JPS6364030B2 - - Google Patents
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- JPS6364030B2 JPS6364030B2 JP12832880A JP12832880A JPS6364030B2 JP S6364030 B2 JPS6364030 B2 JP S6364030B2 JP 12832880 A JP12832880 A JP 12832880A JP 12832880 A JP12832880 A JP 12832880A JP S6364030 B2 JPS6364030 B2 JP S6364030B2
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- halide lamp
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/54—Igniting arrangements, e.g. promoting ionisation for starting
- H01J61/548—Igniting arrangements, e.g. promoting ionisation for starting using radioactive means to promote ionisation
Landscapes
- Discharge Lamp (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は水銀灯用安定器を用いて点灯使用され
るとともに発光金属としてスカンジウムハロゲン
化物を封入したメタルハライドランプに関する。
るとともに発光金属としてスカンジウムハロゲン
化物を封入したメタルハライドランプに関する。
近時、二次電圧が200V級の水銀灯用安定器、
すなわち単チヨークコイル形安定器を用いてメタ
ルハライドランプを点灯始動させることが提案さ
れており、メタルハライドランプは水銀灯に比べ
て光効率、演色性において優れていることから省
エネルギーに寄与し、かつ水銀灯との互換性を生
じることから既存の水銀灯設備をそのまま利用で
きるなどの利点がある。
すなわち単チヨークコイル形安定器を用いてメタ
ルハライドランプを点灯始動させることが提案さ
れており、メタルハライドランプは水銀灯に比べ
て光効率、演色性において優れていることから省
エネルギーに寄与し、かつ水銀灯との互換性を生
じることから既存の水銀灯設備をそのまま利用で
きるなどの利点がある。
しかしながら、ここで問題となるのは、メタル
ハライドランプの始動性と、さらに高い光効率化
である。高効率であるということと始動性に優れ
るということは、多くの相反する点を生じ、両者
の条件をいかにうまく折り合せるかということが
重要な課題となる。
ハライドランプの始動性と、さらに高い光効率化
である。高効率であるということと始動性に優れ
るということは、多くの相反する点を生じ、両者
の条件をいかにうまく折り合せるかということが
重要な課題となる。
メタルハライドランプにおいて光効率の向上を
目的として封入金属の選択が挙げられる。近時に
おいては、希土類金属ハロゲン化物、特にスカン
ジウム(Sc)のハロゲン化物は、可視光領或の
特に視感度の良い波長に発光する物質として注目
されており、発光管内に沃化ナトリウム(NaI)
とともに沃化スカンジウム(ScI3)の形態で封入
される傾向にある。
目的として封入金属の選択が挙げられる。近時に
おいては、希土類金属ハロゲン化物、特にスカン
ジウム(Sc)のハロゲン化物は、可視光領或の
特に視感度の良い波長に発光する物質として注目
されており、発光管内に沃化ナトリウム(NaI)
とともに沃化スカンジウム(ScI3)の形態で封入
される傾向にある。
しかしながらこのスカンジウムを封入使用した
ランプは始動電圧が高くなり、始動時間も長くな
る欠点がある。
ランプは始動電圧が高くなり、始動時間も長くな
る欠点がある。
始動性改善の対策として、始動用希ガスにネオ
ン−アルゴン混合ガス、いわゆるペニングガスを
使用することは従来から採用されているが、この
種ペニングガスは質量の軽いネオンを主体とする
ため対流効果が少く、よつて光効率を低下させる
不具合がある。
ン−アルゴン混合ガス、いわゆるペニングガスを
使用することは従来から採用されているが、この
種ペニングガスは質量の軽いネオンを主体とする
