JPS63171874A - フラツシユ蒸着蒸発源 - Google Patents
フラツシユ蒸着蒸発源Info
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- JPS63171874A JPS63171874A JP271187A JP271187A JPS63171874A JP S63171874 A JPS63171874 A JP S63171874A JP 271187 A JP271187 A JP 271187A JP 271187 A JP271187 A JP 271187A JP S63171874 A JPS63171874 A JP S63171874A
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- JP
- Japan
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- evaporation source
- gap
- vapor deposition
- flash evaporation
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- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば普通紙複写機やプリンタ等に使用され
る電子写真用感光体を製造するための真空蒸着に用いる
フラッシュ蒸着蒸発源に関する。
る電子写真用感光体を製造するための真空蒸着に用いる
フラッシュ蒸着蒸発源に関する。
プリンタ等に用いられている電子写真用感光体の表面欠
陥は、普通紙複写機に用いられている感光体より厳しく
規制され、その許容限界は、径約２■から径０．４■ま
で小さくなっている。また、プリンタ等に用いられる感
光体は半導体レーザに対応した約８０Ｏｎ−の波長の分
光感度を有するようにするため、感光体の電荷発生層（
ＣＧＬ）のテルル（Ｔｏ）濃度は約４０〜５０重量％と
高テルル濃度になっている。従って蒸着は高テルル濃度
のばらつきを抑制するために通常、フラソシェ蒸着を用
いている。
陥は、普通紙複写機に用いられている感光体より厳しく
規制され、その許容限界は、径約２■から径０．４■ま
で小さくなっている。また、プリンタ等に用いられる感
光体は半導体レーザに対応した約８０Ｏｎ−の波長の分
光感度を有するようにするため、感光体の電荷発生層（
ＣＧＬ）のテルル（Ｔｏ）濃度は約４０〜５０重量％と
高テルル濃度になっている。従って蒸着は高テルル濃度
のばらつきを抑制するために通常、フラソシェ蒸着を用
いている。
（発明が解決しようとする問題点〕
フラッシュ蒸着の蒸着方法は、蒸発源を先に所定の温度
まで上昇させ、その後蒸着材料を蒸発源に落下させて蒸
発させる方法である。しかし、その際突沸が起こり、供
給された材料が粒子状になってそのまま基板へ到達する
ことがあった。このため、電子写真用感光体の表面欠陥
が増加し、プリンタの印字品質が悪化していた。また、
良品率が低いため、コスト高となっていた。
まで上昇させ、その後蒸着材料を蒸発源に落下させて蒸
発させる方法である。しかし、その際突沸が起こり、供
給された材料が粒子状になってそのまま基板へ到達する
ことがあった。このため、電子写真用感光体の表面欠陥
が増加し、プリンタの印字品質が悪化していた。また、
良品率が低いため、コスト高となっていた。
本発明の目的は、上述の問題を解決し、突沸による粒子
状の材料の被蒸着物への到達によって生ずる蒸着膜の欠
陥を防止し、、特に電子写真用感光体の製造の場合に使
用して得られた感光体の電気的特性、印字品質を向上さ
せることのできるフラッシェ蒸着蒸発源を提供すること
にある。
状の材料の被蒸着物への到達によって生ずる蒸着膜の欠
陥を防止し、、特に電子写真用感光体の製造の場合に使
用して得られた感光体の電気的特性、印字品質を向上さ
せることのできるフラッシェ蒸着蒸発源を提供すること
にある。
上述の目的を達成するために、本発明のフラッシュ蒸発
源は、上部に対向する側壁からそれぞれ下方に向かって
突出し、下端に空隙をはさむ２枚の傾斜案内板、下部に
蒸着材料加熱部および前記空隙と加熱部の中間に中央で
当接して屋根状をなす２枚の傾斜シールド板をそれぞれ
備えたものとする。
源は、上部に対向する側壁からそれぞれ下方に向かって
突出し、下端に空隙をはさむ２枚の傾斜案内板、下部に
蒸着材料加熱部および前記空隙と加熱部の中間に中央で
当接して屋根状をなす２枚の傾斜シールド板をそれぞれ
備えたものとする。
