KR101201465B1 - 플러시 다이어프램식 압력센서 및 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치 - Google Patents
플러시 다이어프램식 압력센서 및 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 압력센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하우징의 장착부 단부 측에 플러시 다이어프램이 밀봉적으로 결합된 플러시 다이어프램식 압력센서 및 플러시 다이어프램의 보다 기밀한 밀봉결합을 용이하게 하는 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 플러시 다이어프램식 압력센서는 중공부를 가지고, 상기 중공부 내에는 메인회로기판 및 압력소자가 설치되는 하우징; 상기 하우징의 일단에 돌출되고, 외주면에 나사부가 형성된 장착부; 및 상기 하우징의 타단에 설치되는 커넥터;를 포함하고, 상기 장착부의 단면에는 내측으로 함몰된 압력검출챔버가 형성되며, 상기 압력검출챔버는 상기 장착부의 단부에 결합되는 플러시 다이어프램에 의해 밀봉되고, 상기 압력검출챔버에는 압력검출홀이 소통되게 형성되고, 상기 압력검출홀은 상기 하우징의 중공부로 연장되며, 상기 압력검출챔버 및 압력검출홀 내에는 압력전달매체가 충전되고, 상기 압력전달매체는 상기 압력소자와 직접적으로 접촉하도록 구성되며, 상기 압력검출챔버의 타측에는 하나 이상의 기포제거용 홀이 형성되고, 상기 기포제거용 홀은 상기 하우징의 중공부로 연장되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 플러시 다이어프램식 압력센서는 중공부를 가지고, 상기 중공부 내에는 메인회로기판 및 압력소자가 설치되는 하우징; 상기 하우징의 일단에 돌출되고, 외주면에 나사부가 형성된 장착부; 및 상기 하우징의 타단에 설치되는 커넥터;를 포함하고, 상기 장착부의 단면에는 내측으로 함몰된 압력검출챔버가 형성되며, 상기 압력검출챔버는 상기 장착부의 단부에 결합되는 플러시 다이어프램에 의해 밀봉되고, 상기 압력검출챔버에는 압력검출홀이 소통되게 형성되고, 상기 압력검출홀은 상기 하우징의 중공부로 연장되며, 상기 압력검출챔버 및 압력검출홀 내에는 압력전달매체가 충전되고, 상기 압력전달매체는 상기 압력소자와 직접적으로 접촉하도록 구성되며, 상기 압력검출챔버의 타측에는 하나 이상의 기포제거용 홀이 형성되고, 상기 기포제거용 홀은 상기 하우징의 중공부로 연장되는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 압력센서에 관한 것으로, 하우징의 장착부 단부 측에 플러시 다이어프램이 밀봉적으로 결합된 플러시 다이어프램식 압력센서 및 플러시 다이어프램의 보다 기밀한 밀봉결합을 용이하게 하는 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치에 관한 것이다.
널리 주지된 바와 같이, 압력센서는 각종 압력을 측정하는 데 이용되는 측정기구의 일종이다.
압력센서는 자동차, 화학설비, 반도체 제조설비 등에서, 유체가 통과하는 유로 또는 밸브측에 설치되어 유체의 압력을 측정하는 데 주로 많이 이용되며, 예컨대 자동차의 매니폴드 압력, 엔진 유압, 연료전지 차량의 수소가스 또는 공기의 압력, 소음기 내의 배기가스 압력, 그외 기타 일반 산업용 압력계 등과 같이 저압에서 고압에 이르기까지 넓은 압력 범위를 고정밀도로 측정하는 데 사용된다.
한편, 이러한 압력센서에는 다양한 종류가 있으며, 이 중에서 플러시 다이어프램식 압력센서는 센서하우징의 압력도입구 측에 플러시 다이어프램(flush diaphragm)이 밀봉적으로 설치된 것으로, 센서하우징 내에는 압력검출챔버가 형성되며, 이 압력검출챔버 내에는 오일 등과 같은 압력전달매체가 충전된 구조로 구성되어 있다. 이러한 플러시 다이어프램식 압력센서는 플러시 다이어프램이 외부 압력에 반응하면 압력전달매체가 압력소자측으로 압력을 전달함으로써 외부 압력을 검출 내지 측정하도록 구성된다.