ため対流効果が少く、よつて光効率を低下させる
不具合がある。
また易電子放射性物質(エミツター)として酸
化ナトリウム(ThO2)の採用も考えられるが、
ThO2はScI3と反応して遊離トリウムの発生を促
し、これが発光することによつてやはり光効率を
低下させる欠点がある。
化ナトリウム(ThO2)の採用も考えられるが、
ThO2はScI3と反応して遊離トリウムの発生を促
し、これが発光することによつてやはり光効率を
低下させる欠点がある。
最近では外管内にバイメタルスイツチを組み込
み、このバイメタルスイツチの開作動によるキツ
ク電圧でパルスを発生させ、このパルスを主電極
間に印加して始動させる手段も採用されている。
しかしながらパルス発生器としての必要条件は、
単位時間中に多くのパルスを発生すること、その
パルス電位が一定レベルに達していること、あま
り高い電圧のパルスは発生させないことなどであ
るが、バイメタルスイツチの場合は単位時間内の
パルス発生回数が少く、しかも時どき高い電圧の
パルスを発生して絶縁破壊を生じるなどの不具合
がある。
み、このバイメタルスイツチの開作動によるキツ
ク電圧でパルスを発生させ、このパルスを主電極
間に印加して始動させる手段も採用されている。
しかしながらパルス発生器としての必要条件は、
単位時間中に多くのパルスを発生すること、その
パルス電位が一定レベルに達していること、あま
り高い電圧のパルスは発生させないことなどであ
るが、バイメタルスイツチの場合は単位時間内の
パルス発生回数が少く、しかも時どき高い電圧の
パルスを発生して絶縁破壊を生じるなどの不具合
がある。
本発明は上述のごとき事情に鑑み、封入物質封
入ガス、パルス発生素子および初期電子の供給な
どの総合的観点から検討して、始動性に優れかつ
水銀灯に比べて1.6倍以上の光効率が得られるよ
うにし、実用性においてきわめて好適するメタル
ハライドランプの提供を目的とする。
入ガス、パルス発生素子および初期電子の供給な
どの総合的観点から検討して、始動性に優れかつ
水銀灯に比べて1.6倍以上の光効率が得られるよ
うにし、実用性においてきわめて好適するメタル
ハライドランプの提供を目的とする。
以下本発明の一実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
図中1は外管であり窒素ガスを封入してある。
この外管1内には発光管2が収容されている。発
光管2は石英ガラスチユーブからなり、一対の主
電極3,4および一方の主電極3に近接して起動
用補助電極5を備えている。上記主電極3,4は
第3図に示されるように、電極軸6に電極コイル
7を巻回して構成されており、電極軸6はトリウ
ムを含有したタングステンで構成されているとと
もに電極コイル7は純タングステンで構成されて
いる。電極コイル7は電極軸6に対して3層巻き
されている。なおこのような電極3,4には、酸
化スカンジウム(Sc2O3)が塗布されている。し
かして上記発光管2内には水銀と、沃化スカンジ
ウム(SaI3)、沃化ナトリウム(NsI)が所定量
封入されているとともに20〜100torrのアルゴン
(Ar)ガスが封入されている。またこの発光管2
内にはプロメチウムなどの放射性物質が、取扱上
密封線源化された形態で封入されている。
この外管1内には発光管2が収容されている。発
光管2は石英ガラスチユーブからなり、一対の主
電極3,4および一方の主電極3に近接して起動
用補助電極5を備えている。上記主電極3,4は
第3図に示されるように、電極軸6に電極コイル
7を巻回して構成されており、電極軸6はトリウ
ムを含有したタングステンで構成されているとと
もに電極コイル7は純タングステンで構成されて
いる。電極コイル7は電極軸6に対して3層巻き
されている。なおこのような電極3,4には、酸
化スカンジウム(Sc2O3)が塗布されている。し
かして上記発光管2内には水銀と、沃化スカンジ
ウム(SaI3)、沃化ナトリウム(NsI)が所定量
封入されているとともに20〜100torrのアルゴン
(Ar)ガスが封入されている。またこの発光管2
内にはプロメチウムなどの放射性物質が、取扱上
密封線源化された形態で封入されている。
上記発光管2は、その両端封止部がホルダー
8,9を介して各各サポート10,11に支持さ
れている。なお一方のホルダー8もしくは9には
バリウムアザイド(BaN2)などのゲツター(図
示しない)を付着してある。外管1内には点灯管
