KR101169054B1

KR101169054B1 - Apparatus for fabricating organic electro luminescence display device

Info

Publication number: KR101169054B1
Application number: KR1020050096608A
Authority: KR
Inventors: 김성은
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2005-10-13
Filing date: 2005-10-13
Publication date: 2012-07-26
Also published as: KR20070040984A

Abstract

본 발명은 기판의 손상을 방지할 수 있는 유기전계발광표시소자의 제조장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for manufacturing an organic light emitting display device capable of preventing damage to a substrate.

본 발명의 유기 전계발광표시소자의 제조장치는 증착물질이 증착되는 기판을 구비하는 챔버와; 상기 챔버 내측에 적어도 하나 이상 위치하여 상기 기판을 소정 위치에 고정시키는 서포터와; 상기 서포터와 상기 기판 사이에 협지되는 충격흡수부를 구비하는 것을 특징으로 한다.An apparatus for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention includes a chamber including a substrate on which a deposition material is deposited; A supporter positioned at least one inside the chamber to fix the substrate at a predetermined position; And a shock absorbing part sandwiched between the supporter and the substrate.

Description

Apparatus for manufacturing organic light emitting display device {APPARATUS FOR FABRICATING ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE}

도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자의 하나의 픽셀을 나타내는 도면. 1 is a view showing one pixel of a conventional organic electroluminescent display device.

도 2는 박막 증착장치의 일부를 나타내는 도면. 2 is a view showing a part of a thin film deposition apparatus.

도 3은 본 발명의 실시예예 따른 박막 증착장치의 일부를 나타내는 도면. 3 is a view showing a part of a thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 증착장치를 이용하여 형성된 유기전계발광표시소자를 나타내는 도면이다. 4 is a diagram illustrating an organic light emitting display device formed using the deposition apparatus illustrated in FIG. 3.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102 : 기판 20,120 : 서포터 2,102: substrate 20,120: supporter

140 : 마스크 장치 150 : 마스크 140: mask device 150: mask

160 : 증착소스 15,115 : 증착챔버160: deposition source 15,115: deposition chamber

170 : 충격흡수부 170: shock absorbing part

본 발명은 유기 전계발광표시소자의 제조장치에 관한 것으로, 특히, 기판 상에 박막 형성시 이용되는 증착장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device, and more particularly, to a deposition apparatus used for forming a thin film on a substrate.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel) 및 유기 전계발광(Electro-Luminescence : 이하, EL이라 함)표시소자 등이 있다. Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have emerged. Such flat panel displays include a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an organic electroluminescence display. Etc.

이들 중 유기EL표시소자는 전자와 정공의 재결합으로 형광체를 발광시키는 자발광 소자로, 그 형광체로 무기 화합물을 사용하는 무기 EL과 유기 화합물을 사용하는 유기 EL로 대별된다. 이러한 EL 표시소자는 액정표시장치와 같이 별도의 광원을 필요로 하는 수동형 발광소자에 비하여 응답속도가 음극선관과 같은 수준으로 빠르다는 장점을 갖고 있다. 또한, EL 표시소자는 저전압 구동, 자기발광, 박막형, 넓은 시야각, 빠른 응답속도, 높은 콘트라스트 등의 많은 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로 기대되고 있다. Among these, organic EL display devices are self-luminous devices that emit phosphors by recombination of electrons and holes, and are classified into inorganic ELs using inorganic compounds and organic ELs using organic compounds. Such an EL display device has an advantage that the response speed is as fast as that of a cathode ray tube compared to a passive light emitting device requiring a separate light source such as a liquid crystal display device. In addition, the EL display element has many advantages such as low voltage driving, self-luminous, thin film type, wide viewing angle, fast response speed, high contrast, and the like, and is expected to be the next generation display device.

도 1은 유기EL표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 일반적인 유기EL셀 구조를 도시한 단면도이다. 유기EL셀은 애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 위치하는 유기발광층(10)을 구비하고, 유기발광층(10)은 전자주입층(10a), 전자수송층(10b), 발광층(10c), 정공수송층(10d), 정공주입층(10e)을 구비한다. 1 is a cross-sectional view showing a general organic EL cell structure for explaining the light emission principle of an organic EL display element. The organic EL cell has an organic light emitting layer 10 positioned between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, and the organic light emitting layer 10 includes an electron injection layer 10a, an electron transport layer 10b, and a light emitting layer 10c. ), A hole transport layer 10d, and a hole injection layer 10e.

