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KR100523039B1 - Substrate conveyor - Google Patents

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KR100523039B1
KR100523039B1 KR10-2003-0079532A KR20030079532A KR100523039B1 KR 100523039 B1 KR100523039 B1 KR 100523039B1 KR 20030079532 A KR20030079532 A KR 20030079532A KR 100523039 B1 KR100523039 B1 KR 100523039B1
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air
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강성윤
이인호
박영길
이강혁
김혜성
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 기판을 부상하기 위한 부상부의 공기 공급구조가 단순하면서도 제작과 유지보수가 용이하고, 부상부 전체에 걸쳐서 부상공기의 분출압력이 균일한 기판이송장치를 제공하기 위한 것으로, SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a substrate transfer device having a simple air supply structure for floating a substrate, easy to manufacture and maintain, and a uniform blowing pressure of floating air over the entire floating portion.

본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고, 상기 부상부는 기판을 부상시키기 위한 공기를 발생시키는 횡류 팬을 포함하는 것을 특징으로 한다. The substrate transfer apparatus according to the present invention includes a floating portion for floating a substrate with air, and a transfer portion for transferring a transfer force to the substrate floating by the floating portion, wherein the floating portion has a cross flow for generating air for floating the substrate. And a fan.

Description

기판이송장치{SUBSTRATE CONVEYOR}Substrate Transfer Equipment {SUBSTRATE CONVEYOR}

본 발명은 LCD, PDP와 같은 평판표시장치의 기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 공기로 부상시켜 이송하기 위한 부상부를 갖는 기판이송장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer device for a flat panel display device such as an LCD and a PDP. More particularly, the present invention relates to a substrate transfer device having a floating portion for floating a substrate by air.

일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display: 액정디스플레이)나 PDP(Plasma Display Panel: 플라즈마 디스플레이 패널)와 같은 평판표시장치에 사용되는 기판은 고정밀도 가공을 요구하는 부품으로 그 제조과정에 있어서 불량방지가 매우 중요한 문제이다. 따라서 기판 생산라인에서 기판 이송 시에도 엄격한 관리가 요구되는데 기존의 로울러 이송 방식은 기판과 로울러의 직접 접촉으로 인하여 기판에 스크래치, 정전기, 오염 입자 등이 발생하여 기판의 불량을 야기하는 문제가 있었다. In general, substrates used in flat panel display devices such as liquid crystal displays (LCDs) and plasma display panels (PDPs) require high-precision processing, and defect prevention is very important in the manufacturing process. It is a problem. Therefore, strict management is required even during substrate transfer in the substrate production line. In the conventional roller transfer method, scratches, static electricity, contaminant particles, etc. are generated on the substrate due to direct contact between the substrate and the rollers, thereby causing a defect in the substrate.

이를 방지하기 위한 기판 이송장치로서 일본 특개평 05-104344호에서는 기판을 공기로 부상시켜 이송하는 방식의 이송장치를 사용하였다. 이 이송장치는 기판을 공기로 부상시키기 위한 부상테이블과 이 부상테이블에 마련된 공기 분출구에 공기를 공급하는 공기공급구조를 갖고 있는데, 이 공기공급구조는 각각의 공기 분출구마다 별도의 배관을 갖고 배관구조가 복잡하여 제작과 유지보수가 어렵고, 배관 내에서의 압력손실 때문에 부상용 공기 공급밸브로부터 멀어질수록 부상용 공기의 압력이 낮아져 압력이 불균일한 문제가 있었다. In order to prevent this, Japanese Patent Application Laid-Open No. 05-104344 used a conveying apparatus in which a substrate is floated and conveyed by air. This conveying device has a floatation table for floating the substrate into air and an air supply structure for supplying air to the air outlet provided in the floatation table, which has a separate pipe for each air outlet. Due to the complexity, it is difficult to manufacture and maintain, and the pressure of the floating air is lowered as the distance from the floating air supply valve decreases due to the pressure loss in the pipe.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판을 부상하기 위한 부상부의 공기 공급구조가 단순하면서도 제작과 유지보수가 용이하고, 부상부 전체에 걸쳐서 부상공기의 분출압력이 균일한 기판이송장치를 제공하는 것이다. The present invention is to solve this problem, the object of the present invention is to simplify the air supply structure of the floating portion for floating the substrate, easy to manufacture and maintenance, uniform discharge pressure of the floating air throughout the floating portion It is to provide a substrate transfer device.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고, In order to achieve this object, the substrate transfer apparatus according to the present invention includes a floating portion for floating the substrate with air, and a transfer portion for transferring a transfer force to the substrate floating by the floating portion,

