JPS62182707A - 光学的な系の走査歪の計測装置 - Google Patents
光学的な系の走査歪の計測装置Info
- Publication number
- JPS62182707A JPS62182707A JP2476486A JP2476486A JPS62182707A JP S62182707 A JPS62182707 A JP S62182707A JP 2476486 A JP2476486 A JP 2476486A JP 2476486 A JP2476486 A JP 2476486A JP S62182707 A JPS62182707 A JP S62182707A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- optical system
- pulse
- light
- light beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔（既要〕
本発明は赤外線映像装置走査部の走査歪の検査装置に関
するものである。
するものである。
光走査振幅全体ばわたって、予め固定した間隔で光電変
換素子をアレー状に配列し、走査ミラーを経由して個々
の光電変換素子の配置ピンチよりも小さい直径を持った
走査ビームを該光電変換素子アレーに順次溝てて取り出
したパルス状走査信号のパルス間隔を検出し、予め固定
した受光素子の幾何学的間隔と照合して走査歪を知るこ
とが出来る。このように、パルス状走査信号のパルス間
隔を測定するに際して、該光パルス信号のし・きい値設
定をパルス裔に応じて自動的に調節を行う自己識別回路
を使用し、その計測に自動化をもたらしめたものである
。
換素子をアレー状に配列し、走査ミラーを経由して個々
の光電変換素子の配置ピンチよりも小さい直径を持った
走査ビームを該光電変換素子アレーに順次溝てて取り出
したパルス状走査信号のパルス間隔を検出し、予め固定
した受光素子の幾何学的間隔と照合して走査歪を知るこ
とが出来る。このように、パルス状走査信号のパルス間
隔を測定するに際して、該光パルス信号のし・きい値設
定をパルス裔に応じて自動的に調節を行う自己識別回路
を使用し、その計測に自動化をもたらしめたものである
。
本装置は赤外線映像装置の光学的走査部の自・助検査に
使用するものである。
使用するものである。
赤外線映像装置そのものは、医療用としての人体、動物
などの各部の温度分布や、工業用としての完成した製品
や未完の部品の動作中の各種温度分布などを測定する装
置として用いられる。
などの各部の温度分布や、工業用としての完成した製品
や未完の部品の動作中の各種温度分布などを測定する装
置として用いられる。
それら赤外線検知素子は、２次元画像を検知素子上で得
ることができる２次元検知素子が、未だ適用しにくい技
術状態にあるので、単素子またはアレー状素子と、前記
素子に応じた走査動作を行う走査光学系との組合せで２
次元画像を得ている。
ることができる２次元検知素子が、未だ適用しにくい技
術状態にあるので、単素子またはアレー状素子と、前記
素子に応じた走査動作を行う走査光学系との組合せで２
次元画像を得ている。
上記走査光学系に走査歪がないことが良い赤外線映像装
置の条件である。
置の条件である。
本発明の適用するこの走査系の走査歪の検査測定は、非
常に重要であるが技術的に未着手のところが残されてい
た。
常に重要であるが技術的に未着手のところが残されてい
た。
従来用いられていた走査歪測定方法の一つを第４図に示
し、その表示画面を第５図に示す。
し、その表示画面を第５図に示す。
図において１はレーザ光源、２は走査ミラー、６は測定
台、３０は光電変換を行う一個の光電変換素子、４０は
増幅器、４５は２現象オシロスコープである。走査範囲
２ＸＯを与える走査角２Ｑは、映像測定範囲角である。
台、３０は光電変換を行う一個の光電変換素子、４０は
増幅器、４５は２現象オシロスコープである。走査範囲
２ＸＯを与える走査角２Ｑは、映像測定範囲角である。
ここでオシロスコープ５の水平走査時間と表示された走
査距離との関係は理想的に歪なく直線であるとする。
査距離との関係は理想的に歪なく直線であるとする。
レーザ光源１から出た光ビームは走査ミラー２によって
測定台６上の最大測定範囲２ＸＯを走査する。走査ミラ
ー２の走査機構には、記載しないマーカパルス発生機構
を有し、ミラー２の反射する光ビームが測定台の中心部
を通過するとき第５図に示すマーカパルス１０を発する
。
測定台６上の最大測定範囲２ＸＯを走査する。走査ミラ
ー２の走査機構には、記載しないマーカパルス発生機構
を有し、ミラー２の反射する光ビームが測定台の中心部
を通過するとき第５図に示すマーカパルス１０を発する
