KR101080100B1

KR101080100B1 - 파지부 승강식 운반 장치

Info

Publication number: KR101080100B1
Application number: KR1020040056113A
Authority: KR
Inventors: 이케야마사유키
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2003-07-18
Filing date: 2004-07-19
Publication date: 2011-11-04
Anticipated expiration: 2024-07-19
Also published as: JP4224784B2; JP2005035770A; US7255238B2; TW200508139A; CN1576225A; KR20050009249A; TWI314913B; US20050011851A1; CN100406370C

Abstract

이동차에 의해 매달려 지지되는 파지부(20)가 승강 조작되고, 또한, 파지부(20)가 파지 상태와 파지해제 상태로 전환 조작되어 물품(3)을 물품 적재 위치(9)로부터 수취하거나 물품(3)을 물품 적재 위치(9)에 릴리스하는 운반 장치에서, 파지부(20)가 파지나 파지해제를 위한 목표 하강 위치로 하강 조작되었을 때에 과잉 하강이 발생해도, 자동적으로 보정되도록 한다.

목표 하강 위치로 하강 조작된 파지부(20)에 과잉 하강이 발생하면, 과잉 하강 검출 센서(34)에 의해 검출되어, 이 검출 결과에 근거하여, 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태로 전환되도록 파지부(20)를 상승 조작하는 상승 보정이 실행된다.

이동차, 파지부, 파지 상태, 파지해제 상태, 물품 물품 적재 위치, 수취, 릴리스, 운반 장치, 파지, 파지해제, 목표 하강 위치, 과잉 하강 검출 센서.

Description

파지부 승강식 운반 장치{TRANSPORTING APPARATUS HAVING VERTICALLY MOVABLE HOLDING PORTION}

도 1은 운반 장치의 사시도이다.

도 2는 운반 장치의 정면도이다.

도 3은 이동차 및 파지부의 정면도이다.

도 4는 용기의 사시도이다.

도 5는 블럭도이다.

도 6은 수취 동작의 흐름도이다.

도 7은 릴리스 동작의 흐름도이다.

도 8은 수취 동작의 설명도이다.

도 9는 릴리스 동작의 설명도이다.

도 10은 수취 동작시의 상승 보정을 나타낸 설명도이다.

도 11은 수취 동작시의 하강 보정을 나타낸 설명도이다.

도 12는 릴리스 동작시의 상승 보정을 나타낸 설명도이다.

도 13은 릴리스 동작시의 하강 보정을 나타낸 설명도이다.

본 발명은, 물품을 파지하는 파지부를 승강 모터에 의해 승강 가능하게 구비한 물품 운반용의 이동차(移動車)를 구비하고, 그 이동차가 물품 적재를 위한 목표 위치에 정지한 상태로, 상기 파지부를 승강시켜, 물품 적재 위치에 적재된 물품을 수취하는 수취 동작 및 상기 물품 적재 위치에 물품을 릴리스(release)하는 릴리스 동작을 실시하도록, 상기 승강 모터의 작동 및 상기 파지부를 파지 상태와 파지해제 상태로 전환하는 파지부의 전환 작동을 제어하는 제어 수단을 구비하고, 그 제어 수단이, 상기 승강 모터에 의한 상기 파지부의 승강량을 검출하는 승강량 검출 센서의 검출 정보에 근거하여, 상기 수취 동작에서 상기 파지부를 파지 상태로 전환하고, 또한, 상기 릴리스 동작에서 상기 파지부를 파지해제 상태로 전환하기 위한 목표 하강 위치로 하강시킬 수 있도록, 상기 승강 모터를 작동시키도록　구성되어 있는 파지부 승강식 운반 장치에 관한　것이다.

종래의 파지부 승강식 운반 장치로서, 종래, 예를 들어 특허공개공보 2003-128381호(도 2, 도 4, 도 5)에 개시된 것이 있다. 이 파지부 승강식 운반 장치에는, 물품을 파지작용하는 파지부를 매달어 지지하는 매달기 도구를 승강 모터로 승강 조작 가능하게 구비한 물품 운반용의 이동차가 설치되어 그 이동차가 물품 적재용 목표 위치에 정지한 상태로, 상기 파지부를 승강시켜, 물품 적재 위치에 적재된 물품을 수취하는 수취 동작, 및, 상기 물품 적재 위치에 물품을 릴리스하는 릴리스 동작을 실시하도록, 상기 승강 모터의 작동 및 상기 파지부를 파지 상태와 파지해제 상태로 전환하는 파지부의 전환 작동을 제어하는 제어 수단이 설치되어 있다.

즉, 운반차가 와이어로 매달어 지지하는 파지부를 갖추어, 운반차가 용기 수취 위치의 윗쪽 위치에 정지한 상태로, 드럼 구동용 모터에 의해 와이어를 승강 조작함으로써 파지부를 승강 조작하고, 또한, 파지부를 한 쌍의 파지구가 서로 가까워지는 방향으로 요동해 운반 용기의 플랜지(flange)를 파지한 상태와, 한 쌍의 파지구가 서로 떨어지는 방향으로 요동해 운반 용기의 플랜지에 대한 파지를 해제한 상태로 변환 조작해, 파지부에 의해 운반 용기를 용기 수취 위치로부터 수취하거나 용기 수취 위치에 릴리스하도록 된 것이 있다.

이런 종류의 운반 장치에서는, 승강 모터에 의한 파지부의 승강량을 검출하는 승강량 검출 센서가 설치되고, 파지부에 수취하는 동작이나 릴리스 동작을 실시하게 할 때, 승강량 검출 센서의 검출 정보에 근거하여 승강 모터를 작동시키는 제어를 실행시키고, 이것에 의해, 파지부를 파지 상태 또는 파지해제 상태로 전환하기 위한 목표 하강 위치에 하강시키도록　구성된다.

이러한 종류의 운반 장치에서, 물품 적재 위치를 형성하는 물품 적재대의 설치 상태에 이상이 발생하는 등 하여 물품 적재 위치로부터 이동차의 이동 경로까지의 거리에 변화가 발생하거나, 매달기 도구에 늘어남이 발생하거나 하면, 승강 모터에 의한 파지부의 승강량을 검출하는 승강량 검출 센서로부터의 검출 정보를 기초로 하여, 파지부가 목표 하강 위치가 되었다고 판단되어도, 실제로는, 파지부가 목표 하강 위치보다 너무 내려가게 되는 일이 있다.파지부가 목표 하강 위치보다 너무 내려가면, 예를 들어 파지부의 파지 척이 물품 부분에 닿게 되는 등 하여, 파지부가 파지 상태나 파지해제 상태로 전환되기 어려워지거나 전환되지 않게 되는 일이 있다.

이 때문에, 종래, 목표 하강 위치로 하강 조작된 파지부와, 물품 적재 위치에 적재된 물품의 상대적 상하 위치 관계를 검출해, 파지부가 목표 하강 위치보다 너무 하강한 것을 검출하는 과잉 하강 검출 센서를 설치하여, 이 과잉 하강 검출 센서에 의해 파지부의 과잉 하강이 검출되면, 운반 장치의 운전이 정지되도록　구성되어 있었다.

상기 종래의 운반 장치에서는, 파지부의 과잉 하강이 검출되면, 그 때마다, 물품 적재 위치의 설치 상태를 인위적으로 조정하거나, 매달기 도구가 늘어난 것을 해소하는 등, 과잉 하강을 해소하는 작업을 실시함으로써 운반 장치의 운전을 재개시킬 필요가 있어, 수고가 드는 등 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, 파지부의 과잉 하강이 발생해도, 그것을 해소하는 수고가 반드시 필요로 하지 않으면서 운반 장치의 운전을 속행시킬 수가 있는 파지부 승강식 운반 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 물품을 파지(hold)하는 파지부를 승강 모터에 의해 승강 가능하게 구비한 물품 운반용의 이동차(移動車)가 설치되어 있고, 상기 이동차가 물품 적재를 위한 목표 위치에 정지한 상태에서, 상기 파지부를 승강시키고, 물품 적재 위치에 적재된 물품을 수취하는 수취 동작 및 상기 물품 적재 위치에 물품을 릴리스하는 릴리스 동작을 행하도록, 상기 승강 모터의 작동 및 상기 파지부를 파지 상태와 파지해제 상태로 전환하 는 파지부의 전환 작동을 제어하는 제어 수단이 설치되어 있으며, 상기 제어 수단이, 상기 승강 모터에 의한 상기 파지부의 승강량을 검출하는 승강량 검출 센서의 검출 정보에 기초해, 상기 수취 동작에서 상기 파지부를 파지 상태로 전환하고, 또한, 상기 릴리스 동작에서 상기 파지부를 파지해제 상태로 전환하기 위한 목표 하강 위치로 하강시킬 수 있도록, 상기 승강 모터를 작동시키도록　구성되어 있는 파지부 승강식 운반 장치에 있어서, 상기 목표 하강 위치로 하강된 상기 파지부와 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품의 상대적 상하 위치 관계를 검출하여, 상기 파지부가 상기 목표 하강 위치보다 지나치게 하강한 과잉 하강 상태인 것을 검출하는 과잉 하강 검출 센서가 설치되어 있고, 상기 제어 수단이, 상기 파지부를 상기 목표 하강 위치로 하강시켰을 때에, 상기 과잉 하강 검출 센서에 의해 상기 과잉 하강 상태인 것이 검출되면, 상기 파지부를 설정 상승량 상승시키는 상승 보정 처리를 실행하도록　구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

