KR100753643B1 - Air knife - Google Patents
Air knife Download PDFInfo
- Publication number
- KR100753643B1 KR100753643B1 KR1020060013849A KR20060013849A KR100753643B1 KR 100753643 B1 KR100753643 B1 KR 100753643B1 KR 1020060013849 A KR1020060013849 A KR 1020060013849A KR 20060013849 A KR20060013849 A KR 20060013849A KR 100753643 B1 KR100753643 B1 KR 100753643B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- air
- flow path
- air supply
- air flow
- supply unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010981 drying operation Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
- A01K—ANIMAL HUSBANDRY; AVICULTURE; APICULTURE; PISCICULTURE; FISHING; REARING OR BREEDING ANIMALS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; NEW BREEDS OF ANIMALS
- A01K63/00—Receptacles for live fish, e.g. aquaria; Terraria
- A01K63/04—Arrangements for treating water specially adapted to receptacles for live fish
- A01K63/045—Filters for aquaria
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/001—Processes for the treatment of water whereby the filtration technique is of importance
- C02F1/004—Processes for the treatment of water whereby the filtration technique is of importance using large scale industrial sized filters
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Environmental Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biodiversity & Conservation Biology (AREA)
- Animal Husbandry (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Marine Sciences & Fisheries (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Nozzles (AREA)
Abstract
본 발명은, 에어나이프에 관한 것으로서, 에어가 유입 및 유출되는 유입구 및 유출구를 가지며, 에어를 공급하는 에어공급부와; 상기 유출구와 연통하며 에어가 유동하는 에어유동로와 상기 에어유동로를 유동하는 에어를 토출하는 노즐이 형성되고, 상기 에어공급부에 착탈가능하게 결합되는 에어토출부와; 상기 에어토출부를 상기 에어공급부에 결합하는 결합수단과; 상기 에어유동로 상에 마련되어, 상기 에어유동로 내에서 상기 에어가 지그재그로 유동하도록 안내하는 가이드를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 경량화를 도모하고, 부품의 교체가 용이하며 유지관리 비용을 줄일 수 있다. The present invention relates to an air knife, which has an inlet and an outlet through which air flows in and out, and an air supply unit for supplying air; An air discharge portion communicating with the outlet port and having an air flow path through which air flows, and a nozzle discharging air flowing through the air flow path, and detachably coupled to the air supply part; Coupling means for coupling the air discharge unit to the air supply unit; It is provided on the air flow path, characterized in that it comprises a guide for guiding the air flows in a zigzag in the air flow path. As a result, the weight can be reduced, the parts can be easily replaced, and the maintenance cost can be reduced.
Description
도 1은 본 발명에 따른 에어나이프의 개략적인 사시도,1 is a schematic perspective view of an air knife according to the present invention;
도 2는 도 1의 분해사시도,2 is an exploded perspective view of FIG. 1;
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도,3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 1;
도 4는 도 1의 Ⅳ-Ⅳ선에 따른 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 1.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1 : 에어나이프 10 : 에어공급부1: Air knife 10: Air supply part
15 : 유입구 21 : 유출구15: inlet 21: outlet
30 : 에어토출부 31a,31b : 블록30:
33a,33b : 에어유동로 35 : 노즐33a, 33b: air flow path 35: nozzle
37 : 볼트 41 : 가이드37: Bolt 41: Guide
45 : 볼트 51 : 사이드커버45: bolt 51: side cover
55 : 가스켓55: gasket
본 발명은 에어나이프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 조립 구조를 개선 한 에어나이프에 관한 것이다.The present invention relates to an air knife, and more particularly, to an air knife having improved assembly structure.
일반적으로 액정표시장치(liquid crystal display, 이하 'LCD'라고 함) 부품 및 소자 등은 미세한 먼지에 민감하게 반응하는 것으로, 미세한 먼지 하나가 장치의 특성을 좌우하게 된다.In general, liquid crystal displays (hereinafter, referred to as LCDs) components and devices are sensitive to fine dust, and one of the fine dusts determines the characteristics of the device.
