KR100788485B1 - 필터 브라켓 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 적어도 두 개의 유체입출구가 전방으로 돌출 형성된 필터와; 상기 필터가 안착되고 외주면 양측에 돌출핀이 각각 형성되는 반구 형상의 필터하우징과; 상기 돌출핀이 관통 배치되는 직선형상의 슬라이드홈이 길이방향으로 각각 형성되며 외측으로 회동축이 각각 구비되는 한 쌍의 암과, 상기 한 쌍의 암이 고정되며 상기 필터의 유체입출구와 각각 접하는 관통홈이 형성된 플레이트로 이루어지는 가이드와; 상기 회동축이 관통되어 회동 지지되는 회동축공이 각각 형성되며, 상기 돌출핀이 관통 지지되어 상기 필터하우징이 상기 슬라이드홈의 길이방향으로 직선 슬라이딩 가능하도록 상기 회동축공을 기준으로 반경이 비대칭한 곡선안내홈이 각각 형성되는 ㄷ자 형상의 핸들을; 포함하는 필터 브라켓을 제공한다.

이에 의하면, 필터의 탈부착이 핸들의 회동에 의한 직선 슬라이딩 식으로 체결되어 필터 탈부착 작업이 용이하고, 종래 회동식 결합에 따른 아답터 사이의 O-링 파손문제 및 실링 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.

필터, 브라켓, 하우징, 가이드, 핸들, 아답터, 유체

Description

필터 브라켓 {FILTER BRACKET}

본 발명은 필터 브라켓에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 공정에서 사용되는 유체 정화용 필터의 교체구조를 개선한 필터 브라켓에 관한 것이다.

일반적으로 종래 반도체 제조공정의 유체 정화용 필터는 유체를 공급 및 분배하는 펌프 유닛의 아답터에 체결됨에 있어, 상기 아답터의 커넥터에 상기 필터의 유체입출구가 회동식으로 결합된다.

이에 의하면, 상기 필터와 아답터 사이의 O-링 일측에 무리한 힘이 가해짐으로써 상기 O-링이 흔히 파손되며, 또한 실링 상태가 저하되는 문제가 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 필터의 탈부착이 용이하게 하며, 필터와 아답터 사이에 개제되는 O-링의 파손을 방지하도록 하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 적어도 두 개의 유체입출구가 전방으로 돌출 형성된 필터와; 상기 필터가 안착되고 외주면 양측에 돌출핀이 각각 형성되는 반구 형상의 필터하우징과; 상기 돌출핀이 관통 배치되는 직선형상의 슬라이드홈이 길이방향으로 각각 형성되며 외측으로 회동축이 각각 구비되는 한 쌍의 암과, 상기 한 쌍의 암이 고정되며 상기 필터의 유체입출구와 각각 접하는 관통홈이 형성된 플레이트로 이루어지는 가이드와; 상기 회동축이 관통되어 회동 지지되는 회동축공이 각각 형성되며, 상기 돌출핀이 관통 지지되어 상기 필터하우징이 상기 슬라이드홈의 길이방향으로 좌우 슬라이딩 가능하도록 상기 회동축공을 기준으로 반경이 비대칭한 곡선안내홈이 각각 형성되는 ㄷ자 형상의 핸들을; 포함하는 필터 브라켓을 제공한다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 필터의 탈부착이 핸들의 회동에 의한 직선 슬라이딩 식으로 체결되어 필터 탈부착 작업이 용이하고, 종래 회동식 결합에 따른 아답터 사이의 O-링 파손문제 및 실링 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 브라켓에 대해 상세하게 살펴본다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 필터 브라켓의 사시도로서 필터가 우측으로 슬라이딩되어 착탈가능한 상태를 보인 도면이고, 도 2는 도 1의 필터가 핸들의 회동에 의해 좌측으로 슬라이딩되어 고정된 상태를 보인 사시도이며, 도 3은 도 1의 필터하우징을 보인 사시도이며, 도 4는 도 3의 필터하우징에 필터가 안착된 상태를 보인 사시도이며, 도 5는 도 3의 필터하우징 정면을 보인 정면도이며, 도 6은 도 1의 가이드를 보인 사시도, 및 도 7은 도 1의 핸들을 보인 사시도이다.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 필터 브라켓(100)은, O-링이 내삽된 유체입출구(115)를 제공하는 IN(111), OUT(112), VENT(113)가 전방으로 돌출 형성되며 상측에 손잡이(116)가 부착된 필터(110)와, 상기 필터(110)가 안착되고 외주면 양측에 돌출핀(121)이 각각 형성되는 반구 형상의 필터하우징(120)과, 상기 돌출핀(121)이 관통 배치되는 직선형상의 슬라이드홈(131)이 길이방향으로 각각 형성되며 외측으로 회동축(132)이 각각 구비되는 한 쌍의 암(135)과 상기 한 쌍의 암(135)이 고정되며 상기 필터의 유체입출구(111)(112)(113)와 각각 접하는 관통홈(136)이 형성된 플레이트(138)로 이루어지는 가이드(130)와, 상기 회동축(132)이 관통되어 회동 지지되는 회동축공(141)이 각각 형성되며 상기 돌출핀(121)이 관통 지지되어 상기 필터하우징(120)이 상기 슬라이드홈(131)의 길이방향으로 직선 슬라이딩 가능하도록 상기 회동축공(141)을 기준으로 반경이 비대칭한 곡선안내홈(142) 이 각각 형성되는 ㄷ자 형상의 핸들(140)을 포함하여 이루어진다.

