KR101123620B1 - 브레이크 장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 원형 등의 워크의 직경에 대하여, 조금만 큰 직경의 다이싱 링을 이용한 링 부재로 워크를 지지한 상태인 채로, 워크의 스크라이브 라인을 따라 수직인 하중을 가하도록 하여 브레이크하는 것이 가능한 브레이크 장치를 제공한다.
(해결 수단) 직선 형상의 압압면을 갖고, 점착 테이프측으로부터 워크를 압압하는 브레이크 바(36)를 구비한 압압 기구(22)와, 브레이크 바의 압압력에 저항하여 워크를 지지하는 서포트 부재(46)를 구비한 워크 지지 기구(23a, 23b)가 형성되며, 브레이크 바는, 고정 블록부(37)와 가변 블록부(38a, 38b)로 분할되고, 가변 블록부의 압압면을 퇴피 상태로 변화시키는 압압면 조정 기구가 형성되며, 브레이크 바는 분단 대상의 스크라이브 라인의 길이에 따라서 브레이크 바의 압압면이 조정된 상태에서 워크를 압압한다.

Description

브레이크 장치{BREAKING APPARATUS}

본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 워크(work)를, 칩 단위로 분리하는 브레이크 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 다이싱 링(dicing ring)의 링 내에 붙여진 점착 테이프상에 고착시킨 워크를, 워크상에 새겨져 형성된 스크라이브 라인(scribe line)을 따라 칩 단위로 분리하는 브레이크 장치에 관한 것이다. 본 발명에서 가공 대상이 되는 워크는, 주로 실리콘 등의 반도체 웨이퍼이지만, 스크라이브 라인의 길이가 워크상의 위치에 따라 변화하는 형상(예를 들면 원형이나 타원형 등)의 취성 재료로 이루어지는 워크이면, 유리 기판이나 세라믹 기판이라도 적용된다.

반도체 장치의 생산 공정에서는, 원형의 반도체 웨이퍼상에 종횡(縱橫)으로 늘어세워 다수개 형성된 사각형의 칩을, 칩 단위로 분리하는 다이싱 공정이 포함된다.

도 21은, 다이싱 공정에서 웨이퍼를 지지하는 링 부재(10)를 나타내는 도면으로서, 도 21(a)는 그 평면도, 도 21(b)는 정면도이다. 링 부재(10)는 점착 시트(12)와 다이싱 링(13)으로 이루어진다. 웨이퍼(11)는 이면측이 점착 시트(12)에 부착되어 있다. 그리고 웨이퍼(11)의 주위에, 점착 시트(12)가 붙여진 상태에서 지지하기 위한 다이싱 링(13)(웨이퍼 링이라고도 함)이 동일한 점착 시트(12)에 부착되어 있다. 다이싱 링(13)은 두께 1.5mm 정도의 금속 제품이다.

다이싱 공정에서는, 링 부재(10)에 고착된 웨이퍼(11)에 대하여, 다이싱 소(dicing saw)나 레이저 빔을 이용하여 종횡으로 복수조(條)의 스크라이브 라인(11a)이 형성된다. 스크라이브 라인(11a)의 길이는, 웨이퍼(11)의 중앙 부근을 횡단하는 것은 길고, 주연 부근을 횡단하는 것은 짧아진다. 그리고, 웨이퍼(11)는 링 부재(10)에 부착된 상태에서 웨이퍼(11)상의 각 스크라이브 라인(11a)을 따라 칩 단위로 분리된다.

웨이퍼(11)를 칩 단위로 분리할 때에 이용하는 브레이크 장치는, 지금까지, 점착 시트(12)의 뒤쪽으로부터 구(球) 형상의 브레이크 볼을 굴려 압압(press)하는 방법이나(예를 들면 특허문헌 1 참조), 웨이퍼(11)와의 접촉면이 직선 형상인 선 형상 압압체(이후 본 명세서에서는 브레이크 바(break bar)라고도 함)나, 접촉면이 원주(圓柱)의 측면인 봉 형상 롤러를, 스크라이브 라인(11a)을 따라 밀어붙여 압압하는 방법(예를 들면 특허문헌 2 참조)에 의해, 굽힘 모멘트를 가하도록 하고 있었다.

일본공개특허공보 평10-74712호 일본공개특허공보 2006-66539호

특허문헌 1에 기재되는 바와 같이 압압 부재로서 브레이크 볼을 이용하는 방법은, 도 22에 나타내는 바와 같이, 브레이크 볼(15)을 일정한 피치(P)로 웨이퍼(11)상을 정방향, 역방향으로 번갈아 반복하도록 전동(轉動)시켜 하중을 부여한다. 그 결과, 브레이크 볼(15)이 일조(一條)의 궤적을 그릴 때마다 스크라이브 라인이 일조씩, 혹은, 복수조씩 브레이크가 행해지게 된다.

브레이크 볼(15)의 일조의 궤적에 대하여 일조씩의 브레이크를 행할 때는, 모든 스크라이브 라인의 바로 위에 브레이크 볼(15)을 전동시킬 수 있기 때문에, 각각의 스크라이브 라인에 수직으로 하중이 가해져 수직인 크랙이 형성되지만, 웨이퍼상의 전(全) 스크라이브 라인을 브레이크하기까지는 상당히 긴 거리를 전동시킬 필요가 있어, 처리에 긴 시간을 요하게 된다. 직경을 크게 한 브레이크 볼(15)로 웨이퍼를 휘게 하여, 일조의 궤적으로 복수조씩 브레이크를 행할 때는, 처리 시간을 단축할 수 있지만, 복수조의 스크라이브 라인씩 브레이크하면, 어느 하나의 스크라이브 라인에 대해서는 바로 위가 아니라 조금 떨어진 위치에서 브레이크 볼(15)이 전동되게 되기 때문에, 바로 위를 전동하지 않는 스크라이브 라인에 대해서는 비스듬히 하중이 가해지는 결과, 수직으로 크랙을 침투시키는 것이 곤란해져 깎임(shave)이 발생하기 쉬워진다.

또한, 특허문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 압압 부재로서 도 23에 나타내는 바와 같은 봉 형상 롤러(16)나, 도 24에 나타내는 바와 같은 브레이크 바(17)(선 형상 압압체)를 이용하여, 이들을 점착 시트(12)면을 따라 슬라이드시키면서 압압하는 방법에서는, 처리 속도에 대해서는 문제없지만, 봉 형상 롤러(16) 등이 앞으로 브레이크하고자 하는 스크라이브 라인의 바로 밑의 위치로 이동하기 전에, 스크라이브 라인의 비스듬한 방향으로부터 하중이 실린 상태에서 브레이크되어 버리면, 수직 방향으로 크랙이 침투하기 어려워져 깎임이 발생하기 쉬워지게 된다.

