KR100988014B1 - 유리 기판 연마 장치 및 연마 방법 - Google Patents

Abstract

유리 기판 연마 장치 및 연마 방법이 개시된다. 제1 유리 기판이 로딩되는 제1 연마 테이블, 제1 연마 테이블에 대향하여 위치하고, 제2 유리 기판이 로딩되는 제2 연마 테이블, 및 제1 연마 테이블과 제2 연마 테이블 사이에 위치하며, 제1 유리 기판의 에지 및 제2 유리 기판의 에지를 연마하는 연마부를 포함하는 유리 기판 연마 장치는, 하나의 연마부를 이용하여 양방향에서 복수의 유리 기판의 에지를 한꺼번에 연마함으로써 택트 타임을 단축할 수 있고, 장치의 구성을 단순화함으로써 제작비의 절감 및 장치의 소형화가 가능하다.

유리 기판, 연마, 택트 타임

Description

유리 기판 연마 장치 및 연마 방법{Apparatus and method for grinding glass plate}

본 발명은 유리 기판 연마 장치 및 연마 방법에 관한 것이다.

최근 액정디스플레이(LCD) 패널 등과 같은 평판 디스플레이에는 평판 형태의 유리 기판이 사용되고 있으며, 이를 위해 디스플레이 패널을 제조하는 과정에서 유리 기판을 절단하고 유리 기판의 에지(edge)를 연마하는 공정이 수행된다.

액정디스플레이를 중심으로 유리 기판의 에지를 연마하는 이유를 설명하면, 통상 디스플레이 패널은 액정이 봉입된 상하 유리 기판으로 구성되고, 이 유리 기판의 측부에 인쇄회로기판이 설치되어 있다. 이 인쇄회로기판과 액정패널의 단자부를 전기적으로 연결시켜 액정표시소자가 구동하게 되는데, 이때 사용되는 것이 플렉서블 커넥터이다. 유리 기판을 절단한 후 곧바로 디스플레이 패널에 사용할 경우에는 유리 기판 에지의 모서리에 의해 인쇄회로기판과 유리 기판의 단자부를 연결하는 이러한 플렉서블 커넥터가 절단될 우려가 있다. 따라서 이러한 유리 기판의 에지는 절단공정에 후행하는 연마공정을 통해 재가공하게 되는데, 통상의 연마공정 은 절단에 의해 날카롭게 형성된 유리 기판의 에지를 고속으로 회전하는 연마휠의 외주면에 접하도록 함으로써 날카로운 모서리를 매끄럽게 성형하게 된다.

종래 기술에 따른 유리 기판의 연마 방법을 살펴보면, 유리 기판이 연마 테이블에 로딩된 후 이송라인을 따라 최초 연마부에 진입하면, 연마부가 유리 기판의 에지를 연마한다. 이후 연마가 완료되고, 다른 에지를 연마하기 위해 연마 테이블이 회전한 후 다른 연마부에 진입하면, 그 다른 연마부가 유리 기판의 다른 에지를 연마한다. 최종적으로 연마 공정을 완료한 유리 기판은 연마 테이블로부터 언로딩된다.

상술한 바와 같이 종래 기술에 따른 유리 기판의 연마 방법은 유리 기판의 이동을 기준으로 살펴보면 두 개의 연마부에 대해 하나의 유리 기판이 로딩, 이송(연마), 회전, 이송(연마), 언로딩의 공정을 거치게 되어 유리 기판 연마의 택트(tact) 타임이 길어진다는 문제점이 있다.

또한, 종래 기술에 따른 유리 기판의 연마 방법은 하나의 유리 기판을 연마하기 위해서 두 개의 연마부가 필요하기 때문에 유리 기판 연마 장치가 대형화되고 이에 따라 큰 설치공간이 필요하며 비용이 많이 소요되는 문제점이 있다.

본 발명은 하나의 연마부를 이용하여 양방향에서 복수의 유리 기판의 에지를 한꺼번에 연마함으로써 택트 타임을 단축할 수 있고, 장치의 구성을 단순화함으로 써 제작비의 절감 및 장치의 소형화를 가능케 한 유리 기판 연마 장치 및 연마 방법을 제공하는 것이다.

본 발명이 제시하는 이외의 기술적 과제들은 하기의 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 제1 유리 기판이 로딩되는 제1 연마 테이블, 제1 연마 테이블에 대향하여 위치하고, 제2 유리 기판이 로딩되는 제2 연마 테이블, 및 제1 연마 테이블과 제2 연마 테이블 사이에 위치하며, 제1 유리 기판의 에지 및 제2 유리 기판의 에지를 연마하는 연마부를 포함하는 유리 기판 연마 장치가 제공된다.

