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KR100312432B1 - 마이크로 구조체를 이용한 광스위치 - Google Patents

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KR100312432B1
KR100312432B1 KR1019990052684A KR19990052684A KR100312432B1 KR 100312432 B1 KR100312432 B1 KR 100312432B1 KR 1019990052684 A KR1019990052684 A KR 1019990052684A KR 19990052684 A KR19990052684 A KR 19990052684A KR 100312432 B1 KR100312432 B1 KR 100312432B1
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optical
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Abstract

대용량 정보 교환을 위한 광 통신(optical communication) 시스템에 있어서, 광 신호의 전달 방향을 바꾸기 위한 광 스위치(optical switch)의 구조가 개시된다. 본 발명은 상기 광 경로 변경을 위하여 일 측에 거울면을 구비하며 이 거울면에 평행한 방향으로 전·후진 구동이 가능한 가동 구조체(mobile structure)와, 상기 가동 구조체의 전·후진 구동 방향과 수직 방향으로 가동 구조체의 양쪽에 연결되어, 래치-업 기능을 가질 수 있도록 만곡된 형상(shallow arch)으로 적어도 한 쌍 이상 설치된 얇은 판 스프링(leaf spring), 및 상기 가동 구조체를 움직이기 위한 액츄에이터(actuator)로 포함하며, 상기 만곡된 판 스프링의 구동 전압을 낮추기 위하여, 상기 판 스프링의 연결부위인 양쪽 끝에 판 스프링과 수직으로 연결되는 탄성체를 중간에 삽입하여 축 방향에 대한 운동 자유도를 높이며, 상기 탄성체로는, 상기 'I'형 빔, 굴곡을 가진 다층 스프링, 또는 각도 변형이 가능한 'S'형상의 빔이 사용된다.

Description

마이크로 구조체를 이용한 광스위치{Optical Switch using Micro Structures}
본 발명은 대용량 정보 교환을 위한 광 통신(optical communication) 시스템에 있어서, 광 신호의 전달 방향을 바꾸기 위한 광 스위치(optical switch)의 구조에 관한 것이다.
광 통신 시스템은 고속, 고성능의 정보 전달을 가능하게 한다. 예를 들면, 초당 100∼2,500 메가 펄스까지도 전송할 수 있다. 이러한 광 전송의 방향을 바꾸어 주는 스위치는 보통 입력(M개)과 출력(N개)의 개수로 정의된다.
도 1a는 일반적인 광 스위치에서 사용되는 레이아웃(layout) 구조로서, 입력이 2개, 출력이 2개인 2 ×2 매트릭스 구조의 광 스위치를 나타낸다.
도 1a를 참조하면, 각각의 엑츄에이터(actuator)의 끝에는 45°의 각도로 기울어진 거울면(13a∼13d)들이 있어, 빛이 입사할 경우 이를 반사(reflection)시키는 기능을 가지고 있으며, 광 섬유 A(181), 광 섬유 B(182)에서 나온 광이 엑츄에이터 a(111)와 엑츄에이터 d(114)의 ON 방향 작동에 의하여 제1 거울면(mirror surface)(13a)과 제4 거울면(13d)이 앞으로 튀어나와 광 경로(optical path)를 변환시킴으로써, 광 섬유 C(183)와 광섬유 D(184)로 각각 입사되는 것을 보여준다.
도 1b를 참조하면, 광 섬유 A(181), 광 섬유 B(182)에서 나온 광이 엑츄에이터 b(112), 엑츄에이터 c(113)의 ON 방향 작동에 의하여, 제2 거울면(13b)과 제3 거울면(13c)이 앞으로 튀어나와 광 경로를 변환시킴으로써, 광 섬유 D(184), 광 섬유 C(183)로 각각 입사되는 것을 나타낸다.
