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KR100855203B1 - 테스트 트레이 및 그를 이용한 테스트 핸들러 장비 - Google Patents

테스트 트레이 및 그를 이용한 테스트 핸들러 장비 Download PDF

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KR100855203B1
KR100855203B1 KR1020070007178A KR20070007178A KR100855203B1 KR 100855203 B1 KR100855203 B1 KR 100855203B1 KR 1020070007178 A KR1020070007178 A KR 1020070007178A KR 20070007178 A KR20070007178 A KR 20070007178A KR 100855203 B1 KR100855203 B1 KR 100855203B1
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KR
South Korea
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test
test tray
tray
frame
transfer
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윤대곤
김용선
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미래산업 주식회사
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Abstract

본 발명은 테스트 트레이를 순차적으로 이동시키면서 가열 또는 냉각하기 위한 제1챔버부 상기 제1챔버부로부터 테스트 트레이를 공급받아 테스트 트레이에 로딩된 반도체 소자를 테스트하는 테스트부 상기 테스트부로부터 테스트 트레이를 공급받고 공급받은 테스트 트레이를 순차적으로 이동시키면서 냉각 또는 가열하기 위한 제2챔버부 수직상태를 유지하면서 상기 제1챔버부, 테스트부 및 제2챔버부를 이동하는 테스트 트레이를 포함하여 이루어지며, 상기 테스트 트레이는 상기 제1챔버부, 테스트부, 및 제2챔버부 사이를 가로 방향으로 이동가능하게 형성되는 동시에, 상기 제1챔버부, 테스트부, 및 제2챔버부 사이를 세로 방향으로 이동가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비, 및 테스트 핸들러 장비에 이용되는 테스트 트레이에 관한 것으로서,
본 발명에 따르면, 테스트 핸들러 장비의 구성이 변경될 경우 이송기구를 적절히 변경하여 사용할 수 있도록 함으로써 테스트 핸들러 장비가 변경되더라도 별도로 테스트 트레이를 제작할 필요가 없게 된다.
테스트 핸들러, 테스트 트레이

Description

테스트 트레이 및 그를 이용한 테스트 핸들러 장비{Test Tray and Test Handler Device using the same}
도 1은 종래의 일 형태에 의한 테스트 핸들러 장비에서 테스트 트레이가 이송되는 경로를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 종래의 다른 형태에 의한 테스트 핸들러 장비에서 테스트 트레이가 이송되는 경로를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비에서 테스트 트레이가 이송되는 경로를 개략적으로 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비에서 테스트 트레이가 이송되는 경로를 개략적으로 도시한 것이다.
도 5 내지 도 10은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 테스트 트레이의 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비의 제1이송장치를 도시한 것이다.
도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비의 제2이송장치를 도시한 것이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비의 제3이송 장치를 도시한 것이다.
<도면의 주요부에 대한 설명>
100: 제1챔버부 200: 테스트부
300: 제2챔버부 400: 프레임
510: 제1구조물 520: 바퀴
530: 제2구조물 540: 제1돌출부재
550: 제3구조물 555: 제2돌출부재
700: 제1이송장치 800: 제2이송장치
900: 제3이송장치
본 발명은 테스트 핸들러 장비에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 테스트 핸들러 장비에서 각각의 공정 장비로 반도체 소자를 이송하는 테스트 트레이에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 또는 비메모리 반도체 소자, 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)들은 생산 후 여러 가지 테스트 과정을 거친 후 출하되게 되는데, 이와 같은 반도체 소자 및 모듈 아이씨를 외부의 테스트부에 전기적으로 접촉하여 테스트하는데 사용되는 장치를 테스트 핸들러 장비라고 한다.
테스트 핸들러 장비는 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에서 고온 또는 저온의 극한 상태의 환경을 조성함으로써 반도체 소자 및 모듈 아이씨 등이 이러한 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온테스트를 수행할 수 있도록 개발되고 있다.
이와 같은 테스트 핸들러 장비는 반도체 소자를 수용하고 수용된 반도체 소자를 각각의 공정장비로 이송하기 위해서 테스트 트레이를 포함하게 된다. 따라서, 테스트 트레이에 반도체 소자를 로딩하고, 테스트 트레이에 로딩된 상태에서 반도체 소자를 테스트하고, 테스트가 완료되면 테스트 트레이로부터 반도체 소자를 언로딩하는 공정을 통해 반도체 소자의 테스트가 이루어지게 된다.
이하에서는, 도면을 참조로 종래의 테스트 핸들러 장비에 대해서 구체적으로 설명하기로 한다.
이하 설명할 도 1 및 도 2에서, 테스트 트레이에 부여한 도면번호는 테스트 트레이가 이송되는 위치에서의 공정장비를 나타내는 것이다.
도 1은 종래의 일 형태에 의한 테스트 핸들러 장비에서 테스트 트레이가 이송되는 경로를 개략적으로 도시한 것으로서, 도 1은 테스트 트레이가 수직으로 세워진 채 테스트 핸들러 장비 전체에서 가로 방향으로 이동하는 방식에 관한 것이다.
도 1에서 알 수 있듯이, 종래의 일 형태에 의한 테스트 핸들러 장비는 로더부(10), 히팅부(20), 테스트부(30), 냉각부(40) 및 언로더부(50)를 포함하여 이루 어진다.
