KR100240980B1 - Dicing device - Google Patents
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Abstract
이 발명은 소음방지 구조를 구비한 절단·절곡 다이장치에 관한 것이다. 절단·절곡 다이장치는 상부 다이블럭의 하부의 양측면에는 한쌍의 스톱-바를 장착하고, 하부 다이블럭내에 소음을 방지하기 위하여 소음방지용 부싱을 설치하며, 스톱-바는 고정볼트로 고정하도록 되어 있다. 그리고, 이와 달리 이 발명의 절단·절곡 다이장치는 상부 다이블럭의 하부의 양측면에는 한쌍의 스톱-바를 장착하고, 하부 다이블럭내에 소음을 방지하기 위하여 소음방지용 부싱을 설치하며, 상기 부싱의 주변에는 부싱 가이드 블럭을 설치하고, 상기 부싱 가이드 블럭은 부싱 고정볼트로 고정할 수도 있다. 또한, 이 발명의 유압 시스템은 상기 유량 제어밸브와 실린더사이에 방향 제어밸브와 저속 제어밸브를 설치하고, 실린더와 일측에는 감지용 센서를 부착하여 유체의 속도 및 압력을 조절할 수 있다. 이와같이 구성된 절단·절곡 다이장치는 반도체 분야 뿐만아니라 유압 및 공압 분야에서 널리 사용될 수 있다.The present invention relates to a cutting and bending die device provided with a noise preventing structure. The cutting and bending die device is equipped with a pair of stop bars on both sides of the lower part of the upper die block, a noise preventing bushing is installed to prevent noise in the lower die block, and the stop bar is fixed with a fixing bolt. In contrast, the cutting and bending die apparatus of the present invention is equipped with a pair of stop bars on both sides of the lower portion of the upper die block, and installs a noise preventing bush to prevent noise in the lower die block, and around the bushing. A bushing guide block may be installed, and the bushing guide block may be fixed by a bushing fixing bolt. In addition, the hydraulic system of the present invention can be installed between the flow control valve and the cylinder directional control valve and the low speed control valve, the cylinder and one side is attached to the sensor for sensing the speed and pressure of the fluid can be adjusted. The cutting and bending die device configured as described above can be widely used not only in the semiconductor field but also in the hydraulic and pneumatic fields.
Description
제1도는 스톱-바가 설치된 종래의 절단·절곡 다이의 개략도.1 is a schematic diagram of a conventional cutting and bending die provided with a stop bar.
제2(a)도는 소음방지용 부싱을 장착한 이 발명에 따른 절단·절곡 다이장치의 정면도.Figure 2 (a) is a front view of the cutting and bending die device according to the present invention equipped with a noise-proof bushing.
(b)도는 (a)도의 요부확대도.(b) is an enlarged view of the main part of (a).
제3(a)도는 소음방지용 블럭을 장착한 이 발명에 따른 절단·절곡 다이장치를 개략적으로 나타낸 절결도.Figure 3 (a) is a cutaway view schematically showing a cutting and bending die device according to the present invention equipped with a noise prevention block.
(b)도는 (a)도의 요부 확대도.(b) is an enlarged view of the main part of (a).
제4도는 이 발명에 따른 유압 프레스의 유압 회로도이다.4 is a hydraulic circuit diagram of the hydraulic press according to the present invention.
이 발명은 소음방지 구조를 구비한 절단·절곡 다이장치에 관한 것으로, 특히 절단·절곡 다이의 스톱-바에 소음방지용 부싱을 설치하거나 유압 프레스의 유압회로에서 유압을 조정할 수 있는 제어밸브를 설치한 절단·절곡장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cutting and bending die device having a noise preventing structure. In particular, the cutting and bending die device is installed in the stop-bar of the cutting and bending die, or the cutting is provided with a control valve for adjusting the hydraulic pressure in the hydraulic circuit of the hydraulic press. It relates to a bending device.
종래의 반도체 장치 제조용 절단·절곡 다이장치는 일반적으로 스톱-바를 설치하여 소음을 방지하는 것과 전동 모터 및 유압 프레스를 이용하여 소음을 방지하는 두 종류가 있다.BACKGROUND ART Conventional cutting and bending die devices for manufacturing semiconductor devices are generally provided with a stop bar to prevent noise and an electric motor and a hydraulic press to prevent noise.
