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KR100563172B1 - 감소된 수분 흡수성을 가지는 개선된 연마 패드 - Google Patents

감소된 수분 흡수성을 가지는 개선된 연마 패드 Download PDF

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KR100563172B1
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라예브 바자
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Abstract

평탄화 효율 및 견고함의 개선을 위해 증가된 내흡수성을 가지는 연마 패드 또는 벨트 또는 기타 장치. 비교적 내습성인 연마 패드는 양호한 슬러리 분포를 위해 패드 표면 습윤도를 향상시키는 첨가제를 포함한다.
연마 패드, 내수성, 습윤, 첨가제, 평탄화 효율

Description

감소된 수분 흡수성을 가지는 개선된 연마 패드 {Improved Polishing Pad with Reduced Moisture Absorption}
본 발명의 목적은 개선된 평탄화 효율 및 견고함을 위한 증가된 내흡수성 (resistance to moisture absorption)을 가지는 연마 패드 또는 벨트 또는 기타 장치를 제공하는 것이다.
현재 이용가능한 연마 패드 (전형적으로, 폴리우레탄 발포체)는 쉽게 수분을 흡수하기 때문에 효율 및 견고함에 있어서 제한되어 있다. 사용시, 연마 패드는 수성 슬러리 및 세정액과 계속적으로 접촉한다. 수분 흡수는 하기의 두 가지 방법으로 연마 패드의 성능에 영향을 준다.
1) 물리적 및 화학적 열화를 통하여 연화, 팽윤 또는 강도의 손실은 연마 패드의 감소된 평탄화 효율 및 감소된 수명을 야기시키며,
2) 사용 중의 패드 성능 및 일체성에 있어서 점차적인 변화는 고르지 않고 견고하지 못한 성능을 초래한다.
수분 흡수가 감소되거나 열화에 대한 저항이 증가된 연마 패드를 만들고자 하는 앞선 시도들은 패드가 너무 소수성이기 때문에 불량한 습윤, 불충분한 슬러리 분포 및 감소된 제거율을 야기하기 때문에 제한되어 왔다. 본 발명은 일반적으로 친수성 첨가제를 사용하여 소수성 연마 패드의 한계를 극복하였다.
<발명의 요약>
본 발명은 상대적으로 양호한 슬러리 분포를 위한 패드 표면 습윤도를 향상시키는 첨가제가 있는 내수성 연마 패드를 포함한다.
본 발명의 기재는 패드에 관한 것이지만, 본 발명은 시트, 벨트, 디스크, 롤러 및 다발 (bob)형을 포함하나 이에 제한되지 않는 임의의 적합한 형태 또는 모양일 수 있다.
연마 패드 매트릭스 물질은 24 시간 동안 적신 후 4% 미만의 수분을 흡수하는 열가소성 및 가교된 물질을 포함하는 임의의 중합체 물질 또는 임의의 중합체 물질들의 조합일 수 있다.
연마 패드는 다공성 구조를 포함할 수 있다. 다공도는 블로잉, 발포 (frothing) 및 충전 또는 비충전된 중공 미량원소의 함유를 포함하지만 이에 제한되지 않는 임의의 적합한 방법으로 달성될 수 있다. 기공은 크기, 모양 및 품질 (개방 또는 밀폐형 기포)의 임의의 조합 또는 분포일 수 있다.
연마 패드는 천연적으로 또는 임의의 적합한 방법에 의해 형성된 임의의 형태의 텍스쳐(texturing)를 포함할 수 있다. 텍스쳐는 제조 과정 중에 형성될 수 있거나, 사용 중에 형성될 수 있다.
슬러리의 습윤 및 분포를 개선하는 데 적합한 첨가제는 계면활성제와 같은 임의 형태의 친수성 첨가제, 및 폴리우레탄, 폴리아미드 및 폴리에스테르를 포함하나 이에 제한되지 않는 비교적 극성인 중합체 물질을 포함한다. 첨가제는 액체, 고체, 반고체 또는 고체와 액체의 조합일 수 있다. 첨가제는 연마 패드 중의 다른 물질과 반응 또는 비반응성일 수 있다. 첨가제는 중합체 매트릭스 내 또는 연마 물질의 기공 내에 위치할 수 있다. 첨가제는 임의의 모양, 크기 또는 분포일 수 있으며, 추가의 기능 (예를 들어, 친수성 중공 비즈가 습윤도를 증가시키고 다공성을 형성하는 데 사용됨)을 수행할 수 있다. 첨가제는 제자리에 남아 연마 물질과 함께 마멸될 수 있거나, 터져 나오거나 (pop out) 번져 (smear) 코팅하거나, 충전하거나 또는 달리 패드 표면과 슬러리 사이에 상호 작용을 향상시킬 수 있다.

Claims (14)

  1. 소수성 중합체 매트릭스 물질 및 친수성 또는 비교적 극성인 중합체 첨가제를 포함하는, 양호한 슬러리 분포를 위해 패드 표면을 충분하게 습윤시키는 비교적 내수분성 연마 패드.
  2. 제1항에 있어서, 패드가 시트, 벨트, 디스크, 롤러 또는 다발 (bob)의 형태 또는 모양인 비교적 내수분성 연마 패드.
  3. 제1항에 있어서, 소수성 중합체 매트릭스 물질이 24 시간 적신 후에 4% 미만의 수분을 흡수하는 열가소성 또는 가교된 물질인 비교적 내수분성 연마 패드.
  4. 제1항에 있어서, 패드가 개방 또는 밀폐형 기포를 가지는 다공성인 비교적 내수분성 연마 패드.
  5. 제1항에 있어서, 텍스쳐된 비교적 내수분성 연마 패드.
  6. 제1항에 있어서, 친수성 첨가제가 친수성 계면활성제인 비교적 내수분성 연마 패드.
  7. 제1항에 있어서, 비교적 극성인 중합체 첨가제가 폴리우레탄, 폴리아미드 또는 폴리에스테르인 비교적 내수분성 연마 패드.
  8. 제1항에 있어서, 첨가제가 액체, 고체, 반고체 또는 고체와 액체의 조합인 비교적 내수분성 연마 패드.
  9. 제1항에 있어서, 첨가제가 패드 내의 다른 물질과 반응성인 비교적 내수분성 연마 패드.
  10. 제1항에 있어서, 첨가제가 중합체 매트릭스 내에 위치하는 비교적 내수분성 연마 패드.
  11. 제4항에 있어서, 첨가제가 패드의 기공 내에 위치하는 비교적 내수분성 연마 패드.
  12. 제1항에 있어서, 첨가제가 습윤도를 증가시키고 다공성을 형성하는 데 사용되는 친수성 중공 비즈인 비교적 내수분성 연마 패드.
  13. 삭제
  14. 제1항에 있어서, 첨가제가 패드 내의 다른 물질과 비반응성인 비교적 내수분성 연마 패드.
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