[go: up one dir, main page]

JPS63306505A - Production of composite type magnetic head core - Google Patents

Production of composite type magnetic head core

Info

Publication number
JPS63306505A
JPS63306505A JP14274987A JP14274987A JPS63306505A JP S63306505 A JPS63306505 A JP S63306505A JP 14274987 A JP14274987 A JP 14274987A JP 14274987 A JP14274987 A JP 14274987A JP S63306505 A JPS63306505 A JP S63306505A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ferrite
magnetic
track
magnetic material
track width
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP14274987A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0622044B2 (en
Inventor
Motoichiro Matsuzawa
松沢 素一郎
Nobuhiro Terada
寺田 伸大
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Priority to JP14274987A priority Critical patent/JPH0622044B2/en
Publication of JPS63306505A publication Critical patent/JPS63306505A/en
Publication of JPH0622044B2 publication Critical patent/JPH0622044B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent the generation of a contour effect based on a reproducing output and to improve the accuracy of track width by embedding a nonmagnetic material in track width regulating grooves on the abutting face of a ferrite block. CONSTITUTION:The grooves 32 for regulating track width are formed on a magnetic gap forming portion on the gap-opposed face (abutting face) 31a of the ferrite block 31. After embedding the nonmagnetic material 33 in the grooves, unnecessary nonmagnetic material parts on the face 31a are removed and a track part held between two grooves 32 is exposed, so that a ferrite block 31 embedding the nonmagnetic material 33 only in the grooves 32 can be obtained. A coupling interface between ferrite and metallic magnetic materials 37, 37' is inclined from the magnetic gap 41 to form rugged structure. Consequently, the contour effect can be neglected and the magnetic head cores with highly accurate track width can be mass-produced.

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は、複合型磁気ヘッド用コアの製造法に係り、特
にVTR等の高周波信号の記録再生に適した磁気ヘッド
、なかでも、高保磁力媒体に対して好適な複合型磁気ヘ
ッドを与える複合型磁気ヘッド用コアを有利に製造し得
る方法に関するものである。
Detailed Description of the Invention (Technical Field) The present invention relates to a method of manufacturing a core for a composite magnetic head, and particularly to a magnetic head suitable for recording and reproducing high frequency signals such as a VTR, particularly for high coercive force media. The present invention relates to a method for advantageously manufacturing a core for a composite magnetic head, which provides a composite magnetic head suitable for use in a composite magnetic head.

(背景技術) 高密−磁気記録再生装置においては、磁気記録媒体の保
磁カニHcを大きくすれば有利であることが知られてい
るが、高保磁力の磁気記録媒体に情報を記録するために
は、磁気ヘッドからの漏れ磁界を強くする必要がある。
(Background Art) In high-density magnetic recording and reproducing devices, it is known that it is advantageous to increase the coercive crab Hc of the magnetic recording medium, but in order to record information on a magnetic recording medium with high coercive force, , it is necessary to strengthen the leakage magnetic field from the magnetic head.

ところが、現在、磁気ヘッドを構成するコアに用いられ
ているフェライト材は、その飽和磁束密度:B、が40
00〜5000ガウスであるため、得られる記録磁界の
強さに限度があり、磁気記録媒体の保磁力が1000エ
ルステツドを越える場合には、記録が不充分になるとい
う欠点がある。
However, the ferrite material currently used for the core that constitutes the magnetic head has a saturation magnetic flux density: B of 40
00 to 5,000 Gauss, there is a limit to the strength of the recording magnetic field that can be obtained, and if the coercive force of the magnetic recording medium exceeds 1,000 Oersteds, there is a drawback that recording becomes insufficient.

一方、金属磁性材料で総称されるFe−/1t−3i合
金(センダスト)、N1−Fa金合金パーマロイ)等の
結晶質合金、或いは非晶質合金を用いた磁気ヘッドは、
一般に、フェライト材より飽和磁束密度が高く、また摺
動ノイズが低いという優れた特性を有している。しかし
ながら、−aに使用されるトラック幅(10μm以上)
の厚みでは、渦電流損失により、ビデオ周波数領域での
実効透磁率がフェライトより低下し、再生効率が低下す
るという欠点を有する。また、耐摩耗性に関しては、フ
ェライトよりも数段劣うているのである。
On the other hand, magnetic heads using crystalline alloys or amorphous alloys such as Fe-/1t-3i alloy (Sendust), N1-Fa gold alloy Permalloy, which are collectively called metal magnetic materials,
In general, it has superior properties such as higher saturation magnetic flux density and lower sliding noise than ferrite materials. However, the track width used for -a (more than 10 μm)
, the effective permeability in the video frequency region is lower than that of ferrite due to eddy current loss, resulting in a reduction in reproduction efficiency. Furthermore, in terms of wear resistance, it is several steps inferior to ferrite.

そこで、上記のような問題を解決するために、フェライ
トと金属磁性材を組み合わせて、両者の良い点を利用し
た複合型磁気ヘッド用コアが提案されている。
Therefore, in order to solve the above-mentioned problems, a composite magnetic head core has been proposed that combines ferrite and metal magnetic material to take advantage of the advantages of both.

例えば、第1図に、そのような複合型磁気ヘッド用コア
の一つの斜視図が示されているように、コア部1,1′
が高透磁率のフェライトからなり、また記録作用の主要
部となる磁気ギャップ5の近傍部がスパッタリング等の
物理蒸着によって形成された金属磁性材2.2′からな
る構造の複合型磁気ヘッド用コアが提案されている。こ
の磁気ヘッド用コアにおいては、高密度記録のため、ト
ラック幅を狭くし、磁気ギャップ5の近傍にトラック幅
絞り用の切欠溝7,7を両側に設けて、そこに補強用の
非磁性材3が充填されている。なお、6はコイル@線用
の窓(孔)である、第2図には、かかる従来の磁気ヘッ
ド用コアの記録媒体対向面の平面図が示されているが、
そこにおいて、フェライトコア部1,1′と金属磁性材
2,2′の結合境界部4,4′が擬似ギャップとして作
用して、記録再生特性を損なう欠点があることが認めら
れている。特に、結合境界部4.4′と磁気ギャップ5
が平行になると、その境界部で相当量の信号を拾うこと
になり、再生出力の周波数特性にうねりが生ずる、所謂
コンタ効果が激しくなるという問題を内在しているので
ある。
For example, as shown in FIG. 1, which is a perspective view of one core for such a composite magnetic head, core portions 1, 1'
The core for a composite magnetic head has a structure in which the core is made of ferrite with high magnetic permeability, and the part near the magnetic gap 5, which is the main part of the recording action, is made of a metal magnetic material 2.2' formed by physical vapor deposition such as sputtering. is proposed. In this magnetic head core, for high-density recording, the track width is narrowed, and cutout grooves 7, 7 for narrowing the track width are provided on both sides near the magnetic gap 5, and non-magnetic material is used for reinforcement therein. 3 is filled. Note that 6 is a window (hole) for the coil@wire. FIG. 2 shows a plan view of the surface facing the recording medium of the conventional magnetic head core.
It has been recognized that there is a drawback in that the coupling boundary portions 4, 4' between the ferrite core portions 1, 1' and the metal magnetic materials 2, 2' act as a pseudo gap, impairing recording and reproducing characteristics. In particular, the coupling boundary 4.4' and the magnetic gap 5
When these lines become parallel, a considerable amount of signal is picked up at the boundary, which creates a problem in that the so-called contour effect becomes severe, causing undulations in the frequency characteristics of the reproduced output.