이와 같이, M개의 광 섬유에서 나온 광 신호를 다른 N개의 광 섬유로 임의로 배치하기 위해서는 M×N개의 엑츄에이터가 필요하다. 상기 광 섬유의 입력단에는마이크로 렌즈용 홈(14)이 있어, 평행광화(collimation)를 위한 입력용 마이크로 렌즈(15)를 장착할 수 있으며, 마찬가지로 광 섬유의 출력단에도 마이크로 렌즈용 홈(14)이 있어 집속화(focusing)를 위한 출력용 마이크로 렌즈(16)를 장착할 수 있다. 상기 출력용 마이크로 렌즈(16)에서 나온 광은 트렌치(trench)(17)를 따라 진행하며, 광의 발산(divergence)에 의한 손실을 줄이기 위하여 광 도파로(waveguide)를 사용하는 것이 필요하다.
이러한 광 스위치 분야에 있어서, 특허로서 개시된 기존 기술 현황을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, General Electric의 미국특허공보 5,208,880호에는 여러번 굴곡된 스프링 중앙에 거울이 붙어 있는 구조로서, 이를 압전형(piezoelectric) 액츄에이터로 구동함으로써 M×N의 매트릭스 형태로 광 경로를 변경할 수 있는 기술이 개시되어 있다. 이 구조는 낮은 전압으로 긴 구동거리를 얻을 수 있다는 장점이 있으나, 거울의 위치 제어(position control)의 정밀도가 저하될 수 있다는 단점이 있다.
Hewlett-Packard의 미국특허공보 5,446,811에는 단면적(cross-sectional area)이 다른 막대기 2개가 'ㄷ' 자형으로 연결된 구조물을 이용한 것으로, 여기에 전류를 흘리면 단면적이 작은 쪽의 저항이 크기 때문에 열이 많이 발생하게 되고, 그 결과 열 팽창(thermal expansion)이 상대적으로 커지기 때문에 단면적이 넓은 쪽으로 막대기가 휘어지게 된다. 따라서, 이 막대기 위에 광 섬유를 안착시킬 수 있는 홈(groove)을 만들어 광 섬유를 구동하게 하면 1xN의 광 스위치 기능을 가지게 된다. 이 구조는 열 구동(thermal actuation) 방식을 취하기 때문에전력소모(power consumption)가 많고 구동이 평행이동이 아닌 회전을 하게 되므로 출력 광 섬유에 대한 각도 오차가 발생하게 되어 손실이 발생할 수 있다. 더구나 입력 광 섬유를 복수 개로 할 수 없으므로 MxN의 매트릭스 스위치로 제작할 수 없다는 단점이 있다.
한편, Alcatel(프랑스)의 특허(미국 4,759,597)에서는 시소(seesaw) 형태의 구조물에 광 섬유를 붙이고, 시소가 어느 한쪽에 머무는 위치에 맞추어 광 섬유 2개를 각각 배치하면, 위 특허와 마찬가지로 1x2의 광 스위치 기능을 가지게 된다. 이 구조는 어느 한 상태에서 광 섬유의 정렬 정밀도는 우수하나, 1x2로 제한되어 확장성(scalable) 문제가 심각하다.
이번에는 논문에 발표된 기술 현황을 고찰한다. AT&T(IEEE, Photonics Technology Letters, vol. 10, no. 4, pp. 525-527, April 1988)에서는 실리콘 표면에 만들어진 거울면을 SDA(Scratched Drive Actuator)를 이용하여 수직으로 세움으로써 광 경로를 변환하고 있다. 그러나, 이 방법은 100볼트, 500MHZ의 구동전압이 별도로 필요하며, 또한 심각한 마모(wear)와 함께 거울의 위치 오차가 광경로에 영향을 주는 구조이기 때문에 정확한 위치제어를 위한 피드백 제어가 필요하다.
동경대(J. MEMS, vol. 5, no. 4, pp. 231-237, Dec 1996)에서는 실리콘 표면위에 만들어진 거울면을 수직으로 회전시키고, 별도의 기판을 제작하여 아래에 붙이므로써 거울면이 안착되도록 한 광 스위치를 발표하였다. 이 구조는 구동에 100V의 고전압이 필요하며, 제작과정에서 임시적인 서포트(support) 구조가 필요하여 양산성(productivity)에 문제가 있다.
