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KR100739421B1 - 화상형성장치 - Google Patents

화상형성장치 Download PDF

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KR100739421B1
KR100739421B1 KR1020040051727A KR20040051727A KR100739421B1 KR 100739421 B1 KR100739421 B1 KR 100739421B1 KR 1020040051727 A KR1020040051727 A KR 1020040051727A KR 20040051727 A KR20040051727 A KR 20040051727A KR 100739421 B1 KR100739421 B1 KR 100739421B1
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KR
South Korea
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image forming
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후쿠이타카시
Original Assignee
후지필름 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기록매체에 대한 화상형성처리를 효율좋게 행할 수 있고, 그 제조효율의 향상이 도모되는 화상형성장치의 제공을 과제로 한다.
탑재위치에서 기록매체(200)를 스테이지 부재(20,30)에 탑재하여 스테이지 부재(20,30)를 화상형성부(100)에 통과시키면서 기록매체(200)에 화상을 형성하고, 인출위치에서 화상이 형성된 기록매체(200)를 스테이지 부재(20,30)로부터 인출하는 화상형성장치(10)에 있어서 탑재위치로부터 인출위치로 이동하는 2개의 주행체 (40,60)를 분리 결합가능하게 병렬로 설치하고, 각 주행체(40,60)에, 주행체 (40,60)로부터 튀어 나오도록 스테이지 부재(20,30)를 설치함과 아울러 스테이지 부재(20,30)가 스쳐 지날 때에 서로 간섭하지 않도록 하는 회피수단을 설치한다.

Description

화상형성장치{IMAGE FORMING DEVICE}
도 1은 본 발명에 따른 레이저 노광장치와 로더 및 언로더를 나타내는 개략 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 레이저 노광장치의 구성을 나타내는 개략 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 레이저 노광장치의 구성을 나타내는 요부 개략 정면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 레이저 노광장치의 공정을 나타내는 개략 모식도이다.
도 5는 본 발명에 따른 레이저 노광장치의 덕트를 나타내는 설명도이다.
도 6은 본 발명에 따른 레이저 노광장치의 별도 공정을 나타내는 개략 모식도이다.
도 7은 노광헤드를 나타내는 개략 사시도이다.
도 8(A)는 기판재료에 형성되는 노광이 끝난 영역을 나타내는 설명도, 도 8(B)는 노광헤드에 의한 노광영역의 배열을 나타내는 설명도이다.
도 9는 디지털 마이크로미러 장치(DMD)의 구성을 나타내는 부분 확대도이다.
도 10(A)는 DMD의 동작을 설명하기 위한 설명도, 도 10(B)는 DMD의 동작을 설명하기 위한 설명도이다.
도 11(A)는 DMD를 경사 배치하지 않은 경우의 노광빔의 주사선을 나타내는 개략 평면도이고, 도 11(B)는 DMD를 경사 배치하는 경우의 노광빔의 주사선을 나타내는 개략 평면도이다.
도 12는 노광헤드의 구성을 나타내는 개략 사시도이다.
도 13(A)는 노광헤드의 구성을 나타내는 광축을 따른 부주사방향의 개략 단면이고, 도 13(B)는 도 13(A)의 개략 측면도이다.
도 14(A)는 섬유 어레이 광원의 구성을 나타내는 개략 사시도이고, 도 14(B)는 도 14(A)의 부분확대도이고, 도 14(C)는 레이저 출사부에 있어서의 발광점의 배열을 나타내는 설명도이고, 도 14(D)는 레이저 출사부에 있어서의 발광점의 배열을 나타내는 설명도이다.
도 15는 멀티모드 광섬유의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 16은 합파 레이저 광원의 구성을 나타내는 개략 평면도이다.
도 17은 레이저 모듈의 구성을 나타내는 개략 평면도이다.
도 18은 레이저 모듈의 구성을 나타내는 개략 측면도이다.
도 19는 레이저 모듈의 구성을 나타내는 개략 정면도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
10 … 레이저 노광장치(화상형성장치)
20,30 … 스테이지 부재 22,32 … 스테이지 본체
22A,32A … 적재면(스테이지면) 24,34 … 가이드벽
26,36 … 가이드 레일 40,60 … 리니어 주행체(이동기구)
42,62 … 바닥판(평행이동부) 44,64 … 가이드벽(수직이동부)
46,66 … 가이드 레일 54,74 … 가이드 레일
80 … 로더 90 … 언로더
100 … 노광헤드(화상형성부) 182 … CCD 카메라
200 … 기판재료(기록매체) 202 … 피노광면(기록면)
204 … 묘화영역
본 발명은 화상정보에 따라서 변조된 광빔 등에 의해 프린트 배선기판 등의 기록매체에 있어서의 묘화영역을 노광하여 그 묘화영역에 화상을 형성하는 노광장치 등의 화상형성장치에 관한 것이다.
종래, 예컨대, 프린트 배선기판 등에 배선 패턴을 형성하기 위한 화상형성장치로서의 레이저 노광장치는 화상노광의 대상이 되는 프린트 배선기판을 반송용 스테이지 부재에 적재하고(이하, 「로드」라고 말하는 경우가 있다), 상기 스테이지 부재를 부주사방향으로 소정의 속도로 이동시키면서 소정의 판독 위치에 있어서 스테이지 부재 상에 적재된 프린트 배선기판의 4코너에 형성된 위치맞춤구멍(얼라이먼트 마크)을 CCD 카메라로 촬상하도록 되어 있다. 또한, 그 촬상에 의해서 얻어진 프린트 배선기판의 위치에 맞추어서 묘화좌표계 중의 묘화대상영역을 좌표변환함으로써 화상정보에 대한 얼라이먼트 처리를 실행하도록 구성되어 있다.
또한, 소정의 노광위치에 있어서 화상장치에 기초하여 변조되고, 폴리곤 미러에 의해 주주사방향으로 편향된 레이저빔이 프린트 배선기판 상에 형성된 감광성 도막을 주사, 노광함으로써 화상정보에 기초하는 노광처리, 즉, 프린트 배선기판에 있어서의 소정의 영역(묘화영역)에 배선 패턴에 대응하는 화상(잠상)을 형성하도록 구성되어 있다. 또한, 화상(잠상)이 형성된 프린트 배선기판은 스테이지 부재로부터 인출되고(이하, 「언로드」라고 하는 경우가 있다), 프린트 배선기판이 제거된 스테이지 부재는 초기위치에 복귀이동(수평이동)하여 다음의 프린트 배선기판을 노광하는 공정으로 이행하도록 되어 있다(예컨대, 특허문헌1 참조).
[특허문헌1] 일본 특허 공개 2000-338432호 공보
그러나, 이와 같은 방식의 레이저 노광장치에서는 노광이 끝난 프린트 배선기판의 스테이지 부재로부터의 인출(언로드)공정, 스테이지 부재의 초기위치로의 복귀이동공정, 미노광 프린트 배선기판의 스테이지 부재로의 적재(로드)공정, 판독 위치까지의 스테이지 부재의 이동공정을 순서대로 하고 있는 동안은, 프린트 배선기판에 대해서 노광처리가 행해지지 않는다. 즉, 프린트 배선기판으로의 노광처리는 상기 공정분의 시간을 두고 간헐적으로 행해지고 있었기 때문에 제조효율이 양호하지는 않았다. 그 때문에 종래로부터 제조효율을 향상시키는 것이 과제로 되어 있었다.
그래서, 본 발명은 소정의 반송경로를 따라 기록매체를 이동시키면서 그 기 록매체에 화상을 형성하는 화상형성처리를 효율좋게 행할 수 있고, 화상이 형성된 기록매체의 제조효율의 향상이 도모되는 화상형성장치를 얻는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 청구항1에 기재된 화상형성장치는 탑재위치에서 기록매체를 스테이지 부재로 탑재하여 그 스테이지 부재를 화상형성부로 통과시키면서 상기 기록매체에 화상을 형성하고, 인출위치에서 화상이 형성된 기록매체를 상기 스테이지 부재로부터 인출하는 화상형성장치로서, 상기 탑재위치로부터 상기 인출위치로 이동하는 2개의 주행체를 분리 결합가능하게 병렬로 설치하고, 각 주행체에, 이 주행체로부터 튀어 나오도록 상기 스테이지 부재를 설치함과 아울러 상기 스테이지 부재가 스쳐 지날 때에 서로 간섭하지 않도록 하는 회피수단을 설치한 것을 특징으로 하고 있다.
청구항1에 기재된 발명에서는 기록매체의 탑재위치로부터 인출위치로 이동하는 2개의 주행체가 분리 결합가능하게 병렬로 설치되고, 각 주행체에 스테이지 부재가 튀어 나오도록 설치되어 있다. 또한, 스테이지 부재가 스쳐 지날 때에는 회피수단에 의해 서로 간섭하지 않도록 되어 있다. 따라서, 예컨대, 한쪽의 스테이지 부재가 기록매체를 탑재하여 탑재위치로부터 인출위치로 이동하는 사이(기록매체에 화상이 형성되어 있는 사이)에, 기록매체가 인출된 다른쪽의 스테이지 부재가 인출위치로부터 탑재위치로 이동할 수 있고, 그 다른쪽의 스테이지 부재에 기록매체를 탑재할 수 있다. 즉, 연속해서 화상형성처리를 실행할 수 있게 되기 때문에 종래의 화상형성장치와 같이, 1개의 스테이지 부재가 동일한 면상을 왕복 이동하여 화상형 성하는 구성에 비해서 화상형성처리효율을 현격하게 향상시킬 수 있다.
