KR100732140B1

KR100732140B1 - 촬상 장치

Info

Publication number: KR100732140B1
Application number: KR1020050042017A
Authority: KR
Inventors: 쯔요시 히구치; 준 후나코시; 세이지 야마가타; 도시타카 미즈구치; 가쯔요시 야마모토
Original assignee: 후지쯔 가부시끼가이샤
Priority date: 2005-02-03
Filing date: 2005-05-19
Publication date: 2007-06-27
Anticipated expiration: 2025-05-19
Also published as: CN1816113A; US20060170794A1; JP4425809B2; KR20060090147A; US7477299B2; JP2006217244A; CN1816113B

Abstract

트랜지스터의 특성 변동에 관계없이, 또 비용을 상승시키기 않고 흑태양 현상을 확실히 방지한다.

기준 전압 생성 회로의 제2 소스 폴로워 회로는 화소의 제1 소스 폴로워 회로와 같은 특성의 트랜지스터를 갖는다. 이 때문에, 제2 소스 폴로워 회로는 제1 소스 폴로워 회로의 특성 변화에 맞추어서 제2 기준 전압을 생성할 수 있다. 노이즈 전압 전환 회로는 노이즈 전압이 제2 기준 전압 이하인 때 제1 전압을 노이즈 전압으로서 화소 신호 생성 회로로 출력한다. 리셋 상태에서의 노이즈 전압과 제2 기준 전압은 항상 소정의 전압차로 된다. 따라서, 높은 휘도를 갖는 피사체를 촬상하는 경우에도, 화상의 품질이 저하하는 것을 방지할 수 있다. 형성된 트랜지스터의 특성에 맞추어서 복수의 기준 전압 중 어느 하나를 선택하는 트리밍 회로 등이 불필요해지기 때문에, 촬상 장치의 비용을 삭감할 수 있다.

Description

촬상 장치{IMAGING DEVICE}

도 1은 본 발명의 촬상 장치의 제1 실시예를 나타내는 블록도.

도 2는 도 1에 나타낸 화소 어레이의 세부를 나타내는 회로도.

도 3은 도 1에 나타낸 기준 전압 생성 회로의 세부를 나타내는 회로도.

도 4는 도 1에 나타낸 노이즈 전압 전환 회로의 세부를 나타내는 회로도.

도 5는 이미지 센서의 각 화소에서의 화소 신호의 판독 동작을 나타내는 타이밍도.

도 6은 본 발명의 촬상 장치의 제2 실시예에서의 기준 전압 생성 회로를 나타내는 회로도.

도 7은 본 발명의 촬상 장치의 제3 실시예에서의 기준 전압 생성 회로를 나타내는 회로도.

도 8은 본 발명의 촬상 장치의 제4 실시예에서의 기준 전압 생성 회로를 나타내는 회로도.

도 9는 제4 실시예의 화소 어레이의 세부를 나타내는 블록도.

<도면에 주요 부분에 사용된 부호의 설명>

10: 정전압 생성 회로

12: 동작 제어 회로

14, 14A, 14B, 14C: 기준 전압 생성 회로

16: 노이즈 전압 전환 회로

18: 상관 이중 샘플링 회로(CDS 회로)

20: 정전압 생성 회로

AVDD: 전원 전압

ARY: 화소 어레이

N1: 노이즈 전압(노이즈 데이터)

PX: 화소

RST: 리셋 신호

S1: 화소 전압(화소 데이터)

SEL: 선택 제어 신호

SF1, SF2, SF3: 소스 폴로워 회로

SIG: 화소 신호

TG: 전송 제어 신호

V1: 제1 전압

VOUT: 검출 전압

VR: 내부 전압

VREF: 기준 전압

XPD: 스탠바이 신호

본 발명은 광전 변환 소자를 갖는 촬상 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 높은 휘도를 갖는 피사체를 촬상하는 경우에 촬상된 화소의 품질을 향상시키는 기술에 관한 것이다.

CMOS 이미지 센서 등의 촬상 장치는 각 광전 변환 소자에 있어서, 리셋 기간에 노이즈 데이터(노이즈 전압)을 판독한다. 예컨대, 촬상 장치의 상관 이중 샘플링 회로[이하, CDS(Correlated Double Sampling) 회로라고도 부른다]는 리셋 기간에 연속하는 판독 기간에 판독한 노이즈 데이터를 포함하는 회로 데이터로부터 노이즈 데이터를 차출함으로써 진정한 화소 데이터를 생성한다. 그런데, 높은 휘도를 갖는 피사체를 촬상하는 경우, 촬상 장치 내에서의 전하의 누설에 의해서 노이즈 데이터의 레벨은 화소 데이터의 레벨에 가까워져 버린다. 노이즈 데이터와 화소 데이터의 레벨차가 적어지기 때문에, 화소 데이터가 나타내는 휘도는 상대적으로 낮아진다. 예컨대, 태양을 촬상하는 경우, 촬상된 화소에 있어서 태양의 휘도가 극단적으로 낮아져, 태양상이 검어져 버린다. 이 현상은 일반적으로 흑태양(black sun)이라고 불리운다.

일본 특허 공개 2004-112740호 공보에는 흑태양을 방지하기 위해, 노이즈 데이터의 레벨이 소정의 기준 전압 레벨 이하로 된 때에, CDS 회로에 공급하는 노이즈 데이터 레벨을 고정 전압 레벨로 전환하는 기술이 개시되어 있다. 고정 전압 레벨은 예컨대 피사체의 휘도가 제로인 때의 표준적인 흑색 레벨을 나타낸다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 2004-112740호 공보

CMOS 이미지 센서에서는 광전 변환 소자는 포토다이오드와 트랜지스터를 이용하여 구성되어 있다. 트랜지스터의 임계값 전압은 촬상 장치(반도체)의 제조 조건에 의해서 변화한다. 상기 노이즈 데이터의 레벨은 트랜지스터의 임계값 전압의 변동에 추종하여 변화한다. 한편, 일반적으로, 상기 기준 전압은 임계값 전압의 변동 영향을 받지 않는다. 이 때문에, 임계값 전압의 변동에 의해서 노이즈 데이터의 레벨은 상기 기준 전압 레벨에 대하여 상대적으로 변화한다. 이 결과, 상기 노이즈 데이터 레벨과 고정 전압 레벨과의 전환이 정상적으로 행해지지 않는 문제가 발생한다.

예컨대, 노이즈 데이터 레벨이 기준 전압 레벨에 비하여 너무 높아지면, 흑태양 현상이 일어나므로, 노이즈 데이터 레벨은 고정 전압 레벨로 전환되지 않는다. 역으로, 노이즈 데이터 레벨이 기준 전압 레벨에 비하여 낮아지면, 항상 흑태양 현상이 일어난다고 판정되어, 고정 전압 레벨로 항시 전환되어 버린다.