그리고, 플러시 다이어프램이 0.03mm 정도의 얇은 금속박판으로 주로 구성되고, 이러한 플러시 다이어프램의 가장자리가 하우징의 일단에 용접을 통해 밀봉적으로 결합되도록 구성된다.
하지만, 종래의 플러시 다이어프램는 그 두께가 매우 얇아 용접의 균일성 내지 용접 품질이 극히 낮았고, 이로 인해 압력전달매체의 누설이 쉽게 발생하여 압력측정의 정밀성이 극히 단점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 플러시 다이어프램의 용접 시에 균일하고 기밀한 밀봉성을 확보함과 더불어 그 용접품질을 대폭 향상시킬 수 있는 플러시 다이어프램식 압력센서 및 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면은 플러시 다이어프램식 압력센서로서,
중공부를 가지고, 상기 중공부 내에는 메인회로기판 및 압력소자가 설치되는 하우징;
상기 하우징의 일단에 돌출되고, 외주면에 나사부가 형성된 장착부; 및
상기 하우징의 타단에 설치되는 커넥터;를 포함하고,
상기 장착부의 단면에는 내측으로 함몰된 압력검출챔버가 형성되며, 상기 압력검출챔버는 상기 장착부의 단부에 결합되는 플러시 다이어프램에 의해 밀봉되고,
상기 압력검출챔버에는 압력검출홀이 소통되게 형성되고, 상기 압력검출홀은 상기 하우징의 중공부로 연장되며,
상기 압력검출챔버 및 압력검출홀 내에는 압력전달매체가 충전되고, 상기 압력전달매체는 상기 압력소자와 직접적으로 접촉하도록 구성되며,
상기 압력검출챔버의 타측에는 하나 이상의 기포제거용 홀이 형성되고, 상기 기포제거용 홀은 상기 하우징의 중공부로 연장되는 것을 특징으로 한다.
상기 압력검출홀은 상기 장착부 및 하우징의 중심부를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 하우징은 제1 및 제2 하우징이 상호 조립가능하게 결합되고, 상기 장착부는 상기 제1하우징의 일단에 돌출되며, 상기 커넥터는 제2하우징측에 결합되는 것을 특징으로 한다.
상기 플러시 다이어프램의 가장자리측에는 결합용 와셔가 부착된 상태에서 상기 장착부의 단부에 용접을 통해 결합되며, 상기 결합용 와셔의 가장자리에는 절곡부가 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 플러시 다이어프램의 가장자리에는 절곡부가 형성되고, 상기 플러시 다이어프램의 절곡부가 상기 장착부의 단부 외주면 및 상기 플러시 다이어프램의 가장자리에 밀착된 상태로 용접되는 것을 특징으로 한다.
상기 플러시 다이어프램의 가장자리측에 결합용 와셔를 부착시킨 상태로 상기 플러시 다이어프램의 절곡부를 상기 장착부의 단부 외주면에 용접되는 것을 특징으로 한다.
상기 압력소자는 상기 메인회로기판의 이면에 설치되고, 상기 메인회로기판의 압력소자가 인접한 부분에는 관통공이 형성되며, 상기 관통공을 통해 상기 압력소자의 일면은 상기 압력전달매체와 직접적으로 접촉하고, 상기 압력소자의 반대면에는 커넥터의 전극부재측에 와이어본딩을 통해 접속되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면은 플러시 다이어프램을 장착부측에 기밀하게 결합하기 위한 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치로서,
제1 및 제2 프레임과, 상기 제1 및 제2 프레임을 연결하는 연결플레임과, 상기 제1 및 제2 프레임 사이에 설치되는 하나 이상의 가이드봉을 가진 고정프레임;
상기 고정프레임의 가이드봉을 따라 이동가능하게 설치된 가동프레임;
플러시 다이어프램식 압력센서가 척킹되는 척킹부재; 및
상기 척킹부재를 회전시키는 구동모터;를 포함하고,
상기 척킹부재는 상기 장착블록 내에 회전가능하게 지지되도록 설치되며, 상기 장착블록은 상기 고정프레임의 제2프레임측에 설치되고,
상기 가동프레임의 일면 중앙부에는 가압부재가 설치되며, 상기 가동프레임의 타면에는 하나 이상의 탄성부재가 설치되고, 상기 탄성부재에 의해 상기 가동프레임은 상기 고정프레임의 제2프레임 및 척킹부재를 향해 탄성적으로 바이어스됨으로써 상기 가압부재는 상기 플러시 다이어프램식 압력센서의 선단측으로 끼워진 플러시 다이어프램 및/또는 결합용 와셔를 상기 하우징의 장착부 측으로 가압하는 것을 특징으로 한다.