상기 부상부는 기판을 부상시키기 위한 공기를 발생시키는 횡류 팬을 포함하는 것을 특징으로 한다. The floating portion is characterized in that it comprises a cross-flow fan for generating air for floating the substrate.

또한, 상기 부상부는 기판에 공기를 공급하는 공기패널을 더 포함하고, In addition, the floating portion further includes an air panel for supplying air to the substrate,

상기 공기패널은 공기가 분출되는 분출구가 하나 이상 형성된 상부패널과, 상기 분출구에 공기를 공급하는 공기유로가 형성되도록 상기 상부패널과 소정간격 이격되어 설치되는 하부패널을 포함하는 것을 특징으로 한다.The air panel may include an upper panel having one or more ejection openings through which air is ejected, and a lower panel spaced apart from the upper panel by a predetermined interval so that an air flow path for supplying air to the ejection openings is formed.

또한, 상기 부상부는 기판에 공급되는 공기를 정화하기 위한 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the floating portion is characterized in that it further comprises a filter for purifying the air supplied to the substrate.

또한, 상기 기판이송장치는 상기 부상부의 높이를 조절하기 위한 높이 조절부를 더 포함하고, 상기 높이조절부는 상기 부상부를 지지하는 프레임과 상기 부상부 중 어느 일측에 마련되는 높이조절용 볼트와, 다른 일측에 마련되어 상기 높이조절용 볼트의 몸체를 수용하는 볼트 수용부와, 상기 볼트에 체결되며 상기 볼트 수용부에 의해 지지되는 높이조절용 너트를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the substrate transfer apparatus further includes a height adjustment unit for adjusting the height of the floating portion, the height adjustment portion is a height adjustment bolt provided on any one side of the frame and the floating portion for supporting the floating portion, and the other side It is characterized in that it comprises a bolt receiving portion for receiving the body of the height adjustment bolt, and a height adjustment nut fastened to the bolt and supported by the bolt receiving portion.

또한, 상기 이송부는 기판을 지지하는 이송로울러와, 상기 이송로울러를 회전시키는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the transfer unit is characterized in that it comprises a transfer roller for supporting the substrate, and a driving device for rotating the transfer roller.

이하에서는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치(100)를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, the substrate transfer apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치(100)를 도시한 분해 사시도이며, 도2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치(100)를 도시한 정면도이다.1 is an exploded perspective view showing a substrate transfer apparatus 100 according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a front view showing a substrate transfer apparatus 100 according to a preferred embodiment of the present invention.

이에 도시된 바와 같이 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치(100)는 공기에 의하여 기판(101)을 부상시키는 부상부(10)와, 상기 부상부(10)에 의하여 부상된 기판(101)을 소정의 방향으로 이송하기 위한 이송부(40)와, 상기 부상부(10)와 상기 이송부(40) 등을 지지하는 프레임(70)을 포함하여 구성된다. As shown in the drawing, the substrate transfer apparatus 100 according to the preferred embodiment of the present invention includes a floating portion 10 for floating the substrate 101 by air, and a substrate floating by the floating portion 10 ( It comprises a transfer unit 40 for transferring the 101 in a predetermined direction, and a frame 70 for supporting the floating portion 10, the transfer unit 40 and the like.

