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KR100989770B1 - 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템 및 방전 램프 - Google Patents

방전 램프의 왜곡량 감시 시스템 및 방전 램프 Download PDF

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KR100989770B1
KR100989770B1 KR1020090057773A KR20090057773A KR100989770B1 KR 100989770 B1 KR100989770 B1 KR 100989770B1 KR 1020090057773 A KR1020090057773 A KR 1020090057773A KR 20090057773 A KR20090057773 A KR 20090057773A KR 100989770 B1 KR100989770 B1 KR 100989770B1
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discharge lamp
distortion amount
light emitting
emitting tube
lamp
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모토히로 사카이
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

전력치가 변경된 경우라도, 방전 램프를 본래의 사용 수명에 따른 시간 동안 사용할 수 있고, 방전 램프의 점등 중에 발광관이 파열되는 것이 회피되어, 방전 램프를 안전하게 사용할 수 있는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템 및 이 시스템에 적응되는 방전 램프를 제공한다.
방전 램프(10)와, 방전 램프(10)에 전력을 공급하는 급전 장치(20)와, 방전 램프(10)의 발광관(11)의 축적 왜곡량을 산출하는 연산 장치(30)를 구비하여 이루어지고, 연산 장치(30)에 의해, 급전 장치(20)로부터 방전 램프(10)에 공급되는 전력치마다, 점등 시간의 함수인 축적 왜곡량을 산출하는 연산식이 설정되며, 이 연산식에 의해, 방전 램프(10)에 공급되는 전력치로의 전력 공급 개시 시에 있어서의 발광관(11)의 축적 왜곡량을 초기치로 하여, 당해 전력치로의 점등 시간에 따라 방전 램프(10)의 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 특정된다.

Description

방전 램프의 왜곡량 감시 시스템 및 방전 램프{DISCHARGE LAMP DISTORTION AMOUNT MONITORING SYSTEM AND DISCHARGE LAMP}
본 발명은, 리소그래피용 노광 장치에 사용되는 초고압 쇼트아크 수은 램프나, 시네마 프로젝터에 사용되는 쇼트아크 크세논 램프 등의 방전 램프에 있어서의 발광관의 축적 왜곡량을 감시하는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템 및 이 시스템에 적용되는 방전 램프에 관한 것이다.
초고압 수은 램프, 할로겐 램프, 레이저관 등의 램프에 있어서는, 그 작동 시에, 발광관 내압이 상승하거나, 전극과 발광관 유리의 시일부가 열 팽창하거나 함으로써, 발광관의 왜곡량이 증대하는 일이 있다. 이 때문에, 램프의 동작 중에 발광관의 왜곡량이 한계를 넘으면, 발광관이 파열될 우려가 있다.
예를 들면 쇼트아크형 수은 램프는, 반도체 소자나 액정 표시 소자 등의 제조 프로세스에 있어서의 각종의 노광 공정에 있어서, 회로 패턴의 반도체 기판으로의 소부(燒付) 노광 등에 이용되고 있다.
그리고, 최근, 노광 면적의 대형화나 공정의 고 스루풋화에 의해, 쇼트아크형 수은 램프로서 대형의 것이 이용되고 있고, 이러한 램프에 있어서는, 점등 시의 발광관 내 압력이 20기압으로부터 40기압에 이른다. 이에 따라, 발광관에 가해지는 응력이 커져, 발광관이 파열될 위험성이 높아짐과 더불어, 파열된 경우의 파괴력도 또 커지고 있다. 만일, 발광관이 파열된 경우에는, 주위에 주는 영향이 크고, 광학 기기나 등기구 등에 중대한 손상을 주게 된다.
특히, 각종 제조 프로세스에 있어서, 발광관이 노광 공정 중에 파열되면, 제조라인이 정지하여, 생산에 중대한 영향을 주므로, 중요한 문제이다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 램프의 동작 중에, 당해 램프의 발광관에 레이저광을 조사하여 그 투과광을 검출함으로써, 투광성 부재의 왜곡량을 측정하고, 당해 왜곡량이 소정의 값 이상이 되었을 때에, 전력의 공급을 정지 또는 경보기를 작동시키는 광원 장치가 제안되어 있다(특허 문헌 1 참조).
그런데, 광원 장치 내에 레이저를 이용한 복잡한 검지 기능을 장착하는 것은 현실적으로는 용이한 것이 아니고, 또, 발광관에 있어서의 왜곡량을 측정하는 부위와 레이저의 위치 맞춤을 어떻게 설정할지 등의 문제가 있으므로, 널리 적용하는 것은 곤란하다.
이러한 이유로부터, 램프의 발광관의 파열을 방지하는 수단으로서는, 실제로는 이하의 것이 행해지고 있다.
초고압 쇼트아크 방전 램프는, 그 점등 중에 발광관의 내부가 높은 압력으로 유지됨과 더불어, 아크로부터의 열에 의해 발광관을 구성하는 유리(주로 석영 유리)가 고온으로 가열되어 점성을 띰으로써, 당해 발광관에 왜곡(내부 응력)이 축적된다. 그리고, 발광관에는, 축적된 왜곡과 점등 중에 가해지는 외부 압력의 합계 의 응력이 더해지게 되어, 이 응력이 발광관을 구성하는 유리의 한계 응력에 도달하면 발광관의 파열의 가능성이 높아진다.
