JPS58113839A - 露点検出装置 - Google Patents
露点検出装置Info
- Publication number
- JPS58113839A JPS58113839A JP21192581A JP21192581A JPS58113839A JP S58113839 A JPS58113839 A JP S58113839A JP 21192581 A JP21192581 A JP 21192581A JP 21192581 A JP21192581 A JP 21192581A JP S58113839 A JPS58113839 A JP S58113839A
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- dew point
- dew condensation
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
- G01N25/56—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content
- G01N25/66—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by investigating dew-point
- G01N25/68—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by investigating dew-point by varying the temperature of a condensing surface
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光学式の露点検出装置１４／に関する。一般
に、気体中で物体を冷却していって表面に露ができはじ
めるときの表向の温度を測定することによシ、気体の露
点を求めることができる。この露点を検知する装置とし
ては、光学式の露点検出装置が多く用いられている。
に、気体中で物体を冷却していって表面に露ができはじ
めるときの表向の温度を測定することによシ、気体の露
点を求めることができる。この露点を検知する装置とし
ては、光学式の露点検出装置が多く用いられている。
光学式の露点検出装置には、被測定気体中にサーモモジ
ュールなどで電子冷却し温度調節さねている金属鏡など
の反射体を配電して、この反射体に光を投射し、被測定
気体の水分が反射体表面に結露しはじめて反射光量が低
下するときの反射体の温度を測定することにより、被測
定気体の露点を測定することが行われている。
ュールなどで電子冷却し温度調節さねている金属鏡など
の反射体を配電して、この反射体に光を投射し、被測定
気体の水分が反射体表面に結露しはじめて反射光量が低
下するときの反射体の温度を測定することにより、被測
定気体の露点を測定することが行われている。
このように光学式露点検出装置では、結露による反射光
蓋の低下を検知しているが、光源の発生光量の低下や受
光器の受光感度の低下によっても、結露による反射光量
の低下と同様に受光器の受光出力が低下する。そこで、
結露による反射光量の低下分のみを検知するために、光
源、光反射体、受光器の光学系ｅ２ｆｆｉ配【ｄし、一
方の光反射体０みｔ温度調節可能とする以外は同じ動作
をするようにし、それらの両受光器の受光出力を比較し
て、結露がないときはバランスして出力が出ないように
し、結露が生じて反射光量の低下のときのみ出力が生じ
るように構成している。
蓋の低下を検知しているが、光源の発生光量の低下や受
光器の受光感度の低下によっても、結露による反射光量
の低下と同様に受光器の受光出力が低下する。そこで、
結露による反射光量の低下分のみを検知するために、光
源、光反射体、受光器の光学系ｅ２ｆｆｉ配【ｄし、一
方の光反射体０みｔ温度調節可能とする以外は同じ動作
をするようにし、それらの両受光器の受光出力を比較し
て、結露がないときはバランスして出力が出ないように
し、結露が生じて反射光量の低下のときのみ出力が生じ
るように構成している。
しかし、結露のわずかなｉｔを検出しなければならない
ので、結露による反射光量の低下分は少なく、しかも光
源や受光器の温度特性、経時変化等による動作を２組の
光学系で全く同じにすることは至難である。そのため、
結露がなくても２組の光学系の動作のバランスがくずｆ
＋ 、差出力が発生する欠点がめった。
ので、結露による反射光量の低下分は少なく、しかも光
源や受光器の温度特性、経時変化等による動作を２組の
光学系で全く同じにすることは至難である。そのため、
結露がなくても２組の光学系の動作のバランスがくずｆ
＋ 、差出力が発生する欠点がめった。
本発明は上記に鑑みなされたものであり、光反射体表面
による反射光の光軸からはずれた位置に光検出器を配置
し、結露によって生ずる散乱光のみを検知するようにし
たものである。本発明は、従来の光学式露点検出装置の
如く２組の光学系における蛍光量の変化ｔ（差分）倉と
らえるのでなく、結露によって生ずる散乱光の発生ｉｆ
とらえるため、光学系は１組でよく、光源の光量変動や
検出器の受光感度の経時変化にもあまり関係なく、露点
を明確に検知することができる。
による反射光の光軸からはずれた位置に光検出器を配置
し、結露によって生ずる散乱光のみを検知するようにし
たものである。本発明は、従来の光学式露点検出装置の
如く２組の光学系における蛍光量の変化ｔ（差分）倉と
らえるのでなく、結露によって生ずる散乱光の発生ｉｆ
とらえるため、光学系は１組でよく、光源の光量変動や
検出器の受光感度の経時変化にもあまり関係なく、露点
を明確に検知することができる。
以下、添付図により従来装置と対比して本発明の詳細な
説明する。
説明する。
第１図は従来の光学式露点検出装置の一例を示す系統図
である。被測定気体を入れるケース１内に、金属鏡など
の光反射体４．５を配電し、一方の光反射体４のみサー
モモジュールなどの温度調節装［２で電子冷却し、測温
体３で光反射体４の表向の温度を測定する７発光ダイオ