도3과 도4는 상기 부상부를 도시한 횡단면도와 종단면도로서 이에 도시된 바와 같이, 상기 부상부(10)는 기판(101)의 저면에 공기를 분출하는 직사각형의 공기패널(20)과, 상기 공기패널(20)의 저면에서 상기 공기패널(20)로 공기를 송풍하는 횡류 팬(11)과, 상기 팬(11)을 구동하는 팬모터(12)와, 상기 공기패널(20)의 저면에 마련되어 상기 팬(11)에 의해 송풍되는 공기 중의 먼지 등의 오염물을 걸러내기 위한 필터부(13)와, 상기 팬(11)과 상기 팬모터(12)가 수용되는 팬케이스(30)를 포함하여 구성된다.3 and 4 are cross-sectional and longitudinal cross-sectional views showing the floating portion, as shown in the drawing, wherein the floating portion 10 has a rectangular air panel 20 for blowing air to the bottom surface of the substrate 101, and The cross flow fan 11 which blows air from the bottom of the air panel 20 to the air panel 20, the fan motor 12 driving the fan 11, and the bottom of the air panel 20. And a filter unit 13 for filtering contaminants such as dust in the air blown by the fan 11, and a fan case 30 in which the fan 11 and the fan motor 12 are accommodated. It is composed.

상기 공기패널(20)은 다수의 공기 분출구(21)가 형성된 상부패널(22)과, 상기 상부패널(22)과 소정간격 이격되어 마련되며 상기 팬(11)에서 송풍되는 공기가 흡입되도록 개구부(24)가 형성된 하부패널(23)과, 상기 상부패널(22)과 상기 하부패널(23)의 둘레를 감싸는 패널측면(25)으로 구성되며, 상기 상부패널(22)과 상기 하부패널(23) 사이의 공간은 상기 분출구(21)로 분출되는 공기가 전달되는 공기유로(26)가 된다.The air panel 20 is provided with an upper panel 22 having a plurality of air ejection openings 21 formed therein, and spaced apart from the upper panel 22 by a predetermined interval, and an opening for sucking air blown from the fan 11. And a panel side surface 25 surrounding the upper panel 22 and the lower panel 23, the lower panel 23 having a 24 formed thereon, and the upper panel 22 and the lower panel 23. The space therebetween becomes an air passage 26 through which the air blown out to the blower port 21 is transferred.

상기 필터부(13)는 상기 공기패널(20)의 저면에 마련되며, 송풍되는 공기 중의 먼지 등의 이물질을 걸러주는 필터(14)와, 상기 필터(14)의 상하 가장자리와 측면을 지지하는 필터취부(15)로 구성되며, 상기 필터취부(15) 상부는 상기 하부패널(23) 측에 고정되며, 상기 필터취부(15)의 하부는 상기 팬케이스(30) 측에 고정된다. The filter unit 13 is provided on the bottom surface of the air panel 20, and filters 14 to filter foreign substances such as dust in the air blown, and filters for supporting the upper and lower edges and side surfaces of the filter 14 It is composed of a mounting portion 15, the upper portion of the filter mounting portion 15 is fixed to the lower panel 23 side, the lower portion of the filter mounting portion 15 is fixed to the fan case 30 side.

상기 팬케이스(30)는 상기 필터부(13)를 향하여 상부가 개방되며, 상기 팬(11)으로 공기가 흡입되도록 상기 팬케이스(30) 저면의 양측에 전후방향으로 길게 형성되는 공기흡입구(31)와, 흡입된 공기가 중앙으로 안내되도록 상기 팬(11)의 둘레에 마련되는 가이드(32)와, 상기 팬케이스(30)를 상기 필터취부(15) 저면에 고정하기 위하여 전후 단부 상측에 마련되는 고정부(33)를 포함한다. 상기 고정부(33)는 상기 팬케이스(30)를 상기 필터취부(15)에 결합하기 위한 고정나사(34)에 의해 상기 필터취부(15)에 고정된다. The fan case 30 has an upper portion open toward the filter unit 13, and an air suction port 31 formed in both front and rear directions on both sides of a bottom surface of the fan case 30 so that air is sucked into the fan 11. ), A guide 32 provided around the fan 11 so that the sucked air is guided to the center, and an upper side of the front and rear ends to fix the fan case 30 to the bottom of the filter mounting portion 15. It includes a fixed portion 33. The fixing part 33 is fixed to the filter mounting part 15 by a fixing screw 34 for coupling the fan case 30 to the filter mounting part 15.