また、他の複合型磁気ヘッド用コアとして、第3図に示
される如き構造も知られている。この第3図に示される
磁気ヘッド用コアは、非磁性基板11の上に高飽和磁束
密度を有する金属磁性材12をスパッタリング或いは真
空蒸着等の物理蒸着によりトラック幅に等しい膜厚に形
成せしめ、その上に非磁性材11′をガラス薄膜で接着
した後、三等分してギャップ突合せ面をラップし、更に
その後コイル巻線用窓13を形成し、そしてギャップ突
合せ面に所定の非磁性膜を適用して、それを介して接合
することにより、製造されることとなるが、このような
磁気ヘッド用コアにあっては、次のような問題が内在し
ているのである。即ち、トラック幅が20μm以上と大
きい場合において、金属磁性材12は単層膜では渦電流
損失により高周波特性が悪いところから、非磁性材を介
して多層構造とする必要があり、また上記第1図に示さ
れる磁気ヘッド用コアに比べて、コア1個当たりの金属
磁性材12形成面積が大きくなり、非生産的であるので
あり、更にはトラック幅は金属磁性材12の膜厚で決定
されるために、バッチ内での膜厚精度が厳しく要求され
、且つ磁気ヘッド用コアの組立てが非常に煩雑となる問
題を内在しているのである。
Further, as another core for a composite magnetic head, a structure as shown in FIG. 3 is also known. The magnetic head core shown in FIG. 3 is made by forming a metal magnetic material 12 having a high saturation magnetic flux density on a non-magnetic substrate 11 by physical vapor deposition such as sputtering or vacuum deposition to a film thickness equal to the track width. After bonding a non-magnetic material 11' with a glass thin film thereon, it is divided into three equal parts and the gap abutting surfaces are wrapped, and then a coil winding window 13 is formed, and a predetermined non-magnetic film is applied to the gap abutting surfaces. However, such magnetic head cores have the following problems. That is, when the track width is as large as 20 μm or more, a single layer of the metal magnetic material 12 has poor high frequency characteristics due to eddy current loss, so it is necessary to form a multilayer structure with a non-magnetic material interposed therebetween. Compared to the magnetic head core shown in the figure, the area where the metal magnetic material 12 is formed per core is larger, which is unproductive.Furthermore, the track width is determined by the film thickness of the metal magnetic material 12. Therefore, film thickness accuracy within a batch is strictly required, and there are inherent problems in that assembly of the magnetic head core is extremely complicated.

さらに、特開昭58−155513号公報には、第4図
(a)及び(b)に示される如き構造の複合型磁気ヘッ
ド用コアも提案されている。この磁気ヘッド用コアは、
磁気記録媒体対向面における断面形状が突出している突
起部を有する二個の高透磁率フェライトブロック21.
21’の該突出部の少なくとも両側面に、フェライトよ
り飽和磁束密度の高い磁性体22.22’が被着され、
該突出部の先端において、磁気ギャップ23を介して、
該磁性体22.22’が相対峙し、且つ該突出部の先端
におけるフェライトの幅がトラック幅より小なるように
構成されている。なお、25.26は、それぞれ、非磁
性埋設材、コイル巻線用窓を示す。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-155513 proposes a core for a composite magnetic head having a structure as shown in FIGS. 4(a) and 4(b). This magnetic head core is
Two high magnetic permeability ferrite blocks 21, each having a protrusion with a protruding cross-sectional shape on the surface facing the magnetic recording medium.
A magnetic material 22 and 22' having a higher saturation magnetic flux density than ferrite is adhered to at least both sides of the protruding part 21',
At the tip of the protrusion, through the magnetic gap 23,
The magnetic bodies 22 and 22' face each other, and the width of the ferrite at the tip of the protrusion is smaller than the track width. Note that 25 and 26 indicate a non-magnetic buried material and a coil winding window, respectively.

このような構造の場合において、フェライト21.21
’ と金属磁性材22.22’の境界結合部24.24
’が磁気ギャップ23に対して大きく傾斜しているため
、第1図に示される如き磁気ヘッド用コアにおけるよう
な再生出力のコンタ効果がない利点があるものの、フェ
ライトブロックの突起部の強度が弱く、所望の形状が得
難い上に、磁気ギャップ23の形成面の研磨量によりト
ラ・ツク幅が変動し易いため、トラック幅の精度を得る
ことも難しく、従って歩留りが低く、量産性に乏しいと
いう問題を内在している。
In the case of such a structure, ferrite 21.21
' and the boundary joint part 24.24 of the metal magnetic material 22.22'
' is largely inclined with respect to the magnetic gap 23, which has the advantage of not having the contour effect of the reproduction output as in the magnetic head core shown in FIG. 1, but the strength of the protrusion of the ferrite block is weak. In addition, it is difficult to obtain the desired shape, and the track width tends to fluctuate depending on the amount of polishing of the surface on which the magnetic gap 23 is formed, so it is also difficult to obtain precision in the track width, resulting in a low yield and poor mass productivity. is inherent.

そしてまた、特開昭61−265714号公報や特開昭
61−273706号公報等には、フェライトと金属磁
性材とを組み合わせてなる複合型磁気ヘッド用コアとし
て、フェライトと磁性材との接合部に凹凸部を設けて、
左右のコア部上の凹凸部の位置を非対称の位置に配した
り、前記磁性材中に磁気ギャップ部に向って延びる少な
くとも一本の微小間隙を形成せしめた構造のものが明ら
かにされ、そこでは、そのような磁気ヘッド用コアが、
次のように製造されている。
Furthermore, in JP-A-61-265714 and JP-A-61-273706, a core for a composite magnetic head made of a combination of ferrite and a metal magnetic material is disclosed. By providing uneven parts on the
A structure in which the concavo-convex portions on the left and right core portions are asymmetrically arranged, and in which at least one minute gap extending toward the magnetic gap portion is formed in the magnetic material has been revealed. The core for such a magnetic head is
It is manufactured as follows.

すなわち、所定のフェライトブロックに、縞状にスリッ
トを入れてなるレジスト膜を付与して、エツチングせし
めることにより、波形の凹凸面を形成したフェライトブ
ロックと為し、次いでそのような波形の凹凸面に金属磁
性材からなる磁性層を形成し、そして°その表面を研磨
して平坦な面とした後、トラック幅を規定する溝を互い
に平行に複数条形成し、次いでコイル巻線用の溝を形成
した後、二つのフェライトブロックを組み合わせて接合
せしめることにより、一体的な組合せ体と為し、更にそ
の後、このフェライトブロック組合せ体を所定の位置に
て切断して、目的とする複合型磁気ヘッド用コアを順次
切り出すようにした製造手法が、明らかにされているの
である。
That is, a resist film with striped slits is applied to a predetermined ferrite block and etched to form a ferrite block with a corrugated surface. After forming a magnetic layer made of a magnetic metal material and polishing its surface to make it a flat surface, a plurality of grooves that define the track width are formed parallel to each other, and then grooves for coil winding are formed. After that, the two ferrite blocks are combined and joined to form an integral assembly, and this ferrite block assembly is then cut at a predetermined position to form the desired composite magnetic head. A manufacturing method has been revealed in which the cores are cut out one after another.

しかしながら、このような複合型磁気ヘッド用コアの製
造・方式にあっては、金属磁性材からなる磁性層の形成
の後にトラック幅規定溝に非磁性材(ガラス)を流し込
むこととなるために、次のような問題を内在しているの
である。即ち、金属磁性材がアモルファス合金或いはパ
ーマロイ合金の場合において、そのような磁性材が50
0℃以上に熱せられると、その磁気特性が劣化し、特に
アモルファス合金の場合、結晶化するために、大幅に劣
化するようになるところから、500℃以下でトラック
幅規定溝にガラスを流し込まねばならず、それ故低融点
ガラスを使用しなければならない、而して、低融点ガラ
スの場合、−磁気記録媒体の摺動時の耐摩耗性に難点が
あるのみならず、強度が弱く、研削、切断等に欠けを生
じるという難点を有しているのである。
However, in the manufacturing method of such a core for a composite magnetic head, a non-magnetic material (glass) is poured into the track width defining groove after forming a magnetic layer made of a metallic magnetic material. It has the following problems. That is, when the metal magnetic material is an amorphous alloy or a permalloy alloy, such magnetic material
When heated above 0°C, its magnetic properties deteriorate, and in the case of amorphous alloys in particular, they crystallize and deteriorate significantly, so glass must be poured into the track width defining groove at a temperature below 500°C. Therefore, low melting point glass must be used.In the case of low melting point glass, - not only does it have difficulty in abrasion resistance during sliding of the magnetic recording medium, but also has low strength and is difficult to grind. However, it has the disadvantage of causing chips when cutting.

また、金属磁性材がセンダストの場合にあっては、上記
した如き高融点ガラスの流し込みにより、その磁気特性
が劣化するという問題はないが、500℃以上、例えば
700〜800℃以上に熱すると、フェライトとの熱膨
張係数差が大きいため(センダスト:150xlO−’
、フェライト:110〜120X10−’)、ガラス融
着時にセンダストの内部応力が大きくなり、またセンダ
ストの材質自体が粘りがなく、脆く且つフェライトの波
形表面に付着しているため、このガラス融着時或いは後
の研削、切断加工時にクランクが入ったり、或いは剥離
し易い等という問題を惹起する。
In addition, when the metal magnetic material is sendust, there is no problem that its magnetic properties deteriorate by pouring the high melting point glass as described above, but if it is heated to 500°C or higher, for example 700 to 800°C or higher, Due to the large difference in thermal expansion coefficient with ferrite (Sendust: 150xlO-'
, ferrite: 110~120 Alternatively, problems such as cranking or peeling may occur during subsequent grinding or cutting processes.