그래서, 발광관에 축적되는 왜곡량이 소정의 값이 되기 전에 당해 램프의 사용을 정지시키기 위해, 방전 램프마다 점등 보증 시간이 설정된다. 이 점등 보증 시간은, 예를 들면 방전 램프를 어떤 점등 전력으로 점등했을 때에 축적되는 왜곡량을 기초로, 한계가 되는 왜곡량(한계 왜곡량)에 도달할 때까지의 시간이다. 또한, 이 한계 왜곡량은, 발광관을 구성하는 유리의 한계 응력이나 점등 중에 발광관에 가해지는 압력 등을 감안하여 경험적으로 도출된 것이다.
[특허 문헌 1] 일본국 특허공표공보 평6-5639호 공보
그러나, 방전 램프의 점등 보증 시간만으로, 당해 방전 램프의 사용 수명을 규정하는 것은, 이하와 같은 문제가 있다.
발광관에 축적되는 왜곡량은, 방전 램프에 공급되는 전력치에 따라 다르다. 즉, 점등 시간이 동일해도, 방전 램프에 공급되는 전력치가 높을수록, 발광관에 축적되는 왜곡량은 커진다. 그리고, 실제의 방전 램프의 사용 시에는, 공급되는 전력치를 변경하는 경우가 적지 않다. 구체적인 예를 들면, (1) 택트 타임의 안정화를 위해, 방전 램프의 점등 개시로부터 당해 방전 램프에 의한 조도가 일정해지도록, 공급되는 전력치를 서서히 상승시켜 가는, 이른바 정조도(定照度) 점등 방식을 채용하는 경우나, (2) 동일한 제조 라인에 있어서, 복수의 레지스트 처리 공정을 공통의 방전 램프를 사용하여 행할 때에는, 각 레지스트 처리 공정에 사용되는 레지스트의 감도에 맞추어, 방전 램프에 공급하는 전력치를 변경함으로써, 레지스트에 대한 조도를 조정하는 경우이다.
이와 같이, 방전 램프를 일정한 전력치로 사용하지 않는, 즉 공급되는 전력치를 변경하여 사용하는 경우에는, 방전 램프에 공급되는 전력치가 최대가 되는 사용 조건, 즉 왜곡의 축적이 가장 큰 사용 조건을 기준으로 하여 점등 보증 시간이 설정된다.
그리고, 방전 램프를 점등 보증 시간에 도달할 때까지 사용한 경우에는, 당해 방전 램프를 교환·폐기하게 된다. 그런데, 폐기되는 방전 램프는, 그 발광관 의 축적 왜곡량의 관점에서는, 아직 사용 가능한 상태이므로, 경제적·환경적인 낭비가 발생한다는 문제가 있다.
또, 이러한 낭비를 회피하기 위해, 사용자의 독자적인 판단에 의해, 점등 보증 시간을 초과하여 사용되는 경우가 있고, 이 경우에는, 발광관의 파열의 위험성이 증대하며, 만일, 램프가 파열된 경우에는, 고가의 광학계의 보수가 필요해질 뿐만 아니라, 생산이 일시 정지하므로, 생산 효율이 대폭으로 저하한다는 문제가 있다.
본 발명은, 이상과 같은 사정에 의거하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 방전 램프에 공급되는 전력치가 변경된 경우라도, 당해 방전 램프를 본래의 사용 수명에 따른 시간 동안 사용할 수 있고, 또한, 방전 램프의 점등 중에 발광관이 파열되는 것이 회피되어, 당해 방전 램프를 안전하게 사용할 수 있는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템 및 이 시스템에 적용되는 방전 램프를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템은, 방전 램프와,
이 방전 램프에 전력을 공급하는 급전 장치와,
당해 방전 램프의 발광관의 축적 왜곡량을 산출하는 연산 장치를 구비하여 이루어지는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템으로서,
상기 연산 장치에 의해, 상기 급전 장치로부터 상기 방전 램프에 공급되는 전력치마다, 점등 시간의 함수인 축적 왜곡량을 산출하는 연산식이 설정되고,
이 연산식에 의해, 상기 방전 램프에 공급되는 전력치로의 전력 공급 개시 시에 있어서의 발광관의 축적 왜곡량을 초기치로 하여, 당해 전력치로의 점등 시간에 따라 당해 방전 램프의 발광관의 총 축적 왜곡량이 특정되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템에 있어서는, 미리 설정된 발광관의 한계 왜곡량과 연산식에 의해 특정되는 총 축적 왜곡량을 비교하여, 당해 총 축적 왜곡량이 당해 한계 왜곡량에 도달했을 때에 알람을 발생하는 알람 장치를 구비하여 이루어지는 것이 바람직하다.
또, 방전 램프의 총 축적 왜곡량, 점등 시간 및 한계 왜곡량에 도달할 때까지의 시간을 포함하는 정보를 표시하는 표시 장치를 구비하여 이루어지는 것이 바람직하다.
또, 본 발명의 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템에 있어서는, 방전 램프에는, 연산식을 설정하기 위한 파라미터, 총 축적 왜곡량 및 누적 점등 시간을 포함하는 정보가 기록된 램프 정보 기록 매체가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이러한 램프 정보 기록 매체에는, 연산 장치에 의해, 방전 램프의 총 축적 왜곡량 및 누적 점등 시간이 기록되는 것이 바람직하다.
또, 램프 정보 기록 매체로서, IC 태그를 이용할 수 있다.