。
走査の中心を示すマーカパルス信号ＩＯは２現象オシロ
スコープ４５の１方の入力端子に入り、もう一方の入力
端子には被測定信号として、レーザ光線を受ける単光電
変換素子３０の出力信号が増幅器４０で増幅されたのち
入力される。
スコープ４５の１方の入力端子に入り、もう一方の入力
端子には被測定信号として、レーザ光線を受ける単光電
変換素子３０の出力信号が増幅器４０で増幅されたのち
入力される。
ここで測定台６の中心から単光電変換素子３０との距離
Ｘは測定データを取るために変化量として変化させる値
であり、前記Ｘと対応し、走査歪の有無を判定するため
の測定量Ｙは、走査ビームを受けた光電変換素子３０の
出力パルスと測定台の中心を表すマーカパルス１０への
距離で表される。
Ｘは測定データを取るために変化量として変化させる値
であり、前記Ｘと対応し、走査歪の有無を判定するため
の測定量Ｙは、走査ビームを受けた光電変換素子３０の
出力パルスと測定台の中心を表すマーカパルス１０への
距離で表される。
上記測定台６の中心から受光素子３０との距離Ｘと測定
ビームによる２つのパルスの位置間隔Ｙとは、走査歪が
なければ直線関係に有る。
ビームによる２つのパルスの位置間隔Ｙとは、走査歪が
なければ直線関係に有る。
かくして、２現象オシロスコープ４５の表示画面には、
第５図のように光ビームが中心位置を通過した時間を示
すマーカパルス１０と、光走査に要した時間だけ遅れた
被測定出力パルス１１とが表示される。その２つのパル
ス間の間隔Ｙが、受光素子３０の被測定位置Ｘの大きさ
と直線関係にあるかどうかを調べていた。
第５図のように光ビームが中心位置を通過した時間を示
すマーカパルス１０と、光走査に要した時間だけ遅れた
被測定出力パルス１１とが表示される。その２つのパル
ス間の間隔Ｙが、受光素子３０の被測定位置Ｘの大きさ
と直線関係にあるかどうかを調べていた。
言葉を変えて言うと、直線性が理想的な鋸歯状波で走査
を行うオシロスコープ表示画面のマーカギャップｉＹを
、光電変換素子の位ｇｘを小刻みに変えて逐次測定し、
光電変換素子の位置Ｘとマーカギャップ量Ｙとの関係を
グラフに書くなどの手段によって、測定台６上のレーザ
の走査直線性を判定していた。
を行うオシロスコープ表示画面のマーカギャップｉＹを
、光電変換素子の位ｇｘを小刻みに変えて逐次測定し、
光電変換素子の位置Ｘとマーカギャップ量Ｙとの関係を
グラフに書くなどの手段によって、測定台６上のレーザ
の走査直線性を判定していた。
従来の測定方法ではデータを取るための労力が非常に大
きいと言う難点があった。
きいと言う難点があった。
すなわちレーザ光源と、走査光学系と、検知システムと
の相対的位置を確定した測定系の正確な設定が難しいだ
けで無く、その測定系の中で受光素子位置Ｘの細かな移
動による位置Ｘの細かな測定が繊細であり、また光ビー
ムで実験した表示画面上の光走査に要した時間の測定な
ど、精度や再現性を確保するのは非常に困難であった。
の相対的位置を確定した測定系の正確な設定が難しいだ
けで無く、その測定系の中で受光素子位置Ｘの細かな移
動による位置Ｘの細かな測定が繊細であり、また光ビー
ムで実験した表示画面上の光走査に要した時間の測定な
ど、精度や再現性を確保するのは非常に困難であった。
本発明では人手により繰り返す測定の精度や再現性をよ
り正確に行い、しかも省力化を行いたい。
り正確に行い、しかも省力化を行いたい。
第１図は未発明の走査歪の計測方法の原理ブロック図で
ある。
ある。
第１図において１は細いレーザビームを発生するレーザ
光源、２は走査ミラー、３は光電受光素子アレー、４は
自己識別回路、５０はクロック発生器、５１は自己識別
回路の出力をクロックパルスで細分する変調部、５２は
識別波出力幅内のパルス列の中心パルスを求める中心検
出部、５３は得られた直線性データの演算処理を行いグ
ラフを描く描画部である。
光源、２は走査ミラー、３は光電受光素子アレー、４は
自己識別回路、５０はクロック発生器、５１は自己識別
回路の出力をクロックパルスで細分する変調部、５２は
識別波出力幅内のパルス列の中心パルスを求める中心検
出部、５３は得られた直線性データの演算処理を行いグ
ラフを描く描画部である。
上記手段に依って本発明は構成される。
第２図に本発明の走査歪の計測方法の主要部である装置
前半処理部を再出する。
前半処理部を再出する。
光電受光素子アレー３を構成する個々の受光素子Ｄｉ、
Ｄ２．．．．．Ｄｎの出力パルスは、光ビームの直径が
受光素子の取りつけ間隔よりも充分小さいので、検出光
出力は時間的に分離した電気パルスとなる。
Ｄ２．．．．．Ｄｎの出力パルスは、光ビームの直径が
受光素子の取りつけ間隔よりも充分小さいので、検出光
出力は時間的に分離した電気パルスとなる。
