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KR100592131B1 - 제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법 - Google Patents

제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법 Download PDF

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KR100592131B1
KR100592131B1 KR1020040021741A KR20040021741A KR100592131B1 KR 100592131 B1 KR100592131 B1 KR 100592131B1 KR 1020040021741 A KR1020040021741 A KR 1020040021741A KR 20040021741 A KR20040021741 A KR 20040021741A KR 100592131 B1 KR100592131 B1 KR 100592131B1
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manufacture
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다나카슈지
고바야시요시타케
후지무라히사시
아오키야스츠구
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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

공정간에서 반송되어 오는 캐리어에 저장되어 있는 제조 대상물을, 공정내에서 투입하고자 하는 순서로 적극적으로 이동하여 대상으로 되는 제조 장치로 반송할 수 있는 제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법이 제공된다.
복수의 공정간에서 반송되어 오는 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어(15)를, 해당하는 공정에 취입한 후에, 공정내에 배치된 제조 대상물의 제조 장치에 제조 대상물(W)을 매엽 반송에 의해 반송하는 매엽 반송 컨베이어(18)에, 캐리어(15) 내의 복수의 제조 대상물을 이체시키는 제조 대상물의 반송 장치(16)에 있어서, 공정내에 배치되어, 공정간에서 반송되어 오는 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어(15)를 해당하는 공정에 취입하여, 제조 대상물의 이동을 실행하기 위한 제조 대상물 이체 수단(100)을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법{INTERMEDIATE PRODUCT CARRYING APPARATUS, AND INTERMEDIATE PRODUCT CARRYING METHOD}
도 1은 본 발명의 제조 대상물의 반송 장치의 실시 형태를 포함하는 반도체 제조 장치의 일부분을 나타내는 평면도,
도 2는 도 1의 하나의 공정을 나타내는 평면도,
도 3은 도 2의 공정 중의 제조 대상물 이체 수단과 공정간 반송 컨베이어 및 매엽 반송 컨베이어를 나타내는 사시도,
도 4는 도 2의 공정의 일부분인 하나의 제조 장치와 매엽 반송 컨베이어의 일부분을 나타내는 사시도,
도 5는 탑재 이송 로봇의 구조예를 나타내는 사시도,
도 6은 도 5의 탑재 이송 로봇의 다른 각도에서 본 사시도,
도 7은 탑재 이송 로봇의 핸드에 웨이퍼가 탑재된 상태를 도시한 도면,
도 8은 본 발명의 제조 대상물의 반송 방법의 일례를 나타내는 흐름도,
도 9는 본 발명의 다른 실시 형태를 나타내는 평면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
15 : 캐리어 16 : 제조 대상물의 반송 장치
18 : 매엽 반송 컨베이어 100 : 제조 대상물 이체 수단
W : 웨이퍼(제조 대상물의 일종)
본 발명은, 복수의 공정간에서 반송되어 오는 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어를 취입하고, 캐리어 내의 제조 대상물의 순서 혹은 조합을 변경하여 반송하기 위한 제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법에 관한 것이다.
예컨대, 제조 대상물로서의 반도체 웨이퍼(이하 웨이퍼라 함)를 제조하기 위한 반도체 제조 장치는, 예컨대 리소그래피 장치, 성막 장치, 에칭 장치, 세정 장치, 검사 장치 등의 각종 웨이퍼 제조 장치를 갖고 있다.
어느 종류의 반도체 제조 장치의 그룹으로부터, 다른 종류의 반도체 제조 장치의 그룹까지의 사이의 공정간에서는, 웨이퍼는 캐리어라 불리는 저장 부재에 의해 저장된 상태로 반송된다. 그리고 어떤 공정에 반송되어 온 캐리어로부터는, 웨이퍼가 취출됨으로써, 그 웨이퍼는 그 공정내에서 소정의 처리가 실행되도록 되어 있다.
이러한 복수의 공정을 갖는 반도체 제조 장치는, 순차적으로 반송 통로를 따라 라인 형상으로 배열되어 있는 것이 있다(예컨대 일본 특허 공개 제 1999-145022 호의 제 1 항과 도 1 참조).
또한, 이 캐리어(웨이퍼 카세트라 함) 방식에 의한 웨이퍼의 반송 대신에, 웨이퍼의 소량 다품종 생산의 요구로부터, 컨베이어상에 웨이퍼를 1장씩 탑재하여 반송하는 이른바 매엽 반송의 방식이 나오고 있다. 이 매엽 반송 방식은, 웨이퍼의 소량 다품종 생산에 대응시킨 것이다(예컨대 일본 특허 공개 제 2002-334917 호의 제 1 항과 도 1 참조). 이러한 매엽 반송 방식은 웨이퍼의 공정내 반송으로 이용하고자 하는 희망이 있다.
상술한 바와 같은 공정간 반송에 의해 반송된 캐리어로부터, 캐리어 내의 웨이퍼를, 직접 매엽 반송 컨베이어에 투입하고자 하면 다음과 같은 문제가 발생한다.
이전의 공정으로부터 공정간 반송되어 온 캐리어 내에는, 이 해당 공정내에서 처리를 실행하는 제조 장치가 상이한 복수의 웨이퍼가 혼재하여 저장되어 있다.
이러한 웨이퍼 중에는, 공정내의 제조 장치의 상황에 따라서는, 바로 매엽 반송 컨베이어에 투입할 수 없는 경우가 있다.
또한, 공정간 반송에 의해 반송되어 온 캐리어의 웨이퍼를 도착 순서대로 매엽 반송 컨베이어에 투입하면, 단계 변경 시간이 빈번히 발생하여 장치의 생산 효율을 저하시키는 경우가 있다.
그래서 본 발명은 상기 과제를 해소하고, 공정간에서 반송되어 오는 캐리어에 저장되어 있는 제조 대상물을, 공정내에 투입할 때의 효율을 고려한 순서 혹은 조합으로 적극적으로 전환하여, 대상으로 되는 제조 장치로 반송할 수 있는 제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 제조 대상물의 반송 장치는, 복수의 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어를 해당하는 상기 공정으로 취입한 후에, 상기 공정내에 배치된 상기 제조 대상물의 제조 장치에 상기 제조 대상물을 매엽 반송에 의해 반송하는 매엽 반송 컨베이어에, 상기 캐리어 내의 상기 복수의 제조 대상물을 이체시키는 제조 대상물의 반송 장치에 있어서,
상기 공정내에 배치되어 있고, 상기 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하는 상기 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입하고 상기 제조 대상물의 이체를 실행하기 위한 제조 대상물 이체 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 매엽 반송 컨베이어는 공정내에 배치되어 있다. 이 매엽 반송 컨베이어는, 공정내에 배치된 제조 대상물의 제조 장치에 대하여 제조 대상물을 매엽 반송에 의해 반송하도록 되어 있다.