또한, 다른 문제로서, 압압시에, 웨이퍼(11)가 지지되는 링 부재(10)의 다이싱 링(13)(도 21)에, 봉 형상 롤러(16)나 브레이크 바(17)가 충돌하면, 웨이퍼(11)를 압압할 수 없게 된다. 다이싱 링의 링 내경을 a로 하면, 도 21에 나타내는 바와 같이, 압압 가능한 면적을 가장 넓게 하려면, 봉 형상 롤러(16)나 브레이크 바(17)의 길이 방향의 폭을

로 하게 된다. 이때에 브레이크 가능한 웨이퍼(11)의 직경은, 최대라도

이하로 할 필요가 있었다.

그 때문에, 웨이퍼(11)의 직경에 대하여, 충분히 큰 직경의 점착 시트(12)나 다이싱 링(13)이 필요해지고, 나아가서는 브레이크 장치 자체도 가공 대상의 웨이퍼(11)에 대하여 전체적으로 대형화하지 않으면 안 되었다.

그래서, 본 발명은 가공 대상인 원형 등의 워크(웨이퍼 등)의 직경에 대하여, 조금만 큰 직경의 다이싱 링을 이용한 링 부재로 워크를 지지한 상태인 채로, 워크의 스크라이브 라인을 따라 수직인 하중을 가하도록 하여 브레이크하는 것이 가능한 브레이크 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉, 본 발명의 브레이크 장치는, 워크상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인을 따라 워크를 분단하는 브레이크 장치이며, 워크를 지지하기 위한 지지 부재로서, 다이싱 링과 다이싱 링의 링 내에 붙여진 점착 테이프에 의해 구성되는 링 부재가 이용된다. 그리고, 워크는, 링 부재의 점착 테이프에 부착된 상태로 되어 있다. 또한, 링 부재에 부착되는 워크는, 원형이나 타원형과 같이, 워크상에 형성되는 복수조의 스크라이브 라인의 길이가 워크상의 위치에 따라 변화하는 형상이다.

브레이크 장치에는, 직선 형상의 압압면을 갖고, 분단 대상의 스크라이브 라인의 바로 뒤쪽을 따라 링 부재의 점착 테이프측으로부터 워크를 압압하는 브레이크 바를 구비한 압압 기구와, 워크측에 맞닿게 하여, 브레이크 바의 압압력에 저항하여 워크를 지지하는 서포트 부재를 구비한 워크 지지 기구가 형성되어 있다.

브레이크 바는, 압압면의 길이 방향을 따라 고정 블록부와 가변(可變) 블록부로 분할됨과 함께, 가변 블록부의 압압면을 고정 블록부의 압압면보다도 들어가게 한 퇴피(退避) 상태로 변화시키는 압압면 조정 기구가 형성되어 있다.

그리고, 브레이크 바는 분단(dividing) 대상의 스크라이브 라인의 길이에 따라서 브레이크 바의 압압면의 길이가 조정된 상태에서 워크를 압압한다.

즉, 원형 등의 워크에 복수조로 형성된 스크라이브 라인의 길이는, 워크의 주연 근방에서는 짧고, 워크의 중앙에서는 길어져, 워크의 주연 근방을 분단할 때에 브레이크 바의 압압면이 다이싱 링에 충돌하기 쉽다. 그렇기 때문에, 주연이 짧은 스크라이브 라인을 분단할 때는, 가변 블록부의 압압면을 들어가게 한 퇴피 상태로 하여 고정 블록부의 압압면만으로 워크를 압압하도록 하여, 주연을 분단할 때에 브레이크 바가 다이싱 링에 접촉하지 않도록 한다. 워크 중앙의 긴 스크라이브 라인을 분단할 때는, 가변 블록부의 압압면을 고정 블록부의 압압면에 맞춘 상태로 하여 압압한다.

이와 같이 하여, 워크상의 스크라이브 라인의 위치에 따라서, 브레이크 바의 가변 블록부가 다이싱 링에 충돌하지 않도록 조정하도록 하여 분단을 행한다.

또한, 워크를 사이에 두고 브레이크 바와 반대측에서는, 워크 지지 기구의 서포트 부재를 워크에 맞닿게 하지만, 서포트 부재는, 브레이크 바로 압압되는 일부 영역의 바로 뒤쪽 근방에 대하여 맞닿도록 해도 좋고, 워크 전체에 대하여 맞닿도록 해도 좋다. 이에 따라, 브레이크 바가 워크의 뒤쪽의 점착 테이프를 압압했을 때에, 점착 테이프가 압압 방향으로 크게 연신되지 않고, 압압 전(前)과 거의 동일한 상태로 분단되기 때문에, 분단 예정 위치의 스크라이브 라인에 대하여 정밀도 좋은 분단이 행해진다.

본 발명에 의하면, 워크상의 위치에 따라 변화하는 스크라이브 라인의 길이에 따라서, 브레이크 바의 가변 블록부가 다이싱 링에 충돌하지 않도록 조정하도록 하여 분단을 행한다. 이에 따라, 가공 대상인 원형 등의 워크(웨이퍼 등)의 지름에 대하여, 조금만 큰 링 부재에 의해 워크를 지지한 상태에서, 워크의 스크라이브 라인상에 하중을 가하도록 하여, 브레이크하는 것이 가능해진다. 또한, 워크를 사이에 두고 브레이크 바의 반대측에 서포트 부재를 맞닿게 하여, 점착 테이프의 연신을 억제하도록 하고 있기 때문에, 브레이크 바를 스크라이브 라인을 따라 정확하고 그리고 수직으로 압압시킬 수 있어, 수직인 크랙으로 분단할 수 있다.

상기 발명에 있어서, 브레이크 바의 가변 블록부는, 고정 블록부의 길이 방향의 양측에서 각각 동수(同數)의 단위 블록으로 분할됨과 함께, 단위 블록이 고정 블록부의 양측에서 좌우 대칭이 되도록 부착되고, 압압면 조정 기구는 좌우 대칭의 위치에 있는 단위 블록의 쌍마다 블록 바의 압압면을 변화시키는 조정을 행하도록 해도 좋다.

가변 블록부를 복수의 블록으로 작게 분할함으로써, 브레이크 바의 길이를 가공 대상의 스크라이브 라인의 길이에 따라서 조금씩 조정할 수 있게 되어, 다이싱 링의 직경이 동일해도, 브레이크 바가 다이싱 링에 충돌하는 일 없이, 보다 큰 직경의 워크를 부착하여 분단할 수 있다.