該パルスを成るしきい値で切って、該パルス幅の中心位
置、すなわち受光素子ＤＩ、Ｄ２．．．．．Ｏｎの電気
パルス上の受光素子存在位置に対応するそれぞれの点を
見つり出し、素子配置の幾何学的位置と対応をとるため
に、２次元座標にそれぞれの値をプロン１−シて走査曲
線を作図し、本光学系のリニヤ−走査性を判定する。
置、すなわち受光素子ＤＩ、Ｄ２．．．．．Ｏｎの電気
パルス上の受光素子存在位置に対応するそれぞれの点を
見つり出し、素子配置の幾何学的位置と対応をとるため
に、２次元座標にそれぞれの値をプロン１−シて走査曲
線を作図し、本光学系のリニヤ−走査性を判定する。
自己識別回路４の存在理由は、レーザ光の強度ゆらぎや
ドリフトがあっても、および受光素子Ｄ１゜Ｄ２．、、
、、Ｏｎなどの特性が揃っていなくても、本測定の最初
にしきいイ直レベルを検出パルスピーク値の何分の一〇
こするかを可変抵抗Ｖｆｌで設定することにより、ぞの
測定工程中は１す３作点が自己識別回路４により自動調
節されて、再現性の良い測定が行なわれる。
ドリフトがあっても、および受光素子Ｄ１゜Ｄ２．、、
、、Ｏｎなどの特性が揃っていなくても、本測定の最初
にしきいイ直レベルを検出パルスピーク値の何分の一〇
こするかを可変抵抗Ｖｆｌで設定することにより、ぞの
測定工程中は１す３作点が自己識別回路４により自動調
節されて、再現性の良い測定が行なわれる。
第３図は本発明の核心を形成する中心検出部５２より前
段部分の実施例を表している。
段部分の実施例を表している。
受光素子Ｄｉ、Ｄ２． 、、、、Ｄｎにそれぞれ負荷抵
抗１？ＬＲ２，、、、、Ｒｎが接続された後、一括して
増幅器Ａ１に入り増幅器Ａ１で低インピーダンスに変換
した後自己識別回路４に入る。
抗１？ＬＲ２，、、、、Ｒｎが接続された後、一括して
増幅器Ａ１に入り増幅器Ａ１で低インピーダンスに変換
した後自己識別回路４に入る。
自己識別回路４は公知であるが簡単に動作を述べると、
入力信号は増幅器Ａ１を通った後２つに分かれてピーク
保持器Ａ２と比１校器Ａ３とに入る。
入力信号は増幅器Ａ１を通った後２つに分かれてピーク
保持器Ａ２と比１校器Ａ３とに入る。
ピーク保持器Ａ２に入る信号はダイオードＤＰとコンデ
ンサＣ１とによって入力パルスピーク値に保持され、高
入力インピーダンス増幅器Ａ２によって低インピーダン
ス化されて分割可変抵抗ＶＲに出力される。
ンサＣ１とによって入力パルスピーク値に保持され、高
入力インピーダンス増幅器Ａ２によって低インピーダン
ス化されて分割可変抵抗ＶＲに出力される。
分割可変抵抗ＶＲに出力された′電圧は入力パルスのピ
ーク比例値になっており、その値の何分の−の値をしき
い値にするかを比較器Ａ３の一方の入力に入れる。
ーク比例値になっており、その値の何分の−の値をしき
い値にするかを比較器Ａ３の一方の入力に入れる。
すると比較器Ａ３の他方の入力端子に入り、受光素子旧
＋ｏ２＋０．．．ｏｎによって増幅された出力信号と、
もう一方の入力端子に入る上記信号のピーク値に１より
小さい分数値を乗じた値とが入り、比較器へ３は前記し
きい値設定回路が定めたしきい値で受光素子Ｄｉ、Ｄ２
．．．．．Ｄｎの出力信号を切り、前記しきいイ１σよ
り大きい部分である、新たな出力信号が自己識別回路４
の出力として増幅器Ａ３の出力に現れる。このしきい値
は本測定の開始時点に最初のいくつかの入力信号によっ
て自己設定されたものであって、測定動作中火々と入力
する受光素子出力によって定められて行く。従ってその
後人聞による調整は不必要となる。
＋ｏ２＋０．．．ｏｎによって増幅された出力信号と、
もう一方の入力端子に入る上記信号のピーク値に１より
小さい分数値を乗じた値とが入り、比較器へ３は前記し
きい値設定回路が定めたしきい値で受光素子Ｄｉ、Ｄ２
．．．．．Ｄｎの出力信号を切り、前記しきいイ１σよ
り大きい部分である、新たな出力信号が自己識別回路４
の出力として増幅器Ａ３の出力に現れる。このしきい値
は本測定の開始時点に最初のいくつかの入力信号によっ
て自己設定されたものであって、測定動作中火々と入力
する受光素子出力によって定められて行く。従ってその
後人聞による調整は不必要となる。
比較器へ３の出力は変調部５１に入り、クロック５０か
らのクロックパルスで受光素子による光電変換出力幅が
細分され、中心検出部５２において細分されたパルスの
数を数えて該光電変換出力幅の例えば中心を見い出し、
光電受光素子アレー３の光学系を経由した測定位置Ｙが
決められる。
らのクロックパルスで受光素子による光電変換出力幅が
細分され、中心検出部５２において細分されたパルスの
数を数えて該光電変換出力幅の例えば中心を見い出し、
光電受光素子アレー３の光学系を経由した測定位置Ｙが
決められる。
該位置が受光素子ＤＩ、Ｄ２．．．．．Ｄｎの出力した
