KR100996329B1 - 다중층 코팅을 갖춘 창유리 단위의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 음극 원자화에 의해 침착된 다중층 코팅을 갖춘 창유리 단위의 제조 방법, 다중층 코팅을 갖춘 창유리 단위, 및 다중층 코팅을 갖춘 크라우닝되거나 템퍼링된 창유리 단위에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 적어도 1개의 제1 투명 절연층을 침착시킨 다음, 적외선 반사 재료를 주성분으로 하는 기능성 층을 침착시킨다. 이어서 산소와의 전기음성도 차이가 1.9 미만인 재료를 사용하여 최대 3 nm의 두께로 제1 보호층을 침착시킨 다음, 산소와의 전기음성도 차이가 1.4를 초과하는 재료를 사용하여 최대 7 nm의 두께로 제2 보호층을 침착시킨다. 그 다음, 적어도 1개의 제2 투명 절연층을 침착시킨다. 본 발명은 방사율이 낮은 창유리 단위의 형성 또는 코팅의 침착 후 크라우닝되거나 템퍼링된 일광 차단막에 특히 유리하다.

다중층 코팅, 창유리, 기능성 층, 투명 절연층, 보호층, 열 처리

Description

다중층 코팅을 갖춘 창유리 단위의 제조 방법{METHOD FOR PRODUCTION OF A GLAZED PIECE PROVIDED WITH A MULTI-LAYER COATING}

본 발명은 감압하에서 음극 스퍼터링(cathodic sputtering)에 의해 유리 기재 상에 침착되고, 승온에서 만곡, 소둔 또는 열 강인화나 열 템퍼링(thermal tempering) 공정과 같은 열 처리를 견딜 수 있는 다중층 코팅을 갖춘 창유리(glazing) 제조 방법, 및 승온에서 열 처리를 견딜 수 있는 다중층 코팅을 갖춘 창유리에 관한 것이다.

본 발명에서 언급되는 다중층 코팅을 갖춘 창유리 단위는 넓은 창유리 표면의 단열을 향상시킴으로써, 동절기에 에너지 손실 및 난방 비용을 감소시키는 데 사용된다. 다중층 코팅은 긴 파장의 적외선을 통한 열 손실이 감소된, 방사율이 낮은 코팅이다. 이들 창유리 단위는 일광 차단막으로도 사용할 수 있는데, 넓은 창유리 표면이 있는 밀폐 공간에서 일광에 의한 지나친 과열 위험을 감소시킴으로써, 하절기에 냉방기의 이용을 줄여준다.

이들 창유리 단위는 자동차 뿐만 아니라 건물에도 적합하도록 한 것이다. 때때로 창유리에 기계적 강화 공정, 예컨대 열 강인화 또는 열 템퍼링을 수행함으로써 기계적 응력에 대한 저항성을 향상시키는 것이 필요하다. 예를 들어, 자동차 분 야에 있어서는 특히 전면유리의 형태로 성형하기 위해서 종종 창유리를 만곡시키는 것도 필요하다.

창유리 단위의 제조 및 성형 방법에 있어서, 이미 성형된 기재를 코팅하는 방법 대신 이미 코팅된 기재에 이들 강인화 및 만곡 공정을 수행하는 방법에는 일부 이점이 존재한다. 그러나, 이들 공정은 비교적 상승된 온도에서 수행되기 때문에, 코팅이 열화되고 그 광학적 성질 및 적외선 관련 성질을 상실하는 경향을 나타낸다.

다중층 코팅의 열화는 때때로 적외선을 반사시키기 위한 층이 열 처리 동안에 산화되기 때문인 것으로 밝혀졌다. 이러한 문제를 해결함으로써 열 처리 후에도 필수적인 특징을 보유하는 창유리를 형성시키기 위한 시도로 종종 제안되는 해결책은 코팅 내부에 편의에 따라 배치시킨 희생 금속층을 제공하는 것이다. 이 희생 금속은 적외선을 반사시키기 위한 층 대신 산화됨으로써 이 층을 보호한다.

이러한 해결책의 예는 산화 주석으로 둘러싸인 적외선 반사체로서의 은계 층의 적층을 기술한 특허 EP 233 003 B1에 제안되어 있다. 이 특허는 은 층의 위 및 은의 아래에도 배치 가능한, 알루미늄, 티타늄, 아연 및 탄탈 중에서 선택된 부가적인 금속층을 제공한다. 이 부가적 금속은 산소를 포획하여 열 처리 동안에 산화됨으로써, 은을 산화로부터 보호한다.

금속 형태일 때, 부가적 금속은 흡수성이며, 코팅의 광 투과율을 감소시키는 경향이 있다. 그러므로 높은 광 투과율을 갖는 최종 산물을 수득하기 위해, 상기 특허는 금속을 열 처리 동안 은 층을 보호하기에는 충분하지만, 최종 산물에 임의 의 흡수성 부가 금속이 잔류하는 것은 방지할 만큼의 양으로 사용할 것을 제안한다. 그러므로 제공되는 부가적 금속의 양은 열 처리 온도 및 지속기간에 좌우된다.

특허 EP 233 003 B1에 의해 제안된 해결책으로는, 긴 제조 기간 동안 일정한 질의 산물을 수득하기가 곤란하고, 복잡한 형태의 창유리인 경우에는 전체 표면에서 균일한 질을 수득하기가 곤란할 수 있다. 또한, 상이한 두께 또는 형태의 창유리 단위를 만곡시키거나 강인화시킬 필요가 있을 때는, 열 처리의 온도 및 시간 조건을 변형시켜야 하기 때문에, 부가적 금속의 두께를 이들 처리 조건의 변형에 맞춰 변화시키는 것이 필요하다.