즉, 파지부의　과잉 하강이 발생하면,　과잉 하강 검출 센서에 의해 검출되고 이 검출결과를 기초로 제어 수단이 상승 보정 처리를 실행해, 파지부가 설정 상승량을 상승 조작하는 것이다. 이것에 의해, 파지부가 목표 하강 위치로부터 너무 내려 가도, 그 원인이나 크기 등에 따라서는, 자동적으로 상승 보정되어 과잉 하강을 해소하고, 파지 상태로 전환되어 물품을 적절히 파지하게 되거나 파지해제 상태로 전환되어 물품파지를 적절히 해제하게 된다. 따라서, 매달기 도구가 늘어나는 것을 해소하는 등의 대책 작업을 특별히 실시하지 않아도, 파지부의 과잉 하강이 자동적으로 해소되어 물품을 물품 적재 위치로부터 수취하여 운반하도록, 또한, 물 품을 물품 적재 위치에 릴리스하도록　운반이 속행되게 된다.

따라서, 파지부의 과잉 하강이 발생해도, 경우에 따라서는 과잉 하강이 자동적으로 해소되어 물품의 수취나 릴리스가 소정대로 행해져 종래에서는과잉 하강의 해소에 필요하였던 작업을 불필요하게 하면서, 또한, 과잉 하강의 해소를 위한 운전중단도 불필요하게 하면서 운반 작업을 속행할 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 상기 제어 수단이, 상기과잉 하강 검출 센서에 의해 과잉 하강 상태가 검출되는 동안은 상기 상승 보정 처리를 설정 보정 횟수에 도달할 때까지 반복 실행하고, 상기 설정 보정 횟수 분의 실행 후에도 상기 과잉 하강 검출 센서에 의해 과잉 하강 상태가 검출되었을 때는 이상이 있다고 판별하도록　구성되어 있다.

즉, 과잉 하강 검출 센서에 의해 과잉 하강이 검출되어 상승 보정 처리를 반복해 실행하여도, 파지부가 걸리는 등 했을 경우, 고장에 따라서는, 파지부의 과잉 하강이 해소되지 않고, 인위적인 해소 작업이 필요하게 되는 일이 있다. 파지부의 과잉 하강의 해소에 필요한 보정 횟수로서 설정한 설정 보정 횟수를 반복해 상승 보정 처리를 하여도, 과잉 하강이 해소되지 않는 경우에는, 이상이 있다고 판단되는 것이다. 이것에 의해, 이상이 있다고 판단된 것을 알므로써, 인위적인 해소 작업이 필요하게 되어 있다고 인식할 수 있다.

따라서, 청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 파지부의 과잉 하강이 상승 보정 처리에 의해 해소되지 않아서, 해소 작업이 필요하게 되었을 경우, 그것을 적절히 인식시켜, 해소 작업을 조기에 실행시켜 정상적인 운전을 조기에 재개시킬 수 있 다.

청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 상기 목표 하강 위치로 하강된 상기 파지부와 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품의 상대적 상하 위치 관계를 검출해, 상기 파지부가 상기 목표 하강 위치 및 상기 목표 하강 위치에 가까운 적정 범위에 위치하는 적정 하강 상태인 것을 검출하는 적정 하강 상태 검출 센서가 설치되어 있고, 상기 제어 수단이, 상기 수취 동작 및 상기 릴리스 동작에서, 상기 과잉 하강 검출 센서가 과잉 하강 상태를 검출하지 않을 때에, 상기 적정 하강 상태 검출 센서가 적정 하강 상태를 검출하지 않을 때에는 이상이 있다고 판별하도록　구성되어 있다.

즉, 물품 적재 위치를 형성하는 물품 적재대의 설치 상태에 이상이 발생하는 등, 물품 적재 위치로부터 이동차의 이동 경로까지의 거리가 설정 거리보다 크게 되는 사태가 발생하면, 상기 승강량 검출 센서로부터의 검출 정보를 기초로, 파지부가 목표 하강 위치가 되었다고 판단되어도, 실제로는, 파지부가 아직 목표 하강 위치까지 하강하고 있지 않는 일이 있다. 이 경우, 과잉 하강 검출 센서가 과잉 하강 상태를 검출하지 않고, 적정 하강 상태 검출 센서가 적정 하강 상태를 검출하지 않으며, 제어 수단에 의해 이상이 있다고 판단된다. 이것에 의해, 이상이 있다고 판단된 것을 알므로써, 파지부가 목표 하강 위치까지 하강되지 않고, 그 하강 부족을 해소하는 대책이 필요하다고 인식할 수 있다.

따라서, 청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 파지부의 인하 부족이 발생했을 경우, 그것을 적절히 인식시켜, 해소 작업을 조기에 실행시켜 정상적인 운전을 조 기에 재개시킬 수가 있다.

청구항 4에 기재된 특징에 의하면, 상기 릴리스 동작에서, 상기 파지부에 의한 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품에 대한 파지 상태가 상기 파지부를 파지해제 상태로 전화하는데 적정한 파지해제용의 적정파지 상태인지 아닌지를 검출하는 파지해제 확인용 센서가 설치되어 있고, 상기 제어 수단이, 상기 릴리스 동작에서는, 상기 과잉 하강 검출 센서가 과잉 하강 상태를 검출하지 않고, 또한, 상기 적정 하강 상태 검출 센서가 적정 하강 상태를 검출하는 상태에서, 상기 파지해제 확인용 센서가 해제용의 적정파지 상태를 검출하지 않을 때에는, 상기 파지부를 설정 하강량 하강시키는 릴리스용의 하강 보정 처리를 실행하도록　구성되어 있다.

즉, 파지부가 목표 하강 위치로 하강 조작되어, 파지부에 과잉 하강도 하강 부족도 발생하고 있지 않아도, 파지부가 물품에 접촉하고 있는 등, 파지해제 상태로 전화하는데 적정한 파지 상태로 되어 있지 않으면, 파지해제 상태로 전환될 수 있도록 조작되어도, 물품으로부터 마찰 등으로 벗어나기 어려워지는 일이 있다. 그런데, 파지부가 파지해제 상태로 전화하는데 적절한 파지 상태로 되어 있지 않으면 파지해제 확인용 센서가 해제용의 적정파지 상태를 검출하지 않고, 이 검출 결과를 기초로 제어 수단이 릴리스용의 하강 보정 처리를 실행해, 이것에 의해, 파지부가 하강 보정되어 파지해제 상태로 전화하는데 적정한 파지 상태가 되어, 전환 조작되면, 순조롭게 파지해제하게 된다. 이것에 의해, 파지부가 목표 하강 위치가 되어도 파지해제하는데 적정한 파지 상태로 되지 않으면, 자동적으로 하강 보정되어 유지 해제에 적정한 파지 상태로 보정되어, 전환 조작됨에 따라, 유지 해제 상태로 순조롭게 전환되도록 된다.

따라서, 청구항 4에 기재된 특징에 의하면, 목표 하강 위치로 하강 조작된 파지부가, 물품 유지를 해제하는데 적정한 파지 상태로 되어 있지 않아도, 하강 보정 처리에 의해 유지 해제에 적정한 파지 상태로 자동적으로 보정되어 물품 유지의 해제를 순조롭게 실시해, 특별한 해소 수고를 들이지 않아도 물품이 물품 적재 위치에서 자세가 혼란스럽게 되지 않도록 제어된다.

청구항 5에 기재된 특징에 의하면, 상기 제어 수단이, 상기 파지해제 확인용 센서가 적정파지 상태를 검출하지 않는 동안은 상기 릴리스용의 하강 보정 처리를 설정 보정 횟수에 도달할 때까지 반복 실행해, 그 설정 보정 횟수 분의 실행 후에도 상기 파지해제 확인용 센서에서 해제용의 적정파지 상태가 검출되지 않을 때에는 이상이 있다고 판별하도록　구성되어 있다.

