JPS63309812A - 傾斜センサ− - Google Patents
傾斜センサ−Info
- Publication number
- JPS63309812A JPS63309812A JP14417487A JP14417487A JPS63309812A JP S63309812 A JPS63309812 A JP S63309812A JP 14417487 A JP14417487 A JP 14417487A JP 14417487 A JP14417487 A JP 14417487A JP S63309812 A JPS63309812 A JP S63309812A
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- Japan
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- light beam
- reflector
- reflected
- incident
- angle
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、建築、産業用ロボット、飛行機。
自動車、船舶等の水平検出の際用いられる傾斜センサー
に関するものである。
に関するものである。
第3図は例えば大食豊明監修1センサ実用事典”P14
8フジ会テクノシステム(1986)に記載された従来
の傾斜センサーを示す原理図であり、図において(1)
は反射体、(2)は反射体(1)に入射される入射光線
、(3)は入射光線(2)が反射体(1)で反射された
ときの第1次反射光線、(4)は光源からの入射光線(
2)を細く絞るためのスリン) 、 (5)は第1次反
射光線(3)の位置を検出するための位置検出素子であ
る。
8フジ会テクノシステム(1986)に記載された従来
の傾斜センサーを示す原理図であり、図において(1)
は反射体、(2)は反射体(1)に入射される入射光線
、(3)は入射光線(2)が反射体(1)で反射された
ときの第1次反射光線、(4)は光源からの入射光線(
2)を細く絞るためのスリン) 、 (5)は第1次反
射光線(3)の位置を検出するための位置検出素子であ
る。
第4図は第3図の原理図を用いた傾斜センサーの構成図
であり、(7)は発光ダイオード(LED )、レーザ
ダイオード(LD)等の発光素子からなる光源、(8)
は被測定体(9)に取り付けられるケースで、このケー
ス(8)内に光源(7)、位置検出素子(6)および支
点(10)Kより常に水平に維持されている反射体(1
)が収納されている。
であり、(7)は発光ダイオード(LED )、レーザ
ダイオード(LD)等の発光素子からなる光源、(8)
は被測定体(9)に取り付けられるケースで、このケー
ス(8)内に光源(7)、位置検出素子(6)および支
点(10)Kより常に水平に維持されている反射体(1
)が収納されている。
灰に、動作について説明する。被測定体(9)が傾斜し
た場合でも反射体(1)は常に水平を維持するので、入
射光線(2)の反射体(1)に対する入射角度が変化す
る。それに応じて第3図に示すように第1次反射光線(
3)の反射角度も変化するので、第1次反射光線(3)
の位置検出素子(6)への入射位置が変化する。この位
置の変化量の大きさから被測定体(9)の傾斜角度が求
められる。
た場合でも反射体(1)は常に水平を維持するので、入
射光線(2)の反射体(1)に対する入射角度が変化す
る。それに応じて第3図に示すように第1次反射光線(
3)の反射角度も変化するので、第1次反射光線(3)
の位置検出素子(6)への入射位置が変化する。この位
置の変化量の大きさから被測定体(9)の傾斜角度が求
められる。
従来の傾斜センサーは以上のように構成されているので
、測定精度を上げるためには反射体(1)と位置検出素
子(6)との間隔(L)を大きくする必要があり、また
それに伴なって位置検出素子(6)も大形なものを用い
なければならず、傾斜センサーの全体が大きくなるとい
った問題点があった。
、測定精度を上げるためには反射体(1)と位置検出素
子(6)との間隔(L)を大きくする必要があり、また
それに伴なって位置検出素子(6)も大形なものを用い
なければならず、傾斜センサーの全体が大きくなるとい
った問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、測定精旋を向上させ、かつ小形化ができると
ともに、安価な傾斜センサーを得ることを目的とする。
たもので、測定精旋を向上させ、かつ小形化ができると
ともに、安価な傾斜センサーを得ることを目的とする。
この発明に係る傾斜センサーは、傾斜する被測定体に取
り付けられるケースと、このケース内に ゛取り付けら
れている光源と、ケース内に互いに常に水平になるよう
に設けられ光源からの光を反射する複数の反射体と、ケ
ース内に取り付けられ反射体で反射された反射光線の光
の強度を検知する受光素子とを備えたものである。
り付けられるケースと、このケース内に ゛取り付けら
れている光源と、ケース内に互いに常に水平になるよう
に設けられ光源からの光を反射する複数の反射体と、ケ
ース内に取り付けられ反射体で反射された反射光線の光
の強度を検知する受光素子とを備えたものである。
この発明における傾斜センサーは、反射体に入射した入
射光線が複数の反射体で反射したとき、その入射角度に
よって反射光線の強度が変化し、その強度を受光素子が
検知し、そこで電気信号に変換され、その電気信号を処