이에, LCD 제조공정에서는 미세 먼지를 최소화하는데 주력하고 있으며, 공정 진행 상황에 따라 세정작업을 반복하여 실시하고 있다.Accordingly, the LCD manufacturing process is focused on minimizing dust, and the cleaning operation is repeatedly performed according to the progress of the process.
특히, 근래에 전자 디스플레이 산업이 발전하면서, 대형 액정표시장치 등이 선보이고 있는데, 이와 같은 액정표시장치, 즉 LCD의 패널에 피막 형성 등의 표면처리공정이 진행되어 지고 있으며, 이 때 세정작업과 건조작업은 필수적이다.In particular, with the development of the electronic display industry in recent years, large liquid crystal displays have been introduced. Such liquid crystal display devices, that is, surface treatment processes such as film formation on LCD panels, are being performed. Work is essential.
한편, 전술한 바와 같이, LCD 부품 및 소자 등은 미세한 먼지에 민감한 반응으로 보이는데 LCD 제조 공정 진행상황에서 여러 차례의 세정작업이 이루어진다. 다시 말하면, 글래스 표면에 미세한 먼지 및 건조 불량으로 인한 LCD 제조 불량이 발생할 가능성이 높다는 것을 의미하며, 이는 곧 LCD용 글래스의 건조는 세정작업 만큼이나 상당히 중요한 비중을 차지하고 있다는 것을 의미한다.On the other hand, as described above, the LCD parts and devices, etc., appear to be sensitive to fine dust, and several cleaning operations are performed in the LCD manufacturing process progress. In other words, there is a high possibility of LCD manufacturing defects caused by fine dust and poor drying on the glass surface, which means that the drying of LCD glass is as important as cleaning.
현재, 건조작업은 건조장치에 의해 이루어지는데, LCD패널의 건조장치는 대부분 공기분사방식을 채택하고 있다.At present, the drying operation is performed by a drying apparatus, and most of the drying apparatuses of the LCD panel adopt an air spray method.
그러나, LCD의 수요가 급증함에 따라 원활한 LCD의 공급과 좀 더 선명하고 대형화된 스크린을 원하는 소비자의 심리에 의하여 LCD의 글래스는 대형화되고 있으며, 이에 건조장치인 에어나이프 또한 대형화되고 있는 추세이다.However, as the demand for LCDs soared, the glass of LCDs has been enlarged by consumers' demand for smooth LCD supply and a clearer and larger screen, and the air knife, which is a drying device, has also grown in size.
따라서, 글래스가 대형화함에 따라 종래의 에어나이프는 길이가 길어지고 중 량 또한 증가하게 된다. 특히, 에어나이프는 가공 변형 및 공기의 균일한 혼합을 위한 에어공급부와 높은 공기압을 이겨내기 위하여 최소 15mm 이상의 두께를 가지고 있어야 한다.Therefore, as the glass becomes larger, the conventional air knife becomes longer and its weight increases. In particular, the air knife must have a thickness of at least 15 mm to withstand the air supply and high air pressure for processing deformation and uniform mixing of air.
한편, 종래의 에어나이프는 에어를 공급하는 에어공급부와 에어를 토출하는 에어토출부로 이루어지며, 에어공급부와 에어토출부가 일체로 형성되어 있다.On the other hand, the conventional air knife is composed of an air supply unit for supplying air and an air discharge unit for discharging air, the air supply unit and the air discharge unit is formed integrally.