즉, 파지해제 확인용 센서에 의해 적정파지 상태가 검출되지 않아서 하강 보정 처리를 반복해 실행하여도, 파지부가 걸리는 등 했을 경우, 그 고장에 따라서는, 파지부의 부적정한 파지 상태가 해소되지 않고, 인위적인 해소 작업이 필요하게 되는 일이 있다. 파지부의 부적정한 파지 상태의 해소에 필요한 보정 횟수로서 설정한 설정 보정 횟수를 반복해 하강 보정 처리를 하여도, 부적정한 파지 상태가 해소되지 않는 경우에는, 이상이 있다고 판단되는 것이다. 이것에 의해, 이상이라고 판단된 것을 알므로써, 인위적인 해소 작업이 필요하게 되었다고 인식할 수 있다.

따라서, 청구항 5에 기재된 특징에 의하면, 파지부의 부적정한 파지 상태가 하강 보정 처리에 의해 해소되지 않아서, 해소 작업이 필요하게 되었을 경우, 그것을 적절히 인식시켜, 해소 작업을 조기에 실행시켜 정상적인 운전을 조기에 재개할 수 있다.

청구항 6에 기재된 특징에 의하면, 상기 수취 동작에서, 상기 파지부를 파지 상태로 전환하였을 때에 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품에 대한 파지 상태가 물품을 적정하게 파지하고 있는 적정파지 상태인지 아닌지를 검출하는 파지 상태 검출 센서가 설치되어 있고, 상기 제어 수단은, 상기 수취 동작에서는, 상기 과잉 하강 검출 센서가 과잉 하강 상태를 검출하지 않고 또한 상기 적정 하강 상태 검출 센서가 적정 하강 상태를 검출할 경우에는, 상기 파지부를 파지 상태로 전환하고, 상기 전환에 의해 상기파지 상태 검출 센서가 적정파지 상태를 검출하지 않을 때에는, 상기 파지부를 설정 하강량 하강시키는 수취용의 하강 보정 처리를 실행하도록 구성되어 있다.

즉, 파지부가 목표 하강 위치로 하강 조작되어 파지부에 과잉 하강도 하강 부족도 발생하고 있지 않아도, 파지부가 물품에 걸리는 등 하면, 파지 상태로 전환될 수 있도록 조작되어도, 물품의 수취에 적정한 파지 상태가 되기 어려운 일이 있다. 이 경우, 파지부를 파지 상태로 전화하는 조작이 행해져도, 파지 상태 검출 센서가 적정파지 상태를 검출하지 않고, 이 검출 결과를 기초로 제어 수단이 수취용의 하강 보정 처리를 실행하고, 파지부가 하강 보정되어, 전환 조작되면 적정한 파지 상태로 전환된다. 이것에 의해, 파지부가 전환 조작되어도 적정한 파지 상태로 전환되지 않으면 , 자동적으로 하강 보정되어 적정한 파지상태로 전환되게 된다.

따라서, 청구항 6에 기재된 특징에 의하면, 목표 하강 위치로 하강 조작된 파지부가, 수취에 적정한 파지 상태로 전환되지 않고 있어도, 하강 보정 처리에 의해 수취에 적정한 파지 상태로 전환되도록 자동적으로 보정되어 확실히 파지작용하게 되어, 특별한 수고를 들이지 않아도 물품이 물품 적재 위치로부터 확실히 수취하여들여져 운반되어 간다.

청구항 7에 기재된 특징에 의하면, 상기 제어 수단이, 상기 파지 상태 검출 센서가 적정파지 상태를 검출하지 않는 동안은 상기 수취용의 하강 보정 처리를 설정 보정 횟수에 도달할 때까지 반복 실행해, 그 설정 보정 횟수 분의 실행 후에도 상기 파지 상태 검출 센서에서 적정파지 상태가 검출되지 않을 때에는 이상이 있다고 판별하도록　구성되어 있다.

즉, 파지 상태 검출 센서에 의해 적정파지 상태가 검출되지 않아서 하강 보정 처리를 반복해 실행하여도, 파지부가 걸리는 등 했을 경우, 그 고장에 따라서는, 파지부의 부적정한 파지 상태가 해소되지 않고, 인위적인 해소 작업이 필요하게 되는 일이 있다. 파지부의 부적정한 파지 상태의 해소에 필요한 보정 횟수로서 설정한 설정 보정 횟수를 반복하여 하강 보정 처리를 하여도, 부적정한 파지 상태가 해소되지 않는 경우에는, 이상이 있다고 판단되는 것이다. 이것에 의해, 이상이 있다고 판단된 것을 알므로써, 인위적인 해소 작업이 필요하게 되었다고 인식할 수 있다.

따라서, 청구항 7에 기재된 특징에 의하면, 파지부의 부적정한 파지 상태가 하강 보정 처리에 의해 해소되지 않아서, 해소 작업이 필요하게 되었을 경우, 그것 을 적절히 인식시켜, 해소 작업을 조기에 실행시켜 정상적인 운전을 조기에 재개할 수 있다.

이하, 본 발명의 적합한 실시예를 도면에 근거하여 설명한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 파지부 승강식 운반 장치는, 안내 레일(1)에 따라 주행하는 이동차(10)와, 이 이동차(10)에 다수의 매달기 와이어(2)를 통하여 승강 가능하게 매달어 지지되는 파지부(20)를 구비하고 있다.

이 운반 장치는, 반도체 기판을 제조하는 설비에서, 운전 지령에 근거하여 자동적으로 운전되어, 반도체 기판을 수용한 용기(3)를, 각 제조 공정의 제조실의 물품 출입창(4)의 외측으로 운반하는 것이다. 자세하게는, 다음과 같이 구성되어 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 용기(3)는, 다수 개의 반도체 기판(5)을 수용하거나 꺼내거나 하는 출입로(6)를 구비한 용기 본체(3a)와, 운반 시에 출입로(6)를 밀봉하는 착탈 가능한 덮개(3b)에 의해 구성된다. 용기 본체(3a)의 표면 상에는, 파지부(20)에 의한 파지를 가능하게 하는, 평면에서 볼 때 사각형의 플랜지(7)가 설치되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 각 제조실의 물품 출입창(4)의 외측에는, 물품 적재대(8)의 적재면에 의해 물품 적재 위치(9)가 형성되어 있다. 용기(3)는, 이 물품 적재 위치(9)에서, 상기 플랜지(7)가 용기(3)의 위쪽에 위치하는 상태로 적재된다.

도 3에 도시된 바와 같이, 이동차(10)는, 안내 레일(1)의 주행면(1a)에 적재 된 주행륜(11)과 안내 레일(1)의 요동 방지 안내면(1b)에 접하는 요동 방지 바퀴(12)와, 이 요동 방지 바퀴(12)나 상기 주행륜(11)을 가지는 차체(1Oa)와 안내 레일(1) 사이에 설치된 선형 모터(도시하지 않음) 등을 구비하고 있다. 이동차(10)는, 이 선형 모터의 구동력에 의해 안내 레일(1)에 따라 각 물품 적재 위치(9)의 윗쪽을 이동한다.

도 3 등에 도시된 바와 같이, 상기 주행륜(11)이나 요동 방지 바퀴(12)를 구비하는 차체(10a)의 아래 쪽에는, 이동차(10)의 이동 방향으로 늘어선 한 쌍의 수납 프레임(13) 등에 의해 형성되는 물품 수용 공간(14)이나, 이 물품 수용 공간(14)의 상부에 위치하는 지지 프레임(15)에 설치한 회전 드럼(16) 및 전동 승강 모터(M1)나, 상기 회전 드럼(16)으로부터 인출 되는 상기 다수의 매달기 와이어(2)를 갖출 수 있다.

상기 다수의 매달기 와이어(2)의 각각의 단부를, 상기 파지부(20)의 파지부 프레임(21)의 상단에 위치하는 와이어 연결부(21a)에 연결되어 있다. 상기 회전 드럼(16)은, 상기 승강 모터(M1)에 의해 이동차 위 아래 방향의 축심 주위에서 정회전 및 역회전 방향으로 회전 구동된다. 즉, 드럼(16)이, 정회전 및 역회전 방향 중 한 방향으로 회전 구동되면, 상기 다수의 매달기 와이어(2)를 인출하고, 다른 방향으로 회전 구동되면 와이어(2)를 감아올린다. 이와 같이 이동차(10)는, 상기 다수의 매달기 와이어(2)에 의해 파지부(20)를 매달어 지지해, 승강 모터(M1)에 의해 회전 드럼(16)을 회전함으로써 다음의 작동이 가능하다:

(1) 매달기 와이어(2)를 인출함으로써, 물품 적재 위치(9)에 적재된 용기(3) 를 파지부(20)에 의해 수취한다.

