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KR0153355B1 - 플레이트 또는 디스크를 래커링 또는 코팅하기 위한 장치 - Google Patents

플레이트 또는 디스크를 래커링 또는 코팅하기 위한 장치

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KR0153355B1
KR0153355B1 KR1019950704862A KR19950704862A KR0153355B1 KR 0153355 B1 KR0153355 B1 KR 0153355B1 KR 1019950704862 A KR1019950704862 A KR 1019950704862A KR 19950704862 A KR19950704862 A KR 19950704862A KR 0153355 B1 KR0153355 B1 KR 0153355B1
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substrate
slot
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KR1019950704862A
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퀴벨베크 아르민
게리쉬 토르슈텐
아피크 카를
스제케레쉬 자코브
칼리스 마르틴
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페터 옐리히; 울리히 비블
스테그 마이크로테크 게엠베하
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Abstract

액체 코팅 매질에 의해 충전되어 있는 모세관 슬롯(24)을 통해 플레이트(17) 또는 디스크를 래커링 및 코팅하는 장치에 있어서, 액체 코팅 매질로 충전되고, 코팅될 플레이트(17)가 모세관 작용 때문에 박막이 플레이트(17)에 침착되도록 아래쪽으로 향하여 코팅되는 표면을 가로질러 진행된다.