본 발명의 방전 램프는, 상기의 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템에 적용되는 방전 램프로서,
연산식을 설정하기 위한 파라미터, 총 축적 왜곡량 및 누적 점등 시간을 포함하는 정보가 기록된 램프 정보 기록 매체를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템에 의하면, 방전 램프에 공급되는 전력치마다 설정되는 연산식에 의해, 전력 공급 개시 시에 있어서의 발광관의 축적 왜곡량을 초기치로 하여, 당해 방전 램프의 발광관의 총 축적 왜곡량이 특정되므로, 방전 램프를 이것에 공급되는 전력치를 변경하여 사용한 경우라도, 당해 방전 램프를 본래의 사용 수명에 따른 시간 동안 사용할 수 있다. 또한, 발광관의 총 축적 왜곡량이 한계 왜곡량에 도달했을 때에는, 그것을 작업자가 인식할 수 있으므로, 방전 램프의 사용을 중지함으로써, 방전 램프의 점등 중에 발광관이 파열되는 것이 회피되어, 따라서, 당해 방전 램프를 안전하게 사용할 수 있다.
또, 알람 장치를 설치함으로써, 발광관의 총 축적 왜곡량이 한계 왜곡량에 도달했을 때에, 사용자에게 확실하게 알릴 수 있다.
또, 표시 장치를 설치함으로써, 방전 램프의 점등 중에 있어서, 발광관의 축적 왜곡량을 항상 감시할 수 있다.
또, 방전 램프 자신에 램프 정보 기록 매체를 설치함으로써, 개량 설계 등의 이유에 의해, 당해 방전 램프와는 사양이 상이한 다른 방전 램프를 사용하는 경우에 있어서도, 당해 다른 방전 램프의 램프 정보 기록 매체에 기록된, 연산식을 설정하기 위한 파라미터나 총 축적 왜곡량 등의 정보가, 연산 장치에 의해 판독됨으로써, 연산 장치의 설정이 자동적으로 변경되어, 당해 연산 장치에는 당해 다른 방전 램프에 관한 연산식이 설정되므로, 방전 램프를 교환할 때마다, 작업자가 연산 장치의 설정을 방전 램프의 사양과 대조하여 변경한다는 번잡한 작업을 행하는 것이 불필요해짐과 더불어, 작업자가 연산 장치의 설정 변경을 잊거나, 잘못된 설정을 행하거나 하는 것이 회피되어, 이에 의해, 잘못된 연산식에 의해 축적 왜곡량이 산출되는 것을 방지할 수 있으므로, 항상, 점등해야 할 방전 램프에 관한 고유의 연산식에 의거하여, 발광관의 총 축적 왜곡량을 특정할 수 있다.
또, 방전 램프를 소등한 경우에, 소등 시의 발광관의 총 축적 왜곡량의 정보가 램프 정보 기록 매체에 기록됨으로써, 재차 방전 램프를 점등했을 때에는, 전회의 소등 시의 총 축적 왜곡량의 정보가 연산 장치에 의해 판독되어, 당해 소등 시의 총 축적 왜곡량이 초기치로서 이용되므로, 방전 램프의 재점등 시에 있어서 확실하게 최신의 정보에 의거하여 발광관의 총 축적 왜곡량을 특정할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 상세하게 설명한다.
도 1은, 본 발명의 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템(이하, 「왜곡량 감시 시스템」이라고 한다)의 일례에 있어서의 구성의 개략을 도시한 설명도이다.
이 왜곡량 감시 시스템은, 방전 램프(10)와, 이 방전 램프(10)에 전력을 공급하는 급전 장치(20)와, 이 급전 장치(20)를 제어하는 전력 제어 장치(21)와, 방전 램프(10)의 발광관(11)의 축적 왜곡량을 산출하는 연산 장치(30)와, 방전 램프(10)의 발광관(11)의 총 축적 왜곡량 등의 정보를 표시하는 표시 장치(40)와, 방전 램프(10)의 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 한계 왜곡량에 도달했을 때에 알람을 발생하는 알람 장치(50)에 의해 구성되어 있다.
방전 램프(10)는, 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 발광관(11)을 갖고, 이 발광관(11)의 내부에는 수은이 봉입되어 있으며, 쇼트아크형 고압 수은 램프로서 구성되어 있다. 발광관(11)은, 도 2에도 확대하여 나타낸 바와 같이, 타원구 관형상의 발광부(12)의 양단에 직관형상의 시일링부(13)가 형성되어 이루어지고, 당해 발광관(11) 내에는, 양극(14) 및 음극(15)이 서로 대향하도록 관축 방향을 따라 배치되어 있다. 또, 발광관(11)의 시일링부(13)의 각각에는, 구금(口金)(16)이 배치되고, 이 구금(16)의 각각에는, 리드선(W)이 설치되어 있다.
또, 방전 램프(10)에 있어서의 한 쪽의 리드선(W)에는, IC 태그(C1)가 부착되어 있다. 이 IC 태그(C1)에는, 방전 램프(10)의 발광관(11)의 왜곡량에 관한 연산식을 설정하기 위한 파라미터, 발광관(11)의 한계 왜곡량 및 축적 왜곡량, 방전 램프(10)의 누적 점등 시간, 방전 램프(10)의 시리얼 넘버 등의 램프 정보가 기록되어 있다.
급전 장치(20)에는, 당해 급전 장치(20)로부터 방전 램프(10)에 공급되는 전력치 및 공급 시간(점등 시간) 등의 정보를, 연산 장치(30)에 보내는 출력부(도시 생략)가 설치되어 있다.
또, 전력 제어 장치(21)에는, 방전 램프(10)로부터의 방사광에 의한 조도를 검출하는 광 검출 수단(S)이 접속되어 있고, 광 검출 수단(S)에 의해 검출된 조도에 의거하여, 전력 제어 장치(21)에 의해, 급전 장치(20)로부터 방전 램프(10)에 공급되는 전력치가 피드백 제어된다.