12が収容されている。点灯管12は保持筒体1
3を介してサポート10に支持されている。点灯
管12の一方のリード線14はサポート10に接
続されており、他方のリード線15は限流抵抗1
6に接続されている。限流抵抗16は補助抵抗1
7を介して前記起動用補助電極5に接続されてい
る。これら限流抵抗16と補助抵抗17との接続
線には、常閉形バイメタルスイツチ18の固定接
点19が接続されており、このバイメタルスイツ
チ18の可動接点20は、ステム21のウエルズ
22に接続されている。このウエルズ22はリー
ド線23を介して他方の主電極4に接続されてい
る。なおこのウエルズ22は口金24に接続され
ている。またサポート10はステム21に封止さ
れた他のウエルズ25に接続されており、このウ
エルズ25は口金24のアイレツト端子26に接
続されている。なお27は熱遮蔽板である。
8,9を介して各各サポート10,11に支持さ
れている。なお一方のホルダー8もしくは9には
バリウムアザイド(BaN2)などのゲツター(図
示しない)を付着してある。外管1内には点灯管
12が収容されている。点灯管12は保持筒体1
3を介してサポート10に支持されている。点灯
管12の一方のリード線14はサポート10に接
続されており、他方のリード線15は限流抵抗1
6に接続されている。限流抵抗16は補助抵抗1
7を介して前記起動用補助電極5に接続されてい
る。これら限流抵抗16と補助抵抗17との接続
線には、常閉形バイメタルスイツチ18の固定接
点19が接続されており、このバイメタルスイツ
チ18の可動接点20は、ステム21のウエルズ
22に接続されている。このウエルズ22はリー
ド線23を介して他方の主電極4に接続されてい
る。なおこのウエルズ22は口金24に接続され
ている。またサポート10はステム21に封止さ
れた他のウエルズ25に接続されており、このウ
エルズ25は口金24のアイレツト端子26に接
続されている。なお27は熱遮蔽板である。
このようなメタルハライドランプは第2図に示
される200V級の水銀灯用安定器28を介して電
源29に接続されて、点灯使用される。
される200V級の水銀灯用安定器28を介して電
源29に接続されて、点灯使用される。
しかしてこのような構成に係るメタルハライド
ランプにあつては、電源29をオンすると、安定
器28を通じてこの安定器28の二次電圧がラン
プに印加される。すると、常閉バイメタルスイツ
チ18は閉じているので、限流抵抗16と点灯管
12に電流が流れる。点灯管12にあつては点灯
管12自身のグロー電流のために点灯管12の接
点が開閉され、電流の遮断・通電を繰り返す。こ
のため点灯管12、限流抵抗16、バイメタルス
イツチ18の回路に、安定器のインダクタンスに
よつてパルス電圧が発生する。このパルス電圧は
対向主電極3,4間に印加されると同時に補助抵
抗17を介して起動用補助電極5とこれに近接し
ている一方の主電極3にも印加される。主電極3
は、対向主電極4よりも補助電極5が近いので、
これら主電極3と補助電極5との間でグロー放電
を開始する。この場合、発光管2内にはプロメチ
ウムなどの放射性物質を封入してあるため、この
放射性物質はβ線などを放出しており、これが初
期電子放出のきつかけ、つまり電子の種となつて
グロー放電を迅速に行わせる。このグロー放電は
直ちに主電極3,4間のグロー放電へ移行する。
ランプにあつては、電源29をオンすると、安定
器28を通じてこの安定器28の二次電圧がラン
プに印加される。すると、常閉バイメタルスイツ
チ18は閉じているので、限流抵抗16と点灯管
12に電流が流れる。点灯管12にあつては点灯
管12自身のグロー電流のために点灯管12の接
点が開閉され、電流の遮断・通電を繰り返す。こ
のため点灯管12、限流抵抗16、バイメタルス
イツチ18の回路に、安定器のインダクタンスに
よつてパルス電圧が発生する。このパルス電圧は
対向主電極3,4間に印加されると同時に補助抵
抗17を介して起動用補助電極5とこれに近接し
ている一方の主電極3にも印加される。主電極3
は、対向主電極4よりも補助電極5が近いので、
これら主電極3と補助電極5との間でグロー放電
を開始する。この場合、発光管2内にはプロメチ
ウムなどの放射性物質を封入してあるため、この
放射性物質はβ線などを放出しており、これが初
期電子放出のきつかけ、つまり電子の種となつて
グロー放電を迅速に行わせる。このグロー放電は
直ちに主電極3,4間のグロー放電へ移行する。