何れにしても、このような、金属磁性材からなる磁性膜
を形成した後に、トラック幅規定溝に非磁性材(ガラス
)を流し込む方式に従う複合型磁気ヘッド用コアの°製
造手法には、実用上において幾つかの難点があり、工業
的に有利に採用し得るものではなかったのである。
In any case, there is no practical way to manufacture a core for a composite magnetic head, which involves forming a magnetic film made of a magnetic metal material and then pouring a non-magnetic material (glass) into the track width defining groove. There were several drawbacks to this method, and it could not be advantageously adopted industrially.

(発明の目的) ここにおいて、本発明は、かかる事情に鑑みて為された
ものであって、その目的とするところは、上記従来の複
合型磁気ヘッド用コア及びその製造手法における問題を
解決し、高保磁力記録媒体にも優れた記録再生特性を示
す磁気ヘッド用コアを提供し、且つその容易な製造方法
を提供するものであり、特にトラック幅精度の向上を容
易にし、且つリソグラフィー技術とエツチング技術によ
って、フェライトと金属磁性材との結合境界面を磁気ギ
ャップに対して斜めとなるようにすることにより、再生
出力におけるコンタ効果のない複合型磁気ヘッド用コア
を有利に製造することにある。
(Object of the Invention) The present invention has been made in view of the above circumstances, and its purpose is to solve the problems in the conventional composite magnetic head core and its manufacturing method. The present invention provides a core for a magnetic head that exhibits excellent recording and reproducing characteristics even on high coercive force recording media, and provides an easy manufacturing method thereof.In particular, it facilitates improvement of track width accuracy, and utilizes lithography technology and etching. The object of the present invention is to advantageously manufacture a core for a composite magnetic head without a contour effect in the reproduction output by making the bonding interface between the ferrite and the metal magnetic material oblique to the magnetic gap using technology.

(発明の構成) そして、本発明は、かかる目的を達成するために、第一
及び第二のフェライトブロックを突き合わせて、環状の
磁路を構成する一方、それらフェライトブロックの突合
せ部に所定間隙の磁気ギャップを形成してなる組合せ体
を用いた磁気ヘッド用コアの製造法において、(a)前
記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のものの
他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なくと
も磁気ギャップ形成部位に、トラック幅を規定する互い
に平゛行な少なくとも2つの溝を、前記突合せ面に平行
な方向で且つ前記磁気ギャップとは直交する方向におい
て形成する第一工程と、(b)該トラック幅規定溝の形
成されたフェライトブロックの突合せ面に所定の非磁性
材を適用して、該トラック幅規定溝内に該非磁性材を埋
設する第二工程と、(c)ifフェライトブロックの突
合せ面に適用された非磁性材の不要部分を除去して、前
記トラック幅規定溝に挟まれたトラック部を露呈せしめ
る第三工程と、(d)前記トラック部の一部が、所定幅
で前記トラック幅規定溝の形成方向に延びる少なくとも
1つの露出部として露呈せしめられるように、所定のレ
ジスト膜を前記フェライトブロックの突合せ面に形成し
た後、かかる露出部を介して、該トラック部をエツチン
グせしめ、凹凸面を形成する第四工程と、<e)該フェ
ライトブロックのエツチングされた突合せ面に所定の金
属磁性材を被着させる第五工程と、(f)該金属磁性材
の被着されたフェライトブロックの突合せ面の所定厚さ
部分を除去し、前記トラック部の凹凸面上に形成された
該金属磁性材の被着層を所定厚さで残しつつ、前記トラ
ック幅規定溝に埋設されている非磁性材を露呈せしめる
第六工程と、(g)該第六工程に先立って或いは該第六
工程の後に、前記第一及び第二のフェライトブロックの
少なくとも一方の突合せ面に、コイル巻線用の溝を形成
する第七工程と、(h)前記第一工程乃至第七工程の終
了した第一及び第二のフェライトブロックの少なくとも
一方のものの突合せ面の少なくとも磁気ギャップ形成部
位に、所定厚さの非磁性層を形成する第八工程と、(i
)該第八工程を終了した第一及び第二のフェライトブロ
ックの突合せ面の磁気ギャップ形成部位を対向させ、互
いに接合して、一体化する第九工程と、(j)かかる接
合一体化された第一及び第二のフェライトブロック組合
せ体を所定の位置にて切断し、少なくとも1個の複合型
磁気ヘッド用コアを得る第十工程とを含むことを特徴と
する複合型磁気ヘッド用コアの製造法を、その要旨とす
るものである。
(Structure of the Invention) In order to achieve this object, the present invention abuts first and second ferrite blocks to form an annular magnetic path, and at the same time, a predetermined gap is formed between the abutting portions of the ferrite blocks. In a method for manufacturing a core for a magnetic head using a combination body formed with a magnetic gap, (a) a track is formed on at least the magnetic gap forming portion of the abutting surface of at least one of the two ferrite blocks with respect to the other ferrite block; a first step of forming at least two mutually parallel grooves that define a width in a direction parallel to the abutment surface and perpendicular to the magnetic gap; (b) forming the track width defining groove; a second step of applying a predetermined non-magnetic material to the abutting surfaces of the ferrite blocks and embedding the non-magnetic material in the track width defining groove; a third step of removing an unnecessary portion of the magnetic material to expose a track portion sandwiched between the track width defining grooves; and (d) forming a track width defining groove in which a portion of the track portion has a predetermined width; A predetermined resist film is formed on the abutting surfaces of the ferrite blocks so as to be exposed as at least one exposed portion extending in the direction, and then the track portion is etched through the exposed portion to form an uneven surface. a fourth step; <e) a fifth step of depositing a predetermined metal magnetic material on the etched abutment surfaces of the ferrite block; (f) a fifth step of depositing a predetermined metal magnetic material on the etched abutment surfaces of the ferrite block; A portion with a predetermined thickness is removed to expose the non-magnetic material buried in the track width defining groove while leaving the adhesion layer of the metal magnetic material formed on the uneven surface of the track portion at a predetermined thickness. (g) prior to or after the sixth step, forming a groove for coil winding on the abutting surface of at least one of the first and second ferrite blocks; and (h) applying a nonmagnetic layer of a predetermined thickness to at least the magnetic gap forming region of the abutting surface of at least one of the first and second ferrite blocks that have undergone the first to seventh steps. an eighth step of forming (i
) a ninth step in which the magnetic gap forming portions of the abutting surfaces of the first and second ferrite blocks that have completed the eighth step are opposed and joined to each other to be integrated; (j) such joining is integrated; A tenth step of cutting the first and second ferrite block combination at predetermined positions to obtain at least one composite magnetic head core. The law is its gist.

なお、かかる本発明手法における一実施形態によれば、
前記第四工程において、前記露出部が、複数において、
前記トラック部上に所定間隔を隔てて形成され、それら
複数の露出部を介して該トラック部がエツチングされる
ことにより、該トラック部の幅方向において波形の一部
を構成する湾曲乃至は屈曲面が形成され、以て磁気ギャ
ップに対して傾斜した面が形成せしめられる。
According to an embodiment of the method of the present invention,
In the fourth step, the exposed portions include:
Curved or curved surfaces that are formed on the track portion at predetermined intervals and that form part of a waveform in the width direction of the track portion by etching the track portion through the plurality of exposed portions. is formed, thereby forming a surface inclined with respect to the magnetic gap.

また、本発明手法にあっては、前記第五工程に先立って
、前記フェライトブロックの突合せ面の少なくとも露呈
されたトラック部の表面上に、該トラック部を構成する
フェライトとその上に被着される前記金属磁性材とを密
着させるガラス層を形成する操作が、必要に応じて実施
されることとなる。
Further, in the method of the present invention, prior to the fifth step, at least the surface of the exposed track portion of the abutting surface of the ferrite block is coated with ferrite constituting the track portion. An operation for forming a glass layer that brings the metal magnetic material into close contact with the metal magnetic material will be performed as necessary.

(発明の具体的構成・実施例) ところで、かかる本発明において、目的とする複合型磁
気ヘッド用コアを製造するために用いられる組合せ体を
与える第一及び第二のフェライトブロックには、従来か
らの高透磁率のフェライト材が用いられ、一般に、複数
の磁気ヘッド用コアが製造され得るように、所定厚さの
長手板状のブロックとして用いられて、それらの突合せ
によって、環状の磁路が構成せしめられるのである。な
お、この高透磁率のフェライトブロックとしては、Mn
−Znフェライト、Ni−Znフェライト等の単結晶体
若しくは多結晶体或いはそれらの複合体が用いられ、特
に単結晶体を用いる場合にあっては、その(100) 
、  (110) 、  (311) 。
(Specific Structure and Embodiments of the Invention) In the present invention, the first and second ferrite blocks that provide the combination used to manufacture the target composite magnetic head core are conventionally used. A ferrite material with high magnetic permeability is used, and generally it is used as a long plate-shaped block of a predetermined thickness so that a plurality of cores for magnetic heads can be manufactured, and by butting them together, a ring-shaped magnetic path is formed. It is configured. Note that this high permeability ferrite block is made of Mn.
- Single crystals or polycrystals such as Zn ferrite, Ni-Zn ferrite, or composites thereof are used, and in particular when using a single crystal, the (100)
, (110), (311).