또한, 청구항1에 기재된 화상형성장치에서, 상기 회피수단은 상기 스테이지 부재를 화상형성부에 대해서 접근ㆍ이간 이동시키는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항1의 발명에서는 회피수단이 스테이지 부재를 화상형성부에 대해서 접근 이간시키는 것으로 되어 있다. 그 때문에 2개의 주행체가 서로 분리 결합한다. 즉, 스테이지 부재가 서로 스쳐 지날 때에는 한쪽의 스테이지 부재를 화상형성부에 접근시키고, 다른쪽의 스테이지 부재를 화상형성부로부터 이간시킴으로써 한쪽의 스테이지 부재에 다른쪽의 스테이지 부재가 간섭하지 않도록 할 수 있다.
또한, 청구항3에 기재된 화상형성장치는 청구항1에 기재된 화상형성장치에 있어서 기록매체의 두께에 상관없이, 기록매체의 기록면과 화상형성부의 거리가 일정하게 되도록 상기 스테이지 부재의 이동량을 조정하는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항3의 발명에서는 스테이지 부재의 이동량을 조정할 수 있기 때문에 두께가 다른 기록매체마다 그 기록면에 대해서 화상형성부의 위치를 변경하는 초점거리조정을 행하는 것이 불필요하게 된다.
또한, 청구항4에 기재된 화상형성장치는 청구항 1에 기재된 화상형성장치에 있어서 상기 탑재위치와 상기 인출위치가 대략 동일한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항4의 발명에서는 탑재위치와 인출위치가 대략 동일한 위치에 배치되어 있으므로 화상형성장치를 설치함에 있어 공간절약화가 도모되다. 또한, 기록매체를 수동으로 스테이지 부재에 탑재하는 경우에 특히 편리하게 되는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 청구항5에 기재된 화상형성장치는 기록매체에 화상을 형성하기 위한 화상형성부; 상기 기록매체를 탑재하여 상기 화상형성부에 보내기 위한 2개의 스테이지 부재; 및 상기 스테이지 부재 각각에 설치되고, 상기 스테이지 부재에 상기 기록매체를 탑재하는 탑재위치와, 상기 화상형성부에 의한 화상형성위치와, 상기 스테이지 부재로부터 상기 기록매체를 인출하는 인출위치 사이에서, 상기 스테이지 부재 각각의 적어도 스테이지면을 대략 동일한 궤도로 순환이동시키는 2개의 이동기구를 구비하고: 상기 이동기구 각각이 개별의 이동용 레일을 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항5의 발명에서는 각 스테이지 부재의 적어도 스테이지면을 대략 동일한 궤도로 순환이동시키는 2개의 이동기구가 각각 개별의 이동용 레일을 갖고 있으므로 각 스테이지 부재는 안정되고 정밀도 좋게 이동할 수 있다.
또한, 청구항6에 기재된 화상형성장치는 청구항5에 기재된 화상형성장치에 있어서 상기 2개의 이동기구를 독립적으로 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항6의 발명에서는 2개의 이동기구를 독립적으로 제어하는 제어부를 갖고 있으므로 한쪽이 고장나더라도 다른쪽에 영향을 미치는 일이 없다. 즉, 한쪽이 고장나더라도 다른쪽을 작동시킬 수 있으므로 계속해서 기록매체에 화상을 형성할 수 있다.
또한, 청구항7에 기재된 화상형성장치는 청구항5 또는 청구항6에 기재된 화상형성장치에 있어서 상기 2개의 스테이지 부재 및 상기 2개의 이동기구가 각각 서로 면대칭으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항7의 발명에서는 2개의 스테이지 부재 및 2개의 이동기구가 각각 서로 면대칭으로 배치되어 있으므로 화상형성장치 전체에 있어서 좌우(폭방향)의 균형이 좋고, 스테이지 부재를 안정하게 이동시킬 수 있다.
또한, 청구항8에 기재된 화상형성장치는 청구항5 또는 청구항6에 기재된 화상형성장치에 있어서, 상기 이동기구가 상기 스테이지 부재를 그 스테이지면과 평행한 방향으로 이동시키는 평행이동부와, 상기 스테이지 부재를 그 스테이지면과 수직인 방향으로 이동시키는 수직이동부를 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항8의 발명에서는 이동기구가, 스테이지 부재를 그 스테이지면과 평행한 방향으로 이동시키는 평행이동부와, 스테이지부를 그 스테이지면과 수직인 방향으로 이동시키는 수직이동부를 갖고 있으므로 스테이지 부재는 바람직하게 지지된다.
또한, 청구항9에 기재된 화상형성장치는 청구항8에 기재된 화상형성장치에 있어서 상기 이동기구 각각의 상기 평행이동부가 나란히 배치되고, 상기 스테이지 부재는, 상기 스테이지면이 2개의 상기 평행이동부에 평면으로 바라봐서 겹치도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항9의 발명에서는 이동기구 각각의 평행이동부가 나란히 배치되고, 스테이지 부재는 스테이지면이 2개의 평행이동부에 평면으로 바라봐서 겹치도록 배치되 어 있으므로 화상형성장치 자체의 소형화가 도모된다. 즉, 화상형상장치를 설치함에 있어 공간절약화가 도모된다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 화상형성장치의 일례로서의 레이저 노광장치와 기판재료를 공급하는 로더 및 기판재료를 배출하는 언로더를 나타내는 개략 사시도이고, 도 2는 레이저 노광장치의 개략 사시도이다. 본 발명에 따른 레이저 노광장치(10)는 프린트 배선기판의 재료가 되는 얇은 플레이트형상의 기판재료(200)를, 소정의 속도로 반송하면서 화상정보에 의해 변조된 레이저빔(B)으로 노광하고, 상기 기판재료(200)에, 배선 패턴에 대응하는 화상(잠상)을 형성하는 것이다.
그래서, 설명의 편의상, 도 1의 화살표 X로 표시하는 방향을 기판재료(200)의 「반송방향」이라 하고, 이것을 기준으로 「상류측」 및 「하류측」의 표현을 한다. 또한, 이것과는 반대방향을 기판재료(200)의 「복귀방향」이라 한다. 또한, 화살표 X와 직교하는 방향을 화살표 Y로 표시하고, 레이저 노광장치(10)에 있어서의 「폭방향」이라 한다.
[노광장치의 개요]
우선, 최초에 본 발명에 따른 레이저 노광장치(10)의 개요를 설명한다. 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, 레이저 노광장치(10)는 기판재료(200)를 표면(상면)에 흡착하여 유지하면서 반송방향으로 이동하는 소정 두께의 측면으로 바라봐서 대략 「L」자형상 스테이지 부재를 2개 구비하고 있다. 이 2개의 스테이지 부재 (20,30)는 모두 동일한 구성이지만 설명의 편의상, 반송방향을 향하여 좌측을 스테 이지 부재(20), 우측을 스테이지 부재(30)로 한다. 또한, 기판재료(200)는 스테이지 부재(200) 상에 흡착 유지되어 있는 쪽을 기판재료(200A), 스테이지 부재(30) 상에 흡착 유지되어 있는 쪽을 기판재료(200B) 등으로 하여 설명하는 경우가 있다.
각 스테이지 부재(20,30)는 각각 이동기구로서의 리니어 주행체(40,60)에 승강가능하게 캔틸레버 지지되어 있고, 각 리니어 주행체(40,60)는 스테이지 부재 (20,30)가 내측으로 오도록 인접해서 반송방향 및 복귀방향으로 이동가능하게 지지되어 있다. 따라서, 각 리니어 주행체(40,60)가 스쳐 지날 때에는 내측에 있는 스테이지 부재(20,30)가 서로 간섭하지 않도록, 예컨대, 한쪽의 스테이지 부재(20)를 상방위치에, 다른쪽의 스테이지 부재(30)를 하방위치에 각각 승강이동시키도록 하고 있다. 즉, 각 스테이지 부재(20,30)는 상방위치에서 반송방향으로 이동하고, 이것에 흡착 유지된 기판재료(200)가 노광되고, 그 기판재료(200)가 제거된 후, 하방위치에서 복귀방향으로 이동하고, 원래의 초기위치[기판재료(200)가 로드되는 탑재위치]로 복귀하도록 되어 있다.
리니어 주행체(40,60)는 기대(12) 상에 이동가능하게 지지되고, 상기 기대 (12)의 반송방향 양측에는 1쌍의 측벽(14)이 세워설치되어 있다. 또한, 상기 측벽 (14)의 상부에는 화상위치 검출장치(180)를 구성하는 CCD 카메라(182)가 설치되는 게이트(18)가 폭방향으로 가설되어 있다. 또한, 상기 게이트(18)와 소정간격을 둔 하류측의 측벽(14)의 상부에는 복수개의 노광헤드(100)가 설치되는 게이트(16)가 폭방향으로 가설되어 있다.
노광헤드(100)는 그 게이트(16)를 통과하는 기판재료(200)를 향해 레이저빔 (B)을 조사할 수 있도록 하향상태로 고정되어 있고, CCD 카메라(182)는 상기 게이트(18)를 통과하는 기판재료(200)의 위치(묘화영역) 검출용 얼라이먼트 마크(도시생략)을 촬상할 수 있도록 하향상태로, 또한, 폭방향으로 왕복이동가능하게 설치되어 있다.
