[go: up one dir, main page]

KR100203019B1 - 다단 건식 진공펌프의 불활성 가스 공급장치 - Google Patents

다단 건식 진공펌프의 불활성 가스 공급장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100203019B1
KR100203019B1 KR1019930702625A KR930702625A KR100203019B1 KR 100203019 B1 KR100203019 B1 KR 100203019B1 KR 1019930702625 A KR1019930702625 A KR 1019930702625A KR 930702625 A KR930702625 A KR 930702625A KR 100203019 B1 KR100203019 B1 KR 100203019B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inert gas
vacuum pump
gas supply
supply device
dry vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR1019930702625A
Other languages
English (en)
Inventor
로타르 브레너
루돌프 바넨
Original Assignee
우도 벡; 클라우스 한, 파울 바흐만
라이볼트 악티엔게젤샤프트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 우도 벡; 클라우스 한, 파울 바흐만, 라이볼트 악티엔게젤샤프트 filed Critical 우도 벡; 클라우스 한, 파울 바흐만
Application granted granted Critical
Publication of KR100203019B1 publication Critical patent/KR100203019B1/ko
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
    • F04C2270/86—Detection
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/87249—Multiple inlet with multiple outlet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

본 발명은 펌프단에 불활성 가스를 분배하기 위한 장치를 가진 다단 건식 진공펌프(1)의 불활성 가스 공급장치에 관한 것이다. 불활성 가스의 흐름을 모니터링하고 유량에 영향을 주기 위해, 본 발명은 불활성 가스 유입구, 불활성 가스 유출구 및 불활성 가스 라인을 가지며 모니터링 장치가 장착된, 모듈로 구성된 장치(36)를 제공한다.