パルスの正しい位置Ｙとして、既に作ってあった受光素
子ＤＩ、Ｄ２．．．．．Ｄｎの幾何学的位置Ｘと対応を
とられ、走査の直線性が描画装置５３内で求められる。
パルスの正しい位置Ｙとして、既に作ってあった受光素
子ＤＩ、Ｄ２．．．．．Ｄｎの幾何学的位置Ｘと対応を
とられ、走査の直線性が描画装置５３内で求められる。
このようにして光学系の走査直線性が本装置によって人
手少なく測定される。
手少なく測定される。
以上性べて来たように、本発明によると、被測定光学走
査系を本発明の測定装置に設定することにより、被測定
光学走査系の表示直線性が手間を少なくかけて簡単に自
動測定に発展させられ、赤外線検知装置光学系の困難な
調゛整が容易に、しかも正確にできて真に有益である。
査系を本発明の測定装置に設定することにより、被測定
光学走査系の表示直線性が手間を少なくかけて簡単に自
動測定に発展させられ、赤外線検知装置光学系の困難な
調゛整が容易に、しかも正確にできて真に有益である。
第１図は本発明の原理図ブロック図、
第２図りす本発明の走査歪の計測方法、第３図は本発明
の詳細な説明図、 第４図は従来の測定構成方法、 第５は１は従来法によるオシロスコープ表示画面である
。 図において、 ■はレーザ光源、 ２は走査ミラー、 ３は光′心受光素子アレー、 ４は自己識別回路、 ５１はクロックによる変調回路、 ５２は中心パルスの検出回路である。 第 １ 図 斗仰胎走骨り社見影天 第 ２図 不茫明／ＩＱ能所図 第３図
の詳細な説明図、 第４図は従来の測定構成方法、 第５は１は従来法によるオシロスコープ表示画面である
。 図において、 ■はレーザ光源、 ２は走査ミラー、 ３は光′心受光素子アレー、 ４は自己識別回路、 ５１はクロックによる変調回路、 ５２は中心パルスの検出回路である。 第 １ 図 斗仰胎走骨り社見影天 第 ２図 不茫明／ＩＱ能所図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光走査系に光ビームを投射するレーザ光源と、前記光ビ
ームを受けて電気信号に変換する受光素子アレーに順次
入射せしめる走査光学系と、前記変換された電気信号を
所定レベルで識別する識別回路を有してなる光学系の計
測装置において、前記識別回路の識別レベルを前記光ビ
ームにより発生した電気信号のピークレベルに応じて可
変制御し、 前記識別回路の出力する電気信号の立ち上がり部および
立ち下がり部との時間間隔から決定した時点を、前記受
光素子の受光タイミングとしたことを特徴とする光学的
な系の走査歪の計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2476486A JPH0695173B2 (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | 光学的な系の走査歪の計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2476486A JPH0695173B2 (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | 光学的な系の走査歪の計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62182707A true JPS62182707A (ja) | 1987-08-11 |
| JPH0695173B2 JPH0695173B2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=12147220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2476486A Expired - Lifetime JPH0695173B2 (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | 光学的な系の走査歪の計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0695173B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109596319A (zh) * | 2018-11-26 | 2019-04-09 | 歌尔股份有限公司 | 光学模组参数的检测系统及方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7003187B2 (en) | 2000-08-07 | 2006-02-21 | Rosemount Inc. | Optical switch with moveable holographic optical element |