(332)等の結晶面がギャップ対向面(フェライトブ
ロック突合せ面)として有利に選択されることとなる。
A crystal plane such as (332) is advantageously selected as the gap facing surface (ferrite block abutting surface).

そして、本発明にあっては、先ず、第一工程において、
上記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のもの
の他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なく
とも磁気ギャップ形成部位にトラック幅を規定する互い
に平行な少なくとも二つの溝が、該突合せ面に平行な方
向で且つ磁気ギャップとは直交する方向において形成さ
れることとなる。
In the present invention, first, in the first step,
At least two grooves parallel to each other defining a track width are provided in at least the magnetic gap forming region of the abutting surface of at least one of the two ferrite blocks against the other ferrite block, in a direction parallel to the abutting surface and with the magnetic gap. are formed in orthogonal directions.

ところで、第5図(a)には、所定の高透磁率フェライ
トブロック31のギャップ対向面(突合せ面)31aに
おける磁気ギャップ形成部位にトラック幅を規定する溝
32の複数が形成された例が示されているが、このトラ
ック幅規定溝は、第5図(a)の如く、フェライトブロ
ック31の稜部(磁気ギャップ形成部位)のみに形成さ
れる他、第5図(b)に示される如く、コア後部(磁気
記録媒体対向面31bとは反対側の部分)まで通して形
成された溝32′であっても、何等差し支えない、なお
、このトラック幅規定溝32.32’の溝形状は適宜に
選択され、例えば、第6図(a)や(b)の如き形状に
おいて設けられることとなるが、後工程においてギャッ
プ対向面31aの研磨量の大小が生じても、トラック幅
の変動が小さい形状、即ちギャップ対向面31aに直角
な直線部を有する第6図<a>に示される如き溝形状が
、第6図(b)の溝形状よりも、好適に採用される。
By the way, FIG. 5(a) shows an example in which a plurality of grooves 32 defining a track width are formed in a magnetic gap forming region on a gap facing surface (abutting surface) 31a of a predetermined high magnetic permeability ferrite block 31. However, as shown in FIG. 5(a), this track width defining groove is formed only at the ridge of the ferrite block 31 (magnetic gap formation region), and as shown in FIG. 5(b), There is no problem even if the groove 32' is formed to pass through to the rear part of the core (the part opposite to the magnetic recording medium facing surface 31b).The groove shape of the track width defining groove 32 and 32' is as follows. The shape is selected as appropriate, for example, as shown in FIGS. 6(a) and 6(b), but even if the amount of polishing of the gap facing surface 31a is changed in the subsequent process, the track width will not fluctuate. A small groove shape, that is, a groove shape as shown in FIG. 6<a> having a straight portion perpendicular to the gap facing surface 31a is more preferably adopted than the groove shape of FIG. 6(b).

そして、このようにして、トラック幅規定溝32の設け
られたフェライトブロック31には、第7図に示される
ように、第二工程として、そのトラック幅規定溝32の
形成されたギャップ対向面31a上に所定の非磁性材3
3が適用され、以てかかるトラック幅規定溝32内にも
、該非磁性材33が埋設、充填せしめられることとなる
。なお、この非磁性材33は、ガラス、セラミック系の
無機接着剤或いは硬質樹脂等が用いられるが、磁気記録
媒体の走行性等の安定性面からは、ガラスが適している
In this way, as shown in FIG. 7, the ferrite block 31 provided with the track width defining groove 32 has a gap facing surface 31a formed with the track width defining groove 32 as a second step. Predetermined non-magnetic material 3 on top
3 is applied, and the non-magnetic material 33 is buried and filled in the track width defining groove 32 as well. Note that this non-magnetic material 33 may be made of glass, ceramic-based inorganic adhesive, hard resin, or the like, but glass is suitable from the viewpoint of stability such as running performance of the magnetic recording medium.

次いで、このようにして、非磁性材33をトラック幅規
定溝32内に埋設した後、フェライトブロック31のギ
ャップ形成面31a上の不要な非磁性材33部分を少な
くとも除去して、該トラック幅規定溝32.32にて挟
まれたトラック部が露呈せしめられる(第三工程)、こ
の非磁性材33の不要部分の除去には、一般に、砥石に
より研削除去せしめる手法が採用され、またそのような
除去操作によって、フェライトブロック31のギャップ
対向面31aの所定厚さ部分が除去せしめられる。そし
て、このような除去操作によって、第8図に示される如
く、トラック幅規定溝32内にのみ非磁性材33が埋設
されてなるフェライトブロック31が得られるのである
Next, after embedding the non-magnetic material 33 in the track width defining groove 32 in this manner, at least the unnecessary portion of the non-magnetic material 33 on the gap forming surface 31a of the ferrite block 31 is removed to define the track width. The track portion sandwiched between the grooves 32 and 32 is exposed (third step).To remove the unnecessary portion of the non-magnetic material 33, a method of grinding it away with a grindstone is generally adopted. By the removal operation, a predetermined thickness portion of the gap facing surface 31a of the ferrite block 31 is removed. Through such a removal operation, a ferrite block 31 in which the non-magnetic material 33 is buried only in the track width defining groove 32 is obtained, as shown in FIG.

第四工程では、かかるトラック幅規定溝32内に所定の
非磁性材33が埋設されてなるフェライトブロック31
に対して、そのトラック部が露呈されたギャップ対向面
31aに、第9図に示されるように、トラック部の一部
を残して、所定のレジスト膜34が形成される。即ち、
トラック部の一部が、所定幅でトラック幅規定溝32の
形成方向に延びる少なくとも一つの露出部(35)とし
て露呈せしめられるように、レジスト膜34がフェライ
ト31のギャップ対向面31a上に形成されるのである
In the fourth step, a ferrite block 31 is formed in which a predetermined non-magnetic material 33 is embedded in the track width defining groove 32.
On the other hand, as shown in FIG. 9, a predetermined resist film 34 is formed on the gap facing surface 31a where the track portion is exposed, leaving a part of the track portion. That is,
A resist film 34 is formed on the gap-opposing surface 31a of the ferrite 31 so that a part of the track portion is exposed as at least one exposed portion (35) extending in the formation direction of the track width defining groove 32 with a predetermined width. It is.

なお、かかるレジスト膜34のパターニングは、紫外光
、X線、電子線等にて行なわれる。また、レジスト膜3
4のパターンは、第10図(a)に示される如(、トラ
ック部の中央に1〜3μm程度の幅の細いスリット35
を一本人れた形態、また第10図(b)に示される如く
、そのような細いスリット35を二本人れた形態、或い
は第10図(c)に示される如く、中央部にレジスト膜
34を残して、トラック部の幅方向の両端部に、狭いス
リット状の露出部(35)が、それぞれ形成された形態
等が、好適に採用されることとなる。
Note that the patterning of the resist film 34 is performed using ultraviolet light, X-rays, electron beams, or the like. In addition, the resist film 3
The pattern No. 4 is as shown in FIG.
As shown in FIG. 10(b), there is a form with two such thin slits 35, or as shown in FIG. 10(c), there is a resist film 34 in the center. A configuration in which narrow slit-shaped exposed portions (35) are formed at both ends of the track portion in the width direction, leaving a portion of the width of the track portion, is preferably adopted.

特に、かかるトラック部の幅が、例えば50.un以上
と大きい場合、かかるスリット35の数を少なくとも2
つ以上として、それを所定の間隔を隔てて縞状に配置す
ることが望ましい、なお、トラック幅が大きく、スリッ
ト数が少ない場合においては、トラック幅全体をエツチ
ングしようとすると、深さ方向のエツチング量が増え、
金属磁性材の所要厚みが厚くなって、非生産的となる。
In particular, the width of such a track portion is, for example, 50 mm. If the size is larger than un, the number of slits 35 should be at least 2.
It is desirable to arrange the slits in stripes at predetermined intervals.If the track width is large and the number of slits is small, if you try to etch the entire track width, it will result in etching in the depth direction. The amount increases,
The required thickness of the metal magnetic material becomes thicker, which becomes unproductive.

