KR101182267B1

KR101182267B1 - 세정 장치

Info

Publication number: KR101182267B1
Application number: KR1020100067090A
Authority: KR
Inventors: 황인석
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2010-07-12
Filing date: 2010-07-12
Publication date: 2012-09-12
Anticipated expiration: 2030-07-12
Also published as: CN102332538B; JP2012020277A; US20120006677A1; CN102332538A; JP5864109B2; KR20120006390A; US8603306B2

Abstract

세정 정치는, 세정액이 설정된 높이만큼 채워진 세정액 탱크와, 상기 세정액 탱크의 내부에 구비되는 마이너스 전극과, 유기 발광 표시 장치 제조용 메탈 마스크가 일측에 장착되고, 상기 메탈 마스크가 상기 마이너스 전극에 접촉되는 것을 유도하는 메탈 지그와, 상기 메탈 마스크와 설정된 간격을 두고 상기 세정액 탱크의 내부에 설치되는 플러스 전극 및 상기 마이너스 전극과 상기 플러스 전극에 전기적으로 연결되는 정류 장치를 포함한다.

Description

세정 장치{CLEANING DEVICE}

본 발명은 세정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정 대상물에 부착된 이물질을 제거하는 세정 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 유기 발광 표시 장치에서 유기 발광 소자를 위한 유기물층을 형성할 때에는, 메탈 마스크를 사용한 증착 공정이 이용되고 있다.

양질의 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는, 메탈 마스크의 세정이 중요한데, 이는 메탈 마스크 표면에 주위 환경에서 발생된 오염 입자나 증착 공정 중에 도포된 유기물이 완전히 세정되지 못하고 남게 되면, 소망하는 유기물의 증착 공정이 제대로 이루어지지 못해 생산 수율에 영향을 줄 수 있기 때문이다.

본 발명은 세정 대상물을 효율적으로 세정할 수 있는 세정 장치를 제공한다.

본 발명의 실시예에 따른 세정 장치는, 세정액이 설정된 높이만큼 채워진 세정액 탱크와, 상기 세정액 탱크의 내부에 구비되는 마이너스 전극과, 유기 발광 표시 장치 제조용 메탈 마스크가 일측에 장착되고, 상기 메탈 마스크가 상기 마이너스 전극에 접촉되는 것을 유도하는 메탈 지그와, 상기 메탈 마스크와 설정된 간격을 두고 상기 세정액 탱크의 내부에 설치되는 플러스 전극 및 상기 마이너스 전극과 상기 플러스 전극에 전기적으로 연결되는 정류 장치를 포함한다.

상기 세정 장치는, 상기 세정액 탱크의 하부에 설치되어, 상기 정류 장치에서 공급된 마이너스 전압을 상기 마이너스 전극으로 전달하는 마이너스 부스바 및 상기 마이너스 부스바에 설치되어 상기 마이너스 전극과 접촉되는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.

상기 메탈 지그의 상단에는 상기 세정액 탱크의 일측에 걸쳐지는 걸림바가 연결될 수 있다.

상기 세정 장치는, 상기 메탈 지그를 설정된 위치로부터 수평 및 수직 이동하여, 상기 세정액 탱크의 상부에 형성된 입구부를 통해서 상기 세정액 탱크 내부로 로딩 및 언로딩하는 로봇과, 상기 정류 장치와 상기 로봇을 설정된 프로그램에 의해서 원격으로 제어하는 원격 제어장치 및 상기 정류 장치와 상기 원격 제어장치의 상태를 표시하는 표시 장치를 더 포함할 수 있다.

상기 플러스 전극은 상기 메탈 지그를 중심에 두고 상기 메탈 지그와 간격을 두면서 상기 세정액 탱크 내면에 복수로 설치되고, 상기 메탈 마스크와 마주하여 배치될 수 있다.

