KR100629191B1 - 유리 가장자리 검사 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 유리판 가장자리 검사 방법으로서,a) 유리판이 거의 일정한 평면에 유지되도록 상기 유리판을 지지하여 소정의 평면에서 제1 방향으로 이동시키는 유리판 지지 및 이동 단계와,b) 레이저빔을 상기 제1 방향에 대하여 소정의 각도로 소정의 광로를 따라 상기 유리판의 가장자리로 지향시키고, 상기 가장자리로부터 반사된 광을 상기 광로를 따라 광학적 기록 장치로 지향시킴으로써, 상기 가장자리를 촬상하는 단계로서, 상기 유리판의 가장자리로부터 반사된 광은 유리판 가장자리로 지향된 레이저빔과 동축인 레이저빔 지향 단계와,c) 상기 광로를 조정하여 상기 레이저로부터 상기 가장자리까지의 레이저빔 및 상기 가장자리로부터 광학적 기록 장치까지의 상기 반사된 광의 전체 광로 길이를 거의 일정한 길이로 제어함으로써, 상기 가장자리와 광로 사이의 측방향 간격의 변화로부터 생기는 상기 광학적 기록 장치에서의 광의 강도 변화를 저감시키는 광로 조정 단계를 포함하는 유리판 가장자리 검사 방법
- 제1항에 있어서, 상기 광로 조정 단계는 반사경이 있는 하우징을 이동시키는 단계를 포함하고, 상기 레이저빔과 상기 반사된 광은 상기 반사경에 의해 반사되는 것인 유리판 가장자리 검사 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 하우징은 상기 유리판의 평면에 대하여 수직 방향으로 이동되는 것인 유리판 가장자리 검사 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 유리판은 자동차용 판유리인 것인 유리판 가장자리 검사 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 유리판은 평면형인 것인 유리판 가장자리 검사 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 유리판은 비평면형인 것인 유리판 가장자리 검사 방법.
- 제1항에 있어서, 가장자리 결함의 위치, 종류 및 크기를 보여주는 맵(map)에 검출된 가장자리 결함을 디스플레이하는 것인 유리판 가장자리 검사 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 가장자리 결함은 선택 가능한 아이콘으로서 상기 맵 상에 디스플레이되고, 상기 아이콘의 형태는 가장자리 결함의 종류를 나타내며, 아이콘의 칼라는 가장자리 결함의 크기를 나타내는 것인 유리판 가장자리 검사 방법.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단계 b)와 c)는 유리판의 각 가장자리에 수행되는 것인 유리판 가장자리 검사 방법.
- 유리판의 가장자리를 검사하는 유리판 가장자리 검사 장치로서,거의 일정한 평면에서 유리판을 지지하고 상기 평면을 따라 제1 방향으로 유리판을 이동시키는 운반 기구와,레이저 입사 광선을 발생시키는 광원과,상기 광원으로부터 입사 광선을 수신하여 이 입사 광선을 상기 제1 방향에 대해 소정의 각도로 유리판의 가장자리에 지향시키는 광로로서, 상기 가장자리로부터 반사된 레이저 광선을 더 수신하고, 이 반사된 광선은 상기 입사 광선과 동축인 광로와,상기 반사된 광선을 수신함으로써 상기 가장자리의 이미지를 포착하는 촬상 장치와,상기 광로를 조정하여 상기 광원으로부터 상기 가장자리까지의 입사 광선 및 상기 가장자리로부터 촬상 장치까지의 상기 반사된 광선의 전체 광로 길이를 거의 일정한 길이로 유지함으로써, 상기 가장자리와 광로 사이의 측방향 간격의 변화로부터 생기는 상기 촬상 장치에서의 광의 강도 변화를 저감시키는 조정 기구를 구비하는 유리판 가장자리 검사 장치.