연산 장치(30)는, 방전 램프(10)의 IC 태그(C1)에 기록된 정보를 판독하는 정보 판독부(31)와, IC 태그(C1)로부터의 정보에 의해 연산식을 설정하고, 이 연산식에 의해 발광관(11)의 총 축적 왜곡량을 특정하는 연산부(32)와, 연산부(32)로부터의 정보를 일시적으로 기억하는 기억부(33)와, 기억부(33)에 기억된 정보를 IC 태그(C1)에 기록하는 정보 기록부(34)와, 전력 제어 장치(21) 및 알람 장치(50)를 제어하는 제어부(35)에 의해 구성되어 있다.
이러한 왜곡량 감시 시스템의 동작에 대해, 도 1 및 도 3을 참조하여 설명한다.
우선, 방전 램프(10)가 소정의 부착부(도시 생략)에 세팅되고(단계 1), 이 방전 램프(10)의 IC 태그(C1)에 기록된 램프 정보가, 연산 장치(30)의 정보 판독부(31)에 의해 판독된다(단계 2). 이 램프 정보는, 정보 판독부(31)로부터 연산부(32)에 보내지고, 또한 기억부(33)에 기억된다. 그리고, 급전 장치(20)로부터 방전 램프(10)에 전력이 공급됨으로써, 방전 램프(10)가 점등되면(단계 3), 급전 장치(20)로부터, 전력치나 점등 시간의 정보가, 예를 들면 1초간∼수분간 경과할 때마다 연산 장치(30)의 연산부(32)로 보내어진다(단계 4).
연산 장치(30)의 연산부(32)에 있어서는, 급전 장치(20)로부터의 방전 램프(10)에 공급되는 전력치에 의거하여, 연산식을 설정하기 위한 파라미터의 값이 결정되고, 이에 의해, 점등 시간의 함수인 축적 왜곡량(ε)을 산출하는 연산식 ε=f(t)가 설정된다.
이 연산식의 설정에 있어서는, 이용되는 방전 램프와 동일한 사양의 방전 램프에 대해, 일정한 전력치에 의해 점등하여 발광관의 축적 왜곡량의 시간적 변화를 실측하고, 이 실측치의 데이터에 의거하여 도출된 근사식이, 동일 사양의 방전 램프마다 정의되는 고유의 기초 연산식으로서 이용된다.
이 기초 연산식으로서는, 발광관을 구성하는 유리(점탄성체)의 물리적 특성, 즉 점탄성체에 있어서, 외부로부터 가해지는 응력과 이 응력에 의해 내부에 축적되는 왜곡량의 시간적 변화의 관계로부터, 하기 식 (1)로 나타내어지는 지수 함수, 또는 하기 식 (2)로 나타내어지는 멱함수를 적합하게 이용할 수 있다. 이들의 기초 연산식은, 방전 램프(10)에 있어서의 발광관(11)의 축적 왜곡량의 시간적 변화의 실측치에 의거하여 적절히 선택된다. 또한, 점탄성체에 있어서의 외부 응력과 축적 왜곡량의 시간적 변화의 관계에 대해서는, 예를 들면 「비뉴턴 유체역학」(나카무라 기요지 저 코로나사 발행) 등에 기재되어 있다.
[수학식]
Figure 112009039081453-pat00001
상기 식 (1) 및 상기 식 (2)에 있어서, an, αn, bn 및 βn은, 이용되는 방전 램프(10)의 사양 및 공급되는 전력치에 의해 정해지는 파라미터이다. 이들의 파라미터가 설정되는 전력치의 범위 및 전력치의 간격은, 방전 램프(10)의 사양에 따라 다르지만, 예를 들면 정격 소비 전력이 12kW인 방전 램프(10)에서는, 예를 들면 10∼12kW(정격 소비 전력의 80∼100%)의 범위에서, 0.1∼1kw의 간격으로 파라미터가 설정된다.
또, 파라미터는, 발광관(11)의 축적 왜곡량의 시간적 변화의 실측치에 의거하여 설정되지만, 3개 이상의 전력치에 의한 발광관(11)의 축적 왜곡량의 시간적 변환의 실측치로부터, 각각의 전력치마다의 파라미터를 구하여, 이들 파라미터의 값으로부터, 파라미터[an, αn 또는 bn, βn]와 전력치[P]의 관계에 대해, 근사식[an=f1(P), αn=f2(P), 또는 bn=f1(P), βn=f2(P)]을 도출함으로써, 이 근사식으로부터, 설정되는 전력치의 범위에 있어서의 모든 파라미터의 값을 구할 수 있다.
이상과 같이, 방전 램프(10)에 공급되는 전력치에 의거하여 파라미터의 값이 결정됨으로써, 당해 전력치에 의한 연산식이 설정된다.
이렇게 하여 설정된 연산식에 있어서, 기억부(33)에 기억된 발광관(11)의 총 축적 왜곡량, 즉 방전 램프(10)에 공급되는 전력치로의 전력 공급 개시 시에 있어서의 발광관(11)의 축적 왜곡량을 초기치로 하여, 당해 전력치로의 점등 시간에 따라 당해 방전 램프(10)의 점등 중에 있어서의 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 특정된다. 이 특정된 총 축적 왜곡량, 누적 점등 시간 및 후술하는 축적 왜곡량의 증가 곡선 등의 정보는, 연산 장치(30)의 기억부(33)에 일시적으로 기억되고, 표시 장치(40)의 표시부(41)에 표시된다.
