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KR101226746B1 - 풉 자동 개폐 장치 - Google Patents

풉 자동 개폐 장치 Download PDF

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KR101226746B1
KR101226746B1 KR1020120023029A KR20120023029A KR101226746B1 KR 101226746 B1 KR101226746 B1 KR 101226746B1 KR 1020120023029 A KR1020120023029 A KR 1020120023029A KR 20120023029 A KR20120023029 A KR 20120023029A KR 101226746 B1 KR101226746 B1 KR 101226746B1
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Abstract

본 발명은 반도체 장치를 제조하기 위한 기판을 장착하는 풉에서 기판을 작업자의 수작업 없이 용이하게 개폐할 수 있도록 하기 위한 풉 자동 개폐 장치에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치는, 기판을 장착하는 풉을 고정시키는 평판상의 스테이지, 스테이지의 일단부에 스테이지에 직교하여 연결되고, 상부에 기판을 출입시키기 위한 출입부가 형성된 베이스플레이트, 베이스플레이트의 뒷면에 이동가능하게 배치된 도어연결부재, 도어연결부재의 일단부측에 연결되어 출입부를 개폐하는 도어, 도어연결부재의 타단부측에 연결되어 있는 도어개폐 링크모듈, 도어개폐 링크모듈의 일단부에 동력을 제공하는 승강모터, 도어개폐 링크모듈의 일단부가 상하로 이동되도록 가이드하는 가이드부재 및 도어연결부재의 측면에 형성되어 도어연결부재의 이동을 가이드하는 걸림돌기를 포함하여, 도어개폐 링크모듈이 승강모터로부터 동력을 전달받아 도어연결부재를 이동시킴으로써, 도어를 개폐하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라 작업의 자동화 및 작업의 효율성 향상을 도모할 수 있다.

Description

풉 자동 개폐 장치 {AUTOMATIC OPENING AND CLOSING DEVICE FOR FOUP}
본 발명은 풉 자동 개폐 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 장치를 제조하기 위한 기판을 장착하는 풉(foup)에서 기판을 작업자의 수작업 없이 용이하게 개폐할 수 있고, 작업의 자동화 및 효율성 향상을 위한 풉 자동 개폐 장치에 관한 것이다.
반도체 장치를 제조하기 위해서는, 기판이 여러가지 제조 공정을 거치는 과정이 필요하다. 구체적으로, 식각 장치, 세정 장치, 건조 장치 등을 통하여 기판에 다양한 제조 공정을 진행하게 된다.
일반적으로, 기판들은 랏(lot) 단위로 풉(foup)에 장착되어 이송되고, 이송된 기판들은 낱장 단위로 공정 챔버로 들어가서 상기 제조 공정들을 수행하게 된다.
여기서, 풉에 장착되어 있는 기판을 꺼내기 위해서 풉 개폐부(foup opener)가 결합되는데, 이러한 풉 개폐부는 풉의 커버를 개폐하는 도어로 구성되어 있는 것이 일반적이고, 도어는 풉의 커버를 풉의 개구부가 있는 방향으로 밀어서 풉의 커버와 풉의 개구부를 밀착시키고, 풉의 커버에 있는 손잡이를 돌려서 풉의 개구부를 풉의 커버로 클로즈하게 된다.
그런데, 이와 같이 작업자가 수작업을 통하여 풉의 커버를 개폐하는 경우에는 기판을 꺼낼 때마다 풉의 커버를 손으로 열고 닫아야 하는 불편함이 있다. 이에 따라 작업자가 번거롭게 풉의 커버를 일일히 여닫게 되어 작업 능률이 떨어지고, 또한 직접 손으로 풉의 커버를 밀고 손잡이를 돌려 닫는 과정을 반복 수행하다 보면 풉 개폐부가 쉽게 손상되는 문제점이 발생한다.
또한, 한국공개특허 제2008-0072258호는 풉의 커버를 풉의 개구부가 있는 방향으로 밀고, 플레이트를 그 반대 방향으로 밀어서 안정적인 동작을 통하여 풉의 커버를 개폐하기 위한 기술을 개시하고 있다.
