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KR0152975B1 - Magnetic bearing and manufacturing process - Google Patents

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KR0152975B1
KR0152975B1 KR1019940033048A KR19940033048A KR0152975B1 KR 0152975 B1 KR0152975 B1 KR 0152975B1 KR 1019940033048 A KR1019940033048 A KR 1019940033048A KR 19940033048 A KR19940033048 A KR 19940033048A KR 0152975 B1 KR0152975 B1 KR 0152975B1
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한동철
장인배
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Abstract

본 발명은 자기베어링 및 그 제조방법을 개시한다.The present invention discloses a magnetic bearing and a method of manufacturing the same.

본 발명에 따른 자기베어링은 복수의 폴들이 방사상의 내측으로 돌출형성되도록 복수의 코어판이 적층된 코어와; 상기 폴들과 각각 결합하도록 코일이 권선되어 있는 복수의 마그네틱 코일체들과; 상기 코어의 상부 내측에 장착되는 캐패시턴스 센싱수단과; 상기 마그네틱 코일체들과 상기 센싱수단을 고정시키기 위하여 상기 코어와 상기 코일체들과 센싱수단을 몰딩시킨 플라스틱체로 이루어져 캐패시턴스 센서가 자기베어링에 가장 근접한 위치에 설치되도록 자기베어링에 내장됨으로써 변위 측정시 자장의 영향을 받지 않게 되므로 회전축의 표면 가공오차에 기인한 측정오차를 최소화시켜 안정적으로 회전축의 변위를 측정할 수 있으며, 또한 회전축의 진동특성을 개선할 수 있게 된다.The magnetic bearing according to the present invention includes a core in which a plurality of core plates are stacked such that a plurality of poles protrude radially inwardly; A plurality of magnetic coil bodies having coils wound around the poles, respectively; Capacitance sensing means mounted inside the upper portion of the core; Magnetic field for displacement measurement because the capacitance sensor is built in the magnetic bearing so as to be installed in the position closest to the magnetic bearing so as to fix the magnetic coil bodies and the sensing means. Since it is not affected by, it is possible to stably measure the displacement of the rotating shaft by minimizing the measurement error caused by the surface machining error of the rotating shaft, and also to improve the vibration characteristics of the rotating shaft.

Description

자기베어링 및 그 제조방법Magnetic Bearing and Manufacturing Method

제1도는 본 발명에 따른 자기베어링을 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a magnetic bearing according to the present invention.

제2도는 본 발명에 따른 자기베어링의 스테이터코어를 나타낸 평면도.2 is a plan view showing a stator core of a magnetic bearing according to the present invention.

제3도의 (a)는 본 발명에 따른 자기베어링에서 스테이터코어와 마그네틱 코일체의 결합 및 배선상태를 나타낸 사시도이고.Figure 3 (a) is a perspective view showing the coupling and wiring state of the stator core and the magnetic coil body in the magnetic bearing according to the present invention.

제3도의 (b)는 마그네틱 코일체 사이의 배선관계를 설명하기 위한 배선도.(B) of FIG. 3 is a wiring diagram for demonstrating the wiring relationship between magnetic coil bodies.

제4도는 본 발명에 따른 자기베어링의 캐패시턴스 센서용 실린더를 나타낸 사시도.4 is a perspective view showing a cylinder for a capacitance sensor of a magnetic bearing according to the present invention.

제5도는 본 발명에 따른 자기베어링에서 캐패시턴스 센서의 결합 및 배선상태를 나타낸 사시도.Figure 5 is a perspective view showing the coupling and wiring state of the capacitance sensor in the magnetic bearing according to the present invention.

제6도는 본 발명에 따른 자기베어링을 액체형 플라스틱으로 몰딩한 후의 몰딩상태를 나타낸 사시도.6 is a perspective view showing a molding state after molding the magnetic bearing according to the present invention into a liquid plastic.

제7도는 본 발명에 따른 자기베어링에서 캐패시턴스 센서용 실린더가 가공된 후의 상태를 절개하여 나타낸 사시도이다.7 is a perspective view showing the state after the cylinder for the capacitance sensor is processed in the magnetic bearing according to the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : 스테이터코어 11 : 폴10: stator core 11: pole

12 : 절연링 21-28 : 마그네틱 코일체12: insulation ring 21-28: magnetic coil body

25s,27s : 시작선 25e,27e : 끝선25s, 27s: starting line 25e, 27e: ending line

30 : 캐패시턴스 센서 31 : 센서판30: capacitance sensor 31: sensor plate

32 : 가드판 33,34 : 홈32: guard plate 33,34: home

34a : 연결부 40 : 센서선34a: connection part 40: sensor wire

41 : 가드선 42 : 쉬일더41: guard ship 42: Schilder

50 : 플라스틱체 L11~L43: 도선50: plastic body L 11 to L 43 : lead wire

S21~S28: 시작점 E21~E28: 끝점S 21 ~ S 28 : Starting point E 21 ~ E 28 : End point

본 발명은 자기베어링에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐패시턴스 센서(capacitance sensor)가 내장된 자기베어링 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic bearing, and more particularly, to a magnetic bearing in which a capacitance sensor is embedded and a method of manufacturing the same.

