JPS63300419A - 軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用回転磁界中熱処理炉 - Google Patents
軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用回転磁界中熱処理炉Info
- Publication number
- JPS63300419A JPS63300419A JP13334887A JP13334887A JPS63300419A JP S63300419 A JPS63300419 A JP S63300419A JP 13334887 A JP13334887 A JP 13334887A JP 13334887 A JP13334887 A JP 13334887A JP S63300419 A JPS63300419 A JP S63300419A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- magnetic
- heat treatment
- rotating
- furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、軟磁性非晶質材料を用いた磁気ヘッドｉＩ造
において使用する回転磁界中熱処理炉に関するものであ
る。
において使用する回転磁界中熱処理炉に関するものであ
る。
（従来の技術）
従来の量産用磁気へラドコア剛軟磁性非晶質材料として
は飽和磁束密度（ＢＳ）が大きく、初透磁率の高いこと
等の磁気特性上の要求と、非晶質の結晶化温度（Ｔｘ）
に対する制約とから、軟磁性非晶質材料のキュリ一温度
（Ｔｃ）およびＴｘとの間にＴｃ（Ｔｘの関係のものを
選び、ＴｃまたはＴｃとＴｘの間の温度において、無磁
界中の熱処理を行うことが多かった。しかし、特に高密
度記録をゎらいとした高品位ＶＴＲ等において、従来の
金属粉末テープ等の磁気記録媒体に十分に対応させるた
め磁気へラドコア剛軟磁性非晶質材料として、より高い
飽和磁束密度（ＢＳＺｌｏｏｏｏＧａｕｓｓ）が要求さ
れ、これが同時にＴｃの高温度化につながることがら、
上記の関係に対してＴｃ＞Ｔｘの関係になることが通常
となった。
は飽和磁束密度（ＢＳ）が大きく、初透磁率の高いこと
等の磁気特性上の要求と、非晶質の結晶化温度（Ｔｘ）
に対する制約とから、軟磁性非晶質材料のキュリ一温度
（Ｔｃ）およびＴｘとの間にＴｃ（Ｔｘの関係のものを
選び、ＴｃまたはＴｃとＴｘの間の温度において、無磁
界中の熱処理を行うことが多かった。しかし、特に高密
度記録をゎらいとした高品位ＶＴＲ等において、従来の
金属粉末テープ等の磁気記録媒体に十分に対応させるた
め磁気へラドコア剛軟磁性非晶質材料として、より高い
飽和磁束密度（ＢＳＺｌｏｏｏｏＧａｕｓｓ）が要求さ
れ、これが同時にＴｃの高温度化につながることがら、
上記の関係に対してＴｃ＞Ｔｘの関係になることが通常
となった。
このような関係にある非晶質材料においては、従来のよ
うに熱処理にＴｃ以上へ昇温し、非晶質材料作製時の磁
気異方性を軽減することは、材料の結晶化のため不可能
である。このため、これにかかわってＴｘ以下の温度に
おいて、材料が強磁性状態のまま回転磁界中における熱
処理が必要であることが知られているや （発明が解決しようとする問題点） 」１記、軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用の回
転磁界中熱処理炉として要求される課題としては以下の
点が考えられる。
うに熱処理にＴｃ以上へ昇温し、非晶質材料作製時の磁
気異方性を軽減することは、材料の結晶化のため不可能
である。このため、これにかかわってＴｘ以下の温度に
おいて、材料が強磁性状態のまま回転磁界中における熱
処理が必要であることが知られているや （発明が解決しようとする問題点） 」１記、軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用の回
転磁界中熱処理炉として要求される課題としては以下の
点が考えられる。
（ｉ） 磁気ヘッド作製中の加圧治具、ギャップ形成
用治具等の種々の治具および、ヘッドコア接着用等に用
いるモールドガラス片（棒）とともに、炉内へヘッド素
材を入れるための比較的大きな炉用スペースを必要とし
、太い炉心、すなわち長い磁極間距離を必要とする。し
かも長い磁極間距離をもちながら、その間において有効
な磁界強度を必要とする。
用治具等の種々の治具および、ヘッドコア接着用等に用
いるモールドガラス片（棒）とともに、炉内へヘッド素
材を入れるための比較的大きな炉用スペースを必要とし
、太い炉心、すなわち長い磁極間距離を必要とする。し
かも長い磁極間距離をもちながら、その間において有効
な磁界強度を必要とする。
（ｉｔ） 上記の状況から固定磁界中で試料および治
具等を回転させることは国運であるため、逆にこれ等を
固定し、外部磁界を回転させることが必要である。
具等を回転させることは国運であるため、逆にこれ等を
固定し、外部磁界を回転させることが必要である。
（団）一度の熱処理あたりの磁気ヘッド作製の効率をあ
げるため、炉内の広い範囲において、有効磁界強度を保
てる構造であること。
げるため、炉内の広い範囲において、有効磁界強度を保
てる構造であること。
本発明の目的は、従来の欠点を解消し、上記要求に対処
するため、十分な外部磁界を用いながら治具等を含めた
広い炉心中にわたって有効な回転磁界中の熱処理を行う
ことが可能な磁気ヘッド製造用回転磁界中熱処理炉を提
供することである。
するため、十分な外部磁界を用いながら治具等を含めた
広い炉心中にわたって有効な回転磁界中の熱処理を行う
ことが可能な磁気ヘッド製造用回転磁界中熱処理炉を提