| AU2003220012A1 (en) | 2002-03-01 | 2003-09-16 | Rosemount Inc. | Optical switch with 3d waveguides |
-
1986
- 1986-02-05 JP JP2476486A patent/JPH0695173B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109596319A (zh) * | 2018-11-26 | 2019-04-09 | 歌尔股份有限公司 | 光学模组参数的检测系统及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0695173B2 (ja) | 1994-11-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AU2014352833B2 (en) | LiDAR scanner calibration | |
| EP2787368A1 (en) | Optical distance measuring apparatus | |
| US4097158A (en) | Half-maximum threshold circuit for optical micrometer | |
| US4704522A (en) | Two dimensional weak emitted light measuring device | |
| US11520049B2 (en) | Pulsed-light detection and ranging apparatus, system and method of detection and ranging of an object in a pulsed light detection and ranging system | |
| JPS62145125A (ja) | 走査型放射温度計 | |
| JPS62182707A (ja) | 光学的な系の走査歪の計測装置 | |
| JP2920680B2 (ja) | アクティブ測距装置 | |
| US20020021137A1 (en) | Method for calibrating a semiconductor testing device, a semiconductor testing apparatus, and a method for testing a semiconductor device | |
| JP3262924B2 (ja) | ２値化法 | |
| RU2052771C1 (ru) | Устройство для контроля изделий | |
| JPH03235007A (ja) | スペックル測長計 | |
| US5270539A (en) | Method and apparatus for non-contact position determination using variable width slit array and linear CCD sensor | |
| SU781561A1 (ru) | Устройство дл измерени координаты оптического пучка | |
| SU1472759A1 (ru) | Способ измерени положени границы объекта и устройство дл его осуществлени | |
| JPH06186071A (ja) | レーザ測距装置によるモールド内溶鋼湯面計測方法 | |
| JP2524357B2 (ja) | 測距用光ファイバ−センサの受光信号処理方法 | |
| JPS6132324Y2 (ja) | ||
| JPS6361110A (ja) | 高速三次元測定方法及び装置 | |
| RU2091711C1 (ru) | Способ измерения дальности и устройство для его осуществления | |
| JPS5914790B2 (ja) | 光学的識別装置 | |
| JP3190061B2 (ja) | 画素を有する光電変換装置の電気出力を処理する方法及びその装置 | |
| SU1174873A1 (ru) | Способ обнаружени спектральных линий радиоизлучени Солнца | |
| JPS61225604A (ja) | 寸法測定方法 | |
| JPH0724256B2 (ja) | サイズ測定装置 |