축의 회전시 발생하는 변위를 측정하기 위하여 사용되는 비접촉 변위센서는, 위치측정에 이용되는 매체에 따라 반사된 빛의 간섭 효과를 이용하는 광학(optical)센서, 레이저빔의 반사파를 이용하는 레이저(laser)센서, 도전성 금속 대상물의 표면에서 발생하는 와동전류(eddy current)에 의한 센서 코일내의 임피던스 변화를 변위로 환산하는 와동전류형 센서, 그리고 도전성 대상물과 센서판 사이에 형성되는 캐패시턴스 양으로부터 거리를 측정하는 캐패시턴스 센서 등으로 구분된다.The non-contact displacement sensor used to measure the displacement generated during rotation of the shaft is an optical sensor that uses the interference effect of the reflected light according to the medium used for position measurement, and a laser sensor that uses the reflected wave of the laser beam. , A eddy current type sensor that converts the impedance change in the sensor coil due to the eddy current generated on the surface of the conductive metal object into displacement, and the capacitance measuring the distance from the amount of capacitance formed between the conductive object and the sensor plate. Sensor, etc.

그러나, 이와 같은 여러 종류의 비접촉 변위센서들중 자기베어링에 장착되어 회전축의 변위를 측정할 수 있는 센서는 매우 한정되어 있으며, 이는 자기베어링의 설치공간, 센서의 형상 및 자기베어링에서 발생된 자장의 영향 등에 기인하여 그 사용이 제한된다. 자기베어링에서 회전축의 변위 측정에는 와전류 구동형 변위센서가 가장 일반적으로 사용되며 이는 와전류 구동형 변위센서가 가격이 저렴하고 설치 및 사용이 용이하기 때문이다. 그러나, 와전류 구동형 변위센서는 자장의 영향을 받기 때문에 스테이터코어의 폴로부터 최소한 25.4㎜이상을 띄워 설치해야만 하며, 그에 따라 자기베어링의 작동위치와 측정위치가 불일치하게 되어 연성축의 고차 모우드에서 자기베어링이 불안정하게 되는 문제점이 있었다.However, among these various types of non-contact displacement sensors, a sensor mounted on a magnetic bearing and capable of measuring displacement of the rotating shaft is very limited. This is because of the installation space of the magnetic bearing, the shape of the sensor, and the magnetic field generated from the magnetic bearing. Its use is limited due to influence and the like. In magnetic bearings, eddy current driven displacement sensors are most commonly used for displacement measurement of rotating shafts because eddy current driven displacement sensors are inexpensive and easy to install and use. However, because the eddy current driven displacement sensor is affected by the magnetic field, it should be installed at least 25.4mm from the pole of the stator core. Therefore, the operating position of the magnetic bearing and the measuring position are inconsistent, and the magnetic bearing in the higher order mode of the flexible shaft is installed. There was a problem of this becoming unstable.

그리고, 일반적으로 변위센서들은 저어널 표면의 한 점만을 측정하므로 저어널의 가공오차 및 표면조도등이 측정된 변위신호에 혼합되어 저어널 기하학적 중심의 정확한 위치변화를 측정할 수 없다. 이와 같은 위치측정오차는 자기베어링 제어기의 제어 연산에 그대로 유입되어 교란 요소로 작용하므로 자기베어링의 정확한 위치제어를 어렵게 하는 문제점을 초래하였다.In general, the displacement sensors measure only one point of the journal surface, and thus, the machining error and the surface roughness of the journal are mixed with the measured displacement signal, and thus the exact position change of the journal geometric center cannot be measured. This position measurement error is introduced into the control operation of the magnetic bearing controller as it acts as a disturbing factor, causing a problem that makes it difficult to control the exact position of the magnetic bearing.

또한, 비접촉 변위측정센서를 이용하는 변위측정 시스템은 고가의 장비일 뿐만 아니라 그 설치 및 사용이 불편하였다.In addition, the displacement measuring system using a non-contact displacement measuring sensor is not only expensive equipment but also inconvenient to install and use.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 변위측정시 자장의 영향을 전혀 받지 않는 캐패시턴스 센서가 자기베어링의 최대한 가까운 위치에 장착됨으로써, 회전축의 표면 가공오차에 기인한 측정오차를 최소화시켜 안정적으로 회전축의 변위를 측정할 수 있으며, 회전축의 진동특성이 개선됨과 동시에 제품의 사용이 편리한 자기베어링을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, the capacitance sensor which is not affected by the magnetic field at the time of displacement measurement is mounted in the position as close as possible to the magnetic bearing, due to the surface machining error of the rotating shaft The objective of this invention is to stably measure the displacement of the rotating shaft by minimizing the measurement error, to improve the vibration characteristics of the rotating shaft, and to provide a magnetic bearing that is easy to use.

본 발명의 다른 목적은, 캐패시턴스 센서가 액체형 플라스틱에 의해 몰딩되어 자기베어링에 내장된 형태로 제작됨으로써, 자기베어링의 제작이 용이해져 생산성이 향상될 뿐만 아니라, 제품의 생산비용이 절감되도록 한 자기베어링의 제조방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is that the capacitance sensor is molded in a form of liquid plastic and embedded in the magnetic bearing, so that the production of the magnetic bearing is easy to improve the productivity, as well as to reduce the production cost of the magnetic bearing To provide a method of manufacturing.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 복수의 폴들이 방사상의 내측으로 돌출형성되도록 복수의 코어판이 적층된 코어와, 상기 폴들과 각각 결합하도록 코일이 권선되어 있는 복수의 마그네틱 코일체들을 구비하고 있는 자기베어링에 있어서, 상기 코어의 상부 내측에 장착되는 캐패시턴스 센싱수단과; 상기 마그네틱 코일체들과 상기 센싱수단을 고정시키기 위하여 상기 코어와 상기 코일체들과 센싱수단을 몰딩시킨 플라스틱체를 포함하고 있는 자기베어링에 있다.In order to achieve the above object, a feature of the present invention includes a core in which a plurality of core plates are laminated so that a plurality of poles protrude radially inwardly, and a plurality of magnetic coil bodies having coils wound around the poles, respectively. A magnetic bearing, comprising: capacitance sensing means mounted on an upper inner side of the core; The magnetic bearing includes a plastic body molded from the core, the coil bodies, and the sensing means to fix the magnetic coil bodies and the sensing means.