案内板と加熱部の間に位置するシールド板のために、蒸
発源上部から供給され、案内板を滑って加熱部に達した
蒸着材料が、加熱されて蒸発する場合、突沸により飛び
出す粒子状固体がシールド板の下面に当たって加熱部に
戻り、正常な蒸気のみがシールド板と案内板の間隙を通
って上昇し、被蒸着物に到達するので、蒸着膜の欠陥が
生ずることがない。
発源上部から供給され、案内板を滑って加熱部に達した
蒸着材料が、加熱されて蒸発する場合、突沸により飛び
出す粒子状固体がシールド板の下面に当たって加熱部に
戻り、正常な蒸気のみがシールド板と案内板の間隙を通
って上昇し、被蒸着物に到達するので、蒸着膜の欠陥が
生ずることがない。
第１図は本発明の一実施例を示し、ｌａ）は平面図。
伽）は側面図、（Ｃ）は横断面図である。また、第２図
はそれを斜視図で示す、この蒸発源は外部に絶縁体３で
絶縁された底板１と側板２を備え、底板１゜側板２はス
テンレス鋼よりなり、底板１は取付は孔１１．側板２は
取付は孔２１に取り付けられる図示しない電極を用いて
の通電によりそれぞれ発熱する０両側板２の上端には下
方に向かって傾斜する案内板４の上端が結合されている
０両案内板４の存在する。シールド板６は２枚で上端が
結合されて屋根状をなしている。
はそれを斜視図で示す、この蒸発源は外部に絶縁体３で
絶縁された底板１と側板２を備え、底板１゜側板２はス
テンレス鋼よりなり、底板１は取付は孔１１．側板２は
取付は孔２１に取り付けられる図示しない電極を用いて
の通電によりそれぞれ発熱する０両側板２の上端には下
方に向かって傾斜する案内板４の上端が結合されている
０両案内板４の存在する。シールド板６は２枚で上端が
結合されて屋根状をなしている。
このような蒸発源に、上方のベルトのような材料搬送装
置から蒸着材料が供給されると、蒸着材料は案内板４の
上を滑り、さらに空隙５からシールド板６の上面を滑っ
て底板１上に達する。底板ｌおよび側板２は、例えば直
流９ｖの電圧印加により１３０Ａの電流を通電すること
により発熱しているので、蒸着材料は蒸発するが、この
際突沸が生じて材料が大きな固体粒子として飛び出して
もシールド板６に阻止され、空隙５を通って上方に配置
される電子写真用感光体のような被蒸着物に達すること
はない、そして、蒸着材料の蒸気のみがシールド板６と
案内！ｊ４の間隙から両案内板間の空隙５を通っＴ被蒸
着物に達する。
置から蒸着材料が供給されると、蒸着材料は案内板４の
上を滑り、さらに空隙５からシールド板６の上面を滑っ
て底板１上に達する。底板ｌおよび側板２は、例えば直
流９ｖの電圧印加により１３０Ａの電流を通電すること
により発熱しているので、蒸着材料は蒸発するが、この
際突沸が生じて材料が大きな固体粒子として飛び出して
もシールド板６に阻止され、空隙５を通って上方に配置
される電子写真用感光体のような被蒸着物に達すること
はない、そして、蒸着材料の蒸気のみがシールド板６と
案内！ｊ４の間隙から両案内板間の空隙５を通っＴ被蒸
着物に達する。
第１．第２図に示す蒸発源と第３図に示す従来の蒸発源
、すなわち、底板１の上に案内板４のみを備えた蒸発源
とを用いて、それぞれ２０本の感光体を製作した。感光
層は多層構成で、基体上のＣＴＬ（ｉｔ荷輸送層）とし
て純セレン（Ｓｓ）を約５０−の厚さに、その上のＨＩ
Ｌ （正孔注入層）として２５％Ｔｅ−Ｓｓ合金を約
０．３ ｎの厚さに、ＣＧＬとして４４％Ｔｏ−３ｅ合
金を約０．１−の厚さに、モしてＯＣＬ （表面保護
層）として５．５％Ｔｏ −Ｓｅ合金を約２ｎの厚さに
それぞれ蒸着した。蒸着条件は、基体支持軸の温度４５
℃、１１着槽内圧力１Ｇ−’Ｔｏｒｒ蒸発源上部温度２
５０℃、Ｎ発源下部温度３５０℃とした。得られた感光
体の印字評価をした結果、実施例では２０本中、１本の
み黒点不良があうたのみで１９本良品であったのに対し
、比較例では２０本中、黒点不良が９本、白抜は不良が
２本あり、良品は９本のみであって、本発明によるフラ
ッシュ蒸着蒸発源が明らかにすぐれており、特に黒点不
良発生の防止に効果があることがわかった。
、すなわち、底板１の上に案内板４のみを備えた蒸発源
とを用いて、それぞれ２０本の感光体を製作した。感光
層は多層構成で、基体上のＣＴＬ（ｉｔ荷輸送層）とし
て純セレン（Ｓｓ）を約５０−の厚さに、その上のＨＩ
Ｌ （正孔注入層）として２５％Ｔｅ−Ｓｓ合金を約
０．３ ｎの厚さに、ＣＧＬとして４４％Ｔｏ−３ｅ合
金を約０．１−の厚さに、モしてＯＣＬ （表面保護
層）として５．５％Ｔｏ −Ｓｅ合金を約２ｎの厚さに
それぞれ蒸着した。蒸着条件は、基体支持軸の温度４５
℃、１１着槽内圧力１Ｇ−’Ｔｏｒｒ蒸発源上部温度２