이러한 문제는 예컨대 저항 분할 등에 의해서 복수의 기준 전압을 생성하고, 제조된 트랜지스터의 임계값 전압에 따라서 기준 전압을 전환하는 것으로 해결할 수 있다. 그러나, 이 방법으로 기준 전압을 전환하는 경우, 촬상 장치 내에 퓨즈 회로 등의 트리밍 회로를 형성할 필요가 있다. 또한, 촬상 장치를 시험하기 위한 시험 공정에 퓨즈 컷 공정을 마련하여야 한다. 이 결과, 촬상 장치의 비용은 상승한다.

본 발명의 목적은 트랜지스터의 특성 변동에 관계없이, 또 비용을 상승시키지 않고, 흑태양 현상을 확실히 방지하는데 있다.

본 발명의 촬상 장치의 일 형태에서는 복수의 화소의 각각은 광전 변환 소자 및 제1 소스 폴로워 회로를 갖는다. 제1 소스 폴로워 회로는 광전 변환 소자에 의해서 생성된 전하에 따라서 노이즈 전압(노이즈 데이터)과 화소 전압(화소 데이터)을 생성한다. 기준 전압 생성 회로는 제1 기준 전압을 생성하는 전압 생성부 및 제1 기준 전압에 따라서 제2 기준 전압을 생성하는 제2 소스 폴로워 회로를 갖는다. 예컨대, 제2 소스 폴로워 회로는 제1 소스 폴로워 회로를 구성하는 트랜지스터와 같은 특성의 트랜지스터를 갖는다. 보다 바람직한 예에서는 제2 소스 폴로워 회로의 트랜지스터는 제1 소스 폴로워 회로의 트랜지스터의 임계값 전압과 같은 임계값 전압을 갖는다. 노이즈 전압 전환 회로는 노이즈 전압이 제2 기준 전압을 초과한 때 노이즈 전압을 화소 신호 생성 회로에 출력한다. 노이즈 전압 전환 회로는 노이즈 전압이 제2 기준 전압 이하인 때 제1 전압을 노이즈 전압으로서 화소 신호 생성 회로에 출력한다. 화소 신호 생성 회로는 노이즈 전압과의 차전압을 화소 신호로서 출력한다.

기준 전압 생성 회로가 제2 소스 폴로워 회로를 이용하여 형성되기 때문에, 제1 소스 폴로워 회로로부터 출력되는 노이즈 전압(리셋 상태에서의 값)의 임계값 전압에 따른 변화에 추종하여, 제2 소스 폴로워 회로로부터 출력되는 제2 기준 전압을 변화시킬 수 있다. 제2 기준 전압을 제1 소스 폴로워 회로의 특성 변화에 맞추어서 변화시킬 수 있다. 이 때문에, 노이즈 전압은 제1 소스 폴로워 회로를 구성 하는 트랜지스터의 임계값 전압에 관계없이, 제2 기준 전압에 대하여 항상 소정의 전압차를 갖는 값으로 설정된다. 따라서, 노이즈 전압 전환 회로는 항상 정상적으로 동작할 수 있고, 예컨대 흑태양 현상을 확실히 방지할 수 있다. 이 결과, 높은 휘도를 갖는 피사체를 촬상하는 경우에, 화상의 품질이 저하하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 형성된 트랜지스터의 특성에 맞추어서 복수의 기준 전압 중 어느 하나를 선택하는 트리밍 회로 등이 불필요해져, 촬상 장치의 비용을 삭감할 수 있다.

본 발명의 촬상 장치의 일 형태에서의 바람직한 예에서는 제2 소스 폴로워 회로의 트랜지스터는 제1 소스 폴로워 회로의 트랜지스터에 비하여 게이트폭이 크고, 채널 길이가 같다. 게이트폭을 크게 함으로써 제2 소스 폴로워 회로에 흐르는 전류량을 크게 할 수 있다. 이 결과, 제2 소스 폴로워 회로는 안정된 제2 기준 전압을 높은 휘도로 생성할 수 있다.

본 발명의 촬상 장치의 일 형태에서의 바람직한 예에서는, 전압 생성부는, 직렬로 접속된 복수의 저항을 갖고, 저항의 접속 노드 중 어느 하나로부터 제1 기준 전압을 생성한다. 이 때문에, 촬상 장치의 세부사항에 맞추어서 제1 기준 전압의 값을 전환시킬 수 있다. 즉, 하나의 촬상 장치를 세부사항이 다른 복수의 촬상 장치로서 출하할 수 있다. 이 결과, 촬상 장치의 개발 비용을 삭감할 수 있다.

본 발명의 촬상 장치의 일 형태에서의 바람직한 예에서는, 전압 생성부는 전원 전압을 이용하여 정전압인 제1 기준 전압을 생성하는 정전압 생성 회로를 갖는다. 제1 기준 전압은 전원 전압 및 온도 등에서 변동하지 않는다. 제1 기준 전압이 일정하기 때문에, 제2 기준 전압은 제2 소스 폴로워 회로의 특성의 영향만을 받아 변화한다. 따라서, 제2 기준 전압을 제1 소스 폴로워 회로로부터 출력되는 노이즈 전압(리셋 상태에서의 값)의 변화에 추종하여 확실히 변화시킬 수 있다.

본 발명의 촬상 장치의 일 형태에서의 바람직한 예에서는, 기준 전압 생성 회로 내에서 서로 병렬로 접속된 복수의 제2 소스 폴로워 회로는 제1 기준 전압을 공통으로 수신하여, 제2 기준 전압을 공통으로 생성한다. 이 때문에, 복수의 제2 소스 폴로워 회로의 특성을 평균화할 수 있다. 기준 전압 생성 회로는 개별 회로 특성에 의존하지 않는 평균적인 제2 기준 전압을 생성할 수 있다. 또한, 제2 소스 폴로워 회로에 흐르는 전류의 총량을 크게 할 수 있기 때문에, 기준 전압 생성 회로는 안정된 제2 기준 전압을 높은 정밀도로 생성할 수 있다.

본 발명의 촬상 장치의 일 형태에서의 바람직한 예에서는, 제2 소스 폴로워 회로는 화소 어레이 내의 일부 화소의 제1 소스 폴로워 회로를 이용하여 형성되어 있다. 이 때문에, 제2 소스 폴로워 회로의 특성을 제1 소스 폴로워 회로와 용이하게 일치시킬 수 있다. 이 결과, 제1 소스 폴로워 회로로부터 출력되는 노이즈 전압(리셋 상태에서의 값)의 변화에 추종하여, 제2 소스 폴로워 회로로부터 출력되는 제2 기준 전압을 확실히 변화시킬 수 있다.