제1 연마 테이블 및 제2 연마 테이블이 순차적으로 연마부를 통과하도록 이동함으로써, 제1 유리 기판의 에지 및 제2 유리 기판의 에지가 연마되거나, 연마부가 제1 연마 테이블 및 제2 연마 테이블 사이를 왕복함으로써, 제1 유리 기판의 에지 및 제2 유리 기판의 에지가 연마될 수 있다. 제1 연마 테이블 및 제2 연마 테이블은 소정 각도, 예를 들면 90도 회전 가능하도록 구성될 수 있다.

연마부는 제1 유리 기판의 서로 대향하는 에지쌍 및 제2 유리 기판의 서로 대향하는 에지쌍을 각각 연마하는 한 쌍의 연마휠을 포함할 수 있으며, 이 때 한 쌍의 연마휠은, 제1 유리 기판의 서로 대향하는 에지쌍 및 제2 유리 기판의 서로 대향하는 에지쌍에 상응하여, 그 간격이 조절가능한 것이 바람직하다.

한편, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 제1 연마 테이블과 제2 연마 테이블의 사이에 연마부를 위치시켜 유리 기판의 에지를 연마하는 방법으로서, 제1 유리 기판을 제1 연마 테이블에 로딩하는 단계, 연마부로 제1 유리 기판의 에지를 연마하고, 제2 유리 기판을 제2 연마 테이블에 로딩하는 단계, 및 연마부로 제2 유리 기판의 에지를 연마하고, 제1 유리 기판을 언로딩하는 단계를 포함하는 유리 기판 연마 방법이 제공된다.

제1 유리 기판의 에지 연마 단계는, 연마부를 통과하도록 제1 연마 테이블을 이동시키는 단계, 제1 연마 테이블을 소정 각도 회전시키는 단계, 및 연마부를 통과하도록 제1 연마 테이블을 복귀시키는 단계를 포함할 수 있으며, 이 때 제2 유리 기판의 에지 연마 단계는, 제1 연마 테이블의 복귀에 상응하여, 연마부를 통과하도록 제2 연마 테이블을 이동시키는 단계, 제2 연마 테이블을 소정 각도 회전시키는 단계, 및 연마부를 통과하도록 제2 연마 테이블을 복귀시키는 단계를 포함할 수 있다.

또한, 제1 유리 기판의 에지 연마 단계는, 제1 연마 테이블을 통과하도록 연마부를 이동시키는 단계, 제1 연마 테이블을 소정 각도 회전시키는 단계, 및 제1 연마 테이블을 통과하도록 연마부를 복귀시키는 단계를 포함할 수 있으며, 이 때 제2 유리 기판의 에지 연마 단계는, 제2 연마 테이블을 통과하도록 연마부를 이동시키는 단계, 제2 연마 테이블을 소정 각도 회전시키는 단계, 및 제2 연마 테이블을 통과하도록 연마부를 복귀시키는 단계를 포함할 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 잇점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발 명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

본 발명의 실시예에 따르면, 하나의 연마부를 이용하여 양방향에서 복수의 유리 기판의 에지를 한꺼번에 연마함으로써 택트 타임을 단축할 수 있고, 장치의 구성을 단순화함으로써 제작비의 절감 및 장치의 소형화가 가능하다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이 다.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따라 연마된 유리 기판을 나타낸 상태도이다. 도 1을 참조하면, 제1 에지쌍(12a, 12b), 제2 에지쌍(14a, 14b), 유리 기판(16)이 도시되어 있다. 도 1의 (a)는 연마된 유리 기판의 사시도이고, (b)는 유리 기판의 단변 방향으로 바라본 측면도이며, (c)는 장변 방향으로 바라본 측면도이다.

LCD 패널 등에 사용되는 사각형 형태의 유리 기판(16)의 경우, 유리 기판(16)의 4변상의 상하 단부, 즉 두께를 형성하는 옆면과 판의 상면 또는 하면이 만나는 두 모서리는 날카로우므로, 그 성능을 제대로 발휘하도록 하기 위해서는 유리 기판(16)의 4변의 상하 단부를 가공할 필요가 있다. 본 실시예에서 에지쌍은 사 각형의 유리 기판(16)의 4변 중 마주보는 2변(12a와 12b 또는 14a와 14b)의 단부를 의미한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판의 연마 공정을 개략적으로 도시한 사시도이다. 도 2를 참조하면, 연마휠(18a, 18b), 연마부(20), 연마 테이블(22), 지지부(24), 제1 에지쌍(12a, 12b), 제2 에지쌍(14a, 14b), 유리 기판(16)이 도시되어 있다.

본 실시예에서는 하나의 연마부(20)로 동시에 여러 개의 유리 기판을 연마하는 방법이 제시되나, 이에 대해서는 후술하며 도 2에서는 하나의 유리 기판(16)과 하나의 연마부(20)의 동작을 위주로 설명한다.