다른 예로서는 미시간 대한(J.MEMS, vol. 7, no. 2, pp. 207-213, Dec 1998)에서 발표한 것으로 평면적으로 만들어진 엑츄에이터에 수직 거울을 부착한 광 스위치 구조를 구현하였으나, 이것은 OFF 상태에서도 50볼트 이상의 구동전압을 인가하여야 한다.
이상과 같이 분석된 특허 및 논문을 검토해 볼 때, 기존 기술은 위치정밀도, 전력소모, 확장성 또는 양산성 등에서 개선의 여지가 있음을 알 수 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 종래 기술이 갖는 문제점을 해결하기 위하여 만곡된 판 스프링에 의한 래치업 구조를 구비함으로써 성능이 개선된 광 통신용 광 스위치를 제공하는데 있다.
도 1은 일반적인 2×2 매트릭스형 광 스위치의 레이아웃도,
도 2는 광 스위치용 엑츄에이터가 연결(ON) 상태일 때의 구조도,
도 3은 광 스위치용 엑츄에이터가 절연(OFF) 상태일 때의 구조도,
도 4는 종래의 직선형 판 스프링을 갖는 광 스위치의 동작을 설명하기 위한 도면,
도 5는 본 발명에 의한 만곡된 판 스프링을 갖는 광 스위치의 동작을 설명하기 위한 도면,
도 6은 판 스프링의 연결 방법을 설명하기 위한 도면,
도 7은 본 발명에 의한 광 스위치에서의 거울면의 변형예를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 광 경로를 변경시키기 위한 광 통신용 광 스위치에 있어서, 상기 광 경로 변경을 위하여 일 측에 거울면을 구비하며 이 거울면에 평행한 방향으로 전·후진 구동이 가능한 가동 구조체(mobile structure)와, 상기 가동 구조체의 전·후진 구동 방향과 수직 방향으로 가동 구조체의 양쪽에 연결되어, 래치-업 기능을 갖을 수 있도록 만곡된 형상(shallow arch)으로 적어도 한 쌍 이상 설치된 얇은 판 스프링(leaf spring), 및 상기 가동 구조체를 움직이기 위한 액츄에이터(actuator)로 포함하여 구성된 광 스위치에 의해 제공된다.
바람직하게, 상기 만곡된 판 스프링의 구동 전압을 낮추기 위하여, 상기 판 스프링의 연결부위인 양쪽 끝에 판 스프링과 수직으로 연결되는 탄성체를 중간에 삽입하여 축 방향에 대한 운동 자유도를 높이며, 상기 탄성체로는, 상기 판 스프링에 수직으로 연결되는 'I'형 빔, 굴곡을 가진 다층 스프링, 및 각도 변형이 가능한 'S'형상의 빔 중의 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가동 구조체는 재료 및 구동의 안정성과 집적 회로화에 우수한 결정 실리콘 및 다결정 실리콘 중의 어느 하나로 구성되며, 상기 가동 구조체의 하부에, 실리콘 산화막으로 이루어진 희생층(sacrificial layer)을 더 포함하는 것이 바람직하다.
보다 바람직하게, 상기 거울면은 광 신호의 확산(divergence)을 감소시킬 수 있도록 오목 렌즈(concave lens) 형상의 1차원 또는 2차원의 거울면을 구비하며, 상기 거울면의 표면에 광의 반사 효율을 높이기 위하여, 알루미늄, 금, 및 니켈 중의 어느 하나의 금속을 증착하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써 본 발명을 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 2는 광 스위치용 엑츄에이터가 연결(ON) 상태일 때의 구조도를 나타낸다.
도 2를 참조하면, 광 경로를 변경시키기 위하여 거울면(13)이 형성된 구조체에 있어서 거울면(13)에 평행한 방향으로 구동이 가능하도록 가동구조체(mobile structure)(21)를 구현하기 위하여, 얇은 판 스프링(leaf spring)(26)을 가동구조체(21)의 양쪽에 연결하였다. 판 스프링(26)의 다른 한 쪽은 고정부(anchor)(22)에 연결되어 광 스위치가 기판(27)위에서 일정한 위치에 있도록 해준다.
구동방향이 기울어지지 않고 거울면 방향(X)으로만 안정적으로 구동하기 위해서는, 이와 같은 판 스프링(26)을 도 2에 도시한 바와 같이, 2쌍 이상을 붙이는 것이 바람직하다.