본 발명의 촬상 장치의 일 형태에서의 바람직한 예에서는, 제2 소스 폴로워 회로는 화소 어레이의 한쪽 단의 화소의 제1 소스 폴로워 회로와 다른쪽 단의 화소의 제1 소스 폴로워 회로를 이용하여 각각 형성되어 있다. 제2 소스 폴로워 회로를 서로 떨어진 위치에 형성함으로써 평균적인 제2 기준 전압을 용이하게 생성할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 이용하여 설명한다. 도면의 이중원은 외부 단자를 나타내고 있다. 도면에서, 굵은선으로 나타낸 신호선은 복수개로 구성되어 있다. 또한, 굵은선이 접속되어 있는 블록의 일부는 복수의 회로로 구성되어 있다. 신호가 전달되는 신호선에는 신호명과 동일한 부호를 사용한다.

도 1은 본 발명의 촬상 장치의 제1 실시예를 나타내고 있다. 이 촬상 장치는 실리콘 기판 상에 CMOS 프로세스를 사용하여 CMOS 이미지 센서 칩으로서 형성되어 있다. 촬상 장치는 정전압 생성 회로(10), 동작 제어 회로(12), 기준 전압 생성 회로(14), 노이즈 전압 전환 회로(16), 상관 이중 샘플링 회로(CDS 회로)(18) 및 화소 어레이(ARY)를 갖고 있다.

정전압 생성 회로(10)는 전원 전압(AVDD)에 따라서 항상 일정한 전압인 내부 전압(VR)을 생성한다. 전원 전압(AVDD)은 아날로그 회로용 전원 전압이다. 정전압 생성 회로(10)에 디지털 회로용 전원 전압(DVDD)을 공급하여도 좋다. 내부 전압(VR)은 전원 전압(AVDD)보다 낮은 전압이고, 전원 전압(AVDD)의 변화, 온도 변화에 의하지 않고, 항상 일정한 전압으로 유지된다. 동작 제어 회로(12)는 촬상 장치 전체의 동작을 제어한다. 동작 제어 회로(12)는 화소 어레이(ARY)에 리셋 신호(RST), 전송 제어 신호(TG), 선택 제어 신호(SEL)를 출력하고, 기준 전압 생성 회로(14)에 스탠바이 신호(XPD)를 출력한다. 스탠바이 신호(XPD)는 화소(PX)가 수광 동작하는 동작 기간에 고레벨로 변화하고, 화소(PX)가 수광 동작하지 않는 스탠바이 기간에 저레벨로 변화한다.

기준 전압 생성 회로(14)는 내부 전압(VR)에 따라서 기준 전압(제2 기준 전압)(VREF)을 생성한다. 기준 전압 생성 회로(14)는 고레벨의 스탠바이 신호(XPD)를 수신하고 있는 동안 기준 전압(VREF)을 생성하고, 저레벨의 스탠바이 신호(XPD)를 수신하고 있는 동안 기준 전압(VREF)의 생성을 정지한다.

노이즈 전압 전환 회로(16)는 후술하는 판독 동작의 리셋 기간에, 판독된 신호의 전압 레벨(VOUT)(노이즈 전압, 노이즈 데이터)이 기준 전압(VREF)을 초과한 때, 이 전압 레벨(VOUT)을 노이즈 전압(VOUT1)으로서 출력한다. 노이즈 전압 전환 회로(16)는 리셋 기간에, 판독된 신호의 전압 레벨(VOUT)이 기준 전압(VREF) 이하인 때, 고정된 제1 전압(V1)을 노이즈 전압(VOUT1)으로서 출력한다. 제1 전압(V1)은 예컨대 피사체의 휘도가 제로인 때의 표준적인 레벨(흑색 레벨)을 나타낸다.

CDS 회로(18)는 판독 기간에 판독된 화소 데이터(화소 전압)로부터, 리셋 기간에 판독한 노이즈 데이터(노이즈 전압)를 차출하여, 노이즈를 포함하지 않는 진정한 화소 데이터를 생성하고, 생성된 화소 데이터를 화소 신호(SIG)로서 출력한다. 화소 어레이(ARY)는 매트릭스형으로 배치된 복수의 화소(PX)를 갖고 있다. 각 화소(PX)에 의해서 광전 변환함으로써 얻어지는 화소 데이터 및 노이즈 데이터는 검출 전압(VOUT)으로서 출력된다.

도 2는 도 1에 나타낸 화소 어레이(ARY)의 세부를 나타내고 있다. 이 실시예의 화소(PX)는 소위 4 트랜지스터 타입이다. 각 화소(PX)는 내부 전압선(VR)과 접지선(VSS) 사이에 직렬로 접속된 nMOS 트랜지스터(M1, M2) 및 포토다이오드(PD)(광전 변환 소자)와, 내부 전원선(VR)과 접지선(VSS) 사이에 직렬로 접속된 nMOS 트랜지스터(M3, M4) 및 전류원(CS1)을 갖고 있다. 트랜지스터(M4)의 소스는 판독 전압 및 노이즈 전압이 출력되는 검출 전압선(VOUT)에 접속되어 있다. 트랜지스터(M1)(리셋 트랜지스터)의 게이트는 리셋 신호(RST)를 수신하고 있다. 트랜지스터(M2)(전송 트랜지스터)의 게이트는 전송 제어 신호(TG)를 수신하고 있다. 트랜지스터(M3)(소스 폴로워 트랜지스터)의 게이트는 트랜지스터(M1, M2)의 접속 노드(FD)(부유 확산 노드)에 접속되어 있다. 트랜지스터(M4)(선택 트랜지스터)의 게이트는 선택 제어 신호(SEL)를 수신하고 있다. 트랜지스터(M3)는 소스 폴로워 트랜지스터이다. 트랜지스터(M3, M4)에 의해서 소스 폴로워 회로(SF1)(제1 소스 폴로워 회로)가 구성되어 있다.

도 3은 도 1에 나타낸 기준 전압 생성 회로(14)의 세부를 나타내고 있다. 기준 전압 생성 회로(14)는 전압 생성부(VG), 화소(PX)의 소스 폴로워 회로(SF1)와 전기적 특성이 동일한 소스 폴로워 회로(SF2)(제2 소스 폴로워 회로), 전류원(CS2) 및 증폭기(AMP)를 갖고 있다. 전압 생성부(VG)는 내부 전압선(VR)과 접지선(VSS) 사이에 직렬로 접속된 저항(R1, R2, R3)과, 저항(R1-3)의 접속 노드를 소스 폴로워 회로(SF2)의 nMOS 트랜지스터(M5)의 게이트에 접속하는 스위치(SW1, SW2)를 갖고 있다.