ードやランプなどの光源６．７からの光をそれぞれ光反
射体４．５に投射し、各反射光をホトダイオードやホト
トランジスタなどの光検出器８．９でそれぞれ受光し、
各受光ｆｔ比較増幅器１０で比較増幅し出力する。被測
定気体をケース１内に導入した状態で光反射体４を徐々
に冷却すると、光反射体表面に結露が生じ反射光量が減
少し、光検出器８．９の受光量のバランスがくずれ、比
較増幅器１ｏに出力が生じる。そのときの光反射体４の
温度を測温体３で測定して露点としている。
である。被測定気体を入れるケース１内に、金属鏡など
の光反射体４．５を配電し、一方の光反射体４のみサー
モモジュールなどの温度調節装［２で電子冷却し、測温
体３で光反射体４の表向の温度を測定する７発光ダイオ
ードやランプなどの光源６．７からの光をそれぞれ光反
射体４．５に投射し、各反射光をホトダイオードやホト
トランジスタなどの光検出器８．９でそれぞれ受光し、
各受光ｆｔ比較増幅器１０で比較増幅し出力する。被測
定気体をケース１内に導入した状態で光反射体４を徐々
に冷却すると、光反射体表面に結露が生じ反射光量が減
少し、光検出器８．９の受光量のバランスがくずれ、比
較増幅器１ｏに出力が生じる。そのときの光反射体４の
温度を測温体３で測定して露点としている。
第２図は本発明の光学式露点検出装置コの一例金示す系
統図でらる。被測定気体を入ねるケース２１内に配置し
た金）ＩＡ鏡などの光反射体２４の表面に、遮光カバー
２５を配した発光ダイオード、ラングなどの光源２６か
らの光を斜めに投射する。
統図でらる。被測定気体を入ねるケース２１内に配置し
た金）ＩＡ鏡などの光反射体２４の表面に、遮光カバー
２５を配した発光ダイオード、ラングなどの光源２６か
らの光を斜めに投射する。
そして光反射体表面での反射光の光軸からけずれた位置
、すなわち、光反射体表面の垂直軸上にあり且つ反射光
が入射しない位置に、集束レンズ２７を配−し、又光反
射体表面での儂が集束レンズ２７によって投影される位
置にホトダイオード、ホトトランジスタなどの光検出器
２８を配置する。
、すなわち、光反射体表面の垂直軸上にあり且つ反射光
が入射しない位置に、集束レンズ２７を配−し、又光反
射体表面での儂が集束レンズ２７によって投影される位
置にホトダイオード、ホトトランジスタなどの光検出器
２８を配置する。
集束レンズ２７と光検出器２８には遮光カバーを設けて
もよい。ケース２１はその内壁面に無反射塗装を施し壁
面での反射が生じないようにすることが望ましい。
もよい。ケース２１はその内壁面に無反射塗装を施し壁
面での反射が生じないようにすることが望ましい。
いま、被測定気体をケース２１内に導入した状態で、サ
ーモモジュールなどの温度調節装置ｆ２２によって光反
射体２４を徐々に電子冷却し、光反射体表面に結露が生
じると、光源２６からの光は結露によって散乱される。
ーモモジュールなどの温度調節装置ｆ２２によって光反
射体２４を徐々に電子冷却し、光反射体表面に結露が生
じると、光源２６からの光は結露によって散乱される。
この散乱光を集束レンズ２７を通して光検出器２８で受
光し、増Ｉ＠器２０で増幅することにより、結露したこ
とを極めて明確に検知することができる。そのときの光
反射体の温度全測温体２３で測定することにより被測定
気体の露点が求められる。
光し、増Ｉ＠器２０で増幅することにより、結露したこ
とを極めて明確に検知することができる。そのときの光
反射体の温度全測温体２３で測定することにより被測定
気体の露点が求められる。
上述したように、本発明は光反射体表面での散乱光の発
生量を検知する方式であるので、従来装置の如く２組の
光学系を配置して出力バランスをとる必要もなく、１組
の光学系で極めて明確に露点を検知することができ、そ
の効果は極めて大きい。
生量を検知する方式であるので、従来装置の如く２組の
光学系を配置して出力バランスをとる必要もなく、１組
の光学系で極めて明確に露点を検知することができ、そ
の効果は極めて大きい。
第１図は従来の光学式露点検出装置の一例を示す系統図
、第２図は本発明の露点検出装置の一例を示す系統図で
おる。 図中の符号： １．２１・・・ケース、８．９．２８・・・光検出器、
２．２２・・・温度調節装置、１０・・・比較増幅器、
３．２３・・・測温体、２０・・・増幅器、４．５．２
４・・・光反射体、２５・・・遮光カバー、６．７．２
６・・・光源、２７・・・集束レンズ 特許出願人：理化学研究所 東京光電子工業株式会社 第１図
、第２図は本発明の露点検出装置の一例を示す系統図で
おる。 図中の符号： １．２１・・・ケース、８．９．２８・・・光検出器、
２．２２・・・温度調節装置、１０・・・比較増幅器、
３．２３・・・測温体、２０・・・増幅器、４．５．２
４・・・光反射体、２５・・・遮光カバー、６．７．２
６・・・光源、２７・・・集束レンズ 特許出願人：理化学研究所 東京光電子工業株式会社 第１図
Claims (2)
- （１） ３１１１点を測定しようとする気体を入れる
包囲空間内に配置した光反射体、この光反射体に光を投
射する装置、及び前記の光反射体の温度降下による光反
射体表面の結露によって散乱された光を受けて′シ気信
号を発生する感知装置を備えたことを特徴とする露点検
出装−〇 - （２）前記の光反射体が鏡面体であり、そして前記の感
知装置が集束レンズと光検出器とを含み、前記の集束レ
ンズが前記の幌面体の像を前記の光検出器に投影するよ
うに配置されている特許請求の範囲第１項に記載の露点
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21192581A JPS58113839A (ja) | 1981-12-28 | 1981-12-28 | 露点検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21192581A JPS58113839A (ja) | 1981-12-28 | 1981-12-28 | 露点検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58113839A true JPS58113839A (ja) | 1983-07-06 |
