KR100306087B1 - 세정장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 피처리기판을 세정하기 위한 세정액이 공급되는 공급구를 바닥부에 가지는 세정탱크와, 상기 세정탱크내에 설치되어 피처리기판의 주면이 실질적으로 수직방향으로 평행하고 실질적으로 등간격으로 이루어지도록 복수의 피처리기판을 보호유지하는 보호유지구와, 상기 보호유지구의 아래쪽에 설치되어 복수의 정류구멍을 가지는 정류판과, 이 정류판과 상기 공급구와의 사이에 설치되어 상기 공급구를 통하여 세정탱크내에 공급되는 세정액을 상기 정류판의 복수의 정류구멍을 향하도록 분산시키는 분산판을 구비하는 세정장치에 있어서, 상기 정류판의 복수의 정류구멍은, 상기 보호유지구에 보호유지된 복수의 피처리판에 대하여 하나씩 걸러서 피처리기판의 바로아래에 직선상의 열로서 복수열 배열되고, 인접하는 직선열의 정류구멍이 각각 하나씩 어긋난 위치에 배열되며, 세정액은, 상기 공급구를 통하여 세정탱크내에 도입되고, 상기 분산판에 충돌하여 상기 정류판의 전체에 걸쳐 분산되며, 상기 정류판의 각 정류구멍을 각각 통과하여 피처리기판의 하단에 충돌한 후에 피처리기판과 피처리기판과의 상호 간격을 통해 상승하여 흐르는 것을 특징으로 하는 세정장치.
- 피처리기판을 세정하기 위한 세정액이 공급되는 공급구를 바닥부에 가지는 세정탱크와, 이 세정탱크내에 설치되어 피처리기판의 주면이 실질적으로 수직평행이고 실질적으로 등간격으로 이루어지도록 복수의 피처리기판을 보호유지하는 보호유지구와, 이 보호유지구의 아래쪽에 설치되어 복수의 정류구멍을 가지는 정류판과, 이 정류판과 상기 공급구와의 사이에 설치되어 상기 공급구를 통하여 세정탱크내에 공급되는 세정액을 상기 정류판의 복수의 정류구멍을 향하도록 분산시키는 분산판을 구비하는 세정장치에 있어서, 상기 정류판의 복수의 정류구멍은, 상기 보호유지구에 보호유지된 복수의 피처리기판의 아래쪽에 배열되고, 이들 복수의 피처리기판에 대하여 하나식 걸러서 피처리기판의 바로 아래에 직선상의 열로서 복수열 배열되며, 인접하는 직선열의 제 1 정류구멍이 각각 하나씩 어긋난 위치에 배열된 복수의 제 1 정류구멍과, 이 제 1 정류구멍은 복수의 피처리기판에 대하여 하나씩 걸러서 피처리기판의 바로아래에 직선상의 열로서 복수열이 배열되는 것과, 인접하는 직선열의 제 1 정류구멍이 각각 하나씩 어긋난 위치에 배열되는 것과, 상기 보호유지구에 보호유지된 복수의 피처리기판의 바로 아래쪽을 벗어난 바깥쪽에 배열되어 상기 제 1 정류구멍보다 작은 지름의 복수의 제 2 정류구멍으로 이루어지고, 세정액은, 상기 공급구를 통하여 세정탱크내에 도입되고, 상기 분산판에 충돌하여 상기 정류판의 전체에 걸쳐 분산되며, 상기 정류판의 제 1 및 제 2 정류구멍을 각각 통과하여 상기 제 1 정류구멍을 나와 피처리기판의 하단에 충돌한 후에 피처리기판과 피처리기판과의 상호 간격을 통해 상승하여 흐르는 것을 특징으로 하는 세정장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제 2 정류구멍은 각각 동일한 크기이고, 상기 제 1 정류구멍의 직경은, 피처리체의 두께보다도 크거나 동일한 것을 특징으로 하는 세정장치.
- 제2항에 있어서, 상기 세정탱크의 바닥면 2개소에 상기 액공급구가 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 세정장치.
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