상기 구동모터는 브라켓을 통해 상기 고정프레임의 제2프레임측에 설치되고, 상기 구동모터의 출력축은 상기 척킹부재의 후방측에 연결되는 것을 특징으로 한다.
이상과 같은 본 발명에 의하면, 플러시 다이어프램의 가장자리측에 절곡부를 구성함과 더불어 결합용 와셔를 플러시 다이어프램의 가장자리측에 부착함에 따라 플러시 다이어프램의 용접 시에 균일하고 기밀한 밀봉성을 확보함과 더불어 그 용접품질을 대폭 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 압력소자의 반대면이 압력검출홀과 직접 접촉하지 않도록 구성하고, 압력검출홀과 접촉하지 않는 압력소자의 반대면에 와이어본딩이 접속됨에 따라 와이어본딩의 단선 가능성을 최소화할 수 있고, 이를 통해 센서의 출력안전성 및 절연특성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
그리고, 본 발명은 압력검출챔버 측에 기포제거용 홀을 형성함에 따라 압력검출챔버 및 압력검출홀 내에서 기포를 완전히 제거할 수 있고, 이를 통해 온도변화에 따라 센서의 출력값 변동을 방지하여 압력 검출의 측정정밀도를 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플러시 다이어프램식 압력센서를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플러시 다이어프램식 압력센서를 도시한 측단면도이다.
도 3은 도 2의 화살표 A부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 4는 도 3의 대안적인 실시예를 도시한 단면도이다.
도 5는 도 3의 또 다른 대안적인 실시예를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치를 도시한 사시도이다.
도 7은 도 6의 지그장치를 도시한 측면도이다.
도 8은 도 7의 지그장치에서 가동프레임이 탄성바이어스된 상태를 도시한 작동상태도이다.
도 9는 도 8의 화살표 B부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플러시 다이어프램식 압력센서를 도시한 측단면도이다.
도 3은 도 2의 화살표 A부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 4는 도 3의 대안적인 실시예를 도시한 단면도이다.
도 5는 도 3의 또 다른 대안적인 실시예를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치를 도시한 사시도이다.
도 7은 도 6의 지그장치를 도시한 측면도이다.
도 8은 도 7의 지그장치에서 가동프레임이 탄성바이어스된 상태를 도시한 작동상태도이다.
도 9는 도 8의 화살표 B부분을 확대하여 도시한 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플러시 다이어프램식 압력센서를 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 플러시 다이어프램식 압력센서(100)는 하우징(10), 상기 하우징(10)의 일단에 구비된 장착부(20), 상기 하우징(10)의 타단에 구비된 커넥터(30)를 포함한다.
하우징(10)은 그 내부에 중공부(15)가 형성되고, 이 중공부(15) 내에는 메인회로기판(13) 및 압력소자(14)가 설치되어 있다.
한편, 하우징(10)은 중공부(15)내의 메인회로기판(13), 압력소자(14) 등의 설치 및 조립을 용이하게 할 수 있도록 제1 및 제2 하우징(11, 12)이 상호 조립가능하게 결합되도록 구성될 수 있다.
제1하우징(11)과 제2하우징(12)이 서로 결합되는 부분에는 제1결합부(11a) 및 제2결합부(12a)가 각각 형성되고, 특히 제1하우징(11)에는 제1결합부(11a)가 형성되며, 제2하우징(12a)의 하단 측에 제2결합부(12a)가 형성된다. 이에 제1하우징(11)의 제1결합부(11a) 및 제2하우징(12)의 제2결합부(12a)는 나사결합된 후에 레이저용접 등을 통해 밀봉적으로 결합될 수 있다.