このような主電極3,4間のグロー放電は数秒
ないし数10秒続く。この場合点灯管12は開閉を
繰り返しており、したがつてパルス電圧を繰り返
して発生している。この繰り返しパルスによつて
主電極3,4の温度が上昇してくると主電極3,
4上にアークスポツトが形成され、これによつて
上記グロー放電はアーク放電へと移行する。この
場合、グロー放電からアーク放電に速やかに移る
のは、第3図のごとき電極構造を採用したためで
ある。つまり電極軸6はトリウムを含有したタン
グステンで構成されるのでトリウムの作用にもと
づき電子放射性が良いこと、主電極には酸化スカ
ンジウム(Sc2O3)を塗つてあるのでこれも電子
放射性を円滑に進めること、および電極コイル7
は3層構造であるため、2層目の温度上昇を促し
てアークスポツトを形成させ易くなることであ
る。特に電極コイル7を3層にすると、1層目は
電極軸6を通じて熱伝導され、また3層目は放電
空間中に熱放出することになるが、2層目は上記
1層目および3層目に囲まれて温度上昇し易くな
り、よつてアークスポツトの形成が容易となる。
ないし数10秒続く。この場合点灯管12は開閉を
繰り返しており、したがつてパルス電圧を繰り返
して発生している。この繰り返しパルスによつて
主電極3,4の温度が上昇してくると主電極3,
4上にアークスポツトが形成され、これによつて
上記グロー放電はアーク放電へと移行する。この
場合、グロー放電からアーク放電に速やかに移る
のは、第3図のごとき電極構造を採用したためで
ある。つまり電極軸6はトリウムを含有したタン
グステンで構成されるのでトリウムの作用にもと
づき電子放射性が良いこと、主電極には酸化スカ
ンジウム(Sc2O3)を塗つてあるのでこれも電子
放射性を円滑に進めること、および電極コイル7
は3層構造であるため、2層目の温度上昇を促し
てアークスポツトを形成させ易くなることであ
る。特に電極コイル7を3層にすると、1層目は
電極軸6を通じて熱伝導され、また3層目は放電
空間中に熱放出することになるが、2層目は上記
1層目および3層目に囲まれて温度上昇し易くな
り、よつてアークスポツトの形成が容易となる。
このようにして主電極3,4間にアーク放電が
開始されると発光管電流が増大して安定器の二次
電圧は低下するので点灯管12はもはや開閉作動
しなくなる。そして発光管2の温度が徐徐に上昇
して所定温度に達するとこの発光管2の熱を受け
てバイメタルスイツチ18が開かれ、よつて限流
抵抗16、点灯管12に電流が流れなくなり、起
動用補助電極5への通電が断たれることになり、
安定点灯を維持する。
開始されると発光管電流が増大して安定器の二次
電圧は低下するので点灯管12はもはや開閉作動
しなくなる。そして発光管2の温度が徐徐に上昇
して所定温度に達するとこの発光管2の熱を受け
てバイメタルスイツチ18が開かれ、よつて限流
抵抗16、点灯管12に電流が流れなくなり、起
動用補助電極5への通電が断たれることになり、
安定点灯を維持する。
このように上記構成のメタルハライドランプ
は、封入発光金属としてスカンジウムを用いたに
も拘らず、しかも始動用希ガスとしてアルゴン用
いたにも拘らず始動が確実に行われ、また始動時
間も短縮化される。そして上記スカンジウムおよ
びアルゴンゴスを用いたので光効率において水銀
灯の1.6倍以上にもなり、演色性も良好であり、
光色のばらつきも少ないものである。
は、封入発光金属としてスカンジウムを用いたに
も拘らず、しかも始動用希ガスとしてアルゴン用
いたにも拘らず始動が確実に行われ、また始動時
間も短縮化される。そして上記スカンジウムおよ
びアルゴンゴスを用いたので光効率において水銀
灯の1.6倍以上にもなり、演色性も良好であり、
光色のばらつきも少ないものである。
次に実験例について説明する。内径20mm、電極
間距離42mmとした400Wの発光管を第1図のごと
く組み立てた。主電極は、電極軸に1.7%のトリ
ウムを含むタングステンを用い、コイル部は3層
巻きである。この主電極は酢酸ブチルに溶解した
酸化スカンジウム粉末を塗布して真空処理されて
いる。発光管内には水銀60mg、沃化ナトリウム
(NaI)25mg、沃化スカンジウム(ScI3)5mg、
アルゴンガス50torr封入してある。また発光管内
にはプロメチウム(Pm)を封入してある。この
プロメチウムは、セラミツク体ゼオライト
(Na2O−SiO2−Al2O3)のNa成分をPmで置換す
ることによつて密封線源化されたものであり、耐