これを解決するため、スリット幅を大きくすると、工・
7チングされたフェライト表面のギャップに対する傾斜
が小さくなり、コンタ効果の改善効果が小さくなる。
To solve this problem, increasing the slit width increases the
7. The slope of the etched ferrite surface with respect to the gap becomes smaller, and the effect of improving the contour effect becomes smaller.

次いで、かかる所定のレジスト膜34が形成されたフェ
ライトブロック31には、公知の電解エツチング処理或
いは化学エツチング処理が施される。その結果、レジス
ト膜34にて被覆されていないトラック部の露出面、換
言すればレジスト膜34のスリット35に対応するトラ
ック部部分が、該スリット35を介してエツチングされ
、そして第11図に示されるように、トラック部の表面
が凹凸面36となるのである。なお、このエツチング条
件としては、トラック幅規定溝32内に埋設された非磁
性材33に対するフェライトのエツチング比の極めて大
きい条件が選ばれることとなる。
Next, the ferrite block 31 on which the predetermined resist film 34 has been formed is subjected to a known electrolytic etching treatment or chemical etching treatment. As a result, the exposed surface of the track portion that is not covered with the resist film 34, in other words, the portion of the track portion corresponding to the slit 35 of the resist film 34 is etched through the slit 35, as shown in FIG. Thus, the surface of the track portion becomes an uneven surface 36. Note that the etching conditions are selected such that the etching ratio of the ferrite to the non-magnetic material 33 buried in the track width defining groove 32 is extremely large.

そして、このエツチングd後、レジスト膜34を除去す
ると、第12図に拡大して示される如き形状にエツチン
グされた凹凸面36を有するトラック部が露呈する。な
お、この露呈されるトラック部の表面形状に関し、第1
2図(a)、(b)。
After this etching d, when the resist film 34 is removed, a track portion having an uneven surface 36 etched into a shape as shown in an enlarged view in FIG. 12 is exposed. Regarding the surface shape of this exposed track portion, the first
Figure 2 (a), (b).

(c)は、第10図(a)、  (b)、  (C)の
レジスト@34の形□成形態にそれぞれ対応するもので
あって、何れの形状においても、磁気ギャップに対して
傾斜した表面形状として、換言すればトラック部の幅方
向において、波形の一部を構成する湾曲乃至は屈曲面と
して形成されているのである。
(c) corresponds to the formation forms of resist@34 in Figs. 10 (a), (b), and (C), and in any of the forms, the resist is inclined with respect to the magnetic gap. The surface shape, in other words, is formed as a curved or bent surface forming part of a waveform in the width direction of the track portion.

そして、このエツチング処理の施されたフェライトブロ
ック31には、第13図に示されるように、そのギヤツ
ブ対向面31a全面に対して、フェライトより飽和磁束
密度の高い金属磁性材37がスパッタリング等によって
被着せしめられる(第五工程)。この金属磁性材37に
は、Fe−3i(Si:6.5重量%)、Fe−Aff
i−3i合金(センダスト) 、N t  F e合金
(パーマロイ)等で代表される公知の結晶質合金があり
、一方非晶質合金としても、例えばFe−co−3t 
−B系で代表される周知のメタル−メタロイド系合金や
Co−Zr、Co−Zr−Nb等の周知のメタル−メタ
ル系合金等が用いられる。また、このような磁性材の被
着には、他に真空蒸着、イオンブレーティング、CVD
、メッキ等でも可能であるが、組成変動等が大きいこと
や、被着物質が限定されることから、スパッタリング法
が好適に採用される。
As shown in FIG. 13, the etched ferrite block 31 is coated with a metal magnetic material 37 having a higher saturation magnetic flux density than the ferrite by sputtering or the like over the entire gear facing surface 31a. Dressed (fifth step). This metal magnetic material 37 includes Fe-3i (Si: 6.5% by weight), Fe-Aff
There are known crystalline alloys such as i-3i alloy (sendust) and N t Fe alloy (permalloy), while amorphous alloys such as Fe-co-3t
A well-known metal-metalloid alloy represented by -B series, a well-known metal-metal alloy such as Co-Zr, Co-Zr-Nb, etc. are used. In addition, other methods for depositing such magnetic materials include vacuum evaporation, ion blating, and CVD.
, plating, etc. are also possible, but sputtering is preferably employed because compositional fluctuations are large and the materials to be deposited are limited.

なお、このような金属磁性材37の被着に先立ち、フェ
ライトブロック31の少なくともトラック部の凹凸面3
6上に、中間層として、ガラス層を、例えば数十〜10
0人程度0厚さにおいて被着せしめることにより、かか
る金属磁性材の層の密着性をより高めることが可能であ
る。なお、この中間ガラス層の存在により、擬催ギャッ
プによる再生出力が増え、コンタ効果が心配されるが、
エツチングされたトラック部のフェライト界面が、ギャ
ップに対して充分に傾斜せしめられるようにすれば、そ
れ程問題となるものではない。
Note that, prior to the deposition of such metal magnetic material 37, the uneven surface 3 of at least the track portion of the ferrite block 31 is
6, a glass layer is placed as an intermediate layer, for example, several tens to ten
By depositing the metal magnetic material at a thickness of approximately zero, it is possible to further improve the adhesion of the layer of the metal magnetic material. The presence of this intermediate glass layer increases the playback output due to the simulated gap, and there is concern about the contour effect.
If the ferrite interface of the etched track portion is made sufficiently inclined with respect to the gap, this is not a serious problem.

次いで、かかる金属磁性材37の被着されたフェライト
ブロック31には、そのギャップ対向面31aに対して
、通常の切削、研磨操作が施され、かかるフェライトブ
ロック31に被着した金属磁性材37の不要部、フェラ
イト部分及び非磁性材33の一部が除去せしめられる(
第六工程)。即ち、この金属磁性材37の被着されたフ
ェライトブロック31のギャップ対向面31aの所定厚
さ部分を除去することにより、第14図に示されるよう
に、トラック部の凹凸面36上に形成された金属磁性材
37の被着層を所定厚さで残しつつ、トラック幅規定溝
32に埋設されている非磁性材33を露呈せしめて、か
かる残存する金属磁性材層とフェライト部分にて構成さ
れるトラック部の幅が規定されることとなる。
Next, the ferrite block 31 with the metal magnetic material 37 adhered thereto is subjected to normal cutting and polishing operations on its gap-opposing surface 31a, so that the metal magnetic material 37 adhered to the ferrite block 31 is removed. Unnecessary parts, ferrite parts, and part of the non-magnetic material 33 are removed (
6th step). That is, by removing a predetermined thickness portion of the gap facing surface 31a of the ferrite block 31 to which the metal magnetic material 37 is adhered, the metal magnetic material 37 is formed on the uneven surface 36 of the track portion, as shown in FIG. The non-magnetic material 33 embedded in the track width defining groove 32 is exposed while leaving the adhered layer of the metal magnetic material 37 with a predetermined thickness, and the non-magnetic material 33 is made up of the remaining metal magnetic material layer and the ferrite portion. The width of the track section is defined.

また、かかる第六工程に先立つか、或いはその工程の後
で、二つのフェライトブロック31,31′の少なくと
も一方に、そのギャップ対向面31a側において、コイ
ル巻線用の溝38が形成される。なお、ここでは、一方
のフェライトブロック31にのみ、上記第一工程乃至第
六工程が適用されているが、また他方のフェライトブロ
ック31′に対しても、同様に第一工程乃至第六工程が
付与されていても、何等差し支えなく、特に本発明にあ
っては、二つのフェライトブロック31゜31′に対し
て、それぞれ上記第一工程乃至第六工程が有利に適用さ
れることとなる。そして、その後、フェライトブロック
31.31’の互いに突き合わされるギャップ対向面(
31a)には、表面研摩が施されて最終仕上げが行なわ
れ、第15図に示されるように、ギヤ・ノブ対向仕上げ
面39を有するフェライトブロック31.31’ とさ
れる。
Further, prior to or after the sixth step, a groove 38 for coil winding is formed in at least one of the two ferrite blocks 31, 31' on the side facing the gap 31a. Here, the first to sixth steps are applied only to one ferrite block 31, but the first to sixth steps are also applied to the other ferrite block 31'. There is no problem even if the ferrite blocks 31 and 31' are provided, and in particular, in the present invention, the first to sixth steps are advantageously applied to each of the two ferrite blocks 31 and 31'. After that, the gap facing surfaces (
31a) is given a final finish by surface polishing, resulting in a ferrite block 31.31' having a finished surface 39 facing the gear knob, as shown in FIG.