그리고, 방전 램프(10)에 공급되는 전력치가 변경되면, 이 전력치에 의거하여 새롭게 연산식이 설정되고, 이 연산식에 있어서, 당해 전력치로의 전력 공급 개시 시에 있어서의 발광관(11)의 축적 왜곡량을 초기치로 하여, 당해 방전 램프(10)의 점등 중에 있어서의 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 특정된다(단계 5).
한편, 연산 장치(30)의 기억부(33)에 일시적으로 기억된, 총 축적 왜곡량, 누적 점등 시간 및 축적 왜곡량의 증가 곡선 등의 정보는, 적절한 타이밍으로, 정보 기록부(34)에 의해 방전 램프(10)의 IC 태그(C1)에 기록된다(단계 6). 여기에서, IC 태그(C1)로의 정보의 기록은, 기억부(33)에 기억되는 정보가 갱신될 때마다 실행되어도 되고, 또, 방전 램프(10)의 소등 시에만 실행되어도 된다.
이하, 총 축적 왜곡량의 특정에 대해, 예를 들면 발광관(11)의 초기의 축적 왜곡량이 0이고, 축적 왜곡량을 산출하기 위한 기초 연산식으로서 상기 식 (1)이 주어진 방전 램프(10)를, 10kw의 전력으로 400시간 및 11kW의 전력으로 400시간(합계 800시간) 점등한 경우를 예로 들어, 더욱 구체적으로 설명한다.
방전 램프(10)를 10kW의 전력을 공급하여 점등하면, 이 전력치(10kW)에 의거하여 상기 식 (1)에 있어서의 파라미터 an 및 αn이, 각각 「an=a1」 및 「αn=α1」로 결정되고, 연산식 ε=f(t)=a1×[1-exp(-α1 t)]가 설정된다. 그리고, 이 연산식에 의해, 도 4에 나타낸 바와 같이, 10kW의 전력에 의한 축적 왜곡량의 증가 곡선 A(이하, 「곡선 A」라고 한다)가 주어지고, 방전 램프(10)에 10kW의 전력이 공급되고 있는 시간에 있어서는, 도 4에 있어서 굵은 선 (가)로 나타낸 바와 같이, 곡선 A를 따라 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 증가한다. 여기에서, 도 4에 있어서, 가로축은 방전 램프의 점등 시간을 나타내고, 세로축은 발광관의 축적 왜곡량으로서, 초기 왜곡량을 0, 한계 왜곡량을 100으로 했을 때의 상대치를 나타낸다.
다음에, 10kW의 전력의 공급을 개시한 후 400시간 경과한 후에, 공급하는 전 력을 11kW로 변경하면, 이 전력치(11kW)에 의거하여 상기 식 (1)에 있어서의 파라미터 An 및 αn이, 각각 「An=A2」 및 「αn=α2」로 결정되고, 새롭게 연산식 ε=f(t)=a2×[1-exp(-α2 t)]가 설정된다. 그리고, 이 연산식에 의해, 11kW의 전력에 의한 축적 왜곡량의 증가 곡선 B(이하, 「곡선 B」라고 한다)가 주어지고, 방전 램프(10)에 11kW의 전력이 공급되고 있는 시간에 있어서는, 방전 램프(10)에 공급되는 전력치의 변경 시, 즉 11kW의 전력 공급 개시 시에 있어서의 발광관(11)의 축적 왜곡량(도시의 예에서는 약 30)을 초기치로 하여, 도 4에 있어서 굵은 선 (나)로 나타낸 바와 같이, 곡선 B를 따라 발광관의 총 축적 왜곡량이 증가한다.
이와 같이 하여, 전력치마다 설정되는 연산식에 의해, 방전 램프(10)의 점등 중에 있어서의 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 특정되고, 실제의 총 축적 왜곡량은, 도 5에 나타낸 바와 같이, 곡선 A에 있어서의 굵은 선 (가) 및 곡선 B'에 있어서의 굵은 선 (나)'를 따라 증가한다. 여기에서, 도 5에 있어서, 가로축은 방전 램프의 누적 점등 시간을 나타내고, 세로축은 발광관의 축적 왜곡량으로서, 초기 왜곡량을 0, 한계 왜곡량을 100으로 했을 때의 상대치를 나타낸다. 그리고, 11kW의 전력의 공급을 개시한 후 400시간(누적 점등 시간이 800시간) 경과한 후에 있어서는, 발광관(11)의 총 축적 왜곡량(도시의 예에서는 66)은, 10kW의 전력을 800시간 공급하여 점등했을 때의 총 축적 왜곡량보다 높고, 11kW의 전력을 800시간 공급하여 점등했을 때의 총 축적 왜곡량보다 낮은 값을 나타낸다.
이상에 있어서, 연산 장치(30)의 제어부(35)에서는, 연산식에 의해 특정되는 총 축적 왜곡량과 방전 램프(10)의 IC 태그(C1)로부터 판독된 발광관(11)의 한계 왜곡량이 항상 비교되고 있다(단계 7). 그리고, 총 축적 왜곡량이 한계 왜곡량에 도달하고 있지 않을 때에는, 그 정보가 전력 제어 장치(21)에 보내어져, 방전 램프(10)로의 전력의 공급이 속행된다(단계 4로). 한편, 총 축적 왜곡량이 한계 왜곡량에 도달했을 때에는, 그 정보가 알람 장치(50)에 보내어져, 알람부(51)로부터 알람이 발생된다(단계 8).
