KR101179336B1

KR101179336B1 - 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트 및 이를 이용한 세라믹 기판의 제조방법

Info

Publication number: KR101179336B1
Application number: KR1020100070978A
Authority: KR
Inventors: 조범준; 박윤휘; 유수현
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2010-07-22
Filing date: 2010-07-22
Publication date: 2012-09-03
Anticipated expiration: 2030-07-22
Also published as: JP2012025647A; KR20120009124A; JP5290267B2

Abstract

본 발명은 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트 및 이를 이용한 세라믹 기판의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트는 세라믹 기판이 적재될 제1면과 상기 제1면에 대향하는 제2면을 가지는 버퍼시트이고, 상기 버퍼시트는 판상형의 제1 분말 및 구형의 제2 분말을 포함하며, 상기 제1면은 상기 제2면에 비하여 상기 제2 분말보다 상기 제1 분말의 분포 비율이 높다. 본 발명의 일 실시형태에 따른 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트를 이용하여 세라믹 기판을 소성하면 세라믹 기판과 소성 세터 간의 반응을 방지할 수 있다.

Description

세라믹 기판의 소성용 버퍼시트 및 이를 이용한 세라믹 기판의 제조방법{Buffer sheet for firing ceramic substrate and method for manufacturing ceramic substrate using the same}

본 발명은 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트 및 이를 이용한 세라믹 기판의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 소성 과정 중 발생하는 세라믹 기판의 휘어짐을 방지할 수 있는 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트 및 이를 이용한 세라믹 기판의 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 세라믹 기판, 특히 저온 동시 소성 세라믹(Low Temperature Co-fired Ceramic: LTCC) 기판은 열적 특성이나 유전율 등 전기적인 특성이 우수하고, 초소형화가 가능하면서도 복합적인 기능을 발휘할 수 있어 여러 기술 분야에서 사용되고 있다.

또한, 저온 동시 소성 세라믹(Low Temperature Co-fired Ceramic: LTCC) 기판은 구속층을 사용하여 면 방향의 무수축 소성이 가능하여 회로 패턴의 정밀도가 요구되는 반도체 검사용 기판 등으로 그 응용이 확대되고 있다. 특히 반도체 검사용 기판은 대면적을 가지면서 검사시 반복되는 압력을 견딜수 있도록 두껍게 제작되고 있다. 이를 위하여 우수한 평탄도를 가지면서 대면적의 기판을 휨없이 소성할 수 있는 방법이 요구되고 있다.

세라믹 기판의 소성 공정은 일반적으로 그린시트들이 적층된 성형체를 소성로에서 소성하는 공정인데, 이때 그린시트 성형체는 구조를 지지하기 위하여 소성세터에 놓여지게 된다. 그러나, 소성 과정에서 그린시트 성형체와 소성 세터의 접촉 부위에서 발생하는 마찰력과 반응성으로 인하여 그린시트 성형체에 국부적으로 소성 스트레스가 생기고, 이에 따라 소성 후에 세라믹 기판에 휨이 발생하는 등 다수의 결함이 발생하게 된다.

상술한 바와 같이 특히 최근에는 세라믹 기판의 크기가 대면적화되고 그 두께도 점점 두꺼워지는 경향이 있고, 이에 따라 상기한 바와 같은 문제점은 더욱 심각하게 부각되고 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 소성 과정 중 발생하는 세라믹 기판의 휘어짐을 방지할 수 있는 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트 및 이를 이용한 세라믹 기판의 제조방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 실시형태는 세라믹 기판이 적재될 제1면과 상기 제1면에 대향하는 제2면을 가지는 버퍼시트이고, 상기 버퍼시트는 판상형의 제1 분말 및 구형의 제2 분말을 포함하며, 상기 제1면은 상기 제2면에 비하여 상기 제2 분말보다 상기 제1 분말의 분포 비율이 높은 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트를 제공한다.