제조 대상물 이체 수단은 공정내에 배치되어 있다. 이 제조 대상물 이체 수단은, 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하는 캐리어를 해당하는 공정에 취입하고 제조 대상물의 이체를 실행한다. 그리고 제조 대상물 이체 수단은, 이체시킨 제조 대상물을 매엽 반송 컨베이어에 반송하는 것이다.
이와 같이 함으로써, 제조 대상물 이체 수단은, 이 공정내에서 제조 대상물을 투입하고자 하는 순서 혹은 조합에 따라, 공정간에서 반송되어 온 캐리어로부터 공정내에서 이용하는 캐리어로 제조 대상물의 순서 혹은 조합을 적극적으로 변경하여 저장할 수 있다.
이로써, 캐리어에는 목적지가 동일한 제조 대상물을 탑재할 수 있다. 따라서 이 캐리어에 탑재된 웨이퍼는, 매엽 반송 컨베이어에 대하여 순차적으로 이동하여, 공정내의 어느 제조 장치를 향해 효율적으로 반송될 수 있다. 이로써 제조 대상물의 반송 효율을 높여, 반송에 필요한 택트(tact)를 짧게 하여, 제조 대상물의 제조 효율을 높일 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 매엽 반송 컨베이어는 반송 방향을 따라 복수의 가설 스탠드를 갖고, 상기 가설 스탠드는 적어도 1매의 상기 제조 대상물을 유지하는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
이러한 구성에 의하면, 매엽 반송 컨베이어는 반송 방향을 따라 복수의 가설 스탠드를 갖고 있다. 이 가설 스탠드는 적어도 1매의 제조 대상물을 유지할 수 있다. 이와 같이 하면, 매엽 반송 컨베이어에 의한 제조 대상물의 반송 효율을 더 향상시킬 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제조 대상물 이체 수단은, 복수의 상기 캐리어를 보관하기 위한 캐리어 스토커와, 상기 공정간에서 반송되어 오는 상기 캐리어를 상기 캐리어 스토커에 취입하고, 또 상기 캐리어 스토커로부터 상기 캐리어를 취출하기 위한 제 1 교환부와, 상기 제조 대상물을 유지하는 제조 대상물 스토커와, 상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어가 저장하고 있는 상기 제조 대상물을 상기 제조 대상물 스토커로 이동시키고, 상기 제조 대상물 스토커에 있는 상기 제조 대상물을 상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어에 다시 저장함으로써, 상기 제조 대상물의 배치 순서를 변경하기 위한 제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단과, 상기 캐리어의 상기 순서 변경 완료된 제조 대상물을 상기 캐리어와 상기 매엽 반송 컨베이어 사이에서 교환하기 위한 제 2 교환부를 갖는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
이러한 구성에 의하면, 제 1 교환부는 공정간에서 반송되어 오는 캐리어를 캐리어 스토커에 취입한다. 이 제 1 교환부는 캐리어 스토커로부터 외부로 캐리어를 배출하는 기능도 갖고 있다.
제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단은, 캐리어 스토커에 있는 캐리어가 저장하고 있는 제조 대상물을 제조 대상물 스토커로 이송한다. 제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단은, 제조 대상물 스토커에 있는 제조 대상물의 배치 순서를 변경하여 캐리어에 넣는 것이다.
제 2 교환부는, 캐리어의 순서 변경 완료된 제조 대상물을 캐리어와 매엽 반송 컨베이어 사이에서 교환한다.
이와 같이 함으로써, 제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단은, 제조 대상물의 배치 순서를 변경한 제조 대상물을 캐리어에 저장할 수 있다. 그리고 제 2 교환부는, 순서 변경 완료된 제조 대상물을 캐리어로부터 매엽 반송 컨베이어로 효율적으로 교환할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제 2 교환부는 적어도 하나의 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있고, 상기 제 2 교환부가 복수의 상기 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있는 경우에는, 상기 탑재 이송 로봇 사이에 상기 제조 대상물의 트레이가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
이러한 구성에 의하면, 제 2 교환부는 적어도 하나의 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있다. 제 2 교환부가 복수의 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있는 경우에는, 탑재 이송 로봇 사이에 제조 대상물의 트레이가 배치되어 있다.
이로써, 또한 제 2 교환부는 순서 변경 완료된 제조 대상물을 캐리어와 매엽 반송 컨베이어 사이에서 더 효율적으로 교환할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 매엽 반송 컨베이어에는, 상기 제조 대상물을 처리하기 위한 복수의 제조 장치가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
이러한 구성에 의하면, 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이다. 매엽 반송 컨베이어에는, 제조 대상물을 처리하기 위한 복수의 제조 장치가 배치되어 있다.
이로써, 목적지가 동일한 웨이퍼는 각 제조 장치에 대하여 순차적으로 효율적으로 반송될 수 있다.
본 발명의 제조 대상물의 반송 방법은, 복수의 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입한 후에, 상기 캐리어 내의 상기 제조 대상물을 다른 캐리어에 이체시켜 반송하기 위한 제조 대상물의 반송 방법으로, 상기 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하는 상기 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입하는 캐리어 취입 단계와, 상기 캐리어에 저장된 상기 제조 대상물의 이체를 실행하고, 상기 이체시킨 제조 대상물을 매엽 반송 컨베이어에 이체시키기 위한 제조 대상물 이체 단계와, 상기 공정내에 배치된 상기 제조 대상물의 제조 장치에 대하여, 상기 매엽 반송 컨베이어에 의해 상기 제조 대상물을 매엽 반송으로 반송하는 공정내 매엽 반송 단계를 갖는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 캐리어 취입 단계에서는, 공정간에서 반송되어 오는 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어는 해당하는 공정에서 취입된다.
제조 대상물 이동 단계에서는, 캐리어에 저장된 제조 대상물의 이체가 실행된다. 그리고 이체시킨 제조 대상물은 매엽 반송 컨베이어에 이체된다.
매엽 반송 단계에서는, 공정내에 배치된 제조 대상물의 제조 장치에 대하여, 매엽 반송 컨베이어가 제조 대상물을 매엽 반송에 의해 반송할 수 있다.
