[go: up one dir, main page]

KR101067737B1 - 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치 - Google Patents

평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101067737B1
KR101067737B1 KR1020090069535A KR20090069535A KR101067737B1 KR 101067737 B1 KR101067737 B1 KR 101067737B1 KR 1020090069535 A KR1020090069535 A KR 1020090069535A KR 20090069535 A KR20090069535 A KR 20090069535A KR 101067737 B1 KR101067737 B1 KR 101067737B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air
cleaning liquid
mixing chamber
chamber
intermediate plate
Prior art date
Application number
KR1020090069535A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110012016A (ko
Inventor
김현희
Original Assignee
김현희
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김현희 filed Critical 김현희
Priority to KR1020090069535A priority Critical patent/KR101067737B1/ko
Publication of KR20110012016A publication Critical patent/KR20110012016A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101067737B1 publication Critical patent/KR101067737B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/02—Spray pistols; Apparatus for discharge
    • B05B7/04—Spray pistols; Apparatus for discharge with arrangements for mixing liquids or other fluent materials before discharge
    • B05B7/0416—Spray pistols; Apparatus for discharge with arrangements for mixing liquids or other fluent materials before discharge with arrangements for mixing one gas and one liquid
    • B05B7/0483—Spray pistols; Apparatus for discharge with arrangements for mixing liquids or other fluent materials before discharge with arrangements for mixing one gas and one liquid with gas and liquid jets intersecting in the mixing chamber
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Abstract

본 발명은 LCD, PDP 등 여러가지 평판 디스플레이(PFD ; flat panel display)를 세정하기 위해 공기와 함께 세정액을 분사하는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치는 세정액 공급포트(103)가 장착된 좌측 플레이트(110)와 공기공급포트(105)가 장착된 우측 플레이트(120) 사이에 중간 플레이트(130)가 배치되고, 좌측 플레이트(110)와 중간 플레이트(130)에 의해 세정액 완충챔버(BC) 및 혼합챔버(MC)가 형성되며, 세정액 완충챔버(BC)와 혼합 챔버(MC) 사이에 안내슬릿(GS)이 형성되어, 상기 세정액 완충챔버(BC)의 세정액이 안내슬릿(GS)을 통해 혼합 챔버(MC)로 공급되고, 혼합 챔버(MC)의 하단에 분사슬릿(JS)이 형성되고, 우측 플레이트(120)와 중간 플레이트(130)에 의해 에어 챔버(AC)가 형성되고, 중간 플레이트(130)의 하단부에 사선으로 형성된 에어 유도로(AG)에 의해 에어 챔버(AC)와 혼합 챔버(MC)가 연결됨으로써, 혼합 챔버(MC)에서 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버(MC)에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿(JS)을 통해 분사되는 것을 특징으로 한다.