하지만, 상기와 같은 풉의 커버를 개폐하는 방식은, 결국 작업자가 직접 손으로 풉의 커버를 밀어 힘을 들여 열고 닫아야 하는 한계가 있다.
본 발명의 목적은, 작업자가 직접 손으로 풉의 커버를 개폐하지 않고, 동력원을 통하여 자동으로 풉의 커버를 개폐할 수 있도록 하여, 작업자의 작업능률을 향상시키고 작업자의 물리적인 힘으로 인한 풉의 커버의 고장을 방지하는 풉 자동 개폐 장치를 제공하고자 함에 있다.
이와 같은 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 풉 자동 개폐 장치는, 기판을 장착하는 풉을 고정시키는 평판상의 스테이지, 상기 스테이지의 일단부에 상기 스테이지에 직교하여 연결되고, 상부에 기판을 출입시키기 위한 출입부가 형성된 베이스플레이트, 상기 베이스플레이트의 뒷면에 배치되어 상하로 이동가능한 도어연결부재, 상기 도어연결부재의 일단부측에 연결되어 상기 출입부를 개폐하는 도어, 상기 도어연결부재의 타단부측에 연결되어 있는 도어개폐 링크모듈, 상기 도어개폐 링크모듈에 동력을 제공하는 승강모터, 상기 도어개폐 링크모듈의 일부가 상하로 이동되도록 가이드하는 가이드부재 및 상기 도어연결부재의 측면에 형성되어 상기 도어연결부재의 이동을 가이드하는 걸림돌기를 포함하고, 상기 도어개폐 링크모듈은 상기 승강모터로부터 동력을 전달받아 상기 도어연결부재를 이동시킴으로써, 상기 도어를 개폐하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 도어개폐 링크모듈은, 바디부재, 상기 바디부재와 상기 도어연결부재를 연결하는 제1 암부재 및 제2 암부재 및 상기 바디부재에 연결되어 있는 무빙부재를 포함하고, 상기 바디부재에 형성된 축을 중심으로 상기 제1 암부재 및 상기 제2 암부재가 회전 가능하게 상기 바디부재에 결합되어 있고, 상기 도어연결부재에 형성된 축을 중심으로 상기 제1 암부재 및 상기 제2 암부재가 상기 도어연결부재에 회전 가능하게 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치는, 상기 무빙부재의 상기 도어개폐 링크모듈의 반대측 측부는 상기 가이드부재에 접하고 있고, 상기 무빙부재는 상기 승강모터에 의하여 동력을 전달받고, 상기 가이드부재에 의하여 가이드되어 상하로 이동하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치는, 상기 가이드부재에 가이드홈이 형성되어 있고, 상기 도어연결부재의 측면에 형성된 상기 걸림돌기는 상기 가이드홈에 안착하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 도어개폐 링크모듈은, 상기 바디부재 및 상기 제1 암부재를 관통하여 배치된 축 형상의 제1 연결부재 및 상기 바디부재 및 상기 제2 암부재를 관통하여 배치된 축 형상의 제2 연결부재를 포함하고, 상기 제1 암부재는 상기 제1 연결부재를 축으로 하여 회전할 수 있고, 상기 제2 암부재는 상기 제2 연결부재를 축으로 하여 회전할 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 베이스플레이트에는 상기 걸림돌기를 수용할 수 있도록 형성된 안착홈이 형성되어 있고, 상기 베이스플레이트에는 상기 안착홈의 상측에 돌출된 걸림턱이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치는, 상기 출입부가 개방된 상태에서, 상기 무빙부재가 상기 승강모터로부터 동력을 전달받아 상측으로 이동할 때 상기 도어연결부재는 상기 걸림돌기가 상기 베이스플레이트에 접촉됨으로써 가이드되고, 상기 걸림돌기가 상기 걸림턱에 접촉한 이후부터는 상기 걸림돌기는 상기 안착홈에 수용되도록 상기 도어연결부재는 상기 안착홈 측으로 이동하고, 상기 도어는 상기 베이스플레이트의 상기 출입부를 폐쇄하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치는, 상기 출입부가 폐쇄된 상태에서 상기 무빙부재가 상기 승강모터로부터 동력을 전달받아 하측으로 이동할 때 상기 도어연결부재는 상기 걸림돌기가 상기 베이스플레이트에 접촉됨으로써 가이드되고, 상기 걸림돌기가 상기 안착홈에 접촉하여 있는 동안에는 상기 걸림돌기가 상기 안착홈에서 나오도록 상기 도어연결부재는 상기 안착홈 반대측으로 이동하고, 상기 도어는 상기 베이스플레이트의 상기 