따라서, 상기 레이저 노광장치(10)는 주로 다음과 같이 동작한다. 우선, 기판재료(200A)가 로더(기판공급장치)(80)에 의해서 스테이지 부재(20)의 적재면 (22A) 상에 적재된다. 또한, 상기 적재면(22A) 상에 흡착유지된 상태로 반송되면서 CCD 카메라(182)에 의해 얼라이먼트 마크가 촬상되어 그 위치(묘화영역)가 검출되고, 또한, 그 검출결과에 기초하여 소정의 묘화영역이 노광헤드(100)에 의해 노광된다. 노광이 종료하면 기판재료(프린트 배선기판)(200A)는 스테이지 부재(20) 상으로부터 언로더(기판인출장치)(90)에 의해서 제거된다.
한편, 이때, 이미 스테이지 부재(30)는 다음의 기판재료(200B)를 적재면 (32A) 상에 흡착 유지한 상태로 반송되고, CCD 카메라(182)에 의해 위치 검출되어 노광이 개시되고 있다. 즉, 앞에 기판재료(프린트 배선기판)가 언로딩된 스테이지 부재(30)는 스테이지 부재(20) 상의 기판재료(200A)가 노광되어 있는 사이에, 상기 스테이지 부재(20)의 하방을 통해서 초기위치(탑재위치)로 복귀 이동하고, 다음의 기판재료(200B)가 로딩되어 CCD 카메라(182)에 의해 위치 검출되는 공정까지 진행하도록 구성되어 있다.
이와 같이, 레이저 노광장치(10)는 각 스테이지 부재(20,30)가 교대로 순환 이동함으로써 기판재료(200)의 노광이 순차로 끊임없이 행해지는 구성으로 되어 있 고, 노광헤드(100)의 가동률, 즉 프린트 배선기판의 제조효율이 향상되도록 되어 있다. 이상이 레이저 노광장치(10)의 개요이고, 이하, 각 부의 구성에 관해서 상세하게 설명한다.
[노광헤드의 구성]
우선, 도 7 및 도 19를 기초로 노광헤드(100)의 구성에 대해서 상세하게 설명한다. 상기한 바와 같이, 노광헤드(100)는 레이저 노광장치(10)의 폭방향으로 가설된 게이트(16) 상부에 수직으로 설치되고, 그 바로밑의 노광위치를, 스테이지 부재(20)에 흡착 유지되어 반송되어 온 기판재료(200)가 통과할 때에 그 기판재료 (200)의 피노광면(202)에 대해서 상방으로부터 화상정보에 기초하여 변조된 레이저빔(B)을 조사하여 노광하고, 상기 피노광면(202)에 프린트 배선기판의 배선 패턴에 대응하는 화상(잠상)을 형성하도록 되어 있다.
여기서, 기판재료(200)의 상면부는 감광재료에 의해 박막상의 감광성 도막이 성막된 피노광면(202)으로 되어 있고, 피노광면(202)은 잠상(화상) 형성후에 에칭 등의 소정의 처리를 받음으로써 잠상에 대응하는 배선 패턴이 형성되도록 되어 있다. 또한, 감광성 도막은 기판재료(200)에 액상의 감광재료를 도포하여 건조 경화시키거나 미리 필름형상으로 성막된 감광재료를 라미네이트함으로써 형성된다.
노광헤드(100)는 도 7, 도 8에 도시하는 바와 같이, m행n열(예컨대, 3행5열)의 대략 매트릭스상으로 복수(예컨대, 14개) 배열되어 구성되어 있고, 도시하는 것은 기판재료(200)의 폭과의 관계에서 3행째에는 4개의 노광헤드(100)가 배치되어 있다. 또한, 이하, m행의 n열째에 배열된 개개의 노광헤드를 나타내는 경우는 노광 헤드(100mn)로 표기한다
노광헤드(100)에 의한 노광영역(102)은 부주사방향이 단변이 되는 직사각형형상으로 되어 있다. 따라서, 스테이지 부재(20)가 반송방향으로 이동함으로써[노광헤드(100)가 상대적으로 부주사방향으로 이동함으로써] 기판재료(200)에 있어서의 피노광면(202) 상의 묘화영역(204)에는 노광헤드(100)마다 띠상의 노광이 끝난 영역(206)이 순차 형성된다. 또한, 이하, m행의 n열째에 배열된 개개의 노광헤드 (100)에 의한 노광영역(102)을 나타내는 경우는 노광영역(102mn)으로 표기한다.
또한, 도 8에 도시하는 바와 같이, 띠상의 노광이 끝난 영역(206)이 부주사방향과 직교하는 방향(주주사방향)으로 간극없이 늘어서, 라인상으로 배열된 각 행의 노광헤드(100)는 각각 배열방향으로 소정간격(노광영역의 장변의 자연수배, 본 실시형태에서는 2배) 어긋나게 배치되어 있다. 그 때문에 1행째의 노광영역(10211)과 노광영역(10212) 사이의 노광할 수 없는 부분은 2행째의 노광영역(10221)과 3행째의 노광영역(10231)에 의해 노광할 수 있다.
각 노광헤드(10011~100mn)는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 입사된 광빔을 화상정보에 따라 각 화소마다 변조하는 공간광 변조소자로서의 디지털 마이크로미러 장치(이하, 「DMD」라 함)(106)를 구비하고 있다. DMD(106)는, 도시하는 바와 같이, SRAM 셀(메모리 셀)(108) 상에 화소(픽셀)을 구성하는 다수(예컨대, 600개×800개)의 미소 미러(이하, 「마이크로미러」라 함)(110)가 격자상으로 배열되어 일체적으로 구성된 미러 장치이고, 마이크로미러(110)의 표면에는 반사율이 90%이상으로 되도록 알루미늄 등의 반사율이 높은 재료가 증착되어 있다. 또한, 각 마이크로미러(110)는 힌지 및 요크를 포함하는 지주(도시생략)에 의해서 지지되어 있다.
따라서, DMD(106)의 SRAM 셀(108)에 디지털 신호가 기록되면 지주에 지지된 마이크로미러(110)가 대각선을 중심으로 하여 DMD(106)가 배치된 기부측에 대해서 ±α(예컨대, ±10°)의 범위로 경사진다. 즉, 화상신호에 따라 DMD(106)의 마이크로미러(110)의 경사가 제어됨으로써 DMD(106)에 입사된 광이 각각의 마이크로미러 (110)의 경사방향으로 반사된다. 이와 관련하여, 도 10(A)은 마이크로미러(110)가 ON상태인 +α°로 경사진 상태를 나타내고, 도 10(B)는 마이크로미러(110)가 OFF상태인 -α°로 경사진 상태를 나타내고 있다. 또한, OFF상태의 마이크로미러(110)에 의해 광빔이 반사되는 방향에는 광흡수체(도시생략)가 배치되어 있다.
또한, DMD(106)는, 상기한 바와 같이, 마이크로미러(110)를 다수개(예컨대, 80개) 길이방향으로 배열되어 이루어지는 마이크로미러열이, 다수조(예컨대, 600조) 두께방향으로 배열되어 구성되어 있거나, 또는, 그 두께방향의 변(단변)이 부주사방향과 소정각도(θ)(예컨대, 1°~5°)를 이루도록 약간 경사지게 배치되어 있다. 도 11(A)는 DMD(106)를 경사지게 하지 않은 경우의 각 마이크로미러(110)에 의한 반사광상(노광빔)(104)의 주사궤적을 도시하고, 도 11(B)는 DMD(106)를 소정각도(θ) 경사지게 한 경우의 반사광상(노광빔)(104)의 주사궤적을 나타내고 있다. 이와 같이, DMD(106)를 경사지게 하면 각 마이크로미러(110)에 의한 노광빔의 주사 궤적(주사선)의 피치(P2)가 DMD(106)를 경사지게 하지 않은 경우의 주사선의 피치 (P1)보다 좁게 할 수 있으므로 해상도를 대폭적으로 향상시킬 수 있다.
또한, 다른 마이크로미러열에 의해 동일한 주사선 위가 겹쳐서 노광(다중 노광)되게 되기 때문에 노광위치의 미소량을 컨트롤할 수 있어, 고정밀도의 노광을 실현할 수 있다. 따라서, 주주사방향으로 배열된 복수의 노광헤드(100) 간의 연결 부분을 미소량의 노광위치제어에 의해 단차없이 연결할 수 있다. 또한, DMD(106)의 경사각도(θ)는 미소이므로 DMD(106)를 경사지게 한 경우의 주사폭(W2)과, DMD(106)를 경사지게 하지 않은 경우의 주사폭(W1)은 대략 동일하다. 또한, DMD(106)를 경사지게 하는 대신에 각 마이크로미러열을 부주사방향과 직교하는 방향으로 소정간격 어긋나게 한 지그재그형상으로 배치하여도 마찬가지의 효과가 얻어지는 것은 말할 필요도 없다.