본 발명의 다른 특징은, 복수의 얇은 코어판이 적층된 코어의 복수의 폴들에 마그네틱 코일체들을 결합시켜 배선하는 단계와; 4개의 센서 및 가드판들이 서로 분할되도록 연결된 캐패시턴스 센싱수단을 상기 폴의 상측면에 전기적인 절연이 이루어지도록 접착시키는 단계와; 상기 코어와 캐패시턴스 센싱수단이 완전히 접착된 후에, 센서 및 가드판들에 센서 및 가드선들을 각각 배선하는 단계와; 상기 코어와 캐패시턴스 센서 조립체 사이의 공간을 액체형 플라스틱으로 몰딩하는 단계와; 몰딩된 액체형 플라스틱이 고형화된 후에, 선삭 및 연삭공정을 통하여 센서 및 가드판들이 서로 분리되도록 캐패시턴스 센서의 내경을 가공하는 단계로 이루어지는 자기베어링의 제조방법에 있다.Another feature of the present invention includes the steps of: connecting and wiring magnetic coil bodies to a plurality of poles of a core in which a plurality of thin core plates are laminated; Bonding capacitance sensing means connected to the four sensors and the guard plates to be separated from each other so as to electrically insulate the upper side of the pole; After the core and the capacitance sensing means are completely bonded, wiring the sensor and the guard wires to the sensor and the guard plates, respectively; Molding a space between the core and the capacitance sensor assembly with liquid plastic; After the molded liquid plastic is solidified, there is a method of manufacturing a magnetic bearing consisting of processing the inner diameter of the capacitance sensor so that the sensor and the guard plate are separated from each other through a turning and grinding process.

이하, 본 발명에 따른 자기베어링 및 그 제조방법에 대한 바람직한 실시예들을 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명한다. 제1도 내지 제7도는 본 발명에 따른 자기베어링 및 그 제조방법을 설명하기 위하여 나타낸 도면이다.Hereinafter, preferred embodiments of a magnetic bearing and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 to 7 are diagrams for explaining the magnetic bearing and the method of manufacturing the same according to the present invention.

먼저, 본 발명에 따른 자기베어링에 대하여 설명한다.First, the magnetic bearing according to the present invention will be described.

부호 10은 스테이터코어로서, 이 스테이터코어(10)는 제1도에 나타낸 바와 같이, 와전류 발생에 기인한 열발생을 방지하기 위하여 얇은 규소강판을 프레스 가공한 코어판을 대략 40~60장 정도로 적층시켜 제작한다. 상기 스테이터코어(10)의 내측에는 1축 2폴 제어식 2축 자기베어링인 경우로서 8개의 폴(pole)(11)들이 돌출형성되어 있다.Reference numeral 10 denotes a stator core. The stator core 10, as shown in FIG. 1, stacks about 40 to 60 sheets of core plates press-processed with thin silicon steel sheets to prevent heat generation due to eddy current generation. Produce it. Inside the stator core 10, eight poles 11 protrude from each other as a single-axis two-pole controlled two-axis magnetic bearing.

부호 21~28은 마그네틱 코일체들로서 에나멜 코팅된 동선이 권선된 것이며, 이 마그네틱 코일체(21~28)들은 각각 권선이 시작되는 시작선 및 권선이 끝나는 끝선을 예컨데, 제3도를 참고하면 마그네틱 코일체(25)의 경우 시작선(25s)와 끝선(25e), 마그네틱 코일체(27)의 경우 시작선(27s)와 끝선(27e)을 가진다. 마그네틱 코일체(21~28)들의 제작시 자기베어링내의 전류증폭단(도시하지 않음)에 의해 제어되는 전류의 영향으로 코일이 진동하는 것을 방지하기 위하여 권선 각각의 사이는 접착제에 의해 고착된다. 상기 마그네틱 코일체(21~28)들은 스테이터코어(10)의 폴(11)들에 각각 에폭시에 의해 접착되도록 끼워져 결합되며, 마그네틱 코일체(21~28)들은 2개씩 접속되어 하나의 말굽형 전자석을 형성한다. 이때, 상기 마그네틱 코일체(21~28)들은 인접한 폴(11)들 사이의 자기적 상호작용에 의한 자속의 누설을 막기 위하여 인접한 폴(11)들이 N-N극 또는 S-S극과 같이 서로 자속을 밀어내는 방향으로 배열된다.Reference numerals 21 to 28 denote magnetic coil bodies in which an enamel coated copper wire is wound, and the magnetic coil bodies 21 to 28 respectively refer to a starting line at which the winding starts and an end line at which the winding ends, for example, referring to FIG. 3. The coil body 25 has a start line 25s and an end line 25e, and the magnetic coil body 27 has a start line 27s and an end line 27e. In order to prevent the coil from vibrating under the influence of the current controlled by the current amplifying stage (not shown) in the magnetic bearing in the manufacture of the magnetic coil bodies 21 to 28, the windings are fixed between the respective windings. The magnetic coil bodies 21 to 28 are fitted to each other so that the poles 11 of the stator core 10 are bonded to each other by epoxy, and the magnetic coil bodies 21 to 28 are connected to each other to form a horseshoe type electromagnet. To form. In this case, the magnetic coil bodies 21 to 28 push the magnetic fluxes away from each other, such as NN poles or SS poles, to prevent leakage of magnetic flux due to magnetic interaction between adjacent poles 11. Are arranged in the direction.