본 발명은 감압하에서 음극 스퍼터링에 의해 유리 기재 상에 침착된 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법에 관한 것으로서, 적어도 1개의 제1 투명 절연층을 기재 상에 침착시키는 단계, 그 다음 적외선 반사 재료를 주성분으로 하는 기능성 층을 침착시키는 단계, 최대 20%의 산소를 함유한 대기중에서, 최대 3 nm의 기하학적 두께를 가지며 산소와의 전기음성도 차이가 1.9 미만이고 전기음성도 값이 상기 적외선 반사 재료의 전기음성도 값보다 작은 재료로 구성된 제1 보호층을 상기 기능성 층 위에 침착시키는 단계, 그 다음 최대 50%의 산소를 함유한 대기중에서, 최대 7 nm의 기하학적 두께를 가지며 산소와의 전기음성도 차이가 1.4를 초과하는 재료로 구성된 제2 보호층을 침착시키는 단계, 및 이어서 적어도 1개의 제2 투명 절연층을 침착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서 사용되는 것과 같은 원소의 전기음성도 값은 폴링 척도(Pauling scale)에 따라 분류한 평균값이며, 열화학적 데이터로부터 수득한 것이다. 명확하게 하기 위해서, 하기와 같은 일부 원소의 전기음성도 값을 아래에 기재했다.

Ag 1.93 Au 2.54 Pd 2.20 Pt 2.28

Al 1.61 O₂ 3.44 Si 1.90 Ti 1.54

Cr 1.66 Ni 1.90 Cu 1.65 Zn 1.81

Zr 1.33 Sn 1.96 Sb 2.05 Pb 2.33

Bi 2.02 Ta 1.5 Hf 1.3 In 1.78

투명 절연층의 목적은 간섭 효과에 의해서 코팅의 광 반사율을 감소시키는 것인데, 이는 적외선을 반사하는 재료를 주성분으로 하는 기능성 층은 가시광선도 반사하는 경향이 있기 때문이다. 이들은 광 투과율이 높으면서 적외선을 반사하는 창유리의 형성에 유리하다. 이들 투명 절연층은 또한 외부의 물리적 또는 화학적 스트레스에 대해서 기능성 층을 일부 보호하는 작용을 하며, 기재 상에 침착된 층은 창유리에 대한 코팅의 접착에 유리하게 기여한다. 이들 투명 절연층은 또한 수득된 산물의 투과 및 반사 양상에 영향을 준다.

본 발명에 따르면, 기능성 층 바로 위에 침착된 제1 보호층의 재료는 산소와의 전기음성도 차이가 1.9 미만이기 때문에 산소에 대해 제한된 결합활성(avidity)을 갖지만, 또한 적외선 반사 재료보다는 산소에 대한 결합활성이 높아서 산소가 상기 재료를 통과하는 것을 방지한다. 이는 선행 기술의 교시에 반하는 것으로서, 이 교시에 따르면 기능성 층이 산소에 대해 결합활성을 갖는 Ti 또는 Ta와 같은 층 에 의해서 보호되고 있고, 이러한 층이 산소를 흡수하여 기능성 층이 산화되는 것을 방지함으로써 기능성 층의 본질적인 성질이 상실되지 않도록 하고 있다.

놀랍게도, 본 발명은 안정적이고 균일한 질의 창유리 형성에 유리한 제조 방법을 제공하는 것으로 밝혀졌다. 본 발명에 따른 방법은 다중층 코팅을 갖춘 창유리가 수득되도록 하며, 특히 코팅이 승온에서의 열 처리, 예컨대 만곡, 소둔 또는 열 강인화 공정을 거쳐야 하는 생산 라인을 공급하기에 적절하다. 실제로, 열 처리의 시간 및 온도 조건이 제조 과정 동안에 또는 한 제조 주기와 또 다른 제조 주기 사이에서 다소 변화하더라도, 이들 변화는 최종 창유리의 광학적 및 열적 성질에 있어서 선행 기술에 따랐을 때보다 상당히 덜한 영향을 주고, 또한 코팅 구조를 적절하게 선택한 경우에는 영향이 전혀 없다. 그러므로, 본 발명에 따른 방법에서는 창유리가 견디어야 하는 열 처리의 특징에 따라 코팅 구조를 변형시킬 필요가 없다.

본 발명의 또 다른 이점은 투명 절연층을 적절하게 선택하면, 본 발명에 따른 방법으로 열 처리 동안 광학적 성질이 거의 변하지 않거나 유의적이지 않은 변화만 있는 다중층 코팅을 갖춘 창유리를 수득할 수 있으며, 이로써 열 처리를 견디는 창유리는, 본 발명에 따른 방법과 동일한 제조 방법으로 수득했지만 미학적으로 바람직하지 않은 차이 없이 열 처리를 견디지 못하는 창유리 대신 사용될 수 있을 것이다.

이처럼 놀라운 효과에 대한 근거는 완전히 이해되지 않았다. 그러나, 본 발명에 기재된 조건하에서 기능성 층에 제1 보호층 및 제2 보호층을 접합시킨 것이 중요한 역할을 한 것으로 사료된다. 구체적으로, 제1 보호층의 재료는 산소에 대해 비교적 낮은 결합활성을 갖기 때문에, 그 산화 정도가 갑자기 변하지 않고, 너무 빠르게 포화에 도달하지 않으며, 기능성 층을 위한 안정한 막을 형성하는 것으로 사료된다. 제1 보호층은 두께가 3 nm를 초과하지 않아서 얇기 때문에, 코팅의 흡수에 제한적인 영향만을 줄 수 있으며, 양호한 투명도를 획득하기에 충분한 산화 수준을 수득하기가 더 용이하다. 그러므로 이러한 제1 보호층은 코팅의 성질을 안정시키는 역할을 한다. 즉, 제2 보호층의 재료는 산소에 대해 충분한 결합활성을 가짐으로써, 산소를 보유하며 이를 너무 쉽게 분리시키지 않는 경향이 있기 때문에, 얇은 두께의 제1 보호층을 사용할 수 있도록 해준다.

바람직하게는, 제1 보호층은 산소와의 전기음성도 차이가 1.8 미만이고 바람직하게는 1.7 미만인 재료로 구성된다. 산소와 관련하여 이와 같은 전기음성도 차이를 채택하면, 제1 층을 안정시키는 효과가 강화되는 경향이 있다.

바람직하게는, 제2 보호층은 산소와의 전기음성도 차이가 1.6을 초과하고 바람직하게는 1.8을 초과하는 재료로 구성된다. 이것은 제2 보호층의 산소에 대한 친화력을 강화시켜 열 처리 동안에 산소를 보다 쉽게 보유하도록 함으로써, 기능성 층을 향한 산소의 확산을 방지한다.

