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KR100903234B1 - 액적 분사 도포 헤드 모듈, 액적 분사 도포 장치 및도포체의 제조 방법 - Google Patents

액적 분사 도포 헤드 모듈, 액적 분사 도포 장치 및도포체의 제조 방법 Download PDF

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KR100903234B1
KR100903234B1 KR1020070026506A KR20070026506A KR100903234B1 KR 100903234 B1 KR100903234 B1 KR 100903234B1 KR 1020070026506 A KR1020070026506 A KR 1020070026506A KR 20070026506 A KR20070026506 A KR 20070026506A KR 100903234 B1 KR100903234 B1 KR 100903234B1
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KR
South Korea
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droplet
application head
droplet spray
head module
liquid
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슈우이찌 기무라
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가부시끼가이샤 도시바
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Abstract

액적 분사 도포 헤드 모듈로의 액체 충전을 수고스럽지 않고 용이하게 행하는 것이다.
액적 분사 도포 헤드 모듈(3)은 액체를 수용하는 액실과, 이 액실에 연통되는 복수의 노즐을 갖고, 노즐로부터 액적을 분사하는 액적 분사 도포 헤드(13)와, 액실에 공급하는 액체를 수용하여 액실에 연통되는 탱크(14)를 구비하고, 액적 분사 도포 헤드(13)와 탱크(14)가 연결 부재(17)에 의해 연결되고, 연결 부재(17)와 액적 분사 도포 헤드(13) 사이에 회전식 커플링(18)이 개재 장착되어 있다.
액적 분사 도포 헤드, 탱크, 연결 부재, 액실, 노즐, 회전식 커플링

Description

액적 분사 도포 헤드 모듈, 액적 분사 도포 장치 및 도포체의 제조 방법{LIQUID DROPLET SPRAYING AND APPLYING HEAD MODULE, LIQUID DROPLET SPRAYING AND APPLYING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING APPLIED OBJECT}
도1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 액적 분사 도포 장치의 개략적인 구성을 도시하는 사시도.
도2는 도1에 도시한 액적 분사 도포 장치가 구비되는 액적 분사 도포 헤드 모듈을 도시하는 사시도.
도3은 도2에 도시한 액적 분사 도포 헤드 모듈의 일부인 액적 분사 도포 헤드의 구조를 도시하는 단면도.
도4는 충전 지그에 장착한 액적 분사 도포 헤드 모듈에 있어서, 액적 분사 도포 헤드를 도2에 도시한 상태로부터 90°회전시킨 상태를 도시하는 사시도.
도5는 충전 지그에 장착한 액적 분사 도포 헤드 모듈에 있어서, 액적 분사 도포 헤드를 도4에 도시한 상태로부터 90°회전시킨 상태를 도시하는 사시도.
도6은 종래예의 액적 분사 도포 헤드 모듈을 도시하는 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 액적 분사 도포 장치
3 : 액적 분사 도포 헤드 모듈
4 : 지지부
6 : 보유 지지부
12 : 피도포체
13 : 액적 분사 도포 헤드
14 : 탱크
17 : 연결 부재
18 : 회전식 커플링
20 : 액실
24 : 노즐
26 : 공급로
[문헌 1] 일본 특허 공개 제2004-31070호 공보
본 발명은 액적 분사 도포 헤드 모듈, 액적 분사 도포 장치 및 도포체의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 액정 디스플레이 패널이나 유기 EL(일렉트로루미네센스) 디스플레이 패널 등의 도포체를 제조하기 위해 사용하는 액적 분사 도포 헤드 모듈, 이 액적 분사 도포 헤드 모듈을 구비하는 액적 분사 도포 장치 및 이 액적 분사 도포 장치를 이용하는 도포체의 제조 방법에 관한 것이다.
문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 유기 EL 디스플레이 패널을 제조할 때에 사용하는 액적 분사 도포 장치가 알려져 있다.
이 액적 분사 도포 장치는 고분자 발광 재료 등의 착색제를 용매에 용해한 액체를 액적 분사 도포 헤드의 노즐로부터 액적으로서 분사하고, 분사한 액적을 기판의 표면에 도포하고, 기판 표면에 도포한 액적 중의 용매를 증발시킴으로써 착색제의 막을 기판 상에 잔류시켜 유기 EL 디스플레이 패널을 제조하고 있다.