そして、かかる第七工程で得られたフェライトブロック
31.31’の少なくとも一方のギャップ対向仕上げ面
39(39’)のギャップ形成部位に、SiO2、ガラ
ス等のギャップ形成用非磁性材が所定厚みにスパッタリ
ングにて適用され、所定厚さのギャップ形成層が形成さ
れることとなる(第八工程)、このとき、前記金属磁性
材37として、Fe−3iSFe−Al−3i等の結晶
質合金を用いた場合にあっては、500℃以上に温度を
上げて、かかる金属磁性材の熱処理が同時に出来るSi
ng或いは高融点ガラスを、前記ギャップ形成用非磁性
材として用いることが望ましく、またNi−Fe合金や
非晶質合金を金属磁性材として用いた場合にあっては、
400℃〜450℃で接合、熱処理が可能な低融点ガラ
スを、前記ギャップ形成用非磁性材として用いることが
望ましい。
Then, a non-magnetic material for gap formation such as SiO2 or glass is applied to a predetermined thickness on the gap formation portion of at least one gap facing finished surface 39 (39') of the ferrite block 31, 31' obtained in the seventh step. A gap forming layer with a predetermined thickness is formed by sputtering (eighth step). At this time, a crystalline alloy such as Fe-3iSFe-Al-3i is used as the metal magnetic material 37. Si
It is desirable to use NG or high melting point glass as the non-magnetic material for forming the gap, and when Ni-Fe alloy or amorphous alloy is used as the metal magnetic material,
It is desirable to use a low melting point glass that can be bonded and heat treated at 400°C to 450°C as the nonmagnetic material for forming the gap.

次いで、かかる第八工程で得られた二つのフ工ライトブ
ロック31.31’を、それぞれのギャップ対向仕上げ
面39.39’をそれぞれのトラック部が合致するよう
に整列、対向させて、環状の磁路を構成せしめ、そして
加熱、加圧することにより、常法にて接合、一体化せし
めて、第16図に示される如き、組合せ体としてのフェ
ライトブロック接合体40を形成せしめる(第九工程)
Next, the two light blocks 31 and 31' obtained in the eighth step are aligned and opposed so that the finished surfaces 39 and 39' facing the gap are matched with each other, and an annular shape is formed. A magnetic path is formed, and by heating and pressurizing, they are joined and integrated in a conventional manner to form a ferrite block joined body 40 as a combination as shown in FIG. 16 (ninth step).
.

そして、この場合、接合は、トラック幅規定溝32内に
充填された非磁性材33がガラスならば、このガラスと
ギャップ形成用の非磁性材としてのガラスの接合により
行なわれることとなる。
In this case, if the non-magnetic material 33 filled in the track width defining groove 32 is glass, the bonding is performed by bonding this glass to glass as the non-magnetic material for forming the gap.

また、かかる第九工程で接合されたフェライトブロック
接合体(組合せ体)40を、トラック幅を中心にして第
17図において点線で示される所要のコア幅(T)とな
るように切断せしめることにより、目的とする複合型磁
気ヘッド用コアが順次切り出され、以てその少なくとも
1個が取得されることとなる。なお、このコアの切り出
しに際して、場合により、公知の如く、アジマス角だけ
傾けて切断する方法も採用される。
Further, by cutting the ferrite block assembly (combined body) 40 joined in the ninth step so as to have the required core width (T) shown by the dotted line in FIG. 17 with the track width as the center. The target cores for the composite magnetic head are sequentially cut out, and at least one of the cores is thus obtained. Note that when cutting out the core, a well-known method of cutting the core at an angle of the azimuth angle may also be adopted, as the case may be.

このようにして得られた、本発明に従う複合型磁気ヘッ
ド用コアの構造が、第18図に斜視図として示されてい
る。この構造は、第一工程において、フェライトブロッ
ク31の稜部にのみトラック幅規定溝32を形成した第
5図(a)の場合に対応しており、また第19図は、か
かる磁気ヘッド用コアの磁気記録媒体対向面からみた要
部の形態が示されている。一方、第20図に示される磁
気ヘッド用コアの構造は、前記第一工程でフェライトブ
ロック31の後部までトラック幅規定溝32′を形成し
た第5図(b)の場合に対応する構造のものである。な
お、これらの図において、41は、左右のトラック部の
金属磁性材層37.37′間に形成される磁気ギャップ
である。
The structure of the core for a composite magnetic head according to the present invention thus obtained is shown in a perspective view in FIG. This structure corresponds to the case shown in FIG. 5(a) in which the track width defining groove 32 is formed only in the ridge of the ferrite block 31 in the first step, and FIG. 19 shows the core for such a magnetic head. The configuration of the main part as seen from the surface facing the magnetic recording medium is shown. On the other hand, the structure of the magnetic head core shown in FIG. 20 corresponds to the case shown in FIG. It is. In these figures, 41 is a magnetic gap formed between the metal magnetic material layers 37 and 37' of the left and right track portions.

そして、このようにして、本発明に従って得られた複合
型磁気ヘッド用コアには、更に公知の如く、そのコイル
巻線用の溝38によって形成され孔42を利用して、コ
イルが巻装され、以て目的とする複合型磁気ヘッドとさ
れるのである。
As is well known, the core for a composite magnetic head obtained according to the present invention is further wound with a coil using the hole 42 formed by the groove 38 for coil winding. Thus, the desired composite magnetic head is achieved.

以上、本発明に従う磁気ヘッド用コアの製造手法につい
て、VTR用磁気ヘッド用コアの製造例に基づいて、詳
細に説明してきたが、本発明が、かかる例示の具体例に
のみ限定して解釈されるものでは決してなく、本発明の
趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づい
て種々なる変更、修正、改良等を加えた形態において実
施され得るものであることが、理解されるべきである。
The method for manufacturing a core for a magnetic head according to the present invention has been described in detail above based on an example of manufacturing a core for a magnetic head for a VTR. It should be understood that the invention is in no way intended to be different from the spirit of the invention, and that it can be implemented in forms with various changes, modifications, improvements, etc. based on the knowledge of those skilled in the art, without departing from the spirit of the invention. be.

また、本発明に従う複合型磁気ヘッド用コアの製造手法
は、単に例示のVTR用ヘッドに止まらず、FDD用ヘ
ッド、RDD用ヘッド、更にはDAT用ヘッド等の磁気
ヘッドのためのコアの製造にも、適用可能であることは
、言うまでもないところである。
Furthermore, the method of manufacturing a core for a composite magnetic head according to the present invention is applicable not only to the exemplified VTR head but also to the manufacture of cores for magnetic heads such as FDD heads, RDD heads, and even DAT heads. Needless to say, it is also applicable.

