JPS6318758U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6318758U JPS6318758U JP11069586U JP11069586U JPS6318758U JP S6318758 U JPS6318758 U JP S6318758U JP 11069586 U JP11069586 U JP 11069586U JP 11069586 U JP11069586 U JP 11069586U JP S6318758 U JPS6318758 U JP S6318758U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- signal
- caused
- disturbance
- vibrations
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本案の補正装置と電子装置の結線図で
ある。 ２……交流磁場検出部（交流波形を検出する）
、３……補正回路（交流波形の位相反転及び出力
調整を行なう）、４……電子線水平軸調整回路、
５ａ，５ｂ……電子線水平軸調整コイル。
ある。 ２……交流磁場検出部（交流波形を検出する）
、３……補正回路（交流波形の位相反転及び出力
調整を行なう）、４……電子線水平軸調整回路、
５ａ，５ｂ……電子線水平軸調整コイル。
Claims (1)
- 電子線を集束するレンズ系を有する装置におい
て、漏洩磁場による外乱信号を検出し、その信号
を位相反転し、鏡体内に組み込まれた電子線水平
軸調整コイルに流れる直流電流に加算することに
より、外乱による電子線の水平方向の振動と逆方
向に振動を与えて電子線プローブの試料面上照射
位置での変動を抑えることを特徴とする電子線装
置用外乱補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11069586U JPS6318758U (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11069586U JPS6318758U (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6318758U true JPS6318758U (ja) | 1988-02-06 |
Family
ID=30989937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11069586U Pending JPS6318758U (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6318758U (ja) |
-
1986
- 1986-07-21 JP JP11069586U patent/JPS6318758U/ja active Pending
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