이로써, 제조 대상물 이체 수단은, 이 공정내에서 제조 대상물을 투입하고자 하는 순서 혹은 조합에 따라 공정간에서 반송되어 오는 캐리어로부터 공정 내에서 이용하는 캐리어에 제조 대상물의 순서 혹은 조합을 변경하여 저장할 수 있다.
이로써, 캐리어에는 목적지가 동일한 제조 대상물을 탑재할 수 있다. 따라서 이 캐리어에 탑재된 웨이퍼는, 매엽 반송 컨베이어에 대하여 순차적으로 이동하여, 공정내의 어느 제조 장치를 향해 효율적으로 반송될 수 있다. 이로써, 제조 대상물의 반송 효율을 높여서, 반송에 필요한 택트를 짧게 하여, 제조 대상물의 제조 효율을 높일 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 매엽 반송 컨베이어는, 반송 방향을 따라 복수의 가설 스탠드를 갖고, 상기 가설 스탠드는 적어도 1매의 상기 제조 대상물을 유지하는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
이러한 구성에 의하면, 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이다. 매엽 반송 컨베이어에는, 제조 대상물을 처리하기 위한 복수의 제조 장치가 배치되어 있다.
이로써, 목적지가 동일한 웨이퍼는 각 제조 장치에 대하여 순차적이고 효율적으로 반송될 수 있다.
발명의 실시예
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면에 기초하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제조 대상물 반송 장치의 바람직한 실시 형태를 포함하는 반도체 제조 장치의 일례를 나타내고 있다.
도 1에 나타내는 반도체 제조 장치(10)에 있어서의 제조 대상물은 반도체 웨이퍼[이하, 웨이퍼(W)라 함]이다.
이 반도체 제조 장치(10)는, 반도체 제조 시스템이라고도 불리며, 복수의 처리를 실시하는 복수의 공정을 거쳐 웨이퍼를 제조하기 위한 제조 설비이다. 이 웨이퍼(W)는 예컨대 액정 장치의 기판을 제조할 수 있다.
도 1에 도시하는 반도체 제조 장치(10)는, 공정간 반송 컨베이어(11)와 복수 의 공정(이하, 공정이라 함)(13, 14, 19)을 갖고 있다.
도 1의 반도체 제조 장치(10)의 예로는, 도면의 간략화를 위해, 예컨대 3개의 공정(13, 14, 19)이 도시되어 있다.
그러나, 공정의 수는 특별히 한정되는 것이 아니라, 2개이어도 4개 이상이어도 무방하다. 또한 도 1에서는, 공정(13, 14, 19)이, 공정간 반송 컨베이어(11)의 한쪽에서 공정간 반송 컨베이어(11)의 반송 방향(R)을 따라 순차적으로 배열되어 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 공정은 공정간 반송 컨베이어(11)의 일방측과 타방측에 각각 복수 배열되어 있어도 물론 무방하다.
공정간 반송 컨베이어(11)는, 캐리어(15)를 반송 방향으로 반송하여, 공정(13, 14, 19) 중 임의의 하나에 대하여 공급하기 위한 것이다.
본 발명의 실시 형태에 있어서는, 「공정간」란 공정(13, 14, 19) 내의 예컨대 공정(13)과 공정(14) 혹은 공정(14)과 공정(19) 혹은 공정(13)과 공정(19)과 같은 공정의 사이를 말한다.
또한 「공정내」란 공정(13, 14, 19)의 각 내부를 말한다. 「공정」은 「베이」라고도 불리고 있다.
도 1에 도시하는 각 공정(13, 14, 19)에는, 각각 제조 대상물의 반송 장치(16)가 배치되어 있다.
도 1에 도시하는 반도체 제조 장치(10)는, 그 전체가 예컨대 바람직하게는 클린룸 내에 배치되어 있다. 각 공정(13, 14, 19)은 각각 별개로 역시 클린룸 내에 배치되어 있다. 이 클린룸 내는, 천정으로부터 바닥 아래로의 공기의 흐름(다운 플로우)을 발생하고 있어, 이로써 공기 중의 먼지를 제거하여, 규정된 청정도 레벨(청정도 클래스)로 관리되어 있다.
공정(13, 14, 19)은 각각의 매엽 반송 컨베이어(18)를 갖고 있다. 각 매엽 반송 컨베이어(18)는 클린 터널에 의해 분리되어 있다. 이 클린 터널은 웨이퍼(W)가 통과하는 부분을 매우 작은 폐쇄 공간으로 분리하기 위한 것이다.
도 3에 도시하는 바와 같이 클린 터널(30)은 복수의 팬 부착 필터 유닛(FFU)(31)을 갖고 있다. 이 팬 부착 필터 유닛(31)은 클린 터널(30)의 천정에 배치되어 있다. 팬 부착 필터 유닛(31)은 천장으로부터 바닥으로의 공기의 흐름(다운플로우)을 발생하고 있고, 이로써 공기 중의 먼지를 제거하여, 규정된 청정도 레벨(청정도 클래스)로 클린 터널 내를 관리하도록 되어 있다.
도 1의 제조 대상물의 반송 장치(16)는 각 공정(13, 14, 19)에 각각 배치되어 있다. 각 공정(13, 14, 19)은, 예컨대 각각 제조 대상물의 반송 장치(16)와, 하나 또는 복수의 제조 장치(23 내지 26)를 구비하고 있다. 이러한 제조 장치(23 내지 26)는, 예컨대 리소그래피 장치, 성막 장치, 에칭 장치, 세정 장치, 검사 장치와 같은 각종의 웨이퍼 제조 장치이고, 필요한 순서로 배열되어 있다. 이 제조 장치(23 내지 26)는 처리 장치 또는 생산 장치라고도 한다.
일례로서, 도 1에 나타내는 공정(13)은, 예컨대 노광 공정 모듈이고, 공정(14)은, 예컨대 에칭·박리 공정 모듈이고, 그리고 공정(19)은 성막 공정 모듈이다. 각각의 모듈에는 각각의 공정의 처리에 필요한 일련의 장치가, 매엽 반송 컨베이어(18)를 따라 공정 순서대로 나열되어 있는 것이 바람직하다.
그러나 이러한 공정(13, 14, 19)의 모듈의 종류는, 이에 한정되는 것이 아니라 단순한 일례이다.
제 1 실시 형태
도 2는, 도 1에 도시하는 각 공정(13, 14, 19)에 있어서의 제조 대상물 반송 장치(16)를 확대하여 나타내고 있다. 제조 대상물 반송 장치(16)는, 각 공정(13, 14, 19)에 있어서 거의 동일한 구조이기 때문에, 도 2를 참조하면서, 공정(14)과 그 제조 대상물 반송 장치(16)를 대표로 설명한다.