(発明の効果) 以上の説明から明らかなように、本発明に従う複合型磁
気ヘッド用コアの製造手法は、(a)得られる複合型磁
気ヘッド用コアにおいて、従来のものに比べ、主磁気回
路がフェライトから構成されており、金属磁性材は磁気
ギャップ近傍のみに存在する構成のため、渦電流損失を
小さく出来る方法となっていること、(b)フェライト
と金属磁性材の結合境界面が磁気ギャップに対して斜め
となっている凹凸構造により、コンタ効果が無視出来、
また密着を良くするために、フェライトと金属磁性材の
中間層としてガラス層を設けても、そのようなコンタ効
果が無視出来る利点を有していること、 (C)トラック幅規定用の溝に予め埋設された非磁性材
とフェライトのエツチング速度の比を利用して、高精度
のトラック幅からなる磁気ヘッド用コアが量産出来るこ
と、 (d)レジストを用いたリソグラフィー技術とエツチン
グ技術の組合せにより、多数のフェライトブロックを同
時に且つ均一な形状にエツチングすることが出来、ひい
てはヘッド特性の均一な磁気ヘッド用コアが量産出来る
こと、(e)予めトラック幅規定溝内に非磁性材を流し
込んだ後に、金属磁性材からなる磁性膜を形成するもの
であるところから、耐摩耗性、加工時の欠は等の問題の
ない、高融点ガラスの使用が可能であり、特に金属磁性
材としてアモルファス合金やパーマロイ合金を用いた場
合にあっては熱劣化がなく、一方センダストを用いた場
合にあっては、後の加工工程においてクランク、剥離等
の問題がないところから、磁気ヘッド用コアの工業的な
製造が有利に行なわれ得ること、 等の数々の大きな利点を有しているのである。
(Effects of the Invention) As is clear from the above explanation, the method for manufacturing a core for a composite magnetic head according to the present invention has the following advantages: (a) In the core for a composite magnetic head obtained, the main magnetic circuit is is made of ferrite, and the metal magnetic material exists only near the magnetic gap, so this method can reduce eddy current loss. (b) The bonding interface between the ferrite and the metal magnetic material is magnetic. Due to the uneven structure that is diagonal to the gap, the contour effect can be ignored.
In addition, in order to improve adhesion, even if a glass layer is provided as an intermediate layer between the ferrite and the metal magnetic material, it has the advantage that such a contour effect can be ignored. (d) By combining lithography technology using resist and etching technology, it is possible to mass-produce magnetic head cores with highly accurate track widths by utilizing the etching speed ratio of the non-magnetic material buried in advance and the ferrite. , it is possible to simultaneously etch a large number of ferrite blocks into a uniform shape, and as a result, it is possible to mass produce magnetic head cores with uniform head characteristics; (e) after pouring a non-magnetic material into the track width defining groove in advance; Since it forms a magnetic film made of a metallic magnetic material, it is possible to use high-melting point glass, which has no problems such as wear resistance or chipping during processing.In particular, amorphous alloys and When permalloy alloy is used, there is no thermal deterioration, and when Sendust is used, there are no problems such as cranking or peeling in subsequent processing steps, making it suitable for industrial use in magnetic head cores. It has a number of great advantages, such as being able to be manufactured advantageously.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図及び第2図は、それぞれ、従来の複合型磁気ヘッ
ド用コアの一例を示す斜視図及び上面図であり、第3図
は、従来の複合型磁気ヘッド用コアの他の例を示す斜視
図であり、第4図<a>及び(b)は、それぞれ、従来
の複合型磁気ヘッド用コアの更に他の例を示す斜視図及
び上面図である。 第5図乃至第20図は、本発明の一実施例に係る各工程
の説明図であって、第5図(a)及び(b)は、それぞ
れ異なるトラック幅規定溝を設けたフェライトブロック
の斜視図、第6図(a)及び(b)は、それぞれトラッ
ク幅規定溝の異なる断面形態を示す断面略図、第7図は
第二工程を終了した状態のフェライトブロックの要部斜
視図、第8図は第三工程を終了した状態を示すフェライ
トブロックの斜視図、第9図は第四工程においてレジス
ト膜の形成された状態を示すフェライトブロックの斜視
図、第1O図(a)、(b)及び(C)は、それぞれ異
なる形態のレジスト膜を設けてなるフェライトブロック
の要部斜視図、第11図は第四工程におけるエツチング
後の状態を示すフェライトブロックの斜視図、第12図
(a)、(b)及び(c)は、それぞれ異なるレジスト
膜のスリット形態に基づいて形成されたトラック部の凹
凸面の形態の異なる例を示す要部斜視図、第13図は第
五工程の実施されたフェライトブロックの要部断面説明
図、第14図は第六工程の施されたフェライトブロック
の斜視図、第15図は第七工程の実施されたフェライト
ブロックの斜視図、第16図は第九工程において二つの
フェライトブロックが一体化されてなる組合せ体の斜視
図、第17図は策士工程において1個の複合型磁気ヘッ
ド用コアを得るための切断位置を説明する組合せ体の上
面図、第18図及び第19図は、それぞれ本発明の工程
に従って得られる複合型磁気ヘッド用コアの一例を示す
斜視図及び上面図、第20図は本発明に従って得られる
複合型磁気ヘッド用コアの他の一例を示す第18図に対
応する図である。 31.31’  :フエライトブロック31a:ギャッ
プ対向面 32.32’  :)ラック幅規定溝 33.33’  :非磁性埋設材 34ニレジスト膜    35ニスリット36:凹凸面
  37.37’  :金属磁性材38:コイル巻線用
溝 3つ:ギャップ対向仕上げ面 40:フェライトブロック接合体 41:磁気ギャップ 第1図。 第3図 vK4図(a) 第5図 第6図 (a)       (b) 第13図 第q図 手続補正書(自発) 昭和63年8月3日 昭和62年 特許願 第142749号2、発明の名称 複合型磁気ヘッド用コアの製造法 3、補正をする者 事件との関係      特許出願人 名 称    (406)日本碍子株式会社4、代理人 明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 (1)明細書第23頁第13行の「・・・用いられる。 」の次に、改行することなく、下記の文章を挿入する。 記 「なお、Fe−3t、Fe−Aj!−3t合金等を用い
る場合には、よく知られているように、耐食性向上等の
ために、5重1%以下のCr、Ti、Ta等の元素の添
加が適宜に行なわれる。」 (2)同 第24頁第4行の「・・・可能である。」の
次に、改行することな(、下記の文章を挿入する。 記 「また、中間層として、Fe、Ni、Co等のうち少な
くとも1種の元素を用いれば、密着上有利となる。これ
ら磁性体を中間層として用いる場合、その厚さは1oo
oÅ以下とする。なお、これら中間層の存在により、擬
偵ギャップが増え、コンタ効果が心配されるが、エツチ
ングされたトラック部の界面がギヤツーに対して充分に
傾斜せしめられるようにすれば、問題とならない、」 (3)同 第27頁第11行の「・・・こととなる。 」の次に、改行することな(、下記の文章を挿入する。 記 「また、次のようにしても、組み合わせ体の接合は可能
である。即ち、ギャップ形成用の非磁性体として、S 
to! 、Al2O3等の高融点酸化物をギャップ対向
面に形成する一方、コイル巻線溝、更に必要に応じて、
後部溝にガラス棒を差し込み、加熱、加圧することによ
り、これらの溝に入れたガラス棒を溶融させて、一対の
フェライトブロックを接合することも可能である。なお
、この溝に差し込み溶融せしめられるガラスにつき、前
記と同様に、金属磁性材の種類に応じて、その接合温度
が選択されることとなる。」 以  上
1 and 2 are a perspective view and a top view, respectively, showing an example of a conventional composite magnetic head core, and FIG. 3 shows another example of a conventional composite magnetic head core. FIG. 4 is a perspective view, and FIGS. 4A and 4B are a perspective view and a top view, respectively, showing still another example of a conventional composite magnetic head core. 5 to 20 are explanatory diagrams of each process according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 5(a) and 20(b) illustrate a ferrite block provided with different track width defining grooves, respectively. 6(a) and 6(b) are schematic cross-sectional views showing different cross-sectional forms of the track width defining groove, respectively. FIG. 7 is a perspective view of the main part of the ferrite block after the second step, and FIG. Fig. 8 is a perspective view of the ferrite block showing the state after the third step, Fig. 9 is a perspective view of the ferrite block showing the state in which the resist film is formed in the fourth step, and Figs. 1O (a) and (b). ) and (C) are perspective views of essential parts of ferrite blocks provided with resist films of different shapes, FIG. 11 is a perspective view of the ferrite block showing the state after etching in the fourth step, and FIG. 12 (a) ), (b), and (c) are perspective views of main parts showing different examples of the uneven surface forms of track portions formed based on different slit forms of resist films, and Fig. 13 is a diagram showing the implementation of the fifth step. FIG. 14 is a perspective view of the ferrite block subjected to the sixth step, FIG. 15 is a perspective view of the ferrite block subjected to the seventh step, and FIG. FIG. 17 is a perspective view of a combination body formed by integrating two ferrite blocks in the ninth process; FIG. 18 and 19 are a perspective view and a top view, respectively, showing an example of a composite magnetic head core obtained according to the process of the present invention, and FIG. 20 is a perspective view and a top view showing an example of a composite magnetic head core obtained according to the present invention. FIG. 18 is a diagram corresponding to FIG. 18 showing an example. 31.31': Ferrite block 31a: Gap facing surface 32.32':) Rack width defining groove 33.33': Non-magnetic embedding material 34 Ni resist film 35 Nislit 36: Uneven surface 37.37': Metal magnetic material 38: Three coil winding grooves: Gap opposing finished surface 40: Ferrite block assembly 41: Magnetic gap FIG. Figure 3 vK4 (a) Figure 5 Figure 6 (a) (b) Figure 13 Figure q Procedural amendment (voluntary) August 3, 1988 Patent application No. 142749 2, Invention (406) Nippon Insulators Co., Ltd. (4) Column 6 of the detailed description of the invention in the attorney's specification; Contents (1) On page 23, line 13 of the specification, insert the following sentence after "...is used." without starting a new line. Note: When using Fe-3t, Fe-Aj!-3t alloys, etc., as is well known, in order to improve corrosion resistance, etc., Cr, Ti, Ta, etc. (2) On page 24, line 4 of the same document, after "...is possible.", insert the following sentence (without a line break). , it is advantageous for adhesion if at least one element among Fe, Ni, Co, etc. is used as the intermediate layer.When these magnetic materials are used as the intermediate layer, the thickness is 100 mm.
It shall be less than oÅ. Furthermore, the existence of these intermediate layers increases the false gap and there is a concern about the contour effect, but this will not be a problem if the interface of the etched track section is made sufficiently inclined with respect to gear two. (3) In the 11th line of page 27, insert the following sentence without a line break. In other words, as a non-magnetic material for gap formation, S
To! , a high melting point oxide such as Al2O3 is formed on the surface facing the gap, and the coil winding groove is further formed as necessary.
It is also possible to join a pair of ferrite blocks by inserting glass rods into the rear grooves and applying heat and pressure to melt the glass rods inserted into these grooves. As for the glass that is inserted into this groove and melted, the bonding temperature will be selected depending on the type of metal magnetic material, as described above. "that's all

