[go: up one dir, main page]

KR101230247B1 - 마이크로 펌프 - Google Patents

마이크로 펌프 Download PDF

Info

Publication number
KR101230247B1
KR101230247B1 KR1020110031646A KR20110031646A KR101230247B1 KR 101230247 B1 KR101230247 B1 KR 101230247B1 KR 1020110031646 A KR1020110031646 A KR 1020110031646A KR 20110031646 A KR20110031646 A KR 20110031646A KR 101230247 B1 KR101230247 B1 KR 101230247B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
cylinder
planar
insulating liquid
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR1020110031646A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120113948A (ko
Inventor
강관형
류재춘
김원경
Original Assignee
포항공과대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 포항공과대학교 산학협력단 filed Critical 포항공과대학교 산학협력단
Priority to KR1020110031646A priority Critical patent/KR101230247B1/ko
Priority to US14/110,309 priority patent/US9726161B2/en
Priority to PCT/KR2011/009165 priority patent/WO2012138035A1/ko
Priority to EP11863102.7A priority patent/EP2695849A4/en
Priority to JP2014503580A priority patent/JP2014512793A/ja
Publication of KR20120113948A publication Critical patent/KR20120113948A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101230247B1 publication Critical patent/KR101230247B1/ko
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B19/00—Machines or pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B17/00
    • F04B19/006—Micropumps
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B17/00—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K44/00—Machines in which the dynamo-electric interaction between a plasma or flow of conductive liquid or of fluid-borne conductive or magnetic particles and a coil system or magnetic field converts energy of mass flow into electrical energy or vice versa
    • H02K44/02—Electrodynamic pumps
    • H02K44/06—Induction pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract


본 발명의 마이크로 펌프는, 절연 액체의 유동을 제어하는 마이크로 펌프에 있어서, 상기 절연 액체의 이동 통로를 형성하는 사각 형상을 갖는 사각 채널(370); 상기 사각 채널의 내부에 형성되어 전기장을 인가하기 위한 평면 형상을 갖는 평면 전극 형성부(310); 상기 절연 액체가 유입되는 유입부(320); 및 상기 절연 액체가 유출되는 유출부(330)를 제공함에 기술적 특징이 있다.
본 발명의 마이크로 펌프는 복잡한 부품을 사용하지 않고 간단한 기술적 구성만으로 10-10 ~ 10-12 S/m 범위의 낮은 전도도를 갖는 절연 액체를 이송함으로 인해 비용절감 및 다양한 미세역학 장치에 응용할 수 있는 장점이 있다.