또한, 노광헤드(100)를 구동제어하는 제어장치(도시생략)에는 도시하지 않은 화상정보처리부와 미러 구동제어부가 조립되어 있다. 화상정보처리부에서는 레이저 노광장치(10) 전체를 제어하는 컨트롤러(도시생략)로부터 입력된 배선 패턴에 대응하는 화상정보에 기초하여 각 노광헤드(100)마다 DMD(106)의 제어해야할 영역 내의 각 마이크로미러(110)를 구동제어하는 제어신호를 생성한다. 또한, 미러 구동제어부에서는 화상정보 처리부에서 생성한 제어신호에 기초하여 각 노광헤드(100)마다 DMD(106)의 각 마이크로미러(110)의 각도를 ON상태 또는 OFF상태로 제어하도록 되어 있다.
또한, 도 12에 도시하는 바와 같이, DMD(106)의 광입사측에는 광섬유의 출사단부(발광점)가 노광영역(102)의 장변방향과 대응하는 방향을 따라서 일렬로 배열된 레이저 출사부(114)를 구비한 섬유 어레이 광원(112)과, 섬유 어레이 광원(112)으로부터 출사된 레이저광을 보정하여 DMD(106) 상에 집광시키는 레이저 시스템 (120)과, 레이저 시스템(120)을 투과한 레이저광을 DMD(106)를 향해 반사하는 미러 (116)가 순서대로 배치되어 있다. 또한, DMD(106)의 광반사측에는 DMD(106)에서 반사된 레이저광을 기판재료(200)의 피노광면(202) 상에 결상하는 렌즈 시스템 (122,124)이 DMD(106)와 피노광면(202)이 공역의 관계가 되도록 배치되어 있다.
렌즈 시스템(120)은, 도 13에 나타내는 바와 같이, 섬유 어레이 광원(112)으로부터 출사된 레이저광을 평행광화하는 1쌍의 조합 렌즈(126)가, 평행광화된 레이저광의 광량분포가 균일하게 되도록 보정하는 1쌍의 조합 렌즈(128)와, 광량분포가 보정된 레이저광을 DMD(106) 상에 집광하는 집광 렌즈(118)로 구성되어 있다. 조합 렌즈(128)는 레이저 출사단의 배열방향에 대해서는 렌즈의 광축에 가까운 부분은 광다발을 넓히고, 광축으로부터 떨어진 부분은 광다발을 축소하고, 또한, 이 배열방향과 직교하는 방향에 대해서는 광을 그대로 투과시키는 기능을 구비하고 있고, 광량분포가 균일하게 되도록 레이저광을 보정하도록 되어 있다.
또한, 섬유 어레이 광원(112)은, 도 14(A)에 나타내는 바와 같이, 복수(예컨대, 6개)의 레이저 모듈(130)을 구비하고 있고, 각 레이저 모듈(130)에는 멀티모드 광섬유(132)의 일단이 결합되어 있다. 멀티모드 광섬유(132)의 타단에는 코어지름이 멀티모드 광섬유(132)와 동일하고, 또한, 클래딩 지름이 멀티모드 광섬유(132) 보다 작은 광섬유(134)가 결합되고, 도 14(C)에 나타내는 바와 같이, 광섬유(134)의 출사단부(발광점)가 부주사방향과 직교하는 주주사방향을 따라 일렬로 배열됨으로써 레이저 출사부(114)가 구성되어 있다. 또한, 도 14(D)에 도시하는 바와 같이, 광섬유(134)의 출사단부(발광점)를 주주사방향을 따라 2열로 배열하는 것도 가능하다.
광섬유(134)의 출사단부는, 도 14(B)에 나타내는 바와 같이, 표면이 평탄한 2장의 지지판(136)에 끼워넣어 고정되어 있다. 또한, 광섬유(134)의 광출사측에는 광섬유(134)의 끝면을 보호하기 위하여 유리 등의 투명한 보호판(138)이 배치되어 있다. 보호판(138)은 광섬유(134)의 끝면과 밀착시켜 배치하여도 좋고, 광섬유 (134)의 끝면이 밀봉되도록 배치하여도 좋다. 광섬유(134)의 출사단부는 광밀도가 높고, 집진하기 쉽고, 열화하기 쉽지만 보호판(138)을 배치함으로써 끝면으로의 진애의 부착을 방지할 수 있음과 아울러 열화를 지연시킬 수 있다.
또한, 도 14(B)에 도시하는 바와 같이, 클래딩 지름이 작은 광섬유(134)의 출사단을 간극없이 일렬로 배열하기 위하여 클래딩 지름이 큰 부분에서 인접하는 2개의 멀티모드 광섬유(132) 사이에 멀티모드 광섬유(132)를 겹쳐쌓고, 겹쳐쌓여진 멀티모드 광섬유(132)에 결합된 광섬유(134)의 출사단이, 클래딩 지름이 큰 부분에서 인접하는 2개의 멀티모드 광섬유(132)에 결합된 2개의 광섬유(134)의 출사단 사이에 끼워지도록 배열되어 있다. 이것은 클래딩 지름이 큰 멀티모드 광섬유(132)의 레이저 광출사측의 선단부분에, 길이 1~30㎝의 클래딩 지름이 작은 광섬유(134)를 동축적으로 결합하는, 예컨대, 광섬유(134)의 입사단면을, 멀티모드 광섬유(132)의 출사단면에, 양방의 중심축이 일치하도록 융착함으로써 얻을 수 있다.
또한, 멀티모드 광섬유(132) 및 광섬유(134)로서는 스텝 인덱스형 광섬유, 그래디드 인덱스형 광섬유, 복합형 광섬유 모두 사용가능하고, 도 15에 나타내는 바와 같이, 광섬유(134)의 코어(134A)의 지름은 멀티모드 광섬유(132)의 코어 (132A)의 지름과 동일한 크기로 되어 있다. 즉, 광섬유(134)는 클래딩 지름=60㎛, 코어 지름=25㎛이고, 멀티모드 광섬유(132)는 클래딩 지름=125㎛, 코어 지름=25㎛이다. 또한, 멀티모드 광섬유(132)의 입사단면 코팅의 투과율이 99.5%이상으로 되어 있다.
또한, 도시하지 않지만 길이가 짧아서 클래딩 지름이 큰 광섬유에, 클래딩 지름이 작은 광섬유를 융착시킨 길이가 짧은 광섬유를, 페룰이나 광커넥터 등을 통해서 멀티모드 광섬유(132)의 출사단에 결합하여도 좋다. 이와 같이, 광커넥터 등을 이용하여 길이가 짧은 광섬유(클래딩 지름이 작은 광섬유)를, 멀티모드 광섬유(132)에 착탈가능하게 구성하면 클래딩 지름이 작은 광섬유가 파손된 경우 등에는 그 부분의 교환을 용이하게 할 수 있으므로 노광헤드(100)의 보수 관리에 요하는 비용을 저감할 수 있다. 또한, 이하에서는 광섬유(134)를 멀티모드 광섬유 (132)의 출사단부로 칭하는 경우가 있다.
레이저 모듈(130)은 도 16에 나타내는 합파 레이저 광원(섬유 광원)으로 구성되어 있다. 이 합파 레이저 광원은 히트 블록(140) 상에 배열 고정된 복수(예컨대, 7개)의 칩상의 횡 멀티모드, 또는 싱글모드의 UV계 반도체 레이저 (LD1,LD2,LD3,LD4,LD5,LD6,LD7)와, UV계 반도체 레이저(LD1~LD7) 각각에 대응하여 설치된 콜리메이터 렌즈(142,144,146,148,150,152,154)와, 1개의 집광렌즈(156)와, 1개의 멀티모드 광섬유(132)로 구성되어 있다. 즉, 콜리메이터 렌즈(142~154) 및 집광렌즈(156)에 의해서 집광 광학 시스템이 구성되고, 이 집광 광학 시스템과 멀티모드 광섬유(132)에 의해서 합파 광학 시스템이 구성되어 있다.
따라서, 노광헤드(100)에 있어서 섬유 어레이 광원(112)의 합파 레이저 광원을 구성하는 UV계 반도체 레이저(LD1~LD7) 각각으로부터 발산광 상태에서 출사한 레이저빔(B1,B2,B3,B4,B5,B6,B7) 각각은 우선, 대응하는 콜리메이터 렌즈(142~154)에 의해서 평행광화된다. 또한, 평행광화된 레이저빔(B1~B7)은 집광렌즈(156)에 의해서 집광되고, 멀티모드 광섬유(132)의 코어(132A)의 입사단면에 수속(收束)된다.
멀티모드 광섬유(132)의 코어(132A)의 입사단면에 수속된 레이저빔(B1~B7)은 상기 코어(132A)에 입사하여 광섬유 내를 전파하고, 1개의 레이저빔(B)에 합파된다. UV계 반도체 레이저(LD1~LD7)는 발진파장 및 최대출력이 모두 동일하고, 이 때의 결합효율이, 예컨대, 85%인 것으로 하면 UV계 반도체 레이저(LD1~LD7)의 각 출력이 30mW의 경우에는 출력 약 180mW(=30mW×0.85×7)의 합파 레이저빔(B)을 얻을 수 있다.
이렇게 하여, 멀티모드 광섬유(132)의 출사단부에 결합된 광섬유(134)로부터 합파 레이저빔(B)이 출사되지만, 예컨대, 도 12, 도 14(C)에 나타내는 바와 같이, 6개의 광섬유(134)가 어레이상으로 배열된(고휘도의 발광점이 주주사방향을 따라 일렬로 배열된) 레이저 출사부(114)의 경우에는 그 출력은 약 1W(=180mW×6)의 고출력으로 된다. 또한, 합파 레이저 광원을 구성하는 UV계 반도체 레이저의 갯수는 7개로 한정되는 것은 아니다.