출입부를 개방하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치는, 상기 걸림돌기가 상기 도어연결부재의 양 측단에 각각 형성되고, 상기 안착홈 및 상기 걸림턱이 상기 베이스플레이트의 양측에 각각 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 풉의 커버를 작업자가 손으로 직접 개폐하지 않고도 자동으로 도어를 개폐하는 것이 가능하여 작업자의 작업능률을 향상시키고 더욱 용이하게 기판을 꺼낼 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 작업자의 물리적인 힘을 이용한 풉의 개폐로 인해 풉의 커버가 고장나는 것을 방지하여, 작업 효율을 최대화함과 동시에 불필요한 시간과 인력 낭비를 최소화 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 배면 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 우측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 배면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 승강 및 하강시의 도어개폐 링크모듈의 구동 단계를 나타내는 도면이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 작동원리를 설명하기 위한 흐름도이다.
본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 3은 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 구성을 나타내는 배면 사시도, 우측면도 및 배면도이다. 이하 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 구성을 설명한다.
본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치는, 기판을 장착하는 풉을 고정시키는 평판상의 스테이지(100), 상기 스테이지(100)의 일단부에 상기 스테이지(100)에 직교하여 연결되고, 상부에 기판을 출입시키기 위한 출입부가 형성된 베이스플레이트(200), 상기 베이스플레이트(200)의 뒷면에 배치되어 상하로 이동가능한 도어연결부재(310a, 310b), 상기 도어연결부재(310a, 310b)의 일단부측에 연결되어 상기 출입부를 개폐하는 도어(300), 상기 도어연결부재(310a, 310b)의 타단부측에 연결되어 있는 도어개폐 링크모듈(400), 상기 도어개폐 링크모듈(400)에 동력을 제공하는 승강모터(600), 상기 도어개폐 링크모듈(400)의 일부가 상하로 이동되도록 가이드하는 가이드부재(500) 및 상기 도어연결부재(310a, 310b)의 측면에 형성되어 상기 도어연결부재(310a, 310b)의 이동을 가이드하는 걸림돌기(430a, 430b)를 포함하고, 상기 도어개폐 링크모듈(400)은 상기 승강모터(600)로부터 동력을 전달받아 상기 도어연결부재(310a, 310b)를 이동시킴으로써, 상기 도어(300)를 개폐할 수 있다.
스테이지(100)는 기판을 장착하는 풉을 고정시킨다. 반도체 장치를 제조하기 위해서는, 기판이 식각 장치, 세정 장치, 건조 장치 등의 다양한 제조 공정을 거치게 되는데, 이 때 기판들은 풉에 장착되어 이송되고, 도 1 내지 도 2에 도시되지 않았으나, 풉은 스테이지(100) 위에 장착되어 그 내부에 기판을 장착한다. 풉은 박스의 형상임이 바람직하며, 풉의 후면은 뚫려있고, 베이스플레이트(200)의 후면이 개구됨으로써 풉 내부에 장착된 기판을 꺼낼 수 있다.
베이스플레이트(200)는 스테이지(100)의 일단부에 평판상의 스테이지(100)에 직교하여 연결되고 상부에 기판을 출입시키기 위한 출입부가 형성된다. 출입부는 기판이 적재된 풉의 위치를 고려하여 베이스플레이트(200)의 상단에 위치함이 바람직하다. 베이스플레이트(200)에 형성된 출입부는 도어(300)가 열릴 때, 베이스플레이트(200)의 뒷면으로 풉에 적재된 기판을 꺼낼 수 있다.
도어연결부재(310a, 310b)는 베이스플레이트(200)의 뒷면에 이동가능하도록 배치된다. 베이스플레이트(200)의 뒷면에 배치된 도어연결부재(310a, 310b)는 승강모터(600) 등의 동력원에 의하여 상하로 이동한다.