그리고, 방전 램프(10)의 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 한계 왜곡량에 도달하기 전에, 당해 방전 램프(10)를 소등하는 경우에는, 소등 시의 축적 왜곡량의 정보가 IC 태그(C1)에 기록되고, 재차 방전 램프(10)를 점등했을 때에는, 이 축적 왜곡량을 초기치로 하여, 방전 램프(10)의 점등 중에 있어서의 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 특정된다.
이러한 왜곡량 감시 시스템에 의하면, 방전 램프(10)에 공급되는 전력치마다 설정되는 연산식에 의해, 전력 공급 개시 시에 있어서의 발광관(11)의 축적 왜곡량을 초기치로 하여, 방전 램프(10)의 점등 중에 있어서의 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 특정되므로, 방전 램프(10)를 이것에 공급되는 전력치를 변경하여 사용한 경우라도, 방전 램프(10)를, 그 발광관(11)의 축적 왜곡량이 한계 왜곡량이 될 때까지의 시간, 즉 방전 램프(10)의 본래의 사용 수명에 따른 시간 동안 사용할 수 있다. 또한, 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 한계 왜곡량에 도달했을 때에는, 그것을 사용자가 인식할 수 있으므로, 방전 램프(10)의 사용을 중지함으로써, 방전 램프(10)의 점등 중에 발광관(11)이 파열되는 것이 회피되어, 따라서, 방전 램 프(10)를 안전하게 사용할 수 있다.
또, 알람 장치(50)가 설치되어 있으므로, 발광관(11)의 총 축적 왜곡량이 한계 왜곡량에 도달했을 때에는, 그것을 사용자에게 확실하게 알릴 수 있다.
또, 표시 장치(40)가 설치되어 있으므로, 방전 램프(10)의 점등 중에 있어서, 발광관(11)의 축적 왜곡량을 항상 감시할 수 있다.
또, 방전 램프(10)에는 IC 태그(C1)가 설치되어 있으므로, 개량 설계 등의 이유에 의해, 이 방전 램프(10)와는 사양이 상이한 다른 방전 램프(10)를 이용하는 것과 같은 경우에 있어서도, 당해 다른 방전 램프(10)의 IC 태그(C1)에 기록된, 연산식을 설정하기 위한 파라미터나 총 축적 왜곡량 등의 정보가, 연산 장치(30)에 의해 판독됨으로써, 연산 장치(30)의 설정이 자동적으로 변경되어, 당해 연산 장치(30)에는 당해 다른 방전 램프(10)에 관한 연산식이 설정되기 때문에, 방전 램프(10)를 교환할 때마다, 작업자가 연산 장치(30)의 설정을 방전 램프(10)의 사양과 대조하여 변경한다는 번잡한 작업을 행하는 것이 불필요해짐과 더불어, 작업자가 연산 장치(30)의 설정 변경을 잊거나, 잘못된 설정을 행하거나 하는 것이 회피되어, 이에 의해, 잘못된 연산식에 의해 축적 왜곡량이 산출되는 것을 방지할 수 있으므로, 항상, 점등해야 할 방전 램프(10)에 관한 고유의 연산식에 의거하여, 발광관(11)의 총 축적 왜곡량을 특정할 수 있다.
또, 방전 램프(10)를 소등한 경우에, 소등 시의 발광관(11)의 총 축적 왜곡량의 정보가 IC 태그(C1)에 기록되기 때문에, 재차 방전 램프(10)를 점등했을 때에는, IC 태그(C1)에 기록된, 전회의 소등 시의 총 축적 왜곡량의 정보가 연산 장 치(30)에 의해 판독되어, 당해 소등 시의 총 축적 왜곡량이 초기치로서 이용되므로, 방전 램프(10)의 재점등 시에 있어서 확실히 최신의 정보에 의거하여 발광관(11)의 총 축적 왜곡량을 특정할 수 있다.
본 발명의 왜곡량 감시 시스템에 있어서는, 상기의 실시 형태에 한정되지 않고, 여러 가지의 변경을 더하는 것이 가능하다.
예를 들면 방전 램프에 설치되는 램프 정보 기록 매체는 IC 태그에 한정되지 않고, 여러 가지의 전자 정보 기록 매체를 이용할 수 있다.
또, 알람 장치의 알람 발생 시로부터 적절한 시간(예를 들면 24시간) 경과한 후에, 방전 램프로의 전력의 공급을 정지하여 당해 방전 램프를 소등하도록 제어할 수 있다.
또, 방전 램프로서는, 쇼트아크형 고압 수은 램프에 한정되지 않고, 여러 가지의 방전 램프에 적용할 수 있다.
[실시예]
<실험예 1>
도 2에 나타낸 구성에 따라, 하기 사양의 방전 램프(10)를 제작하였다.
발광관(11) : 석영 유리제, 전체 길이 185mm, 발광부(12) ; 길이 160mm, 최대 내경 110mm, 최대 외경 120mm, 발광부(12) 내의 용적 1000cm3, 시일링부(13) ; 외경 34mm
양극(14) : 텅스텐제, 음극(15) : 트리에이티드 텅스텐제, 전극간 거리 : 13mm
봉입물(량) : 수은(30mg/cm3)
정격 소비 전력 : 12kW, 정격 전압 : 115V, 정격 전류 : 104A
상기 사양의 방전 램프를 「방전 램프 A」로 한다.
그리고, 방전 램프 A를, 10kW, 11kW 및 12kW의 전력치로 점등시켜, 각 전력치에 대해, 점등 시간이 100시간 경과할 때마다 발광관(11)의 축적 왜곡량을 측정하였다.