유리 기판(16)이 연마 테이블(22)상에 안착되면, 연마 테이블(22)이 연마휠(18a, 18b)을 구비한 연마부(20)의 방향(도 2의 y방향)으로 이동함으로써, 유리 기판(16)의 제1 에지쌍(12a, 12b)의 양 모서리를 가공한다. 연마휠(18a, 18b)에 의해 유리 기판(16)의 마주보는 2변의 양 모서리를 동시에 가공하는 방법은 연마휠의 형상에 따라 여러 방법으로 구현될 수 있다.

도 2에는 한 쌍의 휠이 구름접합된 형상의 연마휠(18a, 18b)이 도시되어 있으나, 본 실시예에 따른 연마휠은 이에 한정되지 않으며, 한 쌍의 컵(cup) 형상의 휠을 중첩시킨 타입, 휠의 외주면을 따라 연마홈을 형성한 타입 등 다양한 형상의 연마휠이 사용될 수 있음은 물론이다.

유리 기판(16)의 제1 에지쌍(12a, 12b)이 연마부(20)를 통과하면서 연마가 완료된 후, 유리 기판(16)은 소정의 회전각에 상응하여 회전한다. 도 2에 도시된 것처럼 유리 기판이 직사각형 형상일 경우, 회전각을 90도로 함으로써 제2 에지쌍(14a, 14b)이 연마되도록 준비할 수 있다. 여기서 90도는 수학적으로 정확한 90도 뿐만 아니라, 대체로 수직한 정도의 각을 의미한다.

하나의 연마부(20)를 사용하여 다른 유리 기판의 에지를 연마하기 위해서는, 유리 기판(16)으로부터 이격되어 위치한 다른 연마 테이블에 다른 유리 기판이 로딩된다. 소정의 회전각만큼 회전된 유리 기판(16)이 다시 원래 위치로 복귀하여 연마부(20)를 통과하면서 유리 기판(16)의 제2 에지쌍(14a, 14b)이 연마된다.

이 때, 연마부(20)의 연마휠(18a, 18b)이 서로 마주보는 방향 또는 그 반대 방향(도 2의 x방향)으로 이동하면서 연마부(20)가 제2 에지쌍(14a, 14b)도 연마할 수 있게 된다.

다른 유리 기판도 연마된 유리 기판(16)의 진행 방향과 마찬가지로 이동하여 연마부(20)를 통과하면서 그 에지가 연마된다. 다른 유리 기판이 연마부(20)를 기준으로 유리 기판(16)에 대향하여 위치할 경우 다른 유리 기판의 이동 및 복귀는 유리 기판(16)과는 반대로 진행될 수 있다. 이러한 과정을 되풀이하여 하나의 연마부(20)로 동시에 여러 개의 유리 기판을 연마함으로써 택트 타임을 줄일 수 있게 된다.

연마휠(18a, 18b)을 구성하는 각 휠들은 유리 기판(16)의 두께 방향(도 2의 z방향)으로 이동이 가능하도록 구성되어, 유리 기판(16)의 두께나 상하 모서리의 연마각이 달라짐에 따라, 그에 대응하여 상호 간의 거리가 조절될 수 있다.

상기에서는 연마부(20)가 연마휠(18a, 18b)을 구비하여 유리 기판(16)의 양 변을 동시에 연마하는 방법에 대해서 설명하였다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 연마부(20)가 유리 기판(16)의 한 변을 연마할 수 있는 연마휠을 구비하는 경우도 포함한다. 이하에서 설명하는 실시예에서도 이러한 구성이 적용될 수 있다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 연마 방법의 순서도이다. 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 연마 방법은, 제1 유리 기판을 제1 연마 테이블에 로딩하는 공정, 연마부가 제1 유리 기판의 에지를 연마하고 제2 유리 기판을 제2 연마 테이블에 로딩하는 공정, 연마부가 제2 유리 기판의 에지를 연마하고 제1 유리 기판을 언로딩하는 공정을 포함한다. 각 공정을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

단계 S310에서, 제1 유리 기판을 제1 연마 테이블에 로딩한다. 제1 유리 기판은 제1 로딩부를 통해 제1 연마 테이블에 안착됨으로써 제1 연마 테이블에 로딩된다. 제1 로딩부는 다양하게 구현될 수 있으며, 예를 들면, 픽업에 의해 제1 유리 기판을 픽업한 후 이동하여 제1 연마 테이블에 안착시키는 구성으로 이루어질 수 있다. 이하에서는 로딩 및 언로딩이 픽업에 의해 수행되는 경우를 예로 들어 설명한다.