도어(300)는 도어연결부재(310a, 310b)의 일단부측에 연결되어 출입부를 개폐한다. 도어(300)는 도어연결부재(310a, 310b)와 일체로 연결되어 도어(300)와 도여연결부재가 함께 승강, 하강 또는 도어(300)를 개폐하기 위하여 스테이지(100) 전면 또는 그 후면으로 이동한다. 도어(300)가 도어연결부재(310a, 310b)와 함께 승강하여 도어(300)가 출입부까지 승강하여 도어(300)가 스테이지(100) 측으로 이동하여 출입부를 닫고, 도어(300)가 닫힌 상태에서 도어연결부재(310a, 310b)와 도어(300)가 스테이지(100) 반대측으로 이동하여 도어(300)가 열린 후 하강하여 출입부를 연다.
도어개폐 링크모듈(400)은 도어연결부재(310a, 310b)에 도어(300)측과 반대측인 타단부측에 연결된다. 도어개폐 링크모듈(400)은 도어연결부재(310a, 310b) 및 도어(300)와 일체화되어 도어 개폐시 함께 일체로 이동한다.
승강모터(600)는 도어개폐 링크모듈(400)에 동력을 제공하며, 베이스플레이트(200)를 기준으로 도어개폐 링크모듈(400)의 반대편에 위치함이 바람직하다. 승강모터(600)는 승강장치(520)를 승강 또는 하강시키는 동력을 제공하고, 승강장치(520)는 벨트에 의하여 상하로 이동하는 것이 바람직하며, 후술할 도어개폐 링크모듈(400)을 통하여 도어(300)를 이동시켜 개폐한다. 또한, 상기 승강모터(600)는 기타 다양한 동력원으로 대체하여 실시 가능함은 물론이다.
가이드부재(500)는 도어개폐 링크모듈(400)의 일부, 구체적으로 무빙부재(480)가 상하로 이동되도록 가이드한다. 가이드부재(500)는 베이스플레이트(200)의 하단부에 형성되며, 도어개폐 링크모듈(400)이 상하로 승강 또는 하강하도록 가이드한다.
도어연결부재(310a, 310b)의 측면에는 도어연결부재(310a, 310b)의 이동을 가이드하는 걸림돌기(430a, 430b)가 형성된다. 걸림돌기(430a, 430b)는 도어연결부재(310a, 310b)의 일측에 형성될 수도 있고, 양측에 모두 형성될 수도 있다. 걸림돌기(430a, 430b)는 도어연결부재(310a, 310b), 도어(300) 및 도어개폐 링크모듈(400)의 승강 또는 하강시 도어연결부재(310a, 310b)와 일체로 이동한다.
도어개폐 링크모듈(400)은 승강모터(600)로부터 동력을 전달받아 도어연결부재(310a, 310b)를 이동시킴으로써 도어(300)를 개폐한다. 즉, 승강모터(600)가 동력을 승강장치(520)에 전달하여 도어개폐 링크모듈(400)을 움직이면 이에 연결된 도어연결부재(310a, 310b) 측면에 형성된 걸림돌기(430a, 430b)에 의해서 가이드되어 상하로 승강 또는 하강하고, 이 때 도어연결부재(310a, 310b)의 일단에 연결된 도어(300)와, 타단에 연결된 도어개폐 링크모듈(400)이 일체로 이동하여, 도어(300)가 출입부를 개폐한다.
본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 도어개폐 링크모듈(400)은 바디부재(440), 상기 바디부재(440)와 상기 도어연결부재(310a, 310b)를 연결하는 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b) 및 상기 바디부재(440)에 연결되어 있는 무빙부재(480)를 포함하고, 상기 바디부재(440)에 형성된 축을 중심으로 상기 제1 암부재(460a, 460b) 및 상기 제2 암부재(470a, 470b)가 회전 가능하게 상기 바디부재(440)에 결합되어 있고, 상기 도어연결부재(310a, 310b)에 형성된 축을 중심으로 상기 제1 암부재(460a, 460b) 및 상기 제2 암부재(470a, 470b)가 상기 도어연결부재(310a, 310b)에 회전 가능하게 결합되어 있다.