(2) 파지부(20)에 의해 용기(3)를 물품 적재 위치(9)에 릴리스하기 위해서 파지부(20)를 물품 수용 공간(14)으로부터 상기 물품 적재 위치(9)를 향해 내린다.

(3) 승강 모터(M1)에 의해 회전 드럼(16)을 회전 조작해 매달기 와이어(2)를 감아올리기 조작함으로써, 물품 적재 위치(9)로부터 수취한 용기(3)를 물품 수용 공간(14)에 수용한다.

(4) 용기(3)를 릴리스한 후의 빈 파지부(20)를 물품 수용 공간(14){홈 포지션 (HP)}으로 되돌리기 위해서 파지부(20)를 끌어올린다.

도 3에 도시된 바와 같이, 파지부(20)는, 상기 파지부 프레임(21)이나, 이 파지부 프레임(21)의 하부의 외측에 설치한 한 쌍의 파지 척(holding chuck)(22)이나, 상기 파지부 프레임(21)의 내부에 설치한 전동 파지 모터(M2)를 구비하고 있다.상기 파지 모터(M2)의 출력부는, 링크를 포함한 연동기구(23)에 의해 한 쌍의 파지 척(22) 각각에 연결되어 있다. 파지 모터(M2)는, 정회전이나 역회전 방향으로 구동됨으로써, 한 쌍의 파지 척(22)을 기단측의 연결축(24)의 축심 주위로 요동 조작해, 각 파지 척(22)의 손가락 모양의 부재 모양의 부재가 서로 모인 폐쇄 위치와 각 파지 척(22)의 손가락 모양의 부재가 서로 떨어진 개방 위치 사이에서 조작된다.

이것에 의해, 파지부(20)는, 도 3에서 실선으로 가리키드시, 한 쌍의 파지 척(22)이 파지 모터(M2)에 의해 폐쇄위치로 전환 조작됨으로써, 각 파지 척(22)의 손가락 모양의 부재측이 용기(3)의 상기 플랜지(7)의 아래쪽 면 측에 비집고 들어 가, 한 쌍의 파지 척(22)에 의해 용기(3)를 파지하는 위치로 변위된다. 또한, 도 3에 2점 쇄선으로 가리키듯이, 한 쌍의 파지 척(22)이 파지 모터(M2)에 의해 열림 위치로 변위되는 것으로, 각 파지 척(22)의 손가락 모양의 부재측이 플랜지(7)로부터 외측으로 벗어나, 한 쌍의 파지 척(22)에 의한 용기(3)의 파지를 해제하는 파지해제 상태가 된다.

도 3에 도시된 바와 같이, 이동차(10)의 승강 모터(M1)가 위치하는 부분에 승강량 검출 센서(30)가 설치되어 있다. 이동차(10)의 상기 지지 프레임(15)에는 중심 어긋남 센서(31)가 설치되어 있다. 파지부(20)의 파지부 프레임(21)에는 파지 척 개폐 센서(32)가 설치되어 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 각 센서(30~32)에 연결된 제어 수단(33)을, 상기 승강 모터(M1) 및 상기 파지 모터(M2)에 연결시켰다. 상기 제어 수단(33)에는, 도 8에 도시된 바와 같이, 파지부(20)에 설치한 과잉 하강 검출 센서(34), 적정 하강 상태 검출 센서(35), 파지 해제 확인용 센서(36), 파지 상태 검출 센서(37)도 연결시켜 있다.

승강량 검출 센서(30)가, 승강 모터(1)의 출력부의 회전을 감지하는 로터리 엔코더이며, 이것은 승강 모터(M1)가 매달기 와이어(2)를 인출할 때, 모터 출력부의 회전수를 검출해, 이 검출 결과를 전기 신호로 하여 제어 수단(33)에 출력함으로써, 승강 모터(M1)에 의한 파지부(20)의 하강량을 검출한다. 같은 방법으로, 승강 모터(M1)가 매달기 와이어(2)를 감아올릴 때, 승강량 검출 센서(30)가 모터 출력부의 회전수를 검출해, 이 검출 결과를 전기신호로 하여 제어 수단(33)에 출력해 승강 모터(M1)에 의한 파지부(20)의 상승량을 검출시킨다.

도 8에 도시된 바와 같이, 중심 어긋남 센서(31)는, 파지부 프레임(21)의 상기 와이어 연결부(21a)에 설치한 검출 대상(38)을 향해 레이저광(a)을 투광하고, 검출 대상(38)의 반사면에서 반사한 레이저광(a)을 수광해 수광 위치의 변화의 유무를 검출해, 이 검출 결과를 전기신호로 해 제어 수단(33)에 출력해 파지부(20)의 물품 적재 위치(9)에 대한 위치 어긋남의 유무를 검출시킨다.

과잉 하강 검출 센서(34)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 파지부 프레임(21)에 설치한 검출 스위치를 갖고, 파지부(20)가 목표 하강 위치에 하강했을 때, 이 목표 하강 위치보다 너무 하강하고 있는지 아닌지를 검출해 이 검출 결과를 전기신호로 해 제어 수단(33)에 출력한다. 이 검출 스위치는, 아래에서 설명하는 검출 대상(39)과 접촉하는 접촉부를 갖고, 이 접촉에 의해 검출 스위치 내의 컨택트 스위치가 ON으로 되는 구조를 가진다.그러나, 검출 스위치는, 중심 어긋남 센서(31)와 동일한 투광부와 수광부를 갖는 광학 센서라도 되고. 이 경우, 검출 대상(39)이 투광부와 수광부 사이의 광을 차단했을 때, 검출 대상(39)이 검출된다.

즉, 도 10에 도시된 바와 같이, 파지부 프레임(21)에 검출 대상(39)을 상하 미끄럼 이동 가능하게 설치하여 있어, 파지부(20)가 상기 목표 하강 위치에 하강하는 것에 수반해, 검출 대상(39)의 하단측의 콘부(39a)가 물품 적재 위치(9)에 적재된 용기(3)의 플랜지(7)의 표면 측에 접한다. 도 10a에 도시된 바와 같이, 파지부(20)가 목표 하강 위치보다 과잉 하강한 상태가 되면, 검출 대상(39)이 플랜지(7)으로부터의 반력에 의해 파지부 프레임(21)에 대해서 상승해, 검출 대상(39)의 상단측이 과잉 하강 검출 센서(34)의 검출부에 대향하는 위치로 이동해, 과잉 하강 검출 센서(34)가 검출 대상(39)을 검출한다.도 10b에 도시된 바와 같이, 파지부(20)가 목표 하강 위치보다 과잉 하강하지 않은 상태에 있으면, 검출 대상(39)이 플랜지(7)의 반력에 의해 파지부 프레임(21)에 대해서 상승해도, 검출 대상(39)의 상단측이 과잉 하강 검출 센서(34)의 검출부로부터 벗어난 위치가 되어, 과잉 하강 검출 센서(34)가 검출 대상(39)를 검출하지 않는다.

즉, 과잉 하강 검출 센서(34)는, 목표 하강 위치에 하강된 파지부(20)와, 물품 적재 위치(9)에 적재된 용기(3)의 상대적 상하 위치 관계를 과잉 하강 검출 센서(34)와 검출 대상(39)의 위치 관계에 의해 검출함으로써 파지부(20)가 목표 하강 위치보다 과잉 하강한 상태에 있는지 아닌지를 검출한다. 또한, 과잉 하강 검출 센서(34)의 검출부에 검출 대상(39)이 대향함으로써, 파지부(20)가 목표 하강 위치보다 과잉 하강한 상태에 있으면 검출한다.

적정 하강 상태 검출 센서(35)는, 도 8 등에 가리키듯이 파지부 프레임(21)의 상기 과잉 하강 검출 센서(34)보다 설정 거리만큼 저레벨의 위치에 설치한 검출 스위치를 갖고, 상기 목표 하강 위치에 하강 조작된 파지부(20)가 목표 하강 위치 및 그것에 가까운 적정 범위에 위치하는 적정 하강 상태에 있는지 아닌지를 검출해 이 검출 결과를 전기신호로 해 제어 수단(33)에 출력한다. 이 검출 스위치로서, 과잉 하강 검출 센서(34)와 같은 검출 스위치를 이용하는 것이 가능하다.