Description

마이크로 펌프{MICRO PUMP}
본 발명은 마이크로 펌프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 사각 채널 또는 실린더 채널에 직류 또는 교류 전기장이 인가되도록 설치된 평면 전극 또는 실린더 전극을 구비하여 10-10 ~ 10-12 S/m 범위의 낮은 전도도를 갖는 절연 액체를 이송할 수 있는 마이크로 펌프에 관한 것이다.
최근 국제적으로 마이크로 유체 시스템에 대한 관심과 개발이 증가되고 있는 실정이다. 이러한 마이크로 유체 시스템은 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 기술을 이용한 것으로서, 임상진단, DNA와 펩타이드와 같은 생체의학 연
구, 신약개발을 위한 화학분석, 잉크젯 인쇄, 소형 냉각 시스템, 소형 연료전지분야 등과 같은 분야에서 응용되는 매우 중요한 시스템이다.
또한, 마이크로 펌프(Micro Pump)와 마이크로 밸브(Micro Valve)는 이러한 마이크로 유체 시스템에서 유체의 흐름을 가능하게 하고 유체의 양과 속도를 조절하고 흐름을 차단하는 등 유체제어기능을 갖는 핵심 부품에 해당한다.
여기서, 마이크로 펌프(Micro Pump)는 소형 기계 장치, 미세 액체 역학 장치, 마이크로 로봇, 전자 기계 장치 등 매우 다양한 분야에서 액체의 이송을 위한 장치로서 가까운 미래에 매우 중요한 기술로서 평가된다.
종래에 액체의 이송에 주로 사용되는 기계적 압력 변환을 통한 펌프 장치들은 매우 부피가 크기 때문에 매우 작은 크기로 제작되기에는 기술상 한계가 있어 매우 작은 크기를 필요로 하는 마이크로 펌프에 적용하기 어려운 문제가 있었다.
상기 문제점을 극복하기 위해 종래 기술은 마이크로 펌프를 제작하기 위해서는 많은 부품이 필요 없이 간단한 구성만으로 액체를 이송시키기 위해 액체에 전기장을 가했을 때 생기는 전기수력학적 유동에 의해 액체를 이송시키는 기술을 사용하였다.
이의 대표적인 예로 절연액체에 사용될 수 있는 이온 드래그(ion-drag) 펌프와 전기 감응 액체(electro-sensitive fluid) 마이크로 펌프가 있다.
하지만, 종래의 이온 드래그(ion-drag) 펌프와 전기 감응 액체(electro-sensitive fluid) 마이크로 펌프는 하기와 같은 기술적 문제점이 있었다.
첫째, 종래 기술은 펌프에 사용할 수 있는 대상 액체가 대상 액체가 특정 지어져 있으며, 10-10 ~ 10-12 S/m 범위의 전기전도도를 가지는 범용적인 절연 액체에는 적용하기 어려운 문제점이 있었다.
둘째, 종래 기술은 절연 액체 이송을 위한 마이크로 펌프가 직류(DC) 전기장에 의해서만 작동되며, 절연 액체의 유속은 전압에 의해서만 조절되는 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 10-10 ~ 10-12 S/m 범위의 낮은 전도도를 갖는 절연 액체를 이송할 수 있는 마이크로 펌프를 제공하는데 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명에 따른 마이크로 펌프는, 절연 액체의 유동을 제어하는 마이크로 펌프에 있어서, 상기 절연 액체의 이동 통로를 형성하는 사각 형상을 갖는 사각 채널(370); 상기 사각 채널의 내부에 형성되어 전기장을 인가하기 위한 평면 형상을 갖는 평면 전극 형성부(310); 상기 절연 액체가 유입되는 유입부(320); 및 상기 절연 액체가 유출되는 유출부(330)를 제공한다.
본 발명은 복잡한 부품을 사용하지 않고 간단한 기술적 구성만으로 10-10 ~ 10-12 S/m 범위의 낮은 전도도를 갖는 절연 액체를 이송함으로 인해 비용절감 및 다양한 미세역학 장치에 응용할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 적용되는 실린더 전극형 절연 액체 마이크로 펌프의 제1 원리를 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 제1 실시예로 실린더 전극-사각 채널형 마이크로 펌프의 사시도를 나타낸 것이다.
도 2b는 본 발명의 제1 실시예로 실린더 전극-사각 채널형 마이크로 펌프의 내부 전극 배치를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시 예 내지 제4 실시 예에 적용되는 평면 전극형 절연 액체 마이크로 펌프의 제2 원리를 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 제2 실시예로 평면 전극-사각 채널형 마이크로 펌프의 평면도를 나타낸 것이다.
도 3b는 본 발명의 제2 실시예로 평면 전극-사각 채널형 마이크로 펌프의 내부의 배치를 평면도로 나타낸 것이다.
도 3c는 본 발명의 제2 실시예로 평면 전극-사각 채널형 마이크로 펌프의 내부 전극의 배치를 평면도로 나타낸 것이다.
도 4a는 본 발명의 제3 실시예로 평면 전극- 실린더 채널형 마이크로 펌프를 사시도로 나타낸 것이다.
도 4b는 본 발명의 제3 실시예로 평면 전극- 실린더 채널형 마이크로 펌프의 내부 전극의 배치를 사시도로 나타낸 것이다.
도 5a는 본 발명의 제4 실시예로 평면전극-실린더형 전기수력학 모터를 사시도로 나타낸 것이다.
도 5b는 본 발명의 제4 실시예로 평면전극-실린더형 전기수력학 모터의 내부 전극 배치를 사시도로 나타낸 것이다.
도 5c는 본 발명의 제4 실시예로 평면전극-실린더형 전기수력학 모터의 내부 로터를 사시도로 나타낸 것이다.
이하에서는 본 발명의 구체적인 실시 예를 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 적용되는 실린더 전극형 절연 액체 마이크로 펌프의 제1 원리를 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 사각 채널(114, 115)과 수직한 방향으로 삼각형의 형상을 이루도록 설치된 제1 실린더 전극(110), 제2 실린더 전극(111a), 제3 실린더 전극(111b)을 구비한다.
제1 실린더 전극(110)은 (-)극 또는 (+)극을 구비하여 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압이 인가되며, 제2 실린더 전극(111a) 및 제3 실린더 전극(111b)은 접지(GND) 전압이 인가된다.
이하 본 발명의 실린더 전극형 절연 액체 마이크로 펌프의 작동 원리를 간단히 설명한다.
사각 채널(114, 115)의 내부에 절연 액체를 채운 후에 제1 실린더 전극(110)에 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가하면, 제1 실린더 전극(110)과 제2 실린더 전극(111a) 및 제1 실린더 전극(110)과 제3 실린더 전극(111b) 사이에 불균일한 전기장(112)이 형성된다.
