JPS63122919A - 流量を測定し流れ方向を検出する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、熱電形流れセンサと温度センサとを備える流
量測定装置と少なくとも１つの温度測定素子とを用いて
、既知の流体によシ実質的に決まった方向に流れる流体
の流量を測定し流れ方向を検出する装置に関する。

従来技術 内燃機関における燃料噴射制御は吸込空気の流量に依存
して行われる。流量測定のために多〈の場合に電熱効果
で動作する流量測定装置を用いる。このような測定装置
は温度補償のために少くとも１つの温度センサ５！：１
つの流量センスとを備えておシ、またこの流れセンサは
実質的に、電気的に加熱されまた流体の中に設けられる
抵抗素子によシ構成される。この加熱素、子かこのよう
な流量、測定装置は流れ方向に対して不感である、何故
ならば流れ方向が前に向いているか後に向いているかに
無関係に熱放出量に相応する実質的に同一の電気信号が
発生されるからである。すなわち公知の流量測定装置は
流量の、みを測定し流れ方向は検出しないのである。

しかしながら内燃機関の吸入装置、の中で特定の作動状
態の場合にエアコラム（柱状空気）が振動しこの振動が
定常の流れと重畳するので流れが急激に脈動することが
わかった。毎分回転数およびシリンダ数に依存して振動
の基本周波数は１０　Ｈｚ　−１０００Ｈｚの範囲で変
動する。それ７故流速と振動振幅に依存して短期間にわ
たシ繰返し逆流が発生する。流量測定装置の測定原理は
前述のようであるので乱流により発生される測定信号は
吸入流の場合と同一であシしたがって燃料が機関に過剰
に供給される。

共通の担体の上に取付けられている２つの抵抗素子を備
え℃おシこれらの抵抗素子は流れ方向で順次に配置され
ている流れ方向感応式流量計が公知である。しかしなが
らこのような流量計は従来技術においては流量計？慣性
％坤のために流れの急激な変化の検出には適していない
。

発明が解決しようとする問題点 本発明の課題は、例えば内燃機関の吸入装置の、中に取
付けることができ脈動期間中に脈動する空気流体に迅速
に応答する流量を測定し流れ方向を検出−する装置を提
供することにある。

問題を解決するだめの手段 上記問題は特許請求の範囲第１項記載の上位概念に記載
の装置において次のようにして解決される。すなわち熱
電形流れセンサに隣接させて２つの温度測定素子を１．
流れ方向に依存して１つの温度側、定素子は流れセンサ
の上流に、別の１つの温度測定素子は下流に位置するよ
うに設ける。このようにして熱電形流れセンサから、そ
の都度下流に位置４する温度測定素子へ熱を伝達し下こ
の温度測定素、子が常に、上流に位置する温度測定素子
に比してよシ高い温度を有するようにす、ることかでき
る。このように２つの温度測定、素子の温度が異なるの
で両温度測定素子は異なる電気信号を送出しま、た両電
気信号の差は流れ方向に依存して正であったシ負であっ
たシ、する。

本発明の有利な−、実施例においては流体の中心にセン
タリングされて熱電形流れセンサを、両温度測定素子の
いずれか１つは流れ方向で熱電形流れセンサの前に、別
の１つは後に位置するように脱ける。有利には温度測定
素子を、熱電型流量センサに対して対称に設ける。温度
測定素手を迅速に応答さ、せるために、これらの温度測
定素子の質量慣性を小さくしまた熱電形流れセンサに対
する間隔を短かくする。本装置を迅速に応答させるため
に更にこれらの熱電形温度測定素子を流体の中心に設け
る。

本装置を迅速かつ確実に組立てるために流れセンサと温
度センサと両温度測定素子とを共通の支持部材に取付け
る。このようにして確実に、すへての素子が正確な空間
的相互関係で位置しまた電気的接続は接続ケーブルを介
してただ１つのマルチコネクタプラグによシ行うことか
できる。支持部材としては例えば、細長い切欠部を有す
る印刷回路基板を用いることができこのよう尤印刷回路
基板自身金流体の中心に設けるのである。印刷回路、基
板を流れ方向に平行に取付けなければならない。又、前
記の細長い切欠部の１つの・端部は到来流体に向かって
位置しまた細長い切欠部の長手軸線が流体の中心を通る
。