供することである。
（問題点を解決するための手段）
本発明の軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用回転
磁界中熱処理炉は、永久磁石を外部磁界源として用いた
回転磁界中熱処理炉で、対向する磁極を結ぶヨークが電
気炉炉心をとりかこむシリンダ形状を有し、そのシリン
ダ状ヨーク内壁に、永久磁石による２つの磁極を有し、
これをシリンダ状ヨークごとに回転させることによって
炉内に回転した外部磁界を発生させるものであり、さら
に軟磁性非晶質材料が、スパッタリング蒸着法によるＣ
ｏ基メタル−メタル系非晶質膜であるものである。
磁界中熱処理炉は、永久磁石を外部磁界源として用いた
回転磁界中熱処理炉で、対向する磁極を結ぶヨークが電
気炉炉心をとりかこむシリンダ形状を有し、そのシリン
ダ状ヨーク内壁に、永久磁石による２つの磁極を有し、
これをシリンダ状ヨークごとに回転させることによって
炉内に回転した外部磁界を発生させるものであり、さら
に軟磁性非晶質材料が、スパッタリング蒸着法によるＣ
ｏ基メタル−メタル系非晶質膜であるものである。
（作 用）
本発明によれば、高密度記録用ＶＴＲ磁気ヘッド等の高
飽和磁束密度の軟磁性非晶質材料を用いた磁気ヘッドの
作製において、十分な外部磁界を用いながら、治具等を
含めた広い炉心中にわたって有効な回転磁界中の熱処理
を行うことが可能となった。
飽和磁束密度の軟磁性非晶質材料を用いた磁気ヘッドの
作製において、十分な外部磁界を用いながら、治具等を
含めた広い炉心中にわたって有効な回転磁界中の熱処理
を行うことが可能となった。
（実施例）
本発明の一実施例を第１図ないし第３図に基づいて説明
する。
する。
第１１４（ａ）は本発明のシリンダ型ヨークをもった回
転磁界中熱処理炉の概略図である。同図において、ｌは
軟鉄を用いたシリンダ型ヨーク、２は永久磁石、３はモ
ータの回転をヨークに伝えるベルト、４は回転シリンダ
を支えるボールベアリングであり、５は炉心である。
転磁界中熱処理炉の概略図である。同図において、ｌは
軟鉄を用いたシリンダ型ヨーク、２は永久磁石、３はモ
ータの回転をヨークに伝えるベルト、４は回転シリンダ
を支えるボールベアリングであり、５は炉心である。
回転機構の伝達はベルト３に限らず、各種の回転動力伝
達法を用いることができる。また必要に応じて真空フラ
ンジ６に油回転ポンプ７および拡散ポンプ８を結びつけ
る使用法もでき、またガス導入口９を用いたガスは換系
の接続等で、通常の電気炉のような使い方も可能である
。１０は回転動力としてのモータである。
達法を用いることができる。また必要に応じて真空フラ
ンジ６に油回転ポンプ７および拡散ポンプ８を結びつけ
る使用法もでき、またガス導入口９を用いたガスは換系
の接続等で、通常の電気炉のような使い方も可能である
。１０は回転動力としてのモータである。
第１図で示した回転磁界電気炉によって、永久磁石の体
積等をかえることで、炉心の中央磁界ｆｌａｘ ＝ １
００−Ｉ ＫＯｅが容易に発生させることができ、また
この磁界を炉心内で随意な速度で回転または固定する二
とができ、軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッドの作製が
治具等を用いながら行うことも可能である。
積等をかえることで、炉心の中央磁界ｆｌａｘ ＝ １
００−Ｉ ＫＯｅが容易に発生させることができ、また
この磁界を炉心内で随意な速度で回転または固定する二
とができ、軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッドの作製が
治具等を用いながら行うことも可能である。
第１図（ｂ）には、本発明の炉心でＣｏ −Ｔａ −Ｈ
ｆ系非晶質スパッタリング蒸着膜をセラミックス基板上
に作製したもの（厚さ３０〜４０−）を、複数枚加圧治
具中でガラス接着の工法を用い４８０℃、最大４０００
ｅの回転外部磁界中で行ったのち、上記非晶質の初透磁
率μｍ（測定磁界＝ １ ｍｏｅ）の周波数特性を示し
た。（最大１００Ｍ七） 蒸着直後では、μ１（１００であったものが、本発明の
回転磁界中の熱処理炉によってμ１（３５００ないし４
０００へ回復し、この炉が、軟磁性非晶質材料の特性改
善に対して模めて効果的であることが確認できた。
ｆ系非晶質スパッタリング蒸着膜をセラミックス基板上
に作製したもの（厚さ３０〜４０−）を、複数枚加圧治
具中でガラス接着の工法を用い４８０℃、最大４０００
ｅの回転外部磁界中で行ったのち、上記非晶質の初透磁
率μｍ（測定磁界＝ １ ｍｏｅ）の周波数特性を示し
た。（最大１００Ｍ七） 蒸着直後では、μ１（１００であったものが、本発明の
回転磁界中の熱処理炉によってμ１（３５００ないし４
０００へ回復し、この炉が、軟磁性非晶質材料の特性改
善に対して模めて効果的であることが確認できた。
永久磁石を用いた回転磁界中、熱処理において、一対の
磁極によって磁界を得る場合、両磁極を結びつけるヨー
クは、たとえば第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）。
磁極によって磁界を得る場合、両磁極を結びつけるヨー
クは、たとえば第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）。
（ｄ）に示すものが考えられる。
（ａ）では、炉心内へ、磁界を発生させる磁界強度とし
て最も磁界が小さく、効率が悪く、（ｂ）、（ｃ）のよ
うに炉心軸に垂直方向に磁路が閉じる方が炉心での磁界
発生に対して効率が良いが、（ｂ）および（ｄ）ではヨ
ーク自身を回転させるための機構を持たせる点において
、不十分である。（ｄ）の場合のようにヨーク自身をシ
リンダ状にするのが、磁界発生の効率およびヨーク全体
の回転を考慮した場合共に適している。