제1하우징(11)은 그 외주면에 복수의 평탄면(11b)이 원주방향으로 연결됨으로써 육각기둥, 오각기둥 등과 같은 다각기둥 형상으로 형성될 수 있다. 즉, 제1하우징(11)은 육각볼드 또는 오각 볼트 등과 같은 체결용 볼트의 헤드와 유사한 형상으로 형성될 수 있다. 이에 의해, 제1하우징(11)의 평탄면(11b)들에 스패너, 렌치 등을 끼워 회전시킴으로써 제1하우징(11)을 간편하게 설치할 수 있다.
제1하우징(11) 및 제2하우징(12) 각각은 그 내부에 중공부를 가지고, 제1 및 제2 하우징(11, 12)의 상호 결합에 의해 하우징(10)은 그 내부에 중공부(15)를 가지며, 하우징(10)의 중공부(15)는 커넥터(30)의 조립에 의해 마감된다. 이러한 하우징(10)의 중공부(15)에는 메인회로기판(13), 메인회로기판(13)측에 실장된 압력소자(14), 메인회로기판(13)으로부터 이격되어 접속되는 신호처리용 회로기판(16)가 설치될 수 있다.
커넥터(30)는 하우징(10)의 타단 즉, 제2하우징(12)의 장착공간(12b)에 끼움결합될 수 있고, 이 커넥터(30)와 제2하우징(12)의 연결부분에는 실리콘 등과 같은 밀봉재에 의해 밀봉처리될 수 있다.
커넥터(30) 내에는 복수의 터미널단자(31)가 배치되고, 각 터미널단자(31)에는 전극부재(32)가 개별적으로 접속되며, 각 전극부재(32)는 와이어본딩(33)을 통해 압력소자(14)측에 접속되어 있다.
제1하우징(11)의 일단에는 장착부(20)가 돌출되어 형성되고, 이 장착부(20)는 제1하우징(11)에 일체로 형성된다. 장착부(20)는 그 외주면에 나사부(21)가 형성된다. 이러한 장착부(20)는 그 나사부(21)가 압력을 검출 내지 측정하기 위한 각종 유체가 통과하는 파이프 또는 블록 측에 나사결합되고, 나사부(21)의 일측에는 오링 등과 같은 밀봉부재(22)가 구비되며, 이 밀봉부재(22)에 의해 장착부(20)는 파이프 또는 블록 측에 밀봉적으로 장착될 수 있다.
장착부(20)의 단면에는 내측으로 함몰된 압력검출챔버(41)가 형성되고, 이 압력검출챔버(41)는 장착부(20)의 단부에 결합되는 플러시 다이어프램(25)에 의해 밀봉될 수 있다.
그리고, 압력검출챔버(41)에는 압력검출홀(42)이 소통되게 형성되고, 이 압력검출홀(42)은 하우징(10)의 중공부(15)로 연장된다. 이에 압력검출홀(42)은 제1하우징(11)의 내에 설치되는 메인회로기판(13)과 소통할 수 있다. 압력검출챔버(41)와 압력검출홀(42) 내에는 실리콘 오일 등과 같은 압력전달매체(45)가 충전되어 있고, 이 압력전달매체(45)는 플러시 다이어프램(25)이 외부의 압력에 의해 반응할 경우 그 압력을 메인회로기판(13)의 압력소자(14)측으로 전달하는 역할을 한다. 한편, 압력검출홀(42)은 다른 직경을 가진 제1홀(42a) 및 제2홀(42b)이 연결되어 구성될 수도 있다.
바람직한 실시예에 따르면, 압력검출홀(42)은 장착부(20) 및 제1하우징(11)의 중심부를 관통하여 형성된다.
압력소자(14)는 후술하는 압력전달매체(45)에 의해 외부 압력을 측정하도록 구성된다. 특히, 압력소자(14)는 메인회로기판(13)의 이면에 전기적으로 접속되도록 설치되고, 압력소자(14)는 압력전달매체(45)와 직접 접촉할 경우 압력에 대한 반응성 및 측정의 정밀도가 향상될 수 있으므로, 메인회로기판(13)의 압력소자(14)에 인접한 부분에는 관통공(13a)이 형성되며, 이에 압력소자(14)는 관통공(13a)을 통해 후술하는 압력전달매체(45)와 직접적으로 접촉함으로써 신속한 응답속도 및 정밀한 압력센싱을 구현할 수 있다. 즉, 압력소자(14)는 메인회로기판(13)의 관통공(13a)을 통해 압력전달매체(45)와 직접적으로 접촉하도록 구성된다.