도 2와 도 3은 가동구조체(21)를 움직이기 위한 엑츄에이터의 예시를 보여 준다. 도 2는 ON 상태의 스위치를 보인 것으로서, 전진(forwarding) 금속 전극(metal electrode)(34)에 전압을 인가하고 후진(backwarding) 금속전극(35)에 전압을 인가하지 않으면, 접지된 전진 가동 전극(211)과 전진 고정 전극(32) 사이의 정전력(electrostatic force)에 의하여 돌출부(12)위에 있는 거울면(13)이 있는 가동구조체(21)가 앞으로 움직여 광신호의 방향을 90도로 전환시킨다. 한편, 도 3은 스위치가 OFF 상태로서, 위와는 반대로 전진 금속 전극(35)에 전압을 인가하지 않고 후진 금속 전극(35)에 전압을 인가하면 거울면(13)이 있는 가동구조체(21)가 뒤쪽으로 움직여 광신호가 그대로 직진을 한다.
이때, 판 스프링(26)의 형태가 도 4a와 같이 직선인 경우, 전진방향의 전압을 끊으면 도 4b와 같이, 판 스프링(26)의 복원력(restoring force)(rf)에 이하여 점선으로 표시한 중앙의 평형 위치로 구조체가 되돌아 오게 된다. 마찬가지로, 후진방향의 전압을 끊으면 도 4c에 도시한 바와 같이, 판 스프링(26)의 복원력(rf)에의하여 점선으로 표시한 중앙의 평형 위치(42)로 구조체가 되돌아 오게 되어 래치업(latch-up) 기능이 없다는 단점이 있다.
전술한 문제로 인한 광 스위치의 전력소모를 줄이기 위해서는 래치-업 기능이 있도록 판 스프링(26)의 형태를 설계할 필요가 있다.
도 5a는 초기에 만곡된 형태(shallow arch)의 판 스프링(260a)을 보인 것이며, 여기에 반대 방향으로 일정한 임계 힘(critical force) 이상을 가할 경우, 도 5b와 같이 반대로 좌굴(buckling)된 판 스프링(260b) 상태를 유지하게 된다. 따라서, 본 발명에 따라 만곡된 판 스프링(260)을 구비한 스위치는 전압을 계속적으로 인가하지 않아도 안정한 상태를 유지함으로써, 광 스위치의 운용에 필요한 인가 전압 및 소모 전력이 크게 요구되지 않는다는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 의한 만곡된 판 스프링(260)의 구동 전압을 낮추기 위해서는 임계 힘이 낮아야 한다. 본 발명에서는 판 스프링(260)이 기판(27)에 연결되는 방법을 고안하여 구동전압을 낮추고자 한다.
도 6은 본 발명에 의한 만곡된 판 스프링의 연결방법에 대한 예시를 도시한 것으로서, 도 6a는 판 스프링(260)이 기판(27)에 직접 부착된 점(point) 연결(10) 상태를 보이고 있으며, 임계 힘을 낮추기 위해서는 판 스프링(260)의 두께가 일정할 때 판 스프링(260)의 길이를 길게 하여야 한다. 그러나, 판 스프링(260) 길이를 길게 하는 방법은 광 스위치의 크기가 지나치게 커질 수 있을 뿐만 아니라 광 섬유 사이의 거리가 멀어지기 때문에 광 섬유 정렬(fiber alignment) 및 삽입손실(insertion loss)에 문제점이 발생할 수 있다.
따라서, 연결부위를 기판(27)에 직접 연결하지 않고 탄성체(elastic body)를 중간에 삽입함으로써, 추가적인 운동 자유도(degree of freedom)가 허락되도록 하면, 같은 길이의 판 스프링(260)일 경우라도 요구되는 임계 힘을 낮출 수 있다. 여기서 자유도를 준다고 해서 연결부위가 거울면 방향(X)으로 움직이는 경우에는 구동 정밀도가 불안정해질 수 있다.