종래의 에어나이프는 불필요한 부분까지 상당한 두께를 가지므로, 에어나이프는 그 길이가 증가함에 따라 중량이 기하 급수적으로 증가하여, 에어나이프 특성상 최적의 건조성능 조건은 글래스 진행방향에 약 수직 20∼40도의 경사로 철취되어야 한다. 따라서, 에어나이프 경사설치로 인해 에어나이프의 길이 및 무게증가는 에어나이프의 중앙 영역에 처짐 현상이 발생이 더욱 커지고, 이에 글래스가 고르게 건조되지 않고 글래스 표면에 세정액의 얼룩이 남아 제품의 불량을 초래할 염려가 있다.Since conventional air knives have a considerable thickness up to an unnecessary portion, the weight of the air knife increases exponentially as its length increases, so the optimum drying performance condition is about 20 to 40 degrees perpendicular to the glass propagation direction. The ramp must be withdrawn. Accordingly, the increase in the length and the weight of the air knife due to the inclined installation of the air knife causes the phenomenon that the deflection occurs in the central area of the air knife, and the glass does not dry evenly, and stains of the cleaning liquid remain on the surface of the glass, resulting in product defects. There is.
그러나, 이러한 처짐을 방지하기 위하여, 에어나이프의 두께를 증가시키면, 제조 단가의 상승과 에어나이프의 중량 증가로 그 실효성을 얻지 못하게 된다.However, in order to prevent such sag, increasing the thickness of the air knife does not obtain its effectiveness due to an increase in manufacturing cost and an increase in the weight of the air knife.
또한, 에어토출부가 손상되어 교체하는 경우, 종래에는 에어나이프를 통째로 바꾸어야 하므로 보수비용이 증가하는 문제점이 있다.In addition, when the air discharge portion is damaged and replaced, there is a problem in that the maintenance cost increases because the conventional air knife must be replaced entirely.
따라서, 본 발명의 목적은, 경량화를 도모하고, 부품의 교체가 용이하며 유지관리 비용을 줄일 수 있는 에어나이프를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide an air knife that can reduce weight, facilitate replacement of parts, and reduce maintenance costs.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 에어나이프에 있어서, 에어가 유입 및 유출되는 유입구 및 유출구를 가지며, 에어를 공급하는 에어공급부와; 상기 유출구와 연통하며 에어가 유동하는 에어유동로와 상기 에어유동로를 유동하는 에어를 토출하는 노즐이 형성되고, 상기 에어공급부에 착탈가능하게 결합되는 에어토출부와; 상기 에어토출부를 상기 에어공급부에 결합하는 결합수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, in the air knife, the air inlet and outlet having an inlet and outlet, the air supply unit for supplying air; An air discharge portion communicating with the outlet port and having an air flow path through which air flows, and a nozzle discharging air flowing through the air flow path, and detachably coupled to the air supply part; It provides an air knife, characterized in that it comprises a coupling means for coupling the air discharge portion to the air supply.
여기서, 상기 에어토출부는 상호 대향하게 결합되는 한 쌍의 블록으로 이루어지며, 상기 각 블록의 상호 대향하는 결합면에는 상기 에어유동로 및 상기 노즐이 형성되어 있는 것이 바람직하다.Here, the air discharge portion is composed of a pair of blocks that are opposed to each other, it is preferable that the air flow path and the nozzle is formed on the mutually opposing coupling surface of each block.
상기 노즐은 적어도 하나의 블록의 결합면으로부터 상기 블록의 길이방향을 따라 함몰 형성된 것이 바람직하다.The nozzle is preferably formed recessed along the longitudinal direction of the block from the mating surface of at least one block.
상기 한 쌍의 블록을 상호 연결하며 상기 노즐의 간격을 조절하는 노즐조절볼트를 더 포함할 수도 있다.It may further include a nozzle adjusting bolt for interconnecting the pair of blocks to adjust the interval of the nozzle.
상기 각 블록의 양측면을 시일링하며, 상기 각 블록을 상기 에어공급부에 지지하는 사이드커버를 더 포함하는 것이 바람직하다.Sealing both side surfaces of each block, it is preferable to further include a side cover for supporting each block in the air supply.
상기 결합수단은 볼트, 핀 중 어느 하나인 것이 바람직하다.Preferably, the coupling means is any one of a bolt and a pin.
