JPS6340694A - レ−ザ−光の形成方法 - Google Patents
レ−ザ−光の形成方法Info
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- JPS6340694A JPS6340694A JP61183179A JP18317986A JPS6340694A JP S6340694 A JPS6340694 A JP S6340694A JP 61183179 A JP61183179 A JP 61183179A JP 18317986 A JP18317986 A JP 18317986A JP S6340694 A JPS6340694 A JP S6340694A
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- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B6/2817—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using reflective elements to split or combine optical signals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
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- G02B6/4249—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres
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- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4296—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with sources of high radiant energy, e.g. high power lasers, high temperature light sources
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、材料処理加工に使用されるレーザー光の形成
方法に係り、特に材料処理加工を行なうために被加工材
料の形状、及び特注に最適のレーザー光を得るためのレ
ーザー光の形成方法に関する。
方法に係り、特に材料処理加工を行なうために被加工材
料の形状、及び特注に最適のレーザー光を得るためのレ
ーザー光の形成方法に関する。
（従来の技術）
レーザー光を得るには、レーザー光発振器による方法が
一般的であるが、そのレーザー光のパワー分布は均一で
ない場合が多い、均一なパワー分布を得るためには高価
な装置を必要とし、また複雑な操作を伴うという欠点が
あった。
一般的であるが、そのレーザー光のパワー分布は均一で
ない場合が多い、均一なパワー分布を得るためには高価
な装置を必要とし、また複雑な操作を伴うという欠点が
あった。
一般的かレーザー光発振器から得られるレーザー光の断
面形状は、円形、あるいは矩形でパワー分布もガウンア
ン分布であったり、複雑なマルチモードであることが多
い、第３図のようにガウシアン分布のレーザー光は、断
面がレーザー光の中心に対称で、中心が最も強く、中心
から離れるにつれて強度が減少することを特徴とし、こ
の分布の光線をガウス型光線と呼ぶ。
面形状は、円形、あるいは矩形でパワー分布もガウンア
ン分布であったり、複雑なマルチモードであることが多
い、第３図のようにガウシアン分布のレーザー光は、断
面がレーザー光の中心に対称で、中心が最も強く、中心
から離れるにつれて強度が減少することを特徴とし、こ
の分布の光線をガウス型光線と呼ぶ。
ガウシアン分布のレーザー光から均一な分布を得る簡単
な方法としては、ビームオシレージ日ソ法、インテグレ
ーテドミラー法、カライドスコープ法などがある（第７
図ないし第９図参照）。
な方法としては、ビームオシレージ日ソ法、インテグレ
ーテドミラー法、カライドスコープ法などがある（第７
図ないし第９図参照）。
ビームオシレーション法は第７図に示すよう（こレーザ
ー光２を凹面鏡９で受け、その反射光を高速で揺動する
平面Ｎ１０１１１に照射し、その反射光から均一な分布
を得るものである。従って、得られるレーザー光２の断
面形状は揺動幅で定められる。第７図の例は矩形の断面
を得る場合のものである。
ー光２を凹面鏡９で受け、その反射光を高速で揺動する
平面Ｎ１０１１１に照射し、その反射光から均一な分布
を得るものである。従って、得られるレーザー光２の断
