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KR100908124B1 - 혈압측정용 압력 센서 및 그 제조방법 - Google Patents

혈압측정용 압력 센서 및 그 제조방법 Download PDF

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KR100908124B1
KR100908124B1 KR1020070068819A KR20070068819A KR100908124B1 KR 100908124 B1 KR100908124 B1 KR 100908124B1 KR 1020070068819 A KR1020070068819 A KR 1020070068819A KR 20070068819 A KR20070068819 A KR 20070068819A KR 100908124 B1 KR100908124 B1 KR 100908124B1
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pressure sensor
cantilever
blood pressure
stopper
substrate
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신건수
배상곤
김연호
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 혈압측정용 압력 센서 및 그 제조방법에 관하여 개시한다. 개시된 혈압측정용 압력 센서는: 실리콘 기판의 상부면에 형성된 적어도 하나의 외팔보; 상기 외팔보의 고정단 측에 형성된 피에조 리지스터; 상기 피에조 리지스터의 양측에 연결된 금속배선 및 전극패드;를 구비하며, 상기 외팔보의 하부에는 상기 외팔보의 자유단의 변형을 제한하는 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 한다.
압력센서; 혈압측정

Description

혈압측정용 압력 센서 및 그 제조방법{Pressure sensor for measuring blood pressure and method of fabricating the same}
본 발명은 혈압측정용 압력 센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 tonometry 측정방법에 사용되는 혈압측정용 압력 센서에 관한 것이다.
혈압은 동맥혈압, 모세관혈압, 정맥혈압 등으로 구별된다. 일반적으로 혈압은 동맥혈압을 뜻한다. 동맥혈압은 심장박동에 의하여 변동한다.
비침습적으로(non-invasively) 연속적으로 혈압을 측정하는 방법의 하나인 tonometry 측정방법은 압력 센서를 손목의 요골동맥에 위치시키고 압력 센서를 요골동맥 방향으로 압력을 가한 상태에서 혈압을 측정하는 방법이다. 이때, 압력 센서의 센싱부는 혈압에 의해서 변형을 하게 되며, 이 변형을 측정함으로써 혈압을 잴 수 있게 된다.
혈압측정용 압력센서는 측정 대상의 압력을 전기적 신호로 출력하며, 이 전기적 신호는 신호처리 시스템을 통하여 혈압으로 읽힌다. 상기 압력 센서 및 신호처리 시스템은 혈압계를 구성한다.
일본특허공개번호 제2000-214027호 및 2004-279090호에는 다이아프램 압력센 서가 개시되어 있다. 개시된 압력센서는 (100) 표면을 가진 단결정 실리콘의 하부를 에칭하여 상부에 피에조미터를 형성한 구조이다. 도 1은 개시된 압력센서의 개념도이다.
도 1을 참조하면, 유리기판(10)의 상부에 단결정 실리콘 기판(20)이 배치된다. 실리콘 기판(20)의 표면은 (100) 결정방향을 가지며, 하부는 KOH 또는 TMAH로 비등방성 습식식각하여 형성된 센싱부(30)가 형성된다. 센싱부(30)에는 피에조 리지스터(piezoresistor)(40)가 형성되어 있다. 요골동맥의 직경은 대략 1.2 mm 이상이다.
실리콘 기판(20)의 두께가 500 ㎛인 경우, 실리콘 이방성 습식식각되는 각도가 54.7 도가 되므로, 식각 경사에 따른 폭(W)은 대략 350 ㎛가 된다. 따라서, 센서를 어레이 형태로 배열하는 경우, 이웃하는 센서 사이의 데드 폭(dead width)은 700 ㎛ 이상으로 크기 때문에 어레이 압력센서로 이용하기가 어렵다. 또한, 센싱부(30)의 과도한 수직 변형을 막는 구조가 형성되어 있지 않다. 또한, 실리콘 기판(20)의 하부로부터 장시간 습식 식각을 하여 일정한 두께, 예컨대 10 ㎛의 센싱부(30)를 형성하기 위해서는 실리콘 웨이퍼의 두께가 일정해야 하며, 실리콘 기판(20)의 하부 뿐만 아니라 미도시된 배선 등을 위한 상부면에서의 제조공정도 필요하다. 또한, 실리콘 기판(20)의 하부와 유리기판(10)을 본딩하여야 한다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 압력센서의 데드 폭을 줄이고, 센싱부의 변형을 막아주는 스토퍼가 형성되며, 별도의 기판과의 본딩을 필요로 하지 않는 일체형(monolithic) 혈압측정용 압력센서를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 혈압측정용 압력센서를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서는:
실리콘 기판의 상부면에 형성된 적어도 하나의 외팔보;
상기 외팔보의 고정단 측에 형성된 피에조 리지스터;
상기 피에조 리지스터의 양측에 연결된 금속배선 및 전극패드;를 구비하며,
상기 외팔보의 하부에는 상기 외팔보의 자유단의 변형을 제한하는 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 상기 실리콘 기판은 상기 상부면에 (111)결정면이 형성된 단결정 실리콘으로 이루어질 수 있다.