또한, 이상과 같은 합파 레이저 광원(UV계 반도체 레이저)은, 도 17, 도 18에서 나타내는 바와 같이, 다른 광학요소와 함께, 상방이 개구한 상자형상의 패키지(160) 내에 수납되어 있다. 패키지(160)는 그 개구를 폐쇄가능한 패키지 덮개 (162)를 구비하고 있고, 탈기처리를 한 후에 밀봉 가스를 주입하고, 패키지(160)의 개구를 패키지 덮개(162)로 폐쇄함으로써 패키지(160)와 패키지 덮개(162)로 형성되는 폐쇄공간(밀봉공간) 내에 상기 합파 레이저 광원이 기밀하게 밀봉되도록 되어 있다.
패키지(160)의 바닥면에는 베이스판(164)이 고정되어 있고, 이 베이스판 (164)의 상면에는 히트 블록(140)과, 집광렌즈(156)를 유지하는 집광 렌즈 홀더 (158)와, 멀티모드 광섬유(132)의 입사단부를 유지하는 섬유 홀더(166)가 설치되어 있다. 멀티모드 광섬유(132)의 출사단부는 패키지(160)의 벽면에 형성된 개구로부터 패키지(160) 밖으로 인출되어 있다.
또한, 히트 블록(140)의 측면에는 콜리메이터 렌즈 홀더(168)가 설치되어 있고, 콜리메이터 렌즈(142~154)가 유지되어 있다. 패키지(160)의 횡벽면에는 개구가 형성되고, 이 개구를 통해서 UV계 반도체 레이저(LD1~LD7)에 구동전류를 공급하는 배선(170)이 패키지(160) 밖으로 인출되어 있다. 또한, 도 17, 도 18에 있어서는 도면의 번잡화를 피하기 위하여 복수의 UV계 반도체 레이저 중 UV계 반도체 레이저(LD7)에만 부호를 붙이고, 복수의 콜리메이터 렌즈 중 콜리메이터 렌즈(154)에만 부호를 붙이고 있다.
또한, 콜리메이터 렌즈(142~154)의 설치부분의 정면형상을 도 19에 나타낸다. 콜리메이터 렌즈(142~154) 각각은 비구면을 구비한 원형 렌즈의 광축을 포함하는 영역을, 평행한 평면에서 가늘고 길게 잘라낸 형상으로 형성되어 있다. 이 가늘고 긴 형상의 콜리메이터 렌즈(142~154)는, 예컨대, 수지 또는 광학 유리를 몰드 성형함으로써 얻을 수 있다. 또한, 콜리메이터 렌즈(142~154)는 길이방향이 UV계 반도체 레이저(LD1~LD7)의 발광점의 배열방향(도면의 좌우방향)과 직교하도록, 또한, 발광점의 배열방향으로 밀접하게 배치되어 있다.
또한, UV계 반도체 레이저(LD1~LD7)로서는 발광폭이 2㎛의 활성층을 구비하고, 활성층과 평행한 방향, 직각인 방향의 넓힘각이 각각, 예컨대, 10°, 30°인 상태에서 각각 레이저빔(B1~B7)을 발하는 레이저가 이용되고 있다. 이들 UV계 반도체 레이저(LD1~LD7)는 활성층과 평행한 방향으로 발광점이 일렬로 늘어서도록 배치되어 있다. 따라서, 각 발광점으로부터 발해진 레이저빔(B1~B7)은 가늘고 긴 형상의 각 콜리메이터 렌즈(142~154)에 대해서, 넓힘각도가 큰 방향이 길이방향과 일치하고, 넓힘각도가 작은 방향이 폭방향(길이방향과 직교하는 방향)과 일치하는 상태에서 입사하게 된다.
또한, 집광 렌즈(156)는 비구면을 구비한 원형 렌즈의 광축을 포함하는 영역을, 평행한 평면에서 가늘고 길게 잘라내서 콜리메이터 렌즈(142~154)의 배열방향, 즉, 수평방향으로 길고, 이것과 직각인 방향으로 짧은 형상으로 형성되어 있다. 이 집광렌즈(156)도, 예컨대, 수지 또는 광학유리를 몰드 성형함으로써 얻을 수 있다.
[화상위치 검출장치의 구성]
이어서, 화상위치 검출장치(180)에 대해서 설명을 한다. 화상위치 검출장치 (180)는, 상기한 바와 같이, 레이저 노광장치(10)의 폭방향으로 가설된 게이트(18)에, 그 폭방향을 따라 이동가능하게 설치된 CCD 카메라(182)와, 도시하지 않은 얼라이먼트 제어부를 포함하여 구성되어 있다. CCD 카메라(182)는 2차원 CCD를 촬상소자로서 구비함과 아울러 촬상시의 광원으로서 1회의 발광시간이 아주 짧은 스트로보를 구비하고 있고, 이 스트로보의 발광시에만 촬상이 가능하게 되도록 각 CCD 소자의 수광감도가 설정되어 있다. 얼라이먼트 제어부는 CCD 카메라(182)로부터의 화상신호를 처리하고, CCD 카메라(182)에 의해 촬상된 얼라이먼트 마크의 위치에 대응하는 위치정보를 상기 컨트롤러에 출력하도록 되어 있다.
또한, CCD 카메라(182)는 홀더(184)에 하향 상태로 유지되어 있고, 이 홀더 (184)가 게이트(18)의 하부에 평행하게 배치된 가이드 플레이트(186)에 이동가능하게 지지되어 있다. 따라서, CCD 카메라(182)는 상기 가이드 플레이트(186)를 따라 폭방향으로 왕복이동가능하고, 기판재료(200)의 다른 영역을 촬상가능하게 되어 있다. 즉, CCD 카메라(182)는 촬상대상이 되는 기판재료(200)에 형성된 얼라이먼트 마크의 위치 등에 따라서 그 위치의 조정이 가능하게 되어 있다. 또한, CCD 카메라 (182)는 도시하는 1대로 한정되는 것은 아니고, 복수대 설치하여 적절한 위치에 고정 배치하여도 좋다.
한편, 기판재료(200)의 피노광면(202) 상에는 미리 배선 패턴에 대응하는 잠상이 형성되는 묘화영역(204)이 설정되어 있고, 이 묘화영역(204)에 대응하는 얼라이먼트 마크(도시생략)가 4코너에 형성되어 있다. 또한, CCD 카메라(182)는 그 바 로밑의 촬상위치(판독위치)를, 스테이지 부재(20)에 흡착 유지되어 소정의 속도로 반송되어 오는 기판재료(200)가 통과할 때에, 소정의 타이밍으로 스트로보를 발광시키고, 이 스트로보로부터의 반사광을 수광함으로써 상기 기판재료(200)에 있어서의 얼라이먼트 마크를 포함하는 촬상범위를 각각 촬상하도록 되어 있다.
얼라이먼트 마크는 기판재료(200)의 피노광면(202)에, 원형의 관통구멍 또는 오목부를 형성함으로써 형성되어 있고, 이것에 의해서 스테이지 부재(20) 상의 기판재료(200)의 위치(묘화영역)가 검출되도록 되어 있다. 또한, 얼라이먼트 마크는 관통구멍이나 오목부는 아니고, 기판재료(200)의 피노광면(202)에 미리 형성되어 있는 배선 패턴인 랜드 등을 이용하여도 좋다.
[스테이지 부재 및 순환수단의 구성]
이어서, 스테이지 부재(20,30) 및 그 순환수단의 구성에 대해서 도 1 내지 도 5를 기초로 상세하게 설명한다. 스테이지 부재(20,30)는 상면(표면)이 기판재료 (200)를 적재하기 위한 평면형상의 적재면(22A,32A)으로 된 스테이지 본체(22,32)와, 그 스테이지 본체(22,32)의 외방측 단부에 상방을 향하여 일체적으로 세워설치된 가이드벽(24,34)으로, 연직방향보다 수평방향이 긴 측면을 바라봐서 대략 「L」자형상으로 형성되어 있다.
또한, 가이드벽(24,34)의 외면 양단부에는 상하방향을 따라, 또한, 전장에 걸쳐 단면으로 봐서 대략 역「
Figure 112004029475926-pat00001
」형상의 가이드홈이 형성된 1쌍의 레일(26,36)이 돌출되게 설치되어 있다. 또한, 스테이지 본체(22,32)의 내부는 공동으로 되어 있고, 적재면(22A,32A)에는 기판재료(200)를 부압에 의해서 흡착하기 위한 에어 흡인 용 작은 구멍(22B,32B)이 다수 형성되어 있다. 따라서, 스테이지 부재(20,30)에는 부압을 발생시키기 위한 전원라인 또는 공기배관을 구비한 케이블 베어(도시생략)가 접속된다.