제1 도는 스톱-바가 설치된 종래의 절단·절곡 다이를 개략적으로 도시한 도면으로서, 상부 및 하부 금형(1,11)에 스톱-바(4,44)가 고정되어 있고, 스톱-바(44)의 상단에는 일부 충격을 흡수할 수 있도록 탄성을 갖는 우레탄(5)을 설치하였다. 그런데, 이와같이 구성된 스톱-바의 형태는 원형 또는 사각형의 구조로 주로 사용되고 이것은 외부에 노출되어 있다. 그래서, 상부 및 하부 금형(1,11)이 작동하게 되면 상부 금형의 스톱-바(4)는 하부 금형의 스톱-바(44)상의 우레탄(5)과 부딪히는 순간 마찰로 인하여 소음이 발생하게 되는 문제점을 내포하고 있다.1 is a view schematically showing a conventional cutting and bending die provided with a stop bar, in which the stop bars 4 and 44 are fixed to the upper and lower molds 1 and 11, and the stop bar 44 is fixed. At the top of the urethane (5) having an elastic so as to absorb some impact. By the way, the form of the stop-bar thus configured is mainly used in a circular or rectangular structure, which is exposed to the outside. Thus, when the upper and lower molds 1 and 11 are operated, the stop bar 4 of the upper mold may generate noise due to friction at the moment when it is urged against the urethane 5 on the stop bar 44 of the lower mold. There is a problem.
이와달리 종래의 유압 시스템을 이용한 것(도시되지 않음)은 일반적으로 사용되는 유압모터를 구동하게 되면 펌프가 작동하게되고 펌프 작동에 따라 몇개의 밸브가 동작하게 되어 실린더를 이동하도록 구성되어 있다. 그런데, 이와같은 종래의 시스템의 구성은 유압을 이용한 프레스 작동 방법으로 유압이 동일한 속도로 유지되므로 절단·절곡 다이가 타발시 역시 소음이 발생하게 된다.On the other hand, using a conventional hydraulic system (not shown) is configured to move a cylinder by operating a pump and driving a plurality of valves according to the pump operation when the hydraulic motor is generally used. However, since the hydraulic pressure is maintained at the same speed by the press operating method using hydraulic pressure, such a conventional system is configured to generate noise when the cutting and bending die is punched out.
상기에서 언급한 바와 같이 종래의 절단·절곡 다이는 구조로 인해 발생되는 소음과 유압 프레스의 시스템 회로 구성상의 소음으로 인해 작업시에 여러 가지 문제점을 야기하고 있었다.As mentioned above, the conventional cutting and bending die has caused various problems in operation due to the noise generated by the structure and the noise in the system circuit configuration of the hydraulic press.
이 발명은 상기한 점을 감안해서 발명된 것으로, 이 발명의 목적은 절단·절곡 다이의 스톱-바 부분의 상부 주변의 소음을 방지할 수 있도록 부싱을 설치하고 상부 금형이 하강시 스톱-바를 2 단계로 접착될 수 있는 절단·절곡 다이를 제공하는 것이다.The present invention has been invented in view of the above point, and an object of the present invention is to install a bushing to prevent noise around the upper part of the stop-bar portion of the cutting and bending die, and to stop the stop bar when the upper mold is lowered. It is to provide a cutting and bending die that can be bonded in a step.
이 발명의 다른 목적은 절단·절곡 다이장치의 유압 시스템에서 실린더의 속도를 원하는 예정된 속도로 조정가능하도록 유압 라인에 제어밸브를 설치하여 소음을 더욱 감소 시킬 수 있는 절단·절곡 장치를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a cutting and bending device that can further reduce noise by installing a control valve in the hydraulic line so that the cylinder speed can be adjusted to a desired predetermined speed in the hydraulic system of the cutting and bending die device.