상기 팬(11)은 상기 팬케이스(30)의 양측면에 전후방향으로 길게 배치되며, 그 후방 단부에는 상기 팬(11)을 구동하는 팬(11) 모터가 배치된다. The fan 11 is disposed long in the front-rear direction on both sides of the fan case 30, and a fan 11 motor for driving the fan 11 is disposed at the rear end thereof.

한편, 도5에 도시된 바와 같이, 상기 부상부(10)에 의해 부상된 기판(101)을 소정의 방향으로 이송하기 위하여 상기 부상부(10)의 양측을 따라 위치하는 상기 이송부(40)는, 기판(101)의 측단부에 직접접촉되어 이를 지지하면서 회전하여 이송력을 전달하는 이송로울러(41)와, 상기 이송로울러(41)를 구동하는 구동장치(50)로 구성된다. 상기 구동장치(50)는 비접촉 마그네트(51)방식의 구동장치(50)로서 자성을 띠고 있는 마그네트(51)와, 상기 마그네트(51)가 둘레에 결합되는 회전축(52)과, 상기 마그네트(51)와 이격되어 설치되며 상기 마그네트(51)의 회전에 따라 상호작용하는 자기력에 의하여 회전하도록 자성을 띠는 마그네틱로울러(53)와, 상기 마그네틱로울러(53)와 상기 이송로울러(41)가 일체로 회전하도록 이들을 연결하는 연결축(54)과, 상기 회전축(52)을 회전시키는 구동모터(55)와, 상기 구동모터(55)의 회전력을 상기 회전축(52)에 전달하는 벨트(56)로 구성된다. On the other hand, as shown in Figure 5, in order to transfer the substrate 101 injured by the floating portion 10 in a predetermined direction, the transfer portion 40 is located along both sides of the floating portion 10 is It is composed of a transfer roller 41 which is in direct contact with the side end portion of the substrate 101 and rotates to support it, and transfers a transfer force, and a driving device 50 for driving the transfer roller 41. The driving device 50 is a non-contact magnet 51 type driving device 50, a magnetic magnet 51, a rotating shaft 52 to which the magnet 51 is coupled, and the magnet 51 The magnetic rollers 53 and the magnetic rollers 53 and the transfer rollers 41 which are installed to be spaced apart from each other and are magnetically rotated by magnetic force interacting with each other in accordance with the rotation of the magnet 51 are integrally formed. A connecting shaft 54 connecting them to rotate, a driving motor 55 for rotating the rotating shaft 52, and a belt 56 for transmitting the rotational force of the driving motor 55 to the rotating shaft 52. do.

상기 부상부(10)와 기판(101) 사이의 적절한 간격조절을 위하여 상기 부상부(10)의 높이를 조절할 수 있는 높이조절부(60)가 상기 필터취부(15)와 상기 프레임(70) 사이에 마련되는데, 도6에 도시된 바와 같이, 이 높이조절부(60)는 상기 필터취부(15) 측에 고정되는 높이조절용 볼트(61)와, 상기 높이조절용 볼트(61)를 지지하는 지지부(65)와, 상기 볼트에 체결되는 높이조절용 너트(62)와, 상기 높이조절용 볼트(61)의 몸체가 수용되며 상기 높이조절용 너트(62)의 하부를 지지하는 볼트수용부(63)와, 상기 볼트수용부(63)를 상기 프레임(70)에 고정하기 위한 고정용 볼트(64)로 구성된다. 이 높이조절부(60)는 상기 높이조절용 너트(62)를 회전시킴에 따라서 상기 높이조절용 볼트(61)가 진퇴 운동하여 상기 부상부(10)의 높이를 조절하게 된다.The height adjusting part 60, which can adjust the height of the floating part 10, can adjust the height of the floating part 10 between the filter mounting part 15 and the frame 70 for proper spacing between the floating part 10 and the substrate 101. 6, the height adjusting part 60 has a height adjusting bolt 61 fixed to the filter mounting part 15 and a support part for supporting the height adjusting bolt 61. 65, a height adjusting nut 62 fastened to the bolt, a body of the height adjusting bolt 61 is accommodated, and a bolt accommodating part 63 supporting a lower portion of the height adjusting nut 62; It is composed of a fixing bolt 64 for fixing the bolt receiving portion 63 to the frame 70. The height adjusting unit 60 adjusts the height of the floating part 10 as the height adjusting bolt 61 moves forward and backward by rotating the height adjusting nut 62.