상기 발명에서, 브레이크 바의 압압면의 최대 길이(L)를, 다이싱 링의 링 내경(a)에 대하여, 다음 식의 범위로 해도 좋다.

이에 따라, 워크 지름이

보다 큰 워크에 대해서도, 최대경(最大徑)이 브레이크 바 길이(L)까지이면 분단할 수 있게 된다.

상기 발명에 있어서, 서포트 부재는, 스크라이브 라인을 따라 스크라이브 라인을 사이에 둔 좌우 양측의 위치에서 각각 워크에 맞닿게 하는 한 쌍의 서포트 바로 이루어지고, 한 쌍의 서포트 바는 각각 고정 블록부와 가변 블록부로 분할됨과 함께, 가변 블록부의 맞닿음면을 고정 블록부의 맞닿음면보다도 들어가게 한 퇴피 상태로 변화시키는 맞닿음면 조정 기구가 형성되도록 해도 좋다.

서포트 부재를 스크라이브 라인을 따라 스크라이브 라인을 사이에 둔 좌우 양측의 위치에서 각각 워크에 맞닿게 하는 한 쌍의 서포트 바(support bar)로 함으로써, 스크라이브 라인을 따라 브레이크 바가 압압되는 좌우 양측을 지지함으로써, 스크라이브 라인상에 정확하게 굽힘 모멘트가 가해지게 되어, 수직으로 크랙이 침투되기 쉬워진다.

또한, 워크 주연이 짧은 스크라이브 라인을 분단할 때는, 서포트 바의 가변 블록부의 압압면을 들어가게 한 퇴피 상태로 하여 고정 블록부의 압압면만으로 워크를 지지하도록 하고, 주연을 분단할 때에도 서포트 바가 다이싱 링에 접촉하지 않도록 한다. 워크 중앙이 긴 스크라이브 라인을 분단할 때는, 서포트 바의 가변 블록부의 맞닿음면을 고정 블록부의 맞닿음면에 맞춘 상태로 한다. 이에 따라, 브레이크 바와 동일하게, 워크상의 스크라이브 라인의 길이에 따라서, 서포트 바의 가변 블록부가 다이싱 링에 충돌하지 않도록 조정하도록 하여 분단을 행할 수 있다.

여기에서, 한 쌍의 서포트 바의 각각의 가변 블록부는, 고정 블록부의 길이 방향의 양측에서 각각 동수(同數)의 단위 블록으로 분할됨과 함께, 단위 블록이 고정 블록부의 양측에서 쌍을 이루어 좌우 대칭이 되도록 부착되고, 맞닿음면 조정 기구는 좌우 대칭의 위치에 있는 단위 블록의 쌍마다 서포트 바의 맞닿음면을 변화시키는 조정을 행하도록 해도 좋다.

서포트 바의 가변 블록부를 복수의 단위 블록으로 작게 분할함으로써, 브레이크 바와 동일하게, 길이를 조금씩 조정할 수 있게 되어, 다이싱 링의 직경이 동일해도, 서포트 바가 다이싱 링에 충돌하는 일 없이, 보다 큰 직경의 워크를 분단할 수 있다.

또한, 서포트 부재는, 스크라이브 라인을 따라 맞닿게 하는 서포트 바로 이루어지고, 서포트 바는 고정 블록부와 가변 블록부로 분할됨과 함께, 가변 블록부의 맞닿음면을 고정 블록부의 맞닿음면보다도 들어가게 한 퇴피 상태로 변화시키는 맞닿음면 조정 기구가 형성되도록 해도 좋다.

서포트 부재를 스크라이브 라인을 따라 워크에 맞닿게 하는 서포트 바로 함으로써, 스크라이브 라인을 따라 브레이크 바가 압압되는 바로 뒤쪽의 위치를 지지함으로써, 스크라이브 라인상에 정확하게 압압력이 가해지게 되어, 수직 크랙으로 분단할 수 있다. 또한, 이 경우는, 서포트 바를 하나로 할 수 있지만, 한 쌍의 서포트 바를 스크라이브 라인의 좌우 양측을 따라 맞닿게 하는 경우에 비하면, 압압력을 조금 강하게 할 필요가 있다.

워크상의 스크라이브 라인의 길이에 따라서, 다이싱 링과 충돌하지 않도록 서포트 바의 가변 블록부의 길이를 조정하여 분단을 행할 수 있는 점에 대해서는 동일하다.

이 경우에 있어서도, 서포트 바의 가변 블록부는, 고정 블록부의 길이 방향의 양측에서 각각 동수의 단위 블록으로 분할됨과 함께, 단위 블록이 고정 블록부의 양측에서 좌우 대칭이 되도록 부착되고, 맞닿음면 조정 기구는 좌우 대칭의 위치에 있는 단위 블록의 쌍마다 서포트 바의 맞닿음면을 변화시키는 조정을 행하도록 해도 좋다.

또한, 상기 발명에 있어서, 워크상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인에 대한 브레이크의 순서를 설정하는 입력부를 구비하고, 워크 반송 기구는, 설정된 브레이크의 순서에 기초하여, 브레이크 바의 압압면과 대향하는 위치에, 순차로 분단 대상의 스크라이브 라인이 오도록 링 부재의 위치 조정을 행하도록 해도 좋다.

워크상에 형성된 칩을 꺼낼 때에, 우선순이 있는 경우라도, 우선순을 따라서 스크라이브 라인을 선택하여 분단할 수 있다.

입력부는, 설정 가능한 브레이크의 순서의 하나로서, 워크상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인이 늘어선 순으로 브레이크를 행하는 순차 이송 모드를 형성하도록 해도 좋다.

순차 이송 모드를 설정함으로써, 워크 반송 기구는 순차로 인접하는 스크라이브 라인에 브레이크 바의 압압면을 맞추면 되기 때문에, 위치 조정의 시간을 짧게 할 수 있다.

입력부는, 설정 가능한 브레이크의 순서의 하나로서, 워크상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인에 대하여, 가장 주연에 가까운 좌우의 스크라이브 라인부터 브레이크를 행하고, 순차로 하나 안쪽의 좌우의 스크라이브 라인의 브레이크를 행하고, 마지막에 중앙의 스크라이브 라인의 브레이크를 행하는 외측 우선 모드를 형성하도록 해도 좋다.

외측 우선 모드를 형성함으로써, 모든 브레이크를 행하기까지의 시간은 순차 이송 모드보다도 다소 여분으로 걸리지만, 그 한편으로, 워크의 좌우 양측의 주연에 가까운측의 스크라이브 라인으로부터 순서대로 브레이크를 행하기 때문에, 좌우 거의 균등하게 밸런스 좋게 분단을 행할 수 있게 되어, 점착 테이프에 붙여진 워크의 무게 중심의 이동이 작아져, 보다 정확한 위치에서의 분단이 가능하게 된다.