Description

평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치{TWO-LIQUIDS JETTING DEVICE FOR CLEANING FLAT PANEL DISPLAY}
본 발명은 LCD, PDP 등 여러가지 평판 디스플레이(PFD ; flat panel display)를 세정하기 위해 공기와 함께 세정액을 분사하는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정액 완충챔버의 세정액이 장방향으로 길게 형성된 안내슬릿을 통해 장방향으로 길게 형성된 혼합 챔버로 공급되어, 혼합 챔버로 세정액이 균일하게 공급되고, 에어가 장방향으로 길게 형성된 에어 유도로를 통해 혼합 챔버로 균일하게 공급되어, 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿을 통해 균일한 분포와 힘으로 분사되는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치에 관한 것이다.
대한민국 특허 제10-0846575호(2008년 7월 10일, 등록)에 "평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사장치"가 소개되어 있다.
상기 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사장치는 공기 공급원으로부 터 공기가 유입되는 공기 버퍼 탱크; 세정액 공급원으로부터 세정액이 유입되는 세정액 버퍼 탱크; 상기 공기 버퍼 탱크와 연결되어 공기가 배출되는 다수의 공기 배출 라인; 상기 세정액 버퍼 탱크와 연결되어 세정액이 배출되는 다수의 세정액 배출 라인; 상기 공기 배출 라인의 출구와 세정액 배출 라인의 출구가 만나는 곳에 형성되어 있으며, 공기와 세정액이 외부로 분사되는 다수의 배출구; 및 상기 다수의 배출구로 분사된 공기와 세정액이 슬릿부 내부에서 혼합되고 슬릿부 외부로 1자 슬릿형태로 분사되기 위한 슬릿부를 포함한다.
도 1을 참조하면, 그러나, 상기와 같은 종래의 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사장치는 구멍 형태의 세정액 출구(3)가 중간판(5)에 일정한 간격으로 형성되고, 세정액 출구(7)에서 배출되는 세정액이 역원뿔형으로 형성된 공기배출라인(7)의 출구에서 합류되도록 되어 있어, 비록 세정액 출구의 하부에 슬릿부(9)가 형성되어, 슬릿부(9)에 의해 공기와 세정액이 혼합된 이류체가 슬릿부에서 일자형태로 분사된다고 하지만, 세정액 출구(3)의 직하부로 분사되는 세정액의 압력이 세정액 직하부를 벗어난 부위보다 더 강하게 됨으로써, 도 2에 도시된 바와같이, 평판 디스플레이 기판(10)에 줄(11 ; 얼룩)이 형성되는 단점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 세정액 완충챔버의 세정액이 장방향으로 길게 형성된 안내슬릿을 통해 장방향으로 길게 형성된 혼합 챔버로 공급되어, 혼합 챔버로 세정액이 균일하게 공급되고, 에어가 장방향으로 길게 형성된 에어 유도로를 통해 혼합 챔버로 균일하게 공급되어, 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿을 통해 균일한 분포와 힘으로 분사됨으로써, 디스플레이 기판을 세정하게 되고, 세정된 디스플레이 기판에 줄(얼룩)이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 최종 세정장치로 사용할 수 있는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치에 관한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치는 세정액 공급포트가 장착된 좌측 플레이트와 공기공급포트가 장착된 우측 플레이트 사이에 중간 플레이트가 배치되고, 좌측 플레이트와 중간 플레이트에 의해 세정액 완충챔버 및 혼합챔버가 형성되며, 세정액 완충챔버와 혼합 챔버 사이에 안내슬릿이 형성되어, 상기 세정액 완충챔버의 세정액이 안내슬릿을 통해 혼합 챔버로 공급되고, 혼합 챔버의 하단에 분사슬릿이 형성되고, 우측 플레이트와 중간 플레이트에 의해 에어 챔버가 형성되고, 중간 플레이트의 하단부에 사선으로 형성된 에어 유도로에 의해 에어 챔버와 혼합 챔버가 연결됨으로써, 혼합 챔 버에서 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿을 통해 분사되는 것을 특징으로 한다.
상기 좌측 플레이트는 중간 플레이트에 대응되는 내측면의 둘레에 실링(sealing)을 위한 패킹이 장착되는 패킹홈이 형성되고, 상기 패킹홈의 안쪽에 세정액 완충챔버를 위한 제 1 홈이 장방형의 사각형 형태로 형성되고, 제 1 홈의 중앙에 형성된 세정액 공급구멍이 형성되고, 상기 제 1 홈에 볼트구멍이 형성된 다수개의 보스가 일렬로 형성되고, 상기 제 1 홈의 하부에 혼합챔버를 위한 제 2 홈이 장방향으로 길게 형성되고, 제 1 홈과 제 2 홈 사이에 배치되는 제 1 가이드면이 안내슬릿의 형성을 위해 내측면보다 소정의 간극이 만큼 낮은 높이로 형성되고, 제 2 홈의 하단에 형성되는 제 2 가이드면이 분사슬릿을 위해 내측면보다 소정의 간극이 만큼 낮은 높이로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 중간 플레이트는 좌측 플레이트와 같은 크기의 직사각형으로 형성되고, 하단부에 사선으로 에어 유도로로 장방향으로 길게 형성되고, 상기 에어 유도로의 하단에 폭이 좁은 토출구가 형성되어, 토출구에서 압축공기가 강하게 혼합챔버로 분출될 수 있으며, 상단, 중간 및 하단에 다수개의 볼트구멍이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 우측 플레이트는 중간 플레이트에 대응되는 내측면의 둘레에 실링(sealing)을 위한 패킹이 장착되는 패킹홈이 형성되고, 상기 패킹홈의 안쪽에 에어챔버를 위한 제 3 홈이 장방형의 사각형 형태로 형성되고, 상기 제 3 홈의 중앙에 공기공급구멍이 형성되는 것을 특징으로 한다.
