된다.Then, as shown in FIG. 4D, the driving unit 170 rotates the first arm 172a to move the one fork 180a on which the substrate 120 is seated to a position for unloading to another work port, as well as another substrate. The second fork 180b is moved to another working port to a position for loading 120 into the cassette 110. Accordingly, the substrate 120 seated on the first fork 180a is unloaded to another work port by the unloading device, and the second fork 180b is used for loading the cassette 110 at another work port. The substrate 120 is seated.

이와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치를 이용한 기판 반송 방법은 상술한 도 4a 내지 도 4d를 반복적으로 기판(120)의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행함으로써 기판 이재 시간을 단축시킬 수 있다.As described above, the substrate transfer method using the substrate transfer apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention may shorten the substrate transfer time by repeatedly loading and unloading the substrate 120 in the aforementioned FIGS. 4A to 4D. .

한편, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치를 이용한 기판 반송 방법은 카세트(110)에 인접한 슬롯(112)에 기판(120)을 로딩시키거나 언로딩시킬 경우 제 1 및 제 2 로봇 암부(152, 154) 중 어느 하나를 이용하여 로딩과 언로딩을 순차적으로 수행하여 기판을 이재시키게 된다.On the other hand, the substrate transfer method using a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention when the substrate 120 is loaded or unloaded in the slot 112 adjacent to the cassette 110, the first and second robot arm portion 152 , 154) to sequentially load and unload the substrate to transfer the substrate.

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.On the other hand, the present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, it is possible that various substitutions, modifications and changes within the scope without departing from the technical spirit of the present invention It will be apparent to those skilled in the art.

상기와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법은 다음과 같은 효과가 있다.The substrate transfer apparatus and the substrate transfer method according to the embodiment of the present invention as described above has the following effects.

첫째, 2개의 로봇 암을 이용하여 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행함으로써 기판의 이재 시간을 40% 이상 단축시킬 수 있다.First, by simultaneously loading and unloading the substrate using two robot arms, the transfer time of the substrate can be shortened by 40% or more.

둘째, 기판을 정렬하는 쇼터(sorter)에 사용될 경우 작업 포트가 모두 카세트 또는 버퍼 카세트일 때 기판의 이재를 효과를 극대화할 수 있으며, 기판의 쇼팅(Sorting) 시간을 최대 20%까지 절감할 수 있다.Second, when used in a sorter for aligning substrates, the transfer of substrates can be maximized when the work ports are all cassettes or buffer cassettes, and the sorting time of the substrate can be reduced by up to 20%. .

Claims (13)