입력부는, 설정 가능한 브레이크의 순서의 하나로서, 워크상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인에 대하여, 워크를 이분(二分)하는 브레이크를 행하고, 계속해서 사분(四分)하는 브레이크를 행하고, 계속해서 팔분(八分)하는 브레이크를 행하고, 이후, 분할된 각 워크를 각각 추가로 등분할해가는 등분할 모드를 형성하도록 해도 좋다.

등분할 모드를 형성함으로써, 외측 우선 모드와 동일하게, 모든 브레이크를 행하기까지의 시간은 순차 이송 모드보다도 다소 여분으로 걸리지만, 그 한편으로, 브레이크하고자 하는 스크라이브 라인의 좌우의 폭이 거의 균등하게 되기 때문에, 밸런스 좋게 브레이크를 행할 수 있게 되어, 정확한 위치에서의 브레이크가 가능해진다.

도 1은 본 발명의 브레이크 장치를 이용하여 브레이크하는 워크를 부착한 링 부재의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 한 실시 형태인 브레이크 장치의 압압 기구측으로부터 본 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태인 브레이크 장치의 워크 지지 기구측으로부터 본 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 2의 브레이크 장치의 정면도(압압 기구측)이다.
도 5는 도 2의 브레이크 장치의 배면도(워크 지지 기구측)이다.
도 6은 도 2의 브레이크 장치의 평면도이다.
도 7은 압압 기구의 구성을 나타내는 도면이다.
도 8은 브레이크 바의 구성을 나타내는 도면이다.
도 9는 브레이크 바의 변형 패턴을 나타내는 도면이다.
도 10은 브레이크 바의 압압면의 폭 방향의 단면을 나타내는 도면이다.
도 11은 워크 지지 기구의 구성을 나타내는 도면이다.
도 12는 서포트 바의 구성을 나타내는 도면이다.
도 13은 서포트 바의 맞닿음면의 폭 방향의 단면을 나타내는 도면이다.
도 14는 압압 기구(22)와 워크 지지 기구(23a, 23b)의 위치 관계를 나타낸 도면이다.
도 15는 압압 기구(22)와 워크 지지 기구(23b)의 위치 관계를 나타낸 도면이다.
도 16은 링 부재(10)상의 브레이크 위치와 브레이크 바(36)의 압압면의 패턴과의 관계를 나타내는 모식도(schematic view)이다.
도 17은 제어계의 블록도이다.
도 18은 순차 이송 모드의 브레이크 순서를 나타내는 도면이다.
도 19는 외측 우선 모드에서의 브레이크 순서를 나타내는 도면이다.
도 20은 등분할 모드에서의 브레이크 순서를 나타내는 도면이다.
도 21은 링 부재를 나타내는 도면이다.
도 22는 브레이크 볼에 의한 브레이크 방법을 나타내는 도면이다.
도 23은 봉 형상 롤러에 의한 브레이크 방법을 나타내는 도면이다.
도 24는 선 형상 압압체(브레이크 바)에 의한 브레이크 방법을 나타내는 도면이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 본 발명에 따른 브레이크 장치의 상세에 대해서 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 여기에서는, 원형의 웨이퍼상에 새겨져 형성된 복수조의 스크라이브 라인을 따라 웨이퍼를 브레이크하는 경우를 예로 설명한다.

(링 부재)

맨 처음에, 가공 대상의 웨이퍼와, 웨이퍼를 지지시키는 링 부재와의 관계에 대해서 설명한다. 도 1은, 웨이퍼를 부착한 상태의 링 부재의 일 예를 나타내는 평면도이다. 링 부재(10)는, 점착 시트(12)와 다이싱 링(13)으로 이루어진다. 다이싱 링(13)은 두께 1.5mm 정도의 금속 제품이다. 웨이퍼(11)는 이면측을 점착 시트(12)에 부착하여 고착되어 있다.

이 링 부재(10)로 브레이크 가능한 웨이퍼(11)의 지름(D)은, 다이싱 링(13)의 내경을 a로 했을 때에, 종래부터 브레이크 가능한 최대경이었던

보다도 소경(小徑)일 뿐만 아니라,

이상의 대경(大徑)이라도, 후술하는 브레이크 바의 최대 길이(L)(단 L＜a)보다 소경이면, 브레이크할 수 있다.

(브레이크 장치의 구조)

다음으로, 본 발명의 브레이크 장치의 구성에 대해서 설명한다. 도 2는 본 발명의 일 실시 형태인 브레이크 장치(20)를 한 방향(압압 기구측)으로부터 본 전체 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 3은 브레이크 장치(20)를 도 2와는 반대 방향(워크 지지 기구측)으로부터 본 전체 구성을 나타내는 도면이다. 또한, 도 4는 브레이크 장치(20)의 정면도(압압 기구측), 도 5는 배면도(워크 지지 기구측), 도 6은 평면도이다.

설명의 편의상, 브레이크 장치(20)에 대하여, 도면 중에 나타내는 바와 같이, 장치의 길이 방향을 X 방향으로 하여 서로 직교하는 XYZ 방향을 정하는 것으로 한다.

브레이크 장치(20)는, 주로 베이스(21), 압압 기구(22), 워크 지지 기구(23a, 23b), 워크 반송 기구(24), 카트(25), 에어 플레이트(26)로 이루어진다.

베이스(21)상의 편측(片側)에 압압 기구(22)와 에어 플레이트(26)가 지지되고, 타방측에 한 쌍의 워크 지지 기구(23a, 23b)가 지지된다. 압압 기구(22)와 에어 플레이트(26)와의 중간에는 워크 반송 기구(24)가 지지된다.

다음으로 압압 기구(22)에 대해서 설명한다. 도 7은 압압 기구(22)를 나타내는 도면이다. 압압 기구(22)는 대좌(pedestal; 31)를 통하여 베이스(21)상에 고정된다. 대좌(31)의 위에는, 수직 아암(32)이 고정되어 있고, 이에 의해 베이스 플레이트(33)가 연직(Y 방향)으로 세워져 고정되어 있다. 베이스 플레이트(33)상에는 2개의 리니어 가이드(34)가 평행으로 부착되어 있고, 리니어 가이드(34) 및 모터(도시하지 않음)에 의해 가동 플레이트(35)가 전후 방향(Z 방향)으로 슬라이드할 수 있도록 지지되어 있다. 가동 플레이트(35)에는, 유닛화된 브레이크 바(36)가 부착되어 있으며, 브레이크 바(36)의 선단(先端)이 가동 플레이트(35)의 편측단(片側端)보다 외측으로 돌출한 위치에 오도록 되어 있다. 이 선단 부분이 웨이퍼(11)를 압압하는 압압면이 된다.