도 1과 도 2에 있어서, 공정간 반송 컨베이어(11)에 의해 반송되어 오는 캐리어(15)는, 후프(FOUP) 혹은 웨이퍼 카세트 등으로도 불리는 것으로, 웨이퍼를 밀폐할 수 있는 것이다.
도 2에 도시하는 공정(14)은, 공정간 반송 컨베이어(11)에 대응하여 설치되어 있다. 공정(14)은 하나의 매엽 반송 컨베이어(18)와, 상술한 복수의 제조 장치(23, 24, 25, 26) 및 제조 대상물 이체 수단(100)을 갖고 있다.
매엽 반송 컨베이어(18)가 웨이퍼를 반송하는 반송 방향은 T로 나타내고 있다. 제조 대상물 이체 수단(100)은 공정간 반송 컨베이어(11)와 제조 장치(23) 사이에 배치되어 있다. 제조 장치(23, 24)는 매엽 반송 컨베이어(18)의 한쪽에 있어서 반송 방향(T)을 따라 배열되어 있다. 동일하게 해서, 다른 2개의 제조 장치(25, 26)는, 반송 방향(T)을 따라 매엽 반송 컨베이어(18)의 다른 한쪽에 배열되어 있다.
도 3은 도 2에 도시하는 제조 대상물 반송 장치(16)와 공정간 반송 컨베이어(11)의 일부의 구체적인 예를 나타내는 사시도이다.
우선, 도 2와 도 3에 도시하는 매엽 반송 컨베이어(18)에 대하여 설명한다.
매엽 반송 컨베이어(18)는 베이스(18A)와 복수의 가설 스탠드(46)를 갖고 있다. 이 매엽 반송 컨베이어(18)는 복수의 웨이퍼(W)를 반송하고자 하는 반송 방향(T)을 따라 무단(endless) 형상으로 반송하기 위한 장치이다. 각 가설 스탠드(46)는, 베이스(18A)상을 반송 방향(T)을 따라 무단 형상으로 이동 가능하다. 각 가설 스탠드(46)는 동일한 간격을 두고 반송 방향(T)을 따라 배열되어 있다.
각 가설 스탠드(46)는 적어도 하나의 웨이퍼 유지부(47)를 갖고 있다. 이 웨이퍼 유지부(47)는 거의 U자형을 갖고 있고, 웨이퍼(W)를 착탈 가능하게 탑재할 수 있다. 이 각 가설 스탠드(46)는 도 3의 도시예에서는 웨이퍼 유지부(47)를 하나 갖고 있다.
그러나, 이 웨이퍼 유지부(47)는, Z 방향, 즉 반송 방향(T)과 수직인 방향을 따라 상측 방향으로 복수 매 간격을 두고 배치될 수 있다.
이와 같이 함으로써, 각 가설 스탠드(46)는 복수의 웨이퍼 유지부(47)를 보유하게 되므로, 각 가설 스탠드(46)는 적어도 1매 또는 복수 매의 웨이퍼(W)를 유지하여 반송할 수 있다. 따라서, 매엽 반송 컨베이어(18)가 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 효율을 높일 수 있다.
도 4는, 도 2에 도시하는 하나의 제조 장치(23)와, 매엽 반송 컨베이어(18)의 일 부분의 구조를 대표로 상세히 나타내고 있다.
제조 장치(23)와 매엽 반송 컨베이어(18) 사이에는, 탑재 이송 로봇(21)과 버퍼(34)가 배치되어 있다. 탑재 이송 로봇(21)은 매엽 반송 컨베이어(18)의 가설 스탠드(46)와 제조 장치(23) 사이에서 웨이퍼(W)를 교환하기 위한 장치이다.
버퍼(34)는 다음과 같은 기능을 갖고 있다. 탑재 이송 로봇(21)이 웨이퍼 유지부(47)로부터 웨이퍼(W)를 수취했을 때에, 즉시 제조 장치(23)측으로 투입할 수 없는 경우에, 그 웨이퍼(W)를 버퍼(34)에 일시적으로 보관시킨다.
동일하게 하여, 탑재 이송 로봇(21)이 제조 장치(23)로부터 처리 완료한 웨이퍼(W)를 수취했을 때에, 즉시 매엽 반송 컨베이어(18)의 웨이퍼 유지부(47)에 탑재할 수 없을 때에는, 그 웨이퍼(W)를 버퍼(34)에 일시적으로 보관시키도록 되어 있다.
이로써, 제조 장치(23)와 가설 스탠드(46) 사이에 있어서의 웨이퍼의 교환이 매끄럽고 또한 효율적으로 실행할 수 있도록 되어 있다.
도 2에 도시하는 제조 장치(23 내지 26)와 매엽 반송 컨베이어(18) 사이에는, 각각 탑재 이송 로봇(21)과 버퍼(34)가 배치되어 있다.
도 4에 도시하는 바와 같이 탑재 이송 로봇(21)과 버퍼(34)는 본체(35)에 의해 구획되어 있다. 이 본체(35)의 상부에는 팬 부착 필터 유닛(FFU)(39)이 설치되어 있다. 이 팬 부착 필터 유닛(39)이 작동함으로써, 본체(35) 내에 공기의 흐름(다운플로우)을 발생시킴으로써, 본체(35) 내를 일정한 청정도로 유지할 수 있다.
또한 도 3과 도 4에 도시하는 매엽 반송 컨베이어(18)의 각 가설 스탠드(46) 는 클린 터널(30)에 의해 피복되어 있다. 클린 터널(30)의 상부에는 팬 부착 필터 유닛(31)이 설치되어 있다. 이 팬 부착 필터 유닛(31)이 작동함으로써, 클린 터널(30) 내의 폐쇄 공간에는 공기의 흐름(다운플로우)이 발생하기 때문에, 클린 터널(30) 내는 소정의 청정도로 유지할 수 있다.
다음에, 도 2와 도 3에 도시하는 제조 대상물 이체 수단(100)의 구조에 대하여 설명한다.
도 2의 제조 대상물 반송 장치(16)는, 보다 상세히 설명하면, 제조 대상물 이체 수단(100)과 매엽 반송 컨베이어(18)에 의해 구성되어 있다. 그리고 이 제조 대상물 이체 수단(100)은, 본체(101)와 2대의 탑재 이송 로봇(40)을 갖고 있다.