상기 에어유동로 상에 마련되어, 상기 에어유동로 내에서 상기 에어가 지그재그로 유동하도록 안내하는 가이드를 더 포함함으로써, 상기 노즐에서 에어의 분사속도를 상승시킬 수 있게 된다.It is provided on the air flow path, by further comprising a guide for guiding the air in the zigzag flow in the air flow path, it is possible to increase the injection speed of the air in the nozzle.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 내지 도 4에는 본 발명에 따른 에어나이프가 도시되어 있다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 에어나이프(1)는, 에어를 공급하는 에어공급부(10)와, 에어공급부(10)의 에어를 토출하며 에어공급부(10)에 착탈가능하게 결합되는 에어토출부(30)와, 에어토출부(30)를 에어공급부(10)에 결합하는 결합수단을 가진다.1 to 4 show an air knife according to the present invention. As shown in these figures, the
에어공급부(10)는 일측이 개구된 사각통형상을 가지며, 내부에 에어를 임시 수용하는 수용부(11)가 형성되어 있다. 에어공급부(10)는 판형상의 상판부(13)와, 측벽을 이루는 한 쌍의 제1측벽부(17) 및 한 쌍의 제2측벽부(19)를 가진다.The
상판부(13)는 한 쌍의 단변과 한 쌍의 장변으로 이루어진 장방형의 판형상을 가진다. 상판부(13)에는 수용부(11)로 에어가 유입되는 한 쌍의 유입구(15)가 형성되어 있으며, 유입구(15)는 이격 배치되어 있다. 본 실시예에서는 한 쌍의 유입구(15)가 개시되어 있지만, 유입구(15)의 수량은 하나 또는 세 개 이상 마련될 수 있다.The
제1측벽부(17)는 상판부(13)의 각 장변 둘레를 따라 배치되며, 제2측벽부(19)는 제1측벽부(17)의 사이의 상판부(13)의 각 단변 둘레를 따라 배치되어 있다.The first
각 측벽부(17,19)가 이루는 개구영역은 수용부(11)의 에어를 에어공급부(10)로 유출하는 유출구(21)를 형성한다.The opening region formed by each
한편, 에어공급부(10)는 에어토출부(30)에 비해 비교적 낮은 압력을 받기 때문에 에어공급부(10)를 구성하는 상판부(13)와 네 측벽부(17,19)의 두께를 줄일 수 있게 되어, 에어공급부(10)의 무게를 줄일 수 있게 된다.On the other hand, since the
에어토출부(30)는 에어공급부(10)의 개구영역을 폐쇄하며 각 측벽부(17,19)의 내주에 착탈된다. 본 실시예에서는 에어토출부(30)가 상호 대향하게 결합되는 한 쌍의 블록(31a,31b)으로 이루어진다. 각 블록(31a,31b)의 상호 대향하는 결합면에는 유출구(21)와 연통하며 에어가 유동하는 에어유동로(33a,33b)와, 에어유동로(33a,33b)를 유동하는 에어를 토출하는 노즐(35)이 형성되어 있다. 한 쌍의 블록(31a,31b)은 다수의 노즐조절볼트(37)에 의해 상호 연결되며, 노즐조절볼트(37)는 한 쌍의 블록(31a,31b)이 형성하는 노즐(35)의 간격을 조절한다. 각 측벽부(17,19)의 내주를 향하는 각 블록(31a,31b)의 외주면에는 오링(39)이 장착되어 있으며, 이 오링(39)은 수용부(11)에 수용된 에어가 외부로 누설되는 것을 방지한다.The
본 실시예에서의 에어유동로(33a,33b)는 유출구(21)와 노즐(35)과 연통가능하게 블록(31a,31b)의 결합면으로부터 소정의 깊이로 함몰 형성되어 있다.The
노즐(35)은 장방형의 단면형상을 가지며 각 블록(31a,31b)의 선단부에 블록(31a,31b)의 길이방향을 따라 형성되어 있다. 본 실시예에서의 노즐(35)은 일측 블록(31a)의 결합면으로부터 블록(31a)의 길이방향을 따라 소정의 폭과 깊이로 함몰 형성된 슬릿으로 이루어진다.The