도 8은 브레이크 바(36)의 구성을 나타내는 도면으로, 도 8(a)는 사시도, 도 8(b)는 정면도, 도 8(c)는 평면도, 도 8(d)는 측면도이다.

브레이크 바(36)는 중앙의 고정 블록(37)과, 그 좌우 양측의 가변 블록(38a, 38b)으로 분할되어 있고, 또한 가변 블록(38a, 38b)은 각각 작은 단위 블록(39)으로 분할되어 있다. 각 단위 블록(39)은, 고정 블록(37)과 일체로 고정되어 있는 지지 부재(37a)에 의해 지지된다. 각 단위 블록(39)은, 공기압축 밸브를 이용한 에어 작동에 의한 승강 기구(40)를 구비하고 있고, 승강 기구(40)는 각각의 압압면(각 단위 블록(39)의 선단 부분)의 위치를, 고정 블록(37)의 압압면의 위치보다도 들어가게 한 위치로 퇴피시키는 압압면 조정 기구(77)(도 17)로서 작동하도록 되어 있다. 또한, 단위 블록(39)은 고정 블록(37)의 좌우 양측에서 동수로 함과 함께 대칭으로 부착되어 있고, 대칭의 위치에 있는 단위 블록(39)끼리가 쌍(합계 4쌍)이 되어 퇴피 동작을 행하도록 되어 있다. 도 9는 브레이크 바(36)의 압압면의 변형 패턴을 나타내는 도면이다. 단위 블록(39)의 위치 변화에 의해 압압면이 P1～P5의 5패턴으로 변화할 수 있도록 되어 있다.

브레이크 바(36)에 있어서의 고정 블록(37)의 압압면의 길이 방향의 치수 및, 단위 블록(39)의 압압면의 길이 방향의 치수는, 가공 대상의 웨이퍼(11)의 크기에 따라서 적절히 설정된다. 본 실시 형태에서는, 예를 들면, 길이 방향의 길이를 고정 블록(37)은 약 100mm, 단위 블록(39)은 약 12.5mm(합계 8개)로 하여, 브레이크 바(36)로서 최장의 길이(L)가 약 200mm가 되도록 되어 있다. 따라서, 브레이크 바(36)의 길이(L)는 패턴 P1～P5의 변화에 따라서 약 100mm, 약 125mm, 약 150mm, 약 175mm, 약 200mm가 된다. 이에 따라, 최대 200mm(8인치)의 웨이퍼(11)를 브레이크할 수 있게 되어 있다.

도 10은 브레이크 바(36)(고정 블록(37) 및 단위 블록(39))의 압압면의 폭 방향 단면이다. 압압면의 폭 방향의 치수는, 선단이 0.1㎛～3mm 정도의 끝이 가는 형상으로 되어 있고, 좁은 폭으로 웨이퍼(11)에 접하도록 하여 하중이 선 형상에 집중하여 실리도록 되어 있다.

또한, 브레이크 바(36)(고정 블록(37) 및 단위 블록(39))에는, 압압시에 변형되기 어려운 딱딱한 재질을 이용하는 것이 바람직하여, 예를 들면 공구강(工具鋼)을 이용하고 있다.

다음으로, 워크 지지 기구(23a, 23b)에 대해서 설명한다. 도 11은 워크 지지 기구(23a, 23b)의 구성을 나타내는 도면으로, 도 11(a)는 사시도, 도 11(b)는 정면도이다. 워크 지지 기구(23a, 23b)는, 각각 대좌(41a, 41b)의 위에 탑재되어, 볼 나사 및 모터를 이용한 서포트 바 구동 기구(41d)에 의해 대좌(41a, 41b)가 레일(41c)상을 이동 가능하게 되어 있다.

워크 지지 기구(23a, 23b)에서는 서포트 바(46)(도 7의 브레이크 바(36)에 상당) 이외에 대해서는 도 7에서 설명한 압압 기구(22)와 동일한 기구를 채용하고 있다. 따라서, 서포트 바(46) 이외의 워크 지지 기구(23a, 23b)의 각부에 대해서는 도 7과 동일 부호이기 때문에 설명을 생략한다.

도 12는 서포트 바(46)의 구성을 나타내는 도면으로, 도 12(a)는 사시도, 도 12(b)는 정면도, 도 12(c)는 평면도, 도 12(d)는 측면도이다.

서포트 바(46)는 중앙의 고정 블록(47)과, 그 좌우 양측의 가변 블록(48a, 48b)으로 분할되어 있고, 또한 가변 블록(48a, 48b)은 각각 작은 단위 블록(49)으로 분할되어 있다. 각 단위 블록(49)은 고정 블록(47)과 일체로 고정되어 있는 지지 부재(47a)에 의해 지지된다.

각 단위 블록(49)은, 공기압축 밸브를 이용한 에어 작동에 의한 승강 기구(50)를 구비하고 있고, 승강 기구(50)는 각각의 맞닿음면(각 단위 블록(49)의 선단 부분)의 위치를, 고정 블록(47)의 맞닿음면의 위치보다도 들어가게 한 위치로 퇴피시키는 맞닿음면 조정 기구(78)(도 17)로서 작동하도록 되어 있다. 또한, 단위 블록(49)은 고정 블록(47)의 좌우 양측에서 동수로 함과 함께 대칭으로 부착되어 있어, 대칭의 위치에 있는 단위 블록(49)끼리가 쌍(합계 4쌍)이 되어 퇴피 동작을 행하도록 되어 있다.

즉, 도 8의 브레이크 바(36)의 압압면 조정 기구와 동일한 기구가, 도 12에서는 서포트 바(46)의 맞닿음면 조정 기구로서 작동하도록 되어 있다. 또한, 서포트 바(46)의 단위 블록(49)에 의한 변형 패턴에 대해서도 브레이크 바(36)의 변형 패턴과 동일한 P1～P5(도 9)이다.

서포트 바(46)는, 기본적으로 브레이크 바(36)와 동일한 치수로 되어 있지만, 웨이퍼(11)에 맞닿는 선단 부분의 형상 및 재질이 다르게 되어 있다.

도 13은 서포트 바(46)(고정 블록(47) 및 단위 블록(49))의 폭 방향 단면이다. 서포트 바(46)의 선단면은 평면으로 되어 있다. 단, 이에 한하지 않고 곡면이라도 좋다. 서포트 바(46)의 선단 부분의 재질은 압압시에 웨이퍼(11)에 대하여 소프트하게 접촉하도록 탄성 고무가 이용되어 있다.