탑재 이송 로봇(40)에 대하여 먼저 설명한다.
탑재 이송 로봇(40)은 도 4에 도시한 탑재 이송 로봇(21)과 동일한 구조의 로봇이다. 이 탑재 이송 로봇(40)은 제조 대상물 이체 수단(100)측의 캐리어(15)와 매엽 반송 컨베이어(18)의 가설 스탠드(46)의 웨이퍼 유지부(47) 사이에서 웨이퍼(W)를 교환하기 위한 장치이다.
도 2와 도 3의 예에서는, 2대의 탑재 이송 로봇(40)이, 매엽 반송 컨베이어(18)와 제조 대상물 이체 수단(100) 사이에 배열되어 있다.
도 3에 도시하는 탑재 이송 로봇(40)과 도 4에 도시하는 탑재 이송 로봇(21)의 구조는 도 5와 도 6에 구체적으로 나타내고 있다.
탑재 이송 로봇(21, 40)은 본체(300), 제 1 아암(301), 제 2 아암(302) 및 핸드(303)를 갖고 있다. 제 1 아암(301)은 본체(300)에 대하여 중심축(CL)을 중심으로 하여 회전 가능하다. 제 2 아암(302)은 회전축(CL1)을 중심으로 하여 제 1 아암(301)에 대하여 회전 가능하다. 핸드(303)는 회전축(CL2)을 중심으로 하여 회전 가능한 동시에, 회전축(CL3)을 중심으로 하여 회전 가능하다.
핸드(303)는, 거의 U자형의 아암부(305, 305)를 갖고 있다. 아암(305, 305)에는, 웨이퍼(W)의 외주면을 유지하는 지지부(306)를 갖고 있다.
도 7은 도 5와 도 6에 도시하는 탑재 이송 로봇(21)의 핸드(303)를 나타내고 있다. 이 핸드(303)의 지지부(306)는 웨이퍼(W)의 외주부를 지지하고 있다.
다음에, 제조 대상물 이체 수단(100)의 본체(101)에 대하여, 도 2와 도 3을 참조하면서 설명한다.
제조 대상물 이체 수단(100)은, 캐리어 스토커(200), 웨이퍼 스토커(제조 대상물 스토커에 상당함)(201), 제 1 교환부(203), 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)을 갖고 있다. 이 제조 대상물 이체 수단(100)은, 이 본체(101)와 탑재 이송 로봇(40)을 갖고 있고, 이 탑재 이송 로봇(40)은 제 2 교환부이다.
도 2와 도 3의 캐리어 스토커(200)는 복수 대의 캐리어(15)를 보관(스톡)할 수 있는 능력을 갖고 있다. 캐리어 스토커(200)는 도 2의 예에서는 평면에서 보아 직사각형 형상을 갖고 있다. 캐리어 스토커(200)의 긴 변 방향은 매엽 반송 컨베이어(18)의 반송 방향(T)에 평행하다. 캐리어 스토커(200)는 웨이퍼의 탑재 이송 및 순서 변경 처리측부(211)와, 웨이퍼의 교환측부(웨이퍼의 투입 위치라고도 함)(210)를 갖고 있다.
캐리어 스토커(200)의 교환측부(210)에는, 예컨대 도 2의 예에서는, 최대 6 대의 캐리어(15)를 간격을 두고 배치할 수 있다. 캐리어 스토커(200)의 순서 변경 처리측부(211)에는, 예컨대 최대 3개의 캐리어(15)를 간격을 두고 모두 배치할 수 있다. 캐리어 스토커(200)에 있어서의 각 캐리어(15)의 배열 방향은 반송 방향(T)에 평행한 방향이다.
이와 같이 캐리어 스토커(200)는 복수의 캐리어(15)를 보관할 수 있다. 캐리어 스토커(200)의 교환측부(210)의 방향은 공정간 반송 컨베이어(11)의 반송 방향(R)과 예컨대 직교하는 방향이다.
도 2와 도 3의 캐리어 스토커(200)의 중앙에는 제 1 교환부(203)가 설치된다. 이 제 1 교환부(203)는 캐리어(15)를 캐리어 스토커(200)와 공정간 반송 컨베이어(11) 사이에서 교환하기 위한 캐리어 로봇(220)을 갖고 있다.
제 1 교환부(203)는, 캐리어 로봇(220)뿐만 아니라 가이드 레일(221)을 갖고 있다. 캐리어 로봇(220)은 가이드 레일(221)을 따라 E 방향으로 이동하여 위치 결정 가능하다.
도 3에 예시하는 바와 같이, 캐리어 로봇(220)의 구조는 탑재 이송 로봇(40)과 동일한 구조이다. 캐리어 로봇(220)의 아암(223)은 아암(224)에 대하여 회전 가능하게 지지되어 있다. 아암(224)은 본체(225A)에 대하여 회전 가능하게 지지되어 있다. 아암(223)의 선단에는 핸드(225)가 설치된다. 이 핸드(225)가 캐리어(15)를 착탈 가능하게 유지할 수 있다.
캐리어 로봇(220)이 E 방향으로 이동함으로써, 공정간 반송 컨베이어(11) 상의 캐리어(15)를 캐리어 스토커(200)의 포지션(P1, P2, P3) 중 어느 하나로 운반할 수 있다. 또한 캐리어 로봇(220)은, 캐리어 스토커(200)의 포지션(P1) 내지 포지션(P3)에 위치되어 있는 캐리어(15)를, 포지션(P4) 내지 포지션(P9) 중 어느 것으로 운반할 수 있다.
또한, 제조 장치(23 내지 26)에 의해 처리된 웨이퍼(W)가 수용된 캐리어(15)는 이 캐리어 로봇(220)을 이용하여 공정간 반송 컨베이어(11)측으로 배출할 수 있다.
이와 같이 캐리어 로봇(220)은, 공정간 반송 컨베이어(11)와, 캐리어 스토커(200)상의 예컨대 포지션(P1) 내지 포지션(P9) 사이에서, 교환을 실행할 수 있는 기능을 갖고 있다.
또한, 포지션(P1) 내지 포지션(P3)은 캐리어 스토커(200)의 탑재 이송 및 순서 변경 처리측부(211)에 직렬로 배열되어 있다. 포지션(P4) 내지 포지션(P9)은 캐리어 스토커(200)의 교환측부(210)에 직렬로 배열되어 있다.
다음에, 도 2와 도 3에 도시하는 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)에 대하여 설명한다.