상기 형성된 불균일한 전기장(112)은 Onsager 효과에 의해 절연 액체의 전기전도도의 구배를 형성하게 되며, 형성된 전기전도도의 구배는 Maxwell-Wagner 분극 현상에 의해 절연 액체 내부에 자유 전하(free charge)를 형성하게 된다.
상기 형성된 자유 전하는 전기력의 영향으로 움직이면서 주변 절연 액체에 운동량을 전달함으로써 절연 액체가 도시한 경로(113)를 따라 한 방향으로 이동하게 한다. 이로써 본 발명의 실린더 전극형 절연 액체 마이크로 펌프는 펌프(pump)로서의 기능을 하게 된다.
본 발명의 절연 액체는 10-10 ~ 10-12 S/m 범위의 매우 낮은 전기 전도도를 가지는 유기 혹은 무기 절연 액체에 이온성 및 비이온성 계면활성제 혹은 알콜류 첨가제를 소량 첨가한 용액을 사용하며, 바람직하게는 0.001~10 wt% 첨가제를 포함한다. 본 발명의 일 예는 절연 액체로 실리콘 오일, 도데케인(dodecane) 또는 톨루엔(toluene)을 사용하며, 이온성 계면활성제로 sorbitane trioleate(Span 85)를, 비이온성 계면활성제로 sodium di-2-ethylhexyl sulfosuccinate(AOT)를 각각 사용할 수 있다. 또한 오일 용해성 염으로 테트라부틸암모늄 테트라부틸보레잇(tetrabutylammonium tetrabutylborate)을 사용하며, 알콜류는 에타올을 사용할 수 있다.
본 발명에 제1 실린더 전극(110), 제2 실린더 전극(111a), 제3 실린더 전극(111b)은 모두 상기 절연 액체에 용해되지 않는 성질을 가지는 금속 물질을 사용하며, 사각 채널(114, 115)은 유리, 플라스틱, 고무 등의 절연 물질을 사용한다. 예를 들면 금속 물질로 철, 구리, 텅스텐, 알루미늄, 금, 은 등을 사용할 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 각각 본 발명의 제1 실시예로 실린더 전극-사각 채널형 마이크로 펌프의 사시도 및 실린더 전극-사각 채널 형 마이크로 펌프의 내부 전극 배치를 도시한 것이다.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 실린더 전극-사각 채널 형 마이크로 펌프(200)는 채널 상판(270)과 채널 상판을 포함하며 직육면체의 형상을 갖는 사각 채널(250), 전극형성부(210), 유입부(230) 및 유출부(240)를 구비한다.
전극형성부(210)는 접지전극 연결부(211), 외부전원 연결부(212), 제1 실린더 전극 상부 접합부(213), 제2 실린더 전극 상부 접합부(214), 제3 실린더 전극 상부 접합부(215)를 포함한다.
접지전극 연결부(211)는 제2 실린더 전극 상부 접합부(214) 및 제3 실린더 전극 상부 접합부(215)와 서로 연결되어, 이들에게 접지전압(GND)을 인가 할 수 있는 구조를 갖는다.
외부전원 연결부(212)는 제1 실린더 전극 상부 접합부(213)와 연결되어 외부 전원에서 공급한 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 제1 실린더 전극 상부 접합부(213)와 연결된 제1 실린더 전극(216)에게 인가할 수 있는 구조를 갖는다. 여기서 직류는 10~10,000 V, 교류는 0.1~10 kHz에 10~10,000 Vrms 가 바람직하다.
제1 실린더 전극 상부 접합부(213)는 실린더 형상을 갖는 복수 개의 제1 실린더 전극들(216a~ 216e)과 서로 연결된 구조를 갖는다. 여기서 각 실린더 전극들(216a~ 216e)은 일정한 간격으로, 바람직하게는 실린더 지름의 5~10배 정도 떨어져 있다. 마찬 가지 방식으로 제2 실린더 전극 상부 접합부(214) 및 제3 실린더 전극 상부 접합부(215)는 각각 일정 간격을 두고 실린더 형상을 갖는 복수 개의 제2 실린더 전극들(217a~ 217e) 및 제3 실린더 전극들(218a~ 218e)과 서로 연결된 구조를 갖는다.
첫 번째 위치에 있는 제1 실린더 전극(216a), 제2 실린더 전극(217a) 및 제3 실린더 전극(218a)은 서로 1개의 세트가 되어 삼각형 모양을 갖는 제1 전극세트(S1)를 구성한다.
마찬가지 방식으로 두 번째 내지 다섯 번째 위치에 있는 제1 실린더 전극(216b), 제2 실린더 전극(217b) 및 제3 실린더 전극(218b) 내지 제1 실린더 전극(216e), 제2 실린더 전극(217e) 및 제3 실린더 전극(218e)은 각각 제2 전극세트(S2) 내지 제5 전극세트(S5)를 구성한다.
전극세트(S1)는 일정한 간격을 두고 복수 개 형성될 수 있으며, 전극세트(S1)의 개수가 증가 할수록 절연 액체의 유동속도가 빨라지므로 펌프의 세기는 증가한다.
본 발명의 경우 절연 액체의 유동속도는 직류 전기장에서 전압 조절에 의해 가능할 뿐 아니라, 교류 전기장의 경우 전압 및 교류 주파수의 조절에 의해서도 가능하다.
본 발명의 경우 5개의 전극세트(S1~S5)에 대해 설명하였지만, 이에 한정되지 아니하고 전극세트가 많을수록 절연물질의 이동 속도가 빠른 점을 고려하여 다양하게 변형 실시 할 수 있음은 당연하다.
도 3은 본 발명의 제2 실시 예 내지 제4 실시 예에 적용되는 평면 전극형 절연 액체 마이크로 펌프의 제2 원리를 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 채널(124, 125) 내부의 일 측면에 제1 평면 전극(210) 및 제2 평면 전극(121)을 구비한다.
채널(124, 125)은 사각 형상 또는 실린더 형상을 사용할 수 있다.
제1 평면 전극(210)은 폭이 좁은 평면형태의 (-)극 또는 (+)극을 구비하며 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압이 인가되며, 제2 평면 전극(121)은 폭이 넓은 평면형태의 전극을 구비하며 접지(GND) 전압이 인가된다.
이하 본 발명의 평면 전극형 절연 액체 마이크로 펌프의 작동 원리를 간단히 설명한다.
채널(124, 125)의 내부에 절연 액체를 채운 후에 제1 평면 전극(210)에 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가하면, 제1 평면 전극(210)과 제2 평면 전극(121) 사이에 불균일한 전기장(122)이 형성된다.
상기 형성된 불균일한 전기장(122)은 Onsager 효과에 의해 절연 액체의 전기전도도의 구배를 형성하게 되며, 형성된 전기전도도의 구배는 Maxwell-Wagner 분극 현상에 의해 절연 액체 내부에 자유 전하(free charge)를 형성하게 된다.
상기 형성된 자유 전하는 전기력의 영향으로 움직이면서 주변 절연 액체에 운동량을 전달함으로써 절연 액체가 도시한 경로(123)를 따라 한 방향으로 이동하게 한다. 이로써 본 발명의 평면 전극형 절연 액체 마이크로 펌프는 펌프(pump)로서의 기능을 하게 된다.