다음으로, 워크 반송 기구(24) 및 카트(25)에 대해서, 재차 도 2～도 6을 참조하면서 설명한다. 워크 반송 기구(24)는 수직으로 세워진 틀 구조의 프레임(61)의 상방과 하방에, 카트(25)를 지지함과 함께 반송하기 위한 리니어 가이드(62)가 형성되어 있고, 리니어 모터(도시하지 않음)에 의해 카트(25)가 횡 방향(X 방향)으로 이동되도록 되어 있다. 카트(25)의 중앙에는, 링 부재(10)를 부착하는 구멍이 형성되어 있다.

카트(25)에 부착된 링 부재(10)는, 워크 반송 기구(24)에 의해 압압 기구(22)와 워크 지지 기구(23a, 23b)와의 사이로 반송되어, 웨이퍼(11)에 새겨져 형성된 스크라이브 라인이 브레이크 바(36)의 바로 뒤쪽의 브레이크 위치에 오도록 한다. 그리고 복수조의 스크라이브 라인을 차례로 브레이크할 때에는, 각 스크라이브 라인이, 순차로, 브레이크 위치에 오도록 위치 조정이 행해진다.

위치 조정은, 카메라를 채용한 위치 결정 방법이나 기계적인 위치 결정 방법 등의 주지의 방법으로 행해진다. 예를 들면, 미리, 웨이퍼(11)에 새겨져 형성된 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 브레이크 장치(20)에 부착한 카메라(도시하지 않음)로 촬상하고, 화상 처리에 의해 위치 결정하도록 해도 좋다. 또한, 링 부재(10)에 웨이퍼(11)가 정밀도 좋게 부착되고, 링 부재(10)가 정밀도 좋게 카트(25)에 부착되어 있는 경우는, 미리, 브레이크 장치(20)에 설정되어 있는 원점 위치에 대한 카트(25)의 위치 좌표에 기초하여 위치 결정하도록 해도 좋다.

다음으로, 에어 플레이트(26)에 대해서 설명한다. 가공 대상의 웨이퍼(11)는 링 부재(10), 카트(25), 워크 반송 기구(24)에 의해 수직으로 세운 상태에서 지지되도록 되어 있어, 이들에 의한 지지에 의해 브레이크 처리를 행할 수 있다. 그러나, 링 부재(10)상에서, 웨이퍼(11)는 진동을 받기 쉬운 점착 시트(12)에 부착되어 있어, 점착 시트(12)가 진동하면 웨이퍼(11) 자체도 영향을 받는다. 그 때문에, 웨이퍼(11)에 새겨져 형성된 스크라이브 라인을 따라, 보다 정밀도가 높은 브레이크 처리를 행하려면, 진동 대책을 행하는 것이 바람직하다.

그 때문에, 본 실시 형태에서는 추가로 압압 기구(22)의 둘레에, 사각형의 에어 플레이트(26)를 부착하고 있다. 에어 플레이트(26)는, 링 부재(10)와 대향하는 위치에, 다수의 노즐 구멍이 형성되어 있고, 일부의 노즐 구멍으로부터는 건조 공기를 취출시킴과 함께, 일부의 노즐 구멍에서 흡인함으로써, 카트(25)가 브레이크 위치에 세트되었을 때, 비(非)접촉의 상태에서 점착 시트(12) 및 이것에 부착된 웨이퍼(11)가 수직으로 선 상태에서 안정되도록 되어 있다.

다음으로, 압압 기구(22)와 워크 지지 기구(23a, 23b)와의 브레이크시의 위치 관계에 대해서 설명한다. 도 14는, 설명의 편의상, 워크 반송 기구(24), 카트(25), 에어 플레이트(26)를 생략하고, 압압 기구(22)와 워크 지지 기구(23a, 23b)의 위치 관계를 나타낸 도면이다. 도 14(a)에 나타내는 바와 같이, 압압 기구(22)와, 한 쌍의 워크 지지 기구(23a, 23b)가 링 부재(10)를 사이에 두고 대향하고 있다.

브레이크 바(36)와 서포트 바(46)(링 부재(10)의 뒤쪽)와는, 높이 방향(Y 방향)의 위치가 일치되어 있다. 그리고, 서포트 바(46)의 횡 방향(X 방향)의 위치는, 서포트 바 구동 기구(41d)에 의해 조정되어, 도 14(b)에 나타내는 바와 같이, 웨이퍼(11)의 스크라이브 라인(S)을 사이에 두고 좌우 양측으로 근소하게 떨어진 위치에서 맞닿도록 되어 있다. 브레이크 바(36)는 스크라이브 라인(S)의 바로 뒤쪽에 오도록 되어 있다. 이에 따라, 브레이크 바(36)가 웨이퍼(11)를 압압하면, 굽힘 모멘트가 스크라이브 라인(S)을 따라 대칭으로 작동하도록 된다.

또한, 서포트 바(46)의 다른 맞닿음 방법으로서, 도 15(a)에 나타내는 바와 같이, 워크 지지 기구(23a)를 퇴피시켜(혹은 워크 지지 기구(23a)를 처음부터 탑재하지 않고), 워크 지지 기구(23b)만을 사용해도 좋다.

이 경우는, 도 15(b)에 나타내는 바와 같이, 웨이퍼(11)의 스크라이브 라인(S)의 바로 위를 따라 서포트 바(46)가 맞닿도록 한다. 또한, 브레이크 바(36)는 스크라이브 라인(S)의 바로 뒤쪽에 오도록 되어 있다. 이에 따라, 브레이크 바(36)가 웨이퍼(11)를 압압하면, 서포트 바(46)의 탄성력에 의한 변형에 의해 웨이퍼(11)가 휘어, 굽힘 모멘트가 가해지도록 된다.

(브레이크 패턴)

도 16은, 링 부재(10)상의 브레이크 위치와, 브레이크 바(36)의 압압면의 패턴과의 관계를 나타내는 모식도이다.

스크라이브 라인이 짧은 주연에 대해서는 압압면이 짧은 패턴 P1에서 브레이크 하고, 순차로, P2, P3, P4로 변형시켜, 스크라이브 라인이 가장 긴 중앙에서는 압압면이 긴 패턴 P5로 브레이크 함으로써, 브레이크 바(36)가 다이싱 링(13)과 충돌하는 일 없이, 웨이퍼(11)를 브레이크 할 수 있다.