특히, 본 발명에 의하면, 도 2와 같이 압력소자(14)의 일면은 압력검출홀(41) 내의 압력전달매체(45)와 메인회로기판(13)의 관통공(13a)을 통해 직접 접촉하고, 압력소자(14)의 반대면은 압력검출홀(41)과 직접 접촉하지 않도록 구성하며, 압력검출홀(41)과 접촉하지 않는 압력소자(14)의 반대면에 와이어본딩(33)이 접속됨에 따라 와이어본딩(33)의 단선 가능성을 최소화할 수 있고, 이를 통해 센서의 출력안전성 및 절연특성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
한편, 압력전달매체(45)를 압력검출챔버(41)와 압력검출홀(42) 내로 주입하는 과정에서 압력검출챔버(41) 및 압력검출홀(42) 내에서 기포가 완전히 제거되지 않는 경우가 발생할 수 있다. 이와 같이, 압력검출챔버(41) 및 압력검출홀(42) 내에 기포가 완전히 제거되지 않을 경우 온도변화에 따라 센서의 출력값 변동이 심하게 발생할 수 있고, 이로 인해 압력 검출의 측정정밀도가 현저히 저하될 수 있다. 이에, 본 발명은 압력검출챔버(41)의 타측에 하나 이상의 기포제거용 홀(43)이 소통되게 형성될 수 있고, 기포제거용 홀(43)은 하우징(10)의 중공부(15)로 연장된다. 이러한 기포제거용 홀(43)을 통해 압력검출챔버(41) 및 압력검출홀(42) 내에 압력전달매체(45)가 주입되는 과정에서 발생하는 기포를 제거할 수 있다. 기포의 제거가 완료된 후에는 기포제거용 홀(43)의 타단을 마감캡(미도시)에 의해 폐쇄할 수 있다. 이러한 기포제거용 홀(43)은 서로 다른 직경을 가진 제1홀(43a), 제2홀(43b), 제3홀(43c)이 연결되어 구성될 수도 있다.
플러시 다이어프램(25)은 0.03mm 정도의 얇은 금속박막으로 구성될 수 있고, 그 표면에 복수의 돌출부(25a)들이 동심원 구조로 형성될 수 있다. 특히, 플러시 다이어프램(25)은 외부 압력에 반응하여 그 내측의 압력전달매체(45)측으로 압력상태를 전달함과 더불어 압력검출챔버(41) 및 압력검출홀(42)를 밀봉시키는 역할을 한다. 이에 따라, 플러시 다이어프램(25)은 장착부(20)의 단부에 밀봉적으로 결합될 필요가 있으며, 이에 도 3과 같이 플러시 다이어프램(25)의 가장자리 측에 결합용 와셔(26)를 부착시킨 상태에서 용접함으로써 플러시 다이어프램(25)의 용접 균일성 및 용접품질의 향상을 도모할 수 있다. 특히, 결합용 와셔(26)는 그 가장자리에 절곡부(26a)가 형성되고, 이 절곡부(26a)가 장착부(20)의 단부 외주면과 플러시 다이어프램(20)의 가장자리에 기밀하게 밀착된 상태에서 용접됨으로써 플러시 다이어프램(25)의 밀봉 결합성을 대폭 향상시킬 수 있다.
대안적인 실시예에 따르면, 도 4와 같이 플러시 다이어프램(25)의 가장자리에 절곡부(25b)가 형성되고, 플러시 다이어프램(25)의 절곡부(25b)가 장착부(20)의 단부 외주면과 플러시 다이어프램(25)의 가장자리에 기밀하게 밀착된 상태에서 용접됨으로써 플러시 다이어프램(25)의 밀봉 결합성을 대폭 향상시킬 수 있다.
또 다른 대안적인 실시예에 따르면, 도 5와 같이 플러시 다이어프램(25)의 가장자리에 절곡부(25b)가 형성되고, 이 절곡부(25b)가 장착부(20)의 단부 외주면과 플러시 다이어프램(20)의 가장자리에 기밀하게 밀착되며, 플러시 다이어프램(25)의 가장자리 측에 결합용 와셔(26)를 부착시킨 상태에서 용접함으로써 플러시 다이어프램(25)의 용접 균일성 및 용접품질을 더욱 향상시킬 수 있다.