이것에 의해, 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치는 이류체를 균일하고 강한 타력으로 디스플레이 기판을 세정할 수 있고, 세정된 디스플레이 기판에 줄(얼룩)이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 최종 세정장치로 사용할 수 있는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치(100)는 세정액 공급포트(103)가 장착된 좌측 플레이트(110)와 공기공급포트(105)가 장착된 우측 플레이트(120) 사이에 중간 플레이트(130)가 배치되고, 좌측 플레이트(110)와 중간 플레이트(130)에 의해 세정액 완충챔버(BC) 및 혼합챔버(MC)가 형성되며, 세정액 완충챔버(BC)와 혼합 챔버(MC) 사이에 안내슬릿(GS)이 형성되어, 상기 세정액 완충챔버(BC)의 세정액이 안내슬릿(GS)을 통해 혼합 챔버(MC)로 공급되고, 혼합 챔버(MC)의 하단에 분사슬릿(JS)이 형성되고, 우측 플레이트(120)와 중간 플레이트(130)에 의해 에어 챔버(AC)가 형성되고, 중간 플레이트(130)의 하단부에 사선으로 형성된 에어 유도로(AG)에 의해 에어 챔버(AC)와 혼합 챔버(MC)가 연결됨으로써, 혼합 챔버(MC)에서 에어에 의해 세정액이 미립화되 고, 혼합 챔버(MC)에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿(JS)을 통해 분사된다.
도 5를 참조하면, 상기 좌측 플레이트(110)는 중간 플레이트(130)에 대응되는 내측면의 둘레에 실링(sealing)을 위한 패킹(도시하지 않음)이 장착되는 패킹홈(111)이 형성되고, 상기 패킹홈(111)의 안쪽에 세정액 완충챔버(BC)를 위한 제 1 홈(112)이 장방형의 사각형 형태로 형성되고, 제 1 홈(112)의 중앙에 형성된 세정액 공급구멍(113)이 형성되고, 상기 제 1 홈(112)에 볼트구멍이 형성된 다수개의 보스(114)가 일렬로 형성되고, 상기 제 1 홈(112)의 하부에 혼합챔버(MC)를 위한 제 2 홈(115)이 장방향으로 길게 형성되고, 제 1 홈(112)과 제 2 홈(115) 사이에 배치되는 제 1 가이드면(116)이 안내슬릿(GS)의 형성을 위해 내측면보다 소정의 간극(t)이 만큼 낮은 높이로 형성되고, 제 2 홈(115)의 하단에 형성되는 제 2 가이드면(117)이 분사슬릿(JS)을 위해 내측면보다 소정의 간극(t)이 만큼 낮은 높이로 형성된다.
도 5에서 미설명한 도면부호 118은 볼트구멍이다.
도 6을 참조하면, 상기 중간 플레이트(130)는 좌측 플레이트(110)와 같은 크기의 직사각형으로 형성되고, 하단부에 사선으로 에어 유도로(AG)로 장방향으로 길게 형성되고, 상기 에어 유도로(AG)의 하단에 폭이 좁은 토출구(131)가 형성되어, 토출구(131)에서 압축공기가 강하게 혼합챔버(MC)로 분출될 수 있으며, 상단, 중간 및 하단에 다수개의 볼트구멍(132, 133, 134)이 형성된다.
도 7을 참조하면, 상기 우측 플레이트(120)는 중간 플레이트(130)에 대응되 는 내측면의 둘레에 실링(sealing)을 위한 패킹(도시하지 않음)이 장착되는 패킹홈(121)이 형성되고, 상기 패킹홈(121)의 안쪽에 에어챔버(AC)를 위한 제 3 홈(122)이 장방형의 사각형 형태로 형성되고, 상기 제 3 홈(122)의 중앙에 공기공급구멍(123)이 형성된다.
도 7에서 미설명한 도면부호 124는 볼트구멍이다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치는 다음과 같이 작동한다.
세정액 완충챔버(BC)로 공급된 세정액이 장방향으로 길게 형성된 안내슬릿(GS)을 통해 혼합 챔버(MC)로 균일하게 공급됨으로써, 세정액이 상기 혼합챔버(MC) 전체에 균일하게 채워질 뿐만 아니라 안내슬릿(GS)에 의해 유속이 적정 수준으로 감소된다. 그리고, 에어 챔버(AC)의 압축공기가 사선으로 형성된 에어 유도로(AC)를 통해 혼합 챔버(MC)로 분사됨으로써, 혼합챔버(MC)로의 세정액 공급이 세에어 유도로(AC)에서 분사되는 압축공기에 의해 간섭되지 않고, 혼합 챔버(AC)에 채워진 세정액이 압축공기에 의해 미립화되며, 세정액과 압축공기가 혼합된 이류체가 분사 슬릿(JS)을 통해 기판(200)으로 분사된다. 이때, 압축공기와 세정액이 혼합된 이류체의 타력가 분사 슬릿(JS)에서 전제적으로 균일하고 강하게 기판(평판 디스플레이)으로 분사됨으로써, 기판을 세정하게 되고, 세정된 기판에 줄(얼룩)이 발생하는 것을 방지하게 된다.
도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치(300)의 다른 예는 좌측 플레이트(310)의 형상이 변경되어, 세정액이 공급되는 세정액 공급구멍(315)이 좌측 플레이트(310)의 상부 수평부(311)에 형성되고, 세정액 완충챔버(BC')가 "ㄱ" 형상으로 형성되는 것을 제외하고, 위에서 설명한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치와 동일하다.
도 1은 종래의 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사장치에서 공기와 세정액이 혼합된 이류체가 분사되는 예를 도시한 개략도이다.
도 2는 도 1의 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사장치에 의해 세정된 후, 평판 디스플레이 글라스에 줄(얼룩)이 형성된 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치를 도시한 도 3의 A-A선에 따른 단면도이다.
도 5는 좌측 플레이트를 도시한 것으로서, (가)는 사시도이고, (나)는 (가)의 B-B선에 따른 단면도이다.
도 6은 중간 플레이트를 도시한 것으로서, (가)는 사시도이고, (나)는 (가)의 C-C선에 따른 단면도이다.
도 7은 우측 플레이트를 도시한 것으로서, (가)는 사시도이고, (나)는 (가)의 D-D선에 따른 단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치의 다른 예를 도시한 단면도이다.

