KR100764050B1 - 반사투과 복합형 액정표시장치 및 그 형성방법 - Google Patents
반사투과 복합형 액정표시장치 및 그 형성방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 기판,상기 기판에 적어도 하나 형성되는 박막트랜지스터 및 배선들,상기 박막트랜지스터 및 배선들 위로 상기 기판 전면에 걸쳐 적층되며 상기 박막트랜지스터의 소오스 전극 일부를 드러내는 콘택 홀을 가지는 절연막, 및상기 절연막 위로 형성되며 상기 콘택 홀을 통해 상기 소오스 전극과 연결되며 상기 박막트랜지스터와 대응관계에 있는 화소전극을 포함하며,상기 화소전극은,상기 화소전극의 최하층에서 상기 화소전극 영역 전체를 커버하며 상기 소오스 전극과 직접 연결되는 투명전극, 및상기 화소전극의 영역의 일부인 반사영역에서 상기 투명전극 위에 형성되는 반사전극 및 중간전극으로 이루어지는 불투명전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 중간전극은 상기 투명전극 및 상기 반사전극 사이에 위치하고, 상기 중간전극이 상기 화소전극을 커버하는 영역은 상기 반사전극이 상기 화소전극을 커버하는 영역과 동일한 것을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 중간전극은 텅스텐 몰리브덴층 혹은 크롬층 가운데 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 투명전극은 IZO(Indium Zinc Oxide)로, 상기 반사전극은 알미늄 함유 전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 화소전극 영역 가운데 상기 투명전극만을 구비하는 투과영역은 상기 불투명전극 내의 창(window)의 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 절연막은 감광성 유기 절연막으로 이루어짐을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 절연막은 액정층과 동일한 두께로 형성되며, 상기 투명전극만을 구비하는 투과영역에서 상기 절연막은 제거된 상태인 것을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 절연막 상부는 집광기능을 하는 마이크로 렌즈를 이루도록 엠보싱이 형성된 것을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시 장치.
- 제 1 항에 있어서,게이트 배선 및 데이타 배선의 단부에 형성되는 게이트 패드 및 데이타 패드는 각각 상기 절연막에 형성된 홀을 통해 상기 절연막 위쪽에 형성된 패드 패턴과 접속되며, 상기 패드 패턴은 투명전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시 장치.
- 기판에 박막트랜지스터 및 연관 배선들을 형성하는 단계,상기 박막트랜지스터 및 연관 배선들이 형성된 기판에 절연막을 적층하고 패터닝하여 상기 박막트랜지스터의 소오스 전극을 드러내는 콘택 홀을 형성하는 단계,상기 절연막 위에 투명전극층을 적층하는 단계,상기 투명전극층 위에 적어도 반사전극층을 포함하는 불투명 전극층을 상기 반사전극층이 위에 있도록 적층하는 단계,상기 반사전극층 위에 포토레지스트막을 도포하고 화소전극 영역을 제외한 영역은 완전노광을, 상기 화소전극 영역 가운데 투과영역은 부분노광을 하는 차별노광과 현상을 실시하여 화소전극에 대응되는 2단 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계,상기 2단 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 상기 불투명 전극층과 투명전극층을 제거하는 단계,상기 2단 포토레지스트 패턴을 전반적으로 일정 두께씩 제거하여 부분노광된 상기 투과영역에서 포토레지스트가 제거된 1단 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계,상기 1단 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 상기 불투명전극층을 식각하여 상기 투과영역에서 상기 투명전극층만 가지는 화소전극을 형성하는 단계를 구비하여 이루어지는 반사투과 복합형 액정표시장치 형성방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 2단 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 상기 투명전극층과 상기 불투명전극층을 제거하는 단계 및 상기 1단 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 상기 불투명전극층을 식각하는 단계는 이방성 건식 식각으로 이루어짐을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시장치 형성방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 차별노광은 상기 포토레지스트막을 완전노광되는 영역에 대한 패턴만 형성된 포토마스크로 일정시간 T1, 완전노광되는 영역과 부분노광되는 영역에 대한 패턴이 형성된 포토마스크로 일정시간 T2 만큼 연속적으로 노광하는 방법으로 실시됨을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시장치 형성방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 불투명전극층을 적층하는 단계는 텅스텐 몰리브덴층을 중간 전극층으로 먼저 적층하고, 알미늄 함유층을 반사 전극층으로 연속하여 적층하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시장치 형성방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 절연막을 적층하고 패터닝하여 콘택 홀을 형성하는 단계에서 게이트 패드 및 데이타 패드를 드러내는 패드 오픈이 이루어지고,상기 차별노광과 현상을 실시하여 화소전극에 대응되는 2단 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계에서 패드부에는 낮은 두께의 포토레지스트 패턴이 형성되어,상기 1단 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 상기 불투명전극층을 식각하는 단계에서 상기 투명전극층만 가지는 패드 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 반사투과 복합형 액정표시장치 형성방법.
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