따라서, 도 6b에 도시한 바와 같이, 판 스프링(260)의 축 방향(axial direction)에 대해서만 자유도를 부여하기 위하여 판 스프링(260)에 수직으로 연결되는 I형 빔(100a) 또는 굴곡을 가진 다층(multiple) 스프링을 연결함으로써, 반대방향 좌굴에 이르는 과정에서 요구되는 임계 힘을 낮출 수 있다. 도 6c는 연결부위에 S형 빔(100b)을 부착한 경우로서, 이 형태는 판 스프링(260)의 축방향 자유도는 물론 S형 빔(100b) 자체가 변형을 일으켜 연결부위의 각도 번형(angle deflection)(V)이 가능한 자유도를 가짐으로써 임계 힘을 더욱 낮출 수 있다. 이상은 판 스프링(260)의 양쪽 끝에 탄성적인 경계(elastic boundary) 조건을 만들어 줌으로써 임계 힘을 낮추는 방법을 예시한 것이다.
한편, 가동구조체(21)의 구동력에 대한 한 예시로서, 전기적으로 분리된 2개의 구조체에 전압을 인가하면 그들 사이에 정전력(electrostatic force)이 발생하는 원리를 이용할 수 있다.
도 2a에 보인 바와 같이, 가동구조체(21)에 빗살형(comb type)의 가동 전극(mobile electrode)(211,212)을 부착하고 이 빗살형 구조체의 사이에 같은 형태의 빗살 구조가 마주보면서 서로 맞추어지는 고정전극(fixed electrode)(32,33)이 있는 경우, 정전력은 구동거리에 관계없이 전압의 제곱에 비례한다. 이와는 달리 서로 마주보는 전극이 평행판인 경우에는 거리에 제곱 반비례하고 전압에는 제곱 비례한다는 특징이 있으며, 이 경우 거리에 따라 정전력이 커진다는 특성이 있다.
또한, 상기 가동 구조체(21)의 구동력으로서는 전술한 정전력 외에도 열팽창, 전자기력(electromagnetic force) 또는 압전력을 이용할 수 있다.
이와 같이, 좌굴 변형(buckling deflection)을 이용한 광 스위치는 마이크로머시닝(micromachining) 기술을 이용하는 경우, 기존의 기계적(mechanical) 광 스위치의 우수한 성능을 유지하면서도 크기를 소형으로 만들 수 있다. 또한, 구조체 제작(fabrication)에 있어서 실리콘을 근간으로 한 반도체 공정(semiconductor process)을 이용할 수 있기 때문에, 구동의 안정성(reliability) 및 집적회로(integrated circuit)화에 있어서도 매우 유리하다.
이 경우, 가동구조체(21)로는 재료의 안정성이 대단히 좋은 결정실리콘(crystalline silicon) 또는 다결정실리콘(polycrystalline silicon)을 이용함으로써 광스위치 작동(operation)의 안정성을 개선할 수 있으며, 니켈(nickel) 등 다른 금속을 사용할 수도 있다.
또한, 본 발명에 의한 광 스위치용 가동구조체(21)를 기판(27)으로부터 띄우기 위하여 도 2a에 도시한 바와 같이, 그 구조층(structural layer)의 하부에 희생층(sacrificial layer)(65)을 사용할 수 있으며, 이 경우 실리콘과의 선택성(selectivity) 및 공정상의 안정성 면에서 산화막(silicon dioxide) 희생층을 사용하는 보다 바람직하다.
거울 표면을 제작하는데 있어서는 건식 식각(dry etch)인 반응성 이온식각(reactive ion etch) 공정을 이용하여, 가동 구조체(21) 및 거울면(13)을 동시에 제작한다. 재료가 결정 실리콘인 경우에는 KOH 용액에 의한 추가적인 습식식각(wet etch)으로 실리콘의 결정면에 따라 표면을 가공할 수 있기 때문에 매우 평활한 거울면(13)을 얻을 수 있다는 장점이 있다.
광 신호는 진행하면서 확산(divergence) 되기 때문에, 이를 줄이기 위해서는 도 7에 도시한 바와 같이, 거울면(13)의 일면을 오목거울(concave lens)(130) 형태로 만드는 것이 좋다. 이때, 오목거울(130)은 실린더 거울(cylindrical mirror) 형태의 1차원 거울이나 또는 2차원 거울을 사용할 수 있다.