상기 목적을 달성하기 위한 이 발명의 특징은, 상부 금형 및 하부 금형상에 상부 다이블럭 및 하부 다이블럭을 설치하고 상기 상부 다이블럭의 하부에 스톱-바를 장착한 소음방지용 절단·절곡 다이장치에 있어서, 상구 다이블럭의 하부의 양측면에는 한쌍의 스톱-바를 장착하고, 하부 다이블럭내에 소음을 방지하기 위하여 소음방지용 부싱을 설치하며, 상기 스톱-바는 고정볼트로 고정하도록 된 절단·절곡 다이장치에 있다.A feature of this invention for achieving the above object is a noise preventing cutting / bending die apparatus in which an upper die block and a lower die block are installed on an upper die and a lower die, and a stop bar is mounted on the lower portion of the upper die block. On both sides of the lower side of the upper die block, a pair of stop bars are mounted, and a noise prevention bushing is installed to prevent noise in the lower die block, and the stop bar is mounted on a cutting and bending die device fixed by fixing bolts. have.
상기 목적을 달성하기 위한 이 발명의 또 다른 특징은, 모터와 펌프 그리고 유체의 양을 조절하는 유량 제어밸브 및 실린더로 이루어진 유압 시스템을 구비한 절단·절곡 다이장치에 있어서, 상기 유량 제어밸브와 실린더사이에 방향 제어밸브와 저속 제어밸브를 설치하고 실린더의 일측에는 감지용 센서를 부착하여 유체의 속도 및 압력을 조절할 수 있도록 된 유압 시스템을 구비한 절단·절곡 다이장치에 있다.Another feature of this invention for achieving the above object is a cutting and bending die apparatus having a hydraulic system consisting of a motor, a pump and a flow control valve and a cylinder for adjusting the amount of fluid, the flow control valve and the cylinder There is a cutting / bending die device with a hydraulic system that is provided with a direction control valve and a low speed control valve in between, and a sensor for sensing on one side of the cylinder to adjust the speed and pressure of the fluid.
이하, 이 발명에 따른 절단·절곡 다이장치의 바람직한 하나의 실시예에 대하여 첨부도면을 따라 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one preferred embodiment of the cutting / bending die apparatus which concerns on this invention is demonstrated in detail along attached drawing.
제2(a)도는 소음방지용 부싱을 장착한 이 발명의 절단·절곡 다이장치의 정면도로서, 상부 금형(1) 및 하부 금형(11)상에는 상부 다이블럭(60) 및 하부 다이블럭(66)이 설치되어 있다. 또한, 상기 상부 다이블럭(60)의 하부에는 양측면의 한쌍의 스톱-바(4,44)가 장착되어 있다. 그리고, 상부 금형(1)의 상부에는 램을 고정하기 위한 램 고정 블럭(40)이 설치되어 있다. 상부 금형(1) 및 하부 금형(11)을 지지하고 수용하기 위한 포스트 부싱(70)이 상기 상부 및 하부 금형(1,11)과 일체로 설치되어 있으며, 또한 상부 금형(1)은 상하로 상기 포스트 부싱(70)에 대하여 이동가능하도록 관통되어 있다. 한편, 참고부호 50은 포스트 보조 고정 볼트이다.FIG. 2 (a) is a front view of the cutting and bending die device of the present invention equipped with a noise preventing bushing, wherein the upper die block 60 and the lower die block 66 are disposed on the upper die 1 and the lower die 11; It is installed. In addition, a pair of stop bars 4 and 44 on both sides are mounted below the upper diblock 60. And the upper part of the upper mold 1 is provided with a ram fixing block 40 for fixing the ram. Post bushings 70 for supporting and accommodating the upper mold 1 and the lower mold 11 are integrally installed with the upper and lower molds 1, 11, and the upper mold 1 is disposed above and below. It is penetrated to be movable relative to the post bushing 70. On the other hand, reference numeral 50 is a post auxiliary fixing bolt.
이를 보다 구체적으로 살펴보면 제2(b)도에 도시한 바와같다. 제2(b)도는 제2(a)도의 요부확대도로서, 절단·절곡 다이의 작동상태를 나타낸다. 도면에 도시된 바와같은 이미 제작된 하부 금형의 하부 다이블럭(66)에는 부싱(20)이 설치되어 있다. 소음 방지용으로 설치된 부싱(2)은 두겹으로 구성되어 있으며, 그중 안쪽은 소음방지재료(22)로 구성되며 바깥쪽은 완충작용을 할 수 있는 탄성고무(21)로 구성되어 있다. 또한, 상기 부싱(2)은 교환 가능하다.Looking at this in more detail as shown in Figure 2 (b). FIG. 2 (b) is an enlarged view of the main portion of FIG. 2 (a) and shows an operating state of the cutting and bending die. The bushing 20 is installed in the lower die block 66 of the lower mold already manufactured as shown in the figure. Bushing (2) installed for noise prevention is composed of two layers, of which the inside is composed of the noise-proof material 22 and the outside is composed of an elastic rubber 21 that can act as a buffer. The bushing 2 is also replaceable.