이와 같은 액적 분사 도포 장치에 있어서는, 도6에 도시한 바와 같은 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)을 사용할 경우가 있다.
이 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)은 액적 분사 도포 헤드(101)와, 버퍼 탱크(102)와, 장치 고정부(103)를 구비하고 있다. 액적 분사 도포 헤드(101)와 장치 고정부(103)가 나사 고정되고, 액적 분사 도포 헤드(101)와 버퍼 탱크(102)가 가요성인 공급 파이프(104)에 의해 접속되어 있다.
액적 분사 도포 헤드(101)는 하우징(105)과, 하우징(105)의 한 면에 고정된 노즐 플레이트(106)를 갖고 있다. 하우징(105) 내에는 복수의 액실(도시 생략)이 형성되고, 각 액실에 대응하여 복수의 압전 소자(도시 생략)가 마련되어 있다. 노즐 플레이트(106)에는, 각 액실에 연통하는 복수의 노즐(도시 생략)이 형성되어 있다.
버퍼 탱크(102) 내에는 착색제를 용매에 용해한 액체(예를 들어, 잉크)가 수용되고, 이 액체가 공급 파이프(104) 내를 통해 하우징(105) 내의 액실에 공급된다. 버퍼 탱크(102)에는 메인 탱크(도시 생략)가 접속되고, 버퍼 탱크(102) 내의 액체는 메인 탱크로부터 보급된다.
액적 분사 도포 헤드 모듈(100)을 액적 분사 도포 장치에 설치할 경우, 이 설치 전에 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)에 대해 액체를 충전한다. 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)에 액체를 충전할 경우, 액실이나 노즐 내에 기포가 쉽게 들어가 들어간 기포를 제거할 필요가 있다.
따라서, 이 기포를 제거하기 위해 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)에 대해 액체를 충전하는 작업을, 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)을 충전 지그에 장착하여 행한다. 충전 지그에 장착된 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)은 버퍼 탱크(102)가 위치 고정되게 지지되고, 액적 분사 도포 헤드(101)가 수직면 내에서 회전 가능하게 지지되어 있다.
충전 지그에 장착한 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)에 액체를 충전한 후, 액적 분사 도포 헤드(101)를 수직면 내에서 회전시킨다. 이 회전에 의해 액실 내나 노즐 내에 존재하는 기포를 액실에 연통하여 마련되어 있는 배출 포트(107)측으로 이동시키고, 배출 포트(107)를 개방함으로써 기포를 액적 분사 도포 헤드(101) 밖으로 배출시킨다.
이로 인해, 액적 분사 도포 헤드(101)와 버퍼 탱크(102)를 접속하고 있는 가요성인 공급 파이프(104)는 버퍼 탱크(102)를 위치 고정되게 지지하고, 액적 분사 도포 헤드(101)를 수직면 내에서 회전시켜도 지장이 발생되지 않는 정도의 길이를 갖고 있다.
충전 지그에 설치한 액적 분사 도포 헤드(101)를 회전시켜 배출 포트(107)로 부터 기포를 배출시킨 후, 노즐로부터 액체를 유출시키는 퍼지 처리를 행한다. 이 퍼지 처리에서는 노즐이 상향이 되는 위치로 액적 분사 도포 헤드(101)를 회전시키고, 버퍼 탱크(102) 내에 압력을 가하여 노즐로부터 액체를 유출시킨다. 이 퍼지 처리에 의해 액실 내나 노즐 내에 기포가 잔류되어 있을 경우에는, 그 기포가 액체와 함께 노즐로부터 배출된다.
액적 분사 도포 헤드(101)를 회전시킴으로써 배출 포트(107)로부터의 기포의 배출 처리와, 노즐로부터 액체를 유출시키는 퍼지 처리가 종료된 후, 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)을 충전 지그로부터 제거하여 액적 분사 도포 장치에 설치한다.
기포의 배출 처리와 퍼지 처리가 종료된 후는, 액적 분사 도포 헤드 모듈(100) 내에 충전되어 있는 액체 중에는 기포가 존재하지 않고, 액적 분사 도포 장치에 설치된 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)의 일부인 액적 분사 도포 헤드(101)의 노즐로부터의 액적의 분사를 분사하지 않거나 분사 불량을 발생시키는 일 없이 행할 수 있다.