Description

다단 건식 진공펌프의 불활성 가스 공급장치
본 발명은 펌프단에 불활성 가스를 분배하기 위한 장치를 가진 다단 건식 진공펌프의 불활성 가스 공급장치에 관한 것이다.
건식진공펌프는 그것의 펌프실에 윤활제 및/또는 밀봉수단을 포함하지 않는 펌프이다. 이러한 형태의 전형적인 펌프는 다단으로 형성되며 클로 타입(Northey 프로필)의 회전 피스톤을 가진다. 이러한 펌프의 장점은, 이 진공펌프가 완전히 탄화수소없는 진공을 만들 수 있기 때문에, 이것이 반도체 공정(에칭, 코팅 또는 다른 진공처리 또는 제조 프로세스)이 수행되는 진공챔버를 배기시키는데 사용될 수 있다는 것이다.
유럽 출원 제 365695호에는 이러한 다단 건식 진공펌프가 공지되어 있다. 이 펌프에는 질소원, 펌프실내까지 뻗은 파이프 시스템 및 밸브로 이루어진 불활성가스 공급장치가 설치된다. 그러나, 이 펌프 작동중에 불활성 가스 공급장치가 제대로 작동하는지가 확인될 수 없다. 따라서, 본 발명의 목적은 작동이 제어될 수 있는 전술한 형태의 장치를 만드는 것이다.
펌프내로 불활성 가스를 공급함으로써, 무엇보다도 펌프내로 들어오는 또는 가스의 압축동안 펌프내에 형성되는 고체입자가 회전자 또는 펌프실 벽에 달라 붙는 것을 방지할 수 있다. 반도체 공정에 따라 불활성 가스의 필요량 및 불활성 가스가 필요한 장소, 즉 단이 상이하다. 또한, 펌프의 작동중에 불활성 가스의 공급은 펌프출력에 나쁜 영향을 준다는 사실을 주의해야 한다.
따라서, 본 발명의 또다른 목적은 불활성 가스의 흐름을 모니터링할 수 있을 뿐만 아니라 분배의 방식 및 유량에 영향을 줄 수 있는, 전술한 형태의 장치를 만드는 것이다.
상기 목적은 본 발명에 따라 불활성 가스 공급장치가 불활성 가스 유입구, 불활성 가스 유출구 및 불활성 가스 라인을 가진 모듈로 구성된 장치로 이루어지고, 불활성 가스의 흐름을 모니터링하기 위한 부품이 상기 장치의 구성부분임으로써 달성된다.
불활성 가스 공급장치의 계속성 및 그것의 모듈 구성에 의해, 질소 공급의 분배 및 여러 가지 모니터링이 간단히 이루어질 수 있다. 예컨대, 압력, 개별단으로의 유량과 같은 상이한 파라메타가 프로세스에 의존해서 제어될 수 있다. 부품의 교체 또는 회전에 의해 모니터링 기준, 유량을 변동시킴으로써, 상이한 프로세서에 맞춰질 수 있다.
본 발명의 또다른 장점 및 세부사항은 제1도 내지 3도에 도시된 실시예를 참고로 하기에 설명된다.
제1도는 본 발명에 따른 불활성 가스 공급장치를 가진 다단 진공펌프의 개략적인 단면도이고,
제2도는 본 발명에 따른 장치에서의 라인 연결도이며,
제3도는 제1도의 장치를 변형시킨 불활성 가스 공급장치이다.
제1도에 도시된 실시예는 2개의 축(2),(3) 및 4개의 회전자 쌍(4),(5)을 가진 다단 진공펌프(1)이다. 회전 피스톤은 클로타입이며 펌프실(6)에서 회전한다. 상기 피스톤은 측면 차폐벽(7),(8) 중간 차폐벽(9),(10) 및 하우징링(11) 내지(14)으로 형성된다.
하부 측면 차폐벽(8)의 하부에는 회전자 쌍(4),(5)이동의 동기화에 사용되는 동일한 직경의 기어(16),(17)를 가진 축(2),(3)이 설치된다. 또다른 구동장치(구동모터, 구동메카니즘의 커플링등등)는 도시되어 있지않다.
하부 측면 차폐벽(8)은 2부분으로 형성된다. 상기 차폐벽은 하부 원판(21)을 포함하며, 상기 하부 원판(21)에서는, 상부 측면 차폐벽(7)에서와 마찬가지로, 축(2),(3)이 로울링 베어링(22)에 의해 지지된다. 축(2),(3) 및 상부 원판(23)사이에는 래비린드 시일(24)이 제공된다.
상부 측면 차폐벽(7)에 있는 펌프의 유입구는 도면부호(25)로, 그리고 원판(23)에 있는 펌프의 유출구는 도면부호(26)로 표시되어 있다.
펌프실(4) 및 진공펌프(1)의 또다른 장소, 예컨대 래비린드 시일(24)에 불활성가스를 공급하기 위해, 라인을 통해 본 발명에 따른 공급장치(36)에 연결된 보어(31) 내지(35)가 관련 원판(9) 및 (23)에 형성된다. 도면에는 보어(31) 내지(33)에 연결된 라인(37) 내지(39)만이 도시되어 있으며, 상기 라인을 통해 불활성 가스가 펌프실(4)에 공급된다.
본 발명에 따른 공급장치는 금속블록(41)으로서 형성된다. 상기 장치는 2개의 유입구(42),(42)를 가지며, 불활성 가스가 감압밸브(44),(45)를 통해 상기 유입구로 공급된다. 블록(41)내부에는 도시되어 있지 않은 보어가 있으며, 이 보어에 의해 불활성 가스의 분배가 이루어진다. 이것을 위해 보어는 다시 외부로 통하여 불활성 가스 유출구를 통해 예컨대, 라인(37),(38),(39)에 연결된다.
또다른 유출구는 예컨대, 도면부호(46) 및 (47)로 표시되어 있다. 상기 유출구 중 하나는 예컨대, 보어(34),(35)로 벋은 라인에 연결되며, 상기 라인은 래비린드 시일(24)에 질소를 공급하는데 사용된다. 다른 유출구(47)에는 예컨대 펌프의 유입구쪽으로 뻗은 라인이 연결됨으로써, 불활성 가스에 의한 유입 연결부의 세척이 가능해진다. 그러나, 상기 유출구 또는 또다른 유출구는 펌프의 유출구 영역에 있는 압력 모니터링시스템의 공급에도 사용될 수 있다. 외부로 통하는 보어는 금속블록(41)에 의해 지지되는 측정 또는 모니터링장치에 연결될 수 있다. 이것에 대한 예로서, 압력 조정 장치(48)가 도시되어 있다.