한편, 본 발명에 따른 자기베어링의 마그네틱 코일체(21~28)는 단일의 전원에 의하여 전력이 공급된다. 제3도의 (b)를 참고로 하여 부호들에 대하여 설명하면, 점 S21,S22,... S27,S28은 마그네틱 코일체들(21~28)의 코일 시작점들이고, 점 E21,E22,... E27,E28은 마그네틱 코일체들(21~28)의 코일 끝점들이다. 그리고, L11,L21,L31,L41은 각각 마그네틱 코일체들(21,23,25,27)에 전력을 공급하는 전력선이고, 도선 L12,L22,L32,L42는 말굽형 전자석을 형성하는 한쌍의 각각의 코일체들(21,22),(23,24),(25,26),(27,28)을 연결시키는 도선들이고, 도선 L13,L23,L33,L43은 각각 자기베어링용 제어기의 전류증폭단(도시안함)에 연결되는 도선들이다. 도선(L11)은 자기베어링의 전체에 전력을 공급하는 전력선으로 계속하여 도선들(L21,L31,L41)에 의하여 연결되어 코일 시작점들(S21,S23,S25,S27)에 각각 접속되며 도선(L11)은 직류전원 공급장치에 접속되어 있다.On the other hand, the magnetic coil bodies 21 to 28 of the magnetic bearing according to the present invention are supplied with power by a single power source. Referring to the symbols with reference to FIG. 3 (b), points S 21 , S 22 ,... S 27 , S 28 are the coil starting points of the magnetic coil bodies 21 to 28, and point E 21. , E 22 , ... E 27 , E 28 are the coil end points of the magnetic coil bodies 21 to 28. In addition, L 11 , L 21 , L 31 , and L 41 are power lines for supplying power to the magnetic coil bodies 21 , 23 , 25 , and 27 , respectively, and wires L 12 , L 22 , L 32 , and L 42 are horseshoees. These are conductors connecting the pair of coil bodies 21, 22, 23, 24, 25, 26, and 27, 28 forming the electromagnet, and the conductors L 13 , L 23 , L 33 And L 43 are the leads connected to the current amplifier stage (not shown) of the controller for magnetic bearings, respectively. Conductor L 11 is a power line that supplies power to the entire magnetic bearing and is continuously connected by conductors L 21 , L 31 , and L 41 so that coil starting points S 21 , S 23 , S 25 , S 27. ), And the conductor L 11 is connected to a DC power supply.

먼저, 한쌍의 제1 마그네틱 코일체들(21,22)의 배선관계를 설명하면, 도선(L11)은 마그네틱 코일체(21)의 코일시작점(S21)에 접속되고 마그네틱 코일체(21)의 코일끝점(E21)은 도선(L12)에 의하여 마그네틱 코일체(22)의 코일시작점(S22)에 연결된다. 마그네틱 코일체(22)의 코일끝점(E22)에는 도선(L13)이 접속되고 이 도선(L13)은 수직축 자기베어링용 제어기의 추종부 전류증폭단(도시안함)에 접속된다.First, referring to the wiring relationship of the pair of first magnetic coil bodies 21 and 22, the conductive wire L 11 is connected to the coil starting point S 21 of the magnetic coil body 21 and the magnetic coil body 21. The coil end point E 21 of is connected to the coil starting point S 22 of the magnetic coil body 22 by the conductive wire L 12 . Coil end point (E 22) of the magnetic coil 22, the conductor (L 13) is connected is connected to the conductor (L 13) is follow-up sub-current amplifier stage of a controller for the magnetic bearings and the vertical axis (not shown).

또한, 한쌍의 제2 마그네틱 코일체들(23,24)에 있어서는, 도선(L21)은 마그네틱 코일체(23)의 코일시작점(S23)에 접속되고 마그네틱 코일체(23)의 코일끝점(E23)은 도선(L22)에 의하여 마그네틱 코일체(24)의 코일시작점(S24)에 연결된다. 마그네틱 코일체(24)의 코일끝점(E24)에는 도선(L23)이 접속되고 이 도선(L23)은 수평축 자기베어링용 제어기의 추종부 전류증폭단(도시안함)에 접속된다.In addition, in the pair of second magnetic coil bodies 23 and 24, the conductive wire L 21 is connected to the coil starting point S 23 of the magnetic coil body 23, and the coil end point of the magnetic coil body 23 ( E 23 ) is connected to the coil starting point S 24 of the magnetic coil body 24 by a conductor L 22 . The coil end point (E 24), the wire (L 23) of the magnetic coil 24 is connected and is connected to the conductor (L 23) is follow-up sub-current amplifier stage of a controller for the horizontal magnetic bearing (not shown).

