JPH01279749A - 電子写真用感光体製造装置 - Google Patents
電子写真用感光体製造装置Info
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- JPH01279749A JPH01279749A JP11069288A JP11069288A JPH01279749A JP H01279749 A JPH01279749 A JP H01279749A JP 11069288 A JP11069288 A JP 11069288A JP 11069288 A JP11069288 A JP 11069288A JP H01279749 A JPH01279749 A JP H01279749A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複写機、レーザープリンター、ファクシミリ
、ＬＥＩ）プリンタ等に用いられる電子写真用感光体製
造装置に関する。
、ＬＥＩ）プリンタ等に用いられる電子写真用感光体製
造装置に関する。
電子写真を応用した、レーザープリンター、ファクシミ
リ、ＬＥＤプリンタの感光体は、アルミニウム合金より
なる基板上にセレン、セレン−テルル、セレンーヒ素合
金、化合物、有機感光材料を蒸着しており、特にこれら
の感光体においては要求される特性を維持するためキャ
リア発生層、キャリア輸送層、保護層などの機能分離さ
れた層を真空蒸着で成膜している。これらの層を任意に
コントロールできる方法としてフラッシュ蒸着法がある
。フラッシュ蒸着法は任意材料を供給ベルトから落下さ
せ目的の組成を容易に蒸着することができる。例えば、
高濃度Ｓｅ −Ｔｅ、 Ｓｅ−Ｇｅ等の高融点材料も
ボートを高温に制御することで分留の少ない蒸着膜を得
ることができる。
リ、ＬＥＤプリンタの感光体は、アルミニウム合金より
なる基板上にセレン、セレン−テルル、セレンーヒ素合
金、化合物、有機感光材料を蒸着しており、特にこれら
の感光体においては要求される特性を維持するためキャ
リア発生層、キャリア輸送層、保護層などの機能分離さ
れた層を真空蒸着で成膜している。これらの層を任意に
コントロールできる方法としてフラッシュ蒸着法がある
。フラッシュ蒸着法は任意材料を供給ベルトから落下さ
せ目的の組成を容易に蒸着することができる。例えば、
高濃度Ｓｅ −Ｔｅ、 Ｓｅ−Ｇｅ等の高融点材料も
ボートを高温に制御することで分留の少ない蒸着膜を得
ることができる。
この方法は、予め加熱された蒸発源ボートに目的とする
層を成膜するためベルト上に並べた材料を順次落下させ
蒸着している。しかし、原料が急激に加熱されるため突
沸状態で蒸着される。また、落下しやすいよう材料のサ
イズを一定しており、このような細かい材料を蒸発させ
ていることから完全に溶けきらない材料が基板上に蒸着
される。
層を成膜するためベルト上に並べた材料を順次落下させ
蒸着している。しかし、原料が急激に加熱されるため突
沸状態で蒸着される。また、落下しやすいよう材料のサ
イズを一定しており、このような細かい材料を蒸発させ
ていることから完全に溶けきらない材料が基板上に蒸着
される。
いわゆる突起物の生成された電子写真用感光体となり、
この表面欠陥は感光体特性の重要な要素である、画像特
性９外観特性を低下させる欠点がある。
この表面欠陥は感光体特性の重要な要素である、画像特
性９外観特性を低下させる欠点がある。
このような欠点を防止する装置としてＭ形ボートがある
。しかしこのボートでも突沸を完全に防止できず、また
このボートはＭ形をしているため、落下する材料がボー
ト内で跳ねボート外に飛び出す材料があり特性バラツキ
の原因となる。また、・蒸発物質の蒸気が狭いため固定
軸のような蒸着装置では軸間のバラツキが大きくなる。
。しかしこのボートでも突沸を完全に防止できず、また
このボートはＭ形をしているため、落下する材料がボー
ト内で跳ねボート外に飛び出す材料があり特性バラツキ
の原因となる。また、・蒸発物質の蒸気が狭いため固定
軸のような蒸着装置では軸間のバラツキが大きくなる。
本発明は、上記の欠点を蒸発源のボート形状を変えるこ
とにより材料の突沸を防止し、材料のこぼれを少なくす
ることで特性バラツキを低減し、かつ蒸発物質の蒸気を
広くすることで軸間の特性バラツキを少なくできる形状