상기 외팔보의 폭은 10~500 ㎛일 수 있으며, 상기 외팔보로부터 상기 스토퍼 사이의 깊이는 1~50 ㎛일 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 외팔보는 복수의 외팔보이며, 상기 복수의 외팔보는 서로 나란하게 형성된다.
본 발명의 일 국면에 따르면, 상기 복수의 외팔보의 이웃하는 외팔보들은 서 로 반대방향으로 외팔보가 형성된다.
본 발명의 다른 국면에 따르면, 상기 복수의 외팔보의 각 외팔보는 서로 마주보는 외팔보 쌍이다.
본 발명에 따르면, 상기 기판, 상기 외팔보 및 상기 스토퍼는 일체형 구조이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 다른 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서는: 실리콘 기판의 상부면에 형성된 적어도 하나의 양단 지지보;
상기 양단 지지보의 양단 측에 각각 형성된 피에조 리지스터; 및
상기 피에조 리지스터의 양측에 연결된 금속배선 및 전극패드;를 구비하며,
상기 양단 지지보의 하부에는 상기 양단 지지보의 변형을 제한하는 스토퍼가 형성된다.
상기 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서의 제조방법은:
실리콘 기판의 상부면에서 외팔보 형성영역의 고정단 측에 피에조 리지스터를 형성하는 제1 단계;
상기 피에조 리지스터의 양측과 연결되는 배선 및 전극패드를 형성하는 제2 단계;
상기 기판 상에서 상기 외팔보 형성영역을 한정하는 제1영역을 노출시키는 절연층을 형성하는 제3 단계;
상기 기판에서 상기 제1영역으로부터 소정 깊이로 식각하는 제4 단계;
상기 식각된 제1영역의 측면에 벽면 보호막을 형성하는 제5 단계;
상기 벽면 보호막에 노출된 제1영역을 소정 깊이로 건식 식각하여 벽면 보호막이 형성되지 아니한 제1 벽면을 형성하는 제6 단계;
상기 벽면 보호막에 노출된 상기 제1 벽면을 식각하여 외팔보 및 상기 외팔보의 변형을 한정하는 스토퍼를 형성하는 제7 단계;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
제1 단계는 p형 임플랜테이션 단계일 수 있다.
상기 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서의 제조방법은:
실리콘 기판의 상부면에서 양단 지지보 형성영역의 양단 측에 각각 피에조 리지스터를 형성하는 제1 단계;
상기 피에조 리지스터의 양측과 연결되는 배선 및 전극패드를 형성하는 제2 단계;
상기 기판 상에서 상기 양단 지지보 형성영역을 한정하는 제1영역을 노출시키는 절연층을 형성하는 제3 단계;
상기 기판에서 상기 제1영역으로부터 소정 깊이로 식각하는 제4 단계;
상기 식각된 제1영역의 측면에 벽면 보호막을 형성하는 제5 단계;
상기 벽면 보호막에 노출된 제1영역을 소정 깊이로 건식 식각하여 벽면 보호막이 형성되지 아니한 제1 벽면을 형성하는 제6 단계; 및
상기 벽면 보호막에 노출된 상기 제1 벽면을 식각하여 양단 지지보 및 상기 양단 지지보의 변형을 한정하는 스토퍼를 형성하는 제7 단계;;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 혈압측정용 압력센서에 따르면, 스토퍼가 센싱부의 과도한 변형을 막아주며, 센싱부 및 스토퍼가 기판과 일체형 구조이다.
또한, 어레이 형태의 혈압측정용 압력센서는 센싱부 사이의 간격이 좁기 때문에 데드 폭을 감소시킬 수 있어서 보다 정밀하게 그리고 연속적으로 혈압을 측정할 수 있게 한다.