바람직하게는, 제1 보호층 재료의 전기음성도 값은 적외선 반사 재료의 전기음성도 값보다 적어도 0.05 작다. 이는 열 처리 동안에 산소가 제1 보호층을 통과하여 기능성 층으로 향할 위험성을 감소시킨다.

바람직하게는, 제2 보호층 재료는 제1 보호층 재료의 전기음성도 값보다 적 어도 0.1 작고 유리하게는 적어도 0.2 작은 전기음성도 값을 가진다.

전기음성도 값이 제1 보호층보다 작은 재료를 제2 보호층의 재료로 사용하면 본 발명의 유익한 효과를 강화시킨다는 사실이 밝혀졌다. 제2 보호층은 제1 보호층보다 높은 산소에 대한 결합활성을 가지며 이로써 제2 보호층이 산소를 더 쉽게 보유하는 경향이 있기 때문에, 두 재료 간의 전기음성도 차이가 열 처리 동안에 산소가 기능성 층으로 향할 위험성을 감소시키는 것으로 사료된다.

적외선 반사 재료를 주성분으로 하는 기능성 층은 예를 들면, 알루미늄, 구리, 아연, 니켈 또는 귀금속, 예컨대 금, 은, 백금 또는 팔라듐을 주성분으로 하는 금속층이다. 적외선 반사 재료는 바람직하게는 은계 재료이다. 은(Ag)은 기능성 층으로 사용하기에 매우 적합한 재료인데, 이는 은이 판매가에 비해 우수한 적외선 반사성을 가지며 감압하에서 음극 스퍼터링에 의해 층을 침착시키는 장치에서 사용하기에 용이하기 때문이다. 재료는 순은, 은과 예를 들면 구리, 알루미늄과의 합금, 또는 은과 적은 양, 대개 0.5 내지 5% 정도의 팔라듐, 구리, 알루미늄, 금 또는 백금과의 합금, 및 바람직하게는 팔라듐과의 합금일 수 있다.

제1 보호층은 예를 들면, 금속 상태이거나 부분 산화 상태인 아연, 구리, 니켈, 크롬, 인듐, 스테인레스 강 또는 주석 및 이들의 합금 중에서 선택된 재료를 주성분으로 할 수 있다.

바람직하게는, 제1 보호층은 Ni계 합금이고 유리하게는 NiCr계 합금이다. 특히 아주 적합한 합금은 NiCr 80/20 합금이다. Ni 합금은 순수 금속 상태 또는 부분 산화되거나 질화된 상태 또는 산질화물(oxynitride)의 형태로 침착될 수 있다. 이 재료는 높은 광 투과율을 갖는 창유리 형성에 이로운 매우 얇은 두께의 안정화 제1 보호층을 형성하는 데 특히 아주 적합한 것으로 밝혀졌다.

바람직하게는, 제2 보호층의 재료는 티타늄, 알루미늄 또는 탄탈 및 이들의 합금 중에서 선택되고, 유리하게는 티타늄이다. 이들 원소는 산소를 다량 보유하고, 투명한 산화물을 형성시키므로 본 발명의 목적을 위한 제2 보호층으로 가장 적절하다.

바람직하게는, 제1 보호층은 0.5 nm 내지 2.5 nm, 유리하게는 0.5 nm 내지 2 nm, 및 가장 유리하게는 0.6 nm 내지 1.5 nm 범위의 두께로 침착시킨다. 이는 앞서 논의된 최고의 안정화 효과를 제공한다.

바람직하게는, 제2 보호층은 2 nm 내지 6 nm 범위의 두께로 침착시킨다. 제2 보호층 재료에 대한 이 범위의 두께가 산소의 보유 및 기능성 층의 보호에 유리한 것으로 밝혀졌다.

제2 보호층의 재료는 중성 또는 약하게 산화된 대기중에서 금속 타겟으로부터 발생하는 금속 형태 또는 부분 산화물 형태로 침착될 수 있다. 재료는 또한 비교적 중성인 대기, 예를 들면 산소를 10 내지 20% 함유하고 나머지는 아르곤으로 이루어진 대기중에서, 산화 금속으로 된 세라믹 타겟으로부터 침착될 수 있다. 재료는 이어서 유리하게는 제2 투명 절연층의 일부를 형성하는 산화 금속이 침착되는 동안 산화 플라즈마에 의해 실질적으로 완전히 산화됨으로써, 침착 후에 투명하게 되며, 이는 높은 광 투과율의 형성을 촉진한다. 전체 코팅이 침착된 후에, 제2 보 호층은 유리하게는 TiO₂, Ta₂O₅ 또는 Al₂O₃로 형성된다.

다음에 오는 층이 질소 또는 질소-산소 혼합물의 활성 대기중에서 침착된 절연층인 경우, 제2 보호층은 코팅의 침착 후에 예를 들면 AlN 또는 AlN_xO_y와 같은 투명한 질화물 또는 산질화물이 될 수 있다.

제조된 창유리의 최종 광학적 성질과 관련하여 의도한 목적이 보다 낮은 광 투과율이라면, 제2 보호층은 부분적으로 흡수성을 유지할 수 있고 TiN 또는 CrN과 같은 흡수성 화합물이나 ZrN과 같은 반사성 화합물을 함유할 수 있다.

제2 보호층을 위해 지정된 원소는 질소보다 산소에 대한 결합활성이 더 높다. 이들은 부분적으로 또는 전체적으로 질화되었을 때조차도, 산소와 관련한 결합활성을 보유하기 때문에 산소를 포획하여 보유할 수 있다.

그러나, 바람직하게는 제2 보호층의 재료는 금속 형태 또는 부분 산화된 형태로 침착되고, 다음에 침착되는 층의 산화 플라즈마에 의해 완전히 산화된다. 즉, 제2 투명 절연층을 형성하기 위한 금속 타겟으로부터 산화물을 침착시키는 것이 가능하다.

바람직하게는, 제2 투명 절연층은 제2 보호층의 재료와는 상이한 원소를 주성분으로 한다. 이는 2개의 상이한 층에 의해 상이한 역할을 하기에 특히 더 적합한 원소의 선택을 도모한다.