스위치(SW1-2) 중 어느 하나는 이미지 센서 내에 형성되는 레지스터의 값에 따라서 온한다. 레지스터값은 예컨대 파워온 시에 이미지 센서를 사용하는 유저(시스템)에 의해서 설정된다. 스위치(SW1-2)의 전환에 의해서 저항렬(R1-3)에 의해 생성되는 2개의 전압 중 어느 하나가 제1 기준 전압(VR1)으로서 소스 폴로워 회로 (SF2)의 트랜지스터(M5)의 게이트에 공급된다. 또, 트랜지스터(M5)의 게이트 전압은 화소(PX)가 광을 받지 않을 때의 노이즈 전압보다 약간 낮게 설정된다. 트랜지스터(M5)의 게이트 전압을 스위치(SW1-2)에 의해서 전환할 수 있기 때문에, 예컨대 1개의 이미지 센서 칩을 복수의 세부사항(특성)의 이미지 센서로서 출하할 수 있다.

소스 폴로워 회로(SF2)는 소스 폴로워 회로(SF1)의 nMOS 트랜지스터(M3, M4)와 각각 같은 임계값 전압을 갖는 nMOS 트랜지스터(M5, M6)를 갖고 있다. 예컨대, 트랜지스터(M5, M6)의 게이트폭은 트랜지스터(M3, M4)의 게이트폭의 2배로 각각 설계되어 있다. 트랜지스터(M5, M6)의 채널 길이는 트랜지스터(M3, M4)의 채널 길이와 같다. 게이트폭을 크게 함으로써 소스 폴로워 회로(SF2)에 흐르는 전류량을 소스 폴로워 회로(SF1)에 비하여 크게 할 수 있다. 이 때문에, 소스 폴로워 회로(SF2)는 안정적으로 동작할 수 있고, 안정된 제2 기준 전압을 높은 정밀도로 생성할 수 있다. 전류원(CS2)의 전류량도 전류원(CS1)의 전류량의 2배로 설계되어 있다.

트랜지스터(M6)의 게이트는 스탠바이 신호(XPD)를 수신한다. 화소(PX)가 수광 동작을 하지 않는 스탠바이 기간에 트랜지스터(M6)를 오프함으로써 스탠바이 전류를 삭감할 수 있다. 전류원(CS2)은 트랜지스터(M6)의 소스와 접지선(VSS) 사이에 배치되어 있다. 증폭기(AMP)는 트랜지스터(M6)의 소스 전압을 증폭하여 기준 전압(VREF)으로서 출력한다.

화소(PX)와 같은 소스 폴로워 회로(SF2)가 기준 전압 생성 회로(14) 내에 생 성되기 때문에, 이미지 센서의 제품 공정에 있어서 제조 조건이 변동하여, 화소(PX) 내의 트랜지스터(예컨대 M3, M4)의 임계값 전압이 변화한 때, 기준 전압(VREF)도 변화한다. 보다 상세하게는, 화소(PX)의 트랜지스터(M3, M4)의 임계값 전압이 높은 때, 노이즈 전압은 상대적으로 낮아진다. 이미지 센서는 1칩으로 생성되기 때문에, 트랜지스터(M5, M6)의 임계값 전압은 트랜지스터(M3, M4)의 임계값 전압과 함께 높아진다. 따라서, 기준 전압(VREF)은 노이즈 전압에 추종하여 낮아진다. 역으로, 트랜지스터(M3, M4)의 임계값 전압이 낮은 때, 노이즈 전압은 상대적으로 높아진다. 이 때, 트랜지스터(M5, M6)의 임계값 전압은 낮아지기 때문에, 기준 전압(VREF)은 노이즈 전압에 추종하여 높아진다. 이와 같이, 트랜지스터의 임계값 전압에 의존하는 노이즈 전압의 변화에 추종하여 기준 전압(VREF)을 변화시킴으로써 도 4에 나타내는 노이즈 전압 전환 회로(16)는 안정하게 동작한다.

도 4는 도 1에 나타낸 노이즈 전압 전환 회로(16)의 세부를 나타내고 있다. 노이즈 전압 전환 회로(16)는 기준 전압(VREF)과 화소(PX)로부터 출력되는 노이즈 전압(VOUT)을 비교하는 판정 회로(DC)와, 판정 회로(DC)의 판정 결과에 따라서 온 또는 오프하는 스위치(SW3, SW4)를 갖고 있다. 판정 회로(DC)는 노이즈 전압(VOUT)이 기준 전압(VREF)보다 높은 때 고레벨을 출력한다. 이 때, 스위치(SW3)는 오프하고, 스위치(SW4)는 온한다. CDS 회로(18)는 화소(PX)로부터 판독된 노이즈 전압(VOUT)을 이용하여 화소 신호(SIG)를 생성한다. 한편, 판정 회로(DC)는 노이즈 전압(VOUT)이 기준 전압(VREF) 이하인 때 저레벨을 출력한다. 이 때, 스위치(SW3)는 온하고, 스위치(SW4)는 오프한다. CDS 회로(18)는 고정된 제1 전압(V1)을 이용하여 화소 신호(SIG)를 생성한다.

도 5는 전술한 이미지 센서의 각 화소에서의 화소 신호의 판독 동작을 나타내고 있다. 판독 동작은 노이즈 데이터 판독 기간과 화소 데이터 판독 기간으로 구성된다. 판독 동작의 개시전, 선택 제어 신호(SEL)는 트랜지스터(M4)를 온하기 위해서 고레벨(전원 전압)로 설정된다. 리셋 신호(RST), 전송 제어 신호(TG)는 트랜지스터(M1, M2)를 오프하기 위해서 저레벨(접지 전압)로 설정된다.

우선, 노이즈 데이터 판독 기간에 리셋 신호(RST)가 고레벨로 변화되어, 트랜지스터(M1)는 온한다. 트랜지스터(M1)의 온에 의해서, 노드(FD)가 내부 전압(VR)으로 리셋된다. 다음에, 리셋 신호(RST)가 저레벨로 변화되어, 노이즈 데이터(N1)가 판독된다. 노이즈 데이터(노이즈 전압)(N1)는 노드(FD)의 전압 변화에 따라서 소스 폴로워 회로(SF1)가 동작함으로써 검출 전압(VOUT)으로서 출력된다.

다음에, 화소 데이터 판독 기간에 전송 제어 신호(TG)가 고레벨로 변화되어, 트랜지스터(M2)는 온한다. 트랜지스터(M2)의 온에 의해서, 피사체의 촬상과 함께 포토다이오드에 잔류한 전하는 노드(FD)에 전송된다. 노드(FD)의 전압은 전하량에 따라서 내려간다. 단, 노드(FD)의 전압 변화는 노이즈 데이터(N1)의 영향도 포함하고 있다. 다음에, 전송 신호(TG)가 저레벨로 변화되어, 노이즈 데이터(N1)를 포함하는 화소 데이터(N1+S1)가 판독된다. 노이즈 데이터(N1)를 포함하는 화소 데이터(화소 전압)는 노드(FD)의 전압 변화에 따라서 소스 폴로워 회로(SF1)가 동작함으로써 검출 전압(VOUT)으로서 출력된다.