그리고, 한쌍의 제3 마그네틱 코일체들(25,26)에 있어서는, 도선(L31)은 마그네틱 코일체(25)의 코일시작점(S25)에 접속되고 마그네틱 코일체(25)의 코일끝점(E25)은 도선(L32)에 의하여 마그네틱 코일체(26)의 코일시작점(S26)에 연결된다. 마그네틱 코일체(26)의 코일끝점(E26)에는 도선(L33)이 접속되고 이 도선(L33)은 수직축 자기베어링용 제어기의 반전부 전류증폭단(도시안함)에 접속된다.In the pair of third magnetic coil bodies 25 and 26, the conductive wire L 31 is connected to the coil starting point S 25 of the magnetic coil body 25 and the coil end point of the magnetic coil body 25 ( E 25 ) is connected to the coil starting point S 26 of the magnetic coil body 26 by a conductor L 32 . The coil end point (E 26), the wire (L 33) of the magnetic coil 26 is connected is connected to the conductor (L 33) is a half of all for the vertical axis control magnetic bearing current amplification stage (not shown).

마지막으로, 한쌍의 제4 마그네틱 코일체들(27,28)에 있어서는, 도선(L41)은 마그네틱 코일체(27)의 코일시작점(S27)에 접속되고 마그네틱 코일체(27)의 코일끝점(E27)은 도선(L42)에 의하여 마그네틱 코일체(28)의 코일시작점(S28)에 연결된다. 마그네틱 코일체(28)의 코일끝점(E28)에는 도선(L43)이 접속되고 이 도선(L43)은 수평축 자기베어링용 제어기의 반전부 전류증폭단(도시안함)에 접속된다.Finally, in the pair of fourth magnetic coil bodies 27 and 28, the conductor L 41 is connected to the coil starting point S 27 of the magnetic coil body 27 and the coil end point of the magnetic coil body 27. E 27 is connected to the coil starting point S 28 of the magnetic coil body 28 by a conductor L 42 . The coil end point (E 28), the wire (L 43) of the magnetic coil 28 is connected is connected to the conductor (L 43) are all half of the controller for the horizontal magnetic bearing current amplification stage (not shown).

부호 30은 황동으로 이루어지는 실린더형태의 캐패시턴스 센서로서, 이 캐패시턴스 센서(30)는, 제4도에 도시되어 있는 바와 같이, 폴(11)들의 상측면에 전기적인 절연이 이루어지도록 접착된다. 여기에서, 스테이터코어(10)의 폴(11)들과 캐패시턴스센서(30)의 사이에는 전기적인 절연을 위하여 대략 1㎜ 정도의 두께를 갖는 절연링(12)이 개재된다. 상기 캐패시턴스 센서(30)는 서로 일정한 공극이 유지되어 각각 분리되어 있는 4개의 센서판(31) 및 가드판(32)으로 이루어진다. 캐패시턴스 센서(30)의 센서판(31) 및 가드판(32)은 수직 및 수평의 2방향에 대하여 90°의 각도로 배치되고, 상기 센서판(31) 및 가드판(32)들의 면적은 서로 동일하도록 되어 있다.Reference numeral 30 denotes a cylindrical capacitance sensor made of brass. The capacitance sensor 30 is bonded to the upper side of the poles 11 so as to be electrically insulated, as shown in FIG. Here, an insulation ring 12 having a thickness of about 1 mm is interposed between the poles 11 of the stator core 10 and the capacitance sensor 30 for electrical insulation. The capacitance sensor 30 is composed of four sensor plates 31 and guard plates 32 which are separated from each other by maintaining a constant gap therebetween. The sensor plate 31 and the guard plate 32 of the capacitance sensor 30 are disposed at an angle of 90 ° with respect to two directions of vertical and horizontal, and the areas of the sensor plate 31 and the guard plate 32 are mutually different. It is intended to be the same.

부호 40,41은 캐패시턴스 센서(30)의 신호선들로서 센서선 및 가드선들이며, 제5도에 나타낸 바와 같이, 상기 센서선(40)들은 센서판(31)들에 각각 배선되고, 가드선(41)들은 가드판(32)들에 각각 배선된다. 상기 센서 및 가드선(40,41)들은 테프론재로 피복되는 저저항 단선을 사용하는 것이 바람직하다. 이 센서 및 가드선(40,41)들은 모두 쉬일드된 형태로 사용되며 서로 반대방향으로 엇갈리게 망사형태로 꼬여 권선된다. 이에 따라, 센서 및 가드선(40,41)들은 서로 반대방향으로 돌면서 노이즈를 서로 상쇄시키며, 센서 및 가드판(31,32)들로부터 센서증폭기(도시하지 않음)까지의 전 구간에서 8개의 센서 및 가드선(40,41)들이 모두 동일한 접지수준 및 잡음수준(noise level)을 유지할 수 있게 된다. 이때, 상기 센서 및 가드선(40,41)들은 총 길이가 1m를 넘지 않는 것이 바람직하다.Reference numerals 40 and 41 denote sensor lines and guard lines as signal lines of the capacitance sensor 30. As shown in FIG. 5, the sensor lines 40 are wired to the sensor plates 31, respectively, and the guard lines 41 are shown. Are wired to the guard plates 32, respectively. The sensor and guard wires 40 and 41 may preferably use low resistance single wires covered with Teflon material. These sensors and guard wires 40 and 41 are all used in a shielded form and are twisted and twisted in a mesh form to cross in opposite directions. Accordingly, the sensor and the guard wires 40 and 41 cancel each other by rotating in opposite directions, and eight sensors in all sections from the sensor and guard plates 31 and 32 to the sensor amplifier (not shown). The guard lines 40 and 41 can maintain the same ground level and noise level. In this case, the sensor and the guard wire (40, 41) is preferably a total length does not exceed 1m.