도 3에 구체적으로 나타내는 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)은 웨이퍼 스토커(201)와 캐리어 스토커(200) 사이에 배치되어 있다. 이 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)은, 예컨대 탑재 이송 로봇(40)과 동일한 구조의 로봇(250)과 가이드 레일(251)을 갖고 있다. 로봇(250)은 E 방향을 따라 이동하고 위치결정 가능하다.
도 3에 도시하는 로봇(250)의 핸드(303)는, 캐리어 스토커(200)의 포지션(P1) 내지 포지션(P3)에 탑재된 캐리어(15)와, 웨이퍼 스토커(201)측의 저장 케이스(315) 사이에서, 웨이퍼(W)의 교환을 실행할 수 있다. 로봇(250)은, 이러한 웨이퍼(W)의 이동을 실행함으로써, 포지션(P1 내지 P3)에 있는 캐리어(15) 내에서의 웨이퍼(W)의 배치 순서(재배치라고도 함)를 변경할 수 있도록 되어 있다.
도 3에 도시하는 웨이퍼 스토커(201)는 저장 케이스(315)를 갖고 있다. 이 저장 케이스(315)는 예컨대 캐리어(15)와 같은 구조의 것을 채용할 수 있다. 저장 케이스(315)의 출입구는 포지션(P1) 내지 포지션(P3)에 배치된 캐리어(15)의 출입구에 대향하고 있다. 포지션(P4) 내지 포지션(P9)에 배열된 캐리어(15)의 출입구는 매엽 반송 컨베이어(18)측을 향하고 있다.
다음에, 도 8을 참조하면서, 제조 대상물 반송 장치(16)를 이용한 본 발명의 제조 대상물의 반송 방법의 예에 대하여 설명한다.
도 8에서는, 개략적으로는 캐리어 취입 단계(ST1), 웨이퍼(제조 대상물) 이체 단계(ST2) 및 공정내에서의 매엽 반송 단계(ST3)를 갖고 있다.
또한 웨이퍼 이체 단계(ST2)는 단계(ST2-1) 내지 단계(ST2-4)를 포함하고 있다.
우선 도 8에 나타내는 캐리어 취입 단계(ST1)에 대하여 설명한다.
캐리어 취입 단계(ST1)에서는, 도 2에 나타내는 공정간 반송 컨베이어(11)가 캐리어(15)를 이전 공정, 즉 도 1에 도시하는 공정(13)으로부터 도 2와 도 3에 나타내는 공정(14)에 대하여 반송하여 온다.
이 반송되어 온 캐리어(15)는, 도 3에 도시하는 제 1 교환부(203)의 캐리어 로봇(220)의 작동에 의해, 캐리어 스토커(200)측으로 취입된다.
취입된 캐리어(15)는, 캐리어 로봇(220)의 동작에 의해, 캐리어 스토커(200)의 포지션(P1) 내지 포지션(P3) 중 어느 빈 곳에 위치된다.
다음에, 도 8의 웨이퍼 이체 단계(ST2)의 단계(ST2-1)로 옮겨진다.
단계(ST2-1)에서는, 도 3에 도시하는 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)의 로봇(250)이, 예컨대 포지션(P1)에 위치된 취입 완료 캐리어(15)로부터 웨이퍼(W)를 취출한다.
다음에 단계(ST2-2)로 옮겨지면, 로봇(250)이, 포지션(P1)의 캐리어(15)로부터 취출한 웨이퍼(W)를, 저장 케이스(315)의 소정 단수(段數) 지점으로 이체시킨다. 즉, 로봇(250)이, 포지션(P1)의 캐리어(15) 내에서 웨이퍼(W)를 웨이퍼 스토커(201)의 저장 케이스(315)의 소정 단수에 이체시킨다.
이러한 단계(ST2-1)와 단계(ST2-2)를 반복함으로써, 포지션(P1) 내지 포지션(P3)에 있는 이미 취입된 캐리어(15)로부터는, 웨이퍼 스토커(201)의 저장 케이스(315)에 대하여 웨이퍼(W)를 저장하여 간다.
다음에, 도 8의 단계(ST2-3)에 도시하는 바와 같이, 도 3의 로봇(250), 즉 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)의 로봇(250)은 저장 케이스(315)로부터, 비어 있는 포지션(P1) 내지 포지션(P3)의 캐리어(15), 예컨대 포지션(P3)의 빈 캐리어(15)에 대하여, 소정 순서로 웨이퍼(W)를 저장해 간다. 탑재 이송 로봇(40)에 의해 캐리어 스토커(200)로부터 매엽 반송 컨베이어(18)의 웨이퍼 유지부(47)측으로 소정 순서로 웨이퍼(W)를 이동하여 투입해 가는 점을 고려하여, 포지션(P3)의 캐리어(15) 내에는 웨이퍼(W)가 저장되어 간다.
다음에, 단계(ST2-4)에서는, 도 3에 도시하는 캐리어 로봇(220)이, 포지션(P3)의 캐리어(15)를, 예컨대 비어 있는 포지션(P6)으로 이체시킨다. 그리고, 탑재 이송 로봇(40)이, 포지션(P6)에 위치된 캐리어(15) 내에 저장된 웨이퍼(W)를, 순차적으로 매엽 반송 컨베이어(18)의 가설 스탠드(46)의 웨이퍼 유지부(47)로 이체시킨다.
다음에, 도 8의 공정내에서의 매엽 반송 단계(ST3)로 옮긴다.
이 단계(ST3)에서는, 도 2의 매엽 반송 컨베이어(18)의 각 가설 스탠드(46)는 반송 방향(T)으로 반송된다. 가설 스탠드(46)가 반송 방향(T)으로 반송됨으로써, 도 4에 도시하는 바와 같이 투입 순서를 고려하여 투입된 웨이퍼(W)가 제조 장치(23)의 앞에 도달한다.
도 4에 도시하는 탑재 이송 로봇(21)이, 이 가설 스탠드(46)의 웨이퍼 유지부(47) 상에 있는 웨이퍼(W)를 제조 장치(23) 측으로 이체시킨다. 이 때에, 웨이퍼(W)가 제조 장치(23)에 대하여 즉시 투입될 수 없는 경우에는, 웨이퍼(W)를 버퍼(34)에 일시적으로 보관한다.
제조 장치(23)에 의해 처리된 후의 웨이퍼(W)는, 비어 있는 가설 스탠드(46)의 웨이퍼 유지부(47)로 이동시킨다. 이 때에, 즉시 웨이퍼(W)를 웨이퍼 유지부(47)로 이체시킬 수 없는 경우에는, 처리된 웨이퍼(W)는 버퍼(34)에 일시적으로 보관한다.