の蒸発源ボートを提供することを目的とする。
とにより材料の突沸を防止し、材料のこぼれを少なくす
ることで特性バラツキを低減し、かつ蒸発物質の蒸気を
広くすることで軸間の特性バラツキを少なくできる形状
の蒸発源ボートを提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕および〔作用〕本発明は
、蒸発源のボート形状をＷ形に変えることにより材料の
突沸を防止し材料のこぼれを少なくすることで特性バラ
ツキを低減し、かつ蒸発物質の蒸気を広くすることで軸
間の特性バラツキを少なくしようとするものである。
、蒸発源のボート形状をＷ形に変えることにより材料の
突沸を防止し材料のこぼれを少なくすることで特性バラ
ツキを低減し、かつ蒸発物質の蒸気を広くすることで軸
間の特性バラツキを少なくしようとするものである。
実施例１
第１図に本実施例を示す。感光体基板となる円筒形アル
ミ素管を、砥石またはバイトで加工した。
ミ素管を、砥石またはバイトで加工した。
面粗度−０，７μｍ、うねり−０，３５，３ｍ＝３０と
した。
した。
この後、トリクレン脱脂し、加熱（２００℃３６分）し
た。このように、前処理したアルミ素管（８０φ）を真
空蒸着炉の中に取り付け、２〜４ Ｘｌ０−’Ｔｏｒｒ
の真空中で順Ｓｅの電荷輸送層４８μｍを成膜した。
た。このように、前処理したアルミ素管（８０φ）を真
空蒸着炉の中に取り付け、２〜４ Ｘｌ０−’Ｔｏｒｒ
の真空中で順Ｓｅの電荷輸送層４８μｍを成膜した。
この後、基板温度を５４℃にしフラッシュ蒸着法で電荷
発生層０．１５μｍ、オーバーコート層を３９市蒸着し
た。使用ボートは開口幅２は３６ｍ＋ｅ、深さ３は２５
ｍｍ、厚み０．５ｍ＋ａ、中央突起部５を備えた全長２
０２０ｍｍのＷ形の直熱ボート１である。跳ね返り板４
による跳ね返り角度は垂直より４５°以内が望ましい。
発生層０．１５μｍ、オーバーコート層を３９市蒸着し
た。使用ボートは開口幅２は３６ｍ＋ｅ、深さ３は２５
ｍｍ、厚み０．５ｍ＋ａ、中央突起部５を備えた全長２
０２０ｍｍのＷ形の直熱ボート１である。跳ね返り板４
による跳ね返り角度は垂直より４５°以内が望ましい。
ボート温度は３７０℃一定である。ボートへのＲＵの供
給はベルトよりガイド板を介して落下させた。
給はベルトよりガイド板を介して落下させた。
比較例１
第２図に比較例１を示す。感光体基板処理、蒸着は実施
例と同様に行った。使用ボートは開口幅２７＋ｎｍ、深
さ２５市、厚み０．５止、全長２０２０化のＭ形の直熱
ボートである。ボート温度は３７０℃一定である。ボー
トへの材料の供給はベルトよりガイド板を介して落下さ
せた。
例と同様に行った。使用ボートは開口幅２７＋ｎｍ、深
さ２５市、厚み０．５止、全長２０２０化のＭ形の直熱
ボートである。ボート温度は３７０℃一定である。ボー
トへの材料の供給はベルトよりガイド板を介して落下さ
せた。
比較例２
第３図に比較例２を示す。感光体基板処理、蒸着は実施
例と同様に行った。使用ボートは開口幅４７ｍ、深さ２
８報、厚み０，５ｍｍ、 全長２０２Ｏ２０のＷ形の
直熱ボートである。ボート温度は３７０℃一定である。
例と同様に行った。使用ボートは開口幅４７ｍ、深さ２
８報、厚み０，５ｍｍ、 全長２０２Ｏ２０のＷ形の
直熱ボートである。ボート温度は３７０℃一定である。
ボートへの材料の供給はベルトよりガイド板を介して落
下させた。
下させた。
比較例３
第４図に比較例３を示す。感光体基板処理、蒸着は実施
例と同様に行った。使用ボートは開口幅３６ｍ層、深さ
３０市、厚み０．５鮒、全長２０２０順 のＷ形の間接
加熱ボート（遠赤外ヒータ４使用）である。
例と同様に行った。使用ボートは開口幅３６ｍ層、深さ
３０市、厚み０．５鮒、全長２０２０順 のＷ形の間接
加熱ボート（遠赤外ヒータ４使用）である。
ボート温度は３７０℃一定である。ボートへの材料の供
給はベルトよりガイド板を介して落下させた。
給はベルトよりガイド板を介して落下させた。
実験は有効蒸着幅１８００ｍｍ （２０ポイント）４軸
固定軸で行い、５バツチ実験とした。
固定軸で行い、５バツチ実験とした。
本発明によれば、第１図のように直接加熱するボートの
上部を折り曲げいわゆるＷ形にすることにより（突起部
と跳ね返り板を設けた）、材料の突沸を防止し、開口幅