도 1에 나타낸 CDS 회로(18)는 노이즈 데이터(N1)를 포함하는 화소 전압 (N1+S1)으로부터 노이즈 전압(N1)을 차출하여, 노이즈 데이터를 제거한 진정한 화소 데이터를 화소 신호(SIG)로서 출력한다. 여기서, 이미지 센서로 촬상되는 피사체가 높은 휘도를 갖지 않는 경우[도 5의 (a)], 노이즈 전압(N1)은 기준 전압(VREF)보다 높다. 이 때문에, 노이즈 데이터 판독 기간에 올바른 노이즈 데이터(N1)가 판독된다. 도 4에 나타낸 노이즈 전압 전환 회로(16)는 스위치(SW3)를 오프하고 스위치(SW4)를 온하여, 노이즈 전압(N1)을 CDS 회로(18)에 출력한다. 한편, 이미지 센서로 촬상되는 피사체가 높은 휘도를 갖는 경우[도 5의 (b)], 노이즈 전압(N1)은 이미지 센서의 기판 등에서 발생하는 전하의 누설에 의해서 기준 전압(VREF)보다 낮아진다. 이 때문에, 노이즈 전압 전환 회로(16)는 스위치(SW3)를 온하고 스위치(SW4)를 오프하여, 가상적인 노이즈를 나타내는 고정된 제1 전압(V1)을 CDS 회로(18)에 출력한다.

본 발명에서는 기준 전압 생성 회로(14)는 화소(PX)에 형성되는 소스 폴로워 회로(SF1)와 같은 전기적 특성을 갖는 소스 폴로워 회로(SF2)를 갖는다. 이 때문에, 반도체 제조 공정에서의 제조 조건이 변동하여, 이미지 센서를 구성하는 트랜지스터의 임계값 전압이 변화하는 경우, 노이즈 전압(N1)의 변화에 추종하여 기준 전압(VREF)도 변화한다. 따라서, 화소(PX)의 리셋 상태[리셋 신호(RST)의 고레벨 기간]에 있어서, 노이즈 전압(N1)은 트랜지스터의 임계값 전압에 관계없이 기준 전압(VREF)에 비하여 항상 소정값만큼 높아진다. 리셋 상태에서의 노이즈 전압(N1)은 트랜지스터의 임계값 전압에 의존하여 변동한다. 이 때문에, 종래, 상기 소정값은 웨이퍼 상에 형성되는 복수의 이미지 센서간, 웨이퍼간, 및 로트간에 어긋남이 있 었다. 본 발명의 적용에 의해서, 웨이퍼 상의 복수의 이미지 센서간, 웨이퍼간, 및 로트간에 있어서, 리셋 상태에서의 노이즈 전압(V1)과 기준 전압(VREF)의 차를 항상 일정하게 할 수 있다. 이 결과, 노이즈 전압(N1)이 기준 전압(VREF)에 비하여 너무 높은 것을 방지할 수 있어, 흑태양 현상이 일어나고 있는데 노이즈 전압(N1)이 제1 전압(V1)으로 전환되지 않는 문제를 해소할 수 있다. 더욱이, 노이즈 전압(N1)이 기준 전압(VREF)에 비하여 너무 낮은 것을 방지할 수 있어, 항상 흑태양 현상이 일어나고 있다고 판정되어 제1 전압(V1)으로 상시 전환되는 문제를 해소할 수 있다.

이상, 제1 실시예에서는 기준 전압 생성 회로(14)는 화소(PX) 내의 소스 폴로워 회로(SF1)와 같은 임계값 전압을 갖는 소스 폴로워 회로(SF2)를 갖고 있다. 이 때문에, 이미지 센서를 구성하는 트랜지스터의 임계값 전압이 제조 조건의 변동에 의해서 변화하여도 리셋 상태에서의 노이즈 전압(N1)의 변화에 추종하여 기준 전압(VREF)을 변화시킬 수 있다. 화소(PX) 내의 소스 폴로워 회로(SF1)의 전기적 특성에 맞추어서 소망의 기준 전압(VREF)을 생성할 수 있기 때문에, 노이즈 전압 전환 회로를 항상 정상적으로 동작시킬 수 있다. 이 결과, 흑태양 현상을 확실히 방지할 수 있어, 높은 휘도를 갖는 피사체를 촬상하는 경우에, 화상의 품질이 저하하는 것을 방지할 수 있다.

형성된 트랜지스터의 전기적 특성에 맞추어서 복수의 기준 전압 중 어느 하나를 선택하는 트리밍 회로(퓨즈 회로) 등이 불필요해진다. 일반적으로, 퓨즈 회로의 주위는 시험 공정에서 레이저 컷을 행하기 위해서 칩의 보호막을 제거할 필요가 있어, 제조 공정에 있어서 보호막의 제거 공정이 필요하다. 시험 공정에서는 이미지 센서의 전기적 특성이 평가되고, 평가 결과에 따라서 퓨즈가 컷트된다. 본 발명의 적용에 의해서, 이미지 센서의 제조 공정이 증가하는 것을 방지할 수 있어, 트리밍용 시험 공정은 불필요하게 될 수 있다. 시험 장치 등의 설비도 불필요하게 될 수 있다. 또한, 퓨즈 회로가 불필요해지기 때문에, 칩 사이즈를 삭감할 수 있다. 이 결과, 이미지 센서의 제조 비용을 삭감할 수 있다.

소스 폴로워 회로(SF2)의 트랜지스터의 게이트폭을 소스 폴로워 회로(SF1)의 트랜지스터의 게이트폭에 비하여 크게 함으로써 소스 폴로워 회로(SF2)에 흐르는 전류량을 크게 할 수 있다. 이 결과, 소스 폴로워 회로(SF2)는 안정된 기준 전압(VREF)을 높은 정밀도로 생성할 수 있다.

기준 전압 생성 회로(14)의 전압 생성부(VG)는 복수의 전압 중 어느 하나를 스위치(SW1-2)에 의해서 선택하고, 제1 기준 전압(VR1)[트랜지스터(M5)의 게이트 전압]으로서 출력한다. 이 때문에, 1개의 이미지 센서 칩을 복수의 세부사항(특성)의 이미지 센서로서 출하할 수 있어, 이미지 센서의 개발 비용을 삭감할 수 있다.

도 6은 본 발명의 촬상 장치의 제2 실시예에서의 기준 전압 생성 회로(14A)를 나타내고 있다. 제1 실시예에서 설명한 요소와 동일한 요소에 관해서는 동일 부호를 첨부하고, 이들에 관해서는 상세한 설명을 생략한다. 이 실시예에서는 제1 실시예의 기준 전압 생성 회로(14) 대신에 기준 전압 생성 회로(14A)가 형성되어 있다. 기타의 구성은 제1 실시예와 같다. 즉, 이 촬상 장치는 실리콘 기판 상에 CMOS 프로세스를 사용하여 CMOS 이미지 센서 칩으로서 형성되어 있다.