그러나, 상술한 액적 분사 도포 헤드 모듈(100) 및 이 액적 분사 도포 헤드 모듈을 이용한 액적 분사 도포 장치에서는, 이하의 점에 대해 배려가 이루어지지 않고 있다.
충전 지그로의 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)의 착탈 및 액적 분사 도포 장치로의 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)을 설치할 때, 액적 분사 도포 헤드(101)와 버퍼 탱크(102)를 별개로 행하고 있으므로, 수고스럽다.
또한, 액적 분사 도포 헤드(101)와 버퍼 탱크(102)를 접속하고 있는 공급 파이프(104)가 길기 때문에, 액적 분사 도포 헤드 모듈(100)을 충전 지그로부터 제거하고, 액적 분사 도포 장치에 설치할 때까지의 작업 중에 공급 파이프(104)가 다른 부재에 충돌하는 것이 쉽게 발생된다. 이 작업 중에 공급 파이프(104)가 다른 부재에 충돌하면, 그 충돌에 수반하여 액적 분사 도포 헤드 모듈(100) 내의 액체에 압력 변동이 발생되고, 이 압력 변동에 의해 노즐의 선단부로부터 기체가 흡입되는 경우가 있다. 이와 같이 하여 흡입된 기체는 노즐로부터의 액적이 분사되지 않거나 분사 불량의 원인으로 된다.
본 발명은, 이러한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은 기체를 포함하지 않는 액체 충전을 수고스럽지 않고 용이하게 행할 수 있는 액적 분사 도포 헤드 모듈과, 이 액적 분사 도포 헤드 모듈을 이용한 액적 분사 도포 장치 및 이 액적 분사 도포 장치를 이용한 도포체의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제1 특징은 액적 분사 도포 헤드 모듈에 있어서, 액체를 수용하는 액실과, 상기 액실에 연통되는 복수의 노즐이 형성된 노즐 플레이트 및 배출 포트를 갖고, 상기 노즐로부터 액적을 분사하는 액적 분사 도포 헤드와, 상기 액실에 공급하는 액체를 수용하고 상기 액실에 연통되는 탱크를 구비하고, 상기 액적 분사 도포 헤드와 상기 탱크가 연결 부재에 의해 연결되고, 상기 연결 부재는 상기 탱크의 상대 위치를 회전 가능하게 고정하는 회전축을 갖고 있으며, 그 회전축의 축 주위로 상기 액적 분사 도포 헤드를 180도 회전시킨 경우에, 상기 배출 포트의 방향과 서로 다른 소정의 방향으로부터 상기 회전 전에 상기 배출 포트가 향하고 있던 방향으로 상기 노즐 플레이트의 방향이 이동하는 회전식 커플링을 갖습니다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제2 특징은 본 발명의 실시 형태에 관한 제1 특징의 액적 분사 도포 헤드 모듈을 지지하는 지지부와, 상기 노즐로부터 분사되는 상기 액적이 도포되는 피도포체를 보유 지지하는 보유 지지부를 구비하는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제3 특징은 도포체의 제조 방법에 있어서, 청구항 제3항에 기재된 액적 분사 도포 장치를 이용하고, 액적을 분사하여 피도포체에 도포하는 도포 공정을 갖는 것이다.
이하, 본 발명의 일 실시 형태를 도면을 이용하여 설명한다.
본 발명의 일 실시 형태에 관한 액적 분사 도포 장치(1)는 액체인 잉크를 수용하고, 이 잉크를 액적으로서 분사하고, 분사한 액적을 피도포체인 기판에 도포함으로써 도포체인 유기 EL 디스플레이 패널을 제조할 경우에 사용되는 장치이다. 또한, 이 액적 분사 도포 장치(1)는 유기 EL 디스플레이 패널에 있어서의 3색[R(적색), G(녹색), B(청색)]의 컬러막을 형성하는 영역의 주위에 흑색 프레임을 형성하기 위한 장치이다. 이로 인해, 이 액적 분사 도포 장치(1)로부터 액적으로서 분사되는 잉크는 흑색의 잉크 1색이다. 액적 분사 도포 장치(1)는, 도1에 도시한 바와 같이 베이스(2)와, 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)과, 지지부(4)와, 이동 기구(5)와, 보유 지지부인 기판 보유 지지 테이블(6)을 갖고 있다.