본 발명의 절연 액체는 10-10 ~ 10-12 S/m 범위의 매우 낮은 전기 전도도를 가지는 유기 혹은 무기 절연 액체에 이온성 및 비이온성 계면활성제 혹은 알콜류 첨가제를 소량 첨가한 용액을 사용하며, 바람직하게는 0.001~10 wt% 첨가제를 포함한다.
본 발명에 제1 평면 전극(210)과 제2 평면 전극(121)은 모두 상기 절연 액체에 용해되지 않는 성질을 가지는 금속 물질을 사용하며, 채널(124, 125)은 유리, 플라스틱, 고무 등의 절연 물질을 사용한다.
도 3a, 도 3b 및 도 3c는 각각 본 발명의 제2 실시예로 평면 전극-사각 채널 형 마이크로 펌프의 평면도, 평면 전극-사각 채널 형 마이크로 펌프의 내부의 배치에 대한 평면도 및 평면 전극-사각 채널 형 마이크로 펌프의 내부 전극의 배치에 대한 평면도를 나타낸 것이다.
도 3a를 참조하면, 본 발명의 평면 전극-사각 채널 형 마이크로 펌프(300)는 전극형성부(310), 유입부(320), 유출부(330) 및 채널 바닥부(340), 수직격벽(350), 상부 덮개(360)를 포함하는 사각채널(370)을 구비한다.
전극형성부(210)는 접지전극 연결부(211), 외부전원 연결부(212), 제1 실린더 전극 상부 접합부(213), 제2 실린더 전극 상부 접합부(214), 제3 실린더 전극 상부 접합부(215)를 포함한다.
전극 형성부(310)는 상기 채널 바닥부(340)에 금속 재질로 패턴닝(patterning) 되며, 수직 격벽(350)에 의해 절연 액체가 유입부(320)에서 유출부(330)로 이동할 수 있는 채널이 형성되며, 수직 격벽(350)의 상부는 상부덮개(360)에 의해 밀봉(seal) 된다.
이하 도 3c를 참조하여 전극형성부(310)의 형상, 배치 등을 상세히 설명한다.
전극형성부(310)는 접지전극 연결부(311), 제2 평면 전극 상부 접합부(312),
외부전원 연결부(313), 제1 평면 전극 상부 접합부(314)를 포함한다.
접지전극 연결부(311)는 제2 평면 전극 상부 접합부(312)와 서로 연결되어, 제2 평면 전극 상부 접합부(312)를 통해 각각 연결된 복수의 제2 평면 전극 들(312a~312e)에게 접지전압(GND)을 인가 할 수 있는 구조를 갖는다.
마찬가지 방식으로, 외부전원 연결부(313)는 제1 평면 전극 상부 접합부(314)와 서로 연결되어, 제1 평면 전극 상부 접합부(314)를 통해 각각 연결된 복수의 제1 평면 전극 들(314a~314e)에게 외부 전원에서 공급한 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가 할 수 있는 구조를 갖는다.
제1 평면 전극 들(314a~314e)은 각각 동일한 평면 형상, 폭, 길이를 가지며, 또한 제2 평면 전극 들(312a~312e)도 각각 동일한 평면 형상, 폭, 길이를 갖는다. 바람직하게는 제1 평면 전극들(314a~314e)은 폭이 10μm~10mm이고 길이가 50μm~100mm이며, 제2 평면 전극들(312a~312e)은 길이는 제1 평면 전극들과 동일하나, 폭이 제1 평면 전극들의 2~5배이다.
첫 번째에 위치한 제1 평면전극(314a), 제2 평면전극(312a)은 제1 전극세트(S1)를 구성하며, 마찬가지 방식으로 두 번 째부터 네 번째 위치의 제1, 제2 평면전극 들은 각각 제2 전극세트(S2) 내지 제5 전극 세트(S5)를 구성한다.
본 발명의 경우 5개의 전극세트에 대해 설명하였지만, 이에 한정되지 아니하고 전극세트가 많을수록 절연 액체의 이동 속도가 빠른 점을 고려하여 다양하게 변형 실시 할 수 있음은 당연하다.
도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명의 제3 실시예로 평면 전극- 실린더 채널 형 마이크로 펌프에 대한 사시도 및 평면 전극- 실린더 채널 형 마이크로 펌프의 내부 전극의 배치에 대한 사시도로 나타낸 것이다.
도 4a를 참조하면, 본 발명의 평면 전극-실린더 채널 형 마이크로 펌프(400)는 전극형성부(410), 유입부(420), 유출부(430), 실린더 채널(440)을 포함한다.
전극형성부(410)는 접지전극 연결부(411), 외부전원 연결부(412), 실린더 형태의 좁은 평면을 갖는 제1 평면 전극(413) 및 실린더 형태의 넓은 평면을 갖는 제2 평면 전극(414)을 포함한다.
한편, 제3 실시 예로서 평면 전극-실린더 채널 형 마이크로 펌프(400)는 기본적으로 제2 실시예로서 평면 전극-사각 채널 형 마이크로 펌프(300)와 작동 원리, 기본 구성이 동일하며, 단지 채널의 형태를 실린더 형태로 하느냐 사각 형태로 하느냐에 따라 평면 전극의 모양도 각각 실린더 형태와 사각 형태로 변형 실시되는 점에 차이가 있다.
따라서 상기 제2 실시 예에서 상세히 설명한 내용에 대해 중복 설명하는 것은 생략한다.
도 5a, 도 5b 및 도 5c는 본 발명의 제4 실시예로 평면전극-실린더 형 전기수력학 모터에 관한 사시도, 내부 전극 배치에 관한 사시도 및 내부 로터에 관한 사시도를 각각 나타낸 것이다.
도 5a를 참조하면, 본 발명의 평면전극-실린더 형 전기수력학 모터(500)는 실린더 용기(510), 전극 형성부(520), 로터(530) 및 상부 덮개(540)를 포함한다.
전극 형성부(520)는 접지전극 연결부(521), 외부전원 연결부(523), 실린더 용기(510)의 벽면에 수직방향으로 다수의 평면 전극이 패턴 된 폭이 좁은 제1 평면 전극(524) 및 폭이 넓은 제2 평면 전극(522)을 포함한다.
제4 실시예로 전극 형성부(520)와 제3 실시예로 전극 형성부(410)는 실린더 형 채널에 평면 전극 형태를 갖는다는 점에서 공통되지만, 전극 형성부를 구성하는 제1 평면 전극과 제2 평면전극의 배치되는 형태가 제 4 실시예의 경우 실린더 벽면을 따라 수직방향으로 일자 모양으로 교차 배열되지만, 제 3 실시예의 경우 원형의 형태로 교차 배열되는 점에 차이가 있다.
상기 배열의 차이로 인해, 제4 실시예의 경우 절연 액체가 시계방향으로 이송되지만, 제3 실시예의 경우 절연 액체가 유입구(420)에서 유출구(430) 방향으로 직선 형태로 이송된다.
로터(530)는 실린더 용기(510)의 내부에 위치하여, 외부에 전기장이 전극 형성부(520)에 인가될 경우 발생하는 실린더 용기(510)의 벽면을 따라 시계 방향으로 절연 액체가 이송되는 힘을 이용하여 로터 날개(532)에 운동량을 전달받아 날개를 움직이게 하고, 동체로 연결된 로터축(531)을 통해 외부에 역학적 일을 한다.
이로써 본 발명은 종래의 전자기적 모터에 비해 부품 구성이 매우 간단하여 소형 모터 제작에 응용할 수 있다.
이상에서는 본 발명에 대한 기술사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 이라면 누구나 본 발명의 기술적 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
370 : 사각 채널
310 : 평면 전극 형성부
311 : 접지전극 연결부
313 : 외부전원 연결부
320 : 유입부
330 : 유출부