도어개폐 링크모듈(400)은 도어연결부재(310a, 310b)에 연결되는 바디부재(440)를 포함한다. 바디부재(440)는 제1 연결부재(490a)와 제2 연결부재(490b)를 연결하여 제1 연결부재(490a)와 제2 연결부재(490b)가 동시에 회전하고 승강 및 하강할 수 있도록 한다.
도어개폐 링크모듈(400)은 제1 암부재(460a, 460b)와 제2 암부재(470a, 470b)를 포함한다. 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)는 바디부재(440)와 도어연결부재(310a, 310b)를 연결한다. 한 쌍의 제1 암부재(460a, 460b) 및 한 쌍의 제2 암부재(470a, 470b)는 각각 서로 평행하게 형성되는 것이 바람직하다. 제1 연결부재(490a)는 한 쌍의 제1 암부재(460a, 460b)를 연결하고, 제2 연결부재(490b)는 한 쌍의 제2 암부재(470a, 470b)를 연결한다. 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)는 도어연결부재(310a, 310b)에 결합되어 도어연결부재(310a, 310b)의 승강시에는 베이스플레이트(200)에 직교하도록 반시계 방향(도 1에서 반시계방향)으로 회전하고, 도어연결부재(310a, 310b)의 하강시에는 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)의 외측면이 아래로 하강하는 방향(도 1에서 시계 방향)으로 회전한다.
도어개폐 링크모듈(400)은 바디부재(440)에 연결되는 무빙부재(480)를 포함한다. 무빙부재(480)는 가이드부재(500)에 형성된 가이드홈(510)을 관통하여 승강장치(520)에 연결된다. 따라서 승강모터(600)의 동력을 승강장치(520) 및 무빙부재(480)를 통하여 바디부재(440)에 전달하여 도어연결부재(310a, 310b)가 도어(300)를 개폐할 수 있도록 이동시킨다.
제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)는 바디부재(440)에 형성된 축을 중심으로 회전가능하도록 바디부재(440)에 결합되고, 도어연결부재(310a, 310b)에 형성된 축을 중심으로 제 1암부재 및 제 2암부재가 도어연결부재(310a, 310b)에 회전 가능하게 결합된다. 따라서 도어연결부재(310a, 310b)의 승강시에 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)의 외측이 시계반대방향으로 회전하면서 베이스플레이트(200)와 수직이 되었을 때 도어연결부재(310a, 310b)가 상승하기 시작한다. 또한 도어연결부재(310a, 310b)의 하강시에 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)의 외측이 시계반대방향으로 회전하면서 도어연결부재(310a, 310b)가 하강한다.
본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치에서, 상기 무빙부재(480)의 상기 도어개폐 링크모듈(400)의 반대측 측부는 상기 가이드부재(500)에 접하고 있고, 상기 무빙부재(480)는 상기 승강모터(600)에 의하여 동력을 전달받고, 상기 가이드부재(500)에 의하여 가이드되어 상하로 이동한다. 따라서, 승강모터(600)의 동력이 무빙부재(480)를 통하여 도어연결부재(310a, 310b)에 전달되어 도어연결부재(310a, 310b)가 승강 또는 하강함에 따라, 도어연결부재(310a, 310b)와 일체로 연결된 도어(300) 및 도어개폐 링크모듈(400)이 동시에 승강 또는 하강한다.
본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 가이드부재(500)에는 가이드홈(510)이 형성되어 있고, 상기 도어연결부재(310a, 310b)에는 상기 가이드홈(510)에 안착하는 상기 걸림돌기(430a, 430b)가 형성되어 있다. 따라서 도어연결부재(310a, 310b)의 상승시, 도어연결부재(310a, 310b)의 측단에 결합된 걸림돌기(430a, 430b)가 안착홈(410a, 410b)에 안착하여 도어연결부재(310a, 310b)의 상승을 멈춤과 동시에 도어(300)가 출입부를 닫는다. 또한, 도어연결부재(310a, 310b)의 하강시, 안착홈(410a, 410b)에 안착된 걸림돌기(430a, 430b)가 밖으로 빠져나오고, 도어연결부재(310a, 310b)가 가이드부재(500)를 타고 하강하여 도어(300)가 출입부를 개구한다.