그리고, 상부 스톱-바(4)는 하부 스톱-바(44)와 서로 접촉하게 될 때 소음방지용 부싱(20)은 상부 다이블럭(60)에 완전히 밀착되어 소음이 외부로 나가지 못하도록 되어 있다. 그리고 상부 스톱-바(4)의 하부에는 1차로 충격 및 소음을 감소시키기 위하여 탄성의 성질을 갖는 탄성 우레탄(5)을 장착하였다.In addition, when the upper stop bar 4 is in contact with the lower stop bar 44, the noise preventing bushing 20 is completely in close contact with the upper die block 60 so that the noise does not go out. And the lower part of the upper stop-bar (4) was equipped with an elastic urethane (5) having a property of elasticity in order to primarily reduce the impact and noise.
또한, 이 발명의 실시예에서는 하부 스톱-바(44)가 고정볼트(3)로 고정되어 있으므로 항상 절단·절곡 다이 작동시 상부 다이블럭(60) 및 하부 다이블럭(66)이 요동되지 않고 작동될 수 있다.In addition, in the embodiment of the present invention, since the lower stop bar 44 is fixed by the fixing bolt 3, the upper die block 60 and the lower die block 66 are operated without cutting during the cutting and bending die operation. Can be.
제3(a)도의 작동방법은 제2(a)도와 거의 유사하지만 단지 스톱-바가 외부로 노출되고 스톱-바의 구동방식이 2단계로 된다는 것이 차이점이다. 그 차이점은 다음과 같다. 상부 스톱-바(4)와 하부 스톱바(44)가 접촉할 때 하부 스톱-바(44)의 경우 제3(b)도에 도시한 바와같이, 스프링(7)에 의해 조기 접촉후 하강하면서, 부싱 안내 블럭(32)내에서 스톱-바(4,44)는 정지와 동시에 발생되는 소음을 외부로 나가지 못하도록 한 것이다. 여기서 참고부호 3은 부싱 고정볼트이다.The operation method of FIG. 3 (a) is almost similar to that of FIG. 2 (a) except that the stop bar is exposed to the outside and the driving method of the stop bar becomes two stages. The difference is as follows. When the upper stop bar 4 and the lower stop bar 44 contact, the lower stop bar 44 descends after the early contact by the spring 7, as shown in FIG. 3 (b). In the bushing guide block 32, the stop bars 4 and 44 prevent the noise generated at the same time as the stop from going out. Reference numeral 3 is a bushing fixing bolt.
그리고, 제4도는 이 발명에 따른 유압 프레스의 유압 회로도이다. 우선, 모터(51)를 구동하게 되면 가변 펌프(52)가 작동하게 된다. 그리고, 펌프(52)가 작동하게 되면 첵크 밸브를 구비한 유량 제어밸브(53) 즉, 조정가능한 교축밸브를 거쳐서 방향 제어밸브(54)에 도달한다. 여기서, 방향 제어밸브(54)는 주로 4포트 3방향 밸브가 바람직하며 사용자의 요구에 따라 여러종류의 방향 제어밸브를 사용할 수 있다. 또한, 상기 방향 제어밸브(54)에서 나온 가압된 유체가 저속 제어밸브(55)를 거쳐서 실린더(58)에서 피스톤을 바깥쪽으로 밀어내게 된다. 여기서, 참고부호 57 은 압력 스위치이다.4 is a hydraulic circuit diagram of the hydraulic press according to this invention. First, when the motor 51 is driven, the variable pump 52 is operated. When the pump 52 is operated, the directional control valve 54 is reached via a flow control valve 53 having a check valve, that is, an adjustable throttle valve. Here, the directional control valve 54 is preferably a four-port three-way valve, and various types of directional control valves can be used according to the user's request. In addition, the pressurized fluid from the directional control valve 54 pushes the piston out of the cylinder 58 via the low speed control valve 55. Here, reference numeral 57 denotes a pressure switch.