Claims (17)

  1. 절연 액체의 유동을 제어하는 마이크로 펌프에 있어서,
    상기 절연 액체의 이동 통로를 형성하는 사각 형상을 갖는 사각 채널(250);
    상기 사각 채널의 내부에 형성되어 전기장을 인가하기 위한 실린더 형상을 갖는 실린더 전극 형성부(210);
    상기 절연 액체가 유입되는 유입부(230); 및
    상기 절연 액체가 유출되는 유출부(240)를 구비하며,
    상기 실린더 전극 형성부(210)는,
    접지전압(GND)을 인가하기 위한 접지전극 연결부(211);
    상기 접지전극 연결부(211)에 각각 연결된 제2 실린더 전극 상부 접합부(214)와 제3 실린더 전극 상부 접합부(215);
    외부 전원에서 공급한 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가하기 위한 외부전원 연결부(212); 및
    상기 외부전원 연결부(212)와 연결된 제1 실린더 전극 상부 접합부(213)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 제1 실린더 전극 상부 접합부(213), 상기 제2 실린더 전극 상부 접합부(214) 및 상기 제3 실린더 전극 상부 접합부(215)는,
    일정 간격을 두고 실린더 형상을 갖는 복수 개의 제1 실린더 전극들(216a~ 216e), 제2 실린더 전극들(217a~ 217e) 및 제3 실린더 전극들(218a~ 218e)을 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제1 실린더 전극들(216a~ 216e), 상기 제2 실린더 전극들(217a~ 217e) 및 상기 제3 실린더 전극들(218a~ 218e) 각각은,
    서로 교차 배치되며, 이들이 배치되어 있는 N(양의 정수) 번째 위치에서 제N 전극세트를 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 제2 실린더 전극(217a), 상기 제1 실린더 전극(216a), 상기 제3 실린더 전극(218a)은 각각 지름이 50μm~10mm를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 절연 액체는,
    10-10 ~ 10-12 S/m 범위의 전기 전도도를 가지는 유기 또는 무기 용액에 0.001~10 wt% 첨가제를 사용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 첨가제는,
    이온성 및 비이온성 계면활성제 또는 알콜류 물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 사각 채널(250)은 절연 물질을 사용하고, 상기 전극 형성부(210)는 금속 물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  9. 절연 액체의 유동을 제어하는 마이크로 펌프에 있어서,
    상기 절연 액체의 이동 통로를 형성하는 사각 형상을 갖는 사각 채널(370);
    상기 사각 채널의 내부에 형성되어 전기장을 인가하기 위한 평면 형상을 갖는 평면 전극 형성부(310);
    상기 절연 액체가 유입되는 유입부(320); 및
    상기 절연 액체가 유출되는 유출부(330)를 구비하며,
    상기 평면 전극 형성부(310)는,
    접지전압(GND)을 인가하기 위한 접지전극 연결부(311);
    상기 접지전극 연결부(311)에 연결된 제2 평면 전극 상부 접합부(312);
    외부 전원에서 공급한 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가하기 위한 외부전원 연결부(313); 및
    상기 외부전원 연결부(313)와 연결된 제1 평면 전극 상부 접합부(314)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  10. 삭제
  11. 제 9항에 있어서, 상기 제1 평면 전극 상부 접합부(314) 및 제2 평면 전극 상부 접합부(312) 각각은,
    일정 간격을 두고 사각평면 형상을 갖는 복수 개의 제1 평면 전극 들(314a~314e) 및 제2 평면 전극 들(312a~312e)을 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 제1 평면 전극 들(314a~314e) 및 상기 제2 평면 전극 들(312a~312e) 각각은,
    서로 교차 배치되며, 이들이 배치된 N(양의 정수) 번째 위치에서 제N 전극세트를 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 제1 평면 전극 들(314a~314e)은 폭이 10μm~10mm 이고, 길이가 50μm~100mm 이며,
    상기 제2 평면 전극 들(312a~312e)은 길이는 상기 제1 평면 전극들과 동일하나 폭은 상기 제1 평면 전극들의 2~5배인 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.