제1 및 제2 투명 절연층은 감압하에서 음극 스퍼터링에 의해 형성시키는 코팅의 분야에서 알려진 그대로의 방식으로 임의의 투명 산화물, 카바이드, 옥시카바 이드, 질화물 또는 산질화물을 사용하여 형성시킬 수 있다. 구체적으로는, 하기와 같은 것들을 언급할 수 있다: 규소, 크롬, 지르코늄 또는 알루미늄의 질화물, 산질화물 또는 산화물; 티타늄, 탄탈 또는 규소의 카바이드 또는 옥시카바이드; 크롬의 카바이드 또는 옥시카바이드; 주석, 아연, 티타늄, 비스무트, 마그네슘, 탄탈, 니오븀, 인듐의 산화물; 및 또한 이들 상이한 원소들의 합금. 일부 원소는 또한 유리하게는 도핑될 수 있는데, 예를 들면 알루미늄으로 도핑된 산화 아연 또는 산화 규소와 같은 것이다.

바람직하게는, 적어도 1개의 제1 및 제2 투명 절연층은 아연계 산화 금속을 함유한다. 은을 적외선 반사 재료로 사용할 때, 이 산화 금속은 은을 부동화시키는 유익한 효과를 나타내며, 이는 기능성 층이 예를 들면 열 처리 동안의 화학적 분해에 보다 저항적이 되도록 만들어준다. 아연은 또한 감압하의 음극 스퍼터링에 아주 적합한 금속이다.

바람직하게는, 상기 산화 금속은 아연계 및 주석계 합금의 산화물이다. 앞서 지적한 바와 같이, 산화 아연이 특히 유리하다. 그러나, 이것은 두꺼워지면 다공성으로 되는 경향이 있다. 아연-주석 합금이 특히 유리한데, 그 이유는 이러한 경향이 감소하기 때문이다. 유리하게도, 적어도 1개의 제1 및 제2 절연층은 아연계 및 주석계 합금의 산화물로 된 2개 층을 상이한 비율로 함유한다. 이는 합금내 아연의 비율을 편의에 따라 적절하게 조정함으로써, 기능성 층에 가장 가까운 절연 부위는 가장 높은 농도의 아연을 보유하게 하여 아연의 유익한 효과에 유리하도록 하고, 다른 절연 부위는 보다 낮은 농도의 아연을 보유하게 하여 층의 다공성 위험을 감 소시키도록 해준다.

유리하게는, 각각의 제1 및 제2 절연층이 아연계 산화 금속을 함유한다. 이에 따라, 아연의 유익한 효과가 전체 코팅에 보다 양호하게 보장된다.

앞에서는 오직 단일 기능성 층만 언급했다. 이러한 코팅 유형은 동절기 단열에 매우 유용한 방사율이 낮은 창유리 단위를 용이하게 수득할 수 있도록 한다. 기능성 층을 보다 두껍게 함으로써, 일광 차단율을 증가시킨 창유리를 수득하는 것 또한 가능하다. 그러나, 일반적으로 자동차 전면유리의 경우와 같이, 미학적으로 흥미를 끄는 특별한 외관과 매우 높은 투과율을 보유하면서 일광 차단율의 증가를 필요로 할 때는 2개, 심지어 3개의 기능성 층을 침착시킬 필요가 있다. 그러므로, 본 발명에 따른 방법의 바람직한 구체예에서는, 적외선 반사 재료를 주성분으로 하는 적어도 2개의 기능성 층을 침착시킨 다음, 각각의 상기 기능성 층 사이에 적어도 1개의 중간 절연층을 침착시킨다.

유리하게는, 다중층 코팅은 크롬, 몰리브덴, 스테인레스 강, 니켈 또는 티타늄, 뿐만 아니라 이들의 합금을 주성분으로 하고, 바람직하게는 티타늄을 주성분으로 하는 박막의 최종 보호층을 침착시킴으로써 완성시킨다. 이는 흠집에 대한 효과적인 보호를 제공한다.

본 발명은 또한 전술한 방법에 따라 코팅한 기재를 이어서 만곡 또는 강인화 공정으로 처리하는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리의 제조 방법을 포함한다.

또 다른 측면에 따르면, 본 발명은 유리 기재를 포함하되, 그 위에 적외선 반사 재료를 주성분으로 하는 적어도 1개의 기능성 층이 침착되어 있고, 이러한 기능성 층 또는 적어도 1개의 기능성 층은 적어도 1개의 투명 절연층으로 둘러싸여 있으며, 상기 기능성 층은 기재 반대쪽 표면에 직접 접촉해서, 최대 3 nm의 기하학적 두께를 가지며 산소와의 전기음성도 차이가 1.9 미만이고 전기음성도 값이 적외선 반사 재료의 전기음성도 값보다 작은, 금속 형태 또는 질화되거나 부분 산화된 형태의 금속성 또는 반금속성 재료로 구성된 제1 보호층으로 피복된 다음, 최대 7 nm의 기하학적 두께를 가지며 산소와의 전기음성도 차이가 1.4를 초과하고 바로 인접한 투명 절연층 재료와는 상이한, 실질적으로 완전히 산화된 형태의 금속 또는 반금속을 주성분으로 하는 재료로 구성된 제2 보호층으로 피복된 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리에 관한 것이다.

추가적인 측면에 따르면, 본 발명은 유리 기재를 포함하되, 그 위에 적외선 반사 재료를 주성분으로 하는 적어도 1개의 기능성 층이 침착되어 있고, 이러한 기능성 층 또는 적어도 1개의 기능성 층은 적어도 1개의 투명 절연층으로 둘러싸여 있으며, 상기 기능성 층은 기재 반대쪽 표면에 직접 접촉해서, 최대 3 nm의 기하학적 두께를 가지며 산소와의 전기음성도 차이가 1.9 미만인, 산화되거나 부분 산화된 형태의 금속성 또는 반금속성 재료로 구성된 제1 보호층으로 피복된 다음, 최대 7 nm의 기하학적 두께를 가지며 산소와의 전기음성도 차이가 1.4를 초과하고 바로 인접한 투명 절연층의 재료와는 상이한, 실질적으로 완전히 산화된 형태인 금속 또는 반금속을 주성분으로 하는 재료로 구성된 제2 보호층으로 피복된 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리에 관한 것이다. 본 발명의 이 측면에 따르면, "다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리"는 층의 침착 공정 후에 강인화 또는 만곡의 열 처리를 수행함을 의미해야 하므로, 이미 코팅된 기재에 강인화 또는 만곡 공정을 수행한다.

