JPS62205511A - 磁気ヘツド特性測定装置 - Google Patents
磁気ヘツド特性測定装置Info
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- JPS62205511A JPS62205511A JP61046397A JP4639786A JPS62205511A JP S62205511 A JPS62205511 A JP S62205511A JP 61046397 A JP61046397 A JP 61046397A JP 4639786 A JP4639786 A JP 4639786A JP S62205511 A JPS62205511 A JP S62205511A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 19
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/455—Arrangements for functional testing of heads; Measuring arrangements for heads
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、磁気ヘッドの記録効率や再生効率である電磁
変換効率を求める磁気ヘッド特性測定装置aに関する。
変換効率を求める磁気ヘッド特性測定装置aに関する。
〈従来の技術と問題点〉
磁気ヘッドには、その特性を得るだめ記屍効率や再生効
率である電磁変換効率を求める測定が行なわれる。この
測定は、磁気記録媒体を実使用状態におき、磁気ヘッド
から媒体への記録及び媒体からの磁気ヘッドによる再生
を実際に行なって、変換効率を求めるものである。
率である電磁変換効率を求める測定が行なわれる。この
測定は、磁気記録媒体を実使用状態におき、磁気ヘッド
から媒体への記録及び媒体からの磁気ヘッドによる再生
を実際に行なって、変換効率を求めるものである。
ところが、実使用状態におくことは、測定時間が長くか
かることになり、また測定に当りいわゆる慣れが必要で
指導を受けたオペレータが必要になる。更に、媒体自体
に磁気特性のばらつきがあり、また媒体を被測定磁気ヘ
ッドに対して高速移動させることから磁気ヘッドと媒体
との間に微小なスペーシング変動が生ずるために、正確
な測定が困難であった0 そこで、本発明は上述の問題点に鑑み磁気記O媒体を介
さずに磁気ヘッドの電磁変換効率を直接測定して、従来
に比べて測定時間を短縮し、オペレータへの指導も必要
なく、高精変な測定を可能とした磁気ヘッド特性測定装
置の提供を目的とする。
かることになり、また測定に当りいわゆる慣れが必要で
指導を受けたオペレータが必要になる。更に、媒体自体
に磁気特性のばらつきがあり、また媒体を被測定磁気ヘ
ッドに対して高速移動させることから磁気ヘッドと媒体
との間に微小なスペーシング変動が生ずるために、正確
な測定が困難であった0 そこで、本発明は上述の問題点に鑑み磁気記O媒体を介
さずに磁気ヘッドの電磁変換効率を直接測定して、従来
に比べて測定時間を短縮し、オペレータへの指導も必要
なく、高精変な測定を可能とした磁気ヘッド特性測定装
置の提供を目的とする。
〈間m点を解決するだめの手段〉
上述の目的を達成するため本発明は、基準面の両側に一
定距離離間して、互いに同一形状のMR素子でできた第
1薄膜体及び第2薄膜体を上記基準面と平行に配置した
磁気ヘッド特性測定装置にあり、また、基準面の両側に
一定距離離間しかつ互いに同一形状のMR素子でできし
かも上記基準面と平行に配置した第1薄膜体及び第2薄
膜体を、それぞれ一定電源に接続すると共に前置増@器
を介して測定器に接続した磁気ヘッド特性測定装置にあ
る。
定距離離間して、互いに同一形状のMR素子でできた第
1薄膜体及び第2薄膜体を上記基準面と平行に配置した
磁気ヘッド特性測定装置にあり、また、基準面の両側に
一定距離離間しかつ互いに同一形状のMR素子でできし
かも上記基準面と平行に配置した第1薄膜体及び第2薄
膜体を、それぞれ一定電源に接続すると共に前置増@器
を介して測定器に接続した磁気ヘッド特性測定装置にあ
る。
く作 用〉
基準面を磁気ヘッドのギャップ中央に一致させることに
より、イヤツブにて生じたもれ磁束変化による磁界の垂
直磁界成分の変化をMR素子にて検出できることになり
、しかも2個のMR素子による検出値の相加平均をとる
ことで精度を向上させている。
より、イヤツブにて生じたもれ磁束変化による磁界の垂
直磁界成分の変化をMR素子にて検出できることになり