본 발명의 혈압측정요 압력센서의 제조방법에 따르면, 실리콘 기판의 상부면에서만 가공하며, 식각 깊이도 비교적 낮으므로 제조공정이 간단하다. 특히 (111) 표면을 가진 단결정 실리콘을 사용하여 센싱부의 하부를 용이하게 식각할 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 혈압측정용 압력 센서 및 그 제조방법에 대해 보다 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서(100)의 평면도이며, 도 3은 도 2의 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 기판(110)에는 다섯 개의 외팔보(130)가 서로 나란하게 어레이 형태로 형성되어 있으며, 각 외팔보(130)의 고정단은 외팔보(130)의 변형에 의한 응력이 가장 크게 나타나는 위치이다. 이 위치에 피에조 리지스터(140)가 형성되어 있다. 본 발명에서는 기판(110)으로서 (111) 표면을 가진 단 결정 실리콘 n형 기판(110)이 사용되며, 피에조 리지스터(piezoresistor)(140)는 보론 임플랜테이션에 의한 p형 영역이 된다. 피에조 리지스터(140)의 양측에는 배선(150), 예컨대 Au 배선(150) 및 전극패드(152)가 형성되어 있다. 전극패드(152)에 전류계(미도시) 등을 설치하면 피에조 리지스터(140)로부터의 전기적 신호를 읽을 수 있으며, 따라서 혈압을 측정할 수 있게 된다.
외팔보(130)들은 서로 평행하게 형성되어 있으며 이웃하는 외팔보들(130)은 서로 반대방향으로 연장되게 형성되어 있다. 외팔보(130)와 기판(110) 사이의 갭(g)은 수 ㎛ 로 형성될 수 있으며, 이는 종래의 기술의 문제점인 데드 폭을 줄일 수 있게 한다. 상기 외팔보(130)의 폭(w1)은 수십 ㎛ 내지 수백 ㎛ 로 형성될 수 있다. 성인의 요골동맥의 지름이 1.2 mm ~ 3 mm인 것을 감안하면, 10~500 ㎛ 폭으로 형성될 수 있다. 외팔보(130)의 두께는 1~50 ㎛로 형성될 수 있다.
배선(150) 및 전극패드(152)는 실리콘 기판(110) 상에 금속물질, 예컨대 Au을 증착한 후, 금속물질의 패터닝에 의해 형성될 수 있다.
본 발명에 실시예에 따른 압력센서(100)는 센싱부인 외팔보(130)로부터 소정 간격 이격된 위치에 외팔보(130)의 과도한 변형, 특히 외팔보(130)의 자유단의 과도한 변형을 막아주는 역할을 하는 스토퍼(112)가 형성된다. 이 스토퍼(112)는 외팔보(130)의 형성과정에서 형성될 수 있는 것으로 후술하는 제조방법에서 상세히 설명된다. 외팔보(130)로부터 스토퍼(112) 까지의 깊이는 외팔보(130)의 길이에 따라 달라질 수 있으며, 대략 1~50 ㎛ 로 형성될 수 있다.
참조번호 114는 절연층을 가리킨다.
한편, 압력센서(100)의 표면에는 외부의 이물질이 침투하는 것을 방지하고, 접촉 느낌이 양호하게 고무, 폴리이미드, 실리콘 등의 박막이 더 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 외팔보(130), 피에조 리지스터(140), 스토퍼(112)는 실리콘 기판(110)의 반도체 공정에 의해 형성되므로, 압력센서(100)는 일체형(monolithic) 구조이다.
본 발명에 따른 압력센서(100)를 손목의 요골동맥의 길이 방향으로 외팔보를 배치하면, 연속적으로 혈압을 측정할 수 있다. 또한 어레이 형태의 압력센서를 요골동맥의 직경 방향으로 배치하면, 연속적으로 혈압 프로파일을 측정할 수 있게 된다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 제2 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서의 제조방법을 단계별로 설명하는 도면이다. 도 4a는 피에조 리지스터 형성부분을 개략적으로 보여주는 도면이며, 도 4b 내지 도 4e는 도 2의 A-A 선단면도이다.
도 4a를 참조하면, (111) 표면을 가지는 n형 단결정 실리콘 기판(210) 상에 피에조 리지스터 영역에 보론을 주입(implantation)하여 피에조 리지스터(240)을 형성한다. 피에조 리지스터(240)은 p형 영역이 되며, 저항체로서 작용할 수 있으며, 도 2의 피에조 리지스터(140)에 해당된다. 이어서, 기판(210) 상에 피에조 리지스터 (240)을 덮는 절연층(214)을 형성하고, 이어서 절연층(214)을 패터닝하여 피에조 리지스터(240)을 노출시킨다. 상기 절연층(214)은 실리콘 나이트라이드로 형성될 수 있다.