본 발명의 방법에 관한 상이한 층의 구조, 조성물 및 배열과 관련하여 앞서 논의된 특성은 또한 열 처리 전후의 창유리 단위와 관련된 세부사항에도 적용된다.

이제 본 발명의 바람직한 실제적 구체예를 일부 비제한적 실시예로 설명하겠다.

실시예 1

가로 2 m, 세로 1 m, 및 두께 4 mm인 통상의 소다 석회 유리 시트 1장을 BOC에서 제조한 마그네트론형(magnetron type)의 감압하 음극 스퍼터링 장치에 넣었다. 먼저 제1 스퍼터링실로 보내는데, 이곳의 대기는 대기압에 비해 크게 감소된 압력하에 아르곤 20% 및 산소 80%로 이루어져 있다. 첫번째로 제1 투명 절연층을 유리 시트에 침착시켰다. 아연 53% 및 주석 48%를 함유한 아연-주석 합금의 음극을 사용하여, 먼저 20 nm 두께의 ZnSnO_x 층을 침착시켰다. 그 다음, 이와 유사한 대기중에서 ZnSnO_x 위에 또 다른 ZnSnO_x 층을 아연 90% 및 주석 10%로 이루어진 아연-주석 합금의 타겟으로부터 발생시켜 12 nm 두께로 침착시켰다. 이어서 유리 시트를 또 다른 스퍼터링실로 보내는데, 이곳의 대기는 아르곤 100%로 이루어져 있다. 사실상 순은인 타겟으로부터 발생시킨 10 nm의 은으로 이루어진 기능성 층을 ZnSnO_x 층 위에 침착시켰다. 그 다음, 이와 동일한 대기중에서 은 위에 제1 보호층을 침착시키는데, 본 발명의 실시예에서 이러한 제1 보호층은 Ni 80% 및 Cr 20%로 이루어진 합금의 타겟으로부터 발생시킨 1 nm 두께의 NiCr 층이다. 그 다음, 산소 10% 및 아르곤 90%의 대기중에서 NiCr 층 위에 제2 보호층을 침착시키는데, 이는 TiO_x의 세라믹 타겟으로부터 발생시킨 5 nm 두께의 TiO_x(x는 1.6 내지 1.9 범위)층에 의해 형성되었다. 그 다음, 대기가 산화된, 즉 산소 80% 및 아르곤 20%로 이루어진 또 다른 스퍼터링실에서, TiO_x 층 위에 제2 투명 절연층을 침착시켰다. 이를 위해서, Zn 90% 및 Sn 10%로 이루어진 ZnSn 합금의 금속 타겟으로부터 발생시킨 10 nm 두께의 ZnSnO_x 층을 먼저 침착시켰다. 플라즈마의 산화 대기는 보다 하부 층인 TiO_x의 산화를 완성시킴으로써, ZnSnO_x 층 침착 공정의 마지막에 티타늄이 본질적으로 완전하게 산화되어 TiO₂의 압축 장벽이 형성됨을 주목해야 한다. 제2 투명 절연층의 침착 후, 산소 80% 및 아르곤 20%의 대기중에서, Zn 52% 및 Sn 48%로 이루어진 ZnSn 합금의 타겟으로부터 발생시킨 15 nm 두께의 ZnSnO_x 층을 침착시켰다. 그 다음 3 nm의 TiO_x 최종 보호층을 침착시킴으로써 코팅을 완성했다. 모든 ZnSnO_x 층은 가능한 한 투명해지도록 충분하게 산화되었음을 주목해야 한다.

층 침착 장치로부터 꺼냈을 때, 새롭게 코팅된 창유리는 층의 측면에서 관찰시 하기 성질을 가졌다:

TL = 80%; L = 23; a = -2; b = -13; 방사율 = 0.08.

코팅된 창유리는 690℃의 온도에서 4분 동안 처리한 다음, 냉각 공기를 분사하여 급냉시키는 열 템퍼링 공정을 수행했다. 이러한 열 처리 동안에, NiCr 층은 투명해지기에 충분하도록 산화되었고, 또한 은을 보호하는 효과적이고 안정한 막도 형성되었다. 아래와 같은 강인화 후 코팅의 성질에서 볼 수 있는 바와 같이, 은 층은 매우 얇은 두께의 NiCr 막에도 불구하고 산화되지 않았기 때문에, 이번에는 TiO₂ 층이 산소를 보유하고 있는 것으로 보인다. 그러므로, 제1 보호층과 제2 보호층의 조합은 은의 기능성 층과 관련하여 특히 유익한 효과를 나타낸다.

이러한 처리 후, 코팅되고 강인화된 창유리는 층의 측면에서 관찰시, 하기 성질을 가지며:

TL = 88%; L = 24.4; a = -1.6; b = -8.6; 방사율 = 0.05;

코팅의 전기적 표면 저항은 3.8 Ω/sq.이었고, 계수 k(U값)는 1.2 W/㎡·K 미만이었다.

그 다음, 이 코팅된 창유리를 4 mm의 또 다른 투명 유리 시트와 함께 이중 창유리로 조립하는데, 코팅은 이중 창유리의 내부 공간 방향으로 배치한다. 이중 창유리를 위치 3인 층의 측면으로부터 관찰시, 즉 층 없이 우선 투명한 유리 시트를 관찰한 다음, 층의 측면에서 코팅을 갖춘 창유리를 관찰할 때 하기 성질이 확인되었다:

TL = 79.2%; L = 34.5; a = -1.4; b = -4.

본 실시예에서는, 별도의 지시가 없는 한 하기 실시예에서와 같이, 광 투과 율(TL)은 광원 C 및 L에 관해서 측정하고, a 및 b값은 Hunter의 Lab 시스템에 따른 값이다.