熱性耐ハロゲン性に優れている。上記セラミツク
体は外径1mm長さ2mmの円柱体をなしている。
間距離42mmとした400Wの発光管を第1図のごと
く組み立てた。主電極は、電極軸に1.7%のトリ
ウムを含むタングステンを用い、コイル部は3層
巻きである。この主電極は酢酸ブチルに溶解した
酸化スカンジウム粉末を塗布して真空処理されて
いる。発光管内には水銀60mg、沃化ナトリウム
(NaI)25mg、沃化スカンジウム(ScI3)5mg、
アルゴンガス50torr封入してある。また発光管内
にはプロメチウム(Pm)を封入してある。この
プロメチウムは、セラミツク体ゼオライト
(Na2O−SiO2−Al2O3)のNa成分をPmで置換す
ることによつて密封線源化されたものであり、耐
熱性耐ハロゲン性に優れている。上記セラミツク
体は外径1mm長さ2mmの円柱体をなしている。
点灯管は1500V程度のキツク電圧を発生するも
のを用いた。
のを用いた。
限流抵抗は300Ωのカーボン被膜抵抗を使用し、
点灯管に流れる電流を制御して高すぎるパルスを
抑止するようになつている。バイメタルスイツチ
は、上記カーボン被膜抵抗の耐熱性に限度がある
ため、1分以上でも点灯しない場合にはこのカー
ボン被膜抵抗の熱で回路を一旦開くように、この
カーボン被膜抵抗に近接して設けてある。
点灯管に流れる電流を制御して高すぎるパルスを
抑止するようになつている。バイメタルスイツチ
は、上記カーボン被膜抵抗の耐熱性に限度がある
ため、1分以上でも点灯しない場合にはこのカー
ボン被膜抵抗の熱で回路を一旦開くように、この
カーボン被膜抵抗に近接して設けてある。
このように構成された400Wメタルハライドラ
ンプは、初期効率105lm/W、100時間点灯後の
効率は100lm/W、色温度4000〓、平均演色評価
数Raは65の特性をもち、効率としては400W水銀
灯の1.6倍であつて光色のむらが少い。またこの
ような構成のランプを100灯製造してテストする
と、二次電圧200Vの水銀灯用安定器を用いて電
源電圧170Vで90%が30秒以内に点灯し、電源電
圧200Vの場合は100%が点灯した。よつて水銀灯
との交換性が確認できた。
ンプは、初期効率105lm/W、100時間点灯後の
効率は100lm/W、色温度4000〓、平均演色評価
数Raは65の特性をもち、効率としては400W水銀
灯の1.6倍であつて光色のむらが少い。またこの
ような構成のランプを100灯製造してテストする
と、二次電圧200Vの水銀灯用安定器を用いて電
源電圧170Vで90%が30秒以内に点灯し、電源電
圧200Vの場合は100%が点灯した。よつて水銀灯
との交換性が確認できた。
なお本発明は上記実施例に制約されるものでは
ない。
ない。
たとえば放射性物質としてはPmのほかに、
22Na、 26Al、 36Cl、 60Co、 90Sr、 137Cs、
133Ba、 144Ce、 210Pb、 228Thなどが実施可能
である。また密封線源体としてはセラミツクには
限らず、上記放射性物質を発光管内の物質と同一
物質、たとえばW、Si、Na、Scなどの元素で被
覆するようにしてもよいものである。
22Na、 26Al、 36Cl、 60Co、 90Sr、 137Cs、
133Ba、 144Ce、 210Pb、 228Thなどが実施可能
である。また密封線源体としてはセラミツクには
限らず、上記放射性物質を発光管内の物質と同一
物質、たとえばW、Si、Na、Scなどの元素で被
覆するようにしてもよいものである。
また起動用補助電極は限ずしも用いなくてもグ
ロー放電が開始されるので実施例には制約されな
い。
ロー放電が開始されるので実施例には制約されな
い。
以上詳述したように本発明によると、光効率に
おいてきわめて良好となり、水銀灯の1.6倍以上
の光効率が得られるようになるので、水銀灯に代
替して水銀灯用安定器により点灯使用して省電力
化が可能になる。しかもこのものは始動が確実と
なり、始動時間の短縮が可能となるので実用上き
わめて有役となる。
おいてきわめて良好となり、水銀灯の1.6倍以上
の光効率が得られるようになるので、水銀灯に代
替して水銀灯用安定器により点灯使用して省電力
化が可能になる。しかもこのものは始動が確実と
なり、始動時間の短縮が可能となるので実用上き
わめて有役となる。
図面は本発明の一実施例を示し、第1図はラン
プの一部断面した正面図、第2図はその回路構成
図、第3図は主電極の断面図である。 1……外管、2……発光管、3,4……主電