즉, 스테이지 부재(20,30)가 에어 흡인용 진공펌프 등의 진공발생장치(도시생략)를 구비하고 있는 경우는 그 진공발생장치 구동용 전원라인을 구비한 케이블 베어로 되고, 진공발생장치를 구비하고 있지 않은 경우는 별도 설치되는 진공펌프 등의 진공발생장치(도시생략)와 접속하는 진공배관을 구비한 케이블 베어로 된다. 또한, 이 케이블 베어는 스테이지 부재(20,30)의 이동에 추종가능하게 되도록 플랙서블한 튜브 등으로 구성되는 것이 바람직하다. 또한, 스테이지 부재(20,30)를 일체로 지지하는 리니어 주행체(40,60)는 동일 평면상을 반송방향 및 복귀방향으로 왕복이동하는 것뿐이으로 스테이지 부재(20,30)에 대한 케이블 베어의 설치구조가 간략하게 끝나고, 그 케이블 베어가 얽히는 문제도 일어나지 않는다.
리니어 주행체(40,60)는 바닥판(42,62)과, 그 바닥판(42,62)의 외방측 단부에 상방을 향하여 일체적으로 세워 설치된 가이드벽(44,64)으로, 수평방향보다 연직방향이 긴 측면으로 바라봐서 대략 「L」자형상으로 형성되어 있고, 상기 가이드벽(44,64)의 내면 양단부에 1쌍의 가이드 레일(46,66)이 상하방향을 따라, 또한, 전장에 걸쳐 돌출되게 설치되어 있다. 또한, 상기 가이드 레일(46,66)에 가이드홈이 슬라이딩가능하게 끼워맞춰져서 스테이지 부재(20,30)가 리니어 주행체(40,60)에 일체로 캔틸레버 지지되어 있다.
또한, 가이드 레일(46,66) 사이에는 볼나사(48,68)가 평행하게 배치되고, 이 볼나사(48,68)의 한쪽의 단부(예컨대, 하단부)에는 볼나사(48,68)를 정역 회전할 수 있는 모터(도시생략)가 설치되어 있다. 한편, 가이드벽(24,34)의 레일(26,36) 사이에는, 내부에 나사산을 갖는 통형상 부재(28,38)가 상하방향을 따라 일체적으로 돌출되게 설치되어 있고, 상기 통형상 부재(28,38)에 볼나사(48,68)가 나사결합된 상태로 삽입통과되어 있다. 따라서, 모터(도시생략)가 정역 회전구동함으로써 가이드벽(24,34), 즉, 스테이지 부재(20,30)가 가이드벽(44,64)의 가이드 레일 (46,66)을 따라 승강이동가능하게 되는 구성이다.
또한, 바닥판(42,62)의 하면에서, 또한, 4코너의 근방에는 반송방향을 따라 단면으로 바라봐서 대략 역「
Figure 112004029475926-pat00002
」형상의 가이드홈이 형성된 레일(52,72)이 일체적으로 돌출되게 설치되어 있고, 상기 가이드홈이, 소정 두께의 평판형상 기대(12)의 상면에 돌출되게 설치된 1쌍의 가이드 레일(54,74)에 슬라이딩가능하게 끼워맞춰져 있다. 가이드 레일(54,74)은, 도시하는 바와 같이, 기대(12) 상의 소정위치에 인접해서 2조, 각각 반송방향(복귀방향)을 따라, 또한, 대략 전장에 걸쳐서 세워 설치되어 있고, 각각의 가이드 레일(54,74) 사이(내측)에는 볼나사(56,76)가 소정 길이 평행하게 배치되어 있다. 볼나사(56,76)의 양단부 근방은 각각 1쌍의 지지부(도시생략)에 의해서 지지되고, 그 상류측(또는, 하류측에서도 좋지만)의 단부에는 각각 정역 회전가능한 모터(50,70)가 설치되어 있다.
한편, 바닥판(42,62)의 하면, 대략 중앙에는 내부에 나사산을 갖는 통형상 부재(도시생략)가, 반송방향(복귀방향)을 따라 일체적으로 돌출되게 설치되어 있고, 상기 통형상 부재에 볼나사(56,76)가 나사결합한 상태에서 삽입통과되어 있다. 따라서, 모터(50,70)가 정역 회전구동함으로써 리니어 주행체(40,60)가 가이드 레일(54,74)을 따라 반송방향 및 복귀방향으로 소정의 속도(예컨대, 노광시에 있어서는 30mm/s)로 분리 결합가능(스쳐 지날 수 있게)하게 이동가능하게 되는 구성이다. 또한, 상기 모터(50,70)는 도시하지 않은 반송제어부로부터 출력되는 구동펄스신호에 의해 독립해서 회전구동하도록 구성되어 있고, 상기 반송제어부는 상기 컨트롤러에 접속되어 있다. 또한, 리니어 주행체(40,60)를 주행시키는 수단은 도시하는 볼나사(56,76) 등에 한정되는 것은 아니고, 리니어 모터 등에 의해서 주행시키도록 구성하여도 좋다.
또한, 도시하는 바와 같이, 리니어 주행체(40,60)는 캔틸레버 지지한 스테이지 부재(20,30)를 대향시킨 상태에서 반송방향 및 복귀방향으로 이동하도록 되어 있고, 상기한 바와 같이, 스테이지 본체(22,32)의 폭방향의 길이가, 바닥판(42,62)의 폭방향의 길이보다 길게 형성되어 있다[서로 내방측으로 향하여 튀어나오고, 평면으로 바라봐서 각 스테이지 부재(20,30)의 스테이지 본체(22,32)가 대략 동일한 영역 내를 이동하도록 되어 있다]. 따라서, 각 리니어 주행체(40,60)가 스쳐 지날 때에는 스테이지 본체(22,32)가 서로 간섭하지 않도록 스테이지 부재(20,30)는 상방위치와 하방위치로 어긋나 이동하도록 되어 있다.
즉, 스테이지 부재(20,30)는 CCD 카메라(182)에 의한 얼라이먼트 처리와, 노광헤드(100)에 의한 노광처리가 행해질 때에는 기판재료(200)가 적재면(22A,32A) 상에 탑재되어 있기 때문에 상방위치에서 반송방향으로 이동하고, 인출위치로부터 탑재위치로 복귀 이동할 때에는 기판재료(200)는 적재면(22A,32A) 상으로부터 제거 되어 있기 때문에 하방위치에서 복귀방향으로 이동하도록 되어 있다. 이와 같이, 각 스테이지 부재(20,30)가 상하로 이동하여 서로의 간섭이 회피되도록 되어 있으면 레이저 노광장치(10)의 폭방향을 콤팩트하게 구성할 있는(설치공간을 저감할 수 있는) 이점이 있다.
또한, 이와 같이, 스테이지 부재(20,30)가 상방위치로 상승하고 나서 CCD 카메라(182)에 의한 얼라이먼트 처리가 행해지도록 되어 있도록 되어 있으면 스테이지 부재(20,30)를 상승시켰을 때의 기판재료(200)의 위치 어긋남을, 상기 CCD 카메라(182)에 의한 측정시에 보정할 수 있다. 따라서, 묘화영역(204)에 대한 위치맞춤을 고정밀도로 행할 수 있다.
또한, 스테이지 부재(20,30)가 상방위치로 상승하여 노광헤드(100)에 의한 노광처리가 행해지기 때문에 기판재료(200)의 두께에 따라서 상기 기판재료(200)의 피노광면(202)과 노광헤드(100)의 집점거리를 조절할 수 있게 된다. 즉, 기판재료 (200)의 두께에 관계없이 기판재료(200)의 피노광면(202)과 노광헤드(100)의 거리가 일정하게 되도록 스테이지 부재(20,30)의 승강량을 조정할 수 있으므로 두께가 다른 기판재료(200)마다 노광헤드(100)의 설치 높이 위치를 변경하는 집점거리 조정이 불필요하게 된다. 또한, 스테이지 부재(20,30)는 리니어 주행체(40,60)와 항상 일체로 주행하므로 그 이동은 정밀도 좋고 안정하게 행해진다.
[노광장치의 동작]
이상과 같은 구성의 레이저 노광장치(10)에 있어서, 다음에 그 일련의 동작을 주로 도 1, 도 4, 도 5를 참조하면서 설명한다. 우선, 공급 컨베이어(86)에 의 해서 순차 공급되어 오는 기판재료(200A)가, 도시하지 않은 스토퍼에 의해 정지되어서 위치결정되고, 로더(80)의 흡착부재(82)에 의해서 4코너가 흡착된다. 이 흡착부재(82)는 가이드 플레이트(84)에 의해서 반송방향 및 복귀방향으로 이동가능하게 지지되어 있고, 공급 컨베이어(86) 상으로부터, 초기위치(탑재위치)에서 대기하고 있는 스테이지 부재(20)의 적재면(22A) 상에 기판재료(200A)를 반송하여 적재한다.
이 때, 스테이지 부재(20)에는 케이블 베어를 통해서 진공펌프 등에 의해 부압이 공급되고 있으므로 적재면(22A)에 형성된 다수의 작은 구멍(22B)으로부터 에어가 흡인되고 있고, 그 작용에 의해서 기판재료(200A)가 적재면(22A) 상에 밀착상태로 고정된다. 또한, 스테이지 부재(20)는 소정 위치까지 상승시켜진다. 이 때의 상방위치는 기판재료(200A)의 두께에 따라서 적절히 조정된다.