제2도는 본 발명에 따른 불활성 공급장치(36)에 대한 실시예를 개략적으로 나타낸다. 상이한 압력, 예컨대 1.5바아 및 3바아의 압력을 가진 불활성 가스가 2개의 유입구(42),(43)를 통해 장치(36)에 공급된다. 유입구(42)에는 보어(51)가 접속된다. 다수의 분기 보어(52) 내지(55)가 상기 보어(51)로 부터 외부로 통하며, 예컨대 압력 조정 장치(49), 래비린드 시일(24)쪽으로, 펌프의 유입구(25)쪽으로 또는 펌프의 유출구(26)쪽으로 뻗은 라인에 연결된 불활성 가스 유출구를 형성한다.
펌프의 유출구(26)쪽으로 뻗은 라인(58)은 보어(55)에 연결된다. 상기 라인(58)내에는 2개의 압력 조정 장치(58) 및 (59)가 접속된 챔버(57)가 위치한다. 상기 압력 조정 장치(58),(59)에 의해 펌프의 유출구(26)에서 일정 압력범위가 조정된다. 압력 조정 장치(58),(59)가 종종 부식성 배출가스에 의해 부식되는 것을 방지하기 위해, 불활성 가스가 유출구(26)방향으로의 라인(56)을 통해 흐르게 된다. 유출구(26)와 챔버(57)사이에는, 유출구(26)에서 발생하는 압력편차를 감쇠시키는 드로틀(61)이 위치한다.
외부로 통하며 하기에 사세히 설명될 분해식 부품(63)에 의해 폐쇄되는 또다른 보어(62)가 보어(51)에 연결된다. 상기 보어(62) 및 압력 조정 장치(49)에 의해 부품(63)의 정확한 조립을 체크할 수 있다. 부품(63)이 없으면, 보어(51)에 원하는 불활성 가스 압력이 형성되지 않고, 이것이 압력 조정 장치(49)에 의해 기억된다.
불활성 가스 연결부(43)에는 보어(64)가 연결된다. 상기 보어로 부터 분기된 보어(65),(66),(67) 및 그것내에 통합된 압력 조정 장치(68),(69),(70)를 통해 진공펌프의 제2, 제3 및 제4단에 불활성 가스가 공급된다. 보어(65),(66),(67)는 라인(37),(38),(39)에 직접 연결되지 않는다. 상기 라인들은 분해식 부품(63)이 설치된 금속불록의 측표면(72)내로 뻗어 있다. 상기 분해식 부품(63)은 보어(65),(66),(67)의 개구를 폐쇄시키도록 형성될 수 있다. 이 경우에는 펌프단의 불활성 가스 공급이 중단된다.
분해식 부품은 또한 라인(65),(66),(67)의 개구를, 라인 (37),(38), (39)에 그 측면이 연결된 보어 (74),(75),(76)에 연결시키도록 형성될 수 있다. 또다른 실시예에서는 분해식 부품(63)이 상기 부품(63)상에 제공된 밸브(77),(78),(79)를 통해 보어(65),(66),(67)가 보어(74),(75),(76)에 연결되도록 형성될 수 있다. 이 실시예에서는 개별 펌프단의 불활성 가스 공급을 중단시키거나 차단시킬 수 있다.
실선은 본 발명에 따른 불활성 가스 공급장치(36) 또는 금속블록(41)에서 어떤 부품 또는 라인이 중단되는 지를 나타낸다. 부가적으로 -일점 쇄선으로 배열된-드로틀(81),(82),(83)이 블록(41)에 위치한다. 이 드로틀은 펌프단에 공급되는 가스량을 결정하고 가스속도를 증가시키는데 사용된다.
실선(84)는 블록(41)이 나눠질 수 있다는 것을 나타낸다. 즉, 압력 조정 장치(70)를 가진 하부 부분(85)이 교체될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 공급장치의 일부를 간단히 교체함으로써 관련 단에 공급되는 가스량을 변경시키고 그것에 맞게 모니터링을 조정하는 것이 가능해진다.
제1도에서는 측면(72)에 접한, 분핵식 부품(63)이 그외 측면 및 내측면에 홈(87)을 가진 플레이트(86)로 형성된다. 홈(87)의 위치는 홈이 측표면(72)내로 뻗은 라인-예컨대 라인(65) 및 (74)-을 서로 결합시키도록 선택된다. 플레이트(86)가 회전되면, 전체 개구가 폐쇄된다.
라인(62)의 개구 위치는 플레이트(86)의 어떤 측면이 측표면(72)에 접하는지와 무관하게 상기 개구가 플레이트(86)에 의해 항상 폐쇄되도록 선택된다. 이로인해, 플레이트(86)의 정확한 조립을 진술한 바와 같이 제어하는 것이 보장된다.
제3도는 보어(90),(91)를 가진 플레이트(89)가 측표면(72)상에 장착되는 것을 나타낸다. 측표면(72)내로 뻗은 라인은 상기 보어를 통해 밸브-재차 라인(74),(65) 및 밸브(77)가 도시됨-에 연결된다. 밸브의 하우징(92)은 플레이트(89)의 외측면상에 고정된다.
진술한 장치에 의해 건식 진공펌프의 작동이 상이한 프로세스에 맞춰지고 모니터링될 수 있다. 이러한 것은 -도시되지 않은- 제어 유니트가 있는 경우에는 자동으로 이루어질 수 있다. 모니터링 및 측정 부품에 의해 기억된 값은 제어 유니트에 공급되어 예정된 상수와 비교된다.

