KR100693145B1 - 인쇄회로기판의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
상기 관통홀을 채워 형성되는 연결범프는 상기 제1회로패턴보다 더 돌출된다.
Claims (19)
- 제1금속층이 표면에 구비된 제1절연층에 제1금속층을 포함하여 관통되는 관통홀을 형성하는 단계와,상기 제1금속층을 선택적으로 제거하여 제1회로패턴을 형성하는 단계와,상기 관통홀을 채워 연결범프를 형성하는 단계와,상기 제1회로패턴과 연결범프를 포함하여 상기 제1절연층상에 제2절연층과 상기 연결범프와 전기적으로 연결되게 제2금속층을 위치시키는 단계와,상기 제2금속층을 선택적으로 제거하여 제2회로패턴을 형성하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 관통홀의 형성 후에는 상기 관통홀의 내면과 제1금속층의 표면에 도금층을 더 형성하여 제1절연층 양측 표면의 제1금속층을 전기적으로 연결함을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 도금층은 무전해 도금과 전해도금의 순서로 진행됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 연결범프는 도금에 의해 형성됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 연결범프의 형성을 위해 상기 제1회로패턴이 형성된 제1절연층의 표면에는 도금윈도우가 구비되는 도금리지스트가 위치됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 5 항에 있어서, 상기 연결범프를 도금으로 형성한 후에는 연결범프 표면의 평탄화를 위해 연마를 수행함을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 연결범프와 제2금속층은 소정의 열과 압력에 의해 서로 결합됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 관통홀의 형성 후에는 상기 관통홀의 내면과 제1금속층의 표면에 무전해도금층을 더 형성하여 제1절연층 양측 표면의 제1금속층을 전기적으로 연결함을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 연결범프는 도금에 의해 형성됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 연결범프의 형성을 위해 상기 제1회로패턴이 형성된 제1절연층의 표면에는 도금윈도우가 구비되는 도금리지스트가 위치됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 연결범프를 도금으로 형성한 후에는 연결범프 표면의 평탄화를 위해 연마를 수행하고, 상기 평탄화된 연결범프에는 상기 제2금속층이 소정의 열과 압력에 의해 결합됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 연결범프는 도전성 페이스트에 의해 형성됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 12 항에 있어서, 상기 연결범프의 형성을 위해 상기 제1회로패턴이 형성된 제1절연층의 표면에는 범프형성윈도우가 구비되는 범프형성리지스트가 위치됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 13 항에 있어서, 상기 연결범프에는 상기 제2금속층이 소정의 열과 압력에 의해 결합됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제1금속층이 표면에 구비된 제1절연층에 제1금속층을 포함하여 관통되는 관통홀을 형성하는 단계와,상기 관통홀의 내면과 제1금속층의 표면에 도금층을 형성하여 제1절연층 양측 표면의 제1금속층을 전기적으로 연결하는 단계와,상기 제1금속층을 선택적으로 제거하여 제1회로패턴을 형성하는 단계와,상기 제1회로패턴이 형성된 제1절연층 상에 선택적으로 도금윈도우가 형성된 도금리지스트를 위치시키는 단계와,상기 도금윈도우에 도금을 수행하여 상기 관통홀과 도금윈도우를 채우도록 연결범프를 형성하는 단계와,상기 제1회로패턴과 연결범프를 포함하여 상기 제1절연층상에 제2절연층과 상기 연결범프와 전기적으로 연결되게 제2금속층을 위치시키는 단계와,상기 제2금속층을 선택적으로 제거하여 제2회로패턴을 형성하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 제1금속층과 관통홀의 내면에 형성되는 도금층은 무전해 도금과 전해도금의 순서로 형성됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
- 제 16 항에 있어서, 상기 연결범프를 도금으로 형성한 후에는 연결범프 표면의 평탄화를 위해 연마를 수행하고, 상기 평탄화된 연결범프에는 상기 제2금속층이 소정의 열과 압력에 의해 결합됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
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---|---|---|---|---|
JPH0537157A (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-12 | Sony Corp | 多層プリント基板の製造方法 |
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JPH06164148A (ja) * | 1992-04-22 | 1994-06-10 | Cmk Corp | 多層プリント配線板 |
KR19990013967A (ko) * | 1997-07-16 | 1999-02-25 | 모리시타 요이찌 | 배선판 및 그 제조방법 |
JPH1174640A (ja) | 1997-08-28 | 1999-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント配線基板の製造方法 |
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