５０℃、Ｎ発源下部温度３５０℃とした。得られた感光
体の印字評価をした結果、実施例では２０本中、１本の
み黒点不良があうたのみで１９本良品であったのに対し
、比較例では２０本中、黒点不良が９本、白抜は不良が
２本あり、良品は９本のみであって、本発明によるフラ
ッシュ蒸着蒸発源が明らかにすぐれており、特に黒点不
良発生の防止に効果があることがわかった。
本発明によれば、蒸発源の底部加熱部と上部案内板の間
に屋根状のシールド板を設けることにより、突沸による
固体粒子を阻止し、蒸着膜の欠陥発生を防ぐことができ
るので、特に印字欠陥の少ない品質良好な電子写真プリ
ンタ用感光体の製造に極めて育効に使用できる。
に屋根状のシールド板を設けることにより、突沸による
固体粒子を阻止し、蒸着膜の欠陥発生を防ぐことができ
るので、特に印字欠陥の少ない品質良好な電子写真プリ
ンタ用感光体の製造に極めて育効に使用できる。
第１図は本発明の一実施例を示し、（ａ）が平面図。
（ｂ）が側面図、（Ｃ）が横断面図、第２図は第１図の
蒸発源の斜視図、第３図は従来の蒸発源を示し、＋ａｌ
が平面図、（ｂ）が側面図、 （Ｃ）が横断面図である
。 １：底板、２：側板、１１．２１：＠極取付は孔、４：
′ｘ案内板６：シールド板。 （ａ） （ｂ） （Ｃ） 第３図
蒸発源の斜視図、第３図は従来の蒸発源を示し、＋ａｌ
が平面図、（ｂ）が側面図、 （Ｃ）が横断面図である
。 １：底板、２：側板、１１．２１：＠極取付は孔、４：
′ｘ案内板６：シールド板。 （ａ） （ｂ） （Ｃ） 第３図
Claims (1)
- １）上部に対向する側壁からそれぞれ下方に向かって突
出し、下端に空隙をはさむ２枚の傾斜案内板、下部に蒸
着材料加熱部および前記空隙と該加熱部の中間に中央で
当接して屋根状をなす２枚の傾斜シールド板をそれぞれ
備えたことを特徴とするフラッシュ蒸着蒸発源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP271187A JPS63171874A (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 | フラツシユ蒸着蒸発源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP271187A JPS63171874A (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 | フラツシユ蒸着蒸発源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63171874A true JPS63171874A (ja) | 1988-07-15 |
| JPH0545671B2 JPH0545671B2 (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=11536884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP271187A Granted JPS63171874A (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 | フラツシユ蒸着蒸発源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63171874A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009084663A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-23 | Ulvac Japan Ltd | 蒸気発生装置、蒸着源、蒸着装置、蒸気発生方法 |
-
1987
- 1987-01-09 JP JP271187A patent/JPS63171874A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009084663A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-23 | Ulvac Japan Ltd | 蒸気発生装置、蒸着源、蒸着装置、蒸気発生方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0545671B2 (ja) | 1993-07-09 |
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