このように構成する場合には有利には個々の素子を流れ
方向に垂直にかつ印刷回路基板の切欠部を橋絡するよう
に取付ける。個々の構成素子を、流れ方向から見て温度
センサ、第１．の温度測定素子、流れセンサ、第２の温
度測定素子の順序で取付ければよいことがわかっている
。

熱電形流れセ／すから、下流に位置する温度測定素子へ
の熱伝達が種々の流速の場合に確実に行われるようにす
るだめに熱電形流れセンサと、この熱電′層流れセンサ
に対応し、て設けられている温度測定素子とを層流の領
域内に取付ける。層流は例えば、本装置の前と後にそれ
ぞれ、蜂の巣のように、平行なチャネルが走行している
“流体整流素子”を取付けることにより形成することが
できる。

両温度測定素子から送出される信号の強さは流れ方向に
依存するのみではなく流速および熱電形流れセンサの温
度にも依存する。感度の均一性を改善するために流れセ
ンサの温度を公知の方法で制御する。この場合に流れセ
ンサの温度を一定の絶対値に制御するか又は流体温度に
対して一定の差値に制御しまた流れセンブリ温度を温度
センサによシ検出する。

本発萌においては温度測定素子を、温度に依存する抵抗
素子として形成しまたこ、れらの抵抗素子は、ブリッジ
回路を構成する分圧器を構成する。この場合に温度変化
は抵抗変化を惹起しひ艷ではこの抵抗変化によシブリッ
ジ回路の対角点の間に電圧が発生しまたこの電圧は流れ
方向に依存して正または負である。

正の温度係数（ＰＴＣ）を有し安定度が高い金属抵抗素
子例えばニッケルや白金は、細長いワイヤ状にもシート
状にも薄膜状にも形成することができるので都合がよい
。負の温度係数（ＮＴＣ）を有する抵抗素７子は、温度
係数を犬きぐひいては、センサ信号を大きくする必要が
ある。

場合には重要である。

抵抗素子が確実に迅速に応答するようにするためには抵
抗素子をワイヤ状吟形成する。この場合に抵抗素子を、
固定しないで流体の中に設ける。ワイヤの断面を変化さ
せることによシ質量慣性ひいては抵抗素子の応答時間を
調整することができる。本明細書においては”ワイヤ”
とは単に細長く形成されている抵抗のことであシその断
面は丸形でも角形でも扁平でもよい。

例えば、応答時間が迅速である細長いワイヤの場合には
機械的安定性を考慮しなければならない。抵抗は直線状
でもミアンダ状でもスパイラル状でもよくまたミアンダ
状抵抗でもよく線状抵抗との長手方向中心線は有利には
流体長手方向となるようにする。

抵抗素子をシート状に形成し抵抗層を、熱電　５に 量と熱伝導率とが小さい基板の上を被着するとよいこと
がわかっている。

このような抵抗素子は例えばマイクロ技術によるモジュ
ールに集積することができる。

また、ブリッジ回、路への供給電圧の制御のために流量
測定装置からの信号を用いればよいことがわかっている
。それ故有利にはこの供給電圧を、流量が大きい時には
低減して全測定範囲にわたり信号の強さを一定に保持す
るようにする。、このようにすることは例えば、自動車
の吸入装置に本装置を搭載する場合に適している、何故
ならば自動車は、冬に一４０°Ｃに達しても夏に＋６０
°Ｃを越えても支障なく作動することを前提としている
からである。

本発明の別の一実施例におい１ては熱電素子を温１度測
定素子として構成している。熱電素子の利点は、点状に
温度を検出する場合に適しておシまたスペースをそれ程
占めていなければ機械的な負荷を殆んど受けない。

流体の流れ方向に関する情報は２つの温度測定素子の温
度差から導出される。それ故熱電素子を使用する際に有
利には、２つの熱電素子の脚部のうちの電気的に同一極
性の２つを互いに接続し各熱電素子のそれぞれ１つの脚
部が外部へ導かれるようにする。このようにするとこれ
らの２つの脚状部の間に双方の熱電′素子の差電圧のみ
が印加されるようにすることができる。

双方の脚部は同一の材料から成るので、電気的接続素子
に発生する熱電圧は自動的に補償される。点状の温度検
出が必要な場合に熱電圧を高めるためには複数の熱電素
子が、１つの熱電素子バッテリーを構成するように直列
接続される。