부호 50은 플라스틱체로서, 제6도에 도시되어 있는 바와 같이 이 플라스틱체(50)는 스테이터코어(10)와 캐패시턴스 센서(30) 조립체 사이의 빈공간에 액체형 플라스틱을 몰딩하여 고형화시킨 것이다. 상기 플라스틱체(50)에 의해 마그네틱 코일체(21~28) 및 캐패시턴스 센서(30)가 스테이터코어(10)에 각각 견고하게 고정된다. 여기에서 플라스틱체(50)는 스테이터코어(10)의 하부에 노출되는 마그네틱 코일체(21~28)에도 몰딩되는 것이 바람직하다. 이때, 플라스틱체(50)는 스테이터코어(10)와 마그네틱 코일체(21~28)를 에폭시에 의해 접착시킬 경우에 발생하는 전형적인 소음현상을 제거하게 된다.Reference numeral 50 denotes a plastic body, and as shown in FIG. 6, the plastic body 50 is formed by solidifying a liquid plastic in an empty space between the stator core 10 and the capacitance sensor 30 assembly. By the plastic body 50, the magnetic coil bodies 21 to 28 and the capacitance sensor 30 are firmly fixed to the stator core 10, respectively. Herein, the plastic body 50 is preferably molded in the magnetic coil bodies 21 to 28 exposed to the lower portion of the stator core 10. At this time, the plastic body 50 eliminates typical noise phenomena generated when the stator core 10 and the magnetic coil bodies 21 to 28 are bonded by epoxy.

이상에서 설명한 바에 따라, 본 발명에 따른 자기베어링은 캐패시턴스 센서(30)에 의해 대상물 즉, 회전축(도시하지 않음)의 변위를 센서판(31)들과 회전축 사이에 집적된 전하의 양을 이용하여 측정하기 때문에, 상기 회전축의 가공상태에 관계없이 그 위치를 정확하게 측정할 수 있게 된다. 또한, 자장의 영향을 받지 않는 캐패시턴스 센서(30)가 스테이터코어(10)와 최대한 가까운 위치에 장착됨으로써, 회전축의 표면 가공오차에 기인한 측정오차를 최소화시켜 안정적으로 회전축의 변위를 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 회전축의 진동특성이 개선된다. 그리고, 본 발명에 따른 자기베어링은, 일반적인 자기베어링의 시스템에서 사용되는 초기 회전오차 제거과정이나 회전속도에 따른 저역 통과 필터링등과 같은 매우 복잡한 측정오차 제거 과정을 없앨 수 있으며, 자기베어링의 사용시 캐패시턴스 센서(30)와의 얼라인먼트를 맞추기 위한 소요시간을 줄일 수 있는 등 제품의 사용이 편리해지는 것이다.As described above, the magnetic bearing according to the present invention uses the capacitance of the object, that is, the displacement of the rotation axis (not shown) by using the amount of charge integrated between the sensor plates 31 and the rotation axis. Because of the measurement, the position can be measured accurately regardless of the machining state of the rotary shaft. In addition, since the capacitance sensor 30 which is not affected by the magnetic field is mounted at the position as close as possible to the stator core 10, the displacement of the rotating shaft can be stably measured by minimizing the measurement error caused by the surface machining error of the rotating shaft. In addition, the vibration characteristics of the rotating shaft are improved. In addition, the magnetic bearing according to the present invention can eliminate a very complicated measurement error removal process such as the initial rotation error removal process or low pass filtering according to the rotational speed used in a general magnetic bearing system, and the capacitance when using the magnetic bearing. It is possible to use the product such as to reduce the time required to align the alignment with the sensor 30.

본 발명에 따른 자기베어링의 제조방법에 대하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the manufacturing method of the magnetic bearing according to the present invention.

먼저, 제3도에 나타낸 바와 같이, 얇은 규소강판이 여러장 적층된 스테이터코어(10)의 폴(11)들에 권선된 상태의 마그네틱 코일체(21~28)들을 에폭시에 의해 접착시켜 결합시킨다. 그리고, 상기 마그네틱 코일체(21~28)들의 시작점들(S21~S28) 및 끝점들(E21~E28)에 도선들(L11~L43)을 각각 배선시켜 접속시킴과 동시에 전력공급선(L11)을 전원공급장치에 연결시킨다.First, as shown in FIG. 3, the magnetic coil bodies 21 to 28 wound around the poles 11 of the stator core 10 in which a plurality of thin silicon steel sheets are stacked are bonded by epoxy to bond. . The wires L 11 to L 43 are connected to the start points S 21 to S 28 and the end points E 21 to E 28 of the magnetic coil bodies 21 to 28 , respectively, and the electric power is simultaneously connected. Connect the supply line (L 11 ) to the power supply.

한편, 상기 스테이터코어(10)의 폴(11)의 상측면에는 전기적인 절연이 이루어지도록 실린더형 캐패시턴스 센서(30)를 장착시킨다. 여기에서, 상기 캐패시턴스 센서(30)는 제4도에 나타낸 바와 같이 4개의 센서 및 가드판(31,32)들이 서로 분할되도록 사각형태의 홈(33)들이 형성되어 있다. 또한, 캐패시턴스 센서(30)는 가드판(32)들이 서로 분할되도록 연결부(34a)를 갖는 홈(34)들이 또한 형성된다. 이때, 상기한 홈(33,34)들은 폭이 좁고 깊이가 깊도록 형성되는 것이 바람직하다.On the other hand, the cylindrical capacitance sensor 30 is mounted on the upper side of the pole 11 of the stator core 10 so as to electrically insulate. Here, as shown in FIG. 4, the capacitance sensor 30 has rectangular grooves 33 formed so that the four sensors and the guard plates 31 and 32 are divided from each other. In addition, the capacitance sensor 30 is also formed with grooves 34 having a connecting portion 34a such that the guard plates 32 are divided from each other. In this case, the grooves 33 and 34 are preferably formed to have a narrow width and a deep depth.