面形状は揺動幅で定められる。第７図の例は矩形の断面
を得る場合のものである。
インテグレーテドミラー法は、第８図に示すように多数
の同形状小型平面鏡１２かもの反射光が任意の位置に収
束するように該平面鏡１２を放物面状に配置し、その凹
面鏡１３にレーザー光２を照射することによシ均一なパ
ワー分布を得るものである。
の同形状小型平面鏡１２かもの反射光が任意の位置に収
束するように該平面鏡１２を放物面状に配置し、その凹
面鏡１３にレーザー光２を照射することによシ均一なパ
ワー分布を得るものである。
カライドスコープ法は第９図に示すように矩形の筒１４
の内周壁を平面鏡１５で形成し、レーザー光２を筒の一
端に収束させて入射し、平面鏡１５による多重反射を利
用することによって筒１４の他端から均一なパワー分布
を有するレーザー光を出射させるものである。尚、第８
図中１６はレンズを示す。
の内周壁を平面鏡１５で形成し、レーザー光２を筒の一
端に収束させて入射し、平面鏡１５による多重反射を利
用することによって筒１４の他端から均一なパワー分布
を有するレーザー光を出射させるものである。尚、第８
図中１６はレンズを示す。
その他このガウス型光線に簡単な光学処理を施して均一
な又は、任意のパワー分布を備えた・ レーザー光を
得る方法、及び装置が多数案出てれ、特許出願がなされ
ている（特開昭５５−５０２０９号、特開昭６０−４４
１９２号、参照）。
な又は、任意のパワー分布を備えた・ レーザー光を
得る方法、及び装置が多数案出てれ、特許出願がなされ
ている（特開昭５５−５０２０９号、特開昭６０−４４
１９２号、参照）。
例えば、特開昭５５−５０２０９号では、ガウス型光線
の中心軸を境として三角柱等からなる鏡でレーザー光を
二分割し、次いで二つの凹面鏡にそれぞれ二分割された
レーザー光を照射して、凹面鏡の焦点に二分割されたレ
ーザー光を収束てせる。従って、レーザー光は凹面鏡の
焦点でダメすることにな）、その又又部分の適当なレー
ザー光断面では、パワー分布における強度の大きい部分
と、小さい部分とが重なるために、＃１ぼ均一なパワー
分布を得る。
の中心軸を境として三角柱等からなる鏡でレーザー光を
二分割し、次いで二つの凹面鏡にそれぞれ二分割された
レーザー光を照射して、凹面鏡の焦点に二分割されたレ
ーザー光を収束てせる。従って、レーザー光は凹面鏡の
焦点でダメすることにな）、その又又部分の適当なレー
ザー光断面では、パワー分布における強度の大きい部分
と、小さい部分とが重なるために、＃１ぼ均一なパワー
分布を得る。
また、特開昭６０−４４１９２号は、任意のパワー分布
を得るだめのもので、回転軸）こ沿って導入したレーザ
ー光を複数の鏡面を有する鏡体の各鏡面に共通に照射し
、反射光を前記鏡面の数に応じた凹面鏡によって所定位
置に集光して多くのパワー分布を形成するものである。
を得るだめのもので、回転軸）こ沿って導入したレーザ
ー光を複数の鏡面を有する鏡体の各鏡面に共通に照射し
、反射光を前記鏡面の数に応じた凹面鏡によって所定位
置に集光して多くのパワー分布を形成するものである。
更に、前記回転軸を中心として鏡体、及び凹面鏡を一体
に回転させることでよシ多種のパワー分布形成を行なう
ものである。
に回転させることでよシ多種のパワー分布形成を行なう
ものである。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記方法番こよって得られるパワー分布
を有するレーザー光は、湾曲面あるいは、凹凸面を有す
る複雑な形状を有する被加工材料ζこは充分に対応でき
ない、すなわちレーザー光から被加工材料へのエネルギ
ーの伝達効率が悪いからである。
を有するレーザー光は、湾曲面あるいは、凹凸面を有す
る複雑な形状を有する被加工材料ζこは充分に対応でき
ない、すなわちレーザー光から被加工材料へのエネルギ
ーの伝達効率が悪いからである。
ビームオシレーション法、インテグレーテドミラー法、
カライドスコープ法は、レーザー光のパワー分布、及び
断面形状を任意に変更することは困難である。
カライドスコープ法は、レーザー光のパワー分布、及び
断面形状を任意に変更することは困難である。
また、特開昭５５−５０２０９号においても同様である
。
。
特開昭６０−４４１９２号においては、多種多様なパワ
ー分布に対応可能であるが、レーザー光の断面形状を任
意に形成することは困難である。
ー分布に対応可能であるが、レーザー光の断面形状を任
意に形成することは困難である。
（問題を解決するだめの手段）
一本考案は上記問屋点を解決するために、レーザー光を
複数に分割した後、分割後のレーザー光をレーザー光の
分割数に厄じて設けられた光ファイバに入射させ、光フ
ァイバの出射端を任意に組合わせて光ファイバから出射
するレーザー光のビーム形状、及びパワー分布を任意に
設定することでおる。