상기 제1 분말 및 제2 분말은 상기 세라믹 기판의 소결 온도에서 소결되지 않는 난소결성 분말일 수 있다.

상기 제1 분말 및 제2 분말은 서로 다른 재질이거나 서로 다른 밀도를 가질 수 있다.

상기 제1분말의 80%이상은 상기 제1면으로부터 버퍼시트 두께의 10 내지 80% 내에 분포될 수 있다.

상기 판상형 제1 분말의 너비는 5 내지 20㎛이고, 두께는 0.1 내지 1.0㎛일 수 있다.

상기 구형의 제2 분말은 평균입경이 1 내지 3㎛일 수 있다.

상기 버퍼시트의 두께는 3 내지 300㎛일 수 있다.

본 발명의 다른 실시형태는 판상형 제1 분말과 구형의 제2 분말을 포함하는 슬러리를 제조하는 단계; 및 상기 슬러리에 전단 응력을 부여하여 상기 판상형 제1 분말이 상부로 배치되고, 상기 구형의 제2 분말이 하부로 배치되도록 버퍼시트를 성형하는 단계;를 포함하는 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트의 제조방법을 제공한다.

본 발명의 또 다른 실시형태는 세라믹 기판이 적재될 제1면과 상기 제1면에 대향하는 제2면을 가지며, 판상형의 제1 분말 및 구형의 제2 분말을 포함하고, 상기 제1면은 상기 제2면에 비하여 상기 제2 분말보다 상기 제1 분말의 분포 비율이 높은 소성용 버퍼시트를 소성 세터에 상기 제2면이 접촉하도록 적재하는 단계; 상기 제1면에 세라믹 그린 시트를 적재하는 단계; 및 상기 세라믹 그린 시트를 소성하는 단계; 를 포함하는 세라믹 기판의 제조방법을 제공한다.

상기 제1 분말의 80%이상은 상기 제1면으로부터 버퍼시트 두께의 10 내지 80% 내에 분포되 수 있다.

상기 구형의 제2 분말은 평균입경이 1 내지 3㎛일 수 있다.

상기 소성용 버퍼시트의 두께는 3 내지 300㎛일 수 있다.

본 발명의 일 실시형태에 따른 소성용 버퍼시트의 제1면은 분말 입자의 간극(間隙)이 넓은 판상형 제1 분말이 주로 위치하게 되고, 상기 제1면은 세라믹 그린시트와의 접촉점이 적어 세라믹 그린시트를 소성시키면, 세라믹 그린시트로부터 유리성분의 확산을 위한 모세관력이 불충분하여 세라믹 그린시트와 소성용 버퍼시트 간의 반응을 효과적으로 억제할 수 있다. 이에 따라 세라믹 그린시트의 무게에 상관없이 세라믹 그린시트와 소성 세터 간의 반응을 방지할 수 있다. 또한 세라믹 그린시트와 소성용 버퍼시트간의 반응도 효과적으로 억제할 수 있다.

또한 구형의 제2 분말은 소성용 버퍼시트의 제2면에 배치되어 탈바인더 통로를 확보하게 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 세라믹 기판의 제조방법을 나타내는 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 소성용 버퍼시트(10)를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시형태에 따른 판상형의 제1 분말 및 구형의 제2 분말을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 소성용 버퍼시트의 제조방법을 개략적으로 나타내는 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태들을 설명한다.

그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 세라믹 기판의 제조방법을 나타내는 개략적인 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 세라믹 기판의 제조방법은 소성 세터(S)에 소성용 버퍼시트(10)를 적재하는 단계; 상기 소성용 버퍼시트(10)에 세라믹 그린시트를 배치하는 단계; 상기 세라믹 그린시트를 소성하는 단계를 포함한다.

