KR100745104B1

KR100745104B1 - 컨택터 프로브, 전기 프로브 유닛, 컨택터 프로브를 위한 프로브 어셈블리와 절연체의 조합체 및 컨택터 프로브를 위한 탄성의 도전성 프로브 어셈블리

Info

Publication number: KR100745104B1
Application number: KR1020027016957A
Authority: KR
Inventors: 가자마도시오
Original assignee: 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤
Priority date: 2000-06-16
Filing date: 2001-06-15
Publication date: 2007-08-01
Also published as: CN1262842C; EP1795905A1; EP1290454B1; JP2004503783A; CN1436306A; US20030137316A1; DE60126936T2; AU2001264297A1; KR20030014711A; WO2001096883A3; US7459922B2; US7969170B2; TW515889B; DE60139584D1; MY134203A; EP1795906B1; DE60140330D1; WO2001096883A2; DE60126936D1; US20090009205A1

Abstract

본 발명은 인덕턴스 및 저항을 증가시키지 않고 도전 경로의 도전용 슬라이딩부 개수를 줄여 검사의 정확도를 향상시키기 위하여, 코일 스프링(2)에 의하여 반대 방향으로 바이어스되며, 배선판(10)에 전기적으로 접속되는 한 쌍의 플런저(3, 4)는 하나의 플런저(4) 상에 고정된 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)인 튜브부(15)에서 전기 신호가 직선으로 흐를 수 있고, 다른 하나의 플런저(3)는 슬라이드 가능하게 접촉되어 전기적으로 접속된다.

인덕턴스, 저항, 도전 경로, 슬라이딩부, 코일 스프링, 배선판, 플런저, 나선형부, 튜브부

Description

컨택터 프로브, 전기 프로브 유닛, 컨택터 프로브를 위한 프로브 어셈블리와 절연체의 조합체 및 컨택터 프로브를 위한 탄성의 도전성 프로브 어셈블리 {CONTACTOR PROBE, ELECTRIC PROBE UNIT, COMBINATION OF A PROBE ASSEMBLY AND A INSULATOR FOR CONTACTOR PROBE, AND ELASTIC CONDUCTIVE PROBE ASSEMBLY}

본 발명은 도선과 같은 신호 송신선을 거쳐 외부 회로로 송신될 전기 신호를 꺼내기 위하여 액정 표시 기판, TAB, 또는 패키지 기판(PKG) 등의 접촉 타깃 상에 접촉하는데 적합한 니들 부재로서 플런저를 갖는 도전성 소형 컨택터, 소켓핀(socketpin: SCP), 틴프로브(thinprobe: THP)와 같은 컨택터 프로브에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 복수의 컨택터 프로브로 구성된 전기 프로브 유닛에 관한 것이다.

인쇄 회로 기판의 도전체 패턴 또는 전기 장치 등의 전기 검사용 종래의 전기 프로브 유닛은, 도전성 니들 부재로서의 플런저, 상기 플런저를 축방향으로 이동하여 입출 가능하도록 지지하는 홀더, 상기 플런저를 그 돌출 단부가 상기 홀더의 전방 단부(축방향 단부임)로부터 돌출하는 방향으로 탄성적으로 바이어싱함으로써 플런저의 돌출 단부가 피검사물의 접촉 타깃과 탄성으로 접촉될 수 있는 코일 스프링으로 구성된 컨택터 프로브를 사용한다.

그 예로서, 일본국 특공평 제10-239349호에 개시된 바와 같이, 도 13에 도시된 컨택터 프로브(100)가 공지되어 있으며, 상기 프로브는 코일 스프링(2)의 양 단부에 결합된 한 쌍의 플런저(3, 4)를 갖는 플런저 어셈블리(5)가 절연성 홀더(6, 7)에 형성된 지지공(8, 9)에 장치되도록 수용되어 쌍으로 된 플런저(3, 4)가 왕복 이동할 수 있는 반면, 장치된 플런저(3, 4)가 외측으로 돌출하도록 충동되고 탈락이 방지될 수 있다.

장치된 상태에서, 지지공(8, 9)에 수용된 플런저(3, 4)는 탈락이 방지되고, 단차를 가진 부분 중 하나는 하단 홀더(6)와 결합되며 다른 하나는 상단 홀더(7)와 결합되어 있다. 코일 스프링(2)은 자신의 중간부에 촘촘하게 권취된 나선형부(2a)를 갖는다. 중간의 촘촘하게 권취된 나선형부(2a)는 플런저(3, 4)의 스템부(3a, 4a)가 대기 상태(플런저(3)가 검사 타깃 상에 접촉되지 않은 상태)로 나선형부에 접촉되는 길이를 갖는다.

상기 프로브(100)는 상단 플런저(4)의 돌출 단부가, 하단 플런저(3)의 돌출 단부를 검사 대상물의 검사 타깃(12) 상에 탄성으로 접촉시킴으로써, 홀더(7) 상에 적층된 배선판(10)에 고정되는 리드 도전체(11)와 탄성으로 접촉되는 전기적으로 접속된 상태에서 검사하는데 사용된다. 검사 시, 전기 신호(12)의 도전 경로(L)가, 도 13에 실선 화살표로 도시된 바와 같이, 스템부(3a)로부터 중간의 촘촘하게 권취된 나선형부(2a)를 거쳐 상단 플런저(4)의 스템부(4a)까지 도전되도록, 검사 타깃으로부터 하단 플런저(3)까지 연장되고, 상단 플런저(4)를 통과하며, 리드 도전체(11)로 인도됨으로써, 기판(13) 상에 형성된 인쇄 회로인 검사 타깃(12)의 쇼트 또는 단락에 대한 검사가 실행될 수 있다.

이와 관련하여, 하나의 코일 스프링(2)을 통과해야 하는 도전 경로(L)는 중 간의 촘촘하게 권취된 나선형부(2a)를 포함하고, 여기에서 전기 신호의 상당 부분은 코일 스프링(2)의 축방향으로 직선으로 도전되므로, 고주파 신호가 추가의 인덕턴스 및 추가의 저항을 가질 수 있는 코일 스프링(2)의 촘촘하지 않게 권취된 나선형부로 흐르는 것이 방지된다.

그러나, 컨택터 프로브(100)에 있어서, 도전 경로(L)는 도 13에 도시된 바와 같이 중간의 촘촘하게 권취된 나선형부(2a)와 하단 및 상단 플런저(3, 4)의 스템부(3a, 4a) 사이를 도전시키는 하단 및 상단 슬라이딩부(A, B)를 포함하며, 도전용의 두 개의 슬라이딩부(A, B)로 인하여 저항이 분산되므로 검사 정확도가 떨어지는 문제가 있다.

또한, 컨택터 프로브(100)는 플런저(3)에 의하여 검사 타깃(12) 상에 가해지는 접촉 압력이 다소 크지 않은 경우, 이러한 이유로 접촉 저항이 높아지게 되어 예를 들어 검사 타깃(12)의 산화막이 파손되기 때문에 안정적이지 못하다. 따라서, 플런저(4)를 거쳐 또한 리드 도전체(11) 상에 동시에 가해지는 큰 접촉 압력이 필요하게 되고, 이것은 대량 생산에 적용하는 경우 리드 도전체(11)가 매 시험(수천 내지 수백만 번)마다 가해지는 커다란 접촉 압력을 받게 되어, 조기 파열로 인한 기판(13)(배선판(10))의 수명이 감소되는 다른 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 도전 경로를 인덕턴스나 저항의 증가없이 도전용의 슬라이딩부의 개수를 감소시켜 검사의 정확도를 향상시킬 수 있는 컨택터 프로브 및 전기 프로브 유닛을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 양태에 있어서, 개방 단부 및 폐쇄 단부를 갖는 지지공이 형성된 절연체, 폐쇄 단부의 지지공 내부에 노출된 리드 도전체, 및 지지공 내에 고정되어 탈락을 방지하는 탄성 도전체 어셈블리를 포함하고, 상기 어셈블리는 개방 단부 외측에 노출된 제1 도전체부 및 리드 도전체와 접촉하는 제2 도전체부를 포함하며, 제1 및 제2 도전체부 중 하나는 제1 및 제2 도전체부 중 다른 한 부분 상에서 한 부분과 슬라이드 가능하게 접촉하는 튜브형 도전체부, 및 튜브형 도전체부의 다른 부분에 고정되는 고정형 도전체부를 포함하는 컨택터 프로브를 제공한다.

본 발명의 상기 양태에 있어서, 하나의 슬라이딩 접촉부를 갖는 튜브형 도전체부는 인덕턴스를 고주파로 여전히 감소시킬 수 있다.

바람직하기로는, 제1 도전체부는 제1 플런저를 포함할 수 있고, 제2 도전체부는 제2 플런저 및 코일 스프링을 포함할 수 있으며, 튜브형 도전체부는 촘촘하게 권취된 코일 스프링부를 포함할 수 있다.

바람직하기로는, 제1 도전체부는 제1 플런저 및 코일 스프링을 포함할 수 있고, 제2 도전체부는 제2 플런저를 포함할 수 있으며, 튜브형 도전체부는 촘촘하게 권취된 코일 스프링부를 포함할 수 있다.

바람직하기로는, 제1 도전체부는 중공이 형성된 제1 플런저를 포함할 수 있고, 제2 도전체부는 제2 플런저 및 코일 스프링을 포함할 수 있으며, 튜브형 도전체부는 중공이 형성된 제1 플런저의 튜브부를 포함할 수 있다.

바람직하기로는, 제1 도전체부는 중공이 형성된 제1 플런저를 포함할 수 있 고, 제2 도전체부는 제2 플런저를 포함할 수 있으며, 튜브형 도전체부는 촘촘하게 권취된 코일 스프링부를 포함할 수 있다.

바람직하기로는, 제1 도전체부는 제1 플런저를 포함할 수 있고, 제2 도전체부는 중공이 형성된 제2 플런저 및 코일 스프링을 포함할 수 있으며, 튜브형 도전체부는 촘촘하게 권취된 코일 스프링부 및 중공을 형성하는 제2 플런저의 튜브부를 포함할 수 있다.

또한, 전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 양태에 있어서, 복수의 컨택터 프로브를 포함하는 전기 프로브 유닛을 제공한다.

본 발명의 상기 및 다른 목적과 신규의 특징은 첨부 도면을 참조하여 기재된 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 완전하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예 따른 전기 프로브 유닛의 사시도이다.