て最も磁界が小さく、効率が悪く、（ｂ）、（ｃ）のよ
うに炉心軸に垂直方向に磁路が閉じる方が炉心での磁界
発生に対して効率が良いが、（ｂ）および（ｄ）ではヨ
ーク自身を回転させるための機構を持たせる点において
、不十分である。（ｄ）の場合のようにヨーク自身をシ
リンダ状にするのが、磁界発生の効率およびヨーク全体
の回転を考慮した場合共に適している。
例として、同一磁石形状、材料を用いたときの（ａ）お
よび（ｄ）の各ヨークの使用時の磁界強度（磁極間の中
央部）の最大磁界強度および分布の概要を第３図に示す
。ここで磁石は４０＝ Ｘ １５” Ｘ ５００Ｌの形
状の希土類Ｃｏ磁石を用い、磁極量比ｌＷ＝ １７０ｍ
＋ｍとした場合を示す、またシリンダ型ヨークおよびコ
の字型ヨークの形状、寸法は第３図に示しである。
よび（ｄ）の各ヨークの使用時の磁界強度（磁極間の中
央部）の最大磁界強度および分布の概要を第３図に示す
。ここで磁石は４０＝ Ｘ １５” Ｘ ５００Ｌの形
状の希土類Ｃｏ磁石を用い、磁極量比ｌＷ＝ １７０ｍ
＋ｍとした場合を示す、またシリンダ型ヨークおよびコ
の字型ヨークの形状、寸法は第３図に示しである。
（発明の効果）
本発明によれば、高密度記録用ＶＴＲ磁気ヘッド等の高
飽和磁束密度の軟磁性非晶質材料を用いた磁気ヘッドの
作製において、十分な外部磁界を用いながら、治具等を
含めた広い炉心中にわたって、有効な回転磁界中の熱処
理を行うことが可能となり、その実用上の効果は極めて
大である。
飽和磁束密度の軟磁性非晶質材料を用いた磁気ヘッドの
作製において、十分な外部磁界を用いながら、治具等を
含めた広い炉心中にわたって、有効な回転磁界中の熱処
理を行うことが可能となり、その実用上の効果は極めて
大である。
第１図は本発明の一実施例における回転磁界中熱処理炉
の概略図、第２図は同永久磁石を用いた回転磁界炉にお
いて、種々の磁極対の炉心に対する組合せ関係図、第３
図は第２図（ａ）および（ｄ）の場合における磁界強度
分布の比較を行った磁界分布図である。 １ ・・・シリンダ型ヨーク、 ２ ・・・永久磁石、
３・・・ベルト、 ４・・・ボールベアリング、 ５
・・・炉心、 ６・・・真空フランジ、 ７ ・・・油
回転ポンプ、 ８ ・・・拡散ポンプ、 ９ ・・・ガ
ス導入口、１０・・・モータ。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 （ｂ） ＦＲＥＯＵＥＮＣＹ （ＭＨｚ ） 第２図 （４１１面図）
の概略図、第２図は同永久磁石を用いた回転磁界炉にお
いて、種々の磁極対の炉心に対する組合せ関係図、第３
図は第２図（ａ）および（ｄ）の場合における磁界強度
分布の比較を行った磁界分布図である。 １ ・・・シリンダ型ヨーク、 ２ ・・・永久磁石、
３・・・ベルト、 ４・・・ボールベアリング、 ５
・・・炉心、 ６・・・真空フランジ、 ７ ・・・油
回転ポンプ、 ８ ・・・拡散ポンプ、 ９ ・・・ガ
ス導入口、１０・・・モータ。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 （ｂ） ＦＲＥＯＵＥＮＣＹ （ＭＨｚ ） 第２図 （４１１面図）
Claims (2)
- （１）永久磁石を外部磁界源として用いた回転磁界中熱
処理炉で、対向する磁極を結ぶヨークが電気炉炉心をと
りかこむシリンダ形状を有し、前記シリンダ状ヨーク内
壁に、前記永久磁石による２つの磁極を有し、前記磁極
をシリンダ状ヨークごとに回転させる機構によって、炉
内に回転した外部磁界を発生させることを特徴とする軟
磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用回転磁界中熱処
理炉。 - （２）軟磁性非晶質材料が、スパッタリング蒸着法によ
るＣｏ基メタル−メタル系非晶質膜であることを特徴と
する特許請求の範囲第（１）項記載の軟磁性非晶質材料
を含む磁気ヘッド製造用回転磁界中熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13334887A JPS63300419A (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | 軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用回転磁界中熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13334887A JPS63300419A (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | 軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用回転磁界中熱処理炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63300419A true JPS63300419A (ja) | 1988-12-07 |
Family
ID=15102620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13334887A Pending JPS63300419A (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | 軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用回転磁界中熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63300419A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6833107B2 (en) * | 2001-04-17 | 2004-12-21 | Hitachi Metals, Ltd. | Heat-treating furnace with magnetic field and heat treatment method using same |