상기 소성용 버퍼시트(10)는 세라믹 그린시트가 적재될 제1면과 상기 제1면에 대향하는 제2면을 가지는 버퍼시트로써, 상기 제1면에 세라믹 그린시트가 적재되도록 상기 제2면을 소성 세터와 접촉하도록 배치된다. 상기 버퍼시트는 판상형의 제1 분말 및 구형의 제2 분말을 포함하고, 상기 제1면은 상기 제2면에 비하여 상기 제2 분말에 대한 상기 제1 분말의 비율이 높은 특징을 가진다. 이에 대한 구체적인 사항을 후술하도록 한다.

일반적으로, 세라믹 기판은 세라믹 그린시트를 제조하고, 세라믹 그린시트를 소성하여 제조한다. 상기 세라믹 그린시트의 소성 공정은 일반적으로 소성로에서 진행될 수 있고, 소성이 진행되는 동안 세라믹 그린시트는 구조를 지지하기 위하여 소성 세터에 놓여져 수행될 수 있다.

상기 세라믹 기판은 저온 동시 소성 세라믹(Low Temperature Co-fired Ceramic: LTCC) 기판일 수 있다. 저온 동시 소성 세라믹 기판은 유전체 시트를 제조하고, 상기 유전체의 비아 홀 형성 및 필링 공정, 도체 패턴 인쇄 공정, 라미네이션 공정으로 그린시트 적층체를 형성하고, 상기 그린시트 적층체를 소성하여 제조될 수 있다.

본 실시형태에 따르면, 소성 세터(S)와 세라믹 그린시트(C) 사이에 소성용 버퍼시트(10)가 적재된다.

일반적으로 세라믹 그린시트의 소성 과정에서 세라믹 그린시트에 함유된 유리 성분이 외부로 용출되어 소성 세터와 반응할 수 있다. 이에 따라 세라믹 그린시트와 소성 세터의 반응 부위에 부분적으로 소결 수축이 방해받을 수 있고, 이에 따라 세라믹 그린시트의 수축 거동이 균일하지 못하여 소성 후에 세라믹 기판이 휘어 질 수 있다.

그러나, 본 실시형태에 따르면, 상기 소성용 버퍼시트(10)는 소성 과정 중 소성 세터(S)와 세라믹 그린시트(C)간의 반응을 방지하는 역할을 한다.

본 발명의 일 실시형태에 따른 소성용 버퍼 시트의 제1면은 분말 입자의 간극(間隙)이 넓은 판상형 제1 분말이 주로 위치하게 되고, 제1면은 세라믹 그린시트와의 접촉점이 적어 세라믹 그린시트와 제1면을 접촉한 채 소성시키면, 세라믹 그린시트로부터 유리성분의 확산을 위한 모세관력이 불충분하므로 세라믹 그린시트와 소성용 버퍼시트 간의 반응을 효과적으로 억제할 수 있다. 이에 따라 세라믹 그린시트의 무게에 상관없이 세라믹 그린시트와 소성 세터 간의 반응을 방지할 수 있다. 또한 세라믹 그린시트와 소성용 버퍼시트간의 반응도 효과적으로 억제할 수 있다.

또한 구형의 제2 분말은 소성용 버퍼시트의 하부에 배치되어 탈바인더 통로를 확보하게 된다.

도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 소성용 버퍼시트(10)를 개략적으로 나타내는 단면도이다.

도 2를 참조하면, 소성용 버퍼시트(10)는 제1면(10a)과 상기 제1면에 대향하는 제2면(10b)을 갖는다. 상기 제1면(10a)은 세라믹 그린시트가 적재되는 면이고, 상기 제2면(10b)은 소성 세터와 접촉하는 면이다.

본 실시형태에 따른 소성용 버퍼시트(10)는 판상형의 제1분말(11)과 구형의제2분말(12)을 포함한다. 상기 제1 및 제2 분말은 세라믹 그린 시트의 소성 온도에서 소결되지 않는 난소결성 분말일 수 있다.