즉, 도 8b, 도 9b에 도시된 바와 같이, 파지부(20)가 목표 하강 위치 및 그것에 가까운 적정 범위에 위치하는 적정 하강 상태에 있으면, 검출 대상(39)이 플랜지(7)으로부터의 반력에 의해 파지부 프레임(21)에 대해서 상승해, 검출 대상 (39)의 상단측이 적정 하강 상태 검출 센서(35)의 검출부에 대향해 적정 하강 상태 검출 센서(35)를 검출 상태로 한다. 파지부(20)가 상기 적정 하강 상태보다 상승 측으로 벗어난 상태가 되면, 검출 대상(39)이 적정 하강 상태 검출 센서(35)의 검출부에서 아래 쪽으로 위치 어긋난 상태가 된다.

즉, 적정 하강 상태 검출 센서(35)는, 목표 하강 위치로 하강된 파지부(20)와 물품 적재 위치(9)에 적재된 용기(3)의 상대 상하 위치 관계를 적정 하강 상태 검출 센서(35)와 검출 대상(39)의 위치 관계에 의해 검출함으로써 파지부(20)가 적정 하강 상태에 있는지 아닌지를 검출한다.

파지해제 확인용 센서(36)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 파지 척(22)의 한 쪽의 손가락 모양의 부재 측에 설치한 제1 파지 척 센서(41)와 다른 쪽의 파지 척(22)의 손가락 모양의 부재 측에 설치한 제2 파지 척 센서(42)를 가진다.파지해제 확인용 센서(36)는, 물품 적재 위치(9)에 용기(3)가 릴리스될 때, 물품 적재 위치(9)에 용기(3)를 적재한 파지부(20)가 파지 상태로부터 파지해제 상태로 전환하는데 적절한 파지해제용의 적정 파지 상태, 즉, 파지 척(22)을 손가락 모양의 부재 측이 용기(3)에 걸리지 않도록 순조롭게 열림 조작할 수 있는 상태가 되어 있는지 아닌지를 검출해, 이 검출 결과를 전기신호로 해 제어 수단(33)에 출력한다. 제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42)는 둘 다 압력 감지 센서이다.제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42) 양쪽 모두가 압력 비감지 상태가 되어 있으면, 파지부(20)가 파지해제 상태로 전화하는데 적정한 파지 상태가 되어 있다고 검출한다. 반대로, 제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42)의 적어도 한 쪽이 압력 감지 상태가 되어 있으면, 파지부(20)가 파지해제 상태로 전화하는데 적절한 파지 상태로 되어 있지 않다고 검출한다.

상기 제1 파지 척 센서(41)와 상기 제2 파지 척 센서(42)는, 파지 상태 검출 센서(37)로서도 기능한다. 즉, 물품 적재 위치(9)로부터 용기(3)를 수취할 때에, 파지부(20)를 파지 상태로 전환하였을 때, 파지부(20)에 의한 물품 적재 위치(9)에 적재된 용기(3)에 대한 파지 상태가 용기(3)를 적정하게 파지하고 있는 적정 파지 상태, 즉, 용기(3)를 물품 적재 위치(9)로부터 수취하는 일이 지장 없이 행할 수 있도록 파지하고 있는 상태로 되어 있는지 아닌지를 검출해, 이 검출 결과를 전기신호로 해 제어 수단(33)에 출력한다. 즉, 제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42)의 양쪽 모두가 압력 비감지 상태가 되어 있으면, 파지부(20)가 용기(3)의 수취에 적정한 파지 상태가 되어 있다고 검출한다.반대로, 제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42)의 적어도 한편이 압력 감지 상태가 되어 있으면, 파지부(20)가 용기(3)의 수취에 적정한 파지 상태로 되어 있지 않다고 검출한다.

파지 척 개폐 센서(32)는, 파지 모터(M2)와 한 쌍의 파지 척(22)을 연동시키고 있는 상기 연동기구(23)의 위치에 근거하여 한 쌍의 파지 척(22)이 파지위치나 파지해제 위치에 있는 것을 검출해, 이 검출 결과를 전기신호로 해 제어 수단(33)에 출력한다.

제어 수단(33)은, 마이크로컴퓨터를 갖고, 운전 지령이 입력되면, 이동차(10)가 용기(3)의 수취나 릴리스을 행해야 할 물품 적재 위치(9)에 대응하는 물품 적재용 목표 위치(S)(도 3참조)로 이동하도록 이동차(10)를 주행시키는 제어를 실 행한다. 이동차(10)가 물품 적재용 목표 위치(S)에 도달하면, 이동차(10)가 그 물품 적재용 목표 위치(S)에 정지한 상태로 파지부(20)를 승강시켜, 물품 적재 위치(9)에 적재된 용기(3)를 수취하는 수취 동작 및 물품 적재 위치(9)에 용기(3)를 릴리스하는 릴리스 동작을 행하도록, 승강 모터(M1)의 작동 및 파지부(20)의 전환 작동을 도 6 및 도 7과 같이 제어한다.

즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 수취 동작을 행하게 하려면, 스텝(1)에 도시된 바와 같이, 승강 모터(M1)를 와이어(2)의 인출 측에 구동 조작해 파지부(20)를 물품 수용 공간(14)으로부터 하강시킨다. 또한, 승강량 검출 센서(30)에 의한 검출 정보에 근거하여 파지부(20)가 상기 목표 하강 위치에 하강한 것을 검출하면, 승강 모터(M1)를 정지 조작해 파지부(20)의 하강을 정지시킨다.

스텝(2, 3, 4)에 도시된 바와 같이, 파지부(20)가 하강 정지하면, 과잉 하강 검출 센서(34)가 파지부(20)의 과잉 하강을 검출하고 있는지 아닌지를 판단한다. 과잉 하강이 검출되어 있지 않다고 판단하고, 또한, 적정 하강 상태 검출 센서(35)가 적정 하강 상태를 검출하고 있다고 판단했을 경우, 파지 모터(M2)를 구동해, 파지 척(22)을 닫음으로써, 파지부(20)를 파지 상태로 전환하는 조작을 행한다. 다음에, 스텝(5, 6)에 도시된 바와 같이, 파지 척 개폐 센서(32)로부터의 검출 정보를 기초로, 파지 척(22)의 폐쇄 작동이 완료하였는지 아닌지를 판단해, 폐쇄 작동이 완료했다고 판단했을 경우, 승강 모터(M1)를 와이어(2)의 감아올리기 측으로 구동 조작해 파지부(20)를 물품 수용 공간(14)의 홈 포지션(HP)(도 3)으로 돌아올 때까지 상승 조작한다.

스텝(2)에서, 과잉 하강 검출 센서(34)가 파지부(20)의 과잉 하강을 검출했을 경우, 스텝(7)에 도시된 바와 같이, 중심 어긋남 센서(31)에 의한 검출 정보를 기초로 파지부(20)의 물품 적재 위치(9)에 대한 위치 어긋남이 발생하고 있는지 아닌지를 판단해, 위치 어긋남이 발생하고 있다고 판단했을 경우, 이상이 있다고 판별해 운전을 정지시킨다. 위치 어긋남이 발생하고 있지 않다고 판단했을 경우, 스텝(8, 9)에 도시된 바와 같이, 승강 모터(M1)를 와이어(2)의 감아올리기 측으로 구동 조작해, 설정 상승량만큼 파지부(20)를 상승시키는 상승 보정 처리를 실행해 스텝(2)로 돌아온다. 이 설정 상승량은, 과잉 하강 검출 센서(34)가 과잉 하강을 검출하지 않도록 되는 양으로서 설정하는 것이 바람직하지만, 다른 양으로 설정하는 것도 가능하다. 과잉 하강 검출 센서(34)가 과잉 하강을 검출하는 동안은, 상기 상승 보정 처리를 설정 보정 횟수에 이를 때까지 반복 실행해, 그 설정 보정 횟수 분의 실행 후에도 과잉 하강 검출 센서(34)에 의해 과잉 하강이 검출되어 있다고 판단했을 경우, 이상이 있다고 판별해 운전을 정지시킨다.

스텝(3)에서, 적정 하강 상태 검출 센서(35)가 적정 하강 상태를 검출하고 있지 않다고 판단했을 경우, 이상이 있다고 판별해 운전을 정지시킨다.

스텝(5)에서, 파지부(20)의 폐쇄 작동이 완료하고 있지 않다고 판단했을 경우, 스텝(10, 11, 12)에 도시된 바와 같이, 파지 상태 검출 센서(37)에 의한 검출 정보를 기초로 파지부(20)가 수취를 위한 적정파지 상태가 되어 있는지 아닌지를 판단해, 수취를 위한 적정파지 상태로 되어 있지 않다고 판단했을 경우, 승강 모터(M1)를 와이어(2)의 인출 측으로 구동 조작해, 설정 하강량만큼 파지부(20)를 하강시키는 하강 보정 처리를 실행해 스텝(10)으로 돌아온다. 이 설정 하강량은, 파지 상태 검출 센서(37)가 적정파지 상태를 검출하기에 충분한 양으로 설정하는 것이 바람직하지만, 다른 양으로 설정하는 것도 가능하다. 파지 상태 검출 센서(37)가 수취를 위한 적정파지 상태를 검출하지 않는 동안은, 상기 하강 보정 처리를 설정 보정 횟수에 이를 때까지 반복 실행해, 그 설정 보정 횟수 분의 실행 후에도 파지 상태 검출 센서(37)가 수취를 위한 적정파지 상태를 검출하지 않는다고 판단했을 경우, 이상이 있다고 판별해 운전을 정지시킨다.