단계 S320에서, 제1 유리 기판의 제1 에지쌍(예를 들면, 단변 에지쌍)을 연마하고, 제2 유리 기판을 제2 연마 테이블에 로딩한다. 제1 유리 기판과 제2 유리 기판은 연마부를 기준으로 서로 대향하여 위치하며, 제1 유리 기판이 연마부를 통과하도록 이동됨으로써, 제1 에지쌍이 연마된다.

제1 에지쌍을 연마하는 공정과 제2 유리 기판을 제2 연마 테이블에 로딩하는 공정은 동시에 수행될 수 있다. 여기서, 동시라는 의미는 정확한 시간적 일치를 포함하여, 대략적으로 여러 공정이 같이 수행됨을 의미하며, 이하에서도 같은 의미로 사용된다.

단계 S330에서, 제1 유리 기판을 소정의 회전각만큼 회전시키고 원래의 위치로 복귀시킴으로써 제1 유리 기판의 제2 에지쌍(예를 들면, 장변 에지쌍)을 연마하며, 이와 함께 제2 유리 기판을 연마부를 통과하도록 이동시켜 제2 유리 기판의 제1 에지쌍(예를 들면, 단변 에지쌍)을 연마한다. 제1 유리 기판이 회전하는 회전각은 유리 기판의 형태 및 연마부의 이동 방향에 따라 결정되는데, 예를 들어 유리 기판이 직사각형 형상인 경우 회전각은 90도가 될 수 있다.

제1 유리 기판의 제2 에지쌍의 폭은 제2 유리 기판의 제1 에지쌍의 폭과 서로 다를 수 있으므로, 연마부에 장착된 한 쌍의 연마휠은 제1 유리 기판의 제2 에지쌍의 폭에 맞도록 그 간격이 조절(수축)된 후, 제2 유리 기판의 제1 에지쌍의 폭에 맞도록 다시 그 간격이 조절(신장)될 수 있다.

단계 S340에서, 제1 유리 기판을 언로딩하고, 제2 유리 기판을 소정의 회전각만큼 회전시키고 원래의 위치로 복귀시킴으로써 제2 유리 기판의 제2 에지쌍(예를 들면, 장변 에지쌍)을 연마한다. 언로딩부는 로딩부와 마찬가지로 픽업장치로 구성될 수 있다. 연마휠은 제2 유리 기판의 제2 에지쌍의 폭에 맞도록 그 간격이 조절됨은 전술한 바와 같다.

단계 S350에서, 제2 언로딩부가 제2 유리 기판을 언로딩한다. 이 때 제1 로딩부에 또 다른 유리 기판을 제1 연마 테이블에 로딩한 후 상술한 공정을 계속적으 로 반복 수행함으로써, 연속적으로 여러 장의 유리 기판의 에지 연마 공정을 수행할 수 있으며, 이와 같이 하나의 연마부로 복수의 유리 기판의 에지를 한꺼번에 연마함으로써 택트 타임이 단축될 수 있다.

이상으로, 본 실시예에 따른 유리 기판 연마 방법을 순서도를 참고하여 설명하였으며, 이하에서는 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유리 기판 연마 방법을 구체적인 실시예를 기준으로 설명하기로 한다. 본 발명이 이러한 실시예에 한정되지 않음은 당연하다.

한편, 위에서는 연마 테이블이 연마부를 통과하도록 이동하면서 유리 기판의 에지를 연마하는 경우를 중심으로 설명하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 연마부가 연마 테이블을 통과하도록 이동함으로써, 또는 연마부와 연마 테이블이 서로 교차하도록 이동하면서 유리 기판의 에지가 연마될 수도 있다. 예를 들면, 제1 연마 테이블과 제2 연마 테이블은 회전은 하지만 이동하지 않으며, 연마부가 각 연마 테이블로 이동 및 복귀하면서 각 에지를 연마할 수도 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 연마 장치의 평면도이다. 도 4를 참조하면, 제1 로딩부(410), 제1 연마 테이블(420), 제1 회전부(423), 제1 유리 기판(425), 제1 언로딩부(430), 제2 로딩부(440), 제2 연마 테이블(450), 제2 회전부(453), 제2 유리 기판(455), 제2 언로딩부(460), 연마부(470), 연마휠(475a, 475b)이 도시되어 있다.

제1 연마 테이블(420)에는 제1 유리 기판(425)이 로딩된다. 제2 연마 테이 블(450)은 제1 연마 테이블(420)에 대향하여 위치하고, 제2 유리 기판(455)이 로딩되는 부분이다. 연마부(470)는 제1 연마 테이블(420)과 제2 연마 테이블(450) 사이에 위치하며, 제1 유리 기판(425) 및 제2 유리 기판(455)의 에지를 연마한다. 연마부(470)는 제1 연마 테이블(420)의 진행 방향에 상응하여 제1 유리 기판(425)의 에지를 연마한다.