한편, 상기와 같이 실린더(58)에서 바깥쪽으로 밀려난 피스톤은 카운터 밸런스 밸브(56) 및 서보 카운터 밸브(46)중의 어느 하나를 선택하게 되고 유압의 압력이 낮아지게 되면 피스톤은 반대 방향으로 수축하게 된다. 그런데, 실린더(58)의 일측에는 감지용 센서(도시하지 않음)가 부착되어 있다. 상기 센서는 초기 유압이 어느 시점까지는 높게 되지만 저속 제어밸브(55)를 거치면 압력이 떨어지고 유체의 속도도 또한 하강하게 된다.On the other hand, the piston pushed out from the cylinder 58 as described above to select any one of the counter balance valve 56 and the servo counter valve 46 and when the pressure of the hydraulic pressure is lowered, the piston is contracted in the opposite direction do. By the way, a sensor (not shown) is attached to one side of the cylinder 58. The sensor has a high initial hydraulic pressure up to a certain point, but when the low speed control valve 55 passes, the pressure drops and the speed of the fluid also decreases.
이와같이 구성된 이 발명에 따른 유압 프레스와 제4도에서 방향 제어밸브(54)와 저속 제어밸브(55)가 없는 종래의 유압 프레스를 비교하면 표 1과 같다.Comparing the hydraulic press according to the present invention configured as described above with the conventional hydraulic press without the direction control valve 54 and the low speed control valve 55 in FIG.
[표 1]TABLE 1
한편, 이 발명의 소음 측정 분포도는 다음 표 2와 같다.On the other hand, the noise measurement distribution of this invention is shown in Table 2 below.
[표 2]TABLE 2
상기 표 2에서 나타낸 바와 같이 이 발명에 따른 다이장치의 소음 분포는 최소 64dB에서 최소 65dB의 범위내에 있다. 그러므로, 종래의 절단·절곡장치보다 이 발명에 따른 절단·절곡 다이장치는 20dB 이상의 소음을 줄일 수 있다.As shown in Table 2 above, the noise distribution of the die apparatus according to the present invention is in the range of at least 64 dB to at least 65 dB. Therefore, the cutting / bending die apparatus according to this invention can reduce the noise of 20 dB or more than the conventional cutting / bending apparatus.
한편, 이 발명에 따른 유압 프레스는 전자식으로 조절되는데 주로 프로그램을 입력하여 사용하게 된다. 또한, 전자식으로 조절되므로 유압의 압력과는 무관하게 사용할 수 있다. 그리고, 타발시 및 접촉시는 수동으로도 조절가능하므로 소음을 더욱 감소시킬 수 있고, 금형을 상승시킬 때는 고속으로 동작시켜 작업을 처리할 수 있다.On the other hand, the hydraulic press according to the present invention is to be adjusted electronically to use a program mainly input. In addition, since it is adjusted electronically, it can be used regardless of the hydraulic pressure. In addition, when punching and contacting can be adjusted manually, the noise can be further reduced, and when the mold is raised, it can operate at a high speed to process the work.
이상 설명한 바와 같이 이 발명에 따른 절단·절곡 다이장치에 의하면, 상,하부 다이블럭에 한쌍의 스톱-바 및 소음방지용 부싱을 설치되어 있기 때문에, 종래의 유압 프레스보다 소음을 훨씬 감소시킬 수 있다. 또한, 전동 모터방식을 사용하지 않고도 유압 방식을 이용하여 거의 동일한 효과를 얻게 되므로 가격면에서도 사용자에게 크게 유리하게 되어 매우 효과적이다.As described above, according to the cutting / bending die apparatus according to the present invention, since a pair of stop bars and a noise prevention bushing are provided in the upper and lower die blocks, the noise can be much reduced than in the conventional hydraulic press. In addition, since it is possible to obtain almost the same effect by using a hydraulic method without using an electric motor method, it is very advantageous in terms of price and is very effective.
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Legal Events
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Termination category: Default of registration fee Termination date: 20091010 |