여기서 상기 필터(110)는 도 4와 같이 상기 유체입출구(115)가 수직 배열식으로 배치되며, 환상으로 형성됨을 예시하고 있으나, 이에 한정되지 않으며 공지된 다양한 형상으로 대체될 수 있음은 물론이다. 또한, 상기 유체입출구(115)의 반대편에는 상기 필터하우징(120) 일측의 홈(122)에 압입 고정되도록 돌기(117)가 구비된다.

상기 필터하우징(120)은 상기 필터(110)가 내측에 압입식으로 안착되도록 내면에 적어도 하나의 압입돌출부(123)가 구비된다.

상기 가이드(130)의 암(135)은 상기 슬라이드홈(131) 상, 하부에 반구(半球) 형상의 돌출된 혹(135a)을 구비하여 상기 필터하우징(120)의 슬라이딩 상태를 선택적으로 고정할 수 있다.

이를 위해 상기 필터하우징(120)은 그 외주면 양측으로 돌출형성되는 걸림핀(124)을 구비하고, 상기 걸림핀(124)에 상기 혹(135a)에 대응되는 형상으로 음형지게 형성되는 요홈(124a)을 구비하여 상기 요홈(124a)이 상기 혹(135a)에 선택적으로 안착 가능함으로써 실현된다.

상기 핸들(140)의 곡선안내홈(142)은 도 1을 기준으로 좌측단이 상기 회동축공(141)으로부터 최소 반경을 가지며, 우측단이 상기 회동축공(141)으로부터 최대 반경을 가지도록 형성하여 반경이 좌측단에서 우측단으로 갈수록 점점 커지도록 형성됨이 바람직하다.

한편, 전술한 바와 같이 구성되는 상기 필터 브라켓(100)은 아답터(200)(도 8 참조)와 상기 가이드(130)의 플레이트(138)가 핀(도시 생략) 결합으로 일체화됨으로써 공지된 펌프유닛(미도시)과 결합된다.

이러한 상기 아답터(200)의 그 일면(200a)에는 상기 필터(110)의 유체입출구(115)와 대응되는 위치에 체결홈(210)이 수직배열되고, 그 반대면(200b)(도 9 참조)에는 후술할 유로(230)가 내삽되고 상기 펌프유닛의 각 포트(미도시)와 결합되는 결합홈(220)이 수평배열된다.

이때, 상기 체결홈(210)에는 내부가 천공(211a)되며 일측 외주면에 링(212)이 결합된 커넥터(211)의 일측(우측)이 삽입 고정되고, 타측(좌측)이 상기 플레이트(138)의 관통홈(136)을 관통 및 상기 필터(110)의 유체출입구(115) 측에 배치됨으로써 상기 필터(110)의 좌측 슬라이딩에 의한 결합(커넥터의 타측이 필터의 유체출입구에 각각 삽입)시 상기 필터(110)와 아답터(200)가 연통 가능하게 된다.

또한, 상기 필터(110)의 IN(111)에 대응되는 상기 체결홈(210)은 결합홈(220)의 IN 포트 결합홈(221)과 곧바로 연통되나, 상기 필터(110)의 OUT(112) 및 VENT(113)에 대응되는 상기 체결홈(210)과 결합홈(220)의 OUT 포트 결합홈(222) 및 VENT 포트 결합홈(223)은 도 10에 도시된 바와 같이 유로(230)에 의해서 서로 연통되는 구조이다.

상기 유로(230)는 도 11에 도시된 바와 같이 약 5.31° 경사지게 형성하고 선, 후단의 절곡부를 라운드(R)지게 형성하여 상기 유로(230)의 선, 후단 측에 유체가 정체되지 않게 함이 바람직하다.

미설명된 도면부호인 205는 핀 홀이다.

이하, 전술한 바와 같이 구성되는 본 발명의 필터 브라켓(100)은 다음과 같이 작동한다.

도 1에 도시된 바와 같이 핸들(140)이 반 시계방향으로 회동된 상태에서 사용자에 의해 필터(110)가 필터하우징(120)에 압입식으로 안착되면, 필터(110)는 필터하우징(120)과 일체로 좌측으로 슬라이딩 가능한 상태가 된다.