、しかも2個のMR素子による検出値の相加平均をとる
ことで精度を向上させている。
〈実施例〉
ここで、本発明の実施例を図を参照して1説明する。第
1図は、磁気ヘッド特性測定装置の一例の要部斜視図で
ある。第1図において、この磁気ヘッド特性測定装置は
、4つに区画されるガラス等の基板1の測面上に、MR
素子2 (Magneto−Resistive素子:
磁気抵抗素子)がil電極と共に被着形成される薄膜体
を有する。すなわち、3枚の基板1の各側面に例えばパ
ーマロイからなるMR素子2を極く憩く例えば500A
程度の厚さに被着し、この帯状に被着したMR素子2の
両端に導電膜3aをつなげて被着し、更にこの導電膜3
aそれぞれに電極3をつなげて被着しており、第2図に
示すように基板1の側面下部にMR素子2が配置され、
基板1の側面上部両端に電極3が配置されている。
1図は、磁気ヘッド特性測定装置の一例の要部斜視図で
ある。第1図において、この磁気ヘッド特性測定装置は
、4つに区画されるガラス等の基板1の測面上に、MR
素子2 (Magneto−Resistive素子:
磁気抵抗素子)がil電極と共に被着形成される薄膜体
を有する。すなわち、3枚の基板1の各側面に例えばパ
ーマロイからなるMR素子2を極く憩く例えば500A
程度の厚さに被着し、この帯状に被着したMR素子2の
両端に導電膜3aをつなげて被着し、更にこの導電膜3
aそれぞれに電極3をつなげて被着しており、第2図に
示すように基板1の側面下部にMR素子2が配置され、
基板1の側面上部両端に電極3が配置されている。
3枚の基板1にそれぞれ被着されたMR素子2は、それ
ぞれ平行に立てて配置されると共に、中央のMR素子2
とその両側に位置する他の2個のMR素子2とは一定の
等距離離間するよう配置されるので、3個のMR素子2
間に介在する2枚の基板1の厚さは厳密に等しくする必
要があり、この2枚の基板1を挾んでMR素子2が被着
された他の1枚の基板1及び固定用の基板が配置される
ことになる0 こうして、第1図に示す磁気ヘッド特性測定装置は、3
個のMR素子2がついたてのように平行に立てられた状
態のMRブロックBで、ガラス等の基板1によりこのM
R素子2を挾み込んだ構成を有している。また、第1図
において、を極3と対向する基板1は、電極3を露出し
て電気接続を行なわしめるため一部切欠かれている。更
に、基板1の裏面側は、磁気ヘッドと当接する部分であ
るので、鏡面に仕上げられてもいる。
ぞれ平行に立てて配置されると共に、中央のMR素子2
とその両側に位置する他の2個のMR素子2とは一定の
等距離離間するよう配置されるので、3個のMR素子2
間に介在する2枚の基板1の厚さは厳密に等しくする必
要があり、この2枚の基板1を挾んでMR素子2が被着
された他の1枚の基板1及び固定用の基板が配置される
ことになる0 こうして、第1図に示す磁気ヘッド特性測定装置は、3
個のMR素子2がついたてのように平行に立てられた状
態のMRブロックBで、ガラス等の基板1によりこのM
R素子2を挾み込んだ構成を有している。また、第1図
において、を極3と対向する基板1は、電極3を露出し
て電気接続を行なわしめるため一部切欠かれている。更
に、基板1の裏面側は、磁気ヘッドと当接する部分であ
るので、鏡面に仕上げられてもいる。
ここで、第1図および第2図に示されるような構造の磁
気ヘッド特性測定装置につき、その機能を説明する。M
R素子自体は、素子の面方向(第1図に示す垂直方向)
の磁界に感応して電気抵抗が変化する性質を有する。
気ヘッド特性測定装置につき、その機能を説明する。M
R素子自体は、素子の面方向(第1図に示す垂直方向)
の磁界に感応して電気抵抗が変化する性質を有する。
したがって、3個並べられたMR素子のうち、両端の2
個のMR素子2に予め所定電流を流しておき、このMR
素子2を磁界中に置くと電流が変化するので、この変化
を取出せば、磁界の変化に比例した電圧又は電流が得ら
れる。すなわち、第3図に示すように、磁気ヘッド4の
摺動面上に、鏡面仕上げされた基板1の裏面を当接させ
るようにして置き、しかも中央のMR素子2と磁気ヘッ
ド4のイヤツブの中央とを一致させて置いた状態で、上
述の電流変化をみれば磁気ヘッド4による磁界の強さく
厳密には磁界の垂直方向成分)もしくはその変化分が判
明する。これが記録効率の測定である。この場合、中央
のMR素子2はギャップとの位置合わせに用いており、
また両端のMR素子2を2個備えたのは、位置ずれによ
る誤差をなくすため、両MR素子2による検出値の相加
平均をとっていることによる0 次に中央のM R素子につき説明する。このMR素子2