스텝(11)에서, 파지 상태 검출 센서(37)가 수취를 위한 적정파지 상태를 검출하고 있다고 판단했을 경우, 스텝(13, 14)에 도시된 바와 같이, 파지 모터(M2)를 파지 척(22)의 열림 측으로 구동 조작해 파지부(20)를 파지해제 상태로 전환 조작한다.이 후, 승강 모터(M1)를 와이어(2)의 인출 측으로 구동 조작해, 설정 하강량만큼 파지부(20)를 하강시키는 파지보정 처리를 실행해 스텝(2)으로 돌아온다.

도 7에 도시된 바와 같이, 릴리스 동작을 행하게 하려면, 스텝(21)에 도시된 바와 같이, 승강 모터(M1)를 와이어(2)의 인출 측으로에 구동 조작해 파지부(20)를 물품 수용 공간(14)으로부터 하강시켜, 승강량 검출 센서(30)에 의한 검출 정보에 근거하여 파지부(20)가 상기 목표 하강 위치에 하강했다고 검출하면, 승강 모터(M1)를 정지 조작해 파지부(20)의 하강을 정지시킨다.

스텝(22, 23, 24, 25)에 도시된 바와 같이, 파지부(20)가 하강 정지하면,과잉 하강 검출 센서(34)가 파지부(20)의 과잉 하강을 검출하고 있는지 아닌지를 판단한다. 과잉 하강을 검출되지 않았다고 판단하고, 또한, 적정 하강 상태 검출 센 서(35)가 적정 하강 상태를 검출하고 있다고 판단하고, 더욱이, 파지해제 확인용 센서(36)에 의해 파지부(20)가 파지해제에 적정한 파지 상태에 있는 것을 검출되어 있다고 판단했을 경우, 파지 모터(M2)를 파지 척(22)의 열림 측으로 구동 조작해 파지부(20)를 파지해제 상태로 전환 조작한다. 다음에, 스텝(26)에 도시된 바와 같이, 승강 모터(M1)를 와이어(2)의 감아올리기 측으로 구동 조작해 파지부(20)를 물품 수용 공간(14)의 홈 포지션(HP)으로 돌아올 때까지 상승 조작한다.

스텝(22)에서, 과잉 하강 검출 센서(34)가 파지부(20)의 과잉 하강을 검출하고 있다고 판단했을 경우, 스텝(27)에 도시된 바와 같이, 중심 어긋남 센서(31)에 의한 검출 정보를 기초로 파지부(20)의 물품 적재 위치(9)에 대한 위치 어긋남이 발생하고 있는지 아닌지를 판단한다. 위치 어긋남이 발생하고 있다고 판단했을 경우, 이상이 있다고 판별해 운전을 정지시킨다. 위치 어긋남이 발생하고 있지 않다고 판단했을 경우, 스텝(28, 29)에 도시된 바와 같이, 승강 모터(M1)를 와이어(2)의 감아올리기 측으로 구동 조작해, 설정 상승량만큼 파지부(20)를 상승시키는 상승 보정 처리를 실행해 스텝(22)으로 돌아온다. 이 설정 상승량은, 과잉 하강 검출 센서(34)에 의한 과잉 하강의 검출이 해소되기에 충분한 양으로 설정하는 것이 바람직하지만, 다른 양을 선택하는 것도 가능하다. 과잉 하강 검출 센서(34)가 과잉 하강을 검출하는 동안은, 상기 상승 보정 처리를 설정 보정 횟수에 이를 때까지 반복 실행해, 그 설정 보정 횟수 분의 실행 후에도과잉 하강 검출 센서(34)가 과잉 하강을 검출하고 있다고 판단했을 경우, 이상이 있다고 판별해 운전을 정지시킨다.

스텝(23)에서, 적정 하강 상태 검출 센서(35)가 적정 하강 상태를 검출하고 있지 않다고 판단했을 경우, 이상이 있다고 판별해 운전을 정지시킨다.

스텝(24)에서, 파지해제 확인용 센서(36)에 의해 파지부(20)가 파지해제에 적정한 파지 상태에 있는 것을 검출되어 있지 않다고 판단했을 경우, 스텝(30, 31)에 도시된 바와 같이, 승강 모터(M1)를 와이어(2)의 인출 측으로 구동 조작해, 설정 하강량만큼 파지부(20)를 하강시키는 하강 보정 처리를 실행해 스텝(22)으로 돌아온다. 이 설정 하강량은, 파지해제 확인용 센서(36)가 파지해제용의 적정파지 상태를 검출하기에 충분한 양으로 설정하는 것이 바람직하지만, 다른 양을 선택하는 것도 가능하다. 파지해제 확인용 센서(36)에 의해 파지해제용의 적정파지 상태가 검출되지 않는 동안은, 상기 하강 보정 처리를 설정 보정 횟수에 이를 때까지 반복 실행해, 그 설정 보정 횟수 분의 실행 후에도 파지해제 확인용 센서(36)에 의해 파지해제용의 적정한 파지 상태가 검출되지 않는다고 판단했을 경우, 이상이 있다고 판별해 운전을 정지시킨다.

이것에 의해, 이 운반 장치는, 수취의 운전 지령이 주어지면, 이동차(10)를 작업 대상의 물품 적재 위치(9)에 대응하는 물품 적재용 목표 위치(S)에 정지시킨 상태로 해, 도 8에 도시된 바와 같이 작동한다.

즉, 도 8a에 도시된 바와 같이, 매달기 와이어(2)를 인출 조작해, 파지부(20)를 한 쌍의 파지 척(22)이 열린 파지해제 상태로 하강시킨다.

도 8b에 도시된 바와 같이, 파지부(20)가 이것을 파지 상태로 전환하기 위한 목표 하강 위치로 하강하면, 매달기 와이어(2)의 인출 조작을 정지해 파지부(20)의 하강을 정지시킨다.

이 때, 검출 대상(39)이 물품 적재 위치(9)에 적재되어 있는 용기(3)의 플랜지(7)에 접해 파지부 프레임(21)에 대해서 상승하지만, 이 상승량이 적정으로, 적정 하강 상태 검출 센서(35)가 검출 상태가 되고, 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태가 되어 있으면, 도 8c에 도시된 바와 같이, 파지 모터(M2)에 의해 한 쌍의 파지 척(22)을 닫기 조작해 파지부(20)를 파지 상태로 전환 조작한다.

이 때, 한 쌍의 파지 척(22, 22)의 어느 것도 플랜지(7) 등에 간섭하지 않아 모두 폐지 상태로 완전히 전환된 것을 파지 척 개폐 센서(32)에 의해 검출되면, 도 8d에 도시된 바와 같이, 매달기 와이어(2)를 인상 조작해, 파지부(20)가 한 쌍의 파지 척(22)에 의해 용기(3)를 파지시켜 물품 적재 위치(9)로부터 수취하여 들어 올려 간다.

파지부(20)가 목표 하강 위치에 하강했을 때, 도 10a에 도시된 바와 같이, 목표 하강 위치보다 너무 하강한 상태가 되면, 검출 대상(39)이 파지부 프레임(21)에 대해서 큰폭으로 상승해 과잉 하강 검출 센서(34)가 검출 상태가 된다.그러면, 매달기 와이어(2)를 인상 조작해, 파지부(20)를 한 쌍의 파지 척(22, 22)이 열린 파지해제 상태인 채로 상승 조작해, 검출 대상(39)이 하강해 적정 하강 상태 검출 센서(35)가 검출 상태대로 되어, 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태로 전환하도록 파지부(20)의 목표 하강 위치를 상승 측으로 보정한다. 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태로 전환되면, 도 8c에 도시된 바와 같이, 작동한다. 파지부(20)의 상승 보정을 행해도 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태로 전환되지 않는 경우, 파지부(20)의 상승 보정을 반복해 행한다. 그 반복 회수가 설정 보정 횟수에 이르러도 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태로 전환되지 않는 경우는, 그 상태로 운전을 정지한다.