を広くしたことで材料のこぼれを少なくでき特性バラツ
キを低減し、かつ蒸介物質の蒸気を広くすることができ
るので特に固定軸炉、ブラネタ炉の公転半径の大きいも
ので軸間の特性バラツキを少なくすることができる。
上部を折り曲げいわゆるＷ形にすることにより（突起部
と跳ね返り板を設けた）、材料の突沸を防止し、開口幅
を広くしたことで材料のこぼれを少なくでき特性バラツ
キを低減し、かつ蒸介物質の蒸気を広くすることができ
るので特に固定軸炉、ブラネタ炉の公転半径の大きいも
ので軸間の特性バラツキを少なくすることができる。
第１図は、本発明の一実施例に用いられる感光体製造装
置のボートの断面図、第２図は比較例１、第３図は比較
例２、第４図は比較例３のそれぞれの感光体製造装置の
ボートの断面図である。 １ ボート、２ 開口幅、３ 跳ね返り板。 第１図 第２図 第 ３ 図 第 ４ 図
置のボートの断面図、第２図は比較例１、第３図は比較
例２、第４図は比較例３のそれぞれの感光体製造装置の
ボートの断面図である。 １ ボート、２ 開口幅、３ 跳ね返り板。 第１図 第２図 第 ３ 図 第 ４ 図
Claims (1)
- １）電子写真用感光体のフラッシュ蒸着においてボート
形状を中央に突起部を備え、両端に跳ね返り板を設け、
底より開口幅を広くしたＷ型形状としたことを特徴とす
る電子写真用感光体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11069288A JPH01279749A (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | 電子写真用感光体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11069288A JPH01279749A (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | 電子写真用感光体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01279749A true JPH01279749A (ja) | 1989-11-10 |
Family
ID=14542033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11069288A Pending JPH01279749A (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | 電子写真用感光体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01279749A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009084663A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-23 | Ulvac Japan Ltd | 蒸気発生装置、蒸着源、蒸着装置、蒸気発生方法 |
| EP3470545A1 (en) * | 2017-10-10 | 2019-04-17 | 3M Innovative Properties Company | Evaporation boat for evaporation of metals |
-
1988
- 1988-05-07 JP JP11069288A patent/JPH01279749A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009084663A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-23 | Ulvac Japan Ltd | 蒸気発生装置、蒸着源、蒸着装置、蒸気発生方法 |
| EP3470545A1 (en) * | 2017-10-10 | 2019-04-17 | 3M Innovative Properties Company | Evaporation boat for evaporation of metals |
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