は、前述の如くギャップとの位置合せに用いられるが、
更に再生効率の測定時には磁気抵抗素子としてでなく、
磁界発生素子として用いる。すなわち、中央のMR素子
2に電流を流し、この電流により生ずる磁界を磁気ヘッ
ドに通し、この磁気ヘッドの誘起電圧をコイルにて検出
することにより、発生磁界による再生効率を得ることが
できる。この場合、中央のIV[R素子2は磁界発生素
子として用いるのみであるため、このM R素子2の代
りに導線とか導膜を用いることもできる。
個のMR素子2に予め所定電流を流しておき、このMR
素子2を磁界中に置くと電流が変化するので、この変化
を取出せば、磁界の変化に比例した電圧又は電流が得ら
れる。すなわち、第3図に示すように、磁気ヘッド4の
摺動面上に、鏡面仕上げされた基板1の裏面を当接させ
るようにして置き、しかも中央のMR素子2と磁気ヘッ
ド4のイヤツブの中央とを一致させて置いた状態で、上
述の電流変化をみれば磁気ヘッド4による磁界の強さく
厳密には磁界の垂直方向成分)もしくはその変化分が判
明する。これが記録効率の測定である。この場合、中央
のMR素子2はギャップとの位置合わせに用いており、
また両端のMR素子2を2個備えたのは、位置ずれによ
る誤差をなくすため、両MR素子2による検出値の相加
平均をとっていることによる0 次に中央のM R素子につき説明する。このMR素子2
は、前述の如くギャップとの位置合せに用いられるが、
更に再生効率の測定時には磁気抵抗素子としてでなく、
磁界発生素子として用いる。すなわち、中央のMR素子
2に電流を流し、この電流により生ずる磁界を磁気ヘッ
ドに通し、この磁気ヘッドの誘起電圧をコイルにて検出
することにより、発生磁界による再生効率を得ることが
できる。この場合、中央のIV[R素子2は磁界発生素
子として用いるのみであるため、このM R素子2の代
りに導線とか導膜を用いることもできる。
もつとも、製造工程を簡略化するためには、両端のMR
素子と同様中央もMR素子とすればよい。
素子と同様中央もMR素子とすればよい。
ここで、第4図、第5図を用いて両端のMR素子の位置
、換言すればMR素子によって挾まれる基板1の厚さに
つき説明する。第5図はy軸を磁気ヘッドの摺4ν1面
とし、y軸を磁気ヘッドのギャップ中央とした場合の等
磁位面の一つを示している。この等磁位面上の点(x、
y)磁界の強さを旧とした場合、起磁力NIとの間には
次式が成立する。
、換言すればMR素子によって挾まれる基板1の厚さに
つき説明する。第5図はy軸を磁気ヘッドの摺4ν1面
とし、y軸を磁気ヘッドのギャップ中央とした場合の等
磁位面の一つを示している。この等磁位面上の点(x、
y)磁界の強さを旧とした場合、起磁力NIとの間には
次式が成立する。
この磁界旧のMR素子に感応する垂直成分Hyは、次式
となる。
となる。
Hy ” Hsinθ
ここでsinθはsinθ=−の関係があるので次式と
なる。
なる。
この磁界の垂直成分Hyのうち、MR素子により検出さ
れる値の最小値をH8とじた場合、Hc≦HYの範囲に
て垂直成分Hyが検出されることになる。したがって次
式を得る。
れる値の最小値をH8とじた場合、Hc≦HYの範囲に
て垂直成分Hyが検出されることになる。したがって次
式を得る。
0)を中心とする半径rの円の内部にてy>0となり、
また)(<Oの場合、(−r、o)を中心とする半径r
の円の内部にてy>0となる。したがって、第4図に示
すようにギャップを中心として左右の半円が垂直成分H
yの検出範囲となり、この範囲内に両端のMR素子を置
く必要がある。実際上磁気ヘッドのギャップに近づくに
つれて磁界の強さも増すことから、上述のrによって定
まった範囲内にて基板1の厚さなど機械的に許容できる
範囲でできる限りギャップに近い方が良い。
また)(<Oの場合、(−r、o)を中心とする半径r
の円の内部にてy>0となる。したがって、第4図に示
すようにギャップを中心として左右の半円が垂直成分H
yの検出範囲となり、この範囲内に両端のMR素子を置
く必要がある。実際上磁気ヘッドのギャップに近づくに
つれて磁界の強さも増すことから、上述のrによって定
まった範囲内にて基板1の厚さなど機械的に許容できる
範囲でできる限りギャップに近い方が良い。
つぎに、磁気ヘッドの特性測定装置の全体の機構を第6
図にて説明する。第6図において、基台5上には支持柱
6を介して顕微鏡7が備えられ、この顕微鏡7と基台5
との間にあってはMRブロックを橋架する支持体8が基
台5上に植立されると共に、測定される磁気ヘッド4が
載置されるステーゾ9が台10上に備えられる構造を有