상기 제1면(10a)에는 구형의 제2 분말(12)보다 판상형의 제1분말(11)이 주로 배치되어 있고, 상기 제2면(10b)에는 판상형의 제1분말(11)보다 구형의 제2분말(12)이 주로 배치된 것으로, 제1면(10a)은 제2면(10b)에 비하여 제2 분말(12)보다 제1 분말(11)의 분포 비율이 높을 수 있다. 이와 같은 배치는 소성용 버퍼시트의 제조과정에서 형성될 수 있다.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시형태에 따른 판상형의 제1 분말(11) 및 구형의 제2 분말(12)을 개략적으로 나타내는 사시도이다.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 상기 판상형의 제1분말(11)은 횡방향 크기인 너비(w)가 5 내지 20㎛이고, 종방향 크기인 두께(t)가 0.1 내지 1.0㎛일 수 있다.

상기 판상형의 제1분말(11)은 소성용 버퍼시트(10) 내에서 수평 배열되고, 입자 간의 간극이 넓어 세라믹 그린시트와의 접촉점이 적어지게 된다. 이에 따라 세라믹 그린시트로부터 유리성분이 버퍼시트 쪽으로 침투하여 결합을 형성하기 위한 모세관력이 불충분하여 세라믹 그린시트와 소성용 버퍼 시트간의 반응을 방지할 수 있다.

상기 판상형 제1분말(11)은 이에 제한되는 것은 아니나, 판상형으로의 제조가 용이한 알루미나 또는 지르코니아 재질일 수 있다.

상기 구형의 제2분말(12)은 평균 입경(d)이 1 내지 3㎛일 수 있다.

상기 구형의 제2분말(12)은 이에 제한되는 것은 아니나, 알루미나 또는 지르코니아 재질일 수 있다.

구형의 제2분말(12)은 소성용 버퍼시트의 제2면에 주로 배열되는 것으로, 제2 분말의 입자간 간극은 세라믹 그린시트의 소성과정에서 탈바인더의 통로로 작용할 수 있다. 판상형의 제1분말에 의한 탈바인더 통로 부족을 해결할 수 있고, 소성용 버퍼시트의 두께를 증가시킬 수 있어 소성하고자 하는 세라믹 그린시트의 무게 또는 두께가 증가되어도 세라믹 기판의 변형없이 세라믹 그린시트를 소성할 수 있다.

상기 판상형의 제1 분말(11)의 대부분은 버퍼시트의 제1면에 분포되어 있을 수 있다. 보다 구체적으로는 상기 제1 분말의 80% 이상은 상기 제1면으로부터 버퍼시트 두께의 10 내지 80%내에 분포될 수 있다. 판상형의 제1 분말이 버퍼시트의 표면을 막게되어 판상형의 제1 분말의 분포 범위가 넓어지면 탈바인더 통로가 막혀 탈바인더가 제대로 이루어지지 않을 우려가 있어 버퍼시트의 일정 범위 두께내에 존재하는 것이 바람직하다.

상기 제1 분말과 상기 제2 분말은 소성용 버퍼시트의 제조 과정에서 제1 분말과 제2 분말의 배치 위치가 더욱 안정적으로 구분되도록 하기 위해서, 제1 분말과 제2 분말은 서로 다른 물질로 사용하거나, 밀도가 서로 다른 물질을 사용할 수 있다. 예를 들어, 제2면이 하부에 위치하도록 소성용 버퍼시트를 제조하는 경우 소성용 버퍼시트의 하부에 가라앉을 제2 분말은 제1 분말에 비하여 밀도가 더 높은 물질을 사용할 수 있다.

상기 소성용 버퍼시트(10)의 두께는 3 내지 300㎛일 수 있다. 상기 소성용 버퍼시트의 두께가 300㎛를 초과하면 세라믹 그린시트의 무게에 따라 탈바인더 특성이 저하될 수 있다. 또한, 상기 소성용 버퍼시트의 두께가 3㎛ 미만이면 세라믹 그린시트와 소성 세터 간의 반응이 충분히 억제되지 않을 우려가 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 소성용 버퍼시트의 제조방법을 개략적으로 나타내는 단면도이다.