더욱이, 상기 거울면(13)에서 광을 효과적으로 반사시키기 위해서는 빛이 반사하는 위치에 금속을 증착(deposition)해야 하며, 증착 재료로는 알루미늄(aluminum), 금(gold) 또는 니켈 등을 사용할 수 있다.
도면 및 상세한 설명에서 본 발명의 바람직한 실시예가 기술되었고, 특정 용어가 사용되었으나, 이는 이하의 청구범위에 개시되어 있는 발명의 범주로 이를 제한하고자 하는 목적이 아니라 기술적인 개념에서 사용된 것이다. 따라서, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 당업자의 수준에서 그 변형 및 개량이 가능함은 물론이다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 광 스위치의 판 스프링 또는 가동 구조체의 간단한 구조 개선을 통하여 종래 기술에서 문제점으로 지적되고 있는 위치정밀도, 전력소모, 확장성 또는 양산성 등에서의 성능을 대폭 향상시킬 수 있다.
또한, 만곡된 판 스프링에 의한 래치-업 구조를 사용함으로써, 전류 스위치 등 기타 소자에서도 소모 전력 저하의 성능 개선에 이용할 수 있다.

Claims (10)

  1. 광 경로를 변경시키기 위한 광 통신용 광 스위치에 있어서,
    상기 광 경로 변경을 위하여 일 측에 거울면을 구비하며 이 거울면에 평행한 방향으로 전·후진 구동이 가능한 가동 구조체(mobile structure);
    상기 가동 구조체의 전·후진 구동 방향과 수직 방향으로 가동 구조체의 양쪽에 연결되어, 래치-업 기능을 갖을 수 있도록 만곡된 형상(shallow arch)으로 적어도 한 쌍 이상 설치된 얇은 판 스프링(leaf spring); 및
    상기 가동 구조체를 움직이기 위한 액츄에이터(actuator)로 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 광 스위치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 만곡된 판 스프링의 구동 전압을 낮추기 위하여,
    상기 판 스프링의 연결부위인 양쪽 끝에 판 스프링과 수직으로 연결되는 탄성체를 중간에 삽입하여 축 방향에 대한 운동 자유도를 높이는 것을 특징으로 하는 광 스위치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 탄성체는,
    상기 판 스프링에 수직으로 연결되는 'I'형 빔, 굴곡을 가진 다층 스프링,및 각도 변형이 가능한 'S'형상의 빔 중의 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 광 스위치
  4. 제1항에 있어서,
    상기 거울면을 포함하는 가동 구조체를 구동하기 위한 액츄에이터는,
    한쌍의 빗살형(comb type) 가동전극과 이와 대향되는 한쌍의 빗살형 고정전극, 또는 서로 대향되는 평행판을 포함하여 가동 구조체를 정전력(electrostatic force)으로 왕복 운동시키는 것을 특징으로 하는 광 스위치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 가동 구조체의 구동 방법으로, 열 팽창, 전자기력(electromagnetic force), 및 압전력 중의 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 광 스위치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가동 구조체가, 재료 및 구동의 안정성과 집적 회로화에 우수한 결정 실리콘 및 다결정 실리콘 중의 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 광 스위치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 가동 구조체의 하부에, 실리콘 산화막으로 이루어진 희생층(sacrificial layer)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 스위치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 거울면은,
    광 신호의 확산(divergence)을 감소시킬 수 있도록 오목 렌즈(concave lens) 형상의 1차원 또는 2차원의 거울면을 구비한 것을 특징으로 하는 광 스위치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 거울면의 표면에 광의 반사 효율을 높이기 위하여, 알루미늄, 금, 및 니켈 중의 어느 하나의 금속을 증착시키는 것을 특징으로 하는 광 스위치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 거울면을 구비한 가동 구조체는, 반응성 이온 식각을 이용하여 거울면과 가동 구조체를 동시 제작한 후, 추가적인 습식 식각공정을 이용하여 거울의 결정면 가공을 수행하는 것을 특징으로 하는 광 스위치.
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