이와 같이, 도 2와 도 3에 도시하는 제조 대상물 이체 수단(100)은, 매엽 반송 컨베이어(18)에 접속되어 있는 제조 장치(23 내지 26)의 가동 상태를 고려하여, 처리하고자 하는 웨이퍼(W)를 매엽 반송 컨베이어(18)측으로 투입하는 투입 순서를 결정하여 투입하여 간다.
도 2에 도시하는 제조 장치(23 내지 26)가 즉시 웨이퍼(W)를 수취할 수 없을 때에는, 캐리어(15)가 포지션(P4) 내지 포지션(P9)에 위치된 상태로 되어, 바로는 도 2의 탑재 이송 로봇(40)이 캐리어(15)로부터 웨이퍼(W)를 웨이퍼 유지부(47) 측으로 이체시키지 않도록 한다. 이 구체예로서는, 제조 장치(23 내지 26) 중 어느 하나가 고장나거나 혹은 유지 보수를 위해 생산할 수 없는 경우가 고려된다.
예컨대 제조 장치(23)에 대하여 동일 단계에서 복수 매의 웨이퍼(W)를 처리할 필요가 있는 경우에는, 동일 단계의 복수 매의 웨이퍼(W)는 포지션(P4) 내지 포지션(P9) 중 어느 캐리어(15)에 정리하여 저장되어 있다.
예컨대, 제조 장치(23)가 다른 단계에서 웨이퍼를 처리하는 경우에는, 그 단계가 개시될 때까지는, 포지션(P1) 내지 포지션(P3) 또는 포지션(P4) 내지 포지션(P9)에 위치하고 있는 캐리어(15) 내에 웨이퍼(W)를 저장한 상태로 하여 둔다.
도 3의 매엽 반송 컨베이어(18)의 웨이퍼 유지부(47)에 대하여 웨이퍼(W)를 투입할 수 있는 상태로 되면, 캐리어(15)가 바람직하게는 포지션(P1) 내지 포지션(P3)으로부터 포지션(P4) 내지 포지션(P9)으로 이동되도록 하는 것이 가장 좋다. 포지션(P1) 내지 포지션(P3)은, 이른바 캐리어(15)의 대기 위치이고, 포지션(P4) 내지 포지션(P9)은 캐리어(15)의 웨이퍼(W)가 웨이퍼 유지부(47)에 투입되는 투입 위치라 부를 수 있다.
제 2 실시 형태
도 9는 본 발명의 제조 대상물 반송 장치의 제 2 실시 형태를 나타내고 있다.
도 9에 도시하는 제 2 실시 형태가, 도 2와 도 3에 나타내는 제 1 실시 형태와 상이한 것은, 매엽 반송 컨베이어(18)와, 제조 대상물 이체 수단(100) 사이에, 제 2 교환부로서의 합계 6대의 탑재 이송 로봇(40)이 배치되어 있다는 점이다.
이 탑재 이송 로봇(40)은 포지션(P5) 사이에는 3대가 배치되어 있다. 동일하게, 예컨대 포지션(P8)과 매엽 반송 컨베이어(18) 사이에도 3대의 탑재 이송 로봇(40)이 배치되어 있다. 3대의 탑재 이송 로봇(40)으로 이루어지는 그룹에는 하나의 트레이(400)가 설치된다. 이 트레이(400)는, 교환측부(210) 측의 1대의 탑재 이송 로봇(40)과, 매엽 반송 컨베이어(18) 측의 2대의 탑재 이송 로봇(40) 사이에 위치하고 있다. 이와 같이, 적어도 3대의 탑재 이송 로봇(40)과 트레이(400)가 설치되면 다음과 같은 장점이 있다.
포지션(P4) 내지 포지션(P9)에 위치하고 있는 어느 한 지점의 캐리어(15)로부터 매엽 반송 컨베이어(18)측으로 웨이퍼(W)를 투입해 가는 경우에, 매엽 반송 컨베이어(18)측의 탑재 이송 로봇이 2대씩 설치되어 있다.
이 때문에, 웨이퍼(W)가 매엽 반송 컨베이어(18)측으로 투입되는 시간은 도 2의 제 1 실시 형태에 비하여 짧게 될 수 있다. 즉, 교환측부(210) 측의 탑재 이송 로봇(40)이 트레이(400)에 웨이퍼(W)를 탑재한 후에, 트레이(400)에 탑재된 복수 매의 웨이퍼(W)는, 2대의 탑재 이송 로봇(40)을 이용하여, 매엽 반송 컨베이어(18) 측으로 짧은 시간에 탑재 이송하여 투입해 갈 수 있다.
이와 같이 본 발명의 상술한 실시 형태에서는, 예컨대 도 2와 도 3에 도시하거나 혹은 도 9에 도시하는 제조 대상물 이체 수단(100)이, 공정간 반송 컨베이어(11)로 운반되어 온 캐리어(15)를 취입하여 보관한다. 그리고, 제조 대상물 이체 수단(100)은 스토커 내의 웨이퍼(W)를 웨이퍼 스토커(201) 측에 보관한다.
웨이퍼 스토커(201) 측의 웨이퍼(W)는, 제조 대상물의 탑재 이송 및 순서 변경 수단(204)을 이용하여 다시 빈 캐리어(15) 내로 순서를 고려하여 투입된다. 이 경우의 웨이퍼(W)의 캐리어(15)에 있어서의 배열 순서는, 예컨대 제조 장치(23 내지 26)의 가동 상태를 고려하여, 웨이퍼(W)가 매엽 반송 컨베이어(18)로 투입되는 순서에 따라 결정된다.
캐리어(15)는 포지션(P1) 내지 포지션(P3)에 보관되어 있지만, 웨이퍼의 투입 시기가 오면, 캐리어(15)는 포지션(P4) 내지 포지션(P9) 중 비어 있는 장소로 이체되는 것이 바람직하다. 이로써, 웨이퍼(W)가 가설 스탠드(46)의 웨이퍼 유지부(47) 측으로 투입되는 시기가 오면, 탑재 이송 로봇(40)이, 포지션(P4) 내지 포지션(P9) 중 어느 캐리어 내의 웨이퍼(W)를 매엽 반송 컨베이어(18)측에 제조 장치(23 내지 26)의 가동 상태를 고려한 투입 순서로 투입할 수 있는 것이다.