理することによって被測定体の傾斜角度を求めることが
できる。
射光線が複数の反射体で反射したとき、その入射角度に
よって反射光線の強度が変化し、その強度を受光素子が
検知し、そこで電気信号に変換され、その電気信号を処
理することによって被測定体の傾斜角度を求めることが
できる。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第1図はこの発明の一実施例を示す構成図であり、(2
0)はガラス板からなる第1の反射体、(21)は第1
の反射体(20)と平行に設けられた第2の反射体、(
22)は第1の反射体(20)に入射される入射光線、
(23)は第1の反射体(20)で反射された第一次反
射光線、(24)は第2の反射体(21)で反射された
第二次反射光線、(25)は入射光線(22)を細く絞
るためのスリット、(26)は発光ダイオード(LED
)、レーザダイオード(LD)等の発光素子からなる光
源、(27)は第1の反射体(20)、第2の反射体(
21)を常に水平に支えるための支点、(28)は第二
次反射光線(24)を受光するフォトダイオード、(2
9)は被測定体(30)に取り付けられるケースで、こ
のケース(29)内には上記各部材(20)、(21)
、(25)。
0)はガラス板からなる第1の反射体、(21)は第1
の反射体(20)と平行に設けられた第2の反射体、(
22)は第1の反射体(20)に入射される入射光線、
(23)は第1の反射体(20)で反射された第一次反
射光線、(24)は第2の反射体(21)で反射された
第二次反射光線、(25)は入射光線(22)を細く絞
るためのスリット、(26)は発光ダイオード(LED
)、レーザダイオード(LD)等の発光素子からなる光
源、(27)は第1の反射体(20)、第2の反射体(
21)を常に水平に支えるための支点、(28)は第二
次反射光線(24)を受光するフォトダイオード、(2
9)は被測定体(30)に取り付けられるケースで、こ
のケース(29)内には上記各部材(20)、(21)
、(25)。
(26L(28)が窒素ガス封入下、収納されている。
第2図はガラス表面からの反射率の入射角依存性を表わ
した図であり、図中Rsは入射光の電気ベクトルで入射
面に垂直な成分の反射率、Rpは入射光の電気ベクトル
で入射面に平行な成分の反射率である。ここで入射面と
は入射光と境界面の法線とからなる面をいう。両方の成
分を平均したものが普通に扱う光の強度になる。
した図であり、図中Rsは入射光の電気ベクトルで入射
面に垂直な成分の反射率、Rpは入射光の電気ベクトル
で入射面に平行な成分の反射率である。ここで入射面と
は入射光と境界面の法線とからなる面をいう。両方の成
分を平均したものが普通に扱う光の強度になる。
上記のように構成された傾斜センサーにおいては、光源
(26)から発せられた入射光線(22)はスリン)
(25)で細く絞られ、第1の反射体(20)に入射し
、第2図による反射率の入射角依存性に従って強度変化
した第一次反射光線(23)になる。
(26)から発せられた入射光線(22)はスリン)
(25)で細く絞られ、第1の反射体(20)に入射し
、第2図による反射率の入射角依存性に従って強度変化
した第一次反射光線(23)になる。
次いで、この第一次反射光線(23)は第2の反射体(
21)に入射し2回目の反射を行ない第二次反射光線(
24)となる。この時点で第二次反射光線(24)は入
射光線(22)と平行光線となっておす、この関係は被
測定体(30)が傾いた場合にも常に成り立っている。
21)に入射し2回目の反射を行ない第二次反射光線(
24)となる。この時点で第二次反射光線(24)は入
射光線(22)と平行光線となっておす、この関係は被
測定体(30)が傾いた場合にも常に成り立っている。
したがって、第二次反射光線(24)は受光素子(28
)に対して常に一定角度で入射し、ここで電気信号に変
換される。そして、基準角度における電気信号からの偏
りを角度に対して較正しておけば、被測定体(30)の
傾斜角度を連続的に検知することができる。また、基準
角度からの偏差信号を機器に接続し、偏差を打消すよう
に操作端を動作させることにより被測定体(30)に対
する姿勢制御を行なうことができる。
)に対して常に一定角度で入射し、ここで電気信号に変
換される。そして、基準角度における電気信号からの偏
りを角度に対して較正しておけば、被測定体(30)の
傾斜角度を連続的に検知することができる。また、基準
角度からの偏差信号を機器に接続し、偏差を打消すよう
に操作端を動作させることにより被測定体(30)に対
する姿勢制御を行なうことができる。
なお、上記実施例では第1の反射体(20)、第2の反
射体(21)で入射光線(22)は反射され、光強度変
化は2乗比に拡大され、かつ第1の反射体(20)と第
2の反射体(21)とは平行に配設されているので、受
光素子(28)に対しる第二次反射光線(24)の入射
角度が常に一定となり、傾斜測定精度は向上する。
射体(21)で入射光線(22)は反射され、光強度変
化は2乗比に拡大され、かつ第1の反射体(20)と第
2の反射体(21)とは平行に配設されているので、受
光素子(28)に対しる第二次反射光線(24)の入射
角度が常に一定となり、傾斜測定精度は向上する。
また、上記実施例では入射光線(22)、第一次反射光
線(23)の第1および第2の反射体(20)。
線(23)の第1および第2の反射体(20)。
(21)に対する入射角度を第2図から解るように反射