우선, 판상형의 제1 분말과 구형의 제2 분말을 결합제, 분산제 및 용매 등과 혼합하여 슬러리(10A)를 제조한다.

상기 슬러리(10A)를 블레이드(B)를 이용하여 베이스 필름(12) 위에 도포한 후 건조시켜 소성용 버퍼시트를 제조한다. 상기 베이스 필름(12)으로는 PET(Polyethylene Terephthalate) 필름을 사용할 수 있다.

상기 슬러리가 베이스 필름 위에 도포되는 과정에서 판상형의 제1 분말은 베이스 필름과 블레이드 사이에 존재하는 전단응력 및 용매 흐름에 의해 수평 방향으로 배열되고, 부력을 받는 면적이 증가하여 건조 과정에서 아래쪽으로 잘 가라앉지 않고, 버퍼 시트의 상부에 주로 위치하게 된다. 반면, 상대적으로 구형인 제2 분말은 슬러리 건조 과정에서 비교적 자유롭게 침하하여 버퍼 시트의 하부에 주로 위치하게 된다. 또한, 판상형의 제1 분말이 구형의 제2 분말보다 밀도가 큰 경우 제1 분말과 제2 분말의 배치 위치는 더욱 안정적으로 구분될 수 있다.

상기 버퍼 시트의 상부는 세라믹 그린시트가 적재되는 제1면이고, 버퍼 시트의 하부는 소성 세터와 접합하는 제2면으로 이해될 수 있다.

하기 표 1은 본 발명의 일 실시형태에 따라 세라믹 기판의 소성 과정에서 상술한 소성용 버퍼시트를 적용한 실시예 1 및 실시예 2, 소성 버퍼를 적용하지 않은 비교예 1 및 비교예 2, 구형의 분말만을 포함하는 소성용 버퍼시트를 적용한 비교예 3 및 4에 대한 실험결과이다. 상기 실시예 및 비교예에 적용된 소성용 버퍼시트의 두께는 모두 60㎛였다. 실시예 1 및 2에서 소성용 버퍼시트의 두께 중 판상형 제1 분말이 80% 이상 자치하는 층의 두께는 10㎛였다.

실시예 1, 비교예 1 및 비교예 3은 가로X세로X두께가 18cmX18cmX0.5cm인 세라믹 기판을 사용하였고, 실시예 2, 비교예 2 및 비교예 4는 가로X세로X두께가 25cmX25cmX0.5cm인 세라믹 기판을 사용하였다.

캠버(camber)는 소성 후 세라믹 기판 전체의 휘어짐을 측정하였으며, 잔탄량은 가로X세로 1X1㎠로 절단하여 측정하였다.

	실시예 1	실시예 2	비교예 1	비교예 2	비교예 3	비교예 4
잔탄량(ppm)	63	70	48	54	61	65
camber(㎛)	72	84	213	361	85	208

상기 표 1을 참조하면, 비교예 1 및 비교예 2는 탈바인더 통로가 충분하여 잔탄량이 적었으나, 소성용 버퍼시트의 부재로 세라믹 그린시트와 소성 세터의 반응에 의해 기판 변형이 발생하여 캠버가 매우 컸다. 비교예 3은 소성용 버퍼시트에 의해 세라믹 그린시트와 소성 세터 간의 반응이 억제되어 세라믹 기판의 캠버는 적었으나, 비교예 4는 세라믹 기판의 무게가 증가하면서 캠버가 크게 증가하였다. 이는 무거운 세라믹 그린시트가 소성용 버퍼 시트를 가압하면서 접합되고, 소성용 버퍼 시트가 마치 무수축 소성 공정의 구속층처럼 작용한 결과이다. 즉, 세라믹 기판의 한 쪽 면만 구속층이 접합된 비대칭 구조로 소성되어 캠버가 증가하게 된 것이다. 반면, 실시예 1 및 실시예 2는 판상형 분말이 세라믹 그린시트와 소성 세터 간의 반응을 효과적으로 억제하여 세라믹 기판의 캠버가 개선된 결과를 나타내었으며, 구형의 분말이 존재하여 잔탄량의 증가도 억제할 수 있었다.