각 포지션(P4) 내지 포지션(P9)에 배치되는 캐리어(15) 내에는, 목적지가 동일한 웨이퍼(W)가 복수 매 저장된다. 예컨대 목적지가 동일한 웨이퍼(W)란, 예컨대 제조 장치(23)에 있어서 처리되는 웨이퍼이다. 마찬가지로 제조 장치(24 내지 26)에 있어서도 각각 동일한 목적지의 웨이퍼가 반송되어 처리되는 것이다.
도 2와 도 3에 도시하는 캐리어 스토커(200)의 교환측부(210)는, 웨이퍼(W)의 투입 위치에 상당한다. 이에 대하여, 캐리어 스토커(200)의 탑재 이송 및 순서 변경 처리측부(211)는, 제조 장치의 가동 상태를 고려하여 결정되는 투입 순서, 즉 웨이퍼(W)의 정렬 처리 순서를 실행하는 위치이다.
본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 특허 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위에서 여러 변경을 실행할 수 있다.
상기 실시 형태의 각 구성은, 그 일부를 생략하거나, 상기와는 상이하도록 임의로 조합할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 있어서는, 제조 대상물의 일례로서 반도체 웨이퍼(W)를 예로 들고 있다. 그러나 이에 한정하지 않고, 제조 대상물로는, 예컨대 액정 표시 장치에 이용되는 기판 또는 기판용의 웨이퍼이어도 물론 상관없다.
본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 특허 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위에서 여러 변경을 실행할 수 있다.
상기 실시 형태의 각 구성은, 그 일부를 생략하거나, 상기와는 상이하도록 임의로 조합할 수 있다.
본 발명은, 공정간에서 반송되어 오는 캐리어에 저장되어 있는 제조 대상물을, 공정내에 투입할 때의 효율을 고려한 순서 혹은 조합으로 적극적으로 전환하여, 대상으로 되는 제조 장치로 반송할 수 있는 제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법을 제공하는 효과를 갖는다.

Claims (7)

  1. 복수의 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입한 후에, 상기 공정내에 배치된 상기 제조 대상물의 제조 장치에 상기 제조 대상물을 매엽 반송에 의해 반송하는 매엽 반송 컨베이어에, 상기 캐리어 내의 상기 복수의 제조 대상물을 이체시키는 제조 대상물 반송 장치에 있어서,
    상기 공정내에 배치되어 있고, 상기 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하는 상기 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입하고 상기 제조 대상물의 이체를 실행하기 위한 제조 대상물 이체 수단을 구비하며,
    상기 제조 대상물 이체 수단은,
    복수의 상기 캐리어를 유지하기 위한 캐리어 스토커와,
    상기 공정간에서 반송되어 온 상기 캐리어를 상기 캐리어 스토커에 취입하고, 또 상기 캐리어 스토커로부터 상기 캐리어를 취출하기 위한 제 1 교환부와,
    상기 제조 대상물을 보관하는 제조 대상물 스토커와,
    상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어가 저장하고 있는 상기 제조 대상물을 상기 제조 대상물 스토커에 이체시키고, 상기 제조 대상물 스토커에 있는 상기 제조 대상물을 상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어에 다시 저장함으로써, 상기 제조 대상물의 배치 순서를 변경하기 위한 제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단과,
    상기 캐리어의 순서 변경 완료된 제조 대상물을 상기 캐리어와 상기 매엽 반송 컨베이어 사이에서 교환하기 위한 제 2 교환부를 갖는 것을 특징으로 하는
    제조 대상물 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 매엽 반송 컨베이어는 반송 방향을 따라 복수의 가설 스탠드를 갖고, 상기 가설 스탠드는 적어도 1매의 상기 제조 대상물을 유지하는 것을 특징으로 하는
    제조 대상물 반송 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 교환부는 적어도 하나의 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있고, 상기 제 2 교환부가 복수의 상기 탑재 이송 로봇으로 구성되어 있는 경우에는, 상기 탑재 이송 로봇 사이에 상기 제조 대상물의 트레이가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는
    제조 대상물 반송 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 제조 대상물을 처리하기 위한 복수의 제조 장치가 상기 매엽 반송 컨베이어를 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하는
    제조 대상물 반송 장치.
  6. 복수의 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입한 후에, 상기 캐리어 내의 상기 제조 대상물을 다른 캐리어에 이체시켜 반송하기 위한 제조 대상물 반송 방법에 있어서,
    상기 공정간에서 반송되어 온 복수의 제조 대상물을 저장하고 있는 상기 캐리어를 해당하는 상기 공정에 취입하는 캐리어 취입 단계와,
    상기 캐리어에 저장된 상기 제조 대상물의 이체를 실행하고, 상기 이체시킨 제조 대상물을 매엽 반송 컨베이어에 이체시키기 위한 제조 대상물 이체 단계와,
    상기 공정내에 배치된 상기 제조 대상물의 제조 장치에 대하여, 상기 매엽 반송 컨베이어에 의해 상기 제조 대상물을 매엽 반송으로 반송하는 공정내에서의 매엽 반송 단계를 포함하며,
    상기 제조 대상물 이체 단계는 제조 대상물 이체 수단에 의해 수행되며, 상기 제조 대상물 이체 수단은,
    복수의 상기 캐리어를 유지하기 위한 캐리어 스토커와,
    상기 공정간에서 반송되어 온 상기 캐리어를 상기 캐리어 스토커에 취입하고, 또 상기 캐리어 스토커로부터 상기 캐리어를 취출하기 위한 제 1 교환부와,
    상기 제조 대상물을 보관하는 제조 대상물 스토커와,
    상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어가 저장하고 있는 상기 제조 대상물을 상기 제조 대상물 스토커에 이체시키고, 상기 제조 대상물 스토커에 있는 상기 제조 대상물을 상기 캐리어 스토커에 있는 상기 캐리어에 다시 저장함으로써, 상기 제조 대상물의 배치 순서를 변경하기 위한 제조 대상물 탑재 이송 및 순서 변경 수단과,
    상기 캐리어의 순서 변경 완료된 제조 대상물을 상기 캐리어와 상기 매엽 반송 컨베이어 사이에서 교환하기 위한 제 2 교환부를 갖는 것을 특징으로 하는
    제조 대상물 반송 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제조 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 매엽 반송 컨베이어는 반송 방향을 따라 복수의 가설 스탠드를 가지며, 상기 가설 스탠드는 적어도 1매의 상기 제조 대상물을 유지하는 것을 특징으로 하는
    제조 대상물 반송 방법.
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