Claims (4)

  1. 세정액 공급포트(103)가 장착된 좌측 플레이트(110)와 공기공급포트(105)가 장착된 우측 플레이트(120) 사이에 중간 플레이트(130)가 배치되고, 좌측 플레이트(110)와 중간 플레이트(130)에 의해 세정액 완충챔버(BC) 및 혼합챔버(MC)가 형성되며, 세정액 완충챔버(BC)와 혼합 챔버(MC) 사이에 안내슬릿(GS)이 형성되어, 상기 세정액 완충챔버(BC)의 세정액이 안내슬릿(GS)을 통해 혼합 챔버(MC)로 공급되고, 혼합 챔버(MC)의 하단에 분사슬릿(JS)이 형성되고, 우측 플레이트(120)와 중간 플레이트(130)에 의해 에어 챔버(AC)가 형성되고, 중간 플레이트(130)의 하단부에 사선으로 형성된 에어 유도로(AG)에 의해 에어 챔버(AC)와 혼합 챔버(MC)가 연결됨으로써, 혼합 챔버(MC)에서 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버(MC)에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿(JS)을 통해 분사되며
    상기 중간 플레이트(130)는 좌측 플레이트(110)와 같은 크기의 직사각형으로 형성되고, 하단부에 사선으로 에어 유도로(AG)가 장방향으로 형성되고, 에어 유도로(AG)의 하단에 토출구(131)가 형성되어, 토출구(131)에서 압축공기가 혼합챔버(MC)로 분출되며, 상단, 중간 및 하단에 다수개의 볼트구멍(132, 133, 134)이 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 세정액 공급포트(103)가 장착된 좌측 플레이트(110)와 공기공급포트(105)가 장착된 우측 플레이트(120) 사이에 중간 플레이트(130)가 배치되고, 좌측 플레이트(110)와 중간 플레이트(130)에 의해 세정액 완충챔버(BC) 및 혼합챔버(MC)가 형성되며, 세정액 완충챔버(BC)와 혼합 챔버(MC) 사이에 안내슬릿(GS)이 형성되어, 상기 세정액 완충챔버(BC)의 세정액이 안내슬릿(GS)을 통해 혼합 챔버(MC)로 공급되고, 혼합 챔버(MC)의 하단에 분사슬릿(JS)이 형성되고, 우측 플레이트(120)와 중간 플레이트(130)에 의해 에어 챔버(AC)가 형성되고, 중간 플레이트(130)의 하단부에 사선으로 형성된 에어 유도로(AG)에 의해 에어 챔버(AC)와 혼합 챔버(MC)가 연결됨으로써, 혼합 챔버(MC)에서 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버(MC)에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿(JS)을 통해 분사되며
    상기 우측 플레이트(120)는 중간 플레이트(130)에 대응되는 내측면의 둘레에 실링(sealing)을 위한 패킹이 장착되는 패킹홈(121)이 형성되고, 패킹홈(121)의 안쪽에 에어챔버(AC)를 위한 제 3 홈(122)이 장방형의 사각형 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치.
KR1020090069535A 2009-07-29 2009-07-29 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치 KR101067737B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090069535A KR101067737B1 (ko) 2009-07-29 2009-07-29 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090069535A KR101067737B1 (ko) 2009-07-29 2009-07-29 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110012016A KR20110012016A (ko) 2011-02-09
KR101067737B1 true KR101067737B1 (ko) 2011-09-28