Family
ID=16613936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21192581A Pending JPS58113839A (ja) | 1981-12-28 | 1981-12-28 | 露点検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58113839A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61288142A (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-18 | シエル・インタ−ナシヨネイル・リサ−チ・マ−チヤツピイ・ベ−・ウイ | ガス流中の凝縮性成分の検出装置 |
| JPS6310448U (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-23 | ||
| JPS6314053U (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-29 | ||
| US5052818A (en) * | 1987-06-11 | 1991-10-01 | Junichi Nishizawa | Method of and apparatus for measuring very low water content in gas |
| JPH09138205A (ja) * | 1995-11-15 | 1997-05-27 | Agency Of Ind Science & Technol | 赤外線サーモグラフィによる材料の欠陥検出方法 |
| GB2417565A (en) * | 2004-08-19 | 2006-03-01 | Michell Instr Ltd | Apparatus for measuring the dew point of a gas sample. |
| JP2007192715A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Yamatake Corp | 鏡面冷却式露点計 |
| JP2012177553A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Hioki Ee Corp | 鏡面冷却式露点計 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3112648A (en) * | 1961-12-11 | 1963-12-03 | George A Dulk | Peltier dew point hygrometer |
-
1981
- 1981-12-28 JP JP21192581A patent/JPS58113839A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3112648A (en) * | 1961-12-11 | 1963-12-03 | George A Dulk | Peltier dew point hygrometer |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61288142A (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-18 | シエル・インタ−ナシヨネイル・リサ−チ・マ−チヤツピイ・ベ−・ウイ | ガス流中の凝縮性成分の検出装置 |
| JPS6310448U (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-23 | ||
| JPS6314053U (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-29 | ||
| JPH0517647Y2 (ja) * | 1986-07-07 | 1993-05-12 | ||
| US5052818A (en) * | 1987-06-11 | 1991-10-01 | Junichi Nishizawa | Method of and apparatus for measuring very low water content in gas |
| JPH09138205A (ja) * | 1995-11-15 | 1997-05-27 | Agency Of Ind Science & Technol | 赤外線サーモグラフィによる材料の欠陥検出方法 |
| GB2417565A (en) * | 2004-08-19 | 2006-03-01 | Michell Instr Ltd | Apparatus for measuring the dew point of a gas sample. |
| GB2417565B (en) * | 2004-08-19 | 2007-01-03 | Michell Instr Ltd | Apparatus and method for measuring a condensable component of a gas sample |
| JP2007192715A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Yamatake Corp | 鏡面冷却式露点計 |
| JP4504318B2 (ja) * | 2006-01-20 | 2010-07-14 | 株式会社山武 | 鏡面冷却式露点計 |
| JP2012177553A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Hioki Ee Corp | 鏡面冷却式露点計 |
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