Claims (13)

  1. 펌프단에 불활성 가스를 분배하기 위한 부품을 가진 다단 건식 진공 펌프(1)의 불활성 가스 공급장치에 있어서, 불활성 가스 공급장치가 불활성 가스 유입구, 불활성 가스 유출구 및 불활성 가스 라인을 가진 모듈러 장치(36)로 이루어지고, 블록(41)으로 구성되며, 유속 결정, 유량 모니터링, 유량 측정, 압력 결정, 압력 모니터링, 압력 측정을 위한 부품(68,69, 70) 및/또는 상이한 용도에 진공펌프(1)를 맞추기 위한 수단(63,77,78,79, 85)이 상기 볼록(41)의 구성 부분이며, 블록(41)내의 보어가 불활성 가스 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서, 제1불활성 가스 유입구(43)가 제공되며, 압력 모니터(68,69,70)를 가진 분기 라인(64 내지 67)이 상기 제1불활성 가스 유입구(43)에 연결되고, 상기 분기 라인은 진공 펌프의 한 단에 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급장치.
  3. 제2항에 있어서, 제2불활성 가스 유입구(42)가 제공되며, 분기 라인(51 내지 55)이 상기 제2불활성 가스 유입구(43)에 연결되고, 상기 분기 라인은 시일(24), 펌프의 유입구(25), 펌프의 유출구(26) 및/또는 불활성 가스가 공급되는 진공펌프(1)의 또다른 영역에 연결되는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급장치.
  4. 제3항에 있어서, 제2불활성 가스 유입구(42)가 장치에 고정된 압력 모니터(49)에 연결되는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
  5. 제1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서, 압력 모니터(68,69,70)가 펌프 단으로 통하는 보어내로 삽입되는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
  6. 제1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서, 블록(41)이 나누어질 수 있는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
  7. 제1항에 있어서, 불활성 가스 라인을 형성하는 보어가 블록(41)의 측 표면(72)내로 개방되며, 상기 측표면상에 조립될 수 있는, 차단 또는 연결 기능을 가진 부품(63)을 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
  8. 제7항에 있어서, 측표면(72)상에 조립 가능한 부품(63)이 양 측면에 홈(87)을 가진 플레이트(86)(회전 플레이트)인 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
  9. 제7항에 있어서, 측표면(72)상에 조립 가능한 부품(63)이 밸브, 및 측표면 내로 개방된 보어를 상기 밸브를 통해 서로 연결시키는 보어(90,91)를 가진 플레이트(89)(밸브 플레이트)인 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
  10. 제3항 또는 7항에 있어서, 제2불활성 가스 유입구(42)로부터 측표면(72)내로 개방된 보어(62)가 제공되며, 플레이트(63,86,89)의 조립시 상기 보어의 개구가 밀봉되는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
  11. 제1항에 있어서, 압력 모니터(58,59)가 모듈러 장치로부터 진공 펌프(1)의 유출구(26)로 뻗은 라인(56)에 배치되는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
  12. 제11항에 있어서, 진공 펌프(1)의 유출구(26)쪽으로 뻗은 라인(56)에 챔버(57)가 접속되며, 압력 범위를 결정하기 위해 2개의 압력 모니터(58,59)가 상기 챔버(57)에 연결되는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
  13. 제12항에 있어서, 노즐(61)이 챔버(57)와 진공 펌프(1)의 유출구(26)사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 다단 건식 진공 펌프의 불활성 가스 공급 장치.
KR1019930702625A 1991-03-04 1992-02-21 다단 건식 진공펌프의 불활성 가스 공급장치 Expired - Fee Related KR100203019B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP91103238 1991-03-04
EP91103238.1 1991-03-04
PCT/EP1992/000367 WO1992015786A1 (de) 1991-03-04 1992-02-21 Einrichtung zur inertgasversorgung einer mehrstufigen trockenlaufenden vakuumpumpe