이와 같은 구성의 테스트 핸들러 장비의 작용을 설명하면 다음과 같다.
우선, 상기 로더부(10)에서 수평상태의 테스트 트레이에 반도체 소자를 로딩하고, 반도체 소자가 로딩된 테스트 트레이를 히팅부(20)의 상측으로 이동시킨 후 90도 회전하여 테스트 트레이를 수직상태로 위치시킨다.
그 후, 수직상태의 테스트 트레이를 하측의 히팅부(20)로 진입시킨 후 히팅부(20) 내에서 순차적으로 이동시켜 테스트 조건에 맞는 온도로 가열한다.
그 후, 수직상태의 테스트 트레이를 테스트부(30)로 이동시켜 테스트를 수행한다.
그 후, 수직상태의 테스트 트레이를 냉각부(40)로 이송하고, 냉각부(40) 내에서 순차적으로 이동시키면서 외부의 온도로 냉각한다.
그 후, 수직상태의 테스트 트레이를 90도 회전하여 테스트 트레이를 수평상태로 위치시킨 후 수평상태의 테스트 트레이를 언로딩부(50)로 이송하여 테스트 트레이로부터 반도체 소자를 언로딩함으로써 테스트 공정을 완성한다.
도 2는 종래의 다른 형태에 의한 테스트 핸들러 장비에서 테스트 트레이가 이송되는 경로를 개략적으로 도시한 것으로서, 도 2는 테스트 트레이가 테스트 핸들러 장비 전체에서 세로 방향으로 이동하는 방식에 관한 것이다.
도 2에서 알 수 있듯이, 종래의 다른 형태에 의한 테스트 핸들러 장비는 로더/언로더부(15), 히팅부(20), 테스트부(30) 및 냉각부(40)를 포함하여 이루어진다.
이와 같은 구성의 테스트 핸들러 장비의 작용을 설명하면 다음과 같다.
우선, 상기 로더/언로더부(15)에서 수평상태의 테스트 트레이에 반도체 소자를 로딩하고, 반도체 소자가 로딩된 테스트 트레이를 90도 회전하여 테스트 트레이를 수직상태로 위치시킨다.
그 후, 수직상태의 테스트 트레이를 상측의 히팅부(20)로 이송시킨 후 히팅부(20) 내에서 순차적으로 이동시켜 테스트 조건에 맞는 온도로 가열한다.
그 후, 수직상태의 테스트 트레이를 하측의 테스트부(30)로 이동시켜 테스트를 수행한다.
그 후, 수직상태의 테스트 트레이를 하측의 냉각부(40)로 이송하고, 냉각부(40) 내에서 순차적으로 이동시키면서 외부의 온도로 냉각한다.
그 후, 수직상태의 테스트 트레이를 상측으로 이송한 후 90도 회전하여 테스트 트레이를 수평상태로 위치시킨 후 로더/언로더부(15)에서 테스트 트레이로부터 반도체 소자를 언로딩함으로써 테스트 공정을 완성한다.
이상 도 1 및 도 2에서 알 수 있듯이, 테스트 트레이는 수직상태를 유지하면서 첫째, 히팅부(20) 내에서 순차적으로 이동되어야 하고, 둘째, 히팅부(20)에서 테스트부(30)로 이동되어야 하고, 셋째, 테스트부(30)에서 냉각부(40)로 이동되어야 하며, 넷째, 냉각부(40)내에서 순차적으로 이동되어야 한다.
따라서, 상기 각각의 경우에서 수직상태의 테스트 트레이를 이동시키기 위해서 테스트 핸들러 장비에 적절한 이송기구가 구비됨과 더불어 테스트 트레이 자체에도 상기 핸들러 장비에 구비된 이송기구와 결합하는 이송기구가 형성되게 된다.
그러나, 종래에는 도 1과 같이 테스트 트레이가 테스트 핸들러 장비 전체에서 가로 방향으로 이동하는 방식에서 적용되는 테스트 트레이의 이송기구와, 도 2와 같이 테스트 트레이가 테스트 핸들러 장비 전체에서 세로 방향으로 이동하는 방식에서 적용되는 테스트 트레이의 이송기구가 서로 별도의 테스트 트레이 이송기구를 구비하고 있어 테스트 트레이가 서로 호환가능하게 형성되지 못한다.
따라서, 도 1과 같은 방식의 테스트 핸들러 장비에 적용되는 테스트 트레이를 도 2와 같은 방식의 테스트 핸들러 장비에 적용할 수 없었고, 반대로 도 2와 같은 방식의 테스트 핸들러 장비에 적용되는 테스트 트레이를 도 1과 같은 방식의 테스트 핸들러 장비에 적용할 수 없다. 결국, 테스트 핸들러 장비의 트레이 이송방식이 변경됨에 따라 테스트 트레이를 별도로 다시 제작해야 하는 문제점이 있다.
또한, 테스트 트레이를 수직으로 세운 채 가로 방향으로 이송시키는 테스트 트레이 이송방법을 구현하는 테스트 핸들러는 테스트 사이트를 수직 방향으로 몇 단씩, 예를 들어 2, 3단씩 형성하여 테스트 용량을 증가시킬 수 있는 장점이 있지만, 도 1에서 확인되는 바와 같이 로더부와 언로더부, 및 히팅부와 냉각부가 장비의 가로방향으로 설치되어 테스트 핸들러가 가로방향으로 커지는 문제를 가지고 있다.