베이스(2)의 상면에는 지지부(4)와 이동 기구(5)와 메인 탱크(7)가 설치되어 있다. 지지부(4)는 문(門)형으로 형성되고, 이동 기구(5)를 걸치는 위치에 고정되어 있다. 지지부(4)에는 모터(도시 생략)의 구동에 의해 승강되는 승강 부재(8)가 Z축 방향(상하 방향)으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 승강 부재(8)에는 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)이 설치되어 있다. 메인 탱크(7)에는 액체인 흑색의 잉크가 수용되어 있다. 이 잉크는 흑색의 착색제를 용매에 용해하여 제작되어 있다.
이동 기구(5)는 Y축 방향 가이드판(9)과, Y축 방향 이동 테이블(10)과, X축 방향 이동 테이블(11)과, 기판 보유 지지 테이블(6)을 갖고 있다.
Y축 방향 가이드판(9)은 베이스(2)의 상면에 고정되어 있다. Y축 방향 가이드판(9)의 상면에는 Y축 방향으로 연장되는 안내 홈(9a)이 형성되어 있다.
Y축 방향 이동 테이블(10)은 Y축 방향 가이드판(9) 상에 배치되어 있다. Y축 방향 이동 테이블(10)의 하면에는 안내 홈(9a)에 이동 가능하게 결합하는 볼록부(도시 생략)가 형성되어 있다. Y축 방향 이동 테이블(10)은 이송 나사와 구동 모터를 이용한 이송 기구(도시 생략)에 의해, 안내 홈(9a)에 따라 Y축 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. Y축 방향 이동 테이블(10)의 상면에는 X축 방향으로 연장되는 안내 홈(10a)이 형성되어 있다.
X축 방향 이동 테이블(11)은 Y축 방향 이동 테이블(10) 상에 배치되어 있다. X축 방향 이동 테이블(11)의 하면에는 안내 홈(10a)에 이동 가능하게 결합하는 볼록부(도시 생략)가 형성되어 있다. X축 방향 이동 테이블(11)은 이송 나사와 구동 모터를 이용한 이송 기구(도시 생략)에 의해, 안내 홈(10a)에 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다.
기판 보유 지지 테이블(6)은 X축 방향 이동 테이블(11)의 상면에 고정되어 있다. 기판 보유 지지 테이블(6)의 상면에는 피도포체인 기판(12)이 싣고 내릴 수 있게 적재되어 있다. 기판 보유 지지 테이블(6)의 상면에 적재된 기판(12)은 기판 보유 지지 테이블(6)에 마련된 흡착 기구(도시 생략)에 의해 흡착되어 위치 고정되게 보유 지지되어 있다.
기판 보유 지지 테이블(6)은 X축 방향 이동 테이블(11) 및 Y축 방향 이동 테이블(10)과 함께 Y축 방향 가이드판(9) 상을 Y축 방향으로 이동 가능하다. 기판 보유 지지 테이블(6)은 기판 보유 지지 테이블(6) 상에 적재된 기판(12)이 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)의 하방에 위치하여 액적의 분사 도포가 행해지는 위치(도1에 도시한 위치)와, Y축 방향으로 이동하여 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)의 하방 위치로부터 어긋나 기판(12)의 싣고 내림이 행해지는 위치 사이에서 이동 가능하다.
액적 분사 도포 헤드 모듈(3)은, 도2에 도시한 바와 같이 액적 분사 도포 헤드(13)와, 탱크인 버퍼 탱크(14)와, 장치 고정부(15)를 구비하고 있다. 액적 분사 도포 헤드(13)와 장치 고정부(15)에는 지지 플레이트(16)가 나사 고정되고, 액적 분사 도포 헤드(13)와 장치 고정부(15)가 일체화되어 있다. 액적 분사 도포 헤드(13)와 버퍼 탱크(14)는 연결 부재(17)에 의해 연결되어 있다. 버퍼 탱크(14)와 연결 부재(17)의 연결은 버퍼 탱크(14)의 상단부측에 마련된 상단부측 프레임부(14a)와 연결 부재(17)의 일단부측을 나사 고정함으로써 행해지고 있다. 액적 분사 도포 헤드(13)와 연결 부재(17)의 연결은 액적 분사 도포 헤드(13)에 나사 고정된 지지 플레이트(16)와 연결 부재(17)의 타단부측 사이에 회전식 커플링(18)을 개재 장착하여 행해지고 있다. 이 회전식 커플링(18)이 마련됨으로써 연결 부재(17)에 대해 액적 분사 도포 헤드(13)와 장치 고정부(15)가 회전식 커플링(18)의 중심선 주위에 회전 가능하게 되어 있다.