| US8158055B2 (en) * | 2004-12-22 | 2012-04-17 | Kenzo Takahashi | Melting furnace with agitator |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59170248A (ja) * | 1983-03-18 | 1984-09-26 | Hitachi Ltd | 非晶質合金の熱処理方法 |
| JPS60177610A (ja) * | 1984-02-23 | 1985-09-11 | Anelva Corp | 軟磁性薄膜の真空熱処理装置 |
-
1987
- 1987-05-30 JP JP13334887A patent/JPS63300419A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59170248A (ja) * | 1983-03-18 | 1984-09-26 | Hitachi Ltd | 非晶質合金の熱処理方法 |
| JPS60177610A (ja) * | 1984-02-23 | 1985-09-11 | Anelva Corp | 軟磁性薄膜の真空熱処理装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6833107B2 (en) * | 2001-04-17 | 2004-12-21 | Hitachi Metals, Ltd. | Heat-treating furnace with magnetic field and heat treatment method using same |
| US8158055B2 (en) * | 2004-12-22 | 2012-04-17 | Kenzo Takahashi | Melting furnace with agitator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08331784A (ja) | 永久磁石界磁方式回転機 | |
| JPS63300419A (ja) | 軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用回転磁界中熱処理炉 | |
| JP2911687B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2575097B2 (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH01119905A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS5948822A (ja) | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH0246513A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2529313B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS62209702A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS60125933A (ja) | 磁性媒体の製法 | |
| JPS59116918A (ja) | 磁気ヘツドおよび磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH0345443B2 (ja) | ||
| JPS6039136A (ja) | 径方向異方性円筒状永久磁石の製造方法 | |
| JPS5938917A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS6378342A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH01307906A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS5897122A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH04102206A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH07121814A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS59171017A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH02148806A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH03225606A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS59136910A (ja) | ラジアル異方性磁石の製造方法 | |
| JPS63308714A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS62267909A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 |