반면, 테스트 트레이가 수직으로 세워진 채 세로방향으로 이송되는 테스트 트레이 이송방법을 구현하는 테스트 핸들러는 히팅부 및 냉각부가 테스트부의 상, 하 방향으로 배치되기 때문에 장비가 매우 콤팩트해지는 장점은 있지만, 테스트부를 2, 3단씩 형성하면 장비의 높이가 너무 높아져 유지, 보수에 어려움이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서,
본 발명의 목적은 테스트 핸들러 장비의 테스트 트레이 이송방식이 변경되더라도 테스트 트레이를 별도로 다시 제작할 필요가 없는 범용적으로 호환가능한 테스트 트레이 및 그를 이용한 테스트 핸들러 장비를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 테스트 사이트에서 테스트 트레이가 수직으로 세워진 채 가로방향으로 이송되는 테스트 트레이 이송방식을 구현하는 테스트 핸들러의 장점과, 테스트 트레이가 수직으로 세워진 채 세로방향으로 이송되는 테스트 트레이 이송방식을 구현하는 테스트 핸들러의 장점을 최대한 살릴 수 있는 테스트 핸들러를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 테스트 트레이를 순차적으로 이동시키면서 가열 또는 냉각하기 위한 제1챔버부 상기 제1챔버부로부터 테스트 트레이를 공급받아 테스트 트레이에 로딩된 반도체 소자를 테스트하는 테스트부 상기 테스트부로부터 테스트 트레이를 공급받고 공급받은 테스트 트레이를 순차적으로 이동시키면서 냉각 또는 가열하기 위한 제2챔버부 수직상태를 유지하면서 상기 제1챔버부, 테스트부 및 제2챔버부를 이동하는 테스트 트레이를 포함하여 이루어지며, 상기 테스트 트레이는 상기 제1챔버부, 테스트부, 및 제2챔버부 사이를 가로 방향으로 이동가능하게 형성되는 동시에, 상기 제1챔버부, 테스트부, 및 제2챔버부 사 이를 세로 방향으로 이동가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비를 제공한다.
본 발명은 또한 반도체 소자를 수용하기 위한 적어도 하나의 캐리어를 구비한 프레임, 및 상기 프레임의 외주면에 탈착가능하게 형성되는 이송기구를 포함하여 이루어지며, 테스트 핸들러 장비 내에서 수직 상태를 유지하면서 가로 방향 및 세로방향으로 이동가능한 테스트 트레이를 제공한다.
이와 같이 본 발명은 제1챔버부, 테스트부, 및 제2챔버부 사이를 가로 방향으로도 이동가능하고 세로 방향으로도 이동가능한 테스트 트레이를 제공한데 특징이 있으며, 구체적으로는 테스트 트레이를 구성하는 이송기구를 프레임의 외주면에 탈착가능하게 형성함으로써 테스트 핸들러 장비의 구성이 변경될 경우 이송기구를 적절히 변경하여 사용할 수 있도록 함으로써 테스트 핸들러 장비가 변경되더라도 별도로 테스트 트레이를 제작할 필요가 없도록 한 것이다.
또한, 본 발명은 하나의 테스트 트레이를 테스트 사이트에 공급할 때는 테스트 트레이가 세로방향으로 이송되는 테스트 트레이 이송방식의 테스트 핸들러를 적용하고, 두 장 이상의 테스트 트레이를 테스트 사이트에 공급하여 테스트할 때는 테스트 트레이가 가로방향으로 이송되는 테스트 트레이 이송방식의 테스트 핸들러를 적용하여 테스트 핸들러의 효율을 향상시킨다.
이하 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비에서 테스트 트레이가 이송되는 경로를 개략적으로 도시한 것이고, 도 4는 본 발명의 다른 일 실시예 에 따른 테스트 핸들러 장비에서 테스트 트레이가 이송되는 경로를 개략적으로 도시한 것이다.
도 5 내지 도 10은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 테스트 트레이의 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비의 제1이송장치를 도시한 것이고, 도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비의 제2이송장치를 도시한 것이고, 도 13은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비의 제3이송장치를 도시한 것이다.
도 3 및 도 4에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 테스트 핸들러 장비(1)는 제1챔버부(100), 테스트부(200), 제2챔버부(300), 및 테스트 트레이(T)를 포함하여 이루어진다.
도시하지는 않았지만, 테스트 핸들러 장비(1)에는 소정의 로딩부가 있어 상기 로딩부에서 수평상태의 테스트 트레이(T)에 테스트할 반도체 소자가 로딩되고, 로딩이 완료된 테스트 트레이(T)는 90도 회전된 후 수직상태로 상기 제1챔버부(100)로 이송되게 된다.
상기 제1챔버부(100)는 테스트 트레이(T)를 순차적으로 이동시키면서 소정온도까지 가열 또는 냉각한다.
상기 테스트부(200)는 상기 제1챔버부(100)로부터 테스트 트레이(T)를 공급받아 테스트 트레이(T)에 로딩된 반도체 소자를 테스트하게 된다.