이하에서는 상기 실시예에 따른 공기 부상 이송장치의 작용을 설명한다. Hereinafter will be described the operation of the air floating conveying apparatus according to the embodiment.

상기 기판이송장치(100)는 부상부(10)에서 기판(101)을 부상시키고, 기판(101)의 양측 단부를 지지하고 있는 이송로울러(41)의 회전에 의해 기판(101)을 소정의 방향으로 이송하게 된다. The substrate transfer apparatus 100 floats the substrate 101 at the floating portion 10, and rotates the substrate 101 in a predetermined direction by the rotation of the transfer roller 41 supporting both ends of the substrate 101. Will be transferred to.

상기 부상부(10)는 기판(101)의 저면에 공기를 분출하여 기판(101)을 부상시키게 되는데, 이에 필요한 공기는 상기 팬(11)에 의해 송풍된다. 상기 팬모터(12)가 팬(11)을 회전시키게 되면 상기 팬케이스(30) 저면의 공기흡입구(31)로 공기가 흡입되고, 흡입된 공기는 상기 팬(11)에 의해 상기 공기패널(20)로 전달된다. 이 공기는 도중에 필터(14)를 거치면서 먼지 등의 이물질이 제거된 후 상기 하부패널(23)의 개구부(24)를 통해 상기 공기유로(26)로 유입되고, 상기 공기유로(26)에서는 상기 상부패널(22)에 마련된 다수의 공기 분출구(21)로 분배되어 기판(101)의 저면으로 분출된다. 상기 공기유로(26) 상에서 공기는 고르게 분포되기 때문에 각각의 공기 분출구(21)에서 분출되는 공기의 압력도 균일한 압력으로 분출된다. 그리고 분출된 공기는 기판(101)의 저면에 공기막을 형성하여 기판(101)이 상기 상부패널(22)에 직접접촉되는 것을 방지하여 준다. The floating portion 10 ejects air to the bottom surface of the substrate 101 to float the substrate 101, and the necessary air is blown by the fan 11. When the fan motor 12 rotates the fan 11, air is sucked into the air inlet 31 of the bottom surface of the fan case 30, and the sucked air is sucked by the fan 11 to the air panel 20. Is delivered. The air is introduced into the air passage 26 through the opening 24 of the lower panel 23 after the foreign matter such as dust is removed while passing through the filter 14, and in the air passage 26, It is distributed to a plurality of air blowing holes 21 provided in the upper panel 22 and is ejected to the bottom surface of the substrate 101. Since air is evenly distributed on the air passage 26, the pressure of the air ejected from each air outlet 21 is also ejected at a uniform pressure. The blown air forms an air film on the bottom surface of the substrate 101 to prevent the substrate 101 from directly contacting the upper panel 22.

이렇게 하여 부상된 기판(101)은 부상부(10)의 양측에 배열된 이송로울러(41)에 의해 이송력을 전달받아 이송된다. 이송로울러(41)를 회전시키기 위하여 상기 구동장치(50)의 구동모터(55)는 상기 벨트(56)를 통하여 마그네트(51)를 회전시키고, 이에 따라 상호작용하는 자기력에 의해 마그네틱로울러(53)가 회전하면서 연결축(54)에 의해 결합된 이송로울러(41)도 일체로 회전한다.In this way, the injured substrate 101 is conveyed by a transfer force by a transfer roller 41 arranged on both sides of the float 10. In order to rotate the transfer roller 41, the drive motor 55 of the drive device 50 rotates the magnet 51 through the belt 56, and thus the magnetic roller 53 by the magnetic force interacting. While rotating, the feed roller 41 coupled by the connecting shaft 54 also rotates integrally.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판이송장치는 기판의 부상에 필요한 공기를 공급받기 위하여 별도의 배관구조 없이 공기패널의 저면에 마련되는 팬에 의하여 직접 공급받기 때문에 구조가 단순하여 제작과 유지보수가 용이하고, 분출되는 공기의 압력이 균일한 효과가 있다. As described in detail above, the substrate transfer device according to the present invention is directly manufactured by the fan provided on the bottom of the air panel without a separate piping structure in order to receive the air required for the rise of the substrate, the structure is simple and manufactured and Maintenance is easy, and the pressure of the blown air has a uniform effect.