本発明の別の一実施例においては本発明の装置を、吸入
空気量の流量に依存して燃料噴射を制御する公知の制御
装置に回路的に一体的に接続しまた燃料調量を、温度測
定素子から送出された信号に依存して行う。このように
すると、特定の作動状態に発生する、燃料調量の過剰を
、本発明の装置を介して内燃機関の吸入装置の中で逆流
を検出した場合にはただちに低減することができる。

本発明の別の有利な一実施例においては温度測定素子を
増幅器Ｑ入力側に接続しまたこの増幅器の出力側をシュ
ミットトリガ回路を介して制御ユニットの１つの入力側
に接続しまたこの制御ユニットの第２の入力側を流量測
定装置と接続し出力側を燃料調量装置と接−続する。こ
のように構成すると、公知の流量、測定装置から同様に
公知の燃料調量装置に供給される測定信号は、流れ方向
に依存する補正信号により制御される。これらの２つの
信号は、急激に脈動する吸入空気流によシ常に変動する
ので、方向に依存する補正信号を、閾値スイッチとして
動作す−るシュミットトリガ回路に供給して、信号レベ
ルが小さい場合における制御回路の制御変動を抑圧する
。

又、脈動する、制御ユニットの出力信号を、燃料調量装
置の入力側に供給される前に積分器により平滑にすると
よいことがわかっている。

流量測定装置と温度測定素子とが異なる応答時間を有す
るかぎシ、それらの信号が時間的に互いにずれることが
ある。それ故にシュミットトリガ回路９出力側と制御ユ
ニットの入力側との間に移相器を接続するとよい。補正
信号の期間と異なる測定信号制御期間が所望の場合には
制御ユニットの入力側の前に単安定マルチバイブレータ
を接続するとよい。このようにして、入力信号幅が短か
すぎる場合には相応に長くし長すぎる場合には相応に短
かくすることができる。

補正信号による測定信号の制御法ＪＩｉ種々である。し
かしながら補正信号が乱流発生時にのみ送出されるよう
にするすなわち吸入方向の流れの際には信号が制御ユニ
ットに送出声れないようにするとよいことがわかってい
る。それ故に補正信号による測定信号の有利な制御法は
実質的に次の６つである。

１、　制御信号は流量沖」定装置からの到来信号を、補
正信号が制御ユニットの第２の入力側に印加されている
間にわたシ抑圧することができる。このようにして簡単
に不必要かつ有害な燃料の調量過剰を回避することがで
きる。このような装、置の場合に、出力信号を平滑にす
る積分器が重要な役割を果すことは明らかである。

２、制御ユニットは、補正信号が入力側に印加されてい
る期間に検出された測定信号値を、補正信号が印加され
ていない期間に検出された測定信号値から減算する。し
かしながらこの制御法は理論的には正しいが、流量と流
れ方向とがまったく慣性特性を示さずまた双方を同一測
定条件下で検出することができることを前提とする。こ
の前提条件を実際に実質的に満たすためには大きなコス
トがかがる。

流量測定装置もある程度の積分特性を有する、何故なら
ば逆流の際に測定素子により加熱さたた空気は、通常の
流れ方向への切替が行われた後に測定素子に接触するの
で空気の冷却度が低減されるからである。それ数次の制
御法がコストの点で有利であることが判明したム ３、　制御ユニットは、補正信号が入力側に印加されて
いる期間に検出された測定信号値を所定の部分値に低減
する。この部分値を前もって与えまたこの部分値を１、
流量及び／又は機関回転数に依存して変動・することに
より種々の作動状態と測定装置の技術的必要性とに最適
に整合させることができる。

本発明の別の一実施例においてはセンサと測定素子との
他に電子素子も共通の支愕部材に取付ける。すなわ１ち
前述の印刷回路基板の上にセンサや測定素子の他にすべ
ての電子素子を装着するのである。有利にはこれらの電
子素子を、ただ１つの測定および制御ユニットを構成す
るように接続しこの測定および制御ユニットをマイクロ
チップの上に設ける。この場合にすべての電子素子の間
の相互調整を個別に行うことができる。このような相互
調整には例えばブリッジ回路の平衡調整や補正信号の測
定信号への整合等がある。このような電気的機械的に一
体のモジュールは損傷の際には交換するだけでよいので
取扱かいが容易である。電気的にはこのようなモジュー
ルは電源と燃料調量装置に接続するだけでよい。場合に
応じて更て回転数センサとの接続が必要となるのみであ
る。