본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 도어개폐 링크모듈(400)은, 상기 바디부재(440) 및 상기 제1 암부재(460a, 460b)를 관통하여 배치된 축 형상의 제1 연결부재(490a) 및 상기 바디부재(440) 및 상기 제2 암부재(470a, 470b)를 관통하여 배치된 축 형상의 제2 연결부재(490b)를 포함하고, 상기 제1 암부재(460a, 460b)는 상기 제1 연결부재(490a)를 축으로 하여 회전할 수 있고, 상기 제2 암부재(470a, 470b)는 상기 제2 연결부재(490b)를 축으로 하여 회전할 수 있다. 따라서 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)의 회전시 제1 연결부재(490a) 및 제2 연결부재(490b)도 동시에 회전하게 되며, 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)의 승강 또는 하강시 제1연결부재 및 제2 연결부재(490b) 역시 동시에 승강 또는 하강하게 된다.
본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 베이스플레이트(200)에는 상기 걸림돌기(430a, 430b)를 수용할 수 있도록 형성된 안착홈(410a, 410b)이 형성되어 있고, 상기 베이스플레이트(200)에는 상기 안착홈(410a, 410b)의 상측에는 돌출된 걸림턱(420a, 420b)이 형성되어 있다. 따라서 도어연결부재(310a, 310b)의 상승시, 도어연결부재(310a, 310b)의 측단에 결합된 걸림돌기(430a, 430b)가 상승하다가 걸림턱(420a, 420b)에 걸려 안착홈(410a, 410b) 내부로 미끄러져 들어가 안착됨과 동시에 도어(300)가 출입부를 닫는다.
본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치는 상기 출입부가 개방된 상태에서, 상기 무빙부재(480)가 상기 승강모터(600)로부터 동력을 전달받아 상측으로 이동할 때 상기 도어연결부재(310a, 310b)는 상기 걸림돌기(430a, 430b)가 상기 베이스플레이트(200)에 접촉됨으로써 가이드되고, 상기 걸림돌기(430a, 430b)가 상기 걸림턱(420a, 420b)에 접촉하고, 그 이후부터는 상기 걸림돌기(430a, 430b)는 상기 안착홈(410a, 410b)에 수용되도록 상기 도어연결부재(310a, 310b)는 상기 안착홈(410a, 410b) 측으로 이동하고, 상기 도어(300)는 상기 베이스플레이트(200)의 상기 출입부를 폐쇄한다. 또한, 상기 출입부가 폐쇄된 상태에서, 상기 무빙부재(480)가 상기 승강모터(600)로부터 동력을 전달받아 하측으로 이동할 때 상기 도어연결부재(310a, 310b)는 상기 걸림돌기(430a, 430b)가 상기 베이스플레이트(200)에 접촉됨으로써 가이드되고, 상기 걸림돌기(430a, 430b)가 상기 안착홈(410a, 410b)에 접촉하여 있는 동안에는 상기 걸림돌기(430a, 430b)가 상기 안착홈(410a, 410b)에서 나오도록 상기 도어연결부재(310a, 310b)는 상기 안착홈(410a, 410b) 반대측으로 이동하고, 상기 도어(300)는 상기 베이스플레이트(200)의 상기 출입부를 개방한다. 그 이후에 도어연결부재(310a, 310b)는 상기 소정의 위치로부터 하강한다.
본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치는 상기 걸림돌기(430a, 430b)가 상기 도어연결부재(310a, 310b)의 양 측단에 각각 형성되고, 상기 안착홈(410a, 410b) 및 상기 걸림턱(420a, 420b)이 상기 베이스플레이트(200)의 양측에 각각 형성되는 것이 바람직하다.
도 4는 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 승강 및 하강시의 도어개폐 링크모듈의 구동 단계를 나타내는 도면이다.
도어가 출입부를 닫은 상태의 도어개폐 링크모듈은 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)가 베이스플레이트(200)에 수직한 형상으로 고정되어 있다(a 단계).