Family

ID=43771993

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090069535A KR101067737B1 (ko) 2009-07-29 2009-07-29 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101067737B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101638133B1 (ko) * 2015-03-17 2016-07-20 이정호 Lcd 세정 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006192360A (ja) * 2005-01-12 2006-07-27 Ikeuchi:Kk 二流体用スリットノズル
KR20070107597A (ko) * 2006-05-02 2007-11-07 가부시끼가이샤 교리쯔 고낀 세이사꾸쇼 이류체 노즐과 그를 이용한 분무 방법
KR20090051735A (ko) * 2007-09-18 2009-05-22 스프레이잉 시스템스 재팬 가부시키가이샤 이류체 슬릿 노즐 및 그 제조 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006192360A (ja) * 2005-01-12 2006-07-27 Ikeuchi:Kk 二流体用スリットノズル
KR20070107597A (ko) * 2006-05-02 2007-11-07 가부시끼가이샤 교리쯔 고낀 세이사꾸쇼 이류체 노즐과 그를 이용한 분무 방법
KR20090051735A (ko) * 2007-09-18 2009-05-22 스프레이잉 시스템스 재팬 가부시키가이샤 이류체 슬릿 노즐 및 그 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110012016A (ko) 2011-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101275760B1 (ko) 광학렌즈 또는 다른 기판의 세척 장치용 고압 액체 분사노즐
JP5914690B2 (ja) 成膜装置
CN1129612A (zh) 用于触发式喷射器的起泡喷头组件
KR101408766B1 (ko) 유량의 균일 분사를 위한 에어 나이프
KR100712728B1 (ko) 가스분리형 샤워헤드의 세정 장치
KR101067737B1 (ko) 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치
CA2533525C (en) Bottle for dispensing two liquids
KR20140042782A (ko) 복련 노즐 및 당해 복련 노즐을 구비하는 기판 처리 장치
KR100989928B1 (ko) 유체 토출 장치 및 그의 세정 방법
KR20140134378A (ko) 유체 분사 장치 및 이를 구비하는 기판 세정 장치
KR20200056045A (ko) 이류체 분사노즐
KR200305052Y1 (ko) 슬릿형 유체 분사 장치
KR100828664B1 (ko) 유체분사장치
KR20190059430A (ko) 강판 이물 제거 장치
KR101617347B1 (ko) 블록형 버블젯 세정 노즐
KR100871343B1 (ko) 2유체 혼합물에 의한 기판 세정용 노즐
KR101047016B1 (ko) 내화재 스프레이 설비의 워터 노즐
KR100846575B1 (ko) 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치
KR101582958B1 (ko) 플렉시블 이류체 분사노즐
KR100855463B1 (ko) 가스분리형 샤워헤드를 이용한 챔버 세정 장치
KR101690681B1 (ko) 유체 분사용 에어나이프
JP6509549B2 (ja) ノズル
KR101292648B1 (ko) 상부 하향식 기판 에칭 장치
KR100901380B1 (ko) 유체분사장치
JP2017214763A (ja) シャワーヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20090729

PA0201 Request for examination
PG1501 Laying open of application
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20110314

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20110823

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20110920

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20110920

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160718

Year of fee payment: 6

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20160718

Start annual number: 6

End annual number: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170717

Year of fee payment: 7

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20170717

Start annual number: 7

End annual number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180712

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20180712

Start annual number: 8

End annual number: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190704

Year of fee payment: 9

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20190704

Start annual number: 9

End annual number: 9

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20200805

Start annual number: 10

End annual number: 10

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20210914

Start annual number: 11

End annual number: 11

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20230704

Start annual number: 13

End annual number: 13

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20240710

Start annual number: 14

End annual number: 14