(제어계)

다음으로, 브레이크 장치(20)의 제어계에 대해서 설명한다. 도 17은 브레이크 장치(20)의 제어계를 나타내는 블록도이다. 제어부(70)는 CPU(71), 메모리(72), 입력부(73), 표시부(74)를 포함하는 컴퓨터로 이루어진다. 이들은 장치위 혹은 장치 근방에 컨트롤 유닛(도시하지 않음)으로서 설치된다. 카트 반송 및 위치 결정을 행하는 워크 반송 기구(24), 웨이퍼(11)를 안정시키는 에어 플레이트(26), 브레이크 바(36)를 압압시키는 압압 기구(22), 브레이크 바(36)의 압압면의 길이를 조정하는 압압면 조정 기구(77), 서포트 바(46)를 맞닿게 하는 워크 지지 기구(23a, 23b), 서포트 바의 길이를 조정하는 맞닿음면 조정 기구(78)의 각부는, 메모리(72)에 기억시킨 프로그램이나 파라미터, 입력부(73)로부터 입력한 파라미터, 커맨드에 기초하여 제어되고, 동작 상태가 표시부(74)에서 모니터된다.

(브레이크 순서)

브레이크 장치(20)에서는, 웨이퍼(11)상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인을 브레이크할 때에, 브레이크 순서를 입력부(73)로부터 임의로 설정하여 메모리(72)에 기억시켜 둠으로써(임의 지정 모드라고 함), 기억시킨 브레이크 순서로, 각 스크라이브 라인을 브레이크할 수 있다.

그리고, 「임의 지정 모드」의 외에, 브레이크 순서의 설정 입력 작업을 용이하게 하기 위해, 「순차 이송 모드」와, 「외측 우선 모드」와, 「등분할 모드」가 마련되어 있어, 모드 선택의 입력을 행함으로써, 선택할 수 있도록 되어 있다.

이 중, 「순차 이송 모드」를 선택하면, 도 18에 있어서 브레이크 순서를 나타내는 바와 같이, 웨이퍼(11)의 편측단으로부터 순서대로, 잇달아 브레이크가 행해진다. 이 경우는 스크라이브 라인의 길이의 변화에 따라서, 브레이크 바(36)는 P1, P2, P3, P4, P5, P4, P3, P2, P1의 순으로 변화한다. 순차 이송 모드에서 브레이크함으로써, 워크 반송에 요하는 시간을 최소로 할 수 있기 때문에, 처리 시간을 짧게 할 수 있다.

한편, 「외측 우선 모드」를 선택하면, 도 19에 있어서 브레이크 순서를 나타내는 바와 같이, 웨이퍼(11)의 가장 외측에 있는 좌우의 스크라이브 라인의 브레이크를 행하고, 계속해서, 그 다음으로 외측에 있는 좌우의 스크라이브 라인의 브레이크를 행하고, 이후, 순차로 내측에 있는 좌우의 스크라이브 라인의 브레이크를 행한다. 그리고, 마지막에 중앙에 있는 가장 긴 스크라이브 라인의 브레이크를 행한다. 이 경우는 스크라이브 라인의 길이의 변화에 따라서, 브레이크 바(36)는 P1, P2, P3, P4, P5의 순으로 변화한다.

외측 우선 모드로 브레이크함으로써, 워크 반송에 요하는 시간은 순차 이송 모드보다 조금 길어지지만, 웨이퍼(11)는, 일부가 브레이크된 상태일 때라도 좌우 대칭에 가까운 상태에서 브레이크가 행해지게 되기 때문에, 웨이퍼(11)의 무게 중심 이동이 작아져, 보다 정밀도가 높은 브레이크가 가능해진다.

또한, 「등분할 모드」를 선택하면, 도 20에 있어서 브레이크 순서를 나타내는 바와 같이, 웨이퍼(11)의 중앙의 스크라이브 라인(스크라이브 라인이 짝수일 때는 중앙에 가장 가까운 스크라이브 라인이 된다)에서 이분할(二分割))한 웨이퍼 형상으로 하고, 계속해서, 이분할된 각각의 부분 웨이퍼를, 추가로 각각의 중앙의 스크라이브 라인에서 이분할함으로써 부분 웨이퍼를 사분(四分)하는 브레이크를 행하고, 이후 동일하게, 부분 웨이퍼를 팔분(八分), 십육분, …해가는 등분할의 브레이크를 행한다. 이 경우의 브레이크 바의 길이는, 맨 처음은 중앙에 있는 가장 긴 스크라이브 라인을 브레이크하기 때문에 P5가 되지만, 이후는, 다음에 브레이크하는 스크라이브 라인의 길이에 따라서 변화한다.

등분할 모드에서 브레이크함으로써, 그 시점에서의 부분 웨이퍼의 중앙의 스크라이브 라인에서 분할하기 때문에, 좌우 양측의 폭이 균등해져, 밸런스 좋게 브레이크를 행할 수 있게 되어, 정확한 위치에서의 브레이크가 가능해진다.

이상은, 일(一) 방향(Y 방향)으로 늘어선 복수조의 스크라이브 라인을 브레이크하는 경우에 대해서 설명했지만, 격자 형상의 스크라이브 라인, 즉 이(二) 방향(XY 방향)으로 늘어선 복수조의 스크라이브 라인의 브레이크를 행하는 경우는, 링 부재를 90도 회전하여 동일한 동작을 반복하도록 한다. 그 경우, 카트(25)에 링 부재(10)를 90도 회전시키는 회전 기구를 형성해 두면, 효율 좋게 이 방향의 브레이크를 행할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 4쌍의 단위 블록(39)은 모두 동일한 형상으로 했지만, 단위 블록의 길이 방향의 길이를, 쌍마다 바꾼 것으로 해도 좋다. 또한, 워크 형상이 비대칭일 때는, 쌍이 되는 단위 블록의 길이 방향의 길이가 다르도록 해도 좋다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 웨이퍼(11)를 사이에 두고 브레이크 바(36)의 뒤쪽을, 1개 또는 한 쌍의 서포트 바(46)를 맞닿게 하도록 하여 지지하도록 했기 때문에 정확한 브레이크가 행해지지만, 서포트측의 형상에는 자유도가 있어, 웨이퍼(11)를 지지할 수 있는 서포트 부재이면 이 이외의 형상으로 해도 좋다. 예를 들면, 서포트 바(46)를 대신하여, 웨이퍼(11)의 전면(全面)에서 맞닿는 평면 형상의 서포트 부재로 지지하도록 해도 좋다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 원형의 웨이퍼를 브레이크했지만, 워크 형상은 원형에 한하지 않는다. 다이싱 링의 링 내에 부착 가능하고, 길이가 다른 복수조의 스크라이브 라인이 새겨져 형성된 워크이면, 예를 들면 타원형을 비롯한 다른 형상이라도 본 발명을 유효하게 이용할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 링 부재(10)를 수직으로 하여 지지하도록 했지만, 링 부재(10)를 수평으로 지지하여 가공하는 일반적인 종래형의 브레이크 장치로 해도 좋다.