애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 전압을 인가하면, 캐소드전극(12)으 로부터 발생된 전자는 전자주입층(10a) 및 전자수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 또한, 에노드전극(4)으로부터 발생된 정공은 정공주입층(10e) 및 정공수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함에 의해 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 애노드전극(4)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 한다. When a voltage is applied between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, electrons generated from the cathode electrode 12 move toward the light emitting layer 10c through the electron injection layer 10a and the electron transport layer 10b. . In addition, holes generated from the anode electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10e and the hole transport layer 10d. Accordingly, in the light emitting layer 10c, light is generated by collision and recombination of electrons and holes supplied from the electron transport layer 10b and the hole transport layer 10d, and the light is emitted to the outside through the anode electrode 4. To display an image.

한편, 종래의 유기 EL표시소자의 박막 들은 마스크를 이용한 열증착 및 진공증착 공정에 의해 형성된다. On the other hand, the thin films of the conventional organic EL display element are formed by a thermal deposition and vacuum deposition process using a mask.

도 2는 종래의 유기 EL표시소자용 기판 상에 박막 형성시 이용되는 증착챔버(15)의 일부를 나타내는 도면이다. 2 is a view showing a part of the deposition chamber 15 used in forming a thin film on a substrate for a conventional organic EL display element.

도 2에 도시된 증착챔버(15)는 기판(2) 상에 박막물질이 증착될 영역을 노출시키는 마스크 장치(40)와, 기판(2)을 사이에 두고 마스크 장치(40)의 반대방향에 위치하는 마그넷(50)과, 증착챔버(15)의 측면에 장착되어 기판(2)을 고정 및 지지하기 위한 서포터(20)가 위치하게 된다. 여기서, 서포터(20)는 적어도 2개 이상 마련된다. The deposition chamber 15 shown in FIG. 2 has a mask device 40 exposing a region on which the thin film material is to be deposited on the substrate 2 and a mask device 40 opposite the mask device 40 with the substrate 2 therebetween. The magnet 50 is positioned and the supporter 20 is mounted on the side of the deposition chamber 15 to fix and support the substrate 2. Here, at least two supporters 20 are provided.

기판(2)은 유기 EL표시소자용 기판(2)으로써 마스크 장치(40)와 접촉되는 면이 박막이 형성될 영역이다. The board | substrate 2 is a board | substrate 2 for organic electroluminescent display elements, and the surface which contacts the mask apparatus 40 is a area | region where a thin film is to be formed.

마스크 장치(40)는 기판(2)을 선택적으로 노출시키기 위한 마스크(40a)와, 마스크(40a)를 고정 및 지지하기 위한 사각틀 형태의 마스크 프레임(40b)으로 구성된다. The mask device 40 is composed of a mask 40a for selectively exposing the substrate 2 and a mask frame 40b in the form of a square frame for fixing and supporting the mask 40a.

마그넷(50)은 기판(102)을 사이에 두고 마스크 장치(40)과 반대 방향에 위치하여 마스크 장치(40)가 기판(102)에서 분리되지 않게 하는 역할을 한다. The magnet 50 is positioned in a direction opposite to the mask device 40 with the substrate 102 therebetween so as to prevent the mask device 40 from being separated from the substrate 102.

서포터(20)는 마스크 장치(40) 방향에서 기판(2)의 일측을 지지하는 상부 서포터(20a)와, 마그넷(50) 방향에서 상부 서포터(20a)와 대응되게 위치하는 하부 서포터(20b)를 구비한다. 여기서, 하부 서포터(20b)는 중력 방향으로 기판(2)을 지지하므로 상부 서포터(20a)에 비하여 넓은 면적을 가지게 된다. 이러한, 서포터(20)는 상부 및 하부 서포터(20a,20b)의 그립에 의해 기판(2)이 증착챔버(115)의 내측에서 고정될 수 있게 된다. The supporter 20 includes an upper supporter 20a supporting one side of the substrate 2 in the mask device 40 direction, and a lower supporter 20b positioned corresponding to the upper supporter 20a in the magnet 50 direction. Equipped. Here, since the lower supporter 20b supports the substrate 2 in the gravity direction, the lower supporter 20b has a larger area than the upper supporter 20a. The supporter 20 allows the substrate 2 to be fixed inside the deposition chamber 115 by grips of the upper and lower supporters 20a and 20b.

증착챔버(15)의 저면에는 증착소스(60) 예를 들어, 유기물을 기판(2) 상에 형성하는 경우 유기물을 수용하기 위한 유기물 증착소스(60)가 위치하게 된다. In the bottom of the deposition chamber 15, an organic material deposition source 60 for accommodating the organic material is disposed when the deposition source 60, for example, the organic material is formed on the substrate 2.