도어의 열림이 개시될 때, 승강모터의 동력에 의해 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)의 외측이 시계방향으로 회전하기 시작하고, 그와 동시에 걸림돌기(430a, 430b)가 아래쪽 방향으로 당기는 힘에 의하여 안착홈(410a)에서 미끄러지듯 빠져나가기 시작한다(b 단계).
걸림돌기(430a, 430b)가 안착홈(410a)을 완전히 빠져나가 아래쪽으로 하강하기 시작하면 제1 암부재(460a, 460b) 및 제2 암부재(470a, 470b)도 시계방향으로 회전하는 것을 멈춘 상태에서 도어연결부재(310a, 310b)와 함께 하강하고, 그에 따라 도어가 출입구를 완전히 개방한다(c 단계).
도 5 내지 도 7은 본 발명에 따른 풉 자동 개폐 장치의 작동원리를 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5는 도어가 출입부를 닫은 상태에서의 풉 자동 개폐 장치의 측면도이다. 출입부가 닫힌 상태에서 제1 암부재(460a)와 제2 암부재(470a)는 서로 평행한 상태로 베이스플레이트(200)에 수직한 방향으로 정지상태를 유지한다. 걸림돌기(430a)는 안착홈(410a)에 안착된 상태이다.
도 6 내지 도 7은 완전히 닫혀 있던 출입부가 열리는 과정을 도시한다. 승강모터(600)가 작동하여 동력을 제공하고 이에 따라 승강장치(520)가 하강한다. 승강장치(520)의 하강에 따라 승강장치(520)와 연결된 무빙부재(480)가 가이드부재(500)에 형성된 가이드홈(510)을 따라 하강한다. 이와 동시에 무빙부재(480)가 결합된 바디부재가 하강하고, 바디부재의 하강에 따라 바디부재가 연결된 제1 연결부재 및 제2 연결부재가 하강하고, 이에 따라 제1 연결부재가 연결된 제1 암부재(460a) 및 제2 연결부재가 연결된 제2 암부재(470a)가 시계방향으로 회전하고, 그 동력이 도어연결부재(310a, 310b)에 전달되어 도어연결부재(310a, 310b)의 측면에 결합된 걸림돌기(430a)가 안착홈(410a) 밖으로 미끄러지듯 빠져나오기 시작하고, 이 때, 도어연결부재(310a, 310b) 및 도어는 스테이지의 반대측으로 이동한다. 걸림돌기(430a)가 완전히 안착홈(410a) 밖으로 빠져나오면, 도어는 개방되며, 이 때부터 도어연결부재(310a, 310b)는 하강한다. 도어연결부재(310a, 310b)의 하강에 따라 도어연결부재(310a, 310b)의 일단에 연결된 도어가 하강하고 이에 따라 출입부가 개방되기 시작한다.
상기와 같은 과정으로 인하여 수작업으로 작업자가 일일히 도어를 오픈하지 않고, 자동적으로 도어가 개폐되어 풉 내부의 기판을 용이하게 꺼낼 수 있다.