이어서, 기판(210) 상에 금속 물질, 예컨대 Au 또는 Al을 증착하고, 이 금속물질층을 패터닝하여 피에조 리지스터(240)의 양측과 전기적으로 연결된 배선(250) 및 전극패드(252)를 형성한다. 이어서, 배선(250) 및 전극패드(252)를 덮는 절연층(218), 예컨대 실리콘 옥사이드층을 기판(210) 상에 형성한다.
도 4b를 참조하면, 외팔보 형성영역(232)의 측면을 따라서 소정 갭(g), 예컨대 5 ㎛ 갭으로 기판(210)을 노출시킨다. 외팔보 형성영역(232)의 폭은 대략 500 ㎛ 이하, 예컨대 10~500 ㎛로 형성될 수 있다. 도 4c를 참조하면, 상기 갭(g) 영역의 기판(210) 영역을 소정 깊이로 1차 건식 식각을 하여 홈(216)을 형성한다. 이 홈(216)의 깊이는 외팔보의 두께에 해당하는 것으로 대략 1~50 ㎛ 일 수 있다.
도 4d를 참조하면, 기판(210) 상으로 절연층(미도시), 예컨대 실리콘 옥사이드층을 형성한 다음, 기판(210)의 상방으로부터 상기 미도시된 절연층을 건식식각하여 기판(210) 상면 및 홈(261) 바닥에 형성된 상기 미도시된 절연층을 모두 제거한다. 이에 따라서, 홈(216)의 측면에는 벽면 보호막(260)이 형성된다. 이렇게 형성된 벽면 보호막은 후술하는 희생층 식각과정에서 구조물(외팔보 포함) 벽면이 식각되는 것을 방지한다.
도 4e를 참조하면, 상기 벽면 보호막(260)에 노출된 홈(261) 바닥면을 소정 깊이로 수직 건식식각한다. 이 때 수직 식각되는 깊이를 조절함으로써 희생층의 깊이, 즉 구조물(외팔보)의 저면과 스토퍼(212) 사이의 거리를 조절할 수 있다.
이 후 이방성 습식식각을 수행하면 홈(261) 벽면의 벽면 보호막(260)이 존재하는 곳은 측면으로 식각이 되지 아니하며, 벽멱 보호막(260)이 존재하지 않는 부 분으로 습식식각이 진행된다.
본 발명에서는, (111) 방향 실리콘 웨이퍼를 사용하기 때문에 KOH나 TMAH와 같은 이방성 습식식각액에서 스토퍼(212)의 상면이나 구조물(230)의 저면(231)쪽으로는 식각이 매우 느리게 일어나며, (111) 면에 수직한 측면 방향으로는 식각이 빠르게 진행되어서, 구조물의 저면(231) 및 스토퍼(212) 사이의 실리콘이 제거된다. 이 결과, 외팔보형성영역(232)의 하부가 식각되면서 외팔보(230)가 형성된다. 또한, 외팔보(230)가 하부 방향으로 과도하게 변형되는 것을 방지하는 스토퍼(212)가 형성된다. 상기 외팔보(230)으로부터 상기 스토퍼(212) 사이의 깊이는 대략 1~50 ㎛ 로 형성될 수 있다. 이어서 실리콘 옥사이드로 이루어진 외팔보 형성영역(232)를 포함하는 절연층(218)과, 실리콘 옥사이드로 형성된 벽면 보호막(260)을 선택적으로 식각하여 제거하면 도 2 및 도 3의 압력센서가 형성된다.
따라서, 본 발명의 혈압측정용 압력센서의 제조방법으로 기판의 상면 만 가공하여 기판과 일체형의 압력센서를 형성할 수 있다. 또한, 식각 깊이가 작기 때문에 제조공정에 걸리는 시간이 짧아진다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서(300)의 평면도이며, 도 6은 도 5의 단면도이다. 제1 실시예의 압력센서(100)의 구성요소와 실질적으로 동일한 구성요소에는 동일한 명칭을 사용하고 상세한 설명은 생략한다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 기판(310)에는 다섯 쌍의 외팔보(330)가 서로 나란하게 어레이 형태로 형성되어 있으며, 각 외팔보(330)의 고정단 측에 피에조 리지스터(340)가 형성되어 있다. 본 발명에서는 기판(310)으로서 (111) 표면을 가진 단결정 실리콘 n형 기판(310)이 사용되며, 피에조 리지스터(piezoresistor)(340)는 보론 임플랜테이션에 의한 p형 영역이 될 수 있다. 피에조 리지스터(340)의 양측에는 배선(350), 예컨대 Au 배선(350) 및 전극패드(352)가 형성되어 있다.