상기와 같이 스테이터코어(10)와 캐패시턴스 센서(30)가 완전히 접착된 후에는, 제5도에 나타낸 바와 같이 캐패시턴스 센서(30)의 센서 및 가드판(31,32)들에 센서 및 가드선(40,41)들을 각각 배선시킨다.After the stator core 10 and the capacitance sensor 30 are completely adhered as described above, as shown in FIG. 5, the sensor and the guard wires are formed on the sensors and the guard plates 31 and 32 of the capacitance sensor 30. Wire 40 and 41, respectively.

그리고, 센서 및 가드선(40,41)들의 배선이 완료되면, 제6도에 나타낸 바와 같이 스테이터코어(10)와 캐패시턴스 센서(30) 조립체 사이의 빈공간을 액체형 플라스틱으로 몰딩하여 고형화된 플라스틱체(50)를 형성한다. 상기한 액체형 플라스틱에 의해 몰딩할 경우에는 적절한 몰딩주형을 제작하여 사용하며, 스테이터코어(10)의 하부에 노출되는 마그네틱 코일체(21~28)가 플라스틱체(50)에 의해 몰딩되도록 한다.When the wiring of the sensors and the guard wires 40 and 41 is completed, as shown in FIG. 6, the empty space between the stator core 10 and the capacitance sensor 30 assembly is molded by liquid plastic to solidify the plastic body. To form (50). In the case of molding with the above liquid plastic, an appropriate molding mold is produced and used, and the magnetic coil bodies 21 to 28 exposed to the lower part of the stator core 10 are molded by the plastic body 50.

또한, 몰딩된 액체형 플라스틱이 고형화된 후에는, 선삭 및 연삭공정을 통하여 센서 및 가드판(31,32)들이 서로 분리되도록 캐패시턴스 센서(30)의 내경을 가공한다. 이때, 캐패시턴스 센서(30)의 내경을 가공할 경우에, 제7도에 나타낸 바와 같이 홈(33,34)들이 완전히 제거되도록 가공하는 것으로, 상기 홈들(33,34)의 제거로 인하여 센서 및 가드판(31,32)들이 서로 일정한 공극이 유지되도록 각각 분리되는 것이다.In addition, after the molded liquid plastic is solidified, the inner diameter of the capacitance sensor 30 is processed so that the sensor and the guard plates 31 and 32 are separated from each other through a turning and grinding process. At this time, when processing the inner diameter of the capacitance sensor 30, as shown in Figure 7, the grooves 33, 34 are processed to be completely removed, the sensor and guard due to the removal of the grooves (33, 34) The plates 31 and 32 are separated from each other so as to maintain a constant gap with each other.

한편, 상기와 같이 캐패시턴스 센서(30) 내경을 가공한 후에는, 센서판(31)들 및 가드판(32)들의 표면을 에나멜로 절연 코팅처리하며, 이로써 상기 센서판(31)들 및 가드판들(32)은 코팅처리로 인하여 회전축의 회전시에 발생할 수 있는 갑작스러운 외란 등에 의하여 센서판(31)들과 회전축이 전기적으로 접촉하여 센싱신호가 일순간 단절되는 현상을 방지하게 된다. 따라서, 본 발명에 따른 자기베어링의 제조방법은, 캐패시턴스 센서(30)가 액체형 플라스틱에 의해 몰딩되어 자기베어링에 내장된 형태로 제작됨으로써, 자기베어링의 구조가 단순하면서도 그 제작이 용이해져 생산성이 향상될 뿐만 아니라, 제품의 생산비용이 절감되는 것이다.On the other hand, after processing the inner diameter of the capacitance sensor 30 as described above, the surface of the sensor plate 31 and the guard plate 32 is subjected to an enamel coating coating, whereby the sensor plate 31 and the guard plate The field 32 prevents a phenomenon in which the sensing signal is disconnected by a moment by the electrical contact between the sensor plates 31 and the rotating shaft due to a sudden disturbance that may occur during the rotation of the rotating shaft due to the coating treatment. Accordingly, in the manufacturing method of the magnetic bearing according to the present invention, since the capacitance sensor 30 is molded by liquid plastic and embedded in the magnetic bearing, the structure of the magnetic bearing is simple and its manufacture is easy, thereby improving productivity. In addition, the production cost of the product is reduced.

한편, 상기한 실시예에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한 것이나, 본 발명의 적용범위는 이와 같은 것에 한정되는 것은 아니고, 상기한 실시예에서 나타낸 구체적 형상이나 구조는 본 발명의 실시예에 있어서 구체적인 일예를 나타낸 것에 불과하며, 본 발명은 이러한 실시예 이외에도 동일사상의 범주내에서 적절하게 변경시킬 수 있는 것이다.In the above embodiments, the preferred embodiments of the present invention are described, but the scope of application of the present invention is not limited to the above embodiments, and the specific shapes and structures shown in the above embodiments are in the embodiments of the present invention. It is merely shown a specific example, the present invention can be appropriately changed within the scope of the same idea in addition to these embodiments.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 자기베어링 및 그 제조방법은, 회전축의 변위를 안정적으로 측정할 수 있으며, 회전축의 진동특성이 개선됨과 동시에 제품의 사용이 편리해지는 것이다. 또한, 자기베어링의 제작이 용이해져 생산성이 향상될 뿐만 아니라, 제품의 생산비용이 절감되는 것이다.As described above, the magnetic bearing and the manufacturing method thereof according to the present invention can stably measure the displacement of the rotating shaft, and the vibration characteristics of the rotating shaft are improved and the use of the product is convenient. In addition, the production of magnetic bearings is easy to improve productivity as well as to reduce the production cost of the product.