변형으로, 모든 다른 조건들은 동일하게 유지한 상태에서 TiO_x의 제2 보호층을, 산소 20%의 대기중에서 세라믹 타겟을 사용하는 대신에 금속 타겟으로부터 침착시켰다. 코팅된 창유리에 대해 수득한 성질은 동일했다.

실시예 2

코팅의 침착을 4 mm 대신 6 mm 두께의 유리 시트 상에서 수행한다는 것을 제외하고는, 실시예 1에 기재한 공정과 모든 측면에서 동일한 침착 공정을 사용하여 이를 수행했다.

이러한 코팅을 갖춘 창유리는 690℃의 온도에서 6분 동안 처리한 다음, 냉각 공기를 분사하여 급냉시키는 열 템퍼링 공정을 수행했다. 이러한 처리 후, 코팅되고 강인화된 창유리는 층의 측면에서 관찰시, 하기 성질을 가지며:

TL = 87.4%; L = 23.1; a = -1.3; b = -8.9; 방사율 = 0.05;

코팅의 전기적 표면 저항은 3.7 Ω/sq.이었다.

그 다음, 이 코팅된 창유리를 4 mm의 또 다른 투명 유리 시트와 함께 이중 창유리로 조립하는데, 코팅은 이중 창유리의 내부 공간 방향으로 배치한다. 이중 창유리를 위치 3인 층의 측면으로부터 관찰시, 하기 성질이 확인되었다:

TL = 77.8%; L = 34.0; a = -1.2; b = -4.2.

실시예 1과 2를 비교할 때, 동일한 코팅 구조를 사용하는 동일한 층 침착 공 정에서 두 실시예 사이에 열 템퍼링 공정의 온도 및 지속기간 조건을 변화시키는 것은 광학적, 측색학적 및 열적 성질을 유의적으로 변형시키지 않는다. 그러므로 본 발명에 따른 방법은 가해진 열 처리에 거의 의존하지 않는 안정한 코팅이 형성되도록 한다.

실시예 3

코팅의 침착을 4 mm 대신 8 mm 두께의 유리 시트 상에서 수행한다는 것을 제외하고는, 실시예 1에 기재한 공정과 모든 측면에서 동일한 침착 공정을 사용하여 이를 수행했다.

이러한 코팅을 갖춘 창유리는 690℃의 온도에서 8분 동안 처리한 다음, 냉각 공기를 분사하여 급냉시키는 열 템퍼링 공정을 수행했다. 이러한 처리 후, 코팅되고 강인화된 창유리는 층의 측면에서 관찰시, 하기 성질을 가지며:

TL = 86.4%; L = 33.2; a = -1.6; b = -9.4; 방사율 = 0.05;

코팅의 전기적 표면 저항은 3.6 Ω/sq.이었다.

그 다음, 이 코팅된 창유리를 4 mm의 또 다른 투명 유리 시트와 함께 이중 창유리로 조립하는데, 코팅은 이중 창유리의 내부 공간 방향으로 배치한다. 이중 창유리를 위치 3인 층의 측면으로부터 관찰시, 하기 성질이 확인되었다:

TL = 77.4%; L = 34.0; a = -1.2; b = -4.0.

실시예 1과 3을 비교할 때, 동일한 코팅 구조를 사용하는 동일한 층 침착 공정에서 두 실시예 사이에 열 강인화 공정의 온도 및 지속기간 조건을 변화시키는 것은 승온에서의 기간이 2배가 되어도 광학적, 측색학적 및 열적 성질을 유의적으 로 변형시키지 않는다. 그러므로 본 발명에 따른 방법은 가해진 열 처리에 거의 의존하지 않는 안정한 코팅이 형성되도록 한다.

실시예 4

감압하 음극 스퍼터링을 위한 마그네트론형 장치에서, 코팅을 하기 순서로 6 mm 유리 시트 상에 침착시켰다. 10 nm 두께의 질화 알루미늄 층을 형성시킨 다음 5% 알루미늄으로 도핑된 20 nm 두께의 산화 아연 층을 형성시켜 제1 투명 절연층을 침착시켰다. 질화 알루미늄은 아르곤 60% 및 질소 40%로 이루어진 대기중에서 알루미늄 타겟으로부터 침착시켰다. 산화 아연은 산소 70% 및 아르곤 30%로 이루어진 대기중에서, 5% 알루미늄으로 도핑된 아연의 타겟으로부터 침착시켰다. 그 다음, 아르곤 95% 및 산소 5%로 이루어진 중성 대기중에서, 1% 팔라듐으로 도핑된 10.5 nm의 은으로 이루어진 기능성 층을 침착시켰다. 동일한 중성 대기중에서, 0.8 nm의 아연으로 이루어진 제1 보호층을 침착시킨 다음, 4 nm의 탄탈로 이루어진 제2 보호층을 침착시켰다. 이어서 5% 알루미늄으로 도핑된 15 nm의 산화 아연을 침착시킨 뒤 17 nm의 질화 규소를 침착시켜 제2 투명 절연층을 형성시켰다. 알루미늄으로 도핑된 산화 아연은 O₂ 70% 및 Ar 30%의 산화 대기중에서 침착시키고, Si₃N₄는 Ar 40% 및 질소 60% 중에서 침착시켰다.

침착 후 코팅된 창유리의 성질은 층의 측면에서 관찰시 하기와 같았다:

TL = 84%; L = 25; a = 0; b = -12; 방사율 = 0.06.

그 다음, 이 코팅된 창유리를 6 mm의 또 다른 투명 유리 시트와 함께 이중 창유리로 조립하는데, 코팅은 이중 창유리의 내부 공간 방향으로 배치한다. 이중 창유리를 위치 3인 층의 측면으로부터 관찰시, 하기 성질이 확인되었다:

TL = 75%; L = 36; a = 0; b = -6.

이러한 코팅을 갖춘 단일 창유리는 690℃의 온도에서 6분 동안 처리한 다음, 냉각 공기를 분사하여 급냉시키는 열 템퍼링 공정을 수행했다. 이러한 처리 후, 코팅되고 강인화된 창유리는 층의 측면에서 관찰시, 하기 성질을 가지며:

TL = 86%; L = 23; a = -1; b = -10; 방사율 = 0.04;

코팅의 전기적 표면 저항은 3.4 Ω/sq.이었다.