외팔보(330) 쌍들은 서로 평행하게 형성되어 있으며 각 외팔보(330) 쌍은 서로 마주보게 형성되어 있다. 외팔보(330)와 기판(310) 사이의 갭(g)은 수 ㎛ 로 형성될 수 있으며, 이는 종래의 기술의 문제점인 데드 폭을 줄일 수 있게 한다.
본 발명에 실시예에 따른 압력센서(300)는 센싱부인 외팔보(330)로부터 소정 간격 이격된 위치에 외팔보(330)의 과도한 변형을 막아주는 역할을 하는 스토퍼(312)가 형성된다. 참조번호 314는 절연층을 가리킨다.
본 발명에 따른 외팔보(330), 피에조 리지스터(340), 스토퍼(312)는 실리콘 기판(310)의 반도체 공정에 의해 형성되므로, 압력센서(300)는 일체형(monolithic) 구조이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서(400)의 평면도이며, 도 8은 도 7의 단면도이다. 제1 실시예의 압력센서(100)의 구성요소와 실질적으로 동일한 구성요소에는 동일한 명칭을 사용하고 상세한 설명은 생략한다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 기판(410)에는 다섯 개의 양단 지지보(430)가 서로 나란하게 어레이 형태로 형성되어 있으며, 각 양단 지지보(430)의 양단에 피에조 리지스터(440)가 형성되어 있다. 본 발명에서는 기판(410)으로서 (111) 표면을 가진 단결정 실리콘 n형 기판(410)이 사용되며, 피에조 리지스터(piezoresistor)(440)는 보론 임플랜테이션에 의한 p형 영역이 될 수 있다. 피에 조 리지스터(440)의 양측에는 배선(450), 예컨대 Au 배선(450) 및 전극패드(452)가 형성되어 있다.
양단 지지보(430)와 기판(410) 사이의 갭(g)은 수 ㎛ 로 형성될 수 있으며, 이는 종래의 기술의 문제점인 데드 폭을 줄일 수 있게 한다.
본 발명에 실시예에 따른 압력센서(400)는 센싱부인 양단 지지보(430)로부터 소정 간격 이격된 위치에 양단 지지보(430)의 과도한 변형을 막아주는 역할을 하는 스토퍼(412)가 형성된다. 참조번호 414는 절연층을 가리킨다.
본 발명에 따른 양단 지지보(430), 피에조 리지스터(440), 스토퍼(412)는 실리콘 기판(410)의 반도체 공정에 의해 형성되므로, 압력센서(400)는 일체형(monolithic) 구조이다.
제3 실시예 및 제4 실시예에 따른 압력센서는 제2 실시예의 압력센서의 제조방법에서 외팔보 또는 양단 지지보의 패터닝 형상이 다르고 실질적으로 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명은 혈압측정용 센서산업에 유용하게 사용될 수 있다.
도 1은 종래의 압력센서의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서의 평면도이다.
도 3은 도 2의 단면도이다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 제2 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서의 제조방법을 단계별로 설명하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서의 평면도이다.
도 6은 도 5의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 혈압측정용 압력센서의 평면도이다.