일정한 간격으로 복수의 슬롯이 구성되고 상기 슬롯 각각에 기판을 수납하는 카세트와,A cassette configured with a plurality of slots at regular intervals and accommodating a substrate in each of the slots; 상기 카세트에 상기 기판을 수납하는 로딩과 상기 카세트에서 상기 기판을 외부로 반출하는 언로딩을 수행하는 기판 이재용 로봇을 구비하며, And a substrate transfer robot for loading the substrate into the cassette and unloading the substrate to the outside. 상기 기판 이재용 로봇은 상기 기판을 상기 카세트에 로딩(또는 언로딩)시키는 제 1 로봇 암부, 상기 기판을 상기 카세트에 로딩(또는 언로딩)시키는 제 2 로봇 암부, 및 상기 제 1 및 제 2 로봇 암부를 구동시키는 구동부를 구비하고, The substrate transfer robot may include a first robot arm portion for loading (or unloading) the substrate into the cassette, a second robot arm portion for loading (or unloading) the substrate into the cassette, and the first and second robot arm portions. And a driving unit for driving the 상기 제 1 로봇 암부와 상기 제 2 로봇 암부는 상기 구동부 상에 수직 방향으로 서로 평행하게 분리 배치되어, 상기 카세트 내에서 수직 방향으로 적어도 2 슬롯 떨어져 있는 2개의 기판들을 각각 로딩 또는 언로딩시키며, The first robot arm portion and the second robot arm portion are disposed separately and parallel to each other in the vertical direction on the drive unit, respectively loading or unloading two substrates at least two slots in the vertical direction in the cassette, 상기 제 2 로봇 암부는 상기 제 1 로봇 암부와 반대로 상기 기판을 언로딩(또는 로딩) 시키거나 상기 제 1 로봇 암부와 동시에 상기 기판을 로딩(또는 언로딩) 시키고, The second robot arm portion unloads (or loads) the substrate as opposed to the first robot arm portion, or simultaneously loads (or unloads) the substrate with the first robot arm portion, 상기 구동부는 상기 제 1 구동축에 연결된 제 1 리프터와, 상기 제 2 구동축에 연결된 제 2 리프터와, 상기 제 1 리프터 및 제 2 리프터 각각에 연결된 체인과, 상기 체인에 치합되도록 걸쳐지는 스프로켓과, 그리고 상기 제 1 리프터와 상기 제 2 리프터간에 설치되어 상기 제 1 리프터와 상기 제 2 리프터를 서로 다른 수직 방향으로 구동시키는 래크와 피니언을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The drive unit includes: a first lifter connected to the first drive shaft; a second lifter connected to the second drive shaft; a chain connected to each of the first lifter and the second lifter; and a sprocket spanned to fit the chain; and And a rack and pinion provided between the first lifter and the second lifter to drive the first lifter and the second lifter in different vertical directions. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 기판 이재용 로봇은 상기 카세트 내에서 인접한 슬롯에 있는 2개의 기판 또는 동일 슬롯에 있는 하나의 기판을 상기 로딩 또는 언로딩시킬 경우 상기 로딩 및 언로딩을 순차적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The method of claim 1, wherein the substrate transfer robot performs the loading and unloading sequentially when loading or unloading two substrates in adjacent slots or one substrate in the same slot in the cassette. The substrate conveyance apparatus made into it. 삭제delete 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 로봇 암부는 상기 기판의 로딩 또는 언로딩을 위한 제 1 포크와, 상기 제 1 포크를 수평방향으로 이동시키기 위한 제 1 암과, 상기 제 1 암에 수직방향으로 연결되어 상기 구동부의 구동에 의해 제 1 암을 수직방향으로 구동시키는 제 1 구동축을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The method of claim 3, wherein the first robot arm is a first fork for loading or unloading the substrate, a first arm for moving the first fork in a horizontal direction, and a direction perpendicular to the first arm And a first drive shaft connected to drive the first arm in a vertical direction by the drive of the drive unit. 제 5 항에 있어서, 상기 제 2 로봇 암부는 상기 기판의 로딩 또는 언로딩을 위한 제 2 포크와, 상기 제 2 포크를 수평방향으로 이동시키기 위한 제 2 암과, 상기 제 2 암에 수직방향으로 연결되어 상기 구동부의 구동에 의해 제 2 암을 수직방향으로 구동시키는 제 2 구동축을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The method of claim 5, wherein the second robot arm portion is a second fork for loading or unloading the substrate, a second arm for moving the second fork in the horizontal direction, and a direction perpendicular to the second arm And a second drive shaft connected to drive the second arm in a vertical direction by the drive of the drive unit. 