Description

플레이트 또는 디스크를 래커링 또는 코팅하기 위한 장치
제1도는 본 발명에 따른 래커링 및 코우팅 장치의 고안의 측면도, 및
제2도는 코우팅 방법 개시 단계에서 제1도에 따른 모세관 슬롯을 포함하는 채널의 횡단면도이다.
제1도는 본 발명에 따른 코우팅 장치(10)의 첫 번째 구체예를 나타낸 도면이다. 프레임(11)에는 선형 전송 장치(15)의 지지체(13,14) 및 채널(12)도 연결되어 있다. 선형 전송 장치(15)의 이동 가능 부분은 아래를 향하고 있다. 그것에는 래커링되는 플레이트를 위해 회전 가능 홀더(16)가 연결되어 있다. 플레이트(17), 예를 들면, 유리 플레이트는 래커로 코우팅되어 마스크 및 LCD 모니터 제조에 이용된다. 예를 들어 플레이트(17)는 플레이트 홀더(16)에 진공으로 지지되어 있다. 이를 위해 홀더(16)에는 보이지 않지만 각각 진공 보어가 제공되어 있다. 본 발명의 범위내에서 본 발명의 기술 분야에 있는 당해 기술자에게 공지된 다른 지지 장치가 사용될 수 있다.
채널(12)는 제1도에서 횡단면으로 나타나고, 제2도에서 상세히 설명된다. 채널(12)의 중공 내부에 부분적으로 래커가 충전된다. 두 개의 얇은 플레이트(19,20)는 상기 래커내 가라앉게 된다. 플레이트(19)는 채널(12)의 상부 엣지의 위치(33)에 단단히 연결되어진다. 그것은 위치 변경이 불가능하다. 반면에 플레이트(20)는 적당한 장치로 선형 변경 유니트(22)에 연결된다. 변경 유니트(22)를 통하여 플레이트(20)는 화살표 방향 전,후로 위치가 변경될 수 있다. 따라서 플레이트(19,20) 사이의 슬롯 폭은 무한히 가변적인 방법내에서 조정이 가능하다.
상응하는 액체 코우팅 매체가 특정 온도를 가지며 매우 깨끗하면 최적의 래커링 또는 코우팅 결과를 얻을 수 있다. 따라서 그 매체는 공급 탱크(28)으로부터 온도 조절 유니트(19) 및 필터(30)를 통해 채널(12)로 공급된다. 수송 방법에는 예를 들면, 과압을 발생시키거나(가스 쿠션), 공급 탱크(28)에 적당한 장치를 제공하여 액체를 측지 높이차에 의해 채널(12)로 수송시키는 방법이 있다. 그러나 본 발명의 기술 분야에 있는 당해 기술자에게 공지된 다른 적당한 장치를 이용한 액체 수송도 고려되어진다.
완전 자동 버전의 코우팅 장치는 지시 위치(31)에 자동 로우딩 장치 및 위치(32)에 자동 언로우딩 장치가 제공되어 있다. 상기 로우딩 장치(31)는 특정 위치에 있는 매거진에서 래커링될 플레이트(17)를 제거하여 플레이트 홀더(16)로 수송한다. 상기 언로우딩 장치(32)는 홀더(16)에서 플레이트(17)를 제거하여 특정 위치에 있는 다른 매거진으로 로우딩시킨다.
(래커링 및 코우팅 장치(10)의 작동 모드)
제1단계로 플레이트(17)가 자동 또는 수동으로 홀더(16)에 연결된다. 홀더(16)를 회전시켜 상기 위치를 교정할 수 있다. 이때 플레이트 홀더(16)는 제1도의 지시 위치(31)에 근접해 위치한다. 플레이트(17)가 홀더(16)에 교정된 후 선형 수송 장치(15)는 화살표(26) 방향, 예를 들면 채널(12)쪽으로 작동되도록 세팅된다.
이와 같이 플레이트(17)는 측면에서 슬롯(24)의 상부 엣지까지 이동한다. 플레이트(17)의 선도 엣지(25)가 슬롯(24) 위에 직접 위치하면 곧바로 채널(12)내 플레이트(20)는 플레이트(19)로 이동하여 적당한 모세관 폭을 플레이트 사이에 만들게된다. 상기 슬롯(24)의 협소화로 인해 소량의 액체가 플레이트(17) 선도 엣지에 대한 모세관 슬롯(24)의 상부 엣지에서 벗어나게 된다. 이와 같이 코우팅 방법이 개시된다. 플레이트(17)는 선형 수송 장치(15)를 통해 화살표(26) 방향으로 균일한 속도를 유지하며 광범위하게 이동한다. 부착 효과로 인해 얇은 액체막이 플레이트 표면에서 분해된다. 그리고 필요한 액체 스트림은 모세관 슬롯(24)내 모세관 작용으로 공급된다.
코우팅 방법은 플레이트의 후미 엣지가 못관 슬롯(24)을 통과하면 곧바로 종결된다. 그리고 전술한 이유로 두 플레이트(19,20)는 2 내지 3mm 거리를 두고 떨어진다. 코우팅된 플레이트(17)는 자동적으로 또는 수동적으로 홀더(16)에서 제거되는 지시 위치(32)로 이동된다.
본 발명은 모세관 슬롯의 상부 에지를 가로지르는 기판을 통과하기 위하여 모세관 슬롯위에 제공되는 래커링해질 기판에 대한 직선형 이송 장치에 의해 액체 코팅 매질로 충전되며, 각각 아래쪽으로 향하여 래커링해지고 코팅되는 표면을 가지는 기판이 모세관 작용 및 점착 작용에 의해 이러한 표면에 박막이 침착되도록 코팅 과정 중에 통과되는 상부 에지를 가로지르는 모세관 슬롯에 의해 기판을 래커링 또는 코팅하는 장치에 관한 것이다.