상기 제2챔버부(300)는 상기 테스트부(200)로부터 테스트 트레이(T)를 공급 받고 공급받은 테스트 트레이(T)를 순차적으로 이동시키면서 소정온도까지 냉각 또는 가열하게 된다.
한편, 도 3에서 알 수 있듯이, 상기 테스트부(200)는 수직으로 2단으로 형성될 수 있고, 이 경우에는 테스트 트레이(T)가 2단으로 제1챔버부(100), 테스트부(200) 및 제2챔버부(300)를 경유하여 이동하게 된다.
도시하지는 않았지만, 테스트 핸들러 장비(1)에는 소정의 언로딩부가 있어, 상기 제2챔버부(300)로부터 이송되는 테스트 트레이(T)가 90도 회전되어 수평상태로 상기 언로딩부로 이송되고 언로딩부에서 테스트 결과에 따라 반도체 소자를 테스트 트레이(T)로부터 언로딩하여 테스트 공정을 완료하게 된다.
상기 제1챔버부(100), 테스트부(200), 및 제2챔버부(300)는 도 3과 같이 장비 전체에서 가로방향으로 배치될 수도 있고, 도 4와 같이 장비 전체에서 세로 방향으로 배치될 수도 있다.
따라서 상기 테스트 트레이(T)는 수직상태를 유지하면서 상기 제1챔버부(100), 테스트부(200) 및 제2챔버부(300)를 가로방향 또는 세로방향으로 이동하게 되는데, 그 이동경로를 구체적으로 살펴보면, 첫째 상기 제1챔버부(100) 내부에서 순차적으로 이동하고, 둘째 상기 제1챔버부(100)에서 테스트부(200)로 이동하고, 셋째 상기 테스트부(200)에서 상기 제2챔버부(300)로 이동하고, 넷째 상기 제2챔버부 내부(300)에서 순차적으로 이동한다.
이와 같이, 테스트 트레이(T)는 상기 네 가지 구체적인 경로로 이동하게 되므로, 각각의 경로에서 적절한 이동을 위한 이동기구가 테스트 트레이(T)에 구비되 어 있으며, 상기 테스트 트레이(T)에 구비된 이동기구와 맞물리는 이송장치가 테스트 핸들러 장비(1)에 구비되어 있다.
이와 같은 테스트 트레이(T)에 구비된 이동기구 및 테스트 핸들러 장비(1)에 구비된 이송장치에 대해서는 도 5 내지 도 13을 참조하여 설명하기로 한다.
<제1실시예>
우선, 상기 제1챔버부(100)에서 테스트부(200)로의 둘째 경로 또는 상기 테스트부(200)에서 상기 제2챔버부(300)로의 셋째 경로에서 이동할 때 요구되는 테스트 트레이(T)의 이동기구 및 테스트 핸들러 장비(1)의 이송장치에 대해서 설명하기로 한다.
상기 둘째 경로 또는 셋째 경로는 제1챔버부(100)에서 테스트부(200) 또는 테스트부(200)에서 제2챔버부(300)로 이동하는 경로이므로 후술하는 상기 테스트 핸들러 장비(1)의 이송장치는 상기 공정부(100, 200, 300) 사이의 공간에 형성되게 된다.
또한, 상기 둘째 경로 또는 셋째 경로는 제1챔버부(100)에서 테스트부(200) 또는 테스트부(200)에서 제2챔버부(300)로 이동하는 경로로서, 테스트 핸들러 장비(1)가 도 3과 같이 가로방향으로 배열된 경우에는 테스트 트레이(T) 또한 가로방향으로 이동하고, 테스트 핸들러 장비(1)가 도 4와 같이 세로방향으로 배열된 경우에는 테스트 트레이(T) 또한 세로방향으로 이동한다. 따라서, 테스트 트레이(T)는 가로방향으로도 이동할 수 있고 세로방향으로 이동할 수 있는 이동기구를 구비해야 한다.
이하, 이동기구를 구비한 테스트 트레이(T) 및 테스트 핸들러 장비(1)의 이송장치에 대해서 구체적으로 설명한다.
도 5 및 도 6에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이(T)는 반도체 소자를 수용하기 위한 적어도 하나의 캐리어(450)를 구비한 프레임(400), 및 상기 프레임(400)의 외주면에 탈착가능하게 형성되는 이송기구(510, 530)를 포함하여 이루어진다.
상기 이송기구는 도 5와 같이, 상기 프레임(400)의 적어도 하나의 모서리부에 형성되며 이송홈(512)이 구비된 제1구조물(510)을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 이송기구는 도 6과 같이, 상기 프레임(400)의 적어도 하나의 모서리부에 형성되며 이송턱(532)이 구비된 제2구조물(530)을 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 상기 프레임(400)의 외주면에는 적어도 하나의 바퀴(520)가 추가로 형성될 수 있으며, 이 경우 바퀴(520)의 회전에 의해 테스트 트레이(T)의 이동이 보다 원활하게 된다.
이와 같이 이송홈(512)이 구비된 제1구조물(510)을 포함하여 이루어진 테스트 트레이(T)(도 5 참조) 또는 이송턱(532)이 구비된 제2구조물을 포함하여 이루어진 테스트 트레이(T)(도 6 참조)는 테스트 핸들러 장비의 이송장치와 맞물려서 상기 둘째 또는 셋째 경로에서 이동하게 되는바, 이하 상기 도 5 또는 도 6과 같은 테스트 트레이(T)와 맞물리는 테스트 핸들러 장비의 이송장치에 대해서 설명하기로 한다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비의 제1이송장치를 도시한 것으로서, 도 5 또는 도 6과 같은 테스트 트레이(T)와 맞물려서 테스트 트레이(T)를 이동시킬 수 있는 장치이다.