이때, 상기 필터하우징(120)의 돌출핀(121)은 암(135)의 슬라이드홈(131)을 관통함과 동시에 핸들(140)의 곡선안내홈(142) 최대 반경측에 관통 지지된 상태이이므로 가이드(130)의 플레이트(138) 측과 일정거리 이격되어 있다.

이와 같이 필터(110)가 안착된 상태에서 사용자가 핸들(140)의 상측을 잡고 도 2에 도시된 바와 같이 시계방향으로 회동을 시키게 되면 필터하우징(120)의 돌출핀(121)이 핸들(140)의 곡선안내홈(142) 최소 반경 측인 좌측으로 슬라이딩 됨과 아울러 필터(110)의 유체입출구(115)에 커넥터(211)의 타측이 각각 삽입됨으로써 필터(110)와 아답터(200) 간의 결합으로 인한 유로가 형성된다.

이때, 상기 필터(110)와 아답터(200)의 결합은 필터하우징(120)의 걸림핀(124) 요홈(124a)에 암(135)의 혹(135a)이 걸림됨으로써 그 상태가 견고히 유지된다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 필터 브라켓의 사시도로서 필터가 우측으로 슬라이딩되어 착탈가능한 상태를 보인 도면이다.

도 2는 도 1의 필터가 핸들의 회동에 의해 좌측으로 슬라이딩되어 고정된 상태를 보인 사시도이다.

도 3은 도 1의 필터하우징을 보인 사시도이다.

도 4는 도 3의 필터하우징에 필터가 안착된 상태를 보인 사시도이다.

도 5는 도 3의 필터하우징 정면을 보인 정면도이다.

도 6은 도 1의 가이드를 보인 사시도이다.

도 7은 도 1의 핸들을 보인 사시도이다.

도 8은 본 발명의 필터 브라켓을 공지된 펌프유닛에 결합시키기 위한 구성인 아답터의 일면을 보인 사시도이다.

도 9는 도 8의 아답터 반대면을 보인 사시도이다.

도 10은 도 9의 아답터의 정면도이다.

도 11은 도 8의 아답터의 측면도이다.

Claims (8)

1. 적어도 두 개의 유체입출구가 전방으로 돌출 형성된 필터와;

   상기 필터가 안착되고 외주면 양측에 돌출핀이 각각 형성되는 반구 형상의 필터하우징과;

   상기 돌출핀이 관통 배치되는 직선형상의 슬라이드홈이 길이방향으로 각각 형성되며 외측으로 회동축이 각각 구비되는 한 쌍의 암과, 상기 한 쌍의 암이 고정되며 상기 필터의 유체입출구와 각각 접하는 관통홈이 형성된 플레이트로 이루어지는 가이드와;

   상기 회동축이 관통되어 회동 지지되는 회동축공이 각각 형성되며, 상기 돌출핀이 관통 지지되어 상기 필터하우징이 상기 슬라이드홈의 길이방향으로 직선 슬라이딩 가능하도록 상기 회동축공을 기준으로 반경이 비대칭한 곡선안내홈이 각각 형성되는 ㄷ자 형상의 핸들을;

   포함하는 필터 브라켓.
2. 제 1항에 있어서, 상기 필터하우징은,

   상기 필터가 내측에 압입식으로 안착되도록 내면에 적어도 하나의 압입돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 필터 브라켓.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 암은 상기 슬라이드홈 상부 또는 하부의 일측에 반구 형상의 돌출된 혹을 구비하고, 상기 필터하우징은 상기 혹에 선택적으로 걸림 가능하도록 외주면 양측으로 돌출형성되는 걸림핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 필터 브라켓.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 걸림핀에는 상기 혹에 대응되는 형상으로 음형진 요홈이 형성되고 상기 혹이 상기 요홈에 안착 가능한 것을 특징으로 하는 필터 브라켓.
5. 제 1항에 있어서,

   일면이 상기 가이드의 플레이트와 핀 결합식으로 일체화되어 유체를 공급 및 분배하는 펌프 유닛과 결합되도록 구비되는 아답터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필터 브라켓.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 아답터의 일면에는 상기 필터의 유체입출구와 대응되는 체결홈이 수직배열되고, 그 반대면에는 상기 펌프유닛의 각 포트와 결합되는 결합홈이 수평배열되며, 상기 체결홈과 결합홈은 유로에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 필터 브라켓.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 체결홈에 일측이 삽입 고정되고 타측이 상기 필터의 유체출입구에 선택적으로 삽입됨으로써 상기 필터와 아답터가 연통 가능하게 구비되는 내부가 천공된 커넥터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필터 브라켓.
8. 제 6항에 있어서, 상기 유로는,

   경사각을 이루도록 형성하고 선, 후단의 절곡부를 라운드지게 형성하여 유체가 정체되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 필터 브라켓.

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