極、6……電極軸、7……電極コイル、12……
点灯管、28……安定器。
プの一部断面した正面図、第2図はその回路構成
図、第3図は主電極の断面図である。 1……外管、2……発光管、3,4……主電
極、6……電極軸、7……電極コイル、12……
点灯管、28……安定器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 一対の主電極を備えた発光管内に水銀とスカ
ンジウムハロゲン化物とアルゴンガスとを封入す
ると共に取扱上密封線源化された放射性物質を封
入し、この発光管をパルス発生用点灯管とともに
外管内に収容して、水銀灯用安定器で使用される
ことを特徴とするメタルハライドランプ。 2 上記放射性物質はプロメチウム( 147Pm)
であることを特徴とする特許請求の範囲第1項の
メタルハイライドランプ。 3 上記放射性物質はセラミツク体に分散密封し
て取扱上密封線源化されていることを特徴とする
特許請求の範囲第1項のメタルハライドランプ。 4 主電極は電極軸に電極コイルを3層巻きとし
たことを特徴とする特許請求の範囲第1項のメタ
ルハライドランプ。 5 電極軸はトリウムを含有したタングステンで
構成したことを特徴とする特許請求の範囲第1項
のメタルハライドランプ。 6 主電極にはスカンジウム酸化物を被着したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項のメタルハ
ライドランプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12832880A JPS5753064A (en) | 1980-09-16 | 1980-09-16 | Metal halide lamp |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12832880A JPS5753064A (en) | 1980-09-16 | 1980-09-16 | Metal halide lamp |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5753064A JPS5753064A (en) | 1982-03-29 |
JPS6364030B2 true JPS6364030B2 (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=14982063
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12832880A Granted JPS5753064A (en) | 1980-09-16 | 1980-09-16 | Metal halide lamp |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5753064A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03129720A (ja) * | 1989-10-16 | 1991-06-03 | Canon Inc | 露光装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59101755A (ja) * | 1982-12-03 | 1984-06-12 | Toshiba Corp | メタルハライドランプ |
CA1310059C (en) * | 1986-12-18 | 1992-11-10 | William M. Keeffe | Scandium oxide additions to metal halide lamps |
-
1980
- 1980-09-16 JP JP12832880A patent/JPS5753064A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03129720A (ja) * | 1989-10-16 | 1991-06-03 | Canon Inc | 露光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5753064A (en) | 1982-03-29 |
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