이러한 종류의 장치는 US-A-2 046 596에 의해 공지되어 있다. 액체 니트로셀룰로스를 가지는 셀룰로이드의 무단 필름 스트립을 코팅하기 위한 장치를 기재하고 있다. 장치는 액체 니트로셀룰로스를 포함하는 냉장고를 제공하며, 냉장고내에 장착된 측벽에 평행하게 위치하는 플레이트와 함께 이러한 냉장고의 측벽은 냉장고로부터 액체를 상승시키는 모세관 슬롯을 형성한다. 측벽은 모세관 슬롯 단부 및 필름 스트립이 무단 캐리어에 의해 이러한 에지를 가로질러 프레스되는 상부 직선 에지를 가지며, 소정의 위치내의 이러한 에지에 놓여지고 니트로셀룰로스 필름이 접착력에 의해 필름 스트립상에 생성되는 식으로 모세관 슬롯을 가로질러 비스듬히 위쪽으로 가이드된다. 그러나, 이러한 장치는 예컨대 긁는 방법 등에 의해 모세관 슬롯의 에지에 대하여 프레스되는 것에 의해 손상될 수 있기 때문에 플레이트 또는 디스크를 양질로 코팅하는데는 적합하지 않다.
본 발명의 목적은 플레이트 및 디스크에 대한 래커링 및 코팅 공정에 적합한 장치를 제공하는 것이다.
따라서, 이러한 목적은 에지와의 접촉을 유도하지 않고 모세관 슬롯 및 그 에지를 가로질러 단거리에서 래커링 또는 코팅 공정 중에 이러한 기판을 가이드하기 위하여, 플레이트 또는 디스크 형으로 래커링해질 기판에 대한 홀더에 의해 직선형 이송 장치로서 전송장치를 디자인함으로서 상기 장치에 의해 해결될 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명은 래커 등의 균일 층에 의해 직각 또는 원형 플레이트를 제공하기 위하여, 박막 기술, 특히 LCD 모니터, 반도체 제조를 위한 마스크, 반도체 또는 세라믹 기판을 제조하는데 적합하다. 아래쪽으로 향하고 있는 래커링해질 표면을 가지는 플레이트 또는 디스크는 단거리에서 모세관의 상부 에지를 가로질러 가이드된다. 모세관 슬롯은 자동적으로 래커를 공급하며, 특히 균일한 속도로 공급한다. 모세관 작용 때문에 래커 또는 다른 액체 코팅 매질은 중력에 대하여 균일한 속도로 모세관 슬롯에서 자동적으로 위쪽으로 진행하며, 모세관 슬롯의 상부 에지에서 존재한다. 모세관 슬롯 위에서 래커 스트림은 코팅될 플레이트 표면에 좁은 라인으로 접촉하며, 균일하고 낮은 속도로 직선형 이송 장치에 의해 이동되고, 접착 작용에 의해 유지되며, 플레이트의 이동 속도에 의존하여 소정의 두께를 가지는 막에 침착 및 코팅된다. 플레이트 표면에서의 래커의 접착 작용 때문에 모세관 슬롯으로부터 빠져나온 후에 래커가 수평으로 흘러, 층 두께의 균일성을 감소시킬 수 있다.
코팅 공정 중에, 모세관 슬롯과 기판 사이의 거리는 0.2mm 미만인 것이 바람직하다.
바람직하게는, 모세관 슬롯이 첨부되는 특허청구의 범위 제3항에 기재된 바와 같이, 0.5mm 미만의 폭을 가지도록 디자인된다.
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 모세관 슬롯을 무한대로 조절하기 위한 선형 치환 유니트는 장치의 조작 중에 모세관 슬롯의 조절을 가능하게 할 수 있도록 제공된다. 따라서, 모세관 채널은 그 전체 길이위에 모세관 작용에 대해 적합한 폭을 가지도록 형성될 수 있다. 따라서, 모세관 기하학이 코팅될 플레이트의 종류에 따라 조정될 수 있다.
바람직하게, 장치는 수단이 각 래커링 공정 후에 모세관 슬롯이 2 내지 3mm의 폭을 가지고 개방되도록 제공된다. 따라서, 래커링 공정이 행해질 수 없게 하는 모세관 슬롯내의 래커의 자동상승을 막을 수 있다. 연장된 기간 동안 모세관 슬롯내에 남아 있는 경우,래커는 래커 결과에 대한 부작용을 가지는 특성을 변화시키는 것을 나타낸다. 모세관 슬롯이 2 내지 3mm로 확대되는 경우, 래커가 그 안에 충전되지 않고 남아 있다.
본 발명의 다른 실시예에 있어서, 소량의 액체 코팅 매질을 코팅될 모세관 플레이트 표면 밖으로 가압시키기 위하여 래커링 또는 코팅 공정을 시작하기 전에 직접 모세관 폭으로 모세관 슬롯을 좁히기 위해 제공된다.(1995년 2월 22일자 제출된 보정서의 번역문)
이와 같이, 래커링 방법은 상기 설명한 바와 같이 모세관 폭, 플레이트 이동 및 부착 효과를 갖는 슬롯내 모세관 작용으로 개시되고, 연속적으로 진행된다.
하기에 도면으로 설명되는 구체예들은 본 발명을 광범위하고 상세하게 설명하기 위해 기재할 뿐 결코 특허청구 범위의 다른 종속항 및 본 발명의 범위를 제한하고자 하는 것은 아니다:

Claims (11)

  1. 모세관 슬롯(24)의 상부 에지를 가로지르는 기판을 통과하기 위하여 모세관 슬롯(24)위에 제공되는 래커링해질 기판(17)에 대한 직선형 이송 장치(15)에 의해 액체 코팅 매질로 충전되며, 각각 아래쪽으로 향하여 래커링해지고 코팅되는 표면을 가지는 기판(17)이 모세관 작용 및 점착 작용에 의해 이러한 표면에 박막이 침착되도록 코팅 과정 중에 통과되는 상부 에지를 가로지르는 모세관 슬롯(24)에 의해 기판(17)을 래커링 또는 코팅하는 장치로서, 래커링해질 플레이트형 또는 디스크형 기판(17)에 대한 홀더(16)를 가지는 직선형 이송 장치(15)가 접촉 없이 단거리에서 모세관 슬롯(24)의 에지를 가로질러 래커링 또는 코팅하는 도중에 이것을 가이드하기 위하여 제공되는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 모세관 슬롯(24)과 기판(17) 사이의 거리가 코팅 과정중에 0.2mm 마민의 폭인 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항 또는 2항에 있어서, 모세관 슬롯(24)이 액체 코팅 매질을 포함하는 채널(12)에 침수된 두 개의 평행 플레이트(19,20)를 제공하는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제2항 또는 3항에 있어서, 모세관 슬롯(24)이 0.5mm의 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서, 모세관 슬롯(24)의 폭을 무한대로 조정하기 위한 선형 치환 유니트(22)가 장치의 작동 중에 모세관 슬롯의 폭을 조정하게 하는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제5항에 있어서, 수단이 각각의 래커링 공정 후, 모세관 슬롯(24)을 개방하기 위해 고안된 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제6항에 있어서, 선형 치환 유니트(22)가 2 내지 3mm의 폭으로 모세관 슬롯(24)을 개방하기 위해 장치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제6항 또는 7항에 있어서, 수단이 소량의 액체 코팅 매질을 모세관 슬롯(24)의 정상부 밖으로 나가게하여 래커링 또는 코팅 공정을 시작하도록 각 래커링 또는 코팅 공정을 시작하기 전에 직접 모세관 슬롯(24)을 좁게하기 위하여 제공되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서, 자동화된 로딩 장치(31) 및 자동화된 언로딩 장치(32)가 제공된 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서, 고정적으로 연결된 홀더(16) 및 대체가능한 채널(12)에 의해 조작되는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. LCD 모니터, 반도체 제조를 위한 마스크, 반도체 또는 세라믹 기판을 제조하기 위하여 상기 항들 중 어느 한 항에 따른 장치를 사용하는 방법.
KR1019950704862A 1993-05-05 1993-08-26 플레이트 또는 디스크를 래커링 또는 코팅하기 위한 장치 KR0153355B1 (ko)

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