  14. 절연 액체의 유동을 제어하는 마이크로 펌프에 있어서,
    상기 절연 액체의 이동 통로를 형성하는 실린더 용기(450) 내에 설치된 실린더 형상을 갖는 실린더 채널(440);
    상기 실린더 채널(440)의 내부에 형성되어 전기장을 인가하기 위한 평면 형상을 갖는 평면 전극 형성부(410);
    상기 절연 액체가 유입되는 유입부(420); 및
    상기 절연 액체가 유출되는 유출부(430)를 구비하며,
    상기 평면 전극 형성부(410)는,
    접지전압(GND)을 인가하기 위한 접지전극 연결부(411);
    상기 접지전극 연결부(411)와 연결된 제2 평면 전극(414);
    외부 전원에서 공급한 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가하기 위한 외부전원 연결부(412); 및
    상기 외부전원 연결부(412)와 연결된 제1 평면 전극(413)을 구비하되,
    상기 제1 평면 전극(413)과 상기 제2 평면 전극(414)은 상기 실린더 용기의 축 방향으로 원형의 형태로 서로 교차 배치된 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  15. 삭제
  16. 제 14항에 있어서, 상기 평면 전극 형성부(520)는,
    접지전압(GND)을 인가하기 위한 접지전극 연결부(521);
    상기 접지전극 연결부(521)와 연결된 제2 평면 전극(522);
    외부 전원에서 공급한 직류(DC) 또는 교류(AC) 전압을 인가하기 위한 외부전원 연결부(523); 및
    상기 외부전원 연결부(523)와 연결된 제1 평면 전극(524)을 구비하되,
    상기 제1 평면 전극(524)과 상기 제2 평면 전극(522)은 상기 실린더 용기의 축 방향으로 일자 형태로 서로 교차 배치된 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 절연 액체의 회전운동량을 전달하기 위해 상기 실린더 용기 내부에 로터(530)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
KR1020110031646A 2011-04-06 2011-04-06 마이크로 펌프 Expired - Fee Related KR101230247B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110031646A KR101230247B1 (ko) 2011-04-06 2011-04-06 마이크로 펌프
US14/110,309 US9726161B2 (en) 2011-04-06 2011-11-29 Micropump
PCT/KR2011/009165 WO2012138035A1 (ko) 2011-04-06 2011-11-29 마이크로 펌프
EP11863102.7A EP2695849A4 (en) 2011-04-06 2011-11-29 MICRO PUMP
JP2014503580A JP2014512793A (ja) 2011-04-06 2011-11-29 マイクロポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110031646A KR101230247B1 (ko) 2011-04-06 2011-04-06 마이크로 펌프

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120113948A KR20120113948A (ko) 2012-10-16
KR101230247B1 true KR101230247B1 (ko) 2013-02-06

Family

ID=46969397

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110031646A Expired - Fee Related KR101230247B1 (ko) 2011-04-06 2011-04-06 마이크로 펌프

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9726161B2 (ko)
EP (1) EP2695849A4 (ko)
JP (1) JP2014512793A (ko)
KR (1) KR101230247B1 (ko)
WO (1) WO2012138035A1 (ko)