도 11에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 제1이송장치(700)는 상기 테스트 트레이(T)에 구비된 제1구조물(510)의 이송홈(512)(도 5 참조) 또는 상기 제2구조물(530)의 이송턱(532)(도 6 참조)과 결합되도록 연장된 제1이동부재(720)를 포함하여 이루어진다. 따라서, 상기 제1이동부재(720)가 상기 테스트 트레이(T)에 구비된 제1구조물(510)의 이송홈(512) 또는 상기 제2구조물(530)의 이송턱(532)과 결합한 상태에서 이동함으로써 상기 테스트 트레이(T)가 상기 제1챔버부(100)에서 상기 테스트부(200)로의 둘째 경로 또는 상기 테스트부(200)에서 상기 제2챔버부(300)로의 셋째 경로에서 적절한 이동이 가능하게 된다.
또한, 상기 제1이송장치(700)는 상기 제1이동부재(720)와 다른 방향으로 연장되어 형성되는 제2이동부재(730)를 추가로 구비할 수 있다. 상기 제2이동부재(730)는 상기 테스트 트레이(T)의 측면과 접촉하게 되며 그와 같이 접촉한 상태에서 상기 제2이동부재(730)가 이동함으로써 상기 테스트 트레이(T)가 이동하게 된다.
이와 같이 제1이송장치(700)가 상기 제1이동부재(720)와 더불어 제2이동부재(730)를 구비할 경우에는 2개의 테스트 트레이(T)를 동시에 이동시킬 수 있다. 예로서, 한 개의 테스트 트레이(T)가 제1챔버부(100)에 있고, 다른 한 개의 테스트 트레이(T)가 테스트부(200)에 있는 경우에, 상기 제1이동부재(720)는 상기 제1챔버부(100)에 있는 한 개의 테스트 트레이(T)를 테스트부(200)로 이동시키고 그와 동 시에 상기 제2이동부재(720)는 상기 테스트부(200)에 있는 다른 한 개의 테스트 트레이(T)를 상기 제2챔버부(300)로 이동시킬 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 테스트 핸들러 장비 구성이 도 3과 같이 가로방향으로 배열된 경우에는 상기 제1이동부재(720)를 포함하는 제1이송장치(700) 또한 가로방향으로 위치하여 테스트 트레이(T)를 가로방향으로 이동시키게 되고, 본 발명에 따른 테스트 핸들러 장비 구성이 도 4와 같이 세로방향으로 배열된 경우에는 상기 제1이동부재(720)를 포함하는 제1이송장치(700) 또한 세로방향으로 위치하여 테스트 트레이(T)를 세로방향으로 이동시키게 된다.
이상과 같이, 도 11에 따른 제1이송장치(700)는 도 5 또는 도 6과 같은 테스트 트레이(T)와 맞물려서 테스트 트레이(T)를 이동시킬 수 있는 이송장치에 관한 것으로서, 도 5 또는 도 6과 같은 테스트 트레이(T)가 반드시 도 11에 따른 제1이송장치(700)에 의해서만 이동되는 것은 아니고, 도 5와 같은 테스트 트레이(T)에서 제1구조물(510)의 이송홈(512) 또는 도 6과 같은 테스트 트레이(T)에서 제2구조물(530)의 이송턱(532)과 결합하여 테스트 트레이(T)를 이동시킬 수 있는 이송장치라면 어느 것이나 적용될 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 테스트 트레이는 가로 방향으로도 이동될 수 있고 세로방향으로도 이동될 수 있으며, 테스트 트레이가 가로 방향 및 세로 방향으로 이동될 때 전술한 제1이송장치가 양자 모두에 적용될 수도 있지만, 테스트 트레이가 가로 방향으로 이동될 때는 전술한 제1이송장치가 적용되고 테스트 트레이가 세로 방향으로 이동될 때에는 세로 방향으로 이동시킬 수 있는 다른 이송장치가 적용될 수 도 있으며 그 반대의 경우도 가능하다.
<제2실시예>
다음, 상기 제1챔버부(100) 내에서 순차적으로 이동하는 첫째 경로 또는 상기 제2챔버부(300) 내에서 순차적으로 이동하는 넷째 경로에서 이동할 때 요구되는 테스트 트레이(T)의 이동기구 및 테스트 핸들러 장비(1)의 이송장치에 대해서 설명하기로 한다.
상기 첫째 경로 또는 넷째 경로는 제1챔버부(100) 또는 제2챔버부(300) 내부에서 이동하는 경로이므로 후술하는 상기 테스트 핸들러 장비(1)의 이송장치는 상기 제1챔버부(100) 또는 제2챔버부(300) 내부에 형성되게 된다.
또한, 상기 첫째 경로 또는 넷째 경로는 제1챔버부(100) 또는 제2챔버부(300) 내부에서 이동하는 경로로서, 테스트 핸들러 장비(1)가 도 3과 같이 가로방향으로 배열된 경우나 도 4와 같이 세로방향으로 배열된 경우에 있어서 테스트 트레이(T)의 이동방향은 서로 동일하다.