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100203019B1 true KR100203019B1 (ko) 1999-06-15

Family

ID=8206478

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019930702625A Expired - Fee Related KR100203019B1 (ko) 1991-03-04 1992-02-21 다단 건식 진공펌프의 불활성 가스 공급장치

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5356275A (ko)
EP (1) EP0574442B1 (ko)
JP (2) JPH06505079A (ko)
KR (1) KR100203019B1 (ko)
DE (1) DE59200391D1 (ko)
WO (1) WO1992015786A1 (ko)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE59200347D1 (de) * 1991-02-01 1994-09-08 Leybold Ag Trockenlaufende zweiwellenvakuumpumpe.
DE4234169A1 (de) * 1992-10-12 1994-04-14 Leybold Ag Verfahren zum Betrieb einer trockenverdichteten Vakuumpumpe sowie für dieses Betriebsverfahren geeignete Vakuumpumpe
DE69623516T2 (de) 1995-02-28 2003-05-15 Anest Iwata Corp., Tokio/Tokyo Kontrollsystem für zweistufige Vakuumpumpe
DE19709206A1 (de) * 1997-03-06 1998-09-10 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe
US6123526A (en) * 1998-09-18 2000-09-26 Industrial Technology Research Institute Multistage pump and method for assembling the pump
DE19945241A1 (de) * 1999-09-21 2001-04-05 Messer Griesheim Gmbh Verfahren zur schonenden Verdichtung von hochreinen Gasen
JP2001304115A (ja) * 2000-04-26 2001-10-31 Toyota Industries Corp 真空ポンプにおけるガス供給装置
JP3941452B2 (ja) * 2001-10-17 2007-07-04 株式会社豊田自動織機 真空ポンプにおける運転停止制御方法及び運転停止制御装置
JP3758550B2 (ja) * 2001-10-24 2006-03-22 アイシン精機株式会社 多段真空ポンプ
JP3941484B2 (ja) * 2001-12-03 2007-07-04 アイシン精機株式会社 多段式真空ポンプ
US8047817B2 (en) * 2003-09-23 2011-11-01 Edwards Limited Cleaning method of a rotary piston vacuum pump
GB0519742D0 (en) * 2005-09-28 2005-11-09 Boc Group Plc Method of pumping gas
GB2440341B (en) * 2006-07-24 2011-09-21 Boc Group Plc Vacuum pump
KR100773358B1 (ko) * 2006-11-17 2007-11-05 삼성전자주식회사 유체 노즐을 갖는 진공펌프 및 배기 시스템
KR100873104B1 (ko) * 2007-03-16 2008-12-09 삼성전자주식회사 회전체 크리닝 유니트 및 이를 갖는 진공펌프
CN101855454B (zh) * 2007-11-14 2012-12-05 株式会社爱发科 多级干泵
KR20100091063A (ko) * 2009-02-09 2010-08-18 삼성전자주식회사 회전체 크리닝 장치 및 이를 갖는 진공 펌프
GB0922564D0 (en) 2009-12-24 2010-02-10 Edwards Ltd Pump
FR2993614B1 (fr) * 2012-07-19 2018-06-15 Pfeiffer Vacuum Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes
EP3106611B1 (en) * 2015-06-17 2018-10-31 Jurop S.p.A. Suction/compression assembly for a waste material intake equipment or system