率が著しく変化する70°以上に設定し、かつRp酸成
分みを受光素子(28)が検知するようになっているの
で、傾斜測定精度はさらに向上する。
率が著しく変化する70°以上に設定し、かつRp酸成
分みを受光素子(28)が検知するようになっているの
で、傾斜測定精度はさらに向上する。
さらに、ケース(29)内は劣化防止のため電果ガスが
封入されているので、光源(26)、受光素子(28)
のキャップは外した状態で使用されており、光源(26
)と第1の反射体(20)との距離、第2の反射体(2
1)と受光素子(28)との距離は小さくすることがで
き、傾斜センサー全体の形状を小さくすることができる
。
封入されているので、光源(26)、受光素子(28)
のキャップは外した状態で使用されており、光源(26
)と第1の反射体(20)との距離、第2の反射体(2
1)と受光素子(28)との距離は小さくすることがで
き、傾斜センサー全体の形状を小さくすることができる
。
以上のように、この発明の傾斜センサーは、互いに常に
水平になるように設けられた複数の反射体で反射された
反射光線の光強度を受光素子が検知するようになってい
るので、反射率変化を増幅させ、かつ受光素子に常に一
定角度で反射光線が入射され測定精度が向上しかつ小形
化ができるという効果がある。
水平になるように設けられた複数の反射体で反射された
反射光線の光強度を受光素子が検知するようになってい
るので、反射率変化を増幅させ、かつ受光素子に常に一
定角度で反射光線が入射され測定精度が向上しかつ小形
化ができるという効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による傾斜センサ−を示す
構成図、第2図は、この発明の詳細な説明するためのガ
ラスの反射率の入射角依存性を示す図、第3図は従来の
傾斜センサーの一例を示す原理図、第4図は従来の傾斜
センサーの一例を示す構成図である。 図において、(20)は第1の反射体、(21)は第2
の反射体、(26)は光源、(28)は受光素子、(2
9)はケース、(30)は被測定体である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 30:ネ皮タII4定イ本 人射山ψ
構成図、第2図は、この発明の詳細な説明するためのガ
ラスの反射率の入射角依存性を示す図、第3図は従来の
傾斜センサーの一例を示す原理図、第4図は従来の傾斜
センサーの一例を示す構成図である。 図において、(20)は第1の反射体、(21)は第2
の反射体、(26)は光源、(28)は受光素子、(2
9)はケース、(30)は被測定体である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 30:ネ皮タII4定イ本 人射山ψ
Claims (1)
- 傾斜する被測定体に取り付けられるケースと、このケー
ス内に取り付けられている光源と、前記ケース内に互い
に常に水平になるように設けられ前記光源からの光を反
射する複数の反射体と、前記ケース内に取り付けられ前
記反射体で反射された反射光線の光の強度を検知する受
光素子とを備えていることを特徴とする傾斜センサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14417487A JPS63309812A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | 傾斜センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14417487A JPS63309812A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | 傾斜センサ− |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63309812A true JPS63309812A (ja) | 1988-12-16 |
Family
ID=15355928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14417487A Pending JPS63309812A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | 傾斜センサ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63309812A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4993162A (en) * | 1987-07-24 | 1991-02-19 | Kern & Co. Ltd. | Apparatus for measuring inclinations of a component |
-
1987
- 1987-06-11 JP JP14417487A patent/JPS63309812A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4993162A (en) * | 1987-07-24 | 1991-02-19 | Kern & Co. Ltd. | Apparatus for measuring inclinations of a component |
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