도1에 도시한 바와 같이, 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)이 승강 부재(8)에 설치되어 액적 분사 도포 장치(1)가 구성되어 있을 경우에, 버퍼 탱크(14)와 메인 탱크(7)가 보급 파이프(19)에 의해 접속되고, 메인 탱크(7) 내의 잉크가 보급 파이프(19) 내를 통해 버퍼 탱크(14)에 보급된다. 버퍼 탱크(14) 내에 보급된 잉크는 후술하는 공급 파이프(26) 내를 통해 액적 분사 도포 헤드(13) 내의 후술하는 액실(20)에 공급된다.
액적 분사 도포 헤드(13)는, 도3에 도시한 바와 같이 버퍼 탱크(14)로부터 공급된 잉크를 수용하는 복수의 액실(20)과, 각 액실(20)의 벽의 일부를 형성하는 다이어프램(21)과, 각 액실(20)에 대응하여 다이어프램(21)에 접촉하는 위치에 마련된 복수의 압전 소자(22)와, 각 액실(20)의 벽의 일부를 형성하는 노즐 플레이트(23)를 구비하고 있다. 노즐 플레이트(23)에는, 각 액실(20)에 연통하는 복수의 노즐(24)이 형성되어 있다. 또한, 액적 분사 도포 헤드(13)에는 액실(20)에 연통하는 배출 포트(25)가 마련되어 있다.
액적 분사 도포 헤드(13)에 있어서는 압전 소자(22)에 전압이 인가됨으로써 압전 소자(22)가 수축되는 방향으로 변형되고, 이 변형에 의해 다이어프램(21)이 액실(20)의 용적을 크게 하는 방향으로 휘어져 용적이 커진 액실(20) 내에 수용되는 잉크량이 증가된다. 그 후, 전압의 인가를 차단함으로써 수축된 압전 소자(22)를 복원시켜 액실(20)의 용적을 복원시키는(작게 하는) 동시에 액실(20) 내의 잉크의 일부를 노즐(24)로부터 액적(E)으로서 분사시킨다. 노즐(24)로부터 분사된 액 적(E)은 기판(12) 상의 목적으로 하는 프레임 위치에 도포된다.
버퍼 탱크(14)와 액적 분사 도포 헤드(13)는 공급로인 공급 파이프(26)에 의해 접속되어 있다. 이 공급 파이프(26)를 통해 버퍼 탱크(14) 내의 잉크가 액적 분사 도포 헤드(13)의 액실(20)에 공급된다. 버퍼 탱크(14)와 액적 분사 도포 헤드(13) 사이에 배관되어 있는 공급 파이프(26)는, 그 배관의 도중에 회전식 커플링(18)의 회전 중심을 포함하는 위치에 형성된 중공부(도시 생략)에 삽입 관통되어 있다. 이에 의해, 회전식 커플링(18)을 경계로서 액적 분사 도포 헤드(13)측이 회전할 경우, 공급 파이프(26)는 아무런 영향을 받는 일이 없다. 공급 파이프(26)의 도중에는 잉크 속의 이물질을 제거하기 위한 필터(도시하지 않음)를 수용하는 필터 수용부(27)가 마련되어 있다.
이와 같은 구성에 있어서, 도1은 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)이 승강 부재(8)에 마련되고, 기판 보유 지지 테이블(6) 상에 적재된 기판(12)이 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)의 하방에 위치하고 있는 상태를 도시하고 있다. 이 상태로부터, 압전 소자(22)에 전압을 인가하여 노즐(24)로부터 액적을 분사시키는 동시에, 이동 기구(5)를 구동시켜 기판(12)을 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시킴으로써, 기판(12) 상의 목적으로 하는 위치에 흑색 프레임을 형성할 수 있다.