제1 유리 기판(425)이 기본 이송라인에서 연마 공정으로 진입하는 경우 제1 로딩부(410)에 로딩된 후 순차적으로 제1 연마 테이블(420)에 로딩된다.

제1 유리 기판(425)이 제1 연마 테이블(420)에 로딩된 후, 제1 유리 기판(425)의 에지쌍이 한 쌍의 연마휠(475a, 475b)에 각각 접하도록 제1 유리 기판(425)을 정렬한다.

제1 유리 기판(425)의 정렬은, 제1 유리 기판(425)상에 표시된 정렬마크가 카메라(미도시)의 영상획득영역 안에 포착되도록 하여 카메라의 영상획득영역의 중심과 정렬마크의 중심이 일치하도록 진행된다.

즉, 제1 유리 기판(425)이 제1 연마 테이블(420)에 로딩되면 제1 유리 기판(425)의 정렬마크 상부에 위치한 카메라가 정렬마크의 영상을 획득하고 카메라의 영상획득영역과 정렬마크의 중심을 비교하여 그 차이를 측정한다. 이후 제1 유리 기판(425)의 이동량(x 방향 이동거리, y 방향 이동거리, 유리 기판의 회전각도 θ)을 결정하고 이에 따라 제1 유리 기판(425)을 이동 및/또는 회전시켜 정렬하게 된다. 제 2 유리 기판(455)의 정렬도 제1 유리 기판(425)의 정렬 방법과 마찬가지로 진행될 수 있다.

제1 유리 기판(425)과 제 2 유리 기판(455)은 각각 제1 회전부(423)와 제2 회전부(453)에 의해 회전될 수 있다. 다만, 본 실시예에 따른 유리 기판이 반드시 회전부(423, 453)에 의해서만 회전되어야 하는 것은 아니며, 제1 회전부(423)나 제2 회전부(453) 없이, 픽업 장치에 의해 회전되거나 연마 테이블(420, 450)에 결합된 회동장치에 의해 연마 테이블에 안착된 채로 회전될 수도 있다. 이하에서는 제1 회전부(423)와 제2 회전부(453)가 구비되어 회전하는 경우를 중심으로 설명한다.

제1 에지쌍(예를 들면, 단변 에지쌍)이 한 쌍의 연마휠(475a, 475b)에 각각 접하도록 유리 기판(425, 455)이 로딩되는 것과 마찬가지로, 제2 에지쌍(예를 들면, 장변 에지쌍)이 한 쌍의 연마휠(475a, 475b)에 각각 접하도록 유리 기판(425, 455)이 회전된다.

이를 위해, 연마부(470)에 장착된 한 쌍의 연마휠(475a, 475b)은 연마될 에지쌍의 폭에 맞도록 상호 간의 간격이 조절될 수 있다. 연마부(470)에 의한 에지쌍 연마 공정이 마무리된 경우 제1 유리 기판(425)과 제2 유리 기판(455)은 각각 제1 언로딩부(430)와 제2 언로딩부(460)로 이동하여 언로딩된다.

한편, 전술한 바와 같이 연마 테이블 대신 연마부(470)가 각 연마 테이블로 이동 및 복귀하면서 그 진행 방향에 상응하는 유리 기판의 에지쌍을 연마할 수도 있으며, 이하 이에 대해 설명한다.

제1 유리 기판(425)이 제1 연마 테이블(420)에 로딩되면, 한 쌍의 연마휠(475a, 475b)이 제1 에지쌍에 각각 접하도록 제1 유리 기판(425)을 정렬하며, 연마부(470)는 제1 연마 테이블(420)을 통과하도록 이동하여 제1 유리 기판(425)의 제1 에지쌍을 연마한다.

제1 유리 기판(425)을 90도 회전시키고 연마부(470)를 복귀시킴으로써 제1 유리 기판(425)의 제2 에지쌍이 연마되며, 연마부(470)는 제2 연마 테이블(450)을 통과하도록 이동하여 제2 유리 기판(455)의 제1 에지쌍을 연마한다. 그 동안 제1 유리 기판(425)은 언로딩되고 다른 유리 기판이 제1 유리 기판(425)으로서 로딩된다.

제2 유리 기판(455)을 90도 회전시키고 연마부(470)를 복귀시킴으로써 제2 유리 기판(455)의 제2 에지쌍이 연마되며, 연마부(470)는 제1 연마 테이블(420)을 통과하도록 이동하여 다시 로딩된 제1 유리 기판(425)의 제1 에지쌍을 연마한다.

이처럼, 연마부(470)가 제1 유리 기판(425)과 제2 유리 기판(455) 사이를 왕복하면서 각 유리 기판의 에지를 연마할 수 있게 된다.

이하에서는 도 5 내지 도 9를 참조하여 실시예에 따른 유리 기판 연마 공정을 설명한다.