複数に分割した後、分割後のレーザー光をレーザー光の
分割数に厄じて設けられた光ファイバに入射させ、光フ
ァイバの出射端を任意に組合わせて光ファイバから出射
するレーザー光のビーム形状、及びパワー分布を任意に
設定することでおる。
（作用〕
上記構成によシ、分割したレーザー光を光ファイバに入
射させ、出射端を任意に組合わせて元ファイバから出射
するレーザー光のビーム形及びパワー分布を任意に組合
わせることによって、被加工材料の形状、及び特注に最
適のレーザー光を容易に得ることが可能になる。
射させ、出射端を任意に組合わせて元ファイバから出射
するレーザー光のビーム形及びパワー分布を任意に組合
わせることによって、被加工材料の形状、及び特注に最
適のレーザー光を容易に得ることが可能になる。
（実施例〕
以下、本発明に係るレーザー光の形成方法の一実施例を
図面を参照しながら詳細Ｉこ説明する。
図面を参照しながら詳細Ｉこ説明する。
１は円錐鏡でその縦断面形状は頂角が直角をなす直角二
等辺三角形に形成されている。円錐ｆ＃、１は、図示し
ないレーザー発振器がら発去されレーザー光２を９０＠
に屈曲させるためのものでその軸ａｔはレーザー光２の
中心に一致し、かっ曲面部が上記レーザー発振器に向く
ように設置しである。このように配置することにより、
レニザー光２の進路は９０°屈曲されると共に、円！挑
１の頂点を中心としてレーザー光は放射状に反射される
。
等辺三角形に形成されている。円錐ｆ＃、１は、図示し
ないレーザー発振器がら発去されレーザー光２を９０＠
に屈曲させるためのものでその軸ａｔはレーザー光２の
中心に一致し、かっ曲面部が上記レーザー発振器に向く
ように設置しである。このように配置することにより、
レニザー光２の進路は９０°屈曲されると共に、円！挑
１の頂点を中心としてレーザー光は放射状に反射される
。
３はビーム分割装置で、第２図にも示すように、円錐鏡
１により放射状に反射されたレーザー光２を集光して光
ファイバ６の入射端に入射させるためのものである。つ
！！シ、ビーム分割装置３は、円錐鏡１の周囲に配置さ
れた榎状の装置本体５ａと、複数の光ファイバ６とから
なシ、装置本体３ａには複数の円錐形状の孔３ｂが形成
されている。孔３ｂは装置本体３ａの周方向に等間隔で
配置され、かつその底面は装置本体３ａの内周面に開口
すると共にその軸線は、円錐鏡１の軸線ｔと直焚してい
る。孔３ｂの内周面には集光ｇ；ｌＡ４が添設され、円
錐形状をなす集光鏡４の頂部は開口され、この開口部に
は開口部よシも径大の凸レンズからなる集光レンズ５が
設置され、集光レンズ５の光軸は円錐鏡１によって反射
されたレーザー光２の中心軸にほぼ一致すると共に、集
光鏡４の中心軸にほぼ一致している。
１により放射状に反射されたレーザー光２を集光して光
ファイバ６の入射端に入射させるためのものである。つ
！！シ、ビーム分割装置３は、円錐鏡１の周囲に配置さ
れた榎状の装置本体５ａと、複数の光ファイバ６とから
なシ、装置本体３ａには複数の円錐形状の孔３ｂが形成
されている。孔３ｂは装置本体３ａの周方向に等間隔で
配置され、かつその底面は装置本体３ａの内周面に開口
すると共にその軸線は、円錐鏡１の軸線ｔと直焚してい
る。孔３ｂの内周面には集光ｇ；ｌＡ４が添設され、円
錐形状をなす集光鏡４の頂部は開口され、この開口部に
は開口部よシも径大の凸レンズからなる集光レンズ５が
設置され、集光レンズ５の光軸は円錐鏡１によって反射
されたレーザー光２の中心軸にほぼ一致すると共に、集
光鏡４の中心軸にほぼ一致している。
６は光ファイバで、その入射端は集光鏡４の頂部に形成
された開口部に挿入され、集光レンズ５によって収束さ
れたレーザー光２は光ファイバ６の入射端から入射する
。レンズ７を設けた光ファイバ６の出射端では、再び凸
レンズで絞シ、平行光線として出てゆく元ファイバ６の
数に応じて形成された挿入孔８ａを有する枠体８の挿入
孔８ａに挿入孔に挿入されることによって束ねられてい
る。光ファイバ６をこのようをこ束ねる際、光ファイバ
６を適当に組合せて配列すれば、所望のパワー分布を得
ることができ、また第４図に示すように配列すれば断面
コの字状のビーム形状にすることができ、第５図に示す
ように光ファイバ６の出射端を傾斜させればレーザー光
２を一点に収束烙せることができる。
された開口部に挿入され、集光レンズ５によって収束さ
れたレーザー光２は光ファイバ６の入射端から入射する
。レンズ７を設けた光ファイバ６の出射端では、再び凸
レンズで絞シ、平行光線として出てゆく元ファイバ６の
数に応じて形成された挿入孔８ａを有する枠体８の挿入
孔８ａに挿入孔に挿入されることによって束ねられてい
る。光ファイバ６をこのようをこ束ねる際、光ファイバ
６を適当に組合せて配列すれば、所望のパワー分布を得
ることができ、また第４図に示すように配列すれば断面