도 2는 도 1의 전기 프로브 유닛 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 프로브 유닛 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 프로브 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 프로브 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 프로브 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 프로브 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 프로브 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 프로브 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 프로브 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 프로브 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 프로브 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

도 13은 종래의 전기 프로브 중 컨택터 프로브의 종단면도이다.

다음에, 본 발명을 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 동일 부재에 동일 도면 부호를 부여하였다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기 프로브 유닛(PU)의 도면이다. 프로브 유닛(PU)은 상대적으로 큰 기판으로서의 양면 성능판(H2) 및 상기 성능판(H2) 하측에 나사로 고정된 상대적으로 작은 반복되는 기판으로서의 실질적으로 편평한 변압기(H1)를 포함하는 프로브 카드로 구성되고, 상기 변압기(H1)의 하측에는 나사로 고정된 적어도 하나의 전기 프로브 모듈(PM)을 갖는다. 프로브 유닛(PU)은 "테스터"(도시되지 않음)라고 하는 컴퓨터 이용 멀티-축 위치결정 로봇에 의하여 지지되므로, 프로브 모듈(PM)은 전류 도전성 또는 성능 검사와 같은 전류 데이터 또는 신호를 획득하거나 샘플링하기 위하여 전기 접촉에 의하여 프로브될 인쇄 회로 기판, 마이크로 칩, 또는 반도체 웨이퍼와 같은 타깃(도시되지 않음)의 검사에 최적인 상태로 설계된 공간적 영역 내의 임의의 위치에 설정될 수 있다.

전기 프로브 모듈(PM)은 변압기(H1)에 고정되어 있는 실질적으로 편평한 절연성 모듈 하우징(MH), 및 상기 모듈 하우징(MH) 내에 결합되는 수백 내지 수천개의 컨택터 프로브(1) 매트릭스로 각각 구성되는 복수(이 경우 4개)의 전기 프로브 블록(PB)의 타깃-전용 어레이로 구성되고, 접촉 하측 단부가 외측으로 예를 들어 대략 0.15mm의 설계 거리로 노출되어 있다. 각각의 프로브(1)는 변압기(H1) 내에 적층된 배선판의 해당 리드 도전체에 접속된다. 유닛(PU)이 저주파용인 경우, 리드 도전체는 외부 접속선에 접속될 수 있다.

도 2는 도 1의 전기 프로브 유닛(PU)의 임의의 컨택터 프로브(1)의 도면이다.

프로브 유닛(PU)은 모듈 하우징(MH)에 고정된 절연판 부재로서의 하단 프로브 홀더(6), 상기 하단 프로브 홀더(6) 상에 적층된 절연판 부재인 상단 프로브 홀더(7), 및 상기 상단 프로브 홀더(7) 상에 적층되고 리드 도전체(11)가 형성되어 있는 절연 기판인 배선판(10)을 갖는다. 프로브 홀더(6, 7) 및 배선판(10)은 단단하게 결합된다. 각각의 프로브(1)마다, 하단 홀더(6)는 하단 홀더를 관통하도록 형성되는 원통형의 하단 지지공(8)을 포함하며, 상기 하단 지지공(8)은 하측 단부 가까이에서 직경이 감소된 단부를 형성하는 내측 단차(8a)를 가지고, 상단 홀더(7)는 상단 홀더를 관통하도록 형성되는 원통형의 상단 지지공(9)을 포함하며, 상기 상단 지지공(9)은 상측 단부 가까이에서 직경이 감소된 단부를 형성하는 내측 단차(9a)를 갖는다. 단차(8a, 9a) 사이에서, 하단 및 상단 지지공(8, 9)은, 단부에 형성된 감소된 직경보다 상대적으로 크고 서로 일치하는 직경을 갖는다. 대응하는 리드 도전체(11)는 자신의 하측 단부가 상단 지지공(9)의 상측 단부 내부로 노출된다.

프로브(1)는 하단 지지공(8)의 직경이 큰 부분에 축방향으로 슬라이드 가능하게 고정되는, 중간부에 플랜지부(3b)를 갖는 도전성 니들 부재로서의 하단 플런저(3), 상단 지지공(9)의 직경이 큰 부분에 축방향으로 슬라이드 가능하게 고정되는, 중간부에 플랜지부(4b)를 갖는 도전성 니들 부재로서의 상단 플런저(4), 및 상기 지지공(8, 9)의 직경이 큰 부분에 슬라이드 가능하게 고정되고 하단 및 상단 플런저(3, 4)의 플랜지부(3b, 4b) 사이에 압착됨으로써 플런저(3, 4)가 일반적으로 반대 방향으로 바이어스되는 코일 스프링(2)으로 구성된다. 따라서, 하단 플런저(3)는 플랜지부(3b)에서 압착되고, 하단 지지공(8)의 단차(8a)에 의하여 탈락이 방지되며, 니들 헤드부(3c)의 원뿔형 선단부는 외측으로 돌출하고, 상단 플런저(4)는 니들 헤드부(4c)의 원뿔형 선단부에서 리드 도전체(11)의 하측 단부인 패드(11a)에 맞대어 압착된다. 하단 플런저(3) 및 상단 플런저(4)는 니켈판에 금판으로 마감된 공구강(SK)을 외경을 0.1mm로 하여 제조된다. 코일 스프링(2)은 두께 0.3mm의 니켈판에 두께 0.3-0.5mm의 금판으로 마감된 나선형으로 형성된 피아노선(SWPA)으로 제조된다.

하단 플런저(3)는 플랜지부(3b) 상측의 보스부(3d), 및 상기 보스부(3d) 상측에 상측 방향으로 연장되는 스템부(3a)를 갖는다. 상단 플런저(4)는 플랜지부(4b) 하측에 보스부(4d)를 갖는다. 코일 스프링(2)은 상단부에 상대적으로 긴 튜브부(15)를 구성하는 촘촘하게 감긴 나선형부(15a), 하측 단부에 짧은 튜브부를 구성하는 촘촘하게 감긴 다른 나선형부, 및 이들 사이에 연장되는 상대적으로 촘촘하지 않게 감긴 나선형부를 갖는다. 각각의 튜브부에 있어서, 스프링(2)의 인접하는 나선형부 상의 금판 중 넓은 영역이 밀착되므로, 전류의 상당 부분이 축방향으로 실질적으로 선형으로 도전될 수 있다. 긴 튜브부(15)는 상단 플런저(4)의 보스부(4d) 상에 일체가 되도록 도전을 위하여 자신의 상측 단부에 고정되도록 압착 끼워맞춤된다. 또한, 짧은 튜브부도 도전을 위하여 하단 플런저(3)의 보스부(3d) 상에 견고하게 고정되도록 압착 끼워맞춤된다. 촘촘하지 않게 권취된 나선형부는 하단 플런저(3)의 스템부(3a) 둘레에 느슨하게 고정된다. 상기 스템부(3a)는 자신의 상단에서 전기 접속을 위하여 긴 튜브부(15)의 하단부 내에 슬라이드 가능하게 고정된다.

제1 실시예에 있어서, 코일 스프링(2)의 일단에 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)로서 형성된 튜브부(15)는 상단 플런저(4) 상에 견고하게 고정되는 한편, 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)와 슬라이드 가능하게 접촉되는 스템부(3a)를 갖는 하단 플런저(3)는 코일 스프링(2)의 타단에 견고하게 고정된다.

보다 구체적으로, 플랜지부(3b)를 갖는 하단 플런저(3)는 플랜지부(3b)의 한 쪽 면 상에 형성된 니들 헤드부(3c) 및 플랜지부(3b)의 다른쪽 면 상에 형성된 보스부(3d)를 거쳐 일체로 형성된 상대적으로 긴 샤프트부인 스템부(3a)를 갖는다. 스템부(3a)는 도 2에 도시된 바와 같이 대기 상태(하단 플런저(3)가 검사 타깃(12)과 접촉되지 않은 상태)일 때 자신의 먼쪽 단부가 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)에 도달할 수 있는 길이를 갖고, 직경은 보스부(3d)보다 약간 더 작게 형성된다. 플랜지부(4b)를 갖는 상단 플런저(4)는 플랜지부(4b)의 한쪽 면 상에 형성된 니들 헤드부(4c) 및 플랜지부(4b)의 다른쪽 면 상에 형성된 보스부(4d)를 갖는다.

코일 스프링(2)은 한쪽 단부의 촘촘하게 권취된 나선형부(15a) 및 그외 부분에서 촘촘하지 않게 권취된 나선형부를 갖는다. 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)에는 상단 플런저(4)가 보스부(4d)를 압착 끼워맞춤으로써 단단하게 고정되고, 촘촘하지 않게 권취된 나선형부 단부의 상대적으로 짧게 권취된 나선형부에는 보스부(3d) 및 스템부(3a)를 코일 내부에 삽입하고 코일 단부를 보스부(3d) 상에 촘촘하게 권취함으로써 하단 플런저(3)가 단단하게 고정된다. 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)는 정해진 축방향 길이를 가져서 스템부(3a)와 보스부(4d) 사이의 축방향 거리로 인하여 하단 플런저(3)가 검사를 위하여 적절하게 동작할 수 있다.

이하 "플런저 어셈블리"라고 하는 탄성적으로 신장 및 압축되는 도전성 어셈블리(즉, 이 경우 코일 스프링(2), 및 하단과 상단 플런저(3, 4))는 홀더(6, 7)에 장치되고, 상단 플런저(4)는 홀더(7)의 지지공(9)에 위치되며 하단 플런저(3)는 홀더(6)의 지지공(8)에 위치된다. 장치된 상태에서, 자신의 먼쪽 단부가 홀더(6, 7)외측으로 각각 돌출하는 니들 헤드부(3c)를 갖는 하단 및 상단 플런저(3, 4)는 지지공(8, 9) 내에 왕복이동 가능하도록 수용되고, 코일 스프링(2)의 탄성력에 상관없이 지지공(8, 9)의 단차(8a, 9a) 상에 접하는 플랜지부(3b, 4b)에 의하여 탈락이 방지된다.

프로브(1)는 홀더(7)의 상단에 적층된 배선판(10)으로 구성된다. 적층으로 인하여, 상단 플런저(4)는 코일 스프링(2)의 탄성력에 대항하여 지지공(9) 내부로 밀려 들어가고, 니들 헤드부(4c)는 자신의 먼쪽 단부가 배선판(10)의 리드 도전체(11)의 패드(11a) 상에 탄성적으로 접촉하므로 전기적으로 접속될 수 있다.