이러한 구성을 가지는 증착챔버(15)는 증착물을 형성하는 과정에서 증착챔버(15) 내부에서의 작은 충격 등에 의해 기판(2)이 흔들리게 되는 경우 하부 서포터(20b)와 기판(2) 간에 잦은 마찰 등이 일어나게 되어 기판(2)이 손상되는 문제가 발생된다. 특히, 기판(2)이 점차 대형화됨에 따라 이러한 손상은 더욱 심각해지게 되고 심한 경우 기판(2)이 깨져 버리는 문제가 발생된다. The deposition chamber 15 having such a configuration has frequent friction between the lower supporter 20b and the substrate 2 when the substrate 2 is shaken by a small impact or the like inside the deposition chamber 15 during the deposition process. And the like, which causes the substrate 2 to be damaged. In particular, as the substrate 2 gradually increases in size, such damage becomes more serious and, in severe cases, the substrate 2 is broken.

따라서, 본 발명의 목적은 기판의 손상을 방지할 수 있는 유기전계발광표시소자의 제조장치를 제공하는 것이다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide an apparatus for manufacturing an organic light emitting display device capable of preventing damage to a substrate.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치는 증착물질이 증착되는 기판을 구비하는 챔버와; 상기 챔버 내측에 적어도 하나 이상 위치하여 상기 기판을 소정 위치에 고정시키는 서포터와; 상기 서포터와 상기 기판 사이에 협지되는 충격흡수부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an organic electroluminescent display device manufacturing apparatus according to the present invention comprises a chamber having a substrate on which a deposition material is deposited; A supporter positioned at least one inside the chamber to fix the substrate at a predetermined position; And a shock absorbing part sandwiched between the supporter and the substrate.

상기 서포터는 상기 기판을 그립하기 위해 상기 기판의 상면 및 하면에 각각 대응되게 위치하는 상부 및 하부 서포터를 포함하고, 상기 충격흡수부는 상기 상부 서포터와 상기 기판의 상면 사이에 협지되는 제1 충격흡수부와; 상기 하부 서포터와 상기 기판의 하면 사이에 협지되는 제2 충격흡수부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The supporter includes upper and lower supporters positioned to correspond to the upper and lower surfaces of the substrate, respectively, to grip the substrate, and the shock absorbing part includes a first shock absorbing part sandwiched between the upper supporter and the upper surface of the substrate. Wow; And a second shock absorbing part sandwiched between the lower supporter and the lower surface of the substrate.

상기 충격흡수부는 충격 완충기능을 가지는 우레탄 및 고무 중 적어도 어느 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 한다.The shock absorbing portion is characterized in that it comprises at least one material of urethane and rubber having a shock buffer function.

상기 기판의 하면 상에 위치하여 상기 기판의 원하는 영역을 마스킹하기 위한 마스크장치와; 상기 기판을 사이에 두고 상기 마스크 장치와 반대 방향에 위치하는 마그넷과; 상기 챔버의 저면에 위치하여 상기 기판에 상기 증착물질을 공급하기 위한 증착소스를 포함하는 것을 특징으로 한다.A mask device positioned on a bottom surface of the substrate to mask a desired area of the substrate; A magnet positioned opposite to the mask device with the substrate interposed therebetween; Located at the bottom of the chamber characterized in that it comprises a deposition source for supplying the deposition material to the substrate.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 4.

도 3은 본 발명에 따른 유기 EL표시소자용 박막의 증착챔버(115)의 일부를 나타내는 도면이다. 3 is a view showing a part of the deposition chamber 115 of the thin film for organic EL display device according to the present invention.

도 3에 도시된 증착챔버(115)는 기판(102) 상에 박막물질이 증착될 영역을 노출시키는 마스크 장치(140)와, 기판(102)을 사이에 두고 마스크 장치(140)의 반대방향에 위치하는 마그넷(150)과, 증착장치(115)의 측면에 장착되어 기판(102)을 고정 및 지지하기 위한 적어도 2 이상의 서포터(120)와, 서포터(120)와 기판(102) 간의 접촉영역에서 협지되는 충격흡수부(170)를 구비한다. The deposition chamber 115 shown in FIG. 3 has a mask device 140 exposing a region where a thin film material is to be deposited on the substrate 102 and a mask device 140 opposite the mask device 140 with the substrate 102 therebetween. A magnet 150 positioned, at least two supporters 120 mounted on a side of the deposition apparatus 115 to fix and support the substrate 102, and a contact region between the supporter 120 and the substrate 102. It is provided with a shock absorbing portion 170 is sandwiched.