コの字状のビーム形状にすることができ、第５図に示す
ように光ファイバ６の出射端を傾斜させればレーザー光
２を一点に収束烙せることができる。
尚、元ファイバ６の出射端１こレンズ７を設ける代わシ
に、端部をレンズ状に形成加工しても同様の効果を得る
。ち々みに、第４図は平坦な材料をこ広範囲な焼入れを
施す場合に適したパワー分布を得るための例で、第５図
はエネルギー密度が大きいレーザー光を得るための例で
ある。
に、端部をレンズ状に形成加工しても同様の効果を得る
。ち々みに、第４図は平坦な材料をこ広範囲な焼入れを
施す場合に適したパワー分布を得るための例で、第５図
はエネルギー密度が大きいレーザー光を得るための例で
ある。
第６図は第５図の別例で、１７は加工レンズを示す。
従って、被加工材料の形状、特性に応じたレーザー光２
の断面形状、及びパワー分布を得ることができる。
の断面形状、及びパワー分布を得ることができる。
１８は被加工品を示す。
次に、上記構成に係るレーザー光の形成方法について説
明する。
明する。
図示し々いレーザー発振器からレーザー光２を円錐鏡１
に照射すると、レーザー光２は円錐 １ｆＪ８１の軸線
を中心として放射状に反射する。反射したレーザー光２
は集光鏡４内に進み、ここで多重反射しながら進ｔテし
、更に集光レンズ５によって光ファイバ６の一端に収束
され、光ファイバ６に入射する。光ファイバ６の出射端
から出射したレーザー光６は、レンズ７を通過後、第４
図の場合は平行光線として、また第５図の場合は一点に
収束するように被加工材料に照射される。
に照射すると、レーザー光２は円錐 １ｆＪ８１の軸線
を中心として放射状に反射する。反射したレーザー光２
は集光鏡４内に進み、ここで多重反射しながら進ｔテし
、更に集光レンズ５によって光ファイバ６の一端に収束
され、光ファイバ６に入射する。光ファイバ６の出射端
から出射したレーザー光６は、レンズ７を通過後、第４
図の場合は平行光線として、また第５図の場合は一点に
収束するように被加工材料に照射される。
（発明の効果）
以上から明らかなように、本発明はレーザー光を分割後
、光ファイバに入射させるので、レーザー光のパワー分
布、及び断面形状を任意に形成することができる。従っ
て、多１重多様な被加工材料の形状、％註、加工用途に
応じ、効率よくレーザー光のエネルギーを被加工材料に
照射でき、このため作業能率が向上すると共に、加工作
業の有効範囲が著しく拡大することになる。
、光ファイバに入射させるので、レーザー光のパワー分
布、及び断面形状を任意に形成することができる。従っ
て、多１重多様な被加工材料の形状、％註、加工用途に
応じ、効率よくレーザー光のエネルギーを被加工材料に
照射でき、このため作業能率が向上すると共に、加工作
業の有効範囲が著しく拡大することになる。
第１図は、本発明の一実施例を示す断面図、第２図は、
第１図のビーム分割装置の詳細図、第３図は、ガウス型
光ｉ＝Ｍのレーザー光におけるパワー分布を示す説明図
、 第４図は、第１図の枠体の断面図、 第５図は、第４図の枠体の他の例を示す断面図である。 第６図は、第５図の別例を示す断面図、第７図は、ビー
ムオシレーション法を示す説明図、 第８図は、インテグレーテドミラー法を示す説明図、 第９図はカライドスコープ法を示す説明図である。 ２・・・レーザー光 る−・・光フアイバ特許出
願人 トヨタ自動車株式会社第１ 図
第１図のビーム分割装置の詳細図、第３図は、ガウス型
光ｉ＝Ｍのレーザー光におけるパワー分布を示す説明図
、 第４図は、第１図の枠体の断面図、 第５図は、第４図の枠体の他の例を示す断面図である。 第６図は、第５図の別例を示す断面図、第７図は、ビー
ムオシレーション法を示す説明図、 第８図は、インテグレーテドミラー法を示す説明図、 第９図はカライドスコープ法を示す説明図である。 ２・・・レーザー光 る−・・光フアイバ特許出
願人 トヨタ自動車株式会社第１ 図
Claims (1)
- （１）レーザー光を複数に分割した後、分割後のレーザ
ー光をその分割数に応じて設けられた光ファイバに入射
させ、該光ファイバから出射するレーザー光のビーム形
状及びパワー分布を、該光ファイバの出射端を任意に組
合わせることにより任意に設定することを特徴とするレ
ーザー光の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61183179A JPS6340694A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | レ−ザ−光の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61183179A JPS6340694A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | レ−ザ−光の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6340694A true JPS6340694A (ja) | 1988-02-22 |