이렇게 구성된 프로브(1)는 니들 헤드부(3c)를 기판(13) 상에 형성된 검사 타깃(12) 상에 원뿔형 선단부를 탄성적으로 접촉시킴으로써 검사에 사용될 수 있다. 검사 시, 도 2에 실선 화살표로 도시된 바와 같이, 스템부(3a)로부터 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)를 거쳐 상단 플런저(4)로 도전되도록, 전기 신호 도전 경로(L1)가 생겨 검사 타깃(12)으로부터 하단 플런저(3)로 연장되고, 상단 플런저(4)를 통하며, 리드 도전체(11)의 패드(11a)로 유도되어 기판(13) 상에 형성된 인쇄회로인 검사 타깃(12)을 쇼트 또는 단락에 대하여 검사될 수 있다.

이와 같이, 컨택터 프로브(1)에서, 코일 스프링(2)에 의하여 반대 방향으로 바이어스된 쌍으로 된 플런저(3, 4)는 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))를 거쳐 전기적으로 상호 접속되므로, 추가의 인덕턴스 및 추가의 저항을 갖는 코일 스프링(2)의 촘촘하지 않게 권취된 나선형부에 고주파가 흐르는 것이 방지된다. 인덕턴스 및 저항의 감소가 달성될 수 있다.

또한, 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))가 플런저(4)에 대하여 전기 도전을 위하여 일체로 된 상태이기 때문에, 슬라이딩부가 아닌 도전을 위한 고정부로서 작용할 수 있는 상호 접속부(C)가 그들 사이에 있다. 이에 따라, 쌍으로 된 플런저(3, 4) 및 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))로 구성된 도전 경로(L1)는 도전용의 슬라이딩부(D)인 한 부분을 갖고, 플런저(3)의 스템부(3a)는 슬라이딩 접촉하므로, 검사 시 저항의 분산이 최소화될 수 있다.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 컨택터 프로브(20)의 도면이다. 제1 실시예에서와 같이 동일 기능을 갖는 동일 부재에는 동일 도면 부호를 부여하고, 더 상세하게 설명하지 않는다.

프로브(20)는 쌍으로 된 하단 및 상단 플런저(3, 4)를 갖는다. 검사 타깃(12)과 접촉될 하단 플런저(3)는 배선판(10)과 접촉된 상단 플런저(4)보다 더 큰 스프링 부하로 하단 플런저(3)와 상단 프로브 홀더(7) 사이에 연장된 보조 스프링(16)에 의하여 바이어스된다.

보다 구체적으로, 하단 플런저(3)는 플랜지부(3b)를 가지며, 이 플랜지부(3b)의 한쪽 면에는 니들 헤드부(3c)가 형성되고 플랜지부(3b)의 다른쪽 면에는 보스부(3d)가 일체로 형성된다. 상단 플런저(4)는 플랜지부(4b)를 가지며, 이 플랜지부(4b)의 한쪽 면에는 니들 헤드부(4c)가 형성되고 플랜지부(4b)의 다른쪽 면에는 긴 스템부(4a)가 보스부(4d)를 거쳐 일체로 형성된다. 스템부(4a)는 대기 상태(하단 플런저(3)가 검사 타깃(12)과 접촉되지 않은 상태)에서 그 한쪽 단부가 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)에 도달할 수 있는 길이를 가지고, 그 직경은 보스부(4d)의 직경보다 약간 더 작다.

제1 실시예와 같이 제2 실시예에 있어서, 튜브부(15)는 코일 스프링(2)의 한쪽 면 상에 형성된 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)를 포함한다. 하단 플런저(3)는 촘촘하게 권취된 나선형부(15a) 내에 압착 끼워맞춤된 보스부(3d)로 견고하게 고정된다. 상단 플런저(4)는 코일 및 보스부(4d) 상에 촘촘하게 권취된 코일 단부 내에 삽입된 스템부(4a) 및 보스부(4d)에 의하여 촘촘하지 않게 권취된 나선형부의 단부에 결합된다.

이렇게 구성된 플런저 어셈블리에 있어서, 제1 실시예에서와 같이, 상단 플런저(4)는 홀더(7)의 원통형 상단 지지공(9)에 위치되고, 하단 플런저(3)는 홀더(7, 6)에 장착되도록 홀더(6)의 원통형 하단 지지공(8)에 위치되며, 배선판(10)은 홀더(7)의 상단부 상에 적층되고, 이로써 상단 플런저(4)의 니들 헤드부(4c)가 리드 도전체(11)의 패드(11a)와 접촉되어 전기적으로 접속된다.

제2 실시예에 있어서, 보조 스프링(16)은 코일 스프링으로 제조되고, 쌍으로 된 플런저(3, 4)를 탄성적으로 바이어싱하는 코일 스프링(2)의 외측에 위치되므로, 코일 스프링(2)을 구비한 동축의 이중 코일 스프링 구조체를 제공한다.

보다 구체적으로, 보조 스프링(16)은 코일 스프링(2)보다 적당하게 더 큰 직경을 갖는 코일 스프링으로 제조되고, 홀더(7)의 저면(7b)과 적당하게 큰 직경을 갖도록 형성된 플랜지부(3b) 사이에 연장되도록 지지공(9)보다 적당하게 더 큰 직경을 갖도록 형성된 지지공(8) 내에 삽입된다.

이렇게 구성된 마이크로컨택터(20)에 있어서, 하단 플런저(3)의 니들 헤드부(3c)의 원뿔형 선단부는 검사를 위하여 기판(13) 상에 형성된 검사 타깃(12) 과 탄성적으로 접촉된다. 도 3에 실선 화살표로 도시된 바와 같이, 검사 신호의 도전 경로(L2)는 타깃(12)으로부터 하단 플런저(3)를 통하여 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)에 도달하도록 연장되고, 나선형부(15a)를 통하여 상단 플런저(4)로 연장되며, 플런저(4)를 통하여 리드 도전체(11)(패드(11a))에 도달한다.

이 상태에서, 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15)는 하단 플런저(3)와 일체로 도전 상태이고, 그 접속부(E)는 슬라이딩 도전부가 아니라 고정형 도전부이다. 이에 따라, 쌍으로 된 플런저(3, 4) 및 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))로 구성된 도전 경로(L2)는 도전용의 슬라이딩부(F)인 한 부분을 가지며, 상단 플런저(4)의 스템부(4a)는 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))와 슬라이딩 접촉되므로, 검사 시 저항의 분산이 최소로 될 수 있다.

또한, 컨택터 프로브(20)에 있어서, 코일 스프링(2) 및 보조 스프링(16)의 총 스프링 부하가 하단 플런저(3) 상에 작용하므로 하단 플런저(3)가 커다란 접촉 압력으로 검사 타깃(12)과 탄성적으로 접촉된다. 반면, 코일 스프링(2)의 스프링 부하만 상단 플런저(4) 상에 작용하므로, 상단 플런저(4)는 보다 작은 접촉 압력으로 배선판(10)(패드(11a))과 탄성적으로 접촉될 수 있다.

따라서, 전술한 컨택터 프로브(1)의 기능 효과 외에, 컨택터 프로브(20)는 검사 타깃(12)과의 접촉 안정성의 감소를 방지하고, 배선판(10)(패드(11a))의 손상을 최소화시키므로 배선판(10)의 수명이 증가된다.

또한, 컨택터 프로브(20)는 장치의 크기를 증가시키지 않는 작은 공간에 장착될 수 있는, 코일 스프링(2)을 구비한 동축 이중 스프링 코일 구조체를 제공하도록 장착된 보조 스프링(16)을 갖는다.

또한, 컨택터 프로브(20)는 보조 스프링(16)인 코일 스프링 및 코일 스프링(2)의 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)를 포함하는 이중 코일 스프링 구조체를 양 스프링이 서로 결합되지 않는 간섭 방지 구조체로 되어 적절한 검사가 확보된다. 다른 간섭 방지 구조체는 반대 방향으로 권취된 권선을 갖는 두 개의 코일 스프링으로 된 이중 구조체로 달성될 수 있다.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 컨택터 프로브(21)의 도면이다. 프로브(21)는 하단 플런저(3)에 단차를 가진 플랜지부(3b)를 가진 것을 제외하고는 전술한 컨택터 프로브(20)의 구조와 동일하다.

보다 구체적으로, 제3 실시예에 따른 플런저(3)의 플랜지부(3b)는 보조 스프링(16)보다 직경이 더 크고, 보조 스프링(16)의 코일 단부와 접촉되는 직경이 큰 플랜지부(3e), 및 직경이 큰 플랜지부(3e)의 한쪽 면 상에 일체로 형성된 직경이 작은 플랜지부(3f)로 구성되며, 이 플랜지부(3f) 상에는 보스부(3d)가 형성된다.

따라서, 컨택터 프로브(21)는 컨택터 프로브(20)와 동일한 기능을 가지며, 또한 보조 스프링(16)의 코일 내에 삽입된 직경이 작은 플랜지부(3f)를 가진 플런저(3)를 장착함으로써 하단 플런저(3)의 안정적인 동작이 확보된다.

도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 컨택터 프로브(22)의 도면이다. 프로브(22)는 하단 플런저(3)의 연장부인 튜브부(15b)로 제조된 튜브부(15)를 갖는다. 상단 플런저(4)는 튜브부(15b) 내에 슬라이드 가능하게 삽입된다. 코일 스프링(2)은 플런저(3, 4)를 반대 방향으로 바이어스하도록 장착되는 튜브부(15b) 내에 삽입된다.

컨택터 프로브(22)에 있어서, 보조 스프링(16)은 코일 스프링으로 제조되며 튜브부(15b) 외측에 연장된다.

보다 구체적으로, 하단 플런저(3)는 니들 헤드부(3c) 및 상기 니들 헤드부(3c)의 가까운쪽 단부의 외주 상에 형성된 플랜지부(3b)로 구성된다. 튜브부(15b)는 플런저(3)의 가까운쪽 단부로부터 반대 방향으로 니들 헤드부(3c)로 연장된다. 튜브부(15b)는 자신의 전방 단부에 내측으로 대면하는 내부 플랜지부(15c)를 갖는다.