상기 세정 장치는, 상기 세정액 탱크의 상부 입구를 덮는 커버를 더 포함할 수 있다. 상기 커버에는 상기 세정액 탱크에서 발생되는 가스를 외부로 배출하는 배기 라인이 연결되고, 상기 배기 라인에는 상기 배기 라인을 지나는 가스의 농도를 감지하는 가스 농도계가 설치될 수 있다.

상기 가스 농도계는 수소의 농도를 감지하는 수소 농도계일 수 있다.

상기 메탈 마스크와 상기 메탈 지그 사이에는 절연부재가 개재될 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 세정 장치에 의하면, 마이너스 전극에 세정 대상물을 접촉시킨 상태에서 메탈 마스크에 대한 세정을 양호하게 실시할 수 있다.

더욱이, 로봇을 이용하여 세정액 탱크의 설정된 위치 즉, 세정조의 하부에 설치된 마이너스 부스바에 메탈 마스크를 용이하게 로딩할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 개략적인 내부 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 전체적인 시스템 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 내부 측면도 및 그 일부 상세도이다.
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 내부 정면도이다.
도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 측면도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

본 발명의 실시예를 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계 없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용한다.

또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 각 구성의 크기 및 두께를 임의로 나타냈으므로, 본 발명이 이에 한정되지 않는다.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.

도 1을 참조하면, 세정 장치는 플러스 전극(140), 세정 대상물인 메탈 마스크(100), 세정액(120), 마이너스 부스바(150), 탄성 부재(170), 마이너스 전극(180)이 수용되는 세정액 탱크(130) 및 플러스 전극(140)과 마이너 스전극(18)에 전기적으로 연결된 정류장치(110)를 포함한다. 여기서 세정액 탱크(130)의 바닥면에는 서포트(197)가 설치되고, 세정액 탱크(130)의 상단에는 스토퍼(195)에 지지된 걸림바(190)가 설치된다.

세정액 탱크(130)에는 세정액(120)이 설정된 높이로 충진되고, 이 세정액(120)에 잠기도록 메탈 지그(105)가 설치된다. 이 메탈 지그(105)에는 세정 대상물로서 스테인레스나 인바(invar) 재질의 메탈 마스크(100)가 고정되어 설치된다. 여기서 세정 대상물은 유기 발광 표시장치를 비롯한 전자 기기의 제조 공정 중에 사용될 수 있는 메탈 마스트를 비롯해 이물질 제거가 필요한 적정의 세정 대상물이 적용될 수 있다.

세정액 탱크(130)의 내부 하단부에는 서포트(197)에 의해 지지된 마이너스 부스바(150)가 고정되어 설치된다.

도면에 도시된 바와 같이, 서포트(197)는 그 일단을 세정액 탱크(130)의 바닥면에 고정시켜 세정액 탱크(130) 내부에 설치되고 있으나, 이와 달리 일단을 세정액 탱크(130)의 측면에 고정시킬 수도 있다.

마이너스 부스바(150)의 상단에는 탄성부재(170)에 의해 탄성적으로 지지되는 마이너스 전극(180)이 배치되고, 탄성부재(170)와 마이너스전극(180)을 중심에 두고 이들의 양측으로 가이드(160)가 배치될 수 있다. 이 가이드(160)는 세정 장치의 설계사양에 따라서 선택적으로 구비될 수 있다.

메탈 마스크(100)가 장착된 메탈 지그(105)가 세정액 탱크(130) 내부로 설치되기 위해서, 메탈 지그(105)가 세정액 탱크(130)의 상부에서 하부방향으로 이동하면, 메탈 마스트(100)의 하단면이 마이너스 전극(180)에 밀착된다. 메탈 마스크(100)와 메탈 지그(105) 사이에는 이들을 절연시키기 위한 절연부재(107)가 배치된다.

여기서, 탄성부재(170)는 마이너스 전극(180)을 메탈 마스크(100)에 탄성적으로 밀착시킨다.