し、更に第7図にも示す測定回路11が備えられている
。測定に当り、まずMRブロックBと磁気ヘッド4との
位置合わせを行なう必要があるが、との位置合わせは予
め鏡面に仕上げられたMRブロックBの裏面をステージ
9上に載せた磁気ヘッド4に接触させ、MRブロックB
の表面より顕微鏡で観察しつつMRブロックBの中央の
MR素子や導線を磁気ヘッド4のギャップラインと一致
するように調整して行なう。この場合、調整はステージ
9上の磁気ヘッド4をx、y、zの座標軸方向の移動機
構、回転角θ工、θy1i整用ゴニオメータ、回転角θ
2調整用回転機構により行なわれる。なお、顕微鏡によ
り中央のMR素子の位置合わせを行なう関係上、MRブ
ロックBの基板1?ギヤツプラインが見えるような透明
体で作る必要がある。
図にて説明する。第6図において、基台5上には支持柱
6を介して顕微鏡7が備えられ、この顕微鏡7と基台5
との間にあってはMRブロックを橋架する支持体8が基
台5上に植立されると共に、測定される磁気ヘッド4が
載置されるステーゾ9が台10上に備えられる構造を有
し、更に第7図にも示す測定回路11が備えられている
。測定に当り、まずMRブロックBと磁気ヘッド4との
位置合わせを行なう必要があるが、との位置合わせは予
め鏡面に仕上げられたMRブロックBの裏面をステージ
9上に載せた磁気ヘッド4に接触させ、MRブロックB
の表面より顕微鏡で観察しつつMRブロックBの中央の
MR素子や導線を磁気ヘッド4のギャップラインと一致
するように調整して行なう。この場合、調整はステージ
9上の磁気ヘッド4をx、y、zの座標軸方向の移動機
構、回転角θ工、θy1i整用ゴニオメータ、回転角θ
2調整用回転機構により行なわれる。なお、顕微鏡によ
り中央のMR素子の位置合わせを行なう関係上、MRブ
ロックBの基板1?ギヤツプラインが見えるような透明
体で作る必要がある。
さて、測定に当って再生効率を得る場合、MRブロック
Bの中央のMR素子に測定電流を流して測定される磁気
ヘッド4のギャップ部に信号磁界を発生させ、磁気ヘッ
ド4の端子に発生した誘起′1圧を前置増幅器を通して
オシロスコープにて観察することで得ている。
Bの中央のMR素子に測定電流を流して測定される磁気
ヘッド4のギャップ部に信号磁界を発生させ、磁気ヘッ
ド4の端子に発生した誘起′1圧を前置増幅器を通して
オシロスコープにて観察することで得ている。
第7図の測定回路にて説明・すれば、スイッチSWHを
上側に切換え、定′心流源もしくは定電圧源により中央
のMR素子であるMR2に通電すると共にこの信号を前
置増幅器13を介してオシロスコープ14に出力し、同
時にMR素子MR2からの発生磁界を磁気ヘッド4にて
受はスイッチSWHを介して前置増幅器13を介してオ
シロスコープ14に出力するものである。そして、この
オシロスコープ14への入力信号比率を得て再生効率を
得ている。
上側に切換え、定′心流源もしくは定電圧源により中央
のMR素子であるMR2に通電すると共にこの信号を前
置増幅器13を介してオシロスコープ14に出力し、同
時にMR素子MR2からの発生磁界を磁気ヘッド4にて
受はスイッチSWHを介して前置増幅器13を介してオ
シロスコープ14に出力するものである。そして、この
オシロスコープ14への入力信号比率を得て再生効率を
得ている。
また、磁気ヘッド4の記録効率を得る場合、記録用の電
流又は電圧増1111i15から磁気ヘッド4に信号電
流を通電する。このときスイッチSWHは下側に切換え
られている。磁気ヘッド4からの磁界のうち第5図に示
す垂直成分Hyt−MR素子MHI、MR3により求め
る。この垂直成分Hyを電流変化として取り出し前置増
幅器13を介してオシロスコープ14に表示する。こう
して、磁気ヘッド4の記録特性をオシロスコープ14に
て得ることができる。この場合、磁界とMR素子MRI
。
流又は電圧増1111i15から磁気ヘッド4に信号電
流を通電する。このときスイッチSWHは下側に切換え
られている。磁気ヘッド4からの磁界のうち第5図に示
す垂直成分Hyt−MR素子MHI、MR3により求め
る。この垂直成分Hyを電流変化として取り出し前置増
幅器13を介してオシロスコープ14に表示する。こう
して、磁気ヘッド4の記録特性をオシロスコープ14に
て得ることができる。この場合、磁界とMR素子MRI
。
MR3の抵抗変化とが比例関係にあるので、磁気ヘッド
のギャップ幅が同じ場合には異なる種類のギャップでも
測定が可能となる。
のギャップ幅が同じ場合には異なる種類のギャップでも
測定が可能となる。
〈発明の効果〉
以上説明したように本発明によれば、MR素子をついた