삭제delete 삭제delete 일정한 간격으로 복수의 슬롯이 구성되고 상기 슬롯 각각에 기판을 수납하는 카세트를 마련하는 단계와,Providing a cassette configured with a plurality of slots at regular intervals and accommodating a substrate in each of the slots; 상기 기판을 상기 카세트에 로딩(또는 언로딩)시키는 제 1 로봇 암부, 상기 기판을 상기 카세트에 로딩(또는 언로딩)시키는 제 2 로봇 암부, 및 상기 제 1 및 제 2 로봇 암부를 구동시키는 구동부를 구비한 기판 이재용 로봇을 이용하여 상기 기판을 수납하는 로딩과 상기 카세트에서 상기 기판을 외부로 반출하는 언로딩을 수행하는 단계를 포함하며, A first robot arm portion for loading (or unloading) the substrate into the cassette, a second robot arm portion for loading (or unloading) the substrate into the cassette, and a driving portion for driving the first and second robot arm portions Using the provided substrate transfer robot to perform loading and accommodating the substrate and unloading the substrate to the outside from the cassette, 상기 기판의 로딩 또는 언로딩 단계는 상기 구동부 상에 수직 방향으로 서로 평행하게 분리되어 배치된 상기 제 1 로봇 암부와 상기 제 2 로봇 암부를 이용하여 상기 카세트 내에서 수직 방향으로 적어도 2 슬롯 떨어져 있는 2개의 기판들을 각각 로딩 또는 언로딩시키고, The loading or unloading of the substrate may include at least two slots spaced apart at least two slots in the cassette in the cassette by using the first robot arm and the second robot arm disposed to be separated in parallel to each other in the vertical direction on the driving unit. Load or unload each of the substrates, 상기 기판의 로딩 또는 언로딩 단계에서 상기 제 2 로봇 암부는 상기 제 1 로봇 암부와 반대로 상기 기판을 언로딩(또는 로딩) 시키거나 상기 제 1 로봇 암부와 동시에 상기 기판을 로딩(또는 언로딩) 시키며, In the loading or unloading of the substrate, the second robot arm portion unloads (or loads) the substrate as opposed to the first robot arm portion or simultaneously loads (or unloads) the substrate with the first robot arm portion. , 상기 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행하는 단계는 Simultaneously loading and unloading the substrate may be performed. 상기 기판을 상기 카세트에 로딩(또는 언로딩)시키기 위한 제 1 포크와 상기 제 1 포크와 반대로 상기 기판을 상기 카세트에 언로딩(또는 로딩)시키는 제 2 포크 중 어느 하나에 상기 기판을 안착시키는 단계와, Mounting the substrate on either one of a first fork for loading (or unloading) the substrate into the cassette and a second fork for unloading (or loading) the substrate into the cassette as opposed to the first fork; Wow, 상기 제 1 및 제 2 포크의 위치를 서로 반대되는 방향으로 구동하는 단계와, Driving the positions of the first and second forks in opposite directions; 상기 제 1 및 제 2 포크를 전진시켜 상기 카세트에 삽입시키는 단계와, Advancing the first and second forks into the cassette; 상기 기판이 안착된 상기 제 1 및 제 2 포크 중 어느 하나의 포크를 하강시켜 상기 기판을 상기 카세트에 로딩시킴과 동시에 다른 하나의 포크를 상승시켜 상기 카세트에 수납된 상기 기판을 언로딩시키기 위한 상기 다른 하나의 포크에 안착시키는 단계와,Lowering the fork of any one of the first and second forks on which the substrate is seated to load the substrate into the cassette, and simultaneously raising the other fork to unload the substrate stored in the cassette. Rest on another fork, 상기 제 1 및 제 2 포크를 후진시켜 상기 기판의 로딩을 완료함과 동시에 상기 기판의 언로딩을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.Reversing the first and second forks to complete loading of the substrate and simultaneously unloading the substrate. 삭제delete 삭제delete 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 포크의 위치는 2개의 래크와 상기 2개의 래크 사이에 접속된 피니언에 의해 서로 반대되는 방향으로 구동되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.10. The method of claim 9, wherein the positions of the first and second forks are driven in directions opposite to each other by two racks and pinions connected between the two racks. 제 9 항에 있어서, 상기 카세트 내에서 인접한 슬롯에 있는 2개의 기판 또는 동일 슬롯에 있는 하나의 기판을 상기 로딩 또는 언로딩시킬 경우 상기 로딩 및 언로딩을 순차적으로 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.10. The method of claim 9, further comprising the step of sequentially performing the loading and unloading when loading or unloading two substrates in adjacent slots or one substrate in the same slot in the cassette. Substrate conveyance method to be used.
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