상단 플런저(4)는 니들 헤드부(4c) 및 상기 니들 헤드부(4c)의 가까운쪽 단부의 외주 상에 형성된 플랜지부(4b)로 구성되며, 튜브부(15b) 내에 슬라이드 가능하게 장착되도록 튜브부(15b) 내에 삽입된 코일 스프링(2)으로 바이어스되고, 여기에서 니들 헤드부(4c)의 원뿔형 선단부는 내부 플랜지부(15c) 외측에 돌출하며, 플랜지부(4b)는 빠져 나가지 않도록 내부 플랜지부(15c)에 맞대어 접한다. 이렇게 구성된 플런저 어셈블리는 홀더의 지지공 내에 장착된다.

상기 실시예에서, 홀더는 두꺼운 홀더(17) 및 상기 두꺼운 홀더(17)의 하측면 상에 적층된 얇은 홀더(19)로 구성된다. 두꺼운 홀더(17)는 경계로서 단차(18a)를 가진 상단의 직경이 작은 부분 및 하단의 직경이 큰 부분을 포함하는 단차를 가진 지지공(18)을 갖는다. 얇은 홀더(19)는 단차를 가진 지지공(18)의 하단의 직경이 큰 부분과 연통하는 직경이 작은 지지공(19a)을 갖는다. 상단의 직경 이 작은 부분은 튜브부(15b)가 슬라이딩 관통할 수 있는 직경을 갖는다.

상기 실시예의 플런저 어셈블리는 니들 헤드부(3c)의 원뿔형 선단부가 지지공(19a) 외측에 돌출하고, 플랜지부(3b)는 얇은 홀더(19)의 상측면에 맞대어 접하여 탈락을 방지하며, 튜브부(15b)의 상측 단부는 지지공(18)의 상단 직경이 작은 부분에 위치되고, 니들 헤드부(4c)의 원뿔형 선단부는 상단 직경이 작은 부분 외측에 돌출하도록 장착된다.

컨택터 프로브(22)는 홀더(17)의 상측면 상에 적층된 배선판(10) 및 단차부(18a)와 플랜지부(3b) 사이의 튜브부(15b) 외측에 연장되는 보조 스프링(16)을 더 갖는다. 상단 플런저(4)는 코일 스프링(2)의 스프링힘에 대항하여 튜브부(15b) 내로 다시 밀려 들어간다. 니들 헤드부(4c)의 원뿔형 선단부는 배선판(10)의 리드 도전체(11)의 패드(11a)와 접촉되어 전기적으로 접속된다.

컨택터 프로브(22)로 검사하는 신호의 도전 경로(L3)는, 도 5에 실선 화살표로 도시된 바와 같이, 검사 타깃(12)으로부터 하단 플런저(3) 및 이 플런저(3)와 일체로 형성된 튜브부(15b)를 통과하고 플런저(4)를 통과하여 리드 도전체(11)(패드(11a)에 도달하도록 연장된다.

따라서, 상기 실시예의 도전 경로(L3)는 쌍으로 된 플런저(3, 4) 및 튜브부(15b)로 구성되고, 여기에서 플런저(3) 및 튜브부(15b)는 연속되는 도전 경로를 일체로 구성한다. 이에 따라, 도전 경로(L3)는 도전용의 슬라이딩부(G)인 한 부분을 갖고, 플런저(4)는 튜브부(15b)와 접촉되어 검사 시 저항의 분산이 최소화될 수 있다.

또한, 컨택터 프로브(22)에 있어서, 코일 스프링(2)에 의한 작은 접촉 압력으로 인하여 플런저(4)가 패드(11a)와 접촉될 수 있고, 코일 스프링(2) 및 보조 스프링(16)의 총 스프링 부하로 인한 큰 접촉 압력으로 인하여 플런저(3)가 검사 타깃(12)과 접촉될 수 있다.

따라서, 컨택터 프로브(22)는 전술한 컨택터 프로브(20)와 동일한 기능을 갖는다.

또한, 컨택터 프로브(22)는 튜브부(15b)를 갖는 간섭 방지 구조체를 갖고, 여기서 보조 스프링(16), 및 튜브부(15b) 내부의 코일 스프링(2)의 코일부는 서로 결합되지 않는다. 이로써 보조 스프링(16)과 코일 스프링(2) 사이의 간섭없이 적절한 검사가 보장된다.

도 6은 본 발명의 제5 실시예에 따른 컨택터 프로브(23)의 도면이다. 프로브(23)는 코일 스프링(2), 및 상기 코일 스프링(2)에 의하여 검사 타깃(12) 쪽으로 바이어스된 플런저(3)로 구성되고, 이들은 절연재로 제조된 홀더(6, 7)를 관통하여 제공된 지지공에 왕복이동 가능하게 수용된다. 검사 시, 홀더(7) 상에 작층된 배선판(10) 및 타깃(12)은 코일 스프링(2) 및 플런저(3)를 거쳐 전기적으로 접속된다.

상기 실시예에 있어서, 코일 스프링(2)은 자신의 일단에 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)로 제조된 튜브부(15)를 갖는다, 튜브부(15)의 일단은 배선판(10)과 전기적으로 접속된다. 타단에는 튜브부(15)와 슬라이드 가능하게 접촉되는 스템부(3a)를 갖는 플런저(3)가 결합된다.

보다 구체적으로, 코일 스프링(2)은 일단에 위치된 촘촘하게 권취된 나선형부(15a) 및 나머지 부분에 위치된 촘촘하지 않게 권취된 나선형부로 구성된다. 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)는 신호를 직선으로 흐르게 할 수 있는 튜브부(15)를 구성한다. 플런저(3)는 플랜지부(3b)를 갖고, 이 플랜지부(3b)의 한쪽 면 상에는 니들 헤드부(3c)가 형성되며, 이 플랜지부(3b)의 다른쪽 면 상에는 긴 스템부(3a)가 보스부(3d)를 통과하여 일체로 형성된다. 스템부(3a)는 그 일단이 대기 상태(플런저(3)가 검사 타깃(12)과 접촉되지 않은 상태)에서 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)에 도달할 수 있는 길이를 갖고, 그 직경은 보스부(3d)의 직경보다 약간 더 작다. 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))는 그대로 남아 있고, 촘촘하지 않게 권취된 부분의 단부에는 스템부(3a) 및 보스부(3d)가 코일 단부가 보스부(3d) 상에 촘촘하게 권취되어 플런저(3)가 코일에 결합되도록 코일 내에 삽입된다.

이렇게 구성된 플런저 어셈블리에 있어서, 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))는 지지공 내에 위치되고 플런저(3)는 지지공 내에 위치되어 조립된다. 배선판(10)은 홀더(7)의 상측면 상에 적층된다. 상기 어셈블리에서, 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))의 상측 단부는 배선판(10)의 리드 도전체(11)의 패드(11a)와 탄성적으로 접촉되고, 플런저(3)는 홀더(6) 외측으로 돌출하는 니들 헤드부(3c)의 원뿔형 선단부를 가지며, 플랜지부(3b)는 탈락하지 않도록 지지공의 단차부에 맞대어 접한다.

또한 컨택터 프로브(23)는 컨택터 프로브(20)와 같이 코일 스프링(2) 외측에 위치된 코일 스프링으로 제조된 보조 스프링(16)을 구비한 동축 이중 코일 스프링 구조체를 가져서 플런저(3)만을 검사측 타깃(12)으로 바이어스한다.

이렇게 구성된 컨택터 프로브(23)로 검사할 때 신호의 도전 경로(L4)는, 도 6에 실선 화살표로 도시된 바와 같이, 타깃(12)으로부터 플런저(3)로, 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)에 도달하도록 스템부(3a)를 통과하고, 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)를 통과하여 리드 도전체(11)(패드(11a))로 연장된다.

이에 따라, 도전 경로(L4)는 도전용의 슬라이딩부(H)인 한 부분을 갖고, 여기서 플런저(3)의 스템부(3a)는 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)와 슬라이딩 접촉되어 검사 시 저항의 분산이 최소화 될 수 있다.

이렇게 구성된 컨택터 프로브(23)는 전술한 컨택터 프로브(20)와 동일한 기능을 갖고, 또한 배선판(10) 쪽에 플런저가 생략되므로 도전 경로(L4)가 단축되어 용이하게 조립될 수 있고 고주파 성능이 개선된다.

도 7은 본 발명의 제6 실시예에 따른 컨택터 프로브(24)의 도면이다. 프로브(24)는 코일 스프링(2)의 한쪽 면에 형성된 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)로 구성되는 튜브부(15)를 갖고, 이 나선형부(15a)는 자신의 전방 단부에서 하단 플런저(3)에 형성된 튜브부 내로 삽입되어 그 위에 고정된다. 상단 플런저(4)는 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)와 슬라이드 가능하게 접촉되는 스템부(4a)를 갖고, 코일 스프링(2)의 다른쪽 단부에 결합된다.

보다 구체적으로, 코일 스프링(2)은 자신의 한쪽 단부에는 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)를 그리고 나머지 부분에는 촘촘하지 않게 권취된 나선형부를 갖는다. 상기 부분(15a)은 신호가 직선으로 흐르게 할 수 있는 튜브부(15)로 구성된다.

하단 플런저(3)는 플랜지부(3b)를 갖고, 이 플랜지부(3b)의 한쪽 면 상에는 니들 헤드부(3c)가 형성된다. 니들 헤드부(3c)는 플랜지부(3b) 쪽에 개구를 갖는 튜브부를 형성하도록 중공으로 된 내부를 갖는다. 튜브부는, 상기 실시예에서, 저면에는 직경이 작은 튜브부(3h)를, 개구 쪽에는 직경이 큰 튜브부(3g)를 갖도록 단차로 형성된다. 상단 플런저(4)는 플랜지부(4b)를 갖고, 이 플랜지부(4b)의 한쪽 면 상에는 니들 헤드부(4c)가 형성되고, 이 플랜지부(4b)의 다른쪽 면 상에는 보스부(4d)를 거쳐 일체로 형성된 긴 스템부(4a)가 있다. 스템부(4a)는 그 상측 단부가 도 7에 도시된 상태(하단 플런저(3)가 검사를 위하여 타깃(12)과 접촉되어 있는 상태)의 촘촘하게 권치된 나선형부(15a)에 도달할 수 있는 길이를 가지며, 및 보스부(4d)보다 약간 작은 직경을 갖는다.

촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))는 자신의 전방 단부에서 직경이 작은 튜브부(3h) 내에 고정되도록 끼워진다. 촘촘하지 않게 권취된 나선형부의 단부에는, 스템부(4a) 및 보스부(4d)는 코일 단부가 보스부(4d)에 촘촘하게 권취되어 플런저(4)가 코일에 결합되도록 코일 내에 삽입된다. 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)의 상측 단부는 압착 끼워맞춤 외에 납땜에 의하여 추가로 고정시켜 전기적 성능을 개선시킬 수 있다.

이렇게 구성된 플런저 어셈블리에 있어서, 상단 플런저(4)는 홀더(7)의 지지 공 내부에 위치되고, 하단 플런저(3)는 홀더(6)의 지지공 내부에 위치되어 홀더(7, 6)에 고정되고, 배선판(10)은 홀더(7)의 상측면 상에 적층되어 플런저(4)의 니들 헤드부(4c)의 원뿔형 선단부가 배선판(10)의 리드 도전체(11)의 패드(11a)와 접촉되어 전기적으로 접속된다.

또한, 컨택터 프로브(20)와 같이 컨택터 프로브(24)는 코일 스프링(2) 외측에 위치된 코일 스프링으로 제조된 보조 스프링(16)을 구비한 동축 이중 코일 스프링 구조체를 가져 하단 플런저(3)만을 검사 타깃(12)으로 바이어스한다.

컨택터 프로브(24)로 검사하는 신호의 도전 경로(L5)는, 도 7에 실선 화살표로 도시된 바와 같이, 타깃(12)으로부터 플런저(3)의 니들 헤드부(3c)를 통과하여 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)에 도달하고, 이 나선형부(15a)로부터 스템부(4a)를 통과하여 플런저(4)를 통하여 리드 도전체(11)(패드(11a))에 도달하도록 연장된다.

도전 경로(L5)에 있어서, 촘촘하게 권취된 나선형부(15a) 및 니들 헤드부(3c)는 도전용의 고정부를 구성한다. 경로(L5)는 도전용의 슬라이딩부인 한 부분을 갖고, 여기서 플런저(4)의 스템부(4a)는 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))와 슬라이딩 접촉되어 검사 시 저항의 분산이 최소화될 수 있다.

이렇게 구성된 컨택터 프로브(24)에 있어서, 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)로 제조된 튜브부(15)는 자신의 전방 단부에서 플런저(3)의 튜브부(닉경이 작은 튜브부(3h)) 내에 견고하게 고정되도록 끼워져서, 플런저(3)와의 안정적인 전기적 접속이 달성될 수 있다. 또한, 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)의 튜브부(15)는 원주방향으로 나머지 부분이 자유로운 상태로 있어 적절한 횡방향 부하가 플런저(4)의 스템부(4a)에 가해질 수 있어 안정적인 전기 접속을 제공한다.

따라서, 컨택터 프로브(24)는 전술한 컨택터 프로브(20)와 동일한 기능을 갖고, 하단 플런저(3)와 상단 플런저(4) 사이에 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)를 포함하는 튜브부(15)의 안정적인 전기 접속을 제공함으로써 보다 신뢰성있는 검사가 보장된다.

도 8은 본 발명의 제7 실시예에 따른 컨택터 프로브(25)의 도면이다. 프로브(25)는 이 프로브(25)가 코일 스프링(2)과 스프링(2, 16) 사이의 격벽으로 작용하는 보조 스프링(16) 사이에 하단 플런저(3)의 연장부인 차단 튜브(3f')를 갖는다는 것을 제외하고는 전술한 컨택터 프로브의 구조와 동일하다.

따라서, 컨택터 프로브(25)는 프로브(24)의 기능과 유사한 기능을 갖고, 보조 스프링(16) 및 차단 튜브(3f)를 구비한 코일 스프링(2)을 서로 방해하지 않도록 위치시켜 안정적인 동작을 하게 함으로써 적절한 검사가 보장된다.

도 9는 본 발명의 제8 실시예에 따른 컨택터 프로브(26)의 도면이다. 프로브(26)는 상단 플런저(4) 및 코일 스프링(2)으로 구성된 신호의 직선 흐름을 제공하는 튜브부(15)를 갖는다는 점이 다른 실시예와 상이하다.

보다 구체적으로, 프로브(26)는 두 개의 튜브부, 플런저(4)의 연장부인 튜브부(15b), 및 코일 스프링(2)의 한쪽 면 상에 형성된 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)로 구성된 튜브부(15)를 갖는다. 하단 플런저(3)는 튜브부(15b) 내 에 슬라이드 가능하게 삽입된 스템부(3a)를 갖는다.

쌍으로 된 플런저(3, 4)는 튜브부(15b) 내에 삽입된 스템부(3a)와 축방향으로 이동가능하게 정렬된다. 코일 스프링(2)은 튜브부(15b) 및 스템부(3a) 외측에 배치된다. 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)는 그 한쪽 단부가 플런저(3)에 결합된 상태로 튜브부(15b)와 슬라이드 가능하게 접촉된다. 따라서, 쌍으로 된 플런저(3, 4)가 함께 결합된다.

보다 구체적으로, 플런저(3)는 플랜지부(3b)를 갖고, 이 플랜지부(3b)의 한쪽 면에는 니들 헤드부(3c)가 형성되며, 이 플랜지부(3b)의 다른쪽 면에는 보스부(3d)를 통과하여 일체로 형성된 긴 스템부(3a)를 갖는다. 플런저(4)는 플랜지부(4b)를 갖고, 이 플랜지부(4b)의 한쪽 면에는 니들 헤드부(4c)가 형성되며, 이 플랜지부(4b)의 다른쪽 면에는 보스부(4d)가 일체로 형성된다.

튜브부(15b)는 플런저(4)와 일체로 형성되도록 보스부(4d)로 연장된다. 튜브부(15b)의 중공부(4e)는 니들 헤드부(4c)의 중간부 측면의 니들 헤드부(4c)에 도달하고, 니들 헤드부(4c)의 단부에 형성된 도금 구멍(4f)의 외측과 연통한다. 도금 구멍(4f)은 도금액이 양호하게 흐르도록 하고, 중공부(4e)의 벽에 안정적으로 도금되도록 하며 스템부(3a)의 슬라이딩 저항을 최소화 시킨다.

코일 스프링(2)은 한쪽 단부의 촘촘하게 권취된 나선형부(15a) 및 다른쪽 단부의 촘촘하지 않게 권취된 나선형부로 구성된다. 촘촘하게 권취된 나선형부에서, 플런저(3)는 코일 및 상기 코일의 단부에 압착 끼워맞춤된 보스부(3d) 내에 삽입된 스템부(3a)로 고정된다. 촘촘하지 않게 권취된 나선형부의 단부에, 플런저(4)는 스템부(3a) 외측의 코일 내로 삽입되고 코일의 단부가 보스부(4d) 상에 촘촘하게 권취된 튜브부(15)와 결합된다.

이렇게 구성된 플런저 어셈블리는, 제1 실시예(컨택터 프로브(1))에서와 같이, 플런저(4)는 홀더(7)의 지지공(9) 내에 위치되고, 플런저(3)는 홀더(6)의 지지공(8) 내에 위치되며, 배선판(10)은 홀더(7)의 상측면 상에 적층된 상태로 장착된다.

이러한 장착은 도 9에 도시된 바와 같이 대기 상태(플런저(3)가 검사 타깃(12)과 접촉된 상태)의 컨택터 프로브(26)가 실현되고, 여기에서 플런저(4)의 니들 헤드부(4c)는 리드 도전체(11)의 패드(11a)와 탄성적으로 접촉되며, 플런저(3)의 니들 헤드부(3c)는 외측으로 돌출하여 탈락이 방지된다. 상기 상태에서, 튜브부(15b) 및 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)는 대기 상태에서 그들 단부가 서로 부분적으로 겹치고, 플런저(3)가 검사 시 다시 밀려 들어갈 수 있는 길이를 각각 갖는다. 튜브부(15b) 및 스템부(3a)는 대기 상태의 튜브부(15b) 내에 스템부(3a)가 적절하게 삽입되는 각각의 길이를 가져서 플런저(3)가 검사 시 다시 밀려 들어갈 수 있다.

이렇게 구성된 컨택터 프로브(26)는 유연성을 가진 코일 스프링(2)으로 중앙축과 직교하는 방향으로 쌍으로 된 플런저(3, 4)에 횡방향 접촉 압력을 가한다. 상기 횡방향 접촉 압력은 두 개의 도전 경로를 제공하고, 여기서 스템부(3a)가 튜브부(15b)(튜브부(15))와 접촉하여 쌍으로 된 플런저(3, 4)를 서로 접속시켜 제1 도전 경로(L6)를 형성하는 도전용 슬라이딩부(Q), 및 튜브부(15b)가 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)(튜브부(15))와 접촉하여 쌍으로 된 플런저(3, 4)를 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)를 통하여 접속시켜 제2 도전 경로(L7)를 형성하는 도전용 슬라이딩부(R)의 두 개의 도전 경로를 제공한다.

보다 구체적으로, 프로브(26)에 검사 신호가 도 9에 실선 화살표로 도시된 바와 같이 제1 도전 경로(L6) 및 제2 도전 경로(L7)를 따라 송신된다. 제1 도전 경로(L6)는 검사 타깃(12)으로부터 하단 플런저(3)로 연장되고, 스템부(3a)를 통과하여 튜브부(15b) 및 상단 플런저(4)로 연장되며, 플런저(4)를 통과하여 리드 도전체(11)(패드(11a))로 연장된다. 제2 도전 경로(L7)는 타깃(12)으로부터 하단 플런저(3)로 연장되고, 보스부(3d)로부터 촘촘하게 권취된 나선형부(15a) 및 튜브부(15b)를 통과하여 상단 플런저(4)로 연장되며, 플런저(4)를 통과하여 리드 도전체(11)(패드(11a))로 연장된다.

제1 및 제2 도전 경로(L6, L7)는 코일 스프링(2)의 촘촘하지 않게 권취된 나선형부없이 구성되고, 이것은 코일 내에 고주파가 흐름으로서 야기되는 인덕턴스 및 저항의 증가를 방지하여 인덕턴스 및 저항을 감소시킨다.