기초 연산식으로서 상기 식 (1)을 이용해, 상기의 축적 왜곡량의 실측치로부터, 각 전력치에 있어서의 파라미터[an, αn]의 값을 구하여, 각 전력치에 있어서의 연산식을 설정하였다. 파라미터[an, αn]의 값을 하기 표 1에 나타낸다. 또, 도 6에, 측정한 축적 왜곡량 및 연산식으로부터 주어지는 축적 왜곡량의 증가 곡선을 나타낸다. 도 6에 있어서, 가로축은 방전 램프의 누적 점등 시간을 나타내고, 세로축은 발광관의 축적 왜곡량으로서, 초기 왜곡량을 0, 한계 왜곡량을 100으로 했을 때의 상대치를 나타낸다.
도 6으로부터 명확한 바와 같이, 발광관의 축적 왜곡량은, 상기 식 (1)을 기초 연산식으로 하는 연산식으로부터 주어지는 축적 왜곡량의 증가 곡선을 따라 증가하는 것이 이해된다.
[표 1]
Figure 112009039081453-pat00002
<실험예 2>
도 2에 나타낸 구성에 따라, 하기 사양의 방전 램프(10)를 제작하였다.
발광관(11) : 석영 유리제, 전체 길이 170mm, 발광부(12) ; 길이 145mm, 최대 내경 92mm, 최대 외경 100mm, 발광부(12) 내의 용적 600cm3, 시일링부(13) ; 외경 30mm
양극(14) : 텅스텐제, 음극(15) : 트리에이티드 텅스텐제, 전극간 거리 : 11mm
봉입물(량) : 수은(25mg/cm3)
정격 소비 전력 : 10kW, 정격 전압 : 95V, 정격 전류 : 105A
상기 사양의 방전 램프를 「방전 램프 B」로 한다.
그리고, 방전 램프 B를, 8kW, 9kW 및 10kW의 전력치로 점등시켜, 각 전력치에 대해, 점등 시간이 100시간 경과할 때마다 발광관(11)의 축적 왜곡량을 측정하였다.
기초 연산식으로서 상기 식 (2)를 이용해, 상기의 축적 왜곡량의 실측치로부 터, 각 전력치에 있어서의 파라미터[bn, βn]의 값을 구하여, 각 전력치에 있어서의 연산식을 설정하였다. 파라미터[bn, βn]의 값을 하기 표 2에 나타낸다. 또, 도 7에, 측정한 왜곡량 및 연산식으로부터 주어지는 축적 왜곡량의 증가 곡선을 나타낸다. 도 7에 있어서, 가로축은 방전 램프의 누적 점등 시간을 나타내고, 세로축은 발광관의 축적 왜곡량으로서, 초기 왜곡량을 0, 한계 왜곡량을 100으로 했을 때의 상대치를 나타낸다.
도 7로부터 명확한 바와 같이, 발광관의 축적 왜곡량은, 상기 식 (2)를 기초 연산식으로 하는 연산식으로부터 주어지는 축적 왜곡량의 증가 곡선을 따라 증가하는 것이 이해된다.
[표 2]
Figure 112009039081453-pat00003
<실험예 3>
방전 램프 A에 관해, 실험예 1에서 구한 파라미터[an, αn]의 값으로부터, 파라미터[an, αn]와 전력치[P]의 관계에 대해, 근사식[an=f1(P), αn=f2(P)]을 도출하고, 이 근사식으로부터, 10∼12kW의 전력 범위에 있어서 0.1kW 간격으로, 각 전 력치에 있어서의 파라미터[bn, βn]의 값을 구하였다.
그리고, 도 1에 나타낸 구성의 왜곡량 감시 시스템에 의해, 10kW로 290시간, 12kW로 160시간, 11kW로 130시간, 10.5kW로 290시간, 11.5kW로 250시간, 11kW로 310시간의 조건으로, 방전 램프 A를 점등시키고, 그 후, 방전 램프 A를 소등하였다. 도 8에, 왜곡량 감시 시스템에 의해 측정된 축적 왜곡량의 증가 곡선을 나타낸다. 도 8에 있어서, 가로축은 방전 램프의 누적 점등 시간을 나타내고, 세로축은 발광관의 축적 왜곡량으로서, 초기 왜곡량을 0, 한계 왜곡량을 100으로 했을 때의 상대치를 나타낸다. 또, 굵은 선으로 나타낸 곡선은, 왜곡량 감시 시스템에 의해 측정된 축적 왜곡량의 증가 곡선, 그 밖의 파선으로 나타낸 곡선은, 연산식에 의해 주어지는, 10kW, 10.5kW, 11kW, 11.5kW 및 12kW의 각 전극치에 의한 축적 왜곡량의 증가 곡선을 나타낸다.
도 8로부터 명확한 바와 같이, 방전 램프 A를 상기의 조건으로 점등한 경우에는, 발광관(11)의 축적 왜곡량이 한계 왜곡량에 도달할 때까지의 시간이, 정격 소비 전력 12kW로 점등한 경우의 시간(점등 보증 시간)의 약 1.7배인 것이 이해된다.
또, 방전 램프 A를 소등한 후, 발광관(11)의 축적 왜곡량을 측정한 바, 왜곡량 감시 시스템에 의해 측정된 축적 왜곡량과 거의 일치하고 있는 것이 확인되었다.
도 1은 본 발명의 왜곡량 감시 시스템의 일례에 있어서의 구성의 개략을 도시한 설명도이다.
도 2는 방전 램프의 일례에 있어서의 구성을 일부를 파단하여 도시한 설명도이다.