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6281470B2 (ja) * 2014-11-06 2018-02-21 株式会社デンソー 流体装置
JP6329064B2 (ja) * 2014-12-18 2018-05-23 株式会社デンソー 熱拡散装置
CN104795963B (zh) * 2015-03-19 2017-08-29 华南理工大学 一种多极片层叠式电流体动力微泵
CN104753309A (zh) * 2015-03-19 2015-07-01 华南理工大学 一种多组电极平铺式电流体动力微泵
CN105406686B (zh) * 2015-12-15 2018-10-09 华南理工大学 一种层压式电流体动力微泵
CN106130310A (zh) * 2016-08-15 2016-11-16 华南理工大学 一种圆柱形电流体动力微泵及其制造方法
US11651866B2 (en) 2016-10-17 2023-05-16 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for real-time insurance quote in response to a self-diagnostic test
US11802868B2 (en) 2016-10-17 2023-10-31 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for variable function mobile application for providing medical test results
US12009078B2 (en) 2016-10-17 2024-06-11 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for medical escalation and intervention that is a direct result of a remote diagnostic test
US11107585B2 (en) 2016-10-17 2021-08-31 Reliant Immune Diagnostics, Inc System and method for a digital consumer medical wallet and storehouse
US11579145B2 (en) 2016-10-17 2023-02-14 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for image analysis of medical test results
US10902951B2 (en) 2016-10-17 2021-01-26 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for machine learning application for providing medical test results using visual indicia
US9857372B1 (en) 2016-10-17 2018-01-02 Reliant Immune Diagnostics, LLC Arbovirus indicative birth defect risk test
US11693002B2 (en) 2016-10-17 2023-07-04 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for variable function mobile application for providing medical test results using visual indicia to determine medical test function type
US11164680B2 (en) 2016-12-14 2021-11-02 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for initiating telemedicine conference using self-diagnostic test
US11594337B2 (en) 2016-12-14 2023-02-28 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for advertising in response to diagnostic test results
US11125746B2 (en) 2016-12-14 2021-09-21 Reliant Immune Diagnostics, Inc. Two-sided flow-through immunoassay
US11915810B2 (en) 2016-12-14 2024-02-27 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for transmitting prescription to pharmacy using self-diagnostic test and telemedicine
US11295859B2 (en) 2016-12-14 2022-04-05 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for handing diagnostic test results to telemedicine provider
US10631031B2 (en) 2016-12-14 2020-04-21 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for television network in response to input
US11170877B2 (en) 2016-12-14 2021-11-09 Reliant Immune Diagnostics, LLC System and method for correlating retail testing product to medical diagnostic code
US10527555B2 (en) 2016-12-14 2020-01-07 Reliant Immune Disgnostics, Inc. System and method for visual trigger to perform diagnostic test
US11599908B2 (en) 2016-12-14 2023-03-07 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for advertising in response to diagnostic test
US11527324B2 (en) 2017-11-10 2022-12-13 Reliant Immune Diagnostics, Inc. Artificial intelligence response system based on testing with parallel/serial dual microfluidic chip
US11437142B2 (en) 2017-11-10 2022-09-06 Reliant Immune Diagnostics, Inc. Biofluidic triggering system and method
US10930380B2 (en) 2017-11-10 2021-02-23 Reliant Immune Diagnostics, Inc. Communication loop and record loop system for parallel/serial dual microfluidic chip
US11200986B2 (en) 2017-11-10 2021-12-14 Reliant Immune Diagnostics, Inc. Database and machine learning in response to parallel serial dual microfluidic chip
US11041185B2 (en) 2017-11-10 2021-06-22 Reliant Immune Diagnostics, Inc. Modular parallel/serial dual microfluidic chip
US11124821B2 (en) 2017-11-10 2021-09-21 Reliant Immune Diagnostics, Inc. Microfluidic testing system with cell capture/analysis regions for processing in a parallel and serial manner
US10930381B2 (en) 2017-11-10 2021-02-23 Reliant Immune Diagnostics, Inc. Microfluidic testing system for mobile veterinary applications
US10835122B2 (en) 2018-05-14 2020-11-17 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for image processing of medical test results using generalized curve field transform
US11125749B2 (en) 2018-06-06 2021-09-21 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for remote colorimetry and ratiometric comparison and quantification in analysis of medical test results
US10636527B2 (en) 2018-06-06 2020-04-28 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for quantifying, ensuring, and triggering the prescriptive authority for a telemedicine session
US11232872B2 (en) 2018-06-06 2022-01-25 Reliant Immune Diagnostics, Inc. Code trigger telemedicine session
US11112406B2 (en) 2018-06-15 2021-09-07 Reliant Immune Diagnostics, Inc. System and method for digital remote primary, secondary, and tertiary color calibration via smart device in analysis of medical test results
CN110601497B (zh) * 2019-09-05 2021-07-23 中国科学院力学研究所 一种交流电渗驱动乙醇行波型微泵及工作方法
CN111043005B (zh) * 2019-12-03 2022-03-22 广州大学 一种基于毛细现象以及电浸润现象的微泵
JP7032823B1 (ja) 2020-09-24 2022-03-09 三洋金属工業株式会社 電気応答流体ポンプ
FR3156594A1 (fr) * 2023-12-06 2025-06-13 Saft Ensemble comprenant un élément électrochimique et une pompe électrohydrodynamique, module de batterie, batterie et procédé associés

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040032591A (ko) * 2002-10-10 2004-04-17 삼성전자주식회사 미소 유량의 제어가 가능한 마이크로 구조체
JP2004291187A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Shimadzu Corp 静電マイクロバルブ及びマイクロポンプ
JP2005538853A (ja) * 2002-07-15 2005-12-22 オスモテックス エイエス マイクロチャネル内に電気浸透性の液体移動を誘起するマイクロ流体システムのアクチュエータ
KR20100103919A (ko) * 2009-03-16 2010-09-29 동아대학교 산학협력단 마이크로 채널형 교류 교번 인가식 유체 혼합기