이렇게 하여 기판재료(200A)가 스테이지 부재(20)의 적재면(22A) 상에 흡착 유지되고, 상방위치에 유지되면 반송제어부로부터의 구동 펄스 신호에 의해 모터 (50)가 구동하여 볼나사(56)가 회전한다. 그러면, 리니어 주행체(40)가 가이드 레일(54)을 따라 반송방향으로 소정의 속도로 이동하고, 우선, 게이트(18)에 설치된 CCD 카메라(182)에 의해서 기판재료(200A)의 4코너에 설치된 얼라이먼트 마크가 촬상되어, 기판재료(200A)의 묘화영역(204)의 위치가 검출된다.
즉, 기판재료(200A)의 얼라이먼트 마크가 CCD 카메라(182)의 촬상위치(판독위치)에 도달하면 스트로보를 발광시키고, CCD 카메라(182)에 의해서 피노광면 (202)에 있어서의 얼라이먼트 마크를 포함하는 촬상영역을 촬상한다. 또한, CCD 카메라(182)에 의해 얻어진 촬상정보는 얼라이먼트 제어부에 출력된다. 얼라이먼트 제어부는 촬상정보를 얼라이먼트 마크의 주사방향 및 폭방향을 따른 위치에 대응하는 위치정보로 변환하고, 이 위치정보를 컨트롤러에 출력한다.
컨트롤러는 얼라이먼트 제어부로부터의 얼라이먼트 마크의 위치정보에 기초하여 묘화영역(204)에 대응하여 형성된 얼라이먼트 마크의 위치를 판단하고, 이 얼라이먼트 마크의 위치로부터, 묘화영역(204)의 주사방향 및 폭방향을 따른 위치와, 묘화영역(204)의 주사방향에 대한 경사량을 각각 판단한다. 즉, 컨트롤러는 스테이지 부재(20) 상의 기판재료(200A)의 위치를 판단함과 아울러 화상정보에 기초하여 기판재료(200A)에 있어서의 각 얼라이먼트 마크의 위치를 판단하고, 그 묘화영역 (204)을 판단한다.
또한, 컨트롤러는 묘화영역(204)의 주사방향을 따른 위치에 기초하여 묘화영역(204)에 대한 노광개시의 타이밍을 산출함과 아울러 묘화영역(204)의 폭방향을 따른 위치 및 주사방향에 대한 경사량에 기초하여, 배선 패턴에 대응하는 화상정보에 대한 변환처리를 실행하고, 변환처리한 화상정보를 프레임 메모리 내에 격납한다.
여기서, 변환처리의 내용으로서는 좌표원점을 중심으로 하여 화상정보를 회전시키는 좌표변환처리, 폭방향에 대응하는 좌표축을 따라 화상정보를 평행이동시키는 좌표변환처리가 포함된다. 또한, 필요에 따라서 컨트롤러는 묘화영역(204)의 폭방향 및 주사방향을 따른 신장량 및 축소량에 대응시켜 화상정보를 신장 또는 축소시키는 변환처리를 실행한다.
이와 같이 하여 얻어진 변환처리후의 화상정보 및 묘화영역(204)의 위치정보 는 스테이지 부재(20)와 관련되어 컨트롤러의 프레임 메모리 내에 일시 기억되고, 기판재료(200A)가 스테이지 부재(20) 상으로부터[레이저 노광장치(10)로부터] 다음의 공정으로 반송하기 위한 도시하지 않은 반송장치로 송출된 후에 프레임 메모리 내로부터 소거된다. 또한, 본 실시형태에 있어서의 얼라이먼트 처리시간은 15초이다.
그런데, 얼라이먼트 마크가 촬상된 기판재료(200A)는 스테이지 부재(20)[리니어 주행체(40)]가 더욱 반송방향으로 이동함으로써 게이트(16)에 수직 설치되어 있는 노광헤드(100)의 노광위치에 공급된다. 또한, 소정의 속도(예컨대, 30mm/s)로 이동하면서 CCD 카메라(182)에 의한 촬상을 기초로 얼라이먼트 제어부에 의해서 위치검출된 묘화영역(204)이, 배선 패턴에 따른 화상정보에 기초하여 노광되고, 기판재료(200A)의 묘화영역(204)에 배선 패턴 등의 잠상(화상)이 형성된다. 즉, 기판재료(200A)가 스테이지 부재(20)와 함께 반송방향으로 이동됨으로써 상대적으로 노광헤드(100)가 복귀방향으로 부주사되는 것이므로 기판재료(200A)에는 각 노광헤드 (100)마다 띠상의 노광이 끝난 영역(206)(도 7, 도 8 참조)이 순차 형성된다.
여기서, 상기 노광처리공정을 구체적으로 설명하면, 우선, 컨트롤러가 스테이지 부재(20) 상의 기판재료(200A)의 위치를 판단하고, 프레임 메모리 내에 격납된 묘화영역(204)의 위치정보에 기초하여 묘화영역(204)의 선단이 노광위치에 도달하는 타이밍을 판단한다. 또한, 상기 묘화영역(204)의 선단이 노광위치에 도달하는 타이밍에 동기하여 노광개시신호를 화상정보처리부에 출력한다. 이것에 의해, 화상정보처리부는 프레임 메모리에 기억된 화상정보를 복수라인분씩 순차 판독하고, 판 독된 화상정보에 기초하여 각 노광헤드(100)마다 제어신호를 생성한다. 또한, 미러 구동제어부는 상기 생성된 제어신호에 기초하여 각 노광헤드(100)마다 DMD(106)의 마이크로미러(110) 각각을 ON상태 또는 OFF상태로 제어한다.
이렇게 하여 DMD(106)의 마이크로미러(110)가 ONㆍOFF 제어되면 섬유 어레이 광원(112)으로부터 DMD(106)에 레이저광이 조사되고, ON상태의 마이크로미러(110)에 반사된 레이저광이, 렌즈 시스템(122,124)에 의해 기판재료(200A)의 피노광면 (202) 상에 결상된다. 즉, 섬유 어레이 광원(112)으로부터 출사된 레이저광이 화소마다 ONㆍOFF 되어 기판재료(200A)의 묘화영역(204)이 DMD(106)의 사용화소수와 대략 동일한 수의 화소단위(노광영역)로 노광된다. 또한, 여기서 말하는 화상정보는 화상을 구성하는 각 화소의 농도를 2진법(도트의 기록의 유무)으로 표시한 데이터이고, 본 실시형태에 있어서의 노광헤드(100)에 의한 노광처리시간은 15초로 되어 있다.
한편, 스테이지 부재(30)는 스테이지 부재(20) 상의 기판재료(200A)가 얼라이먼트 처리되어 노광처리가 개시되기까지의 사이에 복귀 동작하고 있다. 즉, 스테이지 부재(30)가 하방위치에 하강하여 리니어 주행체(60)가 가이드 레일(74)을 따라 인출위치로부터 탑재위치로 소정의 속도로 이동하고 있다. 또한, 스테이지 부재(20)의 노광처리 중에 탑재위치에서, 로더(80)에 의해, 다음의 기판재료(200B)가 공급 컨베이어(86) 상으로부터 그 적재면(32A) 상에 반송되어 적재된다. 이 때, 상기와 마찬가지로 기판재료(200B)는 스테이지 부재(30)의 작은 구멍(32B)으로부터 에어가 흡인되어 있은 것에 의한 부압 작용에 의해 상기 적재면(32A) 상에 흡착 유 지된다.
이렇게 하여 기판재료(200B)가 탑재되면 스테이지 부재(30)가 상방위치로 상승하고, 반송제어부로부터의 구동펄스신호에 의해 모터(70)가 구동하여 볼나사(76)가 회전한다. 그러면, 리니어 주행체(60)가 가이드 레일(74)을 따라 반송방향으로 소정의 속도로 이동하고, 게이트(18)에 설치된 CCD 카메라(182)에 의해서 기판재료 (200B)의 4코너에 형성된 얼라이먼트 마크가 촬상되고, 기판재료(200B)의 묘화영역 (204)의 위치가 검출된다. 즉, 스테이지 부재(20)의 노광개시로부터 종료까지의 15초에서, 스테이지 부재(30)로의 기판재료(200B)의 탑재로부터 지금까지의 공정이 대략 완료하도록 되어 있다.
한편, 기판재료(200A)의 노광이 종료하면 스테이지 부재(20)는 하방위치에 하강하고, 진공펌프 등에 의한 부압이 해제됨과 아울러 적재면(22A) 상으로부터 기판재료(프린트 배선기판)(200A)가 언로더(90)에 의해서 인출된다. 즉, 언로더(90)의 흡착부재(92)에 의해서 기판재료(200A)의 4코너가 흡착되고, 가이드 플레이트 (94)를 따라 스테이지 부재(20) 상으로부터 배출 컨베이어(96) 상으로 반송된다. 또한, 상기 기판재료(프린트 배선기판)(200A)는 다음의 공정으로 도시하지 않은 반송장치에 의해서 반송된다.
또한, 기판재료(200A)가 제거된 스테이지 부재(20)[리니어 주행체(40)]는 모터(50)가 볼나사(56)를 반송시와는 반대의 방향으로 회전구동함으로써 원래의 탑재위치(초기위치)로 복귀 이동한다. 또한, 로더(80)에 의해서 다음의 기판재료(200A)가, 그 적재면(22A) 상에 탑재된다. 또한, 이 때, 이미 스테이지 부재(30) 상에서 는 이것에 탑재된 기판재료(200B)의 얼라이먼트 마크가 CCD 카메라(182)에 의해 촬상되어 그 묘화영역(204)의 위치가 검출되고, 노광이 개시되고 있다. 즉, 컨트롤러는 기판재료(200A)의 묘화영역(204)에 대한 노광을 완료하면 상기 묘화영역(204)에대한 경우와 마찬가지로, 변환처리를 한 화상정보 및 위치정보에 기초하여 다음의 기판재료(200B)의 묘화영역(204)에 대한 노광을 실행한다.