촘촘하게 권취된 나선형부(15a)는 플런저(3)와 함께 일체로 된 도전 상태로 플런저(3) 상에 견고하게 고정되어, 이들의 접속부(P)는 도전용 슬라이딩부를 구성하지 않고 도전용 고정부를 구성한다. 튜브부(15b)는 플런저(4)의 연장부이다. 따라서, 일체로 된 연속 도전 경로는 나선형부(15a) 및 튜브부(15b)를 통과하여 형성된다.

이에 따라, 제1 도전 경로(L6)는 도전용 슬라이딩부(Q)인 한 부분을 갖고, 여기서 플런저(3)의 스템부(3a)는 튜브부(15b)와 슬라이딩 접촉한다. 제2 도전 경로(L7)는 도전용 슬라이딩부(R)인 한 부분을 갖고, 여기서 튜브부(15b)는 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)와 슬라이딩 접촉한다. 제1 및 제2 도전 경로(L6, L7) 각각은 하나의 슬라이딩부를 가져서 검사 시 저항의 분산이 최소화 된다.

따라서, 제1 및 제2 도전 경로(L6, L7)을 구비한 컨택터 프로브(26)는 하나의 도전 경로를 구비한 상기 실시예에 비하여 보다 낮은 저항으로 검사 신호의 보다 안정적인 도전을 제공한다.

도 10은 본 발명의 제8 실시예에 따른 컨택터 프로브(26a)의 도면이다. 프로브(26a)는 하나의 홀더(50)를 사용하고 상단 플런저(4)가 상이한 형상을 갖는 것을 제외하고는 프로브(26)의 구조와 동일하다.

보다 구체적으로는, 홀더(50)는 코일 스프링(2)에 의하여 반대 방향으로 바이어스되며 왕복이동 가능한 상단 및 하단 플런저(3, 4)를 수용하는 지지공(50a)을 중공으로 할 수 있도록 적당한 두께를 갖는 절연재로 제조된다. 지지공(50a)에는 배선판(10)에 대향하는 개구에 근접하는 단차(50b)를 가져 플런저가 탈락하는 것을 방지한다.

상단 플런저(4)는 전술한 실시예에 도시된 플랜지(4b)는 없이 니들 헤드부(4c) 및 상기 니들 헤드부(4c)의 후측면 상에 일체로 형성된 보스부(4d)로 구성된다.

프로브(26a)에는, 코일 스프링(2)에 결합된 쌍으로 된 플런저(3, 4)로 구성된 플런저 어셈블리는, 프로브(26)에서와 같이, 전면의 플런저(3)를 구비한 쪽의 단차(50b)와 대향하는 개구로부터 단차(50b)를 가진 플랜지부(3b)와 결합될 지지공(50a) 내로 삽입되어 플런저(3)의 탈락이 방지되고, 배선판(10)은 홀더 상에 적층되어 플런저(4)의 니들 헤드부(4c)가 리드 도전체(11)의 패드(11a)와 접촉된다.

이렇게 구성된 프로브(26a)에 있어서, 플런저 어셈블리는 배선판(10)을 홀더(50)로부터 장착해제함으로써 용이하게 교환될 수 있다. 따라서, 프로브(26a)는 유지보수의 작업성이 개선될 뿐만 아니라 프로브(26)의 기능성 효과를 제공한다.

또한, 상기 구조는 유지보수의 작업성을 개선하도록 컨택터 프로브(1)에도 또한 적용가능하다.

도 11은 본 발명의 제1 실시예의 변형예인 컨택터 프로브(27)의 도면이다. 프로브(27)는 도 2의 프로브(1)를 반전시킨 구조에 해당하고, 즉 코일 스프링(2)은 하단 플런저(3)의 보스부(3d) 상에 그 하측 단부가 고정되는, 검사 타깃(12)쪽에 형성된 튜브부(15)인 촘촘하게 권취된 나선형부(15a)를 갖고, 상단 플런저(4)는 튜브부(15)의 상측 단부 내부 상의 하측 단부와 슬라이드 가능하게 접촉되는 스템부(4a)를 갖는다. 이것은 제1 실시예와 유사한 효과가 달성될 수 있다.

도 12는 제1 실시예의 변형예를 변경시킨 컨택터 프로브(28)의 도면이다. 프로브(28)는 도 11의 프로브(27)에 대하여 길이가 길고 직경이 감소된 구조에 해당한다. 하단 및 상단 홀더(6, 7)는 이들 사이에 끼워지고 지지공(61)이 형성된 다른 홀더(60)를 갖는다는 점에 유의해야 한다.

또한, 팰리니 No.7(Pd 35%, Ag 30%, Pt 10%, Au 10%, Cu 14%, 및 Zn 1%)로 제조된 하단 플런저(3)는 짧은 스템부(3a)를 가지며, 니켈판에 금판으로 마무리된 담금질 철로 제조된 상단 플런저(4)는 도전성이 양호한 긴 스템부(4a)를 갖는다. 상기 스템부(4a)는 스템부(3a)보다 훨씬 길다. 상단 플런저(4)는 하단 플런저(3)보다 더 정밀하게 처리하는 것이 필요하다. 상단 플런저(4)는 다른 치수로는 거의 대체될 수 없다. 하단 플런저(3)는 다양하게 상이한 치수로 대체될 수 있으므로 짧은 피치 타깃이 잘 처리될 수 있다.

또한, 상단 플런저(4)는 작업성이 우수하다. 반대로, 귀금속인 팰리니 No. 7은 경도가 높고, 마모에 대한 내성을 갖고, 도전성이 높으며, 표면 산화에 대한 내성을 갖고, 저항의 상승이 적다. 표면이 납땜 등으로 얼룩질 때, 깎아서 재사용할 수 있다. 따라서, 하단 플런저(3)는 편평한 먼쪽 단부(3e')를 갖는다.

전술한 실시예에서 알 수 있는 바와 같이, 본 명세서에서는 코일 스프링에 의하여 반대 방향으로 바이어스된 쌍으로 된 플런저가 절연재로 제조된 지지공 내에 왕복이동 가능하게 수용되어, 하나의 플런저는 외측으로 돌출하여 빠져 나오지 않도록 장치되고 다른 플런저는 홀더 상에 적층된 배선판에 전기적으로 접속되도록 장치되며, 쌍으로 된 플런저 외에, 하나의 플런저는 튜브부와 전기적으로 도전되도록 일체로 된 상태이고 다른 플런저는 튜브부와 슬라이드 가능하게 전기적으로 접속되는 본 발명의 제1 실시예로서 컨택터 프로브가 개시되어 있다.

제1 실시예에 따르면, 튜브부가 메인 코일 스프링에 간단하게 형성되는 경 우, 튜브부가 플런저에 간단하게 형성되는 경우, 메인 코일 스프링 및 플런저 양자 모두가 튜브부에 형성되는 경우 등 세 가지의 경우가 있다. 어느 경우이건, 메인 코일 스프링에 의하여 반대 방향으로 바이어스된 플런저 쌍은 튜브부에 의하여 전기적으로 접속되므로, 고주파 신호가 추가의 인덕턴스 및 추가의 저항을 갖는 코일 스프링의 촘촘하지 않게 권취된 나선형부로부터 나선형으로 흐르는 것이 방지되어, 인덕턴스 및 저항이 감소된다.

또한, 튜브부가 하나의 플런저에 대하여 전기적으로 접속되도록 일체로 된 상태이기 때문에, 이들 사이에는 슬라이딩부가 아니라 도전용의 고정부로서 작용할 수 있는 상호 접속부가 있다. 이 상태에서, 쌍으로 된 플런저 및 튜브부로 구성된 도전 경로는 도전용의 슬라이딩부로서 한 부분을 갖고, 다른 플런저는 슬라이딩 접촉되어, 검사 시 저항의 분산이 최소화될 수 있다.

"플런저"가 전기적 도전을 위하여 "튜브부"와 일체로 된 상태라는 뜻은, 메인 코일 스프링에 형성된 튜브부인 경우, 튜브부가 압착 끼워맞춤, 납땜, 용접 등에 의하여 플런저에 일체로 접속된다는 의미이며, 플런저에 형성된 튜브부인 경우, 튜브부가 압착 끼워맞춤, 납땜, 용접 등에 의하여 플런저에 일체로 접속되거나 또는 튜브부가 플런저에 일체로 형성된다는 의미라는 점에 유의해야 한다.

본 발명의 제2 실시예에 있어서, 상기 제1 실시예에 따른 컨택터 프로브의 경우, 튜브부는 메인 코일 스프링의 일단에 형성되며 하나의 플런저에 고정되는 촘촘하게 권취된 나선형부를 포함하고, 다른 플런저는 메인 코일 스프링의 타단에 접속될 촘촘하게 권취된 나선형부와 슬라이드 가능하게 접촉되는 스템부를 갖는다.

제2 실시예에 있어서, 하나의 플런저 및 촘촘하게 권취된 나선형부는 도전용의 고정부에 의하여 상호 접속되고, 도전 경로는 도전용의 슬라이딩부로서 한 부분을 갖고, 여기서 다른 플런저는 슬라이딩 접촉되므로 검사 시 저항의 분산이 최소화 될 수 있다.

본 발명에 있어서, 제1 실시예에 따른 컨택터 프로브의 경우, 튜브부는 하나의 플런저 연장부로서 튜브부를 포함하고, 다른 플런저는 튜브부 내에 슬라이딩 가능하게 삽입되고, 메인 코일 스프링은 튜브부 내부에 삽입되어 하나의 플런저와 다른 하나의 플런저가 서로 이격되도록 바이어싱된다.

제3 실시예에 있어서, 도전 경로는 쌍으로 된 플런저 및 튜브부를 포함하고, 하나의 플런저는 튜브부와 일체로 되어 도전용의 하나의 슬라이딩부를 갖는 연속적인 도전 경로를 구성하고, 다른 플런저는 튜브부와 접촉되어 검사 시 저항의 분산이 최소화 될 수 있다.

본 발명의 제4 실시예에 있어서, 제1 내지 제3 실시예 중 어느 하나에 따른 컨택터 프로브의 경우, 검사 타깃과 접촉되는 쌍으로 된 플런저 중 하나는 플런저와 홀더 사이에 장치된 보조 스프링에 의하여 배선판에 전기적으로 접속된 플런저보다 더 큰 스프링 부하로 바이어스된다.

제4 실시예에 있어서, 플런저가 상대적으로 큰 접촉 압력으로 검사 타깃과 의 전기적 접속 및 상대적으로 작은 접촉 압력으로 배선판과의 전기적 접속이 확보될 수 있다.