파지 척(22)을 폐지 측으로 조작했을 때, 도 11a에 도시된 바와 같이, 파지 척(22)이 용기(3)에 걸려 폐쇄 작동을 완료하지 않는 경우, 제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42)의 양쪽 모두가 압력 감지 상태가 되어 있으면, 파지 상태 검출 센서(37)가 용기(3)를 적정하게 파지시키지 않은 것이 검출된다. 그러면, 매달기 와이어(2)를 인출 조작해 파지부(20)를 하강 조작하고, 제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42)가 둘 다 압력 비감지 상태가 되어 파지 상태 검출 센서(37)가 용기(3)를 적정하게 파지시킨 적정파지 상태로 전환되도록 파지부(20)의 목표 하강 위치를 하강 측으로 보정한다. 파지 상태 검출 센서(37)가 적정파지 상태를 검출하게 되면, 도 8c에 도시된 바와 같이, 작동한다.

파지 척(22)을 폐지 측으로 조작했을 때, 제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42)의 한 쪽이 압력 비감지 상태가 되어 있어도, 다른 쪽이 압력 감지 상태가 되어 있으면, 파지 상태 검출 센서(37)가 용기(3)를 적정하게 파지하지 않은 것으로 검출 상태가 되어, 파지부(20)를 하강 조작해, 파지부(20)의 목표 하강 위치를 하강 측으로 보정한다.

파지부(20)의 하강 보정을 행해도 파지 상태 검출 센서(37)가 파지용의 적정파지 상태의 검출로 전환되지 않는 경우, 파지부(20)의 하강 보정을 반복해 행한다. 그 반복 회수가 설정 보정 횟수에 이르러도 파지 상태 검출 센서(37)가 파지용의 적정파지 상태를 검출하게 되지 않는 경우는, 그 상태로 운전을 정지한다.

파지 척(22)을 폐지 측으로 조작했을 때, 도 1lb에 도시된 바와 같이, 파지 척(22)이 용기(3)에 걸려, 제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42)의 양쪽 모두가 압력 비감지 상태가 되어 있어도, 파지 척(22)이 폐쇄 작동을 완료하고 있지 않는 경우, 파지 척(22)을 열기 측으로 되돌리기 조작해 파지부(20)를 파지해제 상태로 되돌리기 때문에, 매달기 와이어(2)를 인하 조작해 파지부(20)를 하강 조작한다. 다음에 파지 척(22)을 닫기 측으로에 전환 조작했을 때에 파지 척(22)이 닫기 상태로 전환되어 파지부(20)가 용기(3)를 적정하게 파지하는 적정파지 상태로 전환되도록 파지보정을 실시하고, 이 후, 도 8c에 도시된 바와 같이, 작동한다.

또, 이 운반 장치는, 릴리스의 운전 지령이 주어지면, 이동차(10)를 작업 대상의 물품 적재 위치(9)에 대응하는 물품 적재용 목표 위치(S)에 정지시킨 상태로 해, 도 9에 도시된 바와 같이, 작동한다.

즉, 도 9a에 도시된 바와 같이, 매달기 와이어(2)를 인출 조작해, 용기(3)를 한 쌍의 파지 척(22, 22)으로 파지하고 있는 파지부(20)를 하강시킨다.

도 9b에 도시된 바와 같이, 파지부(20)가 이것을 파지해제 상태로 전환시키기 위한 목표 하강 위치에 하강하면, 매달기 와이어(2)의 인출 조작을 정지해 파지부(20)의 하강을 정지시킨다.

이 때, 용기(3)가 물품 적재 위치(9)에 실려, 이 용기(3)의 플랜지(7)에 접해 파지부 프레임(21)에 대해서 상승한 검출 대상(39)의 상승량이 적정으로, 적정 하강 상태 검출 센서(35)가 검출 상태로, 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태로 각각 되고, 더욱이, 제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42)가 둘 다 압 력 비감지 상태가 되어 파지해제 확인용 센서(36)에 의해 파지부(20)가 파지해제용의 적정파지 상태로 되어 있다고 검출되면, 도 9c에 도시된 바와 같이, 파지 모터(M2)에 의해 한 쌍의 파지 척(22)을 열기 조작한다.

한 쌍의 파지 척(22)이 열린 상태가 되어 파지부(20)가 파지해제 상태로 전환되면, 도 9d에 도시된 바와 같이, 매달기 와이어(2)를 인상 조작해 파지부(20)를 상승 조작해, 용기(3)를 물품 적재 위치(9)에 적재한다.

파지부(20)가 목표 하강 위치로 하강했을 때, 도 12a에 도시된 바와 같이, 목표 하강 위치보다 너무 하강한 상태가 되면, 검출 대상(39)이 파지부 프레임(21)에 대해서 큰 폭으로 상승해 과잉 하강 검출 센서(34)가 검출 상태가 된다. 그러면, 도 12b 에 도시된 바와 같이, 매달기 와이어(2)를 인상 조작해, 파지부(20)를 한 쌍의 파지 척(22)이 닫힌 파지 상태인 채로 상승 조작해, 검출 대상(39)이 하강해 적정 하강 상태 검출 센서(35)가 검출 상태대로 되어, 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태로 전환되도록 파지부(20)의 목표 하강 위치를 상승 측으로 보정한다. 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태로 전환되면, 도 9c에 도시된 바와 같이, 작동한다. 파지부(20)의 상승 보정을 행해도 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태로 전환되지 않는 경우, 파지부(20)의 상승 보정을 반복해 행한다. 그 반복 회수가 설정 보정 횟수에 이르러도 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태로 전환되지 않는 경우는, 그 상태로 운전을 정지한다.

도 13a에 도시된 바와 같이, 파지부(20)가 목표 하강 위치에 하강했을 때, 적정 하강 상태 검출 센서(35)가 검출 상태에, 과잉 하강 검출 센서(34)가 비검출 상태에 각각 있어, 파지 척 센서(41, 42)가 압력 감지 상태에 있어 파지해제 확인용 센서(36)에 의해 파지부(20)가 파지해제에 적정한 파지 상태가 아니라고 검출되어 있으면, 도 13b에 도시된 바와 같이, 매달기 와이어(2)를 인출 조작해 파지부(20)를 하강 조작해, 제1 파지 척 센서(41)와 제2 파지 척 센서(42)가 둘 다 압력 비감지 상태가 되어 파지해제 확인용 센서(36)가 파지해제용의 적정파지 상태를 검출하는 상태로 전환되도록 파지부(20)의 목표 하강 위치를 하강 측으로 보정한다. 파지해제 확인용 센서(36)가 파지해제용의 적정파지 상태를 검출하게 되면, 도 9c에 도시된 바와 같이, 작동한다. 파지부(20)의 하강 보정을 행해도 파지해제 확인용 센서(36)가 파지해제용의 적정파지 상태를 검출하는 상태로 전환되지 않는 경우, 파지부(20)의 하강 보정을 반복해 행한다. 그 반복 회수가 설정 보정 횟수에 이르러도 파지해제 확인용 센서(36)가 파지해제용의 적정파지 상태를 검출하는 상태가 되지 않는 경우에는, 그 상태로 운전을 정지한다.

도 3에 도시된 바와 같이, 수납 프레임(13)의 하부에 개폐 조작 가능하게 설치한 수취 정지 본체(45)는, 용기(3)를 물품 수용 공간(14)에 수납해 운반할 때, 용기(3) 아래의 위치로 연장되어, 용기의 낙하를 방지한다. 용기(3)의 수취나 릴리스를 행할 때는, 용기(3) 아래의 위치로부터 물러난 위치로 이동한다.

〔다른 실시예]

매달기 와이어(2) 대신에, 벨트, 체인 등 각종 스윙 부재를 채용해 실시해도 된다.

본 발명은, 반도체 기판(5)을 용기(3)에 수용해 운반하도록　구성한 운반 장 치 외에도, 반도체 기판(5) 이외의 각종 물품을 운반하도록　구성한 운반 장치의 경우에도, 물품을 용기에 넣지 않고 직접 파지부로 파지하여 운반하도록　구성한 운반 장치의 경우에도 적용할 수 있다. 따라서, 용기(3)나 물품을 총칭해 물품(3)이라고 호칭한다.

본 발명의 파지부 승강식 운반 장치에서는, 파지부의 과잉 하강이 발생해도, 그것을 해소하는 수고가 반드시 필요하지 않으면서 운반 장치의 운전을 속행시킬 수 있다.