도 6 내지 도 9는 본 발명에 의한 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치를 도시한다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치(200)는 고정프레임(210), 고정프레임(210) 내에 이동가능하게 설치된 가동프레임(220), 플러시 다이어프램식 압력센서(100)가 척킹되는 척킹부재(230), 척킹부재(230)를 회전시키는 구동모터(240)를 포함한다.
고정프레임(210)은 상호 마주보게 배치된 제1 및 제2 프레임(211, 212), 제1 및 제2 프레임(211, 212)을 연결하는 연결프레임(213)으로 구성되고, 제1 및 제2 프레임(211, 212) 사이에는 하나 이상의 가이드봉(215)이 설치된다.
가동프레임(220)은 고정프레임(210)의 가이드봉(215)을 따라 이동가능하게 설치되고, 가동프레임(220)의 일면 중앙부에는 가압부재(250)가 설치된다. 가동프레임(220)의 타면에는 하나 이상의 탄성부재(221)가 설치되고, 탄성부재(221)는 가동프레임(220)의 타면과 제1프레임(211) 사이에 설치됨으로써 가동프레임(220)을 고정프레임(210)의 제2프레임(212) 및 척킹부재(230)를 향해 탄성적으로 바이어스한다.
척킹부재(230)는 장착블록(235) 내에 회전가능하게 지지되도록 설치되고, 장착블록(235)은 고정프레임(210)의 제2프레임(212)측에 설치된다. 척킹부재(230)의 선단측에는 척킹홈(미도시)이 형성되며, 이 척킹홈 측에 플러시 다이어프램식 압력센서(100)가 견고하게 끼워져 척킹된다.
구동모터(240)는 브라켓(245)을 통해 고정프레임(210)의 제2프레임(212)측에 견고하게 설치된다. 구동모터(240)의 출력축(241)은 척킹부재(230)의 후방측에 커플러 등을 통해 연결되고, 이러한 구동모터(240)의 구동에 의해 척킹부재(230) 및 척킹부재(230)측에 척킹된 플러시 다이어프램식 압력센서(100)는 함께 회전구동한다.
한편, 가동프레임(220)이 탄성부재(221)에 의해 탄성적으로 바이어스됨에 따라 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 가동프레임(220)의 가압부재(250)는 척킹부재(230)측으로 편향되고, 이에 가압부재(250)는 플러시 다이어프램식 압력센서(100)의 선단측으로 끼워진 플러시 다이어프램(25) 및/또는 결합용 와셔(26)를 하우징(10)의 장착부(20)측으로 가압한다. 이와 같이 가압부재(250)가 플러시 다이어프램(25) 및/또는 결합용 와셔(26)를 가압하는 상태에서 구동모터(240)를 구동시키면 척킹부재(230) 및 플러시 다이어프램식 압력센서(100)는 함께 회전하고, 이렇게 회전하는 플러시 다이어프램식 압력센서(100)의 플러시 다이어프램(25) 및/또는 결합용 와셔(26)를 하우징(10)의 장착부(20)측에 레이저 용접시킨다.
이러한 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치(200)를 통해 플러시 다이어프램(25) 및/또는 결합용 와셔(26)가 하우징(10)의 돌출부(20)측에 균일하게 용접됨으로써 그 용접품질이 대폭 향상되고, 이를 통해 압력전달매체(45)의 누설이 효과적으로 방지될 수 있다.