본 발명의 제5 실시예 있어서, 제4 실시예에 따른 컨택터 프로브의 경우, 보조 스프링은 쌍으로 된 플런저를 바이어스하는 메인 코일 스프링 외측에 배치된 코일 스프링을 포함하여 동축 이중 코일 스프링 구조체를 구성하도록 메인 코일 스프링과 협동한다.

제5 실시예에 있어서, 보조 스프링은 메인 코일 스프링과 함께 동축 이중 코일 스프링 구조체를 구성하도록 구성되고, 좁은 공간에 장치될 수 있다.

본 발명의 제6 실시예에 있어서, 제5 실시예에 따른 컨택터 프로브의 경우, 이중 코일 스프링을 구성하는 보조 스프링 및 메인 코일 스프링은 상호 바인딩 또는 간섭으로부터 자유로운 코일부를 갖는다.

제6 실시예에 있어서, 보조 스프링 및 메인 코일 스프링은 서로 간섭하지 않으므로 검사를 위한 적절한 동작이 확보될 수 있다.

본 발명의 제7 실시예에 있어서, 제4 실시예에 따른 컨택터 프로브의 경우, 보조 스프링은 튜브부 외측에 장치된 코일 스프링을 포함한다.

제7 실시예에 있어서, 보조 스프링은 튜브부에 의하여 튜브부 내의 메인 코일 스프링의 코일부에 대하여 바인드 가능하지 않은 간섭없는 구조체를 구성하는데 적합하고, 이로써 보조 스프링 및 메인 코일 스프링이 상호 간섭으로부터 자유로워 검사를 위한 적절한 동작이 확보될 수 있다.

또한, 메인 코일 스프링에 의하여 검사 타깃쪽을 향하여 바이어스된 메인 코일 스프링 및 플런저가 절연재로 제조된 홀더 내에 제공된 지지공 내에서 왕복이동 가능하게 수용되고, 검사 시, 홀더 상에 적층된 배선판 및 검사 타깃이 메인 코일 스프링 및 플런저에 의하여 전기적으로 상호 접속되며, 메인 코일 스프링은 일단의 촘촘하게 권취된 나선형부로서 형성된 튜브부를 갖고, 튜브부는 일단에서 배선판에 전기적으로 접속되며 타단은 튜브부와 슬라이딩 가능하게 접촉하는 스템부를 갖는 플런저에 결합되고, 플런저는 상기 플런저와 홀더 사이에 장치된 보조 스프링에 의하여 배선판에 전기적으로 접속된 튜브부 단부보다 더 큰 스프링 부하로 검사 타깃을 향하여 바이어스되는, 본 발명의 제8 실시예에 따른 컨택터 프로브가 개시되어 있다.

제8 실시예에 있어서, 메인 코일 스프링에 의하여 바이어스되고 검사 타깃과 접촉되는 플런저는 촘촘하게 권취된 나선형부로서 구성된 튜브부를 거쳐 배선판에 전기적으로 접속되어 고주파 신호가 추가의 인덕턴스 및 추가의 저항을 가진 촘촘하지 않게 권취된 나선형부로부터 흐르는 것을 방지함으로써 인덕턴스 및 저항을 감소시킬 수 있다.

이 상태에서, 도전 경로는 도전용의 슬라이딩부인 한 부분을 갖고, 검사 타깃과 접촉하는 플런저의 스템부는 촘촘하지 않게 권취된 나선형부로 제조된 튜브부 상에 슬라이딩 가능하게 접촉됨으로써 검사 시 저항의 분산이 최소화 될 수 있다.

또한, 배선판 쪽에 플런저를 생략함으로써 구성품의 개수 및 도전 경로의 길이를 적당하게 감소시킬 수 있다.

또한, 전기적 접속을 위하여, 플런저는 상대적으로 큰 접촉 압력으로 검사 타깃에 탄성적으로 접촉되는데 적합하고, 촘촘하게 권취된 나선형부로서 구성된 튜브부는 상대적으로 작은 접촉 압력으로 배선판과 탄성적으로 접촉되는데 적합하다.

본 발명의 제9 실시예에 있어서, 제1, 제4, 제5, 또는 제6 실시예에 따른 컨택터 프로브의 경우, 튜브부는 메인 코일 스프링의 일단에 형성되고 촘촘하게 권취된 나선형부의 먼쪽 단부를 끼워넣음으로써 하나의 플런저 내에 형성된 튜브부 내에 고정되는 촘촘하게 권취된 나선형부를 포함하고, 다른 플런저는 메인 코일 스프링의 타단에 접속되는 촘촘하게 권취된 나선형부와 슬라이딩 가능하게 접촉되는 스템부를 갖는다.

제9 실시예에 있어서, 촘촘하게 권취된 나선형부로서 구성된 튜브부는 먼쪽 단부를 하나의 플런저의 튜브부 내에 끼워넣음으로써 고정되며, 하나의 플런저에 대하여 안정적인 전기적 접속이 달성된다.

또한, 촘촘하게 권취된 나선형부로서 구성된 튜브부는 외주 방향으로 먼쪽 단부와 다른 단부를 가짐으로써, 적당한 횡방향 부하가 다른 플런저의 스템부에 가해지게 되어 안정적인 전기적 접속이 달성될 수 있다.

본 발명의 제10 실시예에 있어서, 제9 실시예에 따른 컨택터 프로브의 경우, 하나의 플런저는 메인 코일 스프링과 보조 스프링 사이에 개재된 연장부로서의 차단 튜브부를 가져, 두 개의 스프링의 코일부 사이를 구획한다.

제10 실시예에 있어서, 보조 스프링 및 메인 코일 스프링은 상호 간섭이 없도록 차단 튜브부에 의하여 분리되어 적절한 검사 동작이 확보될 수 있다.

본 발명의 제11 실시예에 있어서, 제1 실시예에 따른 컨택터 프로브의 경우, 튜브부는 하나의 플런저의 연장부로서 튜브부 및 메인 코일 스프링의 한쪽 면에 형성된 촘촘하게 권취된 나선형부의 조합으로서의 두 개의 튜브부를 포함하고, 다른 플런저는 튜브부 내에 슬라이드 가능하게 삽입되는 스템부를 갖고, 쌍으로 된 플런저는 스템부를 튜브부 내에 삽입함으로써 상호 축방향으로 이동가능하도록 정렬되며, 메인 코일 스프링은 튜브부 및 스템부 외측에 배치되고 쌍으로 된 플런저에 접속되며, 촘촘하게 권취된 나선형부는 한쪽 면은 다른 플런저에 결합되고 다른쪽 면은 하나의 플런저에 결합되도록 튜브부와 슬라이딩 가능하게 접촉된다.

제11 실시예에 있어서, 제1 실시예에 따른 컨택터 프로브의 경우, 튜브부는 하나의 플런저의 연장부인 튜브부 및 메인 코일 스프링의 한쪽 면에 형성된 촘촘하게 권취된 나선형부의 결합체로서 두 개의 튜브부를 포함하고, 다른 플런저는 튜브부 내에 슬라이딩 가능하게 삽입되는 스템부를 가지며, 쌍으로 된 플런저는 스템부를 튜브부 내에 삽입함으로써 상호 축방향으로 이동가능하도록 배열되고, 메인 코일 스프링은 튜브부 및 스템부 외측에 배치되며 쌍으로 된 플런저에 접속되고, 촘촘하게 권취된 나선형부는 튜브부에 슬라이딩 가능하게 접촉되며, 한쪽 면에서는 다른 플런저에 결합되고 다른쪽 면에서는 하나의 플런저에 결합된다.

제11 실시예에 있어서, 메인 코일 스프링은 그 유연성에 의하여 쌍으로 된 플런저 상에서 중앙축과 실질적으로 직교하는 횡방향으로 접촉 압력을 가한다. 횡방향 접촉 압력을 가함으로써, 두 개의 도전 경로가 형성되고, 서로 전류가 통하는 쌍으로 된 플런저를 통과하여 형성된 제1 도전 경로는 스템부가 튜브부와 접촉하는 도전성 차단부를 갖고, 촘촘하게 권취된 나선형부를 거쳐 서로 전류가 통하는 쌍으로 된 플런저를 통과하여 형성된 제2 도전 경로는 튜브부가 촘촘하게 권취된 나선 형부와 접촉하는 도전성 차단부를 갖는다. 두 개의 도전 경로 각각은 도전용의 하나의 슬라이딩부를 가져서, 검사 시 저항의 분산을 최소화 시킬 수 있다.

본 발명의 제12 실시예에 있어서, 제1, 제2, 또는 제11 실시예에 따른 컨택터 프로브의 경우, 홀더 내에 천공된 지지공은 배선판의 반대쪽에 형성된 개구에 근접하여 탈락을 방지하는 단차부를 갖는다.

제12 실시예에 있어서, 홀더로부터 배선판을 제거함으로써 플런저 어셈블리를 서포트에 대하여 용이하게 삽입할 수 있고 끄집어 낼 수 있다.

전술한 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이, 제1 실시예에 있어서,

(1) 메인 코일 스프링에 의하여 반대 방향으로 바이어스된 쌍으로 된 플런저가 튜브부에 의하여 전기적으로 접속됨으로써 고주파 신호가 추가의 인덕턴스 및 추가의 저항을 갖는 코일 스프링의 촘촘하지 않게 권취된 나선형부를 나선형으로 흐르는 것을 방지하여 인덕턴스 및 저항의 감소가 달성되고,

(2) 튜브부는 하나의 플런저에 대하여 전기적 접속을 위하여 일체로 된 상태이며, 슬라이딩부가 아닌 도전용의 고정부로서 작용하는 상호 접속부가 이들 사이에 제공되어, 이 상태에서, 쌍으로 된 플런저 및 튜브부로 구성된 도전 경로는 도전용의 슬라이딩부인 하나의 부분을 갖고, 다른 플런저는 슬라이딩 접촉됨으로써 검사 시 저항의 분산을 최소화 시킬 수 있고,

이로써, 컨택터 프로브 및 전기 프로브 유닛을 제공함으로써 달성되고, 여기에서 도전 경로는 도전용의 슬라이딩부 개수를 인덕턴스 및 저항을 증가시키지 않고 줄일 수 있어 검사의 정확도를 향상시킬 수 있다.