도 7 및 도 8에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 테스트 트레이(T)는 반도체 소자를 수용하기 위한 적어도 하나의 캐리어(450)를 구비한 프레임(400), 및 상기 프레임(400)의 적어도 하나의 변에 탈착가능하게 형성된 적어도 하나의 제1돌출부재(540)를 포함하여 이루어진다.
상기 프레임(400)은 적어도 하나의 변에 적어도 하나의 수용홈(470)이 형성되어 있고, 상기 제1돌출부재(540)는 상기 프레임(400)의 수용홈(470) 내에 형성되게 된다.
도 7은 프레임(400)의 두개의 변에 복수개의 제1돌출부재(540)가 형성된 것이다.
도 8은 프레임(400)의 한개의 변에 복수개의 제1돌출부재(540)가 형성되고, 상기 프레임(400)의 적어도 하나의 모서리에 탈착가능하게 형성되며 제2돌출부재(555)를 구비한 제3구조물(550)을 추가로 포함하여 형성된 것이다.
이와 같이 제1돌출부재(540)를 구비한 테스트 트레이(T)(도 7참조) 또는 제1돌출부재(540) 및 제2돌출부재(550)를 구비한 테스트 트레이(T)(도 8참조)는 테스트 핸들러의 이송장치와 맞물려서 상기 첫째 또는 넷째 경로에서 이동하게 되는바, 이하 상기 도 7 또는 도 8과 같은 테스트 트레이(T)와 맞물리는 테스트 핸들러(1)의 이송장치에 대해서 설명하기로 한다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비의 제2이송장치를 도시한 것으로서, 도 7 또는 도 8과 같은 테스트 트레이(T)와 맞물려서 테스트 트레이(T)를 이동시킬 수 있는 장치이다.
도 12에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 제2이송장치(800)는 상기 테스트 트레이(T)의 제1돌출부재(540) 또는 제2돌출부재(555)와 접촉하는 스크류 형상의 홈(825)이 형성된 이송부재(820)를 구비한다. 따라서, 상기 제2이송장치(800)의 이송부재(820)가 회전하게 되면 상기 스크류 형상의 홈(825)을 통해 상기 제1돌출부재(540) 또는 제2돌출부재(555)가 이동하게 되어 결국 테스트 트레이(T)가 상기 제1챔버(100) 내부 또는 상기 제2챔버(300) 내부에서 순차적으로 이동하게 된다.
도 12는 하부에 두개의 이송부재(820)가 형성되고 상부에 두개의 이송부 재(820)가 형성된 모습이 도시되어 있는데, 하부에 형성된 이송부재(820)는 도 8의 제1돌출부재(540)와 결합되고 상부에 형성된 이송부재(820)는 도 8의 제2돌출부재(555)와 결합된다.
도 7과 같은 테스트 트레이(T)의 이송을 위해서는 도 12에서 상부에 형성된 이송부재(820)가 도 7의 측면에 형성된 제1돌출부재(540)와 결합되는 위치에 형성되어야 할 것이다.
한편, 도 12에 따른 제2이송장치(800)는 도 7 또는 도 8과 같은 테스트 트레이(T)와 결합하여 테스트 트레이(T)를 이동시킬 수 있는 이송장치에 관한 것으로서, 도 7 또는 도 8과 같은 테스트 트레이(T)가 반드시 도 12에 따른 제2이송장치(700)에 의해서만 이동되는 것은 아니고, 제1돌출부재(540) 또는 제2돌출부재(555)와 결합하여 테스트 트레이(T)를 이동시킬 수 있는 이송장치라면 어느 것이나 적용될 수 있다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 핸들러 장비의 제3이송장치(900)를 도시한 것이다.
도 13에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 제3이송장치(900)는 테스트 트레이(T)의 상면, 저면 및 측면과 접촉하면서 상기 테스트 트레이(T)를 소정간격씩 이동시키는 제1부재(910), 제2부재(920) 및 제3부재(930)를 포함하여 이루어진다.
상기 테스트 트레이(T)의 상면과 접촉하는 제1부재(910)는 장비 내에서 고정형성될 수 있고, 상기 테스트 트레이(T)의 저면과 접촉하는 제2부재(920)는 상하로 이동하는 제1서브부재(922) 및 좌우로 이동하는 제2서브부재(924)를 포함하여 이루 어질 수 있고, 상기 테스트 트레이(T)의 측면과 접촉하는 제3부재(930)는 좌우로 이동할 수 있다.
이와 같은 제1부재(910), 제2부재(920), 및 제3부재(930)를 포함하여 이루어진 상기 제3이송장치(900)가 테스트 트레이를 이동시키는 과정을 간략히 설명하면 다음과 같다.