액적 분사 도포 헤드 모듈(3)을 승강 부재(8)에 설치할 경우, 이 설치 전에 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)에 대해 잉크를 충전한다. 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)에 잉크를 충전할 경우, 액실(20)이나 노즐(24)에 기포가 쉽게 들어가, 들어간 기포를 제거할 필요가 있다. 따라서, 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)에 대해 잉 크를 충전하는 작업을, 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)을 충전 지그(도시 생략)에 장착하여 행한다. 충전 지그에 장착된 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)은 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)의 장치 고정부(15)에 설치되어 있는 장착편(28)을 충전 지그의 회전부에 나사 고정되고, 버퍼 탱크(14)가 충전 지그의 지지부에 의해 보유 지지된다. 도2는 충전 지그에 장착된 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)의 자세를 나타내고 있다. 또한, 충전 지그에는 잉크를 충전하기 위한 기구(도시 생략)가 마련되어 있고, 이 기구가 버퍼 탱크(14)의 보급구(29)에 접속되어 있다.
도4는, 도2의 상태로부터 충전 지그의 회전부를 90°회전시킨 상태를 도시하고 있다. 충전 지그에 장착되어 있는 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)은 회전식 커플링(18)을 경계로 하여 액적 분사 도포 헤드(13)측만이 90°회전하고, 버퍼 탱크(14) 및 연결 부재(17)는 위치가 움직이지 않게 유지된다.
도5는, 도4의 상태로부터 충전 지그의 회전부를 90°(도2의 상태로부터 180°) 더 회전시킨 상태를 도시하고 있다. 이 경우도, 충전 지그에 장착되어 있는 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)은 회전식 커플링(18)을 경계로 하여 액적 분사 도포 헤드(13)측만이 90°더 회전하고, 버퍼 탱크(14) 및 연결 부재(17)는 위치가 움직이지 않게 유지된다.
충전 지그에 장착된 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)의 액적 분사 도포 헤드(13)를, 도2에 도시한 위치로부터 도4에 도시한 위치로 90°회전시키고, 또한 도4에 도시한 위치로부터 도5에 도시한 위치로 90°회전시키고, 도5에 도시한 위치로부터 도2에 도시한 위치로 180°회전시킴으로써, 액실(20) 내나 노즐(24) 내에 존 재하는 기포를 배출 포트(25)측으로 이동시킬 수 있다. 그리고, 배출 포트(25)가 도2에 도시한 바와 같이 상향의 위치가 된 시점에서 배출 포트(25)를 개방하고, 배출 포트(25)의 위치로 이동되어 있는 기포를 액적 분사 도포 헤드(13) 외부로 배출 할 수 있다.
또한, 배출 포트(25)로부터 기포를 배출한 후, 배출 포트(25)를 폐쇄하여 다시 액적 분사 도포 헤드(13)측을 회전시키고, 도5에 도시한 바와 같이 노즐(24)이 상방으로 된 위치에서 버퍼 탱크(14) 내의 잉크를 가압하여 액실(20) 내 및 노즐(24) 내의 잉크를 노즐(24)로부터 유출시키는 퍼지 처리를 행한다. 이 퍼지 처리에 의해 액실(20) 내나 노즐(24) 내에 기포가 존재되어 있을 경우에, 그 기포가 배출된다.
액적 분사 도포 헤드(13)측을 회전시킴으로써 기포의 배출 처리와, 노즐(24)로부터의 퍼지 처리를 행함으로써, 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)에 기포를 포함하지 않는 잉크를 충전할 수 있다.
이와 같이 하여 잉크를 충전한 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)을 충전 지그로부터 제거하고, 충전 지그로부터 제거한 잉크 충전 완료의 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)을 승강 부재(8)에 설치한다.
이 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)은 액적 분사 도포 헤드(13)와 버퍼 탱크(14)가 연결 부재(17)에 의해 연결되어 있기 때문에, 충전 지그로의 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)의 장착 및 충전 지그로부터의 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)의 제거하고 및 승강 부재(8)로의 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)의 설치를, 각각 1회의 조작에 의해 수고스럽지 않고 용이하게 행할 수 있다.
또한, 연결 부재(17)와 액적 분사 도포 헤드(13) 사이에 회전식 커플링(18)이 개재 장착되어 있기 때문에, 이 회전식 커플링(18)을 경계로 하여 액적 분사 도포 헤드(13)만을 회전시킬 수 있어 기포를 배출하기 위한 액적 분사 도포 헤드(13)의 회전 조작을 용이하게 행할 수 있다.