도 5를 참조하면, 먼저, 제1 유리 기판(425)을 제1 로딩부(410)를 통해 제1 연마 테이블(420)에 로딩한다. 제1 연마 테이블(420)에 로딩된 제1 유리 기판(425)은 상술한 바와 같이 연마될 위치로 정렬된다.

제1 유리 기판(425)은 제1 연마 테이블(420) 상에 고정되는데, 유리 기판의 고정 방법은 다양한 방법이 사용될 수 있으며, 예를 들면, 제1 연마 테이블(420)에 형성된 다수의 흡착홀을 통해 공기를 흡착함으로써 제1 유리 기판(425)을 제1 연마 테이블(420) 상에 흡착된 채로 고정시킬 수 있다. 제2 유리 기판(425)을 제2 연마 테이블(450) 상에 고정시키는 방법도 이와 마찬가지로 적용될 수 있다.

제1 유리 기판(425)을 로딩한 후 제1 연마 테이블(420)이 연마부(470)를 통과하도록 이동시킴으로써 제1 에지쌍(예를 들면, 단변 에지쌍)을 연마한다. 제1 유리 기판(425)이 연마부(470)를 통과할 때, 전술한 바와 같이 한 쌍의 연마휠(475a, 475b)이 제1 에지쌍의 각각을 연마하게 된다.

도 6을 참조하면, 제1 유리 기판(425)을 90도 회전시키고, 제2 유리 기판(455)을 제2 로딩부(440)를 통해 제2 연마 테이블(450)에 로딩한다. 여기서, 제1 유리 기판(425)이 직사각형 형상이므로, 회전되는 각은 90도이며, 만일, 제1 유리 기판(425)이 직사각형 이외의 형상을 가지는 경우 회전각 또한 달라질 수 있다.

도 7을 참조하면, 회전한 제1 유리 기판(425)을 원래의 위치로 복귀시킴으로써 제2 에지쌍(예를 들면, 장변 에지쌍)을 연마한다. 이 경우 제2 에지쌍은 제1 에지쌍과 그 폭이 서로 다를 수 있으므로, 연마부(470)에 구비된 한 쌍의 연마휠(475a, 475b)은 제2 에지쌍의 폭에 맞도록 그 간격이 조절될 수 있다.

제1 유리 기판(425)이 원래의 위치로 복귀된 후에는 다시 회전하여 언로딩을 위한 준비를 한다. 이 경우 제1 유리 기판(425)은 회전하지 않은 상태로 언로딩될 수도 있다.

제1 유리 기판(425)이 연마부(470)를 통과하여 복귀한 후, 그 뒤를 따라 제2 유리 기판(455)이 연마부(470)를 통과하도록 이동시킴으로써 제2 유리 기판(455)의 제1 에지쌍(예를 들면, 단변 에지쌍)을 연마할 수 있다. 이 경우 제2 유리 기판(455)의 제1 에지쌍은 제1 유리 기판(425)의 제2 에지쌍과 그 폭이 서로 다를 수 있으므로, 연마부(470)에 구비된 한 쌍의 연마휠(475a, 475b)은 제1 유리 기판(425)을 연마한 후 제2 유리 기판(455)을 연마하기 위해서 그 간격이 조절될 수 있음은 전술한 바와 같다.

한편, 제1 유리 기판(425)과 제2 유리 기판(455)의 크기 및 형태가 동일하다면, 제2 유리 기판(455)의 제2 에지쌍(예를 들면, 장변 에지쌍)이 먼저 연마되도록 할 수도 있다. 즉, 제1 유리 기판(425)의 제2 에지쌍을 연마한 후 제2 유리 기판(455)의 제2 에지쌍을 연마하게 되면, 제1 유리 기판(425)의 제2 에지쌍의 폭에 맞도록 그 간격이 조절된 한 쌍의 연마휠(475a, 475b)의 간격을 다시 조절할 필요가 없어 공정이 보다 효율적일 수 있다. 다만, 이는 유리 기판의 정렬(align), 코너컷(corner cut) 등 다른 공정과의 관계를 고려하여 결정될 수 있다.

이처럼, 제1 유리 기판(425)이 회전하여 제2 에지쌍이 연마될 준비를 하는 동안 제2 유리 기판(455)이 로딩되고, 연마부(470)를 통과하여 제1 유리 기판(425)의 제2 에지쌍이 연마된 후, 곧바로 제2 유리 기판(455)의 제1 에지쌍이 연마되도록 함으로써, 공정의 효율성이 제고되고 연마 공정의 전체 택트 타임을 절감할 수 있다.