기준 전압 생성 회로(14A)는 제1 실시예의 전압 생성 회로(14)의 전압 생성부(VG) 대신에 정전압 생성 회로(20)를 갖고 있다. 기타의 구성은 전압 생성 회로(14)와 같다. 정전압 생성 회로(20)는 전원 전압(AVDD)에 따라서, 항상 일정한 전압인 정전압(CV1)을 생성한다. 정전압(CV1)은 내부 전압(VR)보다 낮은 전압이고, 전원 전압(AVDD)의 변화, 온도 변화에 의하지 않고, 항상 일정한 전압으로 유지된다. 또, 정전압 생성 회로(20)에 디지털 회로용 전원 전압(DVDD)을 공급하여도 좋다. 기준 전압 생성 회로(14A)가 형성됨으로써, 소스 폴로워 회로(SF2)의 트랜지스터(M5)에 공급되는 게이트 전압을 항상 일정하게 할 수 있다. 이 때문에, 기준 전압(VREF)은 소스 폴로워 회로(SF2)를 구성하는 트랜지스터의 임계값 전압의 변동만을 받아 변화한다.

이상, 제2 실시예에 있어서도 전술한 제1 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 더욱이, 이 실시예에서는 기준 전압(VREF)을 전원 전압의 변화 및 온도의 변화에 의하지 않고 일정하게 함과 함께, 리셋 상태에서의 노이즈 전압(N1)의 변화만[즉, 소스 폴로워 회로(SF1)를 구성하는 트랜지스터의 임계값 전압의 차이]에 추종하여 확실히 변화시킬 수 있다.

도 7은 본 발명의 촬상 장치의 제3 실시예에서의 기준 전압 생성 회로(14B)를 나타내고 있다. 제1 및 제2 실시예에서 설명한 요소와 동일한 요소에 관해서는 동일 부호를 첨부하고, 이들에 관해서는 상세한 설명을 생략한다. 이 실시예에서는 제1 실시예의 기준 전압 생성 회로(14) 대신에 기준 전압 생성 회로(14B)가 형성되어 있다. 기타의 구성은 제1 실시예와 같다. 즉, 이 촬상 장치는 실리콘 기판 상에 CMOS 프로세스를 사용하여 CMOS 이미지 센서 칩으로서 형성되어 있다.

기준 전압 생성 회로(14B)는 제1 실시예의 전압 생성 회로(14)의 전압 생성부(VG)와 함께 정전압 생성 회로(20)를 갖고 있다. 기타의 구성은 전압 생성 회로(14)와 같다. 정전압 생성 회로(20)의 출력(CV1)은 스위치(SW5)를 거쳐 소스 폴로워 회로(SF2)의 트랜지스터(M5)의 게이트에 접속되어 있다. 스위치(SW1-2, SW5) 중 어느 하나는 이미지 센서 내에 형성되는 레지스터의 값에 따라서 온한다. 레지스터의 값은 예컨대 파워온 시에 이미지 센서를 사용하는 유저(시스템)에 의해서 설정된다. 스위치(SW1-2, SW5) 중 어느 하나가 온하는 경우에도 트랜지스터(M5)의 게이트 전압은 화소(PX)가 광을 받지 않는 때의 노이즈 전압보다 약간 낮게 설정된다.

이상, 제3 실시예에 있어서도 전술한 제1 실시예와 마찬가지의 결과를 얻을 수 있다. 더욱이, 이 실시예에서는 3종류의 전압 중 어느 하나를 스위치(SW1-2, SW5)에 의해서 선택하여, 제1 기준 전압(VR1)[트랜지스터(M5)의 게이트 전압]으로서 출력할 수 있다. 이 때문에, 1개의 이미지 센서 칩을 사용하여 많은 세부사항(특성)의 이미지 센서를 더 형성할 수 있고, 이미지 센서의 개발 비용을 삭감할 수 있다.

도 8은 본 발명의 촬상 장치의 제4 실시예에서의 기준 전압 생성 회로(14C)를 나타내고 있다. 제1 실시예에서 설명한 요소와 동일한 요소에 관해서는 동일 부호를 첨부하고, 이들에 관해서는 상세한 설명을 생략한다. 이 실시예에서는 제1 실시예의 기준 전압 생성 회로(14) 대신에 기준 전압 생성 회로(14C)가 형성되고 있다. 기타의 구성은 제1 실시예와 같다. 즉, 이 촬상 장치는 실리콘 기판 상에 CMOS 프로세스를 사용하여 CMOS 이미지 센서 칩으로서 형성되어 있다.

기준 전압 생성 회로(14C)는 전압 생성부(VG)와 증폭기(AMP) 사이에 병렬로 배치된 1쌍의 소스 폴로워 회로(SF3)(제2 소스 폴로워 회로)를 갖고 있다. 소스 폴로워 회로(SF3)는 소스 폴로워 회로(SF1)의 nMOS 트랜지스터(M3, M4)와 각각 동일한 임계값 전압을 갖는 nMOS 트랜지스터(M7, M8)를 갖고 있다. 예컨대, 트랜지스터(M7, M8)의 게이트폭은 트랜지스터(M3, M4)의 게이트폭과 같다. 트랜지스터(M7, M8)의 채널 길이는 트랜지스터(M3, M4)의 채널 길이와 같다. 기준 전압 생성 회로(14C) 내의 복수의 소스 폴로워 회로(SF3)는 1개의 소스 폴로워 회로(예컨대 제1 실시예의 SF1)의 트랜지스터의 게이트폭을 크게 하는 것과 같은 효과를 갖는다. 즉, 제1 실시예와 마찬가지로, 소스 폴로워 회로(SF3)에 흐르는 전류량을 크게 할 수 있어, 소스 폴로워 회로(SF3)를 안정적으로 동작시킬 수 있다.

도 9는 제4 실시예의 화소 어레이(ARY)의 세부를 나타내고 있다. 화소 어레이(ARY)는 매트릭스형으로 배치된 복수의 화소(PX)를 갖고 있다. 화소 어레이(ARY)의 가장 바깥쪽에 위치하는 더미 영역(DMY)에 형성된 더미 화소(DPX)는 광전 변환에는 사용되지 않는다. 더미 화소(DPX)는 내측의 화소(PX)를 이상적인 형상으로 형성하기 위해서 형성된다. 도면의 좌우 양측에는 더미 영역(DMY)의 내측에 소스 폴로워 영역(SFA)이 형성되어 있다. 도 8에 나타낸 소스 폴로워 회로(SF3)는 소스 폴로워 영역(SFA) 내의 화소(PX)에 형성되는 소스 폴로워 회로(SF1)를 이용하여 형성되어 있다. 특히, 이 실시예에서는 소스 폴로워 회로(SF3)는 화소 어레이(ARY) 내에서 대각에 위치하는 망걸침으로 나타낸 화소(PX)를 이용하여 형성되어 있다.