次に本発明を実施例に基づき図を用いて詳しく説明する
。

実施例 第１図においては流体チャネル１０の中に取付けられて
いる本装置が示されている。流れ方向は矢印８によシ示
されている。光れ方向から見てまずはじめに流れと無関
係な温度センサ１７が取付けられておシ次に、加熱され
た熱電形流五センサ１６が取付けられている。両セ／す
は、測定および制御ユニット５に集積されている流量測
定装置６６に接続されている。しかしながら流量測定装
置６６の信号によシ方向を検出することはできず常に、
加熱されたセンサが冷却されるのみである。流れ方向の
検出のために、流れ方向から見てそれぞれ熱電形流れセ
ンサ１６の前と後とに温度測定素子１２と１４とが設け
られておシこれらの温度測定素子１２と１４とは第１図
において、熱電形流れセンサ１６の長手方向に平行に走
行するワイヤ状抵抗として略示されている。

温度測定素子１２と１４とは熱電形流れセンサ１６に対
称に取付けられている。第１図において流れが例えば左
から右へである場合には温度測定素子１２に流体が上流
から直接に当たりまた温度測定素子１４は熱電形流れセ
ンサ１６の下流に位置している。それ故この場合には温
度測定素子１４は付加的に加熱される。流れ方向が逆の
場合にはすなわち右から左への場合には温度測定素子に
おける流れの状態も逆になシひい、ては電気特・性も逆
に変化する。乱流による影響を回避するために本装置の
両側にそれぞれ“流体整流素子”３２と３４とが取付け
られている。、これらの流体整流素子３２と３４とは、
多数の平行な流体チャネルを有する蜂の巣状体である。

このようにして確実に実際の測定装置に常に層流が当た
るようにする。

温度センサ１７と第１の温度測定素子１２と流れセンサ
１６と第２の温度測定素子１４とは、流れ方向から見て
この順序で支持部材１の上に取付けられている。゛支持
部材１として印刷回路基板が設けられておシこの印刷回
路基板の上に、この図には示されていない、個々のセン
サや測定素子への接続導体が装着されている。支持部材
１の平面は流れ方向に平行に走行している。

支持部材１はＵ字状の細長、い切欠部３を有しておりこ
の切欠部３の開放端部は流れに対向して位置しまた切欠
部３の長手方向軸線は流体の中心を通っている。センサ
１６と１７及び測定素子１２と１４とは切欠部３を橋絡
しておシそれぞれの端部は、支持部材の、切欠部を形成
する部分と連結されている。有利にはセンナ１６と１７
と測定素子１２と１４とを流体の流れ方向に対して垂直
に取付ける。

流体チャネル１０の外部で、印刷回路基板として構成さ
れている支持部材１の上に電子測定および制御ユニット
５が取付けられておりこの電子測定および制御ユニット
５に流量測定装置６６が集積されている。

第２図において１２と１４と４２と４４とによシブリッ
ジ回路の抵抗が示されておシ抵抗１２と１４及び抵抗４
２と４４はそれぞれ分圧器を構成している。ブリッジ回
路への給電は電圧／電流源５０によシ行われる。抵抗４
２と４４とは固定抵抗であ、シ抵抗１２と１４とは、温
度に依存する抵抗素子であり流れセンサに対して互いに
異なる位置で流体の中に取付けられている。それ故、温
度に依存する抵抗素子１２と１４とは流体に依存して、
異なる強さで、加熱されしたがってそれらの抵抗は異な
る強さで変化する。この、ようにして抵抗４２と４４と
の間の測定点と、抵抗１２と１４との間の測定点とから
成る対角点の間に電圧が発生する。この電圧から増幅器
５２を介して補正信号が形成される。

電圧源５０から供給される、ブリッジ回路に対する供給
電圧は、流量測定装置６６の測定信号に依存して制御す
る。

第６図において１１２と１１４とによシ熱電素子が示さ
れておシこれらの熱・′電素子１１２と１１４とは、第
１図においては温度測定素子１２と１４として設けられ
ている。両熱篭素子１．１２と１１４とは１．それぞれ
の、同一極性の脚、部を介して互い、に接続されており
また。それぞれの別の脚部は増幅器５２と接続されてい
る。このようにして増幅器５２に、流れ方向検出に用い
られる、両熱電素子１１２と１１４との差信号が供給さ
れる。熱電素子１１２と１１４とを使用する刈点は、そ
れらが迅速に応答することにのみあるのではなく測定信
号が、外部の電流、源と無関係に供給されることにもあ
る。熱電素子は例えば薄膜技術、と半導体技術により、
信号が高い場合に小さなコストでまた種々の形で製作す
ることができる。