Claims (9)

복수의 폴들이 방사상의 내측으로 돌출형성되도록 복수의 코어판이 적층된 코어와, 상기 폴들과 각각 결합하도록 코일이 권선되어 있는 복수의 마그네틱 코일체들을 구비하고 있는 자기베어링에 있어서, 상기 코어의 상부 내측에 장착되는 캐패시턴스 센싱수단과; 상기 마그네틱 코일체들과 상기 센싱수단을 고정시키기 위하여 상기 코어와 상기 코일체들과 센싱수단을 몰딩시킨 플라스틱체를 포함하고 있는 자기베어링.A magnetic bearing comprising a core in which a plurality of core plates are laminated so that a plurality of poles protrude radially inward, and a plurality of magnetic coil bodies wound around coils to be coupled to the poles, respectively. Capacitance sensing means mounted to the; And a plastic body formed by molding the core, the coil bodies, and the sensing means to fix the magnetic coil bodies and the sensing means. 제1항에 있어서, 상기 센싱수단은, 90°의 각도로 분할되어 배치되어 있는 4개의 캐패시턴스 센서들로 이루어진 자기베어링.The magnetic bearing as claimed in claim 1, wherein the sensing means is composed of four capacitance sensors which are divided and disposed at an angle of 90 degrees. 제2항에 있어서, 상기 캐패시턴스 센서들의 각각은 중앙부에는 사각형의 센서판이 형성되어 있고, 상기 센서판과 소정의 공극을 두고 상기 센서판을 에워싸고 있는 가드판으로 된 자기베어링.The magnetic bearing according to claim 2, wherein each of the capacitance sensors has a rectangular sensor plate formed at a central portion thereof, and a guard plate surrounding the sensor plate with a predetermined gap with the sensor plate. 제3항에 있어서, 상기 센서판과 가드판에는 쉬일드되고 서로 반대방향으로 연속적으로 교차하도록 망사형으로 권선된 센서선과 가드선이 각각 배선되어 있는 자기베어링.4. The magnetic bearing according to claim 3, wherein the sensor plate and the guard plate are each wired with a sensor wire and a guard wire wound in a mesh shape so as to be shielded and continuously intersect in opposite directions. 제1항에 있어서, 상기 코어와 센싱수단 사이에는 전기적인 절연을 위하여 절연링이 개재되어 있는 자기베어링.The magnetic bearing of claim 1, wherein an insulation ring is interposed between the core and the sensing means for electrical insulation. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 복수의 마그네틱 코일체들은 단일의 전원에 의하여 전력이 공급되는 자기베어링.The magnetic bearing according to claim 1 or 5, wherein the plurality of magnetic coil bodies are powered by a single power source. 복수의 얇은 코어판이 적층된 코어의 복수의 폴들에 마그네틱 코일체들을 결합시켜 배선하는 단계와; 4개의 센서 및 가드판들이 서로 분할되도록 연결된 캐패시턴스 센싱수단을 상기 폴의 상측면에 전기적인 절연이 이루어지도록 접착시키는 단계와; 상기 코어와 캐패시턴스 센싱수단이 완전히 접착된 후에, 센서 및 가드판들에 센서 및 가드선들을 각각 배선하는 단계와; 상기 코어와 캐패시턴스 센서 조립체 사이의 공간을 액체형 플라스틱으로 몰딩하는 단계와; 몰딩된 액체형 플라스틱이 고형화된 후에, 선삭 및 연삭공정을 통하여 센서 및 가드판들이 서로 분리되도록 캐패시턴스 센서의 내경을 가공하는 단계로 이루어지는 자기베어링의 제조방법.Coupling and coupling magnetic coil bodies to a plurality of poles of a core in which a plurality of thin core plates are stacked; Bonding capacitance sensing means connected to the four sensors and the guard plates to be separated from each other so as to electrically insulate the upper side of the pole; After the core and the capacitance sensing means are completely bonded, wiring the sensor and the guard wires to the sensor and the guard plates, respectively; Molding a space between the core and the capacitance sensor assembly with liquid plastic; And after the molded liquid plastic is solidified, processing the inner diameter of the capacitance sensor such that the sensor and the guard plates are separated from each other through a turning and grinding process. 제7항에 있어서, 상기 액체형 플라스틱의 몰딩 단계에서는, 스테이터코어의 하부에 노출되는 마그네틱 코일체가 액체형 플라스틱에 의해 몰딩되도록 한 자기베어링의 제조방법.The method of manufacturing a magnetic bearing according to claim 7, wherein in the molding of the liquid plastic, the magnetic coil body exposed to the lower portion of the stator core is molded by the liquid plastic. 제7항에 있어서, 상기 캐패시턴스 센서의 내면을 가공하는 단계 후에, 센서판들 및 가드판들의 표면을 에나멜로 코팅처리하는 단계가 더 포함되도록 한 자기베어링의 제조방법.The method of manufacturing a magnetic bearing according to claim 7, further comprising enameling the surfaces of the sensor plates and the guard plates after processing the inner surface of the capacitance sensor.
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