또한, 버퍼 탱크(14)와 액적 분사 도포 헤드(13) 사이에 배관되어 있는 공급 파이프(26)가 회전식 커플링(18)의 회전 중심을 포함하는 위치에 형성된 중공부(도시 생략)에 삽입 관통되어 있기 때문에, 공급 파이프(26)를 액적 분사 도포 헤드(13)의 회전에 영향받는 일 없이 배관할 수 있고, 게다가 배관 길이를 짧게 할 수 있다. 그리고, 공급 파이프(26)의 길이가 짧아짐으로써, 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)의 착탈 작업 중에 공급 파이프(26)가 다른 부재에 충돌하는 일이 발생되기 어렵고, 공급 파이프(26)가 다른 부재에 충돌함으로써 발생되는 액적 분사 도포 헤드 모듈(3) 내의 액체의 압력 변동을 방지할 수 있어, 이 압력 변동에 의해 노즐(24)의 선단부로부터 기체가 흡입되는 현상의 발생을 방지할 수 있다.
공급 파이프(26)의 도중에는 필터가 배치되어 있으므로, 잉크 속에 이물질이 존재될 경우에는 그 이물질을 필터로 제거할 수 있어, 이물질을 포함하지 않는 잉크를 액적 분사 도포 헤드(13)에 공급할 수 있다.
또한, 상술한 실시 형태에서는 유기 EL 디스플레이 패널을 제조할 경우에 있어서, 기판(12)에 흑색 프레임을 형성하기 위한 흑색 잉크를 분사하여 도포하는 액적 분사 도포 헤드 모듈(3) 및 이 액적 분사 도포 헤드 모듈(3)을 이용한 액적 분 사 도포 장치(1)를 예로 들어 설명하였지만, 기판(12)에 3색[R(적색), G(녹색), B(청색)]의 컬러막을 형성할 경우에 사용하는 액적 분사 도포 헤드 모듈 및 액적 분사 도포 장치에 있어서도 본 발명을 적용할 수 있다.
또한, 상술한 실시 형태에서는 도포체로서 유기 EL 디스플레이 패널을 제조할 경우를 예로 들어 설명하였지만, 이 액적 분사 도포 헤드 모듈 및 액적 분사 도포 장치는 도포체로서 액정 디스플레이 패널을 제조할 경우에도 적용할 수 있는 것이다.
본 발명에 따르면, 액적 분사 도포 헤드 모듈로의 기포를 포함하지 않는 액체 충전을 수고스럽지 않고 용이하게 행할 수 있어, 이 액적 분사 도포 헤드 모듈을 이용한 액적의 분사 및 도포를 양호하게 행할 수 있다.

Claims (4)

  1. 액체를 수용하는 액실과, 상기 액실에 연통되는 복수의 노즐이 형성된 노즐 플레이트 및 배출 포트를 갖고, 상기 노즐로부터 액적을 분사하는 액적 분사 도포 헤드와,
    상기 액실에 공급하는 액체를 수용하고 상기 액실에 연통되는 탱크를 구비하고,
    상기 액적 분사 도포 헤드와 상기 탱크가 연결 부재에 의해 연결되고,
    상기 연결 부재는 상기 탱크의 상대 위치를 회전 가능하게 고정하는 회전축을 갖고 있으며, 그 회전축의 축 주위로 상기 액적 분사 도포 헤드를 180도 회전시킨 경우에, 상기 배출 포트의 방향과 서로 다른 소정의 방향으로부터 상기 회전 전에 상기 배출 포트가 향하고 있던 방향으로 상기 노즐 플레이트의 방향이 이동하는 회전식 커플링을 갖는 것을 특징으로 하는 액적 분사 도포 헤드 모듈.
  2. 제1항에 있어서, 상기 탱크 내의 액체가 상기 액실에 공급되는 공급로 중에 필터가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 분사 도포 헤드 모듈.
  3. 제1항 또는 제2항에 기재된 액적 분사 도포 헤드 모듈을 지지하는 지지부와,
    상기 노즐로부터 분사되는 상기 액적이 도포되는 피도포체를 보유 지지하는 보유 지지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액적 분사 도포 장치.
  4. 제3항에 기재된 액적 분사 도포 장치를 이용하여, 액적을 분사하여 피도포체에 도포하는 도포 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 도포체의 제조 방법.
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