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4380720A (en) * 1979-11-20 1983-04-19 Fleck Carl M Apparatus for producing a directed flow of a gaseous medium utilizing the electric wind principle
JPH10146075A (ja) 1996-09-12 1998-05-29 Shin Gijutsu Manag:Kk デカン二酸ジブチルを用いたマイクロモーターで電気エネルギーを機械エネルギーに制御変換する方法、電気感応作動媒体を用いたエネルギーの変換方法および制御変換方法
KR0184124B1 (ko) * 1996-04-16 1999-03-20 손욱 다중대전 현상건
US6312623B1 (en) * 1996-06-18 2001-11-06 Abb Power T&D Company Inc. High oleic acid oil compositions and methods of making and electrical insulation fluids and devices comprising the same
JP3245386B2 (ja) 1997-10-23 2002-01-15 有限会社新技術マネイジメント マイクロポンプおよびこの使用方法並びに該マイクロポンプを利用するマイクロアクチュエータ
JP3225016B2 (ja) 1998-01-23 2001-11-05 有限会社新技術マネイジメント リニアモータ
US7691244B2 (en) * 2001-12-18 2010-04-06 Massachusetts Institute Of Technology Microfluidic pumps and mixers driven by induced-charge electro-osmosis
GB0200705D0 (en) 2002-01-14 2002-02-27 Univ Cambridge Tech Fluid movement
JP2003284316A (ja) * 2002-03-25 2003-10-03 Ryoichi Hanaoka 電気流体力学ポンプ
US7053565B2 (en) * 2002-07-03 2006-05-30 Kronos Advanced Technologies, Inc. Electrostatic fluid accelerator for and a method of controlling fluid flow
CN1732026A (zh) * 2002-12-30 2006-02-08 皇家飞利浦电子股份有限公司 流体分配系统
JP4523307B2 (ja) 2004-03-19 2010-08-11 株式会社日本Ａｅパワーシステムズ 液体ｅｈｄポンプ
JP2005353887A (ja) 2004-06-11 2005-12-22 New Technology Management Co Ltd 平面形ポンプ
JP2006042430A (ja) 2004-07-23 2006-02-09 Tetsuhiro Tsukiji Ｅｒ流体の制御デバイス
RU2300024C2 (ru) * 2005-07-07 2007-05-27 Общество с ограниченной ответственностью "Институт рентгеновской оптики" Электрокинетический микронасос
CN1987230A (zh) * 2005-12-20 2007-06-27 苏志祥 气流发生装置
JP2007196316A (ja) 2006-01-25 2007-08-09 Yoshio Kano 流体アクチュエータ
US20070295605A1 (en) * 2006-06-27 2007-12-27 Postech Foundation Micropump controlled by electrocapillary and gas pressures
JP5083751B2 (ja) * 2006-12-01 2012-11-28 学校法人金沢工業大学 電気流体力学ポンプ
KR100800171B1 (ko) 2007-01-15 2008-01-31 건국대학교 산학협력단 마이크로 펌프
KR100884893B1 (ko) 2007-01-26 2009-02-23 광주과학기술원 마이크로 펌프
US20080223596A1 (en) * 2007-03-14 2008-09-18 Ryan Ezell Aqueous-Based Insulating Fluids and Related Methods
JP5085978B2 (ja) * 2007-05-22 2012-11-28 和幸 三井 電気応答流体ポンプ
WO2009015371A2 (en) * 2007-07-25 2009-01-29 University Of Florida Research Foundation Inc. Method and apparatus for efficient micropumping
JP2010063342A (ja) * 2008-09-07 2010-03-18 Kanazawa Inst Of Technology 電気流体力学ポンプならびに電気流体力学ポンプ用電極対ユニット
JP2010090787A (ja) 2008-10-07 2010-04-22 Yoshio Kano 流体アクチュエータ
KR101065614B1 (ko) 2008-11-28 2011-09-20 한국전기연구원 랩온어칩용 마이크로 펌프 및 마이크로 펌프 제조 방법.
JP5473403B2 (ja) 2009-05-25 2014-04-16 キヤノン株式会社 液体駆動装置
US8480377B2 (en) * 2009-08-11 2013-07-09 Arizona Board Of Regents, Acting For And On Behalf Of Northern Arizona University Integrated electro-magnetohydrodynamic micropumps and methods for pumping fluids

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005538853A (ja) * 2002-07-15 2005-12-22 オスモテックス エイエス マイクロチャネル内に電気浸透性の液体移動を誘起するマイクロ流体システムのアクチュエータ
KR20040032591A (ko) * 2002-10-10 2004-04-17 삼성전자주식회사 미소 유량의 제어가 가능한 마이크로 구조체
JP2004291187A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Shimadzu Corp 静電マイクロバルブ及びマイクロポンプ
KR20100103919A (ko) * 2009-03-16 2010-09-29 동아대학교 산학협력단 마이크로 채널형 교류 교번 인가식 유체 혼합기

Also Published As

Publication number Publication date
US20140219823A1 (en) 2014-08-07
EP2695849A4 (en) 2015-07-01
WO2012138035A1 (ko) 2012-10-11
US9726161B2 (en) 2017-08-08
JP2014512793A (ja) 2014-05-22
KR20120113948A (ko) 2012-10-16
EP2695849A1 (en) 2014-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101230247B1 (ko) 마이크로 펌프
JP4419019B2 (ja) マイクロチャネル内に電気浸透性の液体移動を誘起するマイクロ流体システムのアクチュエータ
Hossan et al. Electric field driven pumping in microfluidic device
CN106593831B (zh) 一种非接触式电磁微泵装置
US8425750B2 (en) Fluid structure control device
Özbey et al. Modeling of ferrofluid magnetic actuation with dynamic magnetic fields in small channels
Liu et al. On traveling-wave field-effect flow control for simultaneous induced-charge electroosmotic pumping and mixing in microfluidics: Physical perspectives and theoretical analysis
Yu et al. Design, fabrication, and characterization of a valveless magnetic travelling-wave micropump
Ren et al. Liquid metal droplet-enabled electrocapillary flow in biased alternating electric fields: a theoretical analysis from the perspective of induced-charge electrokinetics
Lian et al. Particle line assembly/patterning by microfluidic AC electroosmosis
JP5448888B2 (ja) 液体混合装置
CN110601497B (zh) 一种交流电渗驱动乙醇行波型微泵及工作方法
JP5550279B2 (ja) 電気浸透可動デバイス
US20100150738A1 (en) Electrohydrodynamic Micropump and Its Use
JP5804785B2 (ja) ポンプ
Azimi et al. Fluid physics around conductive deformable flaps within an induced-charge electrokinetically driven microsystem
KR100767277B1 (ko) 마이크로채널에서 유체의 혼합방법 및 시스템
CN110601496B (zh) 一种交流电渗驱动乙醇非对称型微泵及工作方法
Mruetusatorn et al. Low-voltage dynamic control for DC electroosmotic devices
KR100700227B1 (ko) 마이크로 채널내 전기삼투성 액체 이동을 유도하는마이크로 유체 공학 시스템내 작동기
US20100175998A1 (en) Virtual channel platform
Wu et al. Electrokinetically driven flow control using bare electrodes
Manshadi et al. Induced-charge electrokinetic (ICEK) development and applications in microfluidics
An Automated Droplet Manipulation through Electrowetting on Dielectric for Solid-Phase Oligonucleotide Synthesis
US20220340414A1 (en) Method of assembling mobile micro-machines and a mobile micro-machine

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20110406

PA0201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20120919

Patent event code: PE09021S01D

PG1501 Laying open of application
E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20121227

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20130131

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20130201

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee

Termination category: Default of registration fee

Termination date: 20161209