우선 테스트 트레이(T)의 저면을 제2부재(920) 중 제1서브부재(922)가 들어올린다. 그러면, 테스트 트레이(T)의 상면이 상기 제1부재(910)와 결합하고 테스트 트레이(T)의 저면은 제2부재(920) 중 제1서브부재(220)와 결합한다. 상기와 같이 테스트 트레이(T)가 결합된 상태에서 제2부재(920) 중 제2서브부재(924)가 한 스텝 이동한다. 그 후, 상기 제2부재(920) 중 제1서브부재(922)가 하강한다. 그러면, 테스트 트레이(T)가 하강하여 테스트 트레이(T)의 저면이 제2서브부재(924)와 결합한다. 그 후, 제2서브부재(924)가 한 스텝 이동한다. 이와 같은 과정을 반복함으로써 테스트 트레이(T)가 한스텝씩 이동하게 된다. 상기 테스트 트레이(T)의 측면과 접하는 제3부재(930)는 상기 제1부재(910) 또는 제2부재(920)가 테스트 트레이(T)와 접촉할 때 함께 접촉하여 테스트 트레이(T)의 지지력을 보다 강화하는 역할을 하게 된다.
이와 같이 도 13에 따른 제3이송장치(900)는 상기 테스트 트레이(T)의 상면, 저면 및 측면과 접촉하면서 상기 테스트 트레이(T)를 소정간격씩 이동시키기 때문에 테스트 트레이(T) 자체에는 특별한 이동기구가 별도로 요하지는 않는다. 즉, 도 13에 따른 제3이송장치(900)가 적용될 경우에는 도 7에서와 같은 제1돌출부재(540) 또는 도 8에서와 같이 제1돌출부재(540)와 제2돌출부재(550)가 반드시 필요한 것은 아니다.
상기 도 13에 따른 제3이송장치(900)의 구체적인 구성은 본 출원인이 선출원한 공개특허 제2006-118824호를 보면 보다 명확히 이해할 수 있을 것이다. 다만, 도 13에 따른 제3이송장치(900)가 공개특허 제2006-118824호로 한정되는 것은 아니다.
<제3실시예>
전술한 제1실시예에서, 도 5 및 도 6에 따른 테스트 트레이(T)는 상기 제1챔버부(100)에서 테스트부(200)로의 둘째 경로 또는 상기 테스트부(200)에서 상기 제2챔버부(300)로의 셋째 경로에서 이동할 때 요구되는 이동기구를 구비한 테스트 트레이(T)에 관한 것이고, 도 11은 도 5 및 6에 따른 테스트 트레이(T)와 맞물려 테스트 트레이(T)를 이동시키기 위한 제1이송장치(700)에 관한 것이다.
전술한 제2실시예에서, 도 7 및 도 8에 따른 테스트 트레이(T)는 상기 제1챔버부(100) 내에서 순차적으로 이동하는 첫째 경로 또는 상기 제2챔버부(300) 내에서 순차적으로 이동하는 넷째 경로에서 이동할 때 요구되는 이동기구를 구비한 테스트 트레이(T)에 관한 것이고, 도 12 및 도 13은 각각 도 7 및 도 8에 따른 테스트 트레이(T)와 결합하여 테스트 트레이(T)를 이동시키기 위한 제2이송장치(800) 및 제3이송장치(900)에 관한 것이다.
따라서, 상기 첫째 경로, 둘째 경로, 셋째 경로, 및 넷째 경로 모두에서 테스트 트레이가 이동하기 위해서는 상기 도 5 내지 도 8에 개시된 테스트 트레이(T) 의 이동기구를 적절히 조합할 필요가 있다.
도 9 및 도 10은 이와 같이 모든 경로에서 테스트 트레이가 이동할 수 있도록 도 5 내지 도 8에 개시된 테스트 트레이(T)의 이동기구를 적절히 조합한 일 실시예에 따른 테스트 트레이(T)에 관한 것이다. 다만, 모든 경로에서 테스트 트레이가 이동하기 위한 테스트 트레이(T)의 구조가 도 9 및 도 10으로 한정되는 것은 아니다.
도 9에 따른 테스트 트레이는 반도체 소자를 수용하기 위한 적어도 하나의 캐리어(450)를 구비한 프레임(400), 상기 프레임(400)의 적어도 하나의 모서리부에 형성되며 이송홈(512)이 구비된 제1구조물(510), 상기 프레임(400)의 외주면에 형성된 적어도 하나의 바퀴(520), 상기 프레임(400)의 한 개의 변의 수용홈(470)에 형성된 복수개의 제1돌출부재(540), 상기 프레임(400)의 적어도 하나의 모서리에 형성된 제2돌출부재(555)를 구비한 제3구조물(550), 상기 프레임(400)의 일변에 탈착가능하게 형성되는 제1측면부재(610), 제2측면부재(620) 및 제3측면부재(630)를 포함하여 이루어진다.
상기 제1구조물(510), 제1돌출부재(540), 제3구조물(550), 제1측면부재(610), 제2측면부재(620) 및 제3측면부재(630)는 상기 프레임(400)으로부터 탈착가능하게 형성될 수 있으므로, 상기 테스트 트레이(T)와 결합되는 테스트 핸들러 장비의 이송장치에 맞게 적절히 부착 또는 탈착하여 사용할 수 있다. 따라서, 테스트 핸들러 장비의 구성이 변경되더라도 테스트 트레이(T)를 적절히 변형하여 사용할 수 있기 때문에 별도의 테스트 트레이를 제작할 필요가 없게 된다.