메탈 지그(105)의 상단부에는 걸림바(190)가 구비되고, 걸림바(190)는 세정액 탱크(130)의 상단에 형성된 스토퍼(195)에 지지된다. 따라서, 메탈 지그(105)는 세정액 탱크(130)의 설정된 위치에 견고하게 지지된다.

아울러, 가이드(160)는 메탈 지그(105)가 세정액 탱크(130)의 상부에서 하부로 이동할 때, 메탈 지그(105)의 이동을 가이드하여 메탈 마스크(100)와 마이너스 전극(180)이 수월하게 접촉되도록 한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 플러스 전극(140)은 메탈 지그(105)를 중심에 두고 양측에 복수로 배치되어, 세정액 탱크(130)의 양 내측면에 근접 또는 밀착되도록 설치된다. 본 실시예에서는 세정액 탱크(130)의 내측면에 밀착된 경우이다. 이 때, 하나의 플러스 전극(140)은, 메탈 마스트(100)와 마주하도록 배치된다.

세정액 탱크(130) 외부에는 마이너스 부스바(150) 및 상기 플러스 전극(140)과 전기적으로 연결된 정류 장치(110)가 설치되고, 정류 장치(110)는 마이너스 부스바(150)로 마이너스 전압을 인가하고, 플러스 전극(140)으로 플러스 전압을 인가한다.

마이너스 부스바(150)로 인가된 마이너스 전압은 탄성부재(170) 및 마이너스전극(180)를 통해서 메탈마스크(100)로 전달된다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 전체적인 시스템 구성도이다. 도 2를 참조하면, 세정액 탱크(130)의 상부에는 로봇(200)이 배치되고, 로봇(200)은 메탈 지그(105)를 3차원공간에서 수직 또는 수평으로 이동하여 세정액 탱크(130) 내부의 설정된 위치에 로딩시킨다.

정류 장치(110)는 원격 제어장치(210)에 연결되고, 원격 제어장치(210)는 정류 장치(110) 및 원격 제어장치(210)의 상태를 보여는 표시 장치(220)에 연결된다. 아울러, 로봇(200)은 설정된 프로그램에 따라서 원격 제어장치(210)에 의해서 제어될 수 있다.

도시한 바와 같이, 세정액 탱크(130)의 상부 입구부에는 커버(230)가 설치될 수 있으며, 커버(230)는 세정액 탱크(130)의 상부 입구부를 밀폐하도록, 로봇(200)에 의해서 장착 및 탈착될 수 있다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 내부 측면도 및 그 일부 상세도이다.

도 3을 참조하면, 마이너스 부스바(150)에는 탄성부재(170)가 설치되고, 이 탄성부재(170)의 단부에는 마이너스 전극(180)이 구비된다.

탄성부재(170)는 반원형으로 구부러진 판스프링 형태를 갖고 있으며, 이에 따라 마이너스 전극(180)을 메탈 마스크(100)에 탄성적으로 밀착시킨다.

본 발명의 실시예에서, 메탈 지그(105)가 세정액 탱크(130)에 입수되어 그 일단을 마이너스 부스바(150)에 접촉시켜 이에 지지될 때, 걸림바(190)가 스톱퍼(195)에 접촉되므로 이로 인해 메탈 지그(105)는 세정액 탱크(130) 내부에 견고한 상태로 배치될 수 있다.

도 4a 및 도 4b는 각기 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 내부 정면도 및 측면도이다.

도 4a,B를 참조하면, 세정액 탱크(130)의 상부 입구부에 설치된 커버(230)는 세정액 탱크(130)의 내부에서 발생될 수 있는 가스가 외부로 누출되지 않도록 입구부를 밀봉하는 구조를 갖는 것이 바람직하다.

아울러, 커버(230)에는 세정액 탱크(130) 내부에서 발생된 반응가스가 배출되는 배기라인(400)이 연결되고, 배기라인(400)에는 수소농도계(410)가 설치될 수 있다.