ての如く平行にたてて配列したMRブロックを用いて磁
気ヘッドの電磁変換効率を直接測定できることにより、
媒体の実使用状態がないので測定時間が短くて済みオペ
レータの慣れも必要なく媒体のばらつきやスペーシング
変動がなく高精度な測定が可能となった。
ての如く平行にたてて配列したMRブロックを用いて磁
気ヘッドの電磁変換効率を直接測定できることにより、
媒体の実使用状態がないので測定時間が短くて済みオペ
レータの慣れも必要なく媒体のばらつきやスペーシング
変動がなく高精度な測定が可能となった。
第1図ないし第7図は本発明の実施例を示し、筑11ミ
″/Jif M R,ブロックの斜視、M−第2図はM
Rブロック単体の側面図、第3図は第1図のtn−■線
からみだ側面図、第4図は測定範囲を示す説明図、第5
図は磁界の垂直及び水平成分を示す説明図、第6図は測
定装置全体の構成図、第7図は測定回路のブロック図で
ある。 図 中、 1は基板、 2はMR素子、 3は電極、 4は磁気ヘッド、 7は顕微鏡、 BはMRブロックである。
″/Jif M R,ブロックの斜視、M−第2図はM
Rブロック単体の側面図、第3図は第1図のtn−■線
からみだ側面図、第4図は測定範囲を示す説明図、第5
図は磁界の垂直及び水平成分を示す説明図、第6図は測
定装置全体の構成図、第7図は測定回路のブロック図で
ある。 図 中、 1は基板、 2はMR素子、 3は電極、 4は磁気ヘッド、 7は顕微鏡、 BはMRブロックである。
Claims (5)
- (1)基準面の両側に一定距離離間して、互いに同一形
状のMR素子でできた第1薄膜体及び第2薄膜体を上記
基準面と平行に配置した磁気ヘツド特性測定装置。 - (2)上記基準面にMR素子又は導体からなる第3薄膜
体を配置した特許請求の範囲第1項記載の磁気ヘツド特
性測定装置。 - (3)磁気ヘツドの摺動面に当接する裏面を鏡面に仕上
げた基板の側面に薄膜体をこれに接続する電極と共に被
着形成してブロツク単体とし、このブロツク単体を上記
薄膜体が平行に配列するように重ね合せて形成した特許
請求の範囲第1項又は第2項記載の磁気ヘツド特性測定
装置。 - (4)基準面の両側に一定距離離間しかつ互いに同一形
状のMR素子でできしかも上記基準面と平行に配置した
第1薄膜体及び第2薄膜体を、それぞれ一定電源に接続
すると共に前置増幅器を介して測定器に接続した磁気ヘ
ツド特性測定装置。 - (5)上記基準面にMR素子又は導体からなる第3薄膜
体を配置し、この第3薄膜体を上記一定電源に接続する
と共に上記前置増幅器を介して測定器に接続した特許請
求の範囲第4項記載の磁気ヘツド特性測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61046397A JPS62205511A (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 磁気ヘツド特性測定装置 |
US07/021,282 US4853633A (en) | 1986-03-05 | 1987-03-03 | Magnetic head electromagnetic conversion efficiency measuring method and element therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61046397A JPS62205511A (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 磁気ヘツド特性測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62205511A true JPS62205511A (ja) | 1987-09-10 |
Family
ID=12746014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61046397A Pending JPS62205511A (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 磁気ヘツド特性測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4853633A (ja) |
JP (1) | JPS62205511A (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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