この実施例において銅−コンスタンタンから成る熱電素
子１１２と１１４が使用されている。

また熱電効果による電圧を高めるために多数の対を、１
つの熱電素子バッテリーを構成するように順次に接続し
ている。

第４図においては、増幅器５２から送出された補正信号
を処理する回路が示されている。閾イ直スイッチとして
用いられるシュミットトリガ回路は、低すぎる信号をろ
波して取除きまた一定信号を、入力信号の大きさと無関
係に送出する。シュミットトリガ回路５４の出力側は制
御ユニット６４の１つの入力側６０と接続されている。

制御ユニット６４の別の１つの入力側６２には流量測定
装置６６の測定信号が供給される。制御ユニット６４の
出力側は燃料調量装置７０と接続されている。信号が脈
動する原因となる、流体流や脈動は積分器６８により平
滑にされる。流量測定装置６６と、方向検出に用いられ
る温度測定素子１２と１４とは異なる応答時間を有する
ので、信号同期を行なう移相器５６が設けられている。

測定信号のパルス幅を補正するために更に単安定マルチ
バイゾレ〜り５８が設けられてお９この単安定マルチバ
イブレータにより補正信号のパルス幅を、入力信号のパ
ルス幅と異なるように制御することができる。、 制御ユニット６４の役割は、流量測定装置によシ実質的
に制御される、燃料調量装置に供給される信１号を補正
信号に整合することにある。

逆流の場合のみに発生する補正信号に相応して制御ユニ
ット６４により、脈動のこのフェーズに到来する、流量
測定装置の測定信号は抑圧されるか又は、他のフェーズ
の間に到来する測定定値と零との間の部分値に低減され
る。部分値の尺度は機関回転数と流量の大きさに依存す
る。

電７子素子４２−６８は、測定および制御ユニット５を
構成するように接続されマイクロチップとして集積され
るか又はハイブリッド技術により製作される。このマイ
クロチップは、第１図に示応れている、支持部材１、と
して用いられる印刷回路基板の上に装着されるか又は直
接にセンサ１６と１７及び測定素子１２と１４と接続さ
れている。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を略示した側面図である。 第２図は、温度に依存する抵抗を有する、本発明の一実
施例のブリッジ回路の回路略図である。第６図は、熱電
素子を有する、本発明の別の一実施例の一部の路線図で
ある。第４図は、本発明の別の一実施例における燃料調
量装置の制御回路の回路略図である。 １・・・支持部材、３・・・切欠部、５・・・測定およ
び・・・温度測定素子、１６・・・流れセンサ、１７・
・・温度センサ、４２．４４・・・抵抗、５０・・・電
圧／電流源、５２・・・増幅器、６ｑ・・・流量測定装
置、１１２．１１４・・・熱電素子、５４・・・、シュ
ミツトド、リガ回路−１５６・・・移相器、５８・・・
単安定マルチバイブレータ、６０．６２・・・入力側、
６４・・・制御ユニット