도 8은 도 7의 단면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호설명*
100,300,400: 압력센서 110,210,310,410: 기판
130,230,330: 외팔보 140,240,340,440: 피에조 리지스터
150,250,350,450: 배선 152,252,352,452: 금속패드
260:벽면 보호막 430: 양단 지지보

Claims (24)

  1. 실리콘 기판의 상부면에 형성된 적어도 하나의 외팔보;
    상기 외팔보의 고정단 측에 형성된 피에조 리지스터;
    상기 피에조 리지스터의 양측에 연결된 금속배선 및 전극패드;를 구비하며,
    상기 외팔보의 하부에는 상기 외팔보의 자유단의 변형을 제한하는 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 실리콘 기판은 상기 상부면에 (111)결정면이 형성된 단결정 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 외팔보의 폭은 10~500 ㎛인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 외팔보로부터 상기 스토퍼 사이의 깊이는 1~50 ㎛인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 외팔보는 복수의 외팔보이며, 상기 복수의 외팔보는 서로 나란하게 형성된 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 복수의 이웃하는 외팔보는 각각의 고정단으로부터 자유단으로 향하는 방향이 서로 반대방향으로 형성된 외팔보가 교대로 배치된 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 복수의 외팔보의 각 외팔보는 각각의 고정단으로부터 서로 마주보는 방향으로 연장된 자유단을 구비하는 한 쌍의 외팔보인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판, 상기 외팔보 및 상기 스토퍼는 일체형 구조인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  9. 실리콘 기판의 상부면에 형성된 적어도 하나의 양단 지지보;
    상기 양단 지지보의 양단 측에 각각 형성된 피에조 리지스터;
    상기 피에조 리지스터의 양측에 연결된 금속배선 및 전극패드;를 구비하며,
    상기 양단 지지보의 하부에는 상기 양단 지지보의 변형을 제한하는 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 실리콘 기판은 상기 상부면에 (111)결정면이 형성된 단결정 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 양단 지지보의 폭은 10~500 ㎛인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 양단 지지보로부터 상기 스토퍼 사이의 깊이는 1~50 ㎛인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 양단 지지보는 복수의 양단 지지보며, 상기 복수의 양단 지지보는 서로 나란하게 형성된 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 기판, 상기 양단 지지보 및 상기 스토퍼는 일체형 구조인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서.
  15. 실리콘 기판의 상부면에서 외팔보 형성영역의 고정단 측에 피에조 리지스터를 형성하는 제1 단계;
    상기 피에조 리지스터의 양측과 연결되는 배선 및 전극패드를 형성하는 제2 단계;
    상기 기판 상에서 상기 외팔보 형성영역을 한정하는 제1영역을 노출시키는 절연층을 형성하는 제3 단계;
    상기 기판에서 상기 제1영역으로부터 소정 깊이로 식각하는 제4 단계;
    상기 식각된 제1영역의 측면에 벽면 보호막을 형성하는 제5 단계;
    상기 벽면 보호막에 노출된 제1영역을 소정 깊이로 건식 식각하여 벽면 보호막이 형성되지 아니한 제1 벽면을 형성하는 제6 단계;
    상기 벽면 보호막에 노출된 상기 제1 벽면을 식각하여 외팔보 및 상기 외팔보의 변형을 한정하는 스토퍼를 형성하는 제7 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 실리콘 기판은 (111) 결정 표면을 가진 단결정인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서의 제조방법.
  17. 제 15 항에 있어서,
    제1 단계는 p형 임플랜테이션 단계인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서의 제조방법.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 외팔보의 폭은 10~500 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서의 제조방법.
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 외팔보로부터 상기 스토퍼 사이의 깊이는 1~50 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서의 제조방법.
  20. 실리콘 기판의 상부면에서 양단 지지보 형성영역의 양단 측에 각각 피에조 리지스터를 형성하는 제1 단계;
    상기 피에조 리지스터의 양측과 연결되는 배선 및 전극패드를 형성하는 제2 단계;
    상기 기판 상에서 상기 양단 지지보 형성영역을 한정하는 제1영역을 노출시키는 절연층을 형성하는 제3 단계;
    상기 기판에서 상기 제1영역으로부터 소정 깊이로 식각하는 제4 단계;
    상기 식각된 제1영역의 측면에 벽면 보호막을 형성하는 제5 단계;
    상기 벽면 보호막에 노출된 제1영역을 소정 깊이로 건식 식각하여 벽면 보호 막이 형성되지 아니한 제1 벽면을 형성하는 제6 단계;
    상기 벽면 보호막에 노출된 상기 제1 벽면을 식각하여 양단 지지보 및 상기 양단 지지보의 변형을 한정하는 스토퍼를 형성하는 제7 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서의 제조방법.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 실리콘 기판은 (111) 결정 표면을 가진 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서의 제조방법.
  22. 제 20 항에 있어서,
    제1 단계는 p형 임플랜테이션 단계인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서의 제조방법.
  23. 제 20 항에 있어서,
    상기 양단 지지보의 폭은 10~500 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서의 제조방법.
  24. 제 20 항에 있어서,
    상기 양단 지지보로부터 상기 스토퍼 사이의 깊이는 1~50 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 혈압측정용 압력 센서의 제조방법.
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