Claims

물품을 파지(hold)하는 파지부를 승강 모터에 의해 승강 가능하게 구비한 물품 운반용의 이동차(移動車)를 구비하며,

상기 이동차가 물품 적재를 위한 목표 위치에 정지한 상태에서, 상기 파지부를 승강시키고, 물품 적재 위치에 적재된 물품을 수취하는 수취 동작 및 상기 물품 적재 위치에 물품을 릴리스하는 릴리스 동작을 행하도록, 상기 승강 모터의 작동 및 상기 파지부를 파지 상태와 파지 해제 상태로 전환하는 파지부의 전환 작동을 제어하는 제어 수단을 구비하고,

상기 제어 수단이, 상기 승강 모터에 의한 상기 파지부의 승강량을 검출하는 승강량 검출 센서의 검출 정보에 기초하여, 상기 수취 동작에서 상기 파지부를 파지 상태로 전환하고, 또한, 상기 릴리스 동작에서 상기 파지부를 파지 해제 상태로 전환하기 위한 목표 하강 위치로 하강시킬 수 있도록, 상기 승강 모터를 작동시키도록 구성되어 있는 파지부 승강식 운반 장치에 있어서,

상기 파지부는, 상기 파지부를 상기 파지 상태로 하기 위한 폐쇄 위치와, 상기 파지부를 상기 파지 해제 상태로 하기 위한 개방 위치 사이에서 요동 조작 가능하게 설치된 파지 척을 구비하고,

상기 목표 하강 위치로 하강된 상기 파지부와 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품의 상대적 상하 위치 관계를 검출하여, 상기 파지부가 상기 목표 하강 위치보다 지나치게 하강한 과잉 하강 상태인 것을 검출하는 과잉 하강 검출 센서를 구비하는 동시에,

상기 목표 하강 위치로 하강된 상기 파지부와 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품과의 상대 상하 위치 관계를 검출하여, 상기 파지부가 상기 목표 하강 위치 및 상기 목표 하강 위치에 가까운 적정 범위에 위치하는 적정 하강 상태인 것을 검출하는 적정 하강 상태 검출 센서를 구비하며, 또한

상기 파지 척에, 상기 릴리스 동작에서 상기 파지부에 의한 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품에 대한 파지 상태가 상기 파지부를 파지 해제 상태로 전환하는데에 적정한 파지 해제용의 적정 파지 상태인지를 검출하는 파지 해제 확인용 센서가 설치되고,

상기 제어 수단이, 상기 파지부를 상기 목표 하강 위치로 하강시켰을 때에, 상기 과잉 하강 검출 센서에 의해 상기 과잉 하강 상태인 것이 검출되면, 상기 파지부를 설정 상승량 상승시키는 상승 보정 처리를 실행하도록　구성되어 있는 동시에,

상기 제어 수단이, 상기 릴리스 동작에서는, 상기 과잉 하강 검출 센서가 과잉 하강 상태를 검출하지 않고, 또한, 상기 적정 하강 상태 검출 센서가 적정 하강 상태를 검출하는 상태에서, 상기 파지 해제 확인용 센서가 해제용의 적정 파지 상태를 검출하지 않을 때에는, 상기 파지부를 설정 하강량 하강시키는 릴리스용의 하강 보정 처리를 실행하도록　구성되어 있는,

파지부 승강식 운반 장치.
물품을 파지(hold)하는 파지부를 승강 모터에 의해 승강 가능하게 구비한 물품 운반용의 이동차(移動車)를 구비하며,

상기 이동차가 물품 적재를 위한 목표 위치에 정지한 상태에서, 상기 파지부를 승강시키고, 물품 적재 위치에 적재된 물품을 수취하는 수취 동작 및 상기 물품 적재 위치에 물품을 릴리스하는 릴리스 동작을 행하도록, 상기 승강 모터의 작동 및 상기 파지부를 파지 상태와 파지 해제 상태로 전환하는 파지부의 전환 작동을 제어하는 제어 수단을 구비하고,

상기 제어 수단이, 상기 승강 모터에 의한 상기 파지부의 승강량을 검출하는 승강량 검출 센서의 검출 정보에 기초하여, 상기 수취 동작에서 상기 파지부를 파지 상태로 전환하고, 또한, 상기 릴리스 동작에서 상기 파지부를 파지 해제 상태로 전환하기 위한 목표 하강 위치로 하강시킬 수 있도록, 상기 승강 모터를 작동시키도록 구성되어 있는 파지부 승강식 운반 장치에 있어서,

상기 파지부는, 상기 파지부를 상기 파지 상태로 하기 위한 폐쇄 위치와, 상기 파지부를 상기 파지 해제 상태로 하기 위한 개방 위치 사이에서 요동 조작 가능하게 설치된 파지 척을 구비하고,

상기 목표 하강 위치로 하강된 상기 파지부와 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품과의 상대 상하 위치 관계를 검출하여, 상기 파지부가 상기 목표 하강 위치보다 지나치게 하강한 과잉 하강 상태인 것을 검출하는 과잉 하강 검출 센서를 구비하는 동시에,

상기 목표 하강 위치로 하강된 상기 파지부와 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품과의 상대 상하 위치 관계를 검출하여, 상기 파지부가 상기 목표 하강 위치 및 상기 목표 하강 위치에 가까운 적정 범위에 위치하는 적정 하강 상태인 것을 검출하는 적정 하강 상태 검출 센서를 구비하며, 또한

상기 파지 척에, 상기 수취 동작에서 상기 파지부를 파지 상태로 전환되었을 때에 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품에 대한 파지 상태가 물품을 적정하게 파지하고 있는 적정 파지 상태인지를 검출하는 파지 상태 검출 센서가 설치되고,

상기 제어 수단이, 상기 파지부를 상기 목표 하강 위치로 하강시켰을 때에, 상기 과잉 하강 검출 센서에 의해 상기 과잉 하강 상태인 것이 검출되면, 상기 파지부를 설정 상승량 상승시키는 상승 보정 처리를 실행하도록　구성되어 있는 동시에,

상기 제어 수단은, 상기 수취 동작에서는, 상기 과잉 하강 검출 센서가 과잉 하강 상태를 검출하지 않고 또한 상기 적정 하강 상태 검출 센서가 적정 하강 상태를 검출할 경우에는, 상기 파지부를 파지 상태로 전환하고, 상기 전환에 의해 상기파지 상태 검출 센서가 적정 파지 상태를 검출하지 않을 때에는, 상기 파지부를 설정 하강량 하강시키는 수취용의 하강 보정 처리를 실행하도록　구성되어 있는,

파지부 승강식 운반 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 제어 수단이, 상기 과잉 하강 검출 센서에 의해 과잉 하강 상태가 검출되는 동안은 상기 상승 보정 처리를 설정 보정 횟수에 도달할 때까지 반복 실행하고, 상기 설정 보정 횟수 분의 실행 후에도 상기 과잉 하강 검출 센서에 의해 과잉 하강 상태가 검출되었을 때는 이상이 있다고 판별하도록　구성되어 있는, 파지부 승강식 운반 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 제어 수단이, 상기 수취 동작 및 상기 릴리스 동작에서, 상기 과잉 하강 검출 센서가 과잉 하강 상태를 검출하지 않을 때에, 상기 적정 하강 상태 검출 센서가 적정 하강 상태를 검출하지 않을 때에는 이상이 있다고 판별하도록　구성되어 있는, 파지부 승강식 운반 장치.
제1항에 있어서,

상기 제어 수단이, 상기 파지 해제 확인용 센서가 적정 파지 상태를 검출하지 않는 동안은 상기 릴리스용의 하강 보정 처리를 설정 보정 횟수에 도달할 때까지 반복 실행하여, 그 설정 보정 횟수 분의 실행 후에도 상기 파지 해제 확인용 센서에서 해제용의 적정 파지 상태가 검출되지 않을 때에는 이상이 있다고 판별하도록　구성되어 있는, 파지부 승강식 운반 장치.
제2항에 있어서,

상기 제어 수단이, 상기 파지 상태 검출 센서가 적정 파지 상태를 검출하지 않는 동안은 상기 수취용의 하강 보정 처리를 설정 보정 횟수에 도달할 때까지 반복 실행하여, 그 설정 보정 횟수 분의 실행 후에도 상기 파지 상태 검출 센서에서 적정 파지 상태가 검출되지 않을 때에는 이상이 있다고 판별하도록　구성되어 있는, 파지부 승강식 운반 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 물품은 상기 파지부에 의한 파지를 가능하게 하는 플랜지를 구비하고,

상기 과잉 하강 검출 센서가, 상기 목표 하강 위치로 하강된 상기 파지부와, 상기 물품 적재 위치에 적재된 물품이 구비하는 상기 플랜지의 중앙 부분과의 상대 상하 위치 관계를 검출하여, 상기 파지부가 상기 목표 하강 위치보다도 지나치게 하강 상태인 과잉 하강 상태인 것을 검출하도록 구성되어 있는, 파지부 승강식 운반 장치.