도 10에 따른 테스트 트레이는 반도체 소자를 수용하기 위한 적어도 하나의 캐리어(450)를 구비한 프레임(400), 상기 프레임(400)의 외주면에 형성된 적어도 하나의 바퀴(520), 상기 프레임(400)의 적어도 하나의 모서리부에 형성되며 이송턱(532)이 구비된 제2구조물(530), 상기 프레임(400)의 두개의 변의 수용홈(470)에 형성된 복수개의 제1돌출부재(540), 상기 프레임(400)의 일변에 탈착가능하게 형성되는 제1측면부재(610), 제2측면부재(620) 및 제4측면부재(640)를 포함하여 이루어진다.
상기 제2구조물(530), 제1돌출부재(540), 제1측면부재(610), 제2측면부재(620) 및 제3측면부재(630)는 상기 프레임(400)으로부터 탈착가능하게 형성될 수 있으므로, 상기 테스트 트레이(T)와 결합되는 테스트 핸들러 장비의 이송장치에 맞게 적절히 부착 또는 탈착하여 사용할 수 있다. 따라서, 테스트 핸들러 장비의 구성이 변경되더라도 테스트 트레이(T)를 적절히 변형하여 사용할 수 있기 때문에 별도의 테스트 트레이를 제작할 필요가 없게 된다.
또한, 본 발명의 테스트 핸들러는 테스트 사이트에서 하나의 테스트 트레이를 사용하여 테스트할 경우, 테스트 트레이가 세워진 채 세로방향으로 공급되는 테스트 트레이 이송방식의 핸들러를 사용하고, 그보다 많은 반도체 소자를 테스트할 경우, 예를 들어, 두 장의 테스트 트레이를 테스트 사이트에 공급하여 테스트할 경우, 테스트 트레이가 수직으로 세워진 채 가로방향으로 테스트 사이트에 공급되는 방식의 트레이 이송방식의 테스트 핸들러를 사용하여 장비의 효율을 극대화한다. 즉, 테스트 사이트에 세로방향으로 테스트 트레이를 공급하는 방식의 테스트 핸들 러는 매우 콤팩트한 장점을 살릴 수 있어 설치 면적이 매우 적어지며, 대량의 반도체 소자를 테스트할 경우에는 수직 방향으로 2, 3단 높이로 테스트 사이트를 더 설치할 수 있는 테스트 트레이를 세운 채 테스트 사이트에 공급하는 방식의 테스트 핸들러를 사용함으로써 효율증대를 이룰 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 테스트 트레이를 구성하는 이송기구를 프레임의 외주면에 탈착가능하게 형성함으로써 테스트 핸들러 장비의 구성이 변경될 경우 이송기구를 적절히 변경하여 사용할 수 있도록 함으로써 테스트 핸들러 장비가 변경되더라도 별도로 테스트 트레이를 제작할 필요가 없다.

Claims (11)

  1. 테스트 트레이를 순차적으로 이동시키면서 가열 또는 냉각하기 위한 제1챔버부;
    상기 제1챔버부로부터 테스트 트레이를 공급받아 테스트 트레이에 로딩된 반도체 소자를 테스트하는 테스트부;
    상기 테스트부로부터 테스트 트레이를 공급받고 공급받은 테스트 트레이를 순차적으로 이동시키면서 냉각 또는 가열하기 위한 제2챔버부; 및
    수직상태를 유지하면서 상기 제1챔버부, 테스트부 및 제2챔버부를 이동하는 테스트 트레이를 포함하여 이루어지며,
    상기 테스트 트레이는 반도체 소자를 수용하기 위한 적어도 하나의 캐리어를 구비한 프레임 및 상기 프레임의 외주면에 탈착가능하게 형성되는 이송기구를 포함하여 이루어져, 상기 제1챔버부, 테스트부, 및 제2챔버부 사이를 가로 방향으로 이동가능함과 동시에, 상기 제1챔버부, 테스트부, 및 제2챔버부 사이를 세로 방향으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 테스트 트레이의 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리부에 탈착가능하며 이송홈이 구비된 제1구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 테스트 트레이의 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리부에 탈착가능하며 이송턱이 구비된 제2구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
  5. 제1항, 제3항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 테스트 트레이의 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 변에 탈착가능하게 형성된 적어도 하나의 제1돌출부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 테스트 트레이의 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리에 탈착가능하게 형성되며 제2돌출부재를 구비한 제3구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
  7. 삭제
  8. 반도체 소자를 수용하기 위한 적어도 하나의 캐리어를 구비한 프레임; 및
    상기 프레임의 외주면에 탈착가능하게 형성되는 이송기구를 포함하여 이루어져 테스트 핸들러 장비 내에서 수직 상태를 유지하면서 가로 방향 및 세로방향으로 이동가능하며, 이때, 상기 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리부에 탈착가능하며 이송홈이 구비된 제1구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
  9. 반도체 소자를 수용하기 위한 적어도 하나의 캐리어를 구비한 프레임; 및
    상기 프레임의 외주면에 탈착가능하게 형성되는 이송기구를 포함하여 이루어져 테스트 핸들러 장비 내에서 수직 상태를 유지하면서 가로 방향 및 세로방향으로 이동가능하며, 이때, 상기 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리부에 탈착가능하며 이송턱이 구비된 제2구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 변에 탈착가능하게 형성된 적어도 하나의 제1돌출부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리에 탈착가능하게 형성되며 제2돌출부재를 구비한 제3구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테 스트 트레이.
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