장치 설계에 관련된 다른 변수가 허용되는 범위 내에서, 제1 연마 테이블(420)과 제2 연마 테이블(450) 간의 거리는 짧을수록 연마테이블(420, 450) 및/또는 연마부(470)의 이동 거리가 작아져 택트 타임을 보다 절감할 수 있다.

도 8을 참조하면, 다른 제1 유리 기판(425)이 제1 언로딩부(430)를 통해 제1 연마 테이블(420)에 로딩되고, 제2 유리 기판(455)은 제2 에지쌍의 연마를 위해 회 전한다. 도 8의 공정은 도 6의 공정과 대응되는 것으로, 제1 유리 기판(425)이 로딩되고 제2 유리 기판(455)이 회전하는 경우를 도시하고 있다.

도 9를 참조하면, 회전한 제2 유리 기판(455)을 원래의 위치로 복귀시킴으로써 제2 에지쌍을 연마한다. 이 경우 제2 에지쌍은 제1 에지쌍과 그 폭이 서로 다를 수 있으므로, 연마부(470)에 구비된 한 쌍의 연마휠(475a, 475b)은 제2 에지쌍의 폭에 맞도록 그 간격이 조절될 수 있다.

제2 유리 기판(455)이 원래의 위치로 복귀된 후에는 다시 회전하여 언로딩을 위한 준비를 한다. 이 경우 제2 유리 기판(455)이 회전하지 않은 상태로 언로딩될 수도 있음은 제1 유리 기판(425)의 경우와 마찬가지이다.

제2 유리 기판(455)이 연마부(470)를 통과하여 복귀한 후, 그 뒤를 따라 다른 제1 유리 기판(425)이 연마부(470)를 통과하도록 이동시킴으로써 제1 유리 기판(425)을 연마할 수 있다.

이러한 과정이 반복적으로 수행되어 본 발명의 실시예는 하나의 연마부(470)가 복수의 유리 기판을 연속적으로 연마할 수 있으므로, 전체적으로 짧은 택트 타임에 작은 비용으로 공정의 효율을 제고할 수 있는 장점이 있다.

이하에서는 연마 테이블(420, 450) 대신 연마부(470)가 이동하여 유리 기판의 에지를 연마하는 경우에 대해서 구체적으로 설명한다.

제1 유리 기판(425)을 제1 로딩부(410)를 통해 제1 연마 테이블(420)에 로딩하고 정해진 위치로 정렬한 후, 연마부(470)가 제1 연마 테이블(420)을 통과하도록 이동시켜 제1 유리 기판(425)의 서로 대향하는 제1 에지쌍을 연마한다.

제1 연마 테이블(420)을 90도 회전시켜 제1 유리 기판(425)의 제2 에지쌍이 연마될 수 있도록 준비한 후, 연마부(470)를 원래의 위치로 복귀시켜 제1 유리 기판(425)의 제2 에지쌍을 연마한다.

한편, 제1 유리 기판(425)이 연마되는 동안, 제2 유리 기판(455)을 제2 로딩부(440)를 통해 제2 연마 테이블(450)에 로딩하고, 제1 유리 기판(425)을 연마하고 복귀하는 연마부(470)를, 제2 연마 테이블(450)을 통과하도록 이동시켜 제2 유리 기판(455)의 서로 대향하는 제1 에지쌍을 연마한다.

제2 연마 테이블(450)을 90도 회전시켜 제2 유리 기판(455)의 제2 에지쌍이 연마될 수 있도록 준비한 후, 연마부(470)를 원래의 위치로 복귀시켜 제2 유리 기판(455)의 제2 에지쌍을 연마한다.

연마를 마친 유리 기판은 마지막 연마 공정이 진행된 방향 그대로 언로딩될 수도 있고, 최초에 로딩된 방향으로 회전한 후 언로딩될 수도 있음은 전술한 바와 같다.

이와 같이, 하나의 연마부(470)가 제1 연마 테이블(420) 및 제2 연마 테이블(450) 사이를 왕복하도록 하고, 어느 하나의 유리 기판이 연마될 동안 다른 하나의 유리 기판이 로딩 및 언로딩되도록 함으로써, 전체적인 연마 공정의 택트 타임을 절감할 수 있다.

그 외 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 연마 장치에 대한 구체적인 전체 장비, 스케일, 임베디드 시스템, O/S 등의 공통 플랫폼 기술과 통신 프로토콜, I/O 인터페이스 등 인터페이스 표준화 기술 및 액추에이터, 배터리, 카메라, 센서 등 부품 표준화 기술 등에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

상술한 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 연마 방법은 기록매체에 저장된 후 소정의 장치, 예를 들면, 유리 기판 연마 장치와 결합하여 수행될 수 있다. 여기서, 기록매체는 하드 디스크, 비디오테이프, CD, VCD, DVD와 같은 자기 또는 광 기록매체이거나 또는 오프라인 또는 온라인상에 구축된 클라이언트 또는 서버 컴퓨터의 데이터베이스일 수도 있다.

