KR100728647B1 - 이미지 센서 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 소정 간격 이격된 복수의 포토 다이오드가 형성된 기판과;상기 포토 다이오드가 형성되지 않은 기판 상에 형성되어 있으며 측벽이 경사면으로 이루어진 다층의 배선구조물과;상기 배선구조물의 경사면에 형성된 반사막과;상기 포토 다이오드 상에 형성된 칼라필터와;상기 칼라필터 상에 형성된 마이크로 렌즈; 및상기 마이크로 렌즈가 형성된 결과물 전면에 형성된 소자보호막;을 포함하는 이미지 센서.
- 제1항에 있어서,상기 배선구조물은,상기 기판 상에 형성된 게이트와;상기 게이트 상에 다층으로 형성된 듀얼 다마신 패턴; 및서로 이웃하는 상기 게이트 및 듀얼 다마신 패턴을 전기적으로 절연시키는 층간 절연막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 제2항에 있어서,상기 듀얼 다마신 패턴은, 구리, 알루미늄, 금, 은 또는 텅스텐 중 어느 하나의 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 제2항에 있어서,상기 배선구조물을 이루는 듀얼 다마신 패턴은, 상기 배선구조물의 측벽이 경사지게 어느 일 방향으로 기울어진 다층의 계단 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 삭제
- 제1항에 있어서,상기 마이크로 렌즈는, Co-polymer, SiN, BCB, SILK 또는 감광물질 중 어느 하나의 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
- 기판 내에 소정 간격 이격되어 있는 복수의 포토 다이오드를 형성하는 단계;상기 기판 상에 듀얼 다마신 패턴이 다층으로 적층된 배선구조물을 형성하는 단계;상기 포토 다이오드가 형성된 기판 상에 위치하는 상기 배선구조물을 식각하여 상기 포토 다이오드 상부 표면을 드러내는 트렌치를 형성하는 단계;상기 트렌치의 양측벽에 반사막을 형성하는 단계;상기 트렌치를 통해 드러난 포토 다이오드 상부 표면 상에 칼라필터를 형성하는 단계;상기 칼라필터 상에 마이크로 렌즈를 형성하는 단계; 및상기 마이크로 렌즈가 형성된 결과물 상에 소자보호막을 증착하는 단계;를 포함하는 이미지 센서 제조방법.
- 제7항에 있어서,상기 칼라필터를 형성하는 단계는,상기 복수의 트렌치가 형성된 결과물 전면에 적색 칼라필터 형성물질을 도포하는 단계;상기 포토 다이오드 중 어느 하나의 포토 다이오드 상에 상기 적색 칼라필터 형성물질을 패터닝하여 적색 칼라필터를 형성하는 단계;상기 적색 칼라필터가 형성된 결과물 전면에 녹색 칼라필터 형성물질을 도포하는 단계;상기 적색 칼라필터가 형성되지 않은 상기 포토 다이오드 중 어느 하나의 포토 다이오드 상에 상기 녹색 칼라필터 형성물질을 패터닝하여 녹색 칼라필터를 형성하는 단계;상기 녹색 칼라필터가 형성된 결과물 전면에 청색 칼라필터 형성물질을 도포하는 단계; 및상기 적색 또는 녹색 칼라필터가 형성되지 않은 상기 포토 다이오드 상에 상기 청색 칼라필터 형성물질을 패터닝하여 청색 칼라필터를 형성하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 삭제
- 제7항에 있어서,상기 듀얼 다마신 패턴은, 구리, 알루미늄, 금, 은 또는 텅스텐 중 어느 하나의 물질을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제7항에 있어서,상기 배선구조물을 이루는 듀얼 다마신 패턴은, 상기 배선구조물을 경사지도록 다층의 계단 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
- 제7항에 있어서,상기 마이크로 렌즈 형성물질은, Co-polymer, SiN, BCB, SILK 또는 감광물질 중 어느 하나의 물질을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서 제조방법.
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