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2839240A (en) * 1955-03-03 1958-06-17 Bechtold Karl Compression and expansion machines for gaseous bodies
FR93701E (fr) * 1967-04-03 1969-05-09 Legris Fils Programmateur a fluide et a circuit intégré.
JP2515831B2 (ja) * 1987-12-18 1996-07-10 株式会社日立製作所 スクリユ―真空ポンプ
GB8809621D0 (en) * 1988-04-22 1988-05-25 Boc Group Plc Dry pump with closed loop filter
DE3876243D1 (de) * 1988-10-24 1993-01-07 Leybold Ag Zweiwellenvakuumpumpe mit schoepfraum.
EP0370117B1 (de) * 1988-10-24 1994-01-12 Leybold Aktiengesellschaft Zweiwellenvakuumpumpe und Verfahren zu ihrem Betrieb
KR940000217B1 (ko) * 1989-06-05 1994-01-12 가부시기가이샤 히다찌 세이사꾸쇼 스크류 압축장치 및 그 제어장치
US5277224A (en) * 1993-03-02 1994-01-11 Century Industries Inc. Five valve manifold for use with a pressure sensing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
US5356275A (en) 1994-10-18
JPH06505079A (ja) 1994-06-09
DE59200391D1 (de) 1994-09-22
WO1992015786A1 (de) 1992-09-17
JP2001000025U (ja) 2001-07-19
EP0574442A1 (en) 1993-12-22
EP0574442B1 (de) 1994-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100203019B1 (ko) 다단 건식 진공펌프의 불활성 가스 공급장치
US6186177B1 (en) Integrated gas delivery system
US5836355A (en) Building blocks for integrated gas panel
US5997220A (en) Vertical-shaft airlock
US7004453B1 (en) Pendulum valve with a full range of position control
US20100326554A1 (en) Flexible manifold for integrated gas system gas panels
JP2731080B2 (ja) ガス制御装置
JP2011008804A (ja) 真空チャンバ内の圧力を調整するためのシステム、このシステムを装備した真空ポンピングユニット
US6283143B1 (en) System and method for providing an integrated gas stick
US7784496B2 (en) Triple valve inlet assembly
EP1781946B1 (en) An integrated high vacuum pumping system
US6227236B1 (en) Widely variable conductance valve
US6009894A (en) Airflow rate regulating device
JPWO2005042979A1 (ja) 回転式ドライ真空ポンプ
US5417551A (en) Housing arrangement for a synchronous plural motor fluid rotary apparatus
US3696713A (en) Rotary positioner
JP6501391B2 (ja) 回転機械システム
US3746039A (en) A fuel control device mounting arrangement with a fuel supply manifold
JP3251983B2 (ja) ポンプ排気速度の調節を伴った気体ポンプ送り装置
US3111259A (en) Continuously operated compressors
CA2249113C (en) Airflow rate regulating device
GB2392506A (en) A mass flow meter and controller therefor
US20230111717A1 (en) Flame detector lens maintenance system
US12196322B1 (en) Gland seal assembly
JP2000088128A (ja) 冷凍サイクル装置用開閉弁

Legal Events

Date Code Title Description
PA0105 International application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A15-nap-PA0105

R17-X000 Change to representative recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R17-oth-X000

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

A201 Request for examination
P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U12-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20030219

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

Not in force date: 20040323

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20040323

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000