상기한 바에서, 본 발명의 유리 기판 연마 방법은 유리 기판의 형상 및 개수를 일 실시예에 따라 기술하였으나, 반드시 이에 한정될 필요는 없고, 상기 유리 기판의 개수를 달리 하더라도 전체적인 작용 및 효과에는 차이가 없다면 이러한 다른 구성은 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있으며, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따라 연마된 유리 기판을 나타낸 상태도.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판의 연마 공정을 개략적으로 도시한 사시도.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 연마 방법의 순서도.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 연마 장치의 평면도.

도 5 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 연마 공정을 순서대로 나타낸 평면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

410 : 제1 로딩부 420 : 제1 연마 테이블

423 : 제1 회전부 425 : 제1 유리 기판

430 : 제1 언로딩부 440 : 제2 로딩부

450 : 제2 연마 테이블 453 : 제2 회전부

455 : 제2 유리 기판 460 : 제2 언로딩부

470 : 연마부 475a, 475b : 연마휠

Claims (11)

1. 제1 유리 기판이 로딩되는 제1 연마 테이블;

   상기 제1 연마 테이블에 대향하여 위치하고, 제2 유리 기판이 로딩되는 제2 연마 테이블; 및

   상기 제1 연마 테이블과 상기 제2 연마 테이블 사이에 위치하며, 상기 제1 유리 기판의 에지 및 상기 제2 유리 기판의 에지를 연마하는 연마부를 포함하되,

   상기 연마부는 상기 제1 유리 기판의 서로 대향하는 에지쌍 및 상기 제2 유리 기판의 서로 대향하는 에지쌍을 각각 연마하는 한 쌍의 연마휠을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제1 연마 테이블 및 상기 제2 연마 테이블이 순차적으로 상기 연마부를 통과하도록 이동함으로써, 상기 제1 유리 기판의 에지 및 상기 제2 유리 기판의 에지가 연마되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 연마부가 상기 제1 연마 테이블 및 상기 제2 연마 테이블 사이를 왕복함으로써, 상기 제1 유리 기판의 에지 및 상기 제2 유리 기판의 에지가 연마되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 제1 연마 테이블 및 상기 제2 연마 테이블은 소정 각도 회전 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
5. 삭제
6. 제1항에 있어서,

   상기 한 쌍의 연마휠은, 상기 제1 유리 기판의 서로 대향하는 에지쌍 및 상기 제2 유리 기판의 서로 대향하는 에지쌍에 상응하여, 그 간격이 조절가능한 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 장치.
7. 제1 연마 테이블과 제2 연마 테이블의 사이에 연마부를 위치시켜 유리 기판 의 에지를 연마하는 방법으로서,

   제1 유리 기판을 상기 제1 연마 테이블에 로딩하는 단계;

   상기 연마부로 상기 제1 유리 기판의 에지를 연마하고, 제2 유리 기판을 상기 제2 연마 테이블에 로딩하는 단계; 및

   상기 연마부로 상기 제2 유리 기판의 에지를 연마하고, 상기 제1 유리 기판을 언로딩하는 단계를 포함하는 유리 기판 연마 방법.
8. 제7항에 있어서,

   상기 제1 유리 기판의 에지 연마 단계는,

   상기 연마부를 통과하도록 상기 제1 연마 테이블을 이동시키는 단계;

   상기 제1 연마 테이블을 소정 각도 회전시키는 단계; 및

   상기 연마부를 통과하도록 상기 제1 연마 테이블을 복귀시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 방법.
9. 제8항에 있어서,

   상기 제2 유리 기판의 에지 연마 단계는,

   상기 제1 연마 테이블의 복귀에 상응하여, 상기 연마부를 통과하도록 상기 제2 연마 테이블을 이동시키는 단계;

   상기 제2 연마 테이블을 소정 각도 회전시키는 단계; 및

   상기 연마부를 통과하도록 상기 제2 연마 테이블을 복귀시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 방법.
10. 제7항에 있어서,

    상기 제1 유리 기판의 에지 연마 단계는,

    상기 제1 연마 테이블을 통과하도록 상기 연마부를 이동시키는 단계;

    상기 제1 연마 테이블을 소정 각도 회전시키는 단계; 및

    상기 제1 연마 테이블을 통과하도록 상기 연마부를 복귀시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 방법.
11. 제10항에 있어서,

    상기 제2 유리 기판의 에지 연마 단계는,

    상기 제2 연마 테이블을 통과하도록 상기 연마부를 이동시키는 단계;

    상기 제2 연마 테이블을 소정 각도 회전시키는 단계; 및

    상기 제2 연마 테이블을 통과하도록 상기 연마부를 복귀시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 연마 방법.

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