기판(102)은 유기 EL표시소자용 기판(102)으로써 마스크 장치(140)와 접촉되는 면이 박막이 형성될 영역이다. The substrate 102 is a substrate 102 for an organic EL display element, and is a region where a surface in contact with the mask device 140 is to be formed.

마스크 장치(140)는 기판(102)을 선택적으로 노출시키기 위한 마스크(140a)와, 마스크(140a)를 고정 및 지지하기 위한 사각틀 형태의 마스크 프레임(140b)으로 구성된다. The mask device 140 includes a mask 140a for selectively exposing the substrate 102 and a mask frame 140b having a rectangular frame for fixing and supporting the mask 140a.

마그넷(150)은 기판(102)을 사이에 두고 마스넷(150)과 반대 방향에 위치하여 마스크 장치(140)가 기판(102)에서 분리되지 않게 하는 역할을 한다. The magnet 150 is positioned in a direction opposite to the magnet 150 with the substrate 102 interposed therebetween so as to prevent the mask device 140 from being separated from the substrate 102.

증착챔버(115)의 저면에는 증착소스(160) 예를 들어, 유기물을 기판(102) 상에 형성하는 경우 유기물을 수용하기 위한 유기물 증착소스(160)가 위치하게 된다. At the bottom of the deposition chamber 115, when the deposition source 160, for example, the organic material is formed on the substrate 102, an organic deposition source 160 for accommodating the organic material is positioned.

서포터(120)는 마스크 장치(140) 방향에서 기판(102)의 일측을 지지하는 상부 서포터(120a)와, 마그넷(150) 방향에서 상부 서포터(120a)와 대응되게 위치하는 하부 서포터(120b)를 구비한다. 여기서, 하부 서포터(120b)는 중력 방향으로 기판(102)을 지지하므로 상부 서포터(120a)에 비하여 넓은 면적을 가지게 된다. 이러 한, 서포터(120)는 상부 및 하부 서포터(120a,120b)의 그립에 의해 기판(102)이 증착챔버(115)의 내측에서 고정될 수 있게 된다. The supporter 120 includes an upper supporter 120a supporting one side of the substrate 102 in the mask device 140 direction, and a lower supporter 120b positioned corresponding to the upper supporter 120a in the magnet 150 direction. Equipped. Here, since the lower supporter 120b supports the substrate 102 in the gravity direction, the lower supporter 120b has a larger area than the upper supporter 120a. As such, the supporter 120 allows the substrate 102 to be fixed inside the deposition chamber 115 by grips of the upper and lower supporters 120a and 120b.

충격흡수부(170)는 기판(102)과 서포터(120) 사이에 협지되어 기판(102)에 전해지는 충격을 완화하여 기판(102)의 손상을 방지하는 역할을 한다. The shock absorbing unit 170 is sandwiched between the substrate 102 and the supporter 120 to mitigate the shock transmitted to the substrate 102 to prevent damage to the substrate 102.

이를 좀더 상세히 설명하면, 본원발명에서의 충격흡수부(170)는 상부 서포터(120a)에 부착되는 제1 충격흡수부(170a)와, 하부 서포터(120b)에 부착되는 제2 충격흡수부(170b)를 포함한다. 이러한 제1 및 제2 충격흡수부(170a,170b)는 서포터(120)에 일체화될 수 도 있고, 별도의 기구를 이용하여 기판(102)과 서포터(120)의 접촉영역에 삽입될 수 도 있다. 여기서, 충격완화부(170)는 우레탄, 고무 등 충격을 흡수할 수 있는 재료라면 공지에 어떠한 물질로 관계없다. In more detail, the shock absorbing unit 170 according to the present invention includes a first shock absorbing unit 170a attached to the upper supporter 120a and a second shock absorbing unit 170b attached to the lower supporter 120b. ). The first and second shock absorbing parts 170a and 170b may be integrated into the supporter 120 or may be inserted into the contact area between the substrate 102 and the supporter 120 by using a separate mechanism. . Here, the impact mitigation unit 170 may be any material known in the art as long as it is a material capable of absorbing shock such as urethane and rubber.

이러한, 충격흡수부(170)는 기판(102)과 스테인리스 등의 강도가 강한 물질로 형성되는 서포터(120) 간의 직접적인 마찰을 방지함과 아울러 증착물을 증착하는 과정에서 증착챔버(115) 내부에서의 작은 충격 등에 의해 기판(102)이 흔들리더라도 서포터(120)에 의해 기판(102)에 전해지는 충격을 완화하는 역할을 하게 된다. The shock absorbing unit 170 prevents direct friction between the substrate 102 and the supporter 120 formed of a material having a high strength such as stainless steel, and in the deposition chamber 115 in the process of depositing a deposit. Even if the substrate 102 is shaken by a small impact or the like, the supporter 120 serves to mitigate the impact transmitted to the substrate 102.