또한, 스테이지 부재(30) 상에 흡착 유지되어 있는 기판재료(200B)의 노광이 종료하면 스테이지 부재(30)는 하방위치로 하강하고, 진공펌프 등에 의한 부압이 해제됨과 아울러 적재면(32A) 상으로부터 기판재료(프린트 배선기판)(200B)가 언로더(90)에 의해 인출된다. 이 상태를 도 4에 도시한다. 또한, 탑재위치에서 새로운 기판재료(200A)가 탑재된 스테이지 부재(20)는 상기 동작을 반복해서 행하고, 기판재료가 제거된 스테이지 부재(30)[리니어 주행체(60)]도 스테이지 부재(20)와 마찬가지의 공정으로 복귀 동작을 하고, 다음의 기판재료(도시생략)가 그 적재면(32A) 상에 적재되어 상기 동작을 반복해서 행하는 것이다.
이렇게 하여, 상기 레이저 노광장치(10)는 끊임없이(시간간격을 두는 일없이) 노광처리가 행해지도록 되어 있고, 노광헤드(100)의 가동률이 향상되도록 되어 있다. 따라서, 프린트 배선기판의 제조효율을 향상시킬 수 있다. 이와 관련하여, 1개의 스테이지 부재가 동일 높이 위치(동일 면상)에서 왕복이동(수평이동)하면서 노광처리를 하는 종래의 레이저 노광장치의 경우, 그 제조 덕트는 30초이지만 2개의 스테이지 부재가 교대로 순환이동하면서 노광처리를 하는 본 발명에 관한 레이저 노광장치(10)의 경우, 그 제조 덕트는 24초로 끝난다. 즉, 프린트 배선기판의 제조 덕트가 종래의 4/5로 저감된다.
또한, 도 4에서는 로더(80)와 언로더(90)가 설치되어 기판재료(200)의 탑재위치와 인출위치가 다른 위치로 구성되어 있지만 로더(80)와 언로더(90)를 대략 동일한 위치에 배치하거나, 또는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 양자를 일체화한 반입ㆍ반출장치(88)로서, 기판재료(200)의 탑재 및 인출이 대략 동일한 위치에서 행해지도록 하여도 좋다. 이와 같은 구성으로 하면 언로더(90)[또는, 로더(80)]분, 설치공간을 저감할 수 있음과 아울러 수동으로 기판재료(200)의 탑재 및 인출을 행하는 경우에 작업자가 1인으로 끝나고, 또한, 그 작업을 편리하게 할 수 있다.
또한, 각 리니어 주행체(40,60)는 각 스테이지 부재(20,30)의 적재면 (22A,32A)을 대략 동일 궤도로 순환이동시키도록[적재면(22A,32A)이 대략 동일한 영역 내를 이동하도록] 각각 개별의 가이드 레일(54,74)에, 레일(52,72)을 통해서 주행가능하게 지지되고, 또한, 각 스테이지 부재(20,30) 및 각 리니어 주행체 (40,60)는 각각 면대칭으로 배치되어 있으므로 레이저 노광장치(10)는 폭방향(좌우방향)에 있어서의 균형이 좋고, 각 스테이지 부재(20,30)는 리니어 주행체(40,60)에 의해서 안정하고 정밀도 좋게 이동가능하게 되어 있다.
또한, 각 리니어 주행체(40,60)는 각 스테이지 부재(20,30)를 그 적재면 (22A,32A)과 평행한 방향으로 이동시키는 바닥판(42,62)과, 수직방향으로 이동시키는 가이드벽(44,64)을 갖고 있으므로 스테이지 부재(20,30)는 바람직하게 지지된다. 또한, 각 리니어 주행체(40,60)를 구동시키는 모터(50,70)는 반송제어부에 의해서 각각 독립적으로 제어되도록 되어 있으므로 한쪽이 고장나더라도 다른쪽에 영 향을 미치는 일이 없다. 즉, 한쪽이 고장나더라도 다른쪽을 작동시킬 수 있으므로 기판재료(200)로의 노광처리를 계속해서 행할 수 있다.
또한, 각 리니어 주행체(40,60)의 각 바닥판(42,62)이 나란히 배치되고, 각 스테이지 부재(20,30)는 그 적재면(22A,32A)이 양쪽의 바닥판(42,62)에 평면으로 바라봐서 겹치도록(대략 동일한 영역 내를 이동하도록) 배치되어 있으므로 레이저 노광장치(10) 자체의 소형화가 도모된다. 즉, 레이저 노광장치(10)를 설치함에 있어 특히 폭방향의 공간절약화가 도모된다.
또한, 스테이지 부재(20,30)를 상하로 이동시켜 간섭을 회피하는 것은 아니고, 수평방향으로 이동시켜 순환이동가능하게 구성하여도 좋다. 즉, 스테이지 부재 (20,30)가 복귀이동할 때에는 측벽(14)의 외측을 우회하는 루트를 통해서 이동하도록 구성하여도 좋다. 이 경우는, 레이저 노광장치(10)의 폭방향으로 기대(12)를 연장하고, 그 우회용 가이드 레일 등을 부설할 필요가 있으므로 설치 공간이 폭방향으로 많이 필요하게 되지만 상하방향에 대한 설치 공간은 저감된다.
이상, 어느 것을 하여도, 상기 실시형태에서는 본 발명에 대한 화상형성장치의 일례로서, 프린트 배선기판의 소재가 되는 기판재료(200)를 노광하는 레이저 노광장치(10)에 대해서 설명을 하였지만 본 발명에 대한 화상형성장치는 기판재료 (200)를 노광하는 레이저 노광장치(10)에 한정되는 것은 아니고, PS판, CT 인쇄판 등의 감광성 인쇄판, 감광지 등의 감광재료를 노광하는 노광장치 등에도 적용할 수 있다. 또한, 이들을 노광하기 위한 광빔으로서는 레이저빔 이외에 가시광선, X선 등도 이용할 수 있다. 또한, 본 발명에 관한 화상형성장치는 잉크젯방식의 화상형 성장치나 디스플레이 제조장치에도 적용할 수 있다.
본 발명에 의하면 기록매체를 이동시키면서 그 기록매체에 대해서 화상을 형성하는 화상형성처리를 효율좋게 행할 수 있음으로써 그 제조효율을 향상시킬 수 있다.

Claims (9)

  1. 탑재위치에서 기록매체를 스테이지 부재에 탑재하여 고정한 상태에서, 그 스테이지 부재를 화상형성부로 통과시키면서 얼라이먼트 측정과 상기 기록매체에 화상기록을 행하고, 인출위치에서 화상이 형성된 기록매체를 상기 스테이지 부재로부터 인출하는 화상형성장치로서,
    상기 탑재위치로부터 상기 인출위치로 이동하는 2개의 주행체를 분리 결합가능하게 병렬로 설치하고, 각 주행체에, 이 주행체로부터 튀어 나오도록 상기 스테이지 부재를 설치함과 아울러 상기 스테이지 부재가 스쳐 지날 때에 서로 간섭하지 않도록 상기 스테이지 부재를 화상형성부에 대해서 접근ㆍ이간시키는 회피수단을 설치한 것을 특징으로 하는 화상형성장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 기록매체의 두께에 상관없이, 상기 기록매체의 기록면과 화상형성부의 거리가 일정하게 되도록 상기 스테이지 부재의 이동량을 조정하는 것을 특징으로 하는 화상형성장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 탑재위치와 상기 인출위치가 동일한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 화상형성장치.
  5. 기록매체에 화상을 형성하기 위한 화상형성부;
    상기 기록매체를 탑재하여 상기 화상형성부에 보내기 위한 2개의 스테이지 부재; 및
    상기 스테이지 부재 각각에 설치되고, 상기 스테이지 부재에 상기 기록매체를 탑재하는 탑재위치와, 상기 화상형성부에 의한 화상형성위치와, 상기 스테이지 부재로부터 상기 기록매체를 인출하는 인출위치 사이에서, 상기 스테이지 부재 각각의 적어도 스테이지면을 동일한 궤도로 순환이동시키는 2개의 이동기구를 구비하고:
    상기 이동기구 각각이 개별의 이동용 레일을 갖는 것을 특징으로 하는 화상형성장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 2개의 이동기구를 독립적으로 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 하는 화상형성장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 2개의 스테이지 부재 및 상기 2개의 이동기구가 각각 서로 면대칭으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 화상형성장치.
  8. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 이동기구는 상기 스테이지 부재를 그 스테이지면과 평행한 방향으로 이동시키는 평행이동부와, 상기 스테이지 부재를 그 스테이지면과 수직인 방향으로 이동시키는 수직이동부를 갖는 것을 특징으로 하는 화상형성장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 이동기구 각각의 상기 평행이동부가 나란히 배치되고, 상기 스테이지 부재는, 상기 스테이지면이 2개의 상기 평행이동부에 평면으로 바라봐서 겹치도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 화상형성장치.
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