상기와 같이 도면과 명세서에서 최적의 실시예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100: 스테이지 200: 베이스플레이트
300: 도어 310a, 310b: 도어연결부재
400: 도어개폐 링크모듈 410a, 410b: 안착홈
420a, 420b: 걸림턱 430a, 430b: 걸림돌기
440: 바디부재 460a, 460b: 제1 암부재
470a, 470b: 제2 암부재 480: 무빙부재
490a: 제1 연결부재 490b: 제2 연결부재
500: 가이드부재 510: 가이드홈
520: 승강장치 600: 승강모터

Claims (9)

  1. 기판을 장착하는 풉을 고정시키는 평판상의 스테이지;
    상기 스테이지의 일단부에 상기 스테이지에 직교하여 연결되고, 상부에 기판을 출입시키기 위한 출입부가 형성된 베이스플레이트;
    상기 베이스플레이트의 뒷면에 이동가능하게 배치된 도어연결부재;
    상기 도어연결부재의 일단부측에 연결되어 상기 출입부를 개폐하는 도어;
    상기 도어연결부재의 타단부측에 연결되어 있는 도어개폐 링크모듈;
    상기 도어개폐 링크모듈의 일단부에 동력을 제공하는 승강모터;
    상기 도어개폐 링크모듈의 상기 일단부가 상하로 이동되도록 가이드하는 가이드부재; 및
    상기 도어연결부재의 측면에 형성되어 상기 도어연결부재의 이동을 가이드하는 걸림돌기를 포함하고,
    상기 도어개폐 링크모듈은 상기 승강모터로부터 동력을 전달받아 상기 도어연결부재를 이동시킴으로써, 상기 도어를 개폐하는 것을 특징으로 하는 풉 자동 개폐 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 도어개폐 링크모듈은,
    바디부재;
    상기 바디부재와 상기 도어연결부재를 연결하는 제1 암부재 및 제2 암부재; 및
    상기 바디부재에 연결되어 있는 무빙부재를 포함하고,
    상기 바디부재에 형성된 축을 중심으로 상기 제1 암부재 및 상기 제2 암부재가 회전 가능하게 상기 바디부재에 결합되어 있고,
    상기 도어연결부재에 형성된 축을 중심으로 상기 제1 암부재 및 상기 제2 암부재가 상기 도어연결부재에 회전 가능하게 결합되어 있는 풉 자동 개폐 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 무빙부재의 상기 도어개폐 링크모듈의 반대측 측부는 상기 가이드부재에 접하고 있고,
    상기 무빙부재는 상기 승강모터에 의하여 동력을 전달받고, 상기 가이드부재에 의하여 가이드되어 상하로 이동하는 것을 특징으로 하는 풉 자동 개폐 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 가이드부재에 가이드홈이 형성되어 있고, 상기 도어연결부재의 측면에 형성된 상기 걸림돌기는 상기 가이드홈에 안착하는 것을 특징으로 하는 풉 자동 개폐 장치.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 도어개폐 링크모듈은,
    상기 바디부재 및 상기 제1 암부재를 관통하여 배치된 축 형상의 제1 연결부재; 및
    상기 바디부재 및 상기 제2 암부재를 관통하여 배치된 축 형상의 제2 연결부재를 포함하고,
    상기 제1 암부재는 상기 제1 연결부재를 축으로 하여 회전할 수 있고,
    상기 제2 암부재는 상기 제2 연결부재를 축으로 하여 회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 풉 자동 개폐 장치.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 베이스플레이트의 측면에는 상기 걸림돌기를 수용할 수 있도록 형성된 안착홈이 형성되어 있고,
    상기 베이스플레이트에는 상기 안착홈의 상측에 돌출된 걸림턱이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 풉 자동 개폐 장치
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 출입부가 개방된 상태에서, 상기 무빙부재가 상기 승강모터로부터 동력을 전달받아 상측으로 이동할 때 상기 도어연결부재는 상기 걸림돌기가 상기 베이스플레이트에 접촉됨으로써 가이드되고,
    상기 걸림돌기가 상기 걸림턱에 접촉한 이후부터는 상기 걸림돌기는 상기 안착홈에 수용되도록 상기 도어연결부재는 상기 안착홈 측으로 이동하면서, 상기 도어는 상기 베이스플레이트의 상기 출입부를 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 풉 자동 개폐 장치.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 출입부가 폐쇄된 상태에서, 상기 무빙부재가 상기 승강모터로부터 동력을 전달받아 하측으로 이동할 때 상기 도어연결부재는 상기 걸림돌기가 상기 베이스플레이트에 접촉됨으로써 가이드되고,
    상기 걸림돌기가 상기 안착홈에 접촉하여 있는 동안에는 상기 걸림돌기가 상기 안착홈에서 나오도록 상기 도어연결부재는 상기 안착홈 반대측으로 이동하면서, 상기 도어는 상기 베이스플레이트의 상기 출입부를 개방하는 것을 특징으로 하는 풉 자동 개폐 장치.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 걸림돌기가 상기 도어연결부재의 양 측단에 각각 형성되고,
    상기 안착홈 및 상기 걸림턱이 상기 베이스플레이트의 양측에 각각 형성된 것을 특징으로 하는 풉 자동 개폐 장치.
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