도1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치를 도시한 분해 사시도. 1 is an exploded perspective view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치를 도시한 정면도.Figure 2 is a front view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치의 부상부를 도시한 횡단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing a floating portion of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도4는 도3의 기판이송장치의 부상부를 도시한 종단면도.Fig. 4 is a longitudinal sectional view showing the floating portion of the substrate transfer device of Fig. 3;

도5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치의 이송부를 도시한 단면도. 5 is a cross-sectional view showing a transfer unit of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판이송장치의 높이조절부를 도시한 단면도.Figure 6 is a cross-sectional view showing the height adjusting portion of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10: 부상부 11: 팬10: Injury 11: Fan

12: 팬모터 13: 필터부12: fan motor 13: filter unit

20: 공기패널 21: 분출구20: air panel 21: spout

22: 상부패널 23: 하부패널22: upper panel 23: lower panel

26: 공기유로 30: 팬케이스26: air flow path 30: fan case

31: 공기흡입구 32: 가이드31: air intake 32: guide

33: 고정부 34: 고정나사33: fixing part 34: fixing screw

40: 이송부 41: 이송로울러40: transfer part 41: transfer roller

50: 구동장치 51: 마그네트50: drive device 51: magnet

53: 마그네틱로울러 55: 구동모터53: magnetic roller 55: drive motor

60: 높이조절부 61: 높이조절용 볼트60: height adjustment 61: height adjustment bolt

62: 높이조절용 너트 63: 볼트수용부62: height adjusting nut 63: bolt receiving portion

70: 프레임 100: 기판이송장치70: frame 100: substrate transfer device

101: 기판101: substrate

Claims (6)

기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고, A floating portion for floating the substrate with air, and a transfer portion for transferring a transfer force to the substrate floating by the floating portion, 상기 부상부는 기판을 부상시키기 위한 공기를 발생시키는 횡류 팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치. The floating portion includes a cross-flow fan for generating air for floating the substrate. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 부상부는 기판에 공기를 공급하는 공기패널을 더 포함하고, The floating portion further includes an air panel for supplying air to the substrate, 상기 공기패널은 공기가 분출되는 분출구가 하나 이상 형성된 상부패널과, 상기 분출구에 공기를 공급하는 공기유로가 형성되도록 상기 상부패널과 소정간격 이격되어 설치되는 하부패널을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The air panel may include an upper panel having one or more ejection openings through which air is ejected, and a lower panel spaced apart from the upper panel by a predetermined distance such that an air passage for supplying air to the ejection openings is formed. Device. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 부상부는 기판에 공급되는 공기를 정화하기 위한 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치. The floating portion further comprises a filter for purifying the air supplied to the substrate. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 기판이송장치는 상기 부상부의 높이를 조절하기 위한 높이 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The substrate transfer apparatus further comprises a height adjusting unit for adjusting the height of the floating portion. 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 높이조절부는 상기 부상부를 지지하는 프레임과 상기 부상부 중 어느 일측에 마련되는 높이조절용 볼트와, 다른 일측에 마련되어 상기 높이조절용 볼트의 몸체를 수용하는 볼트 수용부와, 상기 볼트에 체결되며 상기 볼트 수용부에 의해 지지되는 높이조절용 너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치The height adjusting part is a frame for supporting the floating portion and the height adjusting bolt provided on any one side of the floating portion, the bolt receiving portion provided on the other side to receive the body of the height adjustment bolt, the bolt is fastened to the bolt Substrate transfer device characterized in that it comprises a height adjustment nut supported by the receiving portion 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 이송부는 기판을 지지하는 이송로울러와, 상기 이송로울러를 회전시키는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The transfer unit substrate transfer apparatus comprising a transfer roller for supporting the substrate, and a driving device for rotating the transfer roller.
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