본 발명은 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.

10: 소성용 버퍼시트 11: 판상형의 제1 분말
12: 구형의 제2 분말 C: 세라믹 그린시트
S: 소성 세터

Claims

세라믹 기판이 적재될 제1면과 상기 제1면에 대향하는 제2면을 가지는 버퍼시트이고,
상기 버퍼시트는 판상형의 제1 분말 및 구형의 제2 분말을 포함하며, 상기 제1면은 상기 제2면에 비하여 상기 제2 분말보다 상기 제1 분말의 분포 비율이 높은 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트.
제1항에 있어서,
상기 제1 분말 및 제2 분말은 상기 세라믹 기판의 소결 온도에서 소결되지 않는 난소결성 분말인 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트.
제1항에 있어서,
상기 제1 분말 및 제2 분말은 서로 다른 재질이거나 서로 다른 밀도를 갖는 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트.
제1항에 있어서,
상기 제1 분말의 80%이상은 상기 제1면으로부터 버퍼시트 두께의 10 내지 80% 내에 분포된 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트.
제1항에 있어서,
상기 판상형 제1 분말의 너비는 5 내지 20㎛이고, 두께는 0.1 내지 1.0㎛인 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트.
제1항에 있어서,
상기 구형의 제2 분말은 평균입경이 1 내지 3㎛인 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트.
제1항에 있어서,
상기 버퍼시트의 두께는 3 내지 300㎛인 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트.
판상형 제1 분말과 구형의 제2 분말을 포함하는 슬러리를 제조하는 단계; 및
상기 슬러리에 전단 응력을 부여하여 상기 판상형 제1 분말이 상부로 배치되고, 상기 구형의 제2 분말이 하부로 배치되도록 버퍼시트를 성형하는 단계;
를 포함하는 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트의 제조방법.
제8항에 있어서,
상기 제1 분말 및 제2 분말은 서로 다른 재질이거나 서로 다른 밀도를 갖는 세라믹 기판의 소성용 버퍼시트의 제조방법.
세라믹 기판이 적재될 제1면과 상기 제1면에 대향하는 제2면을 가지며, 판상형의 제1 분말 및 구형의 제2 분말을 포함하고, 상기 제1면은 상기 제2면에 비하여 상기 제2 분말보다 상기 제1 분말의 분포 비율이 높은 소성용 버퍼시트를 소성 세터에 상기 제2면이 접촉하도록 적재하는 단계;
상기 제1면에 세라믹 그린 시트를 적재하는 단계; 및
상기 세라믹 그린 시트를 소성하는 단계;
를 포함하는 세라믹 기판의 제조방법.
제10항에 있어서,
상기 제1 분말 및 제2 분말은 상기 세라믹 기판의 소결 온도에서 소결되지 않는 난소결성 분말인 세라믹 기판의 제조방법.
제10항에 있어서,
상기 제1 분말 및 제2 분말은 서로 다른 재질이거나 서로 다른 밀도를 갖는 세라믹 기판의 제조방법.
제10항에 있어서,
상기 제1 분말의 80%이상은 상기 제1면으로부터 버퍼시트 두께의 10 내지 80% 내에 분포된 세라믹 기판의 제조방법.
제10항에 있어서,
상기 판상형 제1 분말의 너비는 5 내지 20㎛이고, 두께는 0.1 내지 1.0㎛인 세라믹 기판의 제조방법.
제10항에 있어서,
상기 구형의 제2 분말은 평균입경이 1 내지 3㎛인 세라믹 기판의 제조방법.
제10항에 있어서,
상기 소성용 버퍼시트의 두께는 3 내지 300㎛인 세라믹 기판의 제조방법.