도 3은 본 발명의 왜곡량 감시 시스템의 동작을 도시한 블록도이다.
도 4는 연산식에 의해 주어지는 축적 왜곡량의 증가 곡선을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 왜곡량 감시 시스템에 의해 측정되는 축적 왜곡량의 증가 곡선을 도시한 도면이다.
도 6은 실험예 1에 있어서, 측정한 축적 왜곡량 및 연산식으로부터 주어지는 축적 왜곡량의 증가 곡선을 도시한 도면이다.
도 7은 실험예 2에 있어서, 측정한 축적 왜곡량 및 연산식으로부터 주어지는 축적 왜곡량의 증가 곡선을 도시한 도면이다.
도 8은 실험예 3에 있어서, 왜곡량 감시 시스템에 의해 측정된 축적 왜곡량의 증가 곡선을 도시한 도면이다.
[부호의 설명]
10 : 방전 램프 11 : 발광관
12 : 발광부 13 : 시일링부
14 : 양극 15 : 음극
16 : 구금 20 : 급전 장치
21 : 전력 제어 장치 30 : 연산 장치
31 : 정보 판독부 32 : 연산부
33 : 기억부 34 : 정보 기록부
35 : 제어부 40 : 표시 장치
41 : 표시부 50 : 알람 장치
51 : 알람부 C1 : IC 태그
S : 광 검출 수단 W : 리드선

Claims (7)

  1. 방전 램프와,
    이 방전 램프에 전력을 공급하는 급전 장치와,
    당해 방전 램프의 발광관의 축적 왜곡량을 산출하는 연산 장치를 구비하여 이루어지는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템으로서,
    상기 연산 장치에 의해, 상기 급전 장치로부터 상기 방전 램프에 공급되는 전력치마다, 점등 시간의 함수인 축적 왜곡량을 산출하는 연산식이 설정되고,
    이 연산식에 의해, 상기 방전 램프에 공급되는 전력치로의 전력 공급 개시 시에 있어서의 발광관의 축적 왜곡량을 초기치로 하여, 당해 전력치로의 점등 시간에 따라 당해 방전 램프의 발광관의 총 축적 왜곡량이 특정되는 것을 특징으로 하는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    미리 설정된 발광관의 한계 왜곡량과 연산식에 의해 특정되는 총 축적 왜곡량을 비교하여, 당해 총 축적 왜곡량이 당해 한계 왜곡량에 도달했을 때에 알람을 발생하는 알람 장치를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    방전 램프의 총 축적 왜곡량, 점등 시간 및 한계 왜곡량에 도달할 때까지의 시간을 포함하는 정보를 표시하는 표시 장치를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    방전 램프에는, 연산식을 설정하기 위한 파라미터, 총 축적 왜곡량 및 누적 점등 시간을 포함하는 정보가 기록된 램프 정보 기록 매체가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템.
  5. 청구항 4에 있어서,
    램프 정보 기록 매체에는, 연산 장치에 의해, 방전 램프의 총 축적 왜곡량 및 누적 점등 시간이 기록되는 것을 특징으로 하는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템.
  6. 청구항 4에 있어서,
    램프 정보 기록 매체는, IC 태그인 것을 특징으로 하는 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템.
  7. 청구항 1에 기재된 방전 램프의 왜곡량 감시 시스템에 적용되는 방전 램프로서,
    연산식을 설정하기 위한 파라미터, 총 축적 왜곡량 및 누적 점등 시간을 포함하는 정보가 기록된 램프 정보 기록 매체를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 방전 램프.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5454168B2 (ja) * 2010-01-27 2014-03-26 ウシオ電機株式会社 放電ランプ用給電装置
JP2014075316A (ja) * 2012-10-05 2014-04-24 Cerma Precision Inc ランプ及び光源装置
JP7278596B2 (ja) * 2017-12-08 2023-05-22 フェニックス電機株式会社 ランプの点灯方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09320781A (ja) * 1996-05-30 1997-12-12 Toshiba Lighting & Technol Corp 高圧放電灯点灯装置および画像表示装置
JPH11121339A (ja) 1997-10-20 1999-04-30 Nikon Corp 露光装置及び露光方法
JP2002122940A (ja) 2000-10-12 2002-04-26 Nikon Corp 投射型表示装置
JP2002287243A (ja) 2001-03-23 2002-10-03 Seiko Epson Corp ランプ寿命表示

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997038560A1 (fr) * 1996-04-10 1997-10-16 Seiko Epson Corporation Ensemble lampe source de lumiere, element source de lumiere et dispositif d'affichage par projection
JP2005243381A (ja) * 2004-02-26 2005-09-08 Hitachi Ltd 放電ランプ点灯装置
JP2006201645A (ja) * 2005-01-24 2006-08-03 Plus Vision Corp カートリッジ式ランプユニット
DE102005022375A1 (de) * 2005-05-13 2006-11-16 Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH Elektrische Lampe und Beleuchtungssystem und Verfahren zum Betreiben einer elektrischen Lampe oder eines Beleuchtungssystems

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09320781A (ja) * 1996-05-30 1997-12-12 Toshiba Lighting & Technol Corp 高圧放電灯点灯装置および画像表示装置
JPH11121339A (ja) 1997-10-20 1999-04-30 Nikon Corp 露光装置及び露光方法
JP2002122940A (ja) 2000-10-12 2002-04-26 Nikon Corp 投射型表示装置
JP2002287243A (ja) 2001-03-23 2002-10-03 Seiko Epson Corp ランプ寿命表示

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