- 제10항에 있어서, 상기 광로는 반사경 세트와 빔 분할기를 포함하고, 상기 빔 분할기는 상기 광원으로부터의 입사 광선이 상기 빔 분할기를 통과하여 상기 반사경 세트에 도달하고 이 반사경 세트에 의해 상기 가장자리로 반사되게 하며, 상기 빔 분할기는 또한 상기 반사경 세트로부터 수신된 상기 반사된 광선을 촬상 장치로 지향시키며, 상기 반사경 세트 중 적어도 몇몇의 반사경은 상기 조정 기구에 응답하여 이동 가능함으로써 상기 전체 광로 길이를 유지하는 것인 유리판 가장자리 검사 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 반사경 세트는 상기 평면과 교차하는 반사면이 있는 고정 반사경과, 상기 빔 분할기와 고정 반사경 사이에 배치되는 한쌍의 가동 반사경을 포함하고, 상기 한쌍의 가동 반사경은 조정 기구에 의해 이동되는 것인 유리판 가장자리 검사 장치.
- 제12항에 있어서, 상기 한쌍의 가동 반사경은 상기 입사 광선과 상기 반사된 광선의 방향을 180도 만큼 변경시키고 상기 조정 기구에 의해 상기 평면에 대해 수직인 방향으로 이동되는 것인 유리판 가장자리 검사 장치.
- 제10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 촬상 장치와 통신하는 컴퓨터를 더 구비하고, 상기 컴퓨터는 상기 촬상 장치에 의해 포착된 이미지 데이터를 기초로 하여 상기 유리판 가장자리에 있는 결함의 위치, 종류 및 크기를 결정하는 소프트웨어를 실행하는 것인 유리판 가장자리 검사 장치.
- 유리판의 가장자리를 검사하는 유리판 가장자리 검사 시스템으로서,거의 일정한 평면에서 유리판을 지지하고 상기 평면을 따라 제1 방향으로 유리판을 이동시키는 운반 기구와,상기 유리판의 각 가장자리를 각각 촬상하는 복수 개의 검사 장치를 구비하고, 상기 각 검사 장치는,레이저 입사 광선을 발생시키는 광원과,상기 광원으로부터 입사 광선을 수신하여 이 입사 광선을 상기 제1 방향에 대해 소정의 각도로 각 가장자리에 지향시키는 광로로서, 상기 각 가장자리로부터 반사된 레이저 광선을 더 수신하고, 이 반사된 광선은 상기 입사 광선과 동축인 광로와,상기 반사된 광선을 수신함으로써 상기 각 가장자리의 이미지를 포착하는 촬상 장치와,상기 광로를 조정하여 상기 광원으로부터 상기 각 가장자리까지의 입사 광선 및 상기 각 가장자리로부터 촬상 장치까지의 상기 반사된 광선의 전체 광로 길이를 거의 일정한 길이로 유지함으로써, 상기 각 가장자리와 광로 사이의 측방향 간격의 변화로부터 생기는 상기 촬상 장치에서의 광의 강도 변화를 저감시키는 조정 기구를 포함하는 것인 유리판 가장자리 검사 시스템.
- 제15항에 있어서, 4개의 검사 장치를 포함하는 것인 유리판 가장자리 검사 시스템.
- 제16항에 있어서, 상기 검사 장치는 직사각형으로 배열되고, 이 직사각형의 대각선 대향 코너부에 검사 장치들이 정렬되는 것인 유리판 가장자리 검사 시스템.
- 제15항에 있어서, 상기 촬상 장치와 통신하는 컴퓨터를 더 구비하고, 상기 컴퓨터는 상기 촬상 장치에 의해 포착된 이미지 데이터를 기초로 하여 상기 유리판 가장자리에 있는 결함의 위치, 종류 및 크기를 결정하는 소프트웨어를 실행하는 것인 유리판 가장자리 검사 시스템.
- 제18항에 있어서, 상기 컴퓨터는 상기 유리판 가장자리에 있는 결함의 위치, 종류 및 크기를 기록하는 것인 유리판 가장자리 검사 시스템.
- 제19항에 있어서, 상기 컴퓨터는 모니터를 포함하고, 상기 소프트웨어는 상기 유리판 가장자리에 있는 결함의 위치, 종류 및 크기를 보여주는 결함 맵을 생성하여 상기 모니터 상에 디스플레이하는 것인 유리판 가장자리 검사 시스템.