10: 하우징 11, 12: 제1 및 제2 하우징
20: 장착부 30: 커넥터
100: 플러시 다이어프램식 압력센서
200: 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치
210: 고정프레임 220: 가동프레임
230: 척킹부재 240: 구동모터
20: 장착부 30: 커넥터
100: 플러시 다이어프램식 압력센서
200: 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치
210: 고정프레임 220: 가동프레임
230: 척킹부재 240: 구동모터
Claims (9)
- 중공부를 가지고, 상기 중공부 내에는 메인회로기판 및 압력소자가 설치되는 하우징;
상기 하우징의 일단에 돌출되고, 외주면에 나사부가 형성된 장착부; 및
상기 하우징의 타단에 설치되는 커넥터;를 포함하고,
상기 장착부의 단면에는 내측으로 함몰된 압력검출챔버가 형성되며, 상기 압력검출챔버는 상기 장착부의 단부에 결합되는 플러시 다이어프램에 의해 밀봉되고,
상기 압력검출챔버에는 압력검출홀이 소통되게 형성되고, 상기 압력검출홀은 상기 하우징의 중공부로 연장되며,
상기 압력검출챔버 및 압력검출홀 내에는 압력전달매체가 충전되고, 상기 압력전달매체는 상기 압력소자와 직접적으로 접촉하도록 구성되며,
상기 압력검출챔버의 타측에는 하나 이상의 기포제거용 홀이 형성되고, 상기 기포제거용 홀은 상기 하우징의 중공부로 연장되는 것을 특징으로 하는 플러시 다이어프램식 압력센서. - 제1항에 있어서,
상기 압력검출홀은 상기 장착부 및 하우징의 중심부를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 플러시 다이어프램식 압력센서. - 제1항에 있어서,
상기 하우징은 제1 및 제2 하우징이 상호 조립가능하게 결합되고, 상기 장착부는 상기 제1하우징의 일단에 돌출되며, 상기 커넥터는 제2하우징측에 결합되는 것을 특징으로 하는 플러시 다이어프램식 압력센서. - 제1항에 있어서,
상기 플러시 다이어프램의 가장자리측에는 결합용 와셔가 부착된 상태에서 상기 장착부의 단부에 용접을 통해 결합되며, 상기 결합용 와셔의 가장자리에는 절곡부가 형성되는 것을 특징으로 하는 플러시 다이어프램식 압력센서. - 제1항에 있어서,
상기 플러시 다이어프램의 가장자리에는 절곡부가 형성되고, 상기 플러시 다이어프램의 절곡부가 상기 장착부의 단부 외주면 및 상기 플러시 다이어프램의 가장자리에 밀착된 상태로 용접되는 것을 특징으로 하는 플러시 다이어프램식 압력센서. - 제5항에 있어서,
상기 플러시 다이어프램의 가장자리측에 결합용 와셔를 부착시킨 상태로 상기 플러시 다이어프램의 절곡부를 상기 장착부의 단부 외주면에 용접되는 것을 특징으로 하는 플러시 다이어프램식 압력센서. - 제1항에 있어서,
상기 압력소자는 상기 메인회로기판의 이면에 설치되고, 상기 메인회로기판의 압력소자가 인접한 부분에는 관통공이 형성되며, 상기 관통공을 통해 상기 압력소자의 일면은 상기 압력전달매체와 직접적으로 접촉하고, 상기 압력소자의 반대면에는 커넥터의 전극부재측에 와이어본딩을 통해 접속되는 것을 특징으로 하는 플러시 다이어프램식 압력센서. - 제1 및 제2 프레임과, 상기 제1 및 제2 프레임을 연결하는 연결플레임과, 상기 제1 및 제2 프레임 사이에 설치되는 하나 이상의 가이드봉을 가진 고정프레임;
상기 고정프레임의 가이드봉을 따라 이동가능하게 설치된 가동프레임;
플러시 다이어프램식 압력센서가 척킹되는 척킹부재; 및
상기 척킹부재를 회전시키는 구동모터;를 포함하고,
상기 척킹부재는 장착블록 내에 회전가능하게 지지되도록 설치되며, 상기 장착블록은 상기 고정프레임의 제2프레임측에 설치되고,
상기 가동프레임의 일면 중앙부에는 가압부재가 설치되며, 상기 가동프레임의 타면에는 하나 이상의 탄성부재가 설치되고, 상기 탄성부재에 의해 상기 가동프레임은 상기 고정프레임의 제2프레임 및 척킹부재를 향해 탄성적으로 바이어스됨으로써 상기 가압부재는 상기 플러시 다이어프램식 압력센서의 선단측으로 끼워진 플러시 다이어프램 및/또는 결합용 와셔를 가압하는 것을 특징으로 하는 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치. - 제8항에 있어서,
상기 구동모터는 브라켓을 통해 상기 고정프레임의 제2프레임측에 설치되고, 상기 구동모터의 출력축은 상기 척킹부재의 후방측에 연결되는 것을 특징으로 하는 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치.
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