더 나아가, 충격흡수부(170)는 탄성을 가지는 물질로 형성됨으로써 기판(102)이 충격흡수부(170)와의 접촉에서 미끄러지지 않게 된다. 그 결과, 기판(102)이 점차 대형화되더라도 기판(102)의 중력방향으로의 처짐이 현저히 작아지게 된다. 그 결과, 기판(102)과 서포터(120) 간의 잦은 충격 등이 일어날 확률 또한 매우 작아지게 된다. 이에 따라, 기판(102)의 손상을 방지할 수 있게 된다. Furthermore, the shock absorbing portion 170 is formed of a material having elasticity, so that the substrate 102 does not slip in contact with the shock absorbing portion 170. As a result, even if the substrate 102 gradually increases in size, the deflection in the gravity direction of the substrate 102 becomes significantly smaller. As a result, the probability of frequent shock and the like between the substrate 102 and the supporter 120 also becomes very small. As a result, damage to the substrate 102 can be prevented.

도 4은 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 이용하여 형성된 유기 EL표시소자를 나타내는 사시도이다. 4 is a perspective view showing an organic EL display device formed using the apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device according to the present invention.

도 4에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(102) 상에 제1 전극(또는 애노드전극)(104)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(112)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. In the organic EL display device illustrated in FIG. 4, the first electrode (or anode electrode) 104 and the second electrode (or cathode electrode) 112 are formed on the substrate 102 in a direction crossing each other.

제1 전극(104)은 기판(102) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 제1 전극(104)이 형성된 기판(102) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(미도시)이 형성된다. 절연막 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(110) 및 제2 전극(112)의 분리를 위한 격벽(108)이 위치한다. 격벽(108)은 제2 전극(104)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(108)이 형성된 절연막 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(110)과 제2 전극(112)이 순차적으로 전면 증착된다. The first electrode 104 is formed on the substrate 102 spaced apart by a predetermined interval. On the substrate 102 on which the first electrode 104 is formed, an insulating film (not shown) having an opening for each EL cell EL region is formed. On the insulating layer, a partition 108 for separating the organic light emitting layer 110 and the second electrode 112 to be formed thereon is positioned. The partition 108 is formed in a direction crossing the second electrode 104 and has a reverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating film on which the partition 108 is formed, the organic light emitting layer 110 and the second electrode 112 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface.

상술한 바와 같이, 본 발명은 박막을 형성하기 위한 증착장치에서 기판을 고정 및 지지하는 서포터와 기판 사이에 협지되는 충격흡수부를 구비한다. 이에 따라, 강도가 강한 서포터와 기판과의 직접적인 마찰을 방지함과 아울러 증착물을 증착하는 과정에서 증착장치 내부에서의 작은 충격 등에 의해 기판이 흔들리더라도 서포터에 의해 기판에 전해지는 충격이 완화된다. 이에 따라, 기판의 손상을 방지할 수 있게 된다.As described above, the present invention includes a supporter for fixing and supporting a substrate in the deposition apparatus for forming a thin film, and a shock absorbing portion sandwiched between the substrate. Accordingly, the impact transmitted to the substrate by the supporter is alleviated even when the substrate is shaken by a small impact in the deposition apparatus during the deposition of the deposit while preventing direct friction between the strong supporter and the substrate. As a result, damage to the substrate can be prevented.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하 는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

Claims

A chamber having a substrate on which a deposition material is deposited;

A supporter positioned at least one inside the chamber to fix the substrate at a predetermined position;

A shock absorbing part sandwiched between the supporter and the substrate,

The supporter includes upper and lower supporters positioned to correspond to upper and lower surfaces of the substrate, respectively, to grip the substrate.

The shock absorbing part includes a first shock absorbing part sandwiched between the upper supporter and the upper surface of the substrate; A second shock absorbing portion is sandwiched between the lower supporter and the lower surface of the substrate,

And the shock absorbing part comprises at least one material of urethane and rubber having a shock absorbing function.

delete

The method of claim 1,

A mask device positioned on a bottom surface of the substrate to mask a desired area of the substrate;

A magnet positioned opposite to the mask device with the substrate interposed therebetween;

And an evaporation source for supplying the evaporation material to the substrate on the bottom surface of the chamber.

The method of claim 1,

And the first and second shock absorbing parts are formed in a contact area between the substrate and the supporter.