일반적으로, 반도체 디바이스는 소자가 형성되는 위치에 의해서 소자의 전기적 특성이 약간 다르다. 소스 폴로워 회로(SF3)를 화소 어레이(ARY) 내의 서로 떨어진 위치에 형성함으로써 소스 폴로워 회로(SF3)의 평균적인 특성을 확실히 얻을 수 있다.

이상, 제4 실시예에서도 전술한 제1 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 더욱이, 이 실시예에서는 1쌍의 소스 폴로워 회로(SF2)를 화소 어레이(ARY) 내에 분산하여 배치함으로써 소스 폴로워 회로(SF)의 특성을 평균화할 수 있다. 따라서, 기준 전압 생성 회로(14C)는 소스 폴로워 회로(SF2)의 개별 회로 특성에 의존하지 않는 평균적인 기준 전압(VREF)을 생성할 수 있다. 또한, 소스 폴로워 회로(SF)에 흐르는 전류의 총량을 크게 할 수 있기 때문에, 기준 전압 생성 회로(14C)는 안정된 기준 전압(VREF)을 높은 정밀도로 생성할 수 있다.

소스 폴로워 회로(SF2)는 화소 어레이(ARY) 내의 더미 영역(DMY)에 형성되는 화소(PX)의 소스 폴로워 회로(SF1)를 이용하여 형성된다. 이 때문에, 소스 폴로워 회로(SF2)의 전기적 특성을 소스 폴로워 회로(SF1)와 용이하게 일치시킬 수 있다. 또한, 소스 폴로워 회로(SF2)는 화소 어레이(ARY)의 좌우 양측에 형성되느 소스 폴로워 영역(SFA)의 화소(PX)를 이용하여 각각 형성된다. 소스 폴로워 회로(SF2)를 화소 어레이(ARY) 내의 서로 떨어진 위치에 형성함으로써 평균적인 기준 전압(VREF)을 용이하게 생성할 수 있다.

또, 전술한 제1 및 제2 실시예에서는 소스 폴로워 회로(SF2)의 트랜지스터(M5, M6)의 게이트폭을 소스 폴로워 회로(SF1)의 트랜지스터(M3, M4)의 게이트폭의 2배로 설계하는 예에 관하여 서술하였다. 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않는다. 예컨대, 트랜지스터(M5, M6)를 트랜지스터(M3, M4)와 모두 같은 사이즈로 설계하여도 좋다. 이 경우, 소스 폴로워 회로(SF2)는 화소 어레이(ARY) 내의 더미 영역에 형성되는 화소(PX) 등의 소스 폴로워 회로(SF1)를 이용하여 구성할 수 있다. 화소 어레이(ARY) 내에 소스 폴로워 회로(SF2)를 형성함으로써 소스 폴로워 회로(SF1, SF2)의 전기적 특성을 확실히 같게 할 수 있다.

전술한 제2 실시예에서는 1쌍의 소스 폴로워 회로(SF3)를 화소 어레이(ARY) 내에서 대각으로 위치하는 화소(PX)를 이용하여 형성하는 예에 관하여 서술하였다. 본 발명은 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 소스 폴로워 회로(SF3)의 수는 2개보다 많아도 좋다. 예컨대, 4개의 소스 폴로워 회로(SF3)를 화소 어레이(ARY) 내의 4 모퉁이에 위치하는 화소(PX)를 이용하여 형성하여도 좋다.

이상의 실시예에 있어서 설명하는 발명을 정리하여 부기로서 개시한다.

(부기 1)

광전 변환 소자와, 광전 변환 소자에 의해 생성된 전하에 따라서 노이즈 전압 및 화소 전압을 생성하기 위한 제1 소스 폴로워 회로를 각각 갖는 복수의 화소와;

제1 기준 전압을 생성하는 전압 생성부와, 제1 기준 전압에 따라서 제2 기준 전압을 생성하는 적어도 하나의 제2 소스 폴로워 회로를 갖는 기준 전압 생성 회로와;

상기 노이즈 전압과 상기 화소 전압의 전압차를 화소 신호로서 출력하는 화 소 신호 생성 회로와;

상기 노이즈 전압이 상기 제2 기준 전압을 초과한 때 상기 노이즈 전압을 상기 화소 신호 생성 회로에 출력하고, 상기 노이즈 전압이 상기 제2 기준 전압 이하인 때 제1 전압을 상기 노이즈 전압으로서 상기 화소 신호 생성 회로에 출력하는 노이즈 전압 전환 회로

를 구비하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 2)

제1항에 있어서, 상기 제2 소스 폴로워 회로는 상기 제1 소스 폴로워 회로를 구성하는 트랜지스터와 같은 특성을 갖는 트랜지스터를 갖는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 3)

제2항에 있어서, 상기 제2 소스 폴로워 회로의 트랜지스터는 상기 제1 소스 폴로워 회로의 트랜지스터의 임계값 전압과 같은 임계값 전압을 갖는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 4)

제2항에 있어서, 상기 제2 소스 폴로워 회로의 트랜지스터는 상기 제1 소스 폴로워 회로의 트랜지스터에 비하여 게이트폭이 크고, 채널 길이가 같은 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 5)

제2항에 있어서, 상기 화소는, 정전압선을 상기 제1 소스 폴로워 회로의 입 력에 접속하는 리셋 트랜지스터와, 상기 광전 변환 소자의 출력을 상기 제1 소스 폴로워 회로의 입력에 접속하는 전송 트랜지스터와, 상기 제1 소스 폴로워 회로를 구성하는 소스 폴로워 트랜지스터와, 상기 제1 소스 폴로워 회로를 구성하고, 상기 소스 폴로워 트랜지스터의 출력을 상기 노이즈 전압 전환 회로에 접속하는 선택 트랜지스터를 구비하고,

상기 제2 소스 폴로워 회로는, 상기 제1 기준 전압을 수신하는 소스 폴로워 트랜지스터와, 소스 폴로워 트랜지스터의 출력을 상기 기준 전압 생성 회로에서의 상기 제2 기준 전압의 출력 노드에 접속하는 선택 트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 6)

제5항에 있어서, 상기 제2 소스 폴로워 회로의 상기 선택 트랜지스터를 상기 화소에서 받는 광이 광전 변환되는 판독 기간에 온하고, 상기 화소에서 받는 광이 광전 변환되지 않는 스탠바이 기간에 오프하는 동작 제어 회로를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 7)

제1항에 있어서, 상기 전압 생성부는 직렬로 접속된 복수의 저항을 갖고, 저항의 접속 노드 중 어느 하나로부터 상기 제1 기준 전압을 생성하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 8)