여기서, 노즐(35)은 각 블록(31a,31b)의 결합면으로부터 블록(31a,31b)의 길이방향을 따라 소정의 폭과 깊이로 함몰 형성된 슬릿으로 이루어질 수도 있다.Here, the
한편, 본 발명에 따른 에어나이프(1)는 에어유동로(33a,33b) 상에 마련되어 에어유동로(33a,33b) 내에서 에어가 지그재그로 유동하도록 안내하는 가이드(41)를 더 가진다. 여기서, 가이드(41)는 선택적으로 개재될 수 있다.On the other hand, the
가이드(41)는 각 블록(31a,31b)의 결합면에 형성된 에어유동로(33a,33b)의 판면으로부터 돌출 형성되어 있다. 본 실시예에서는 일측 블록(31a)에 격자형상의 가이드(41)가 형성되어 있다. 이에, 한 쌍의 블록(31a,31b)에 의해 형성된 에어유동로(33a,33b)를 유동하는 에어는 가이드(41)에 의해 지그재그로 유동하면서 노즐(35)로 유동하게 되어, 노즐(35)에서의 에어의 분사속도를 상승시킬 수 있게 된다.The
한편, 에어토출부(30)를 구성하는 한 쌍의 블록(31a,31b)은 체결수단으로서 볼트(45)에 의해 에어공급부(10)의 제1측벽부(17)에 결합된다.On the other hand, the pair of
그리고, 한 쌍의 블록(31a,31b)의 양측면에는 각 블록(31a,31b)의 양측면을 시일링하는 한 쌍의 사이드커버(51)가 마련되어 있다. 사이드커버(51)는 체결수단으로서 볼트(53)에 의해 한 쌍의 블록(31a,31b)의 양측면과 에어공급부(10)의 제2측벽부(19)에 결합된다.On both sides of the pair of
사이드커버(51)와 한 쌍의 블록(31a,31b)의 측면 사이에는 각 블록(31a,31b)의 결합면의 틈새로부터 에어가 누출되는 것을 방지하는 가스켓(55)이 마련되어 있다. 본 실시예에서의 가스켓(55)은 시이트 형태를 가지며, 한 쌍의 블록(31a,31b)이 형성하는 측단면과 동일한 단면형상을 가진다. 여기서, 가스켓(55) 대신에 오링 등으로 대체할 수도 있다.A
이러한 구성에 의하여, 에어블로워에 의해 공급되는 압축 에어가 유입구(15)를 통해 에어공급부(10)에 유입되어, 유출구(21)를 통해 에어토출부(30)의 에어유동로(33a,33b)로 유동하게 된다.By this configuration, the compressed air supplied by the air blower flows into the
에어유동로(33a,33b)를 따라 유동하는 에어는 에어공급부(10)의 에어유동로 (33a,33b) 상에 형성된 가이드(41)에 의해 지그재그로 유동하면서 노즐(35)로 유동하게 되어, 노즐(35)에서의 에어의 분사속도를 상승시킬 수 있게 된다.The air flowing along the
이에, 노즐(35)을 통해 분사되는 에어는 LCD의 글래스 표면을 확실하게 건조할 수 있게 된다.Accordingly, the air injected through the
이와 같이, 에어를 공급하는 에어공급부와 에어를 토출하는 에어토출부를 착탈가능하게 마련함으로써, 종래와 같이 에어공급부와 에어토출부가 일체로 형성됨에 따른 불필요한 중량의 증가를 줄일 수 있게 되어 경량화를 도모할 수 있게 되고, 또한 에어토출부의 손상이 발생한 경우 에어토출부만을 교체할 수 있으므로 유지관리 비용을 줄일 수 있게 된다.In this way, by detachably providing the air supply unit for supplying air and the air discharge unit for discharging air, it is possible to reduce the unnecessary weight increase due to the integral formation of the air supply unit and the air discharge unit as in the prior art to reduce the weight In addition, it is possible to replace only the air discharge portion in case of damage to the air discharge portion can reduce the maintenance cost.