Family
ID=16131155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61183179A Pending JPS6340694A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | レ−ザ−光の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6340694A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07244208A (ja) * | 1994-03-02 | 1995-09-19 | Keete Syst Service:Kk | 光反射装置、光反射装置の測定方法、および光反射装置を用いた光学系システム |
| WO2001026859A1 (de) * | 1999-10-13 | 2001-04-19 | Kleinhuber Harald G | Vorrichtung mit mindestens einer mehrere einzel-lichtquellen umfassenden lichtquelle |
| JP2001244213A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-09-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置並びに半導体装置の作製方法 |
| WO2009065373A1 (de) * | 2007-11-21 | 2009-05-28 | Lpkf Laser & Electronics Ag | Vorrichtung zur bearbeitung eines werkstücks mittels paralleler laserstrahlen |
-
1986
- 1986-08-04 JP JP61183179A patent/JPS6340694A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07244208A (ja) * | 1994-03-02 | 1995-09-19 | Keete Syst Service:Kk | 光反射装置、光反射装置の測定方法、および光反射装置を用いた光学系システム |
| WO2001026859A1 (de) * | 1999-10-13 | 2001-04-19 | Kleinhuber Harald G | Vorrichtung mit mindestens einer mehrere einzel-lichtquellen umfassenden lichtquelle |
| US6934014B1 (en) | 1999-10-13 | 2005-08-23 | Myos My Optical System Gmbh | Device with at least one light source, comprising several individual light sources |
| JP2001244213A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-09-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置並びに半導体装置の作製方法 |
| WO2009065373A1 (de) * | 2007-11-21 | 2009-05-28 | Lpkf Laser & Electronics Ag | Vorrichtung zur bearbeitung eines werkstücks mittels paralleler laserstrahlen |
| JP2011505253A (ja) * | 2007-11-21 | 2011-02-24 | エル・ピー・ケー・エフ・レーザー・ウント・エレクトロニクス・アクチエンゲゼルシヤフト | 平行なレーザー光を用いて加工片を加工するための装置 |
| US8314362B2 (en) | 2007-11-21 | 2012-11-20 | Lpkf Laser & Electronics Ag | Device for machining a workpiece by means of parallel laser beams |
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