창유리의 성질을 분석함으로써, 코팅은 기능성 층의 임의적 분해 없이 강인화 공정을 매우 잘 견디는 것으로 밝혀졌다.

그 다음, 이 코팅되고 강인화된 창유리를 6 mm의 또 다른 투명 유리 시트와 함께 이중 창유리로 조립하는데, 코팅은 이중 창유리의 내부 공간 방향으로 배치한다. 이중 창유리를 위치 3인 층의 측면으로부터 관찰시, 하기 성질이 확인되었다:

TL = 77%; L = 34; a = -1; b = -5.

광학적 성질이 사실상 변하지 않았으므로, 강인화되거나 그렇지 않은 창유리 단위를 함께 동일한 건물에 용이하게 배치할 수 있음을 주목할 만 하다.

실시예 5

감압하 음극 스퍼터링을 위한 마그네트론형 장치에서, 코팅을 하기 순서로 2 mm 두께의 유리 시트 상에 침착시켰다. 산소 100%의 대기중에서, 아연 90% 및 주석 10%의 아연-주석 합금의 금속 타겟으로부터 침착시킨 혼합 아연-주석 산화물로 이 루어진 30 nm 두께의 제1 투명 절연층을 침착시켰다. 그 다음, 아르곤 100%의 중성 대기중에서 10 nm 은의 기능성 층을 침착시켰다. 이러한 은 층 위에 NiCr 80/20의 0.7 nm 제1 보호층을 아르곤 100%의 대기중에서 침착시켰다. 이러한 제1 보호층 위에 금속성 티타늄의 타겟으로부터 발생시킨 3 nm의 TiO_x를 포함하는 제2 보호층을 산소 20%의 대기중에서 침착시켰다. 그 다음, 70 nm의 ZnSnO_x로 이루어진 중간 투명 절연층을 제1 투명 절연층과 동일한 방식으로 침착시켰다. TiO_x 층은 ZnSnO_x 침착물의 플라즈마에 의해서 완전히 산화되었다. 10 nm 은의 제2 기능성 층을 침착시킨 다음 NiCr의 제1 보호층 1.5 nm를 침착시키는데, 둘다 산소 5%의 대기중에서 침착시켰다. 그 다음, 산소 20% 중에서 금속 타겟으로부터 TiO_x의 제2 보호층 2.5 nm를 침착시켰다. 산소 100% 중에서 침착시킨 20 nm의 ZnSnO_x에 의해서 제2 투명 절연층을 형성시켰다. 제2 절연 침착물의 플라즈마는 바로 아래의 TiO_x 층을 완전히 산화시켰다. 코팅을 보호하기 위해서 티타늄계 최종 보호층 3 nm를 침착시켰다.

침착 후 코팅된 창유리의 성질은 층의 측면에서 관찰시 하기와 같았다:

TL = 60%; L = 45; a = +3; b = +11; 방사율 = 0.05.

본 실시예에 따른 창유리는 자동차의 전면유리로 성형하기 위한 것인데, 여기서 코팅은 승객 자리의 지나친 과열을 방지하기 위한 확실한 일광 차단 효과를 제공한다.

코팅된 창유리에 650℃의 온도에서 12분 동안 만곡 공정을 수행함으로써, 전 면유리가 가져야 하는 형태를 부여했다.

이러한 처리 후, 코팅되고 만곡된 창유리는 층의 측면에서 관찰시, 하기 성질을 가지며:

TL = 74%; L = 39; a = +5; b = +9; 방사율 = 0.02;

코팅의 전기적 표면 저항은 2.4 Ω/sq.이었는데, 이는 가열층으로서 사용하기에 유리한 값이다.

코팅되고 만곡된 창유리를 0.76 mm의 PVB 필름을 사용하여 2 mm 두께의 투명 유리 시트와 함께 조립함으로써, 적층된 창유리를 형성시켰다.

층에 의해서 적층된 창유리의 위치 2(위치 1은 차량에 설치된 전면유리에서의 외부 표면)에서의 특징은 하기와 같은데:

TL = 75.5%; L = 35; a = -3; b = -4; Moon에 따른 에너지 투과율 = 45%; Moon에 따른 에너지 반사율 = 34%;

여기서 광 투과율은 광원 A에 관해서 측정했다.

코팅은 만곡 공정을 매우 잘 견디는 것으로 밝혀졌다.

Claims (48)

1. 감압하에서 음극 스퍼터링(cathodic sputtering)에 의해 유리 기재 상에 침착된 다중층 코팅을 갖춘 창유리(glazing)의 제조 방법으로서,

   하나 이상의 제1 투명 절연층을 기재 상에 침착시키는 단계,

   이어서 적외선 반사 재료로 형성된 기능성 층을 침착시키는 단계,

   이어서 최대 20%의 산소를 함유한 대기 중에서, 산소와의 전기음성도 차이가 1.9 미만이고 전기음성도 값이 상기 적외선 반사 재료의 전기음성도 값보다 작은 재료로 구성된 최대 3nm의 두께를 갖는 제1 보호층을 상기 기능성 층 위에 침착시키는 단계,

   이어서 최대 50%의 산소를 함유한 대기중에서, 산소와의 전기음성도 차이가 1.4를 초과하는 재료로 구성된 최대 7nm의 두께를 갖는 제2 보호층을 제1 보호층에 접하여 침착시키는 단계, 및