제2 실시예에 있어서, 도전 경로는 도전용의 슬라이딩부로서 한 부분을 갖고, 여기서 다른 플런저는 슬라이딩 접촉함으로써 검사 시 저항의 분산을 최소화 시킬 수 있어 검사의 정확도가 향상된다.

제3 실시예에 있어서, 도전 경로는 도전용의 한 부분을 갖고, 여기서 다른 플런저는 튜브부 상에 접촉함으로써 검사 시 저항 분산을 최소화 시킬 수 있어 검사의 정확도가 향상된다.

제4 실시예에 있어서, 플런저가 상대적으로 큰 접촉 압력으로 검사 타깃에 전기적으로 접속될 수 있고, 상대적으로 작은 압력으로 배선판에 전기적으로 접속됨으로써, 제1 내지 제3 실시예 중 임의의 효과 외에 배선판에 손상이 억제되며 검사 타깃과의 전기적 접속이 안정되는 컨택터 프로브를 제공함으로써, 배선판의 수명이 향상될 수 있다.

제5 실시예에 있어서, 보조 스프링은 메인 코일 스프링과 함께 동축 이중 코일 스프링 구조체를 구성하고, 좁은 공간에 장치될 수 있도록 구성되므로 제4 실시예의 효과 외에 전체 장치의 체적 확대를 억제할 수 있다.

제6 실시예에 있어서, 제5 실시예의 효과 외에, 보조 스프링 및 메인 코일 스프링은 서로 간섭하지 않게 되어 검사를 위하여 적절하게 동작할 수 있어 안정적인 동작이 실행될 수 있다.

제7 실시예에 있어서, 제4 실시예의 효과 외에, 튜브부에 의하여, 보조 스프링 및 메인 코일 스프링은 상호 간섭되지 않으므로 검사를 위하여 적절하게 동작할 수 있어 안정적인 동작이 실행될 수 있다.

제8 실시예에 있어서, 제1 실시예의 효과 외에, 배선판으로부터 플런저를 제거함으로써 구성품의 개수 및 도전 경로의 길이를 적당하게 감소시킬 수 있으므로 조립의 용이성 및 고주파 성능을 향상시킬 수 있다.

또한, 전기적 접속을 위하여, 플런저는 상대적으로 큰 접촉 압력으로 검사 타깃에 탄성적으로 접촉되는데 적합하고, 촘촘하게 권취된 나선형부로서 구성된 튜브부는 상대적으로 작은 접촉 압력으로 배선판에 탄성적으로 접촉되는데 적합하여, 이로써 배선판쪽의 손상이 억제되고 검사 타깃과의 전기적 접속이 안정적으로 되어 배선판의 수명이 향상될 수 있다.

제9 실시예에 있어서, 촘촘하게 권취된 나선형부로 구성된 튜브부는 하나의 플런저와 다른 하나의 플런저 사이를 안정적으로 전기 접속시킴으로써 검사 동작을 확보할 수 있는 신뢰성이 향상될 수 있다.

제10 실시예에 있어서, 보조 및 메인 코일 스프링은 적절한 검사 동작이 확보되도록 상호 간섭하지 않는 차단 튜브부에 의하여 분리됨으로써 안정적인 동작이 달성될 수 있다.

제11 실시예에 있어서, 횡방향 접촉 압력을 가함으로써, 두 개의 도전 경로, 즉 스템부가 튜브부와 접촉하는 도전성 슬라이딩부를 갖는 서로 전류가 통하는 쌍으로 된 플런저를 통과하여 형성된 제1 도전 경로, 및 튜브부가 촘촘하게 권취된 나선형부와 접촉하는 도전성 슬라이딩부를 갖는 촘촘하게 권취된 나선형부를 거쳐 서로 전류가 통하는 쌍으로 된 플런저를 통과하여 제2 도전 경로가 형성됨으로써, 저항을 더 낮게 억제할 수 있고 인덕턴스와 같은 고주파 특징을 더욱 향상시킬 수 있다.

제12 실시예에 있어서, 홀더로부터 배선판을 제거함으로써 플런저 어셈블리의 배치를 용이하게 할 수 있어 유지보수가 용이해질 수 있다.

전술한 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명은 배선판이 도전부로서 금 도금된 구리막을 갖는 경우에서와 같이 작은 접촉 압력이 가해질 수 있는 바람직한 접촉 상태를 고려하여 제조된 것으로서, 본 발명의 목적은 검사 타깃과 접촉되는 플런저가 배선판에 전기적으로 접속된 플런저보다 더 큰 스프링 부하로 바이어스될 수 있어 검사의 정확도를 감소시키지 않고 배선판의 수명을 향상시킬 수 있는 컨택터 프로브 및 전기 프로브 유닛을 제공한다.

본 발명의 실시예를 특정의 용어를 사용하여 설명하였으나, 이들 설명은 단지 예시적인 것으로서 특허청구범위를 벗어나지 않고 여러 가지로 변경 빛 변형시킬 수 있다는 점을 이해할 것이다.

본 발명은 컨택터 프로브 및 전기 프로브 유닛에 관한 것으로서, 도전 경로는 인덕턴스 및 저항을 증가시키지 않고 도전용 슬라이딩부 개수를 감소시킴으로써 검사의 정확도를 향상시킬 수 있다.

Claims

개방 단부와 폐쇄 단부를 갖는 지지공(8)이 형성된 절연체(6+7+10),

상기 지지공(8) 내에 상기 폐쇄 단부에서 노출된 리드 도전체(11), 및

상기 지지공(8) 내에 끼워져서 탈락이 방지되는 탄성의 도전성 프로브 어셈블리(2+3+4)를 포함하고,

상기 어셈블리(2+3+4)는

상기 개방 단부 외측으로 노출된 제1 플런저(3),

상기 리드 도전체와 접촉하는 제2 플런저(4), 및

상기 제1 및 제2 플런저(3, 4)가 끼워지는 코일 스프링(2)을 구비하는 컨택터 프로브에 있어서,

상기 코일 스프링(2)은 촘촘하게 권취된 부분(15a)을 구비하고,

상기 촘촘하게 권취된 부분(15a)에 상기 제1 및 제2 플런저(3, 4) 중 하나(4)가 고정(C)되고, 상기 제1 및 제2 플런저(3, 4) 중 다른 하나가 슬라이드 가능하게 접촉(D)하는 컨택터 프로브.
제1항에 있어서,

상기 제1 플런저는 팰리니 No. 7으로 이루어지고, 상기 제2 플런저는 철계(鐵系) 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 컨택터 프로브.
삭제
제1항에 있어서,

상기 제1 플런저는 상기 코일 스프링의 촘촘하게 권취된 부분의 일부 또는 전부를 수용하는 중공부를 구비하는 것을 특징으로 하는 컨택터 프로브.
삭제
제1항에 있어서,

상기 제2 플런저는 상기 제1 플런저의 일부 또는 전부를 수용하는 중공부를 구비하는 것을 특징으로 하는 컨택터 프로브.
제1항, 제2항, 제4항 및 제6항 중 어느 한 항에 따른 컨택터 프로브를 복수개 포함하는 전기 프로브 유닛.
지지공(8)이 형성된 절연체(6+7+10)와,

상기 지지공(8)에 끼워져 탈락이 방지되는 탄성의 도전성 프로브 어셈블리(2+3+4)를 포함하고,

상기 어셈블리(2+3+4)는,

상기 지지공(8)의 일단을 마주하는 제1 플런저(3),

상기 지지공(8)의 타단을 마주하는 제2 플런저(4), 및

상기 제1 및 제2 플런저(3, 4)가 끼워지는 코일 스프링(2)을 구비하는, 컨택트 프로브(1)를 위한 프로브 어셈블리와 절연체의 조합체에 있어서,

상기 코일 스프링(2)은 촘촘하게 권취된 부분(15a)을 구비하고,

상기 촘촘하게 권취된 부분(15a)에 상기 제1 및 제2 플런저(3, 4) 중 하나(4)가 고정(C)되고, 상기 제1 및 제2 플런저(3, 4) 중 다른 하나가 슬라이드 가능하게 접촉(D)하는 컨택터 프로브를 위한 프로브 어셈블리와 절연체의 조합체.
제8항에 있어서,

상기 제1 플런저는 상기 코일 스프링의 촘촘하게 권취된 부분의 일부 또는 전부를 수용하는 중공부를 구비하는 것을 특징으로 하는 컨택터 프로브를 위한 프로브 어셈블리와 절연체의 조합체.
제8항에 있어서,

상기 제2 플런저는 상기 제1 플런저의 일부 또는 전부를 수용하는 중공부를 구비하는 것을 특징으로 하는 컨택터 프로브를 위한 프로브 어셈블리와 절연체의 조합체.
제8항에 있어서,

상기 제1 플런저는 팰리니 No. 7으로 이루어지고, 상기 제2 플런저는 철계 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 컨택터 프로브를 위한 프로브 어셈블리와 절연체의 조합체.
코일 스프링(2),

상기 코일 스프링(2)의 일단측에 끼워지는 제1 플런저(3), 및

상기 코일 스프링(2)의 타단측에 끼워지는 제2 플런저(4)를 구비하는, 컨택터 프로브(1)를 위한 탄성의 도전성 프로브 어셈블리(2+3+4)에 있어서,

상기 코일 스프링(2)은 촘촘하게 권취된 부분(15a)을 구비하고,

상기 촘촘하게 권취된 부분(15a)에 상기 제1 및 제2 플런저(3, 4) 중 하나(4)가 고정(C)되고, 상기 제1 및 제2 플런저(3, 4) 중 다른 하나가 슬라이드 가능하게 접촉(D)하는 컨택터 프로브를 위한 탄성의 도전성 프로브 어셈블리.
제12항에 있어서,

상기 제1 플런저는 상기 코일 스프링의 촘촘하게 권취된 부분의 일부 또는 전부를 수용하는 중공부를 구비하는 것을 특징으로 하는 컨택터 프로브를 위한 탄성의 도전성 프로브 어셈블리.
제12항에 있어서,

상기 제2 플런저는 상기 제1 플런저의 일부 또는 전부를 수용하는 중공부를 구비하는 것을 특징으로 하는 컨택터 프로브를 위한 탄성의 도전성 프로브 어셈블리.
제12항에 있어서,

상기 제1 플런저는 팰리니 No. 7으로 이루어지고, 상기 제2 플런저는 철계 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 컨택터 프로브를 위한 탄성의 도전성 프로브 어셈블리.