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)第一及び第二のフェライトブロックを突き合わせ
て、環状の磁路を構成する一方、それらフェライトブロ
ックの突合せ部に所定間隙の磁気ギャップを形成してな
る組合せ体を用いた磁気ヘッド用コアの製造法において
、 前記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のもの
の他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なく
とも磁気ギャップ形成部位に、トラック幅を規定する互
いに平行な少なくとも2つの溝を、前記突合せ面に平行
な方向で且つ前記磁気ギャップとは直交する方向におい
て形成する第一工程と、 該トラック幅規定溝の形成されたフェライトブロックの
突合せ面に所定の非磁性材を適用して、該トラック幅規
定溝内に該非磁性材を埋設する第二工程と、 該フェライトブロックの突合せ面に適用された非磁性材
の不要部分を除去して、前記トラック幅規定溝に挟まれ
たトラック部を露呈せしめる第三工程と、 前記トラック部の一部が、所定幅で前記トラック幅規定
溝の形成方向に延びる少なくとも1つの露出部として露
呈せしめられるように、所定のレジスト膜を前記フェラ
イトブロックの突合せ面に形成した後、かかる露出部を
介して、該トラック部をエッチングせしめ、凹凸面を形
成する第四工程と、 該フェライトブロックのエッチングされた突合せ面に所
定の金属磁性材を被着させる第五工程と、 該金属磁性材の被着されたフェライトブロックの突合せ
面の所定厚さ部分を除去し、前記トラック部の凹凸面上
に形成された該金属磁性材の被着層を所定厚さで残しつ
つ、前記トラック幅規定溝に埋設されている非磁性材を
露呈せしめる第六工程と、 該第六工程に先立って或いは該第六工程の後に、前記第
一及び第二のフェライトブロックの少なくとも一方の突
合せ面に、コイル巻線用の溝を形成する第七工程と、 前記第一工程乃至第七工程の終了した第一及び第二のフ
ェライトブロックの少なくとも一方のものの突合せ面の
少なくとも磁気ギャップ形成部位に、所定厚さの非磁性
層を形成する第八工程と、 該第八工程を終了した第一及び第二のフェライトブロッ
クの突合せ面の磁気ギャップ形成部位を対向させ、互い
に接合して、一体化する第九工程と、 かかる接合一体化された第一及び第二のフェライトブロ
ック組合せ体を所定の位置にて切断し、少なくとも1個
の複合型磁気ヘッド用コアを得る第十工程とを、 含むことを特徴とする複合型磁気ヘッド用コアの製造法
(1) A core for a magnetic head using a combination body in which first and second ferrite blocks are butted against each other to form an annular magnetic path, and a magnetic gap of a predetermined distance is formed at the butted portion of the ferrite blocks. In the manufacturing method, at least two grooves parallel to each other and defining a track width are formed in at least a magnetic gap forming region of an abutting surface of at least one of the two ferrite blocks with respect to the other ferrite block. a first step of forming the magnetic gap in a direction perpendicular to the magnetic gap; and applying a predetermined non-magnetic material to the abutting surfaces of the ferrite blocks in which the track width defining groove is formed, thereby forming a magnetic gap in the track width defining groove. a second step of embedding the non-magnetic material in the ferrite block; and a third step of removing unnecessary portions of the non-magnetic material applied to the abutting surfaces of the ferrite blocks to expose the track portions sandwiched between the track width defining grooves. and after forming a predetermined resist film on the abutting surfaces of the ferrite blocks so that a part of the track portion is exposed as at least one exposed portion extending in the forming direction of the track width defining groove with a predetermined width. a fourth step of etching the track portion through the exposed portion to form an uneven surface; a fifth step of depositing a predetermined metal magnetic material on the etched abutment surface of the ferrite block; A predetermined thickness portion of the abutting surface of the ferrite block to which the metal magnetic material is adhered is removed, and the adhesion layer of the metal magnetic material formed on the uneven surface of the track portion is left at a predetermined thickness. a sixth step of exposing the non-magnetic material buried in the track width defining groove; and prior to or after the sixth step, the abutting surface of at least one of the first and second ferrite blocks; a seventh step of forming a groove for coil winding; and at least a magnetic gap forming region of the abutting surface of at least one of the first and second ferrite blocks after the first to seventh steps have been completed; An eighth step of forming a non-magnetic layer with a predetermined thickness; and the first and second ferrite blocks that have completed the eighth step, with their magnetic gap forming portions on the abutting surfaces facing each other and joined to each other to be integrated. a ninth step; and a tenth step of cutting the joined and integrated first and second ferrite block combination at a predetermined position to obtain at least one composite magnetic head core. A method for manufacturing a core for a composite magnetic head characterized by:
(2)前記第四工程において、前記露出部が、複数にお
いて、前記トラック部上に所定間隔を隔てて形成され、
それら複数の露出部を介して該トラック部がエッチング
されることにより、該トラック部の幅方向において波形
の一部を構成する湾曲乃至は屈曲面が形成される特許請
求の範囲第1項記載の製造法。
(2) in the fourth step, a plurality of the exposed portions are formed on the track portion at predetermined intervals;
Claim 1, wherein the track portion is etched through the plurality of exposed portions, thereby forming a curved or bent surface that forms part of a waveform in the width direction of the track portion. Manufacturing method.
(3)前記第五工程に先立って、前記フェライトブロッ
クの突合せ面の少なくとも露呈されたトラック部の表面
上に、該トラック部を構成するフェライトとその上に被
着される前記金属磁性材とを密着させるガラス層が形成
される特許請求の範囲第1項または第2項記載の製造法
(3) Prior to the fifth step, the ferrite constituting the track portion and the metal magnetic material deposited thereon are coated on at least the surface of the exposed track portion of the abutting surface of the ferrite block. The manufacturing method according to claim 1 or 2, wherein a glass layer that is brought into close contact is formed.
JP14274987A 1987-06-08 1987-06-08 Manufacturing method of core for composite type magnetic head Expired - Lifetime JPH0622044B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14274987A JPH0622044B2 (en) 1987-06-08 1987-06-08 Manufacturing method of core for composite type magnetic head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14274987A JPH0622044B2 (en) 1987-06-08 1987-06-08 Manufacturing method of core for composite type magnetic head

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63306505A true JPS63306505A (en) 1988-12-14
JPH0622044B2 JPH0622044B2 (en) 1994-03-23

Family

ID=15322687

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14274987A Expired - Lifetime JPH0622044B2 (en) 1987-06-08 1987-06-08 Manufacturing method of core for composite type magnetic head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0622044B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0628620A (en) * 1992-03-07 1994-02-04 Ngk Insulators Ltd Production of core for magnetic head

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0628620A (en) * 1992-03-07 1994-02-04 Ngk Insulators Ltd Production of core for magnetic head

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0622044B2 (en) 1994-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0542726B2 (en)
JPH0477370B2 (en)
KR920006124B1 (en) Magnetic head having an integrated recording and playback head and an erasure head
JPS61129716A (en) Magnetic head
JPS6134707A (en) magnetic head
WO1983003918A1 (en) Magnetic head having highly saturable gap liner
JPS63306505A (en) Production of composite type magnetic head core
JPS60231903A (en) Composite type magnetic head and its production
JPH03120604A (en) Production of core for composite magnetic head
JPS6214313A (en) Magnetic head
JPH01237919A (en) Manufacture of core for composite magnetic head
JPS613309A (en) Magnetic head
JPH0622046B2 (en) Manufacturing method of core for composite type magnetic head
JPS59203210A (en) Magnetic core and its production
JPS61280009A (en) Magnetic head
JPH02139705A (en) Production of magnetic head
JPH0648529B2 (en) Magnetic head
JPH0276111A (en) thin film magnetic head
JPH05282619A (en) Magnetic head
JPH0585962B2 (en)
JPH0673165B2 (en) Method of manufacturing magnetic head
JPS63164010A (en) Manufacture of magnetic head
JPH0622045B2 (en) Manufacturing method of core for composite type magnetic head
JPS59101021A (en) Production of magnetic head
JPS63288407A (en) Production of magnetic head