본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It is apparent to those skilled in the art that the present invention is not limited to the described embodiments, and that various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 경량화를 도모하고, 부품의 교체가 용이하며 유지관리 비용을 줄일 수 있는 에어나이프가 제공된다.As described above, according to the present invention, there is provided an air knife that can reduce weight, facilitate replacement of parts, and reduce maintenance costs.
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060013849A KR100753643B1 (en) | 2006-02-13 | 2006-02-13 | Air knife |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060013849A KR100753643B1 (en) | 2006-02-13 | 2006-02-13 | Air knife |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070081694A KR20070081694A (en) | 2007-08-17 |
KR100753643B1 true KR100753643B1 (en) | 2007-08-30 |
Family
ID=38611559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060013849A Expired - Fee Related KR100753643B1 (en) | 2006-02-13 | 2006-02-13 | Air knife |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100753643B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN215636446U (en) * | 2021-08-26 | 2022-01-25 | 威海电美世光机电有限公司 | Bearing water supply structure between AK drying regions |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000105078A (en) | 1998-09-30 | 2000-04-11 | Shibaura Mechatronics Corp | Air knife and drying apparatus using the same |
JP2001099569A (en) | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Shibaura Mechatronics Corp | Substrate drying processing equipment |
JP2001300363A (en) | 2000-04-24 | 2001-10-30 | Macoho Co Ltd | Nozzle body |
-
2006
- 2006-02-13 KR KR1020060013849A patent/KR100753643B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000105078A (en) | 1998-09-30 | 2000-04-11 | Shibaura Mechatronics Corp | Air knife and drying apparatus using the same |
JP2001099569A (en) | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Shibaura Mechatronics Corp | Substrate drying processing equipment |
JP2001300363A (en) | 2000-04-24 | 2001-10-30 | Macoho Co Ltd | Nozzle body |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20070081694A (en) | 2007-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101350070B1 (en) | Apparatus and method for edge processing of a glass sheet | |
KR20100028457A (en) | Dust removing device | |
US12271070B2 (en) | Display panel manufacturing device and cleaning method | |
KR100753643B1 (en) | Air knife | |
KR100500756B1 (en) | Injector for a glass substrate processing of plat display panel | |
KR100783763B1 (en) | Substrate Cleaning Equipment | |
KR100762371B1 (en) | Air Knife for Drying Glass | |
KR100742678B1 (en) | Apparatus for treating substrates | |
KR20140134378A (en) | Apparatus for jetting fluid and apparatus for cleaning a substrate having the same | |
KR100527789B1 (en) | Air knife structure of a drier for LCD panel | |
KR100592675B1 (en) | Board Transfer Device | |
KR100881955B1 (en) | Aquaknife with air supply port | |
KR101147653B1 (en) | Apparatus for treating substrates | |
KR100323209B1 (en) | A hot wind supply system of a machine for tentering | |
KR100523040B1 (en) | Substrate conveyor | |
JP2004095926A (en) | Substrate treatment equipment | |
CN100551554C (en) | Suction unit components for panel handling systems | |
KR100523039B1 (en) | Substrate conveyor | |
JP4377829B2 (en) | Air spray unit | |
KR101179819B1 (en) | Apparatus for treating substrate | |
JP2009279477A (en) | Apparatus for removing treatment liquid, apparatus for treating substrate, and method of setting up nozzle gap | |
KR100830129B1 (en) | Drying unit with dual air knives | |
KR102622277B1 (en) | Gas injection unit and apparatus for treating substrate | |
JP4330565B2 (en) | Substrate cleaning nozzle and substrate cleaning apparatus | |
KR20030078435A (en) | Nozzle for rinsing substrate with two fluid mixture |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20060213 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20061228 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20070627 |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20070823 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20070824 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
G170 | Re-publication after modification of scope of protection [patent] | ||
PG1701 | Publication of correction | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee | ||
PC1903 | Unpaid annual fee |