제1항에 있어서, 상기 전압 생성부는 전원 전압을 이용하여 정전압인 상기 제1 기준 전압을 생성하는 정전압 생성 회로를 갖는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 9)

제1항에 있어서, 상기 전압 생성부는 직렬로 접속된 복수의 저항을 더 갖고, 상기 정전압 생성 회로 및 저항의 접속 노드 중 어느 하나로부터 상기 제1 기준 전압을 생성하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 10)

제1항에 있어서, 상기 기준 전압 생성 회로는 상기 제1 기준 전압을 공통으로 수신하고, 상기 제2 기준 전압을 공통으로 생성하기 위해서, 병렬로 접속된 복수의 상기 제2 소스 폴로워 회로를 갖는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 11)

제10항에 있어서, 상기 화소가 매트릭스형으로 형성된 화소 어레이를 구비하고,

상기 제2 소스 폴로워 회로는 상기 화소 어레이 내의 일부 화소의 상기 제1 소스 폴로워 회로를 이용하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 12)

제11항에 있어서, 상기 제2 소스 폴로워 회로는 상기 화소 어레이의 한쪽 단의 화소의 제1 소스 폴로워 회로와 다른쪽 단의 화소의 제1 소스 폴로워 회로를 이용하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 13)

제1항에 있어서, 상기 화소가 매트릭스형으로 형성된 화소 어레이를 구비하고,

상기 제2 소스 폴로워 회로는 화소 어레이 내의 일부 화소의 상기 제1 소스 폴로워 회로를 이용하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 14)

제1항에 있어서, 상기 화소에서 받은 광이 광전 변환되는 판독 기간에 상기 제1 소스 폴로워 회로의 입력을 정전압으로 리셋하는 리셋 동작과, 상기 제1 소스 폴로워 회로에 의해서 상기 노이즈 전압을 생성하는 노이즈 판독 동작과, 상기 광전 변환 소자를 상기 소스 폴로워 회로에 접속하는 전하 전송 동작과, 상기 제1 소스 폴로워 회로에 의해서 상기 화소 전압을 생성하는 화소 판독 동작을 순차적으로 실행하는 동작 제어 회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

(부기 15)

제1항에 있어서, 상기 화소 신호 생성 회로는 상관 이중 샘플링 회로인 것을 특징으로 하는 촬상 장치.

부기 6에 기재한 촬상 장치에서는 동작 제어 회로는 제2 소스 폴로워 회로의 선택 트랜지스터를 스탠바이 기간에 오프함으로써 제2 소스 폴로워 회로의 소비 전류를 삭감할 수 있다. 이 결과, 촬상 장치의 스탠바이 전류를 삭감할 수 있다.

부기 9의 촬상 장치에서는 촬상 장치의 세부사항에 맞추어서 제1 기준 전압의 값을 다양한 값으로 설정할 수 있다. 또한, 촬상 장치의 시작품을 다양한 제1 기준 전압을 이용하여 평가할 수 있다.

이상, 본 발명에 관하여 상세히 설명하였지만, 상기 실시예 및 그의 변형례는 본 발명의 일례에 불과하고, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 본 발명을 벗어나지 않는 범위에서 변형가능한 것은 명확하다.

본 발명은 스태틱 메모리 셀을 갖고, 스태틱 메모리 셀의 초기화 기능을 갖는 반도체 메모리에 적용할 수 있다.

본 발명에서는 트랜지스터의 특성 변동에 관계없이, 또 비용을 상승시키는 일 없이, 흑태양 현상을 확실히 방지할 수 있다. 특히, 높은 휘도를 갖는 피사체를 촬상하는 경우에 화소의 품질이 저하하는 것을 방지할 수 있다.

Claims

광전 변환 소자와 광전 변환 소자에 의해 생성된 전하에 따라서 노이즈 전압과 화소 전압을 생성하기 위한, 트랜지스터로 구성된 제1 소스 폴로워 회로를 각각 갖는 복수의 화소와;

제1 기준 전압을 생성하는 전압 생성부와, 제1 기준 전압에 따라서 제2 기준 전압을 생성하는 적어도 하나의 제2 소스 폴로워 회로를 갖는 기준 전압 생성 회로와;

상기 노이즈 전압과 상기 화소 전압의 전압차를 화소 신호로서 출력하는 화소 신호 생성 회로와;

상기 노이즈 전압이 상기 제2 기준 전압을 초과한 때 상기 노이즈 전압을 상기 화소 신호 생성 회로에 출력하고, 상기 노이즈 전압이 상기 제2 기준 전압 이하인 때 제1 전압을 상기 노이즈 전압으로서 상기 화소 신호 생성 회로에 출력하는 노이즈 전압 전환 회로

를 구비하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 소스 폴로워 회로는 상기 제1 소스 폴로워 회로를 구성하는 트랜지스터와 같은 전기적 특성을 갖는 트랜지스터를 갖는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.
제2항에 있어서, 상기 제2 소스 폴로워 회로의 트랜지스터는 상기 제1 소스 폴로워 회로의 트랜지스터의 임계값 전압과 같은 임계값 전압을 갖는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.
제2항에 있어서, 상기 제2 소스 폴로워 회로의 트랜지스터는 상기 제1 소스 폴로워 회로의 트랜지스터에 비하여 게이트폭이 크고, 채널 길이가 같은 것을 특징으로 하는 촬상 장치.
제1항에 있어서, 상기 전압 생성부는 직렬로 접속된 복수의 저항을 갖고, 저항의 접속 노드 중 어느 하나로부터 상기 제1 기준 전압을 생성하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.
제1항에 있어서, 상기 전압 생성부는 전원 전압을 이용하여 정전압인 상기 제1 기준 전압을 생성하는 정전압 생성 회로를 갖는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.
제1항에 있어서, 상기 기준 전압 생성 회로는 상기 제1 기준 전압을 공통으로 수신하고, 상기 제2 기준 전압을 공통으로 생성하기 위해서, 병렬로 접속된 복수의 상기 제2 소스 폴로워 회로를 갖는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.
제7항에 있어서, 상기 화소가 매트릭스형으로 형성된 화소 어레이를 구비하 고,

상기 제2 소스 폴로워 회로는 상기 화소 어레이 내의 일부 화소의 상기 제1 소스 폴로워 회로를 이용하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.
제8항에 있어서, 상기 제2 소스 폴로워 회로는 상기 화소 어레이의 한쪽 단의 화소의 제1 소스 폴로워 회로와 다른쪽 단의 화소의 제1 소스 폴로워 회로를 이용하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.
제1항에 있어서, 상기 화소가 매트릭스형으로 형성된 화소 어레이를 구비하고,

상기 제2 소스 폴로워 회로는 화소 어레이 내의 일부 화소의 상기 제1 소스 폴로워 회로를 이용하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.