   이어서 하나 이상의 제2 투명 절연층을 침착시키는 단계

   를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
2. 제1항에 있어서, 제1 보호층이, 산소와의 전기음성도 차이가 1.8 미만인 재료로 구성된 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제2 보호층이, 산소와의 전기음성도 차이가 1.6을 초과하는 재료로 구성된 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제1 보호층 재료의 전기음성도 값이 적외선 반사 재료의 전기음성도 값보다 0.05 이상 작은 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제2 보호층 재료가 제1 보호층 재료의 전기음성도 값보다 작은 전기음성도 값을 가지는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
6. 제5항에 있어서, 제2 보호층 재료가 제1 보호층 재료의 전기음성도 값보다 0.1 이상 작은 전기음성도 값을 가지는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
7. 삭제
8. 삭제
9. 제1항에 있어서, 제1 보호층이 NiCr로 형성되는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제2 보호층 재료가 티타늄, 알루미늄 또는 탄탈 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
11. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제1 보호층이 0.5nm 내지 2.5nm 범위의 두께로 침착되는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
12. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제2 보호층이 2 nm 내지 6nm 범위의 두께로 침착되는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
13. 삭제
14. 삭제
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16. 삭제
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18. 삭제
19. 제1항 또는 제2항에 있어서, 적외선 반사 재료로 형성된 기능성 층에 제1 보호층, 제2 보호층, 및 하나 이상의 제2 투명 절연층을 침착시킨 후, 적외선 반사 재료로 형성된 기능성 층, 제1 보호층, 및 제2 보호층을 추가로 침착시키는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
20. 제1항 또는 제2항에 있어서, 최종 티타늄계 보호층을 침착시킴으로써 다중층 코팅을 완성하는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리의 제조 방법.
21. 제1항 또는 제2항의 방법으로 수득한 코팅된 기재에, 만곡 또는 강인화 공정을 이어서 수행하는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리의 제조 방법.
22. 유리 기재를 포함하고,

    그 위에 적외선 반사 재료로 형성된 하나 이상의 기능성 층이 침착되어 있고,

    상기 기능성 층은 하나 이상의 투명 절연층으로 둘러싸여 있으며,

    상기 기능성 층은 기재 반대쪽 표면 상에서, 직접 접촉해서, 산소와의 전기음성도 차이가 1.9 미만이고 전기음성도 값이 적외선 반사 재료의 전기음성도 값보다 작은, 금속 형태 또는 질화되거나 부분 산화된 형태의 금속성 또는 반금속성 재료로 구성된 최대 3nm의 두께를 갖는 제1 보호층으로 피복된 다음, 산소와의 전기음성도 차이가 1.4를 초과하고 바로 인접한 투명 절연층 재료와는 상이한, 완전히 산화된 형태의 금속 또는 반금속으로 형성된 재료로 구성된 최대 7nm의 두께를 갖는 제2 보호층으로 피복된 것

    을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리.
23. 삭제
24. 제22항에 있어서, 제1 보호층이 산소와의 전기음성도 차이가 1.8 미만인 재료로 구성된 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리.
25. 제22항 또는 제24항에 있어서, 제2 보호층이 산소와의 전기음성도 차이가 1.6을 초과하는 재료로 구성된 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리.
26. 제22항 또는 제24항에 있어서, 제1 보호층 재료의 전기음성도 값이 이와 인접한 적외선 반사 재료의 전기음성도 값보다 0.05 이상 작은 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리.
27. 제22항 또는 제24항에 있어서, 제2 보호층 재료가 이와 인접한 제1 보호층 재료의 전기음성도 값보다 작은 전기음성도 값을 가지는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리.
28. 제27항에 있어서, 제2 보호층 재료가 이와 인접한 제1 보호층 재료의 전기음성도 값보다 0.1 이상 작은 전기음성도 값을 가지는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리.
29. 제22항 또는 제24항에 있어서, 상기 기능성 층은 Ag로 형성되고, 상기 제1 보호층은 Ni과 Cr의 합금으로 형성되며, 상기 제2 보호층은 산화 티타늄으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리.
30. 삭제
31. 삭제
32. 삭제
33. 유리 기재를 포함하되,

    그 위에 적외선 반사 재료로 형성된 하나 이상의 기능성 층이 침착되어 있고,

    상기 기능성 층은 하나 이상의 투명 절연층으로 둘러싸여 있으며,

    상기 기능성 층은 기재 반대쪽 표면 상에서, 직접 접촉해서, 산소와의 전기음성도 차이가 1.9 미만인 산화되거나 부분 산화된 형태의 금속성 또는 반금속성 재료로 구성된 최대 3nm의 두께를 갖는 제1 보호층으로 피복된 다음, 산소와의 전기음성도 차이가 1.4를 초과하고 바로 인접한 투명 절연층 재료와는 상이한, 완전히 산화된 형태의 금속 또는 반금속으로 형성된 재료로 구성된 최대 7nm의 두께를 갖는 제2 보호층으로 피복된 것

    을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리.
34. 삭제
35. 제33항에 있어서, 제1 보호층이 산소와의 전기음성도 차이가 1.8 미만인 재료로 구성된 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리.
36. 제33항 또는 제35항에 있어서, 제2 보호층이 산소와의 전기음성도 차이가 1.6을 초과하는 재료로 구성된 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리.
37. 제33항 또는 제35항에 있어서, 제1 보호층 재료의 전기음성도 값이 이와 인접한 적외선 반사 재료의 전기음성도 값보다 작은 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리.
38. 제33항 또는 제35항에 있어서, 제2 보호층 재료가 이와 인접한 제1 보호층 재료의 전기음성도 값보다 작은 전기음성도 값을 가지는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리.
39. 제38항에 있어서, 제2 보호층 재료가 이와 인접한 제1 보호층 재료의 전기음성도 값보다 0.1 이상 작은 전기음성도 값을 가지는 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리.
40. 제33항 또는 제35항에 있어서, 상기 기능성 층은 Ag로 형성되고, 상기 제1 보호층은 Ni과 Cr의 합금으로 형성되며, 상기 제2 보호층은 산화 티타늄으로 이루어져 있고, 하나 이상의 절연층은 아연계 산화물을 함유한 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 만곡되거나 강인화된 창유리.
41. 유리 기재를 포함하되,

    그 위에 연속하여 하나 이상으로 제1 투명 절연층, 은계 기능성 층, 기능성 층에 직접 접촉된 금속 형태, 질화된 형태, 산화되거나 부분 산화된 형태의 니켈 합금으로 형성된 제1 보호층, 제1 보호층 위에 침착되어 직접 접촉하고 있는 제2 보호층, 및 바로 인접한 제2 보호층 재료와는 상이한 재료로 구성된 제2 투명 절연층이 침착된 것을 특징으로 하는, 다중층 코팅을 갖춘 창유리.
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