이에 따라, 세정액(120)이 메탈마스크(100)를 세정하는 동안에 세정액(120)에서 발생되는 수소가스는 배기라인(400)을 통해서 배출되고, 수소 농도계(410)는 그 수소의 농도를 감지하여 원격 제어장치(210)로 송신하고, 표시 장치(220)에는 이에 따른 값이 표시될 수 있다.

본 발명의 실시예에서, 세정 장치는, 배기라인(400)을 이동하는 수소의 농도를 이용하여 메탈마스크의 세정상태를 감지할 수 있다.

전술한 바와 같이, 로봇을 이용하여 세정액 탱크(130)의 설정된 위치 즉, 세정액 탱크(130)의 하부에 설치된 마이너스 부스바(150)에 메탈 지그(105)를 용이하게 로딩할 수 있다.

아울러, 탄성부재(170)는 마이너스 부스바(150)에 장착된 마이너스 전극(180)에 메탈 마스크(100)을 탄성적으로 밀착시켜 전압을 안정적으로 인가하며, 배기라인(400)에 설치된 상기 수소 농도계(410)를 이용하여 세정상태를 용이하게 확인할 수 있다.

이상으로 본 발명에 관한 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 실시예로부터 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의한 용이하게 변경되어 균등하다고 인정되는 범위의 모든 변경을 포함한다.

100: 메탈 마스크, 110: 정류 장치
105: 메탈 지그, 120: 세정액
130: 세정액 탱크, 140: 플러스 전극
150: 마이너스 부스바, 160: 가이드
170: 탄성부재, 180: 마이너스 전극
190: 걸림바, 195: 스톱퍼
197: 서포트, 200: 로봇
210: 원격 제어장치, 220: 표시 장치

Claims

세정액이 설정된 높이만큼 채워진 세정액 탱크;
상기 세정액 탱크의 내부에 구비되는 마이너스 전극;
유기 발광 표시 장치 제조용 메탈 마스크가 일측에 장착되고, 상기 메탈 마스크가 상기 마이너스 전극에 접촉되는 것을 유도하는 메탈 지그;
상기 메탈 마스크와 설정된 간격을 두고 상기 세정액 탱크의 내부에 설치되는 플러스 전극; 및
상기 마이너스 전극 및 상기 플러스 전극에 전기적으로 연결되는 정류 장치를 포함하는 세정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 세정액 탱크의 하부에 설치되어, 상기 정류 장치에서 공급된 마이너스 전압을 상기 마이너스 전극으로 전달하는 마이너스 부스바; 및
상기 마이너스 부스바에 설치되어 상기 마이너스 전극과 접촉되는 탄성부재를 더 포함하는 세정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 메탈 지그의 상단에는 상기 세정액 탱크의 일측에 걸쳐지는 걸림바가 연결된 세정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 메탈 지그를 설정된 위치로부터 수평 및 수직 이동하여, 상기 세정액 탱크의 상부에 형성된 입구부를 통해서 상기 세정액 탱크 내부로 로딩 및 언로딩하는 로봇;
상기 정류 장치 및 상기 로봇을 설정된 프로그램에 의해서 원격으로 제어하는 원격 제어장치; 및
상기 정류 장치와 상기 원격 제어장치의 상태를 표시하는 표시 장치를 더 포함하는 세정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 플러스 전극은
상기 메탈 지그를 중심에 두고 상기 메탈 지그와 간격을 두면서 상기 세정액 탱크 내면에 복수로 설치되고, 상기 메탈 마스크와 마주하여 배치되는 세정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 세정액 탱크의 상부 입구를 덮는 커버를 더 포함하고,
상기 커버에는 상기 세정액 탱크에서 발생되는 가스를 외부로 배출하는 배기 라인이 연결되고, 상기 배기 라인에는 상기 배기 라인을 지나는 가스의 농도를 감지하는 가스 농도계가 설치되는 세정 장치.
제6 항에 있어서,
상기 가스 농도계는 수소의 농도를 감지하는 수소 농도계인 세정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 메탈 마스크와 상기 메탈 지그 사이에는 절연부재가 개재되는 세정 장치.