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、熱電形流れセンサと温度センサとを有する流量測定
   装置と少なくとも１つの温度測定素子とを備えている、
   実質的に決まった方向に流れる流体の流量を測定し流れ
   方向を検出する装置において、熱電形流れセンサ（１６
   ）に隣接させて２つの温度測定素子（１２、１４）を設
   けまた流れに依存して１つの温度測定素子（１２又は１
   ４）を熱電形流れセンサ（１６）の上流に、別の１つの
   温度測定素子（１４又は１２）を下流に設けたことを特
   徴とする流量を測定し流れ方向を検出する装置。 ２、流れセンサ（１６）と温度センサ（１７）と２つの
   温度測定素子（１２及び１４）とを共通の支持部材に取
   付けた特許請求の範囲第１項記載の流量を測定し流れ方
   向を検出する装置。 ３、熱電形流れセンサ（１６）と、前記熱電形流れセン
   サ（１６）に対応して設けられた温度測定素子（１２）
   と（１４）とを層流の領域の中に設けた特許請求の範囲
   第１項または第２項記載の流量を測定し流れ方向を検出
   する装置。 ４、温度測定素子（１２、１４）が、ブリッジ回路（１
   ２、１４、４２、４４）における分圧器を構成するよう
   に接続した特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれ
   か１項記載の流量を測定し流れ方向を検出する装置。 ５、抵抗素子（１２、１４）が正の温度係数を有するよ
   うにした特許請求の範囲第４項記載の流量を測定し流れ
   方向を検出する装置。 ６、抵抗素子（１２、１４）が負の温度係数を有する特
   許請求の範囲第４項記載の流量を測定し流れ方向を検出
   する装置。 ７、抵抗素子（１２、１４）をワイヤ状に形成した特許
   請求の範囲第５項または第６項記載の流量を測定し流れ
   方向を検出する装置。 ８、抵抗素子（１２、１４）を薄膜状に形成した特許請
   求の範囲第５項または第６項記載の流量を測定し流れ方
   向を検出する装置。 ９、ブリッジ回路（１２、１４；４２、４４）への供給
   電圧を制御する制御ユニット（５０）を、流体の全領域
   にわたって均一な感度を調整するために使用する特許請
   求の範囲第４項記載の流量を測定し流れ方向を検出する
   装置。 １０、制御ユニット（５０）を流量測定装置（６６）と
   接続した特許請求の範囲第９項記載の流量を測定し流れ
   方向を検出する装置。 １１、温度測定素子が熱電素子（１１２、１１４）であ
   る特許請求の範囲第１項ないし第３項記載の流量を測定
   し流れ方向を検出する装置。 １２、加熱素子（１６）の前と後とにそれぞれ接続され
   ている、互いに極性が逆の熱電素子（１１２、１１４）
   を縦続接続した特許請求の範囲第１１項記載の流量を測
   定し流れ方向を検出する装置。 １３、吸入空気量の流量に依存して内燃機関用燃料噴射
   装置を制御する装置を回路的に集積しまた燃料調量が、
   温度測定素子（１２、１４）から送出された信号に依存
   して行われるようにした特許請求の範囲第１項記載の流
   量を測定し流れ方向を検出する装置。 １４、温度測定素子（１２、１４）を増幅器（５２）の
   入力側と接続しまた前記増幅器（５２）の出力側をシュ
   ミットトリガ回路（５４）を介して制御ユニット（６４
   ）の入力側（６０）と接続しまた前記制御ユニット（６
   ２）の第２の入力側（１６２）を流量測定装置（６６）
   と接続しまた前記制御ユニット（６２）の出力側を燃料
   調量装置（７０）と接続した特許請求の範囲第１３項記
   載の流量を測定し流れ方向を検出する装置。 １５、制御ユニット（６４）の出力側と燃料調量装置（
   ７０）との間に積分器（６８）を接続した特許請求の範
   囲第１４項記載の流量を測定し流れ方向を検出する装置
   。 １６、シュミットトリガ回路（５４）の出力側と制御ユ
   ニット（６４）の出力側（６０）との間に移相器（５６
   ）及び／又は単安定マルチバイブレータ（５８）を接続
   した特許請求の範囲第１５項記載の流量を測定し流れ方
   向を検出する装置。 １７、制御ユニット（６４）が、流量測定装置（６６）
   から到来する測定信号を、補正信号が入力側（６０）に
   印加されるまで抑圧するようにした特許請求の範囲第１
   ４項記載の流量を測定し流れ方向を検出する装置。 １８、制御ユニット（６４）が、補正信号が入力側（６
   ０）に印加されている期間に検出された測定信号値を、
   補正信号が到来していない期間に検出された測定信号値
   から減算するようにした特許請求の範囲第１４項記載の
   流量を測定し流れ方向を検出する装置。 １９、制御ユニット（６４）が、補正信号が入力側（６
   ０）に印加されている期間に検出された信号値を、前も
   って与えられた部分値に低減するようにした特許請求の
   範囲第１４項記載の流量を測定し流れ方向を検出する装
   置。 ２０、センサ（１６及び１７）と測定素子（１２及び１
   ４）と電子素子（４２−６８）とを共通の支持部材に取
   付けまた前記電子素子（４８−６８）を、例えばマイク
   ロチップのような電子測定および制御ユニット（５）を
   構成するように接続した特許請求の範囲第２項または第
   １３項記載の流量を測定し流れ方向を検出する装置。