본 발명의 브레이크 장치는, 링 부재에 붙인 웨이퍼 등의 브레이크에 이용할 수 있다.

10 : 링 부재
11 : 웨이퍼
12 : 점착 테이프
13 : 다이싱 링
20 : 브레이크 장치
22 : 압압 기구
23a, 23b : 워크 지지 기구
24 : 워크 반송 기구
25 : 카트
26 : 에어 플레이트
33 : 고정 플레이트
35 : 가동 플레이트
36 : 브레이크 바
37 : 고정 블록
38a, 38b : 가변 블록
39 : 단위 블록
40 : 승강 기구(압압면 조정 기구(77))
46 : 서포트 바
47 : 고정 블록
48a, 48b : 가변 블록
49 : 단위 블록
50 : 승강 기구(맞닿음면 조정 기구(78))
61 : 프레임
62 : 리니어 가이드
70 : 제어부
71 : CPU
72 : 메모리
73 : 입력부
74 : 표시부

Claims (11)

1. 워크를 지지하기 위한 지지 부재로서, 다이싱 링과 다이싱 링의 링 내에 붙여진 점착 테이프에 의해 구성되는 링 부재가 이용되며,
   상기 워크가 상기 링 부재의 점착 테이프에 부착된 상태에서, 워크상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인을 따라 워크를 분단하는 브레이크 장치로서,
   직선 형상의 압압면을 갖고, 분단 대상의 스크라이브 라인의 바로 뒤쪽을 따라 점착 테이프측으로부터 상기 워크를 압압하는 브레이크 바(break bar)를 구비한 압압 기구와,
   상기 워크측에 맞닿게 하여, 상기 브레이크 바의 압압력에 저항하여 워크를 지지하는 서포트 부재를 구비한 워크 지지 기구가 형성되며,
   상기 브레이크 바는, 압압면의 길이 방향을 따라 고정 블록부와 가변(可變) 블록부로 분할됨과 함께, 가변 블록부의 압압면을 고정 블록부의 압압면보다도 들어가게 한 퇴피(退避) 상태로 변화시키는 압압면 조정 기구가 형성되며,
   상기 브레이크 바는 분단 대상의 스크라이브 라인의 길이에 따라서 브레이크 바의 압압면이 조정된 상태에서 워크를 압압하는 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 브레이크 바의 가변 블록부는, 고정 블록부의 길이 방향의 양측에서 각각 동수(同數)의 단위 블록으로 분할됨과 함께, 단위 블록이 고정 블록부의 양측에서 좌우 대칭이 되도록 부착되고, 상기 압압면 조정 기구는 좌우 대칭의 위치에 있는 단위 블록의 쌍마다 브레이크 바의 압압면을 변화시키는 조정을 행하는 브레이크 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 브레이크 바의 압압면의 최대 길이(L)가, 다이싱 링의 링 내경(a)에 대하여, 다음 식의 범위로 되어 있는 브레이크 장치.
   

   
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 서포트 부재는, 스크라이브 라인을 따라 스크라이브 라인을 사이에 둔 좌우 양측의 위치에서 각각 워크에 맞닿게 하는 한 쌍의 서포트 바로 이루어지고, 상기 한 쌍의 서포트 바는 각각 고정 블록부와 가변 블록부로 분할됨과 함께, 가변 블록부의 맞닿음면을 고정 블록부의 맞닿음면보다도 들어가게 한 퇴피 상태로 변화시키는 맞닿음면 조정 기구가 형성되는 브레이크 장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 한 쌍의 서포트 바의 가변 블록부는, 고정 블록부의 길이 방향의 양측에서 각각 동수의 단위 블록으로 분할됨과 함께, 단위 블록이 고정 블록부의 양측에서 쌍을 이루어 좌우 대칭이 되도록 부착되고, 상기 맞닿음면 조정 기구는 좌우 대칭의 위치에 있는 단위 블록의 쌍마다 서포트 바의 맞닿음면을 변화시키는 조정을 행하는 브레이크 장치.
6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 서포트 부재는, 스크라이브 라인을 따라 맞닿게 하는 서포트 바로 이루어지고, 상기 서포트 바는 고정 블록부와 가변 블록부로 분할됨과 함께, 가변 블록부의 맞닿음면을 고정 블록부의 맞닿음면보다도 들어가게 한 퇴피 상태로 변화시키는 맞닿음면 조정 기구가 형성되는 브레이크 장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 서포트 바의 가변 블록부는, 고정 블록부의 길이 방향의 양측에서 각각 동수의 단위 블록으로 분할됨과 함께, 단위 블록이 고정 블록부의 양측에서 쌍을 이루어 좌우 대칭이 되도록 부착되고, 상기 맞닿음면 조정 기구는 좌우 대칭의 위치에 있는 단위 블록의 쌍마다 서포트 바의 맞닿음면을 변화시키는 조정을 행하는 브레이크 장치.
8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   워크상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인에 대한 브레이크의 순서를 설정하는 입력부를 구비하고,
   상기 워크 반송 기구는, 설정된 브레이크의 순서에 기초하여, 브레이크 바의 압압면과 대향하는 위치에, 순차로 분단 대상의 스크라이브 라인이 오도록 링 부재의 위치 조정을 행하는 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.
9. 제8항에 있어서,
   입력부는, 설정 가능한 브레이크의 순서의 하나로서, 워크상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인이 늘어선 순으로 브레이크를 행하는 순차 이송 모드를 형성한 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.
10. 제8항에 있어서,
    입력부는, 설정 가능한 브레이크의 순서의 하나로서, 워크상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인에 대하여, 가장 주연에 가까운 좌우의 스크라이브 라인부터 브레이크를 행하고, 순차로 하나 안쪽의 좌우의 스크라이브 라인의 브레이크를 행하고, 마지막에 중앙의 스크라이브 라인의 브레이크를 행하는 외측 우선 모드를 형성한 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.
11. 제8항에 있어서,
    입력부는, 설정 가능한 브레이크의 순서의 하나로서, 워크상에 형성된 복수조의 스크라이브 라인에 대하여, 워크를 이분(二分)하는 브레이크를 행하고, 계속해서 사분(四分)하는 브레이크를 행하고, 계속해서 팔분(八分)하는 브레이크를 행하고, 이후, 분할된 각 워크를 각각 추가로 등분할해가는 등분할 모드를 형성한 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.

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