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DE102005050882B4 (de) * | 2005-10-21 | 2008-04-30 | Isra Vision Systems Ag | System und Verfahren zur optischen Inspektion von Glasscheiben |
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CN102275723A (zh) * | 2011-05-16 | 2011-12-14 | 天津工业大学 | 一种基于机器视觉的输送带在线监测系统和方法 |
US8960014B2 (en) | 2012-09-21 | 2015-02-24 | Corning Incorporated | Methods of validating edge strength of a glass sheet |
WO2015039245A1 (en) * | 2013-09-18 | 2015-03-26 | Ats Automation Tooling Systems Inc. | System and method for decoration inspection on transparent media |
GB2526270B (en) * | 2014-05-16 | 2018-08-22 | Pre Chasm Res Ltd | Examining vehicle glass defects |
EP3268718A4 (en) | 2015-03-13 | 2018-11-07 | Corning Incorporated | Edge strength testing methods and apparatuses |
DE202016106062U1 (de) | 2016-10-27 | 2016-11-07 | LPKF SolarQuipment GmbH | Druckmaschine mit einer Vorrichtung zur Erfassung zumindest einer Glaskante einer Glasplatte |
KR102575017B1 (ko) * | 2016-11-17 | 2023-09-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유리 기판의 결함 검출 방법 |
KR102762589B1 (ko) | 2018-07-24 | 2025-02-05 | 글래스텍 인코포레이티드 | 윤곽형 유리 시트의 표면을 측정하기 위한 시스템 및 방법 |
CN110018179A (zh) * | 2019-05-10 | 2019-07-16 | 河北视窗玻璃有限公司 | 一种玻璃缺陷标记设备和玻璃板生产方法 |
CN110694922B (zh) * | 2019-09-24 | 2024-12-27 | 安吉深华视觉科技有限公司 | 一种玻璃缺陷在线检测设备 |
CN112881428B (zh) * | 2021-01-20 | 2024-08-09 | 苏州协同创新智能制造装备有限公司 | 一种基于激光测距的曲面屏幕边缘外弧缺陷检测的方法 |
CN114923860A (zh) * | 2022-06-15 | 2022-08-19 | 湖南科洛德科技有限公司 | 一种板材边部缺陷检测装置 |
US11867630B1 (en) | 2022-08-09 | 2024-01-09 | Glasstech, Inc. | Fixture and method for optical alignment in a system for measuring a surface in contoured glass sheets |
CN119438232A (zh) * | 2024-09-19 | 2025-02-14 | 福建视维智能设备有限公司 | 一种基于电子凸轮功能搭载相机检测汽车玻璃缺陷的装置及检测方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3737665A (en) | 1971-10-20 | 1973-06-05 | Central Glass Co Ltd | Method and apparatus for automatically detecting defects and irregularities in glass sheet |
GB1526930A (en) | 1974-12-19 | 1978-10-04 | Bfg Glassgroup | Process and apparatus for testing glass |
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US4583854A (en) | 1982-07-15 | 1986-04-22 | General Electric Company | High resolution electronic automatic imaging and inspecting system |
US4641966A (en) | 1985-08-01 | 1987-02-10 | General Electric Company | Automated inspection system |
DE3870584D1 (de) | 1987-05-29 | 1992-06-04 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Sortiersystem und verfahren fuer flachglasscheiben. |
DE3926349A1 (de) | 1989-08-09 | 1991-02-14 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optische fehlerinspektionsvorrichtung |
FR2681429B1 (fr) | 1991-09-13 | 1995-05-24 | Thomson Csf | Procede et dispositif d'inspection du verre. |
JP2789281B2 (ja) | 1991-09-26 | 1998-08-20 | ファナック株式会社 | レーザ加工機における光路長固定装置 |
DE4139094A1 (de) | 1991-11-28 | 1993-06-03 | Wolf & Beck Gmbh Dr | Messverfahren und messgeraet zur erkennung von stoerstellen bei flachglaesern |
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US6011620A (en) | 1998-04-06 | 2000-01-04 | Northrop Grumman Corporation | Method and apparatus for the automatic inspection of optically transmissive planar objects |
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