JPS6216150A - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体噴射記録ヘッド、詳しくは、インク等の
記録用液体の小滴を発生させ、それを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式に用いる記
録用液体の小滴発生用の記録ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

インク等の記録用液体の小滴を発生させ、それを紙など
の被記録材に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式
は、記録時の騒音の発生が無視できる程度に極めて小ざ
く、かつ高速記録が可能であつ、しかも普通紙に定着な
どの特別な処理を必要とせずに記録を行なうことのでき
る記録方式として注目され、最近種々のタイプのものが
活発に研究されている。

液体噴射記録方式に用いられる記録装百の記録ヘッド部
は、一般に、記録用液体を吐出するためのオリフィス（
液体吐出口）と、該オリフィスに連通し、記録用液体を
吐出するためのエネルギーか記録用液体に作用する部分
を有する液体通路と、該液体通路に供給する記録用液体
を貯留するための液室とを有して構成されている。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路の一部を構成する記録用液体に吐出エネルギ
ーを作用させる部分（エネルギー作用部）の所定の位百
に配設された発熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐
出エネルギー発生素子によって発生されるものが多い。

このような構成の液体噴射記録ヘッドを製造する方法と
しては、例えば、ガラス、金属等の平板に切削やエツチ
ング等によって、微細な溝を形成し、更にこの溝を形成
した平板に他の適当な板を接合して液体通路を形成する
工程を含む方法、あるいは例えば吐出エネルギー発生素
子の配Ｍされた基板上に硬化した感光性樹脂の溝壁をフ
ォトリソグラフィ一工程によって形成して、基板上に液
体通路となる溝を設け、このようにして形成された溝付
き板に、他の平板（覆い）を接合して液体通路を形成す
る工程を含む方法が知られている（例えば特開昭５７−
４３８７６号）。

これらの液体噴射記録ヘッドの製造方法のなかでは、感
光性樹脂を使用した後者の方法は、前者の方法に対して
、液体通路をより精度良く、かつ歩留り良く微細加工で
き、しかも量産化が容易であるので、品質が良く、より
安価な液体噴射記録ヘッドを提供することができるとい
う利点を有している。

このような記録ヘッドの製造に用いる感光性樹脂として
は、印刷版、プリント配線等におけるパターン形成用と
して用いられてきたもの、あるいはガラス、金属、セラ
ミックス等に用いる光硬化型の塗料や接着剤として知ら
れでいるものか用いられでおり、また作業能率などの面
からドライフィルムタイプの樹脂が士に利用されてきた
。

〔発明か解決しようとする問題点〕

感光性樹脂の硬化膜を用いた記録ヘッドにおいては、高
度な記録特性、耐久性及び信頼性等の優れた特゛ヰを得
るために、記録ヘッドに用いる感光性樹脂には、 （１）特に、硬化膜としての基板との接着性に優れでい
る、 （２）硬化した際の機械的強度及び耐久性等に優れでい
る、 （３）パターン露光を用いたパターン形成用の際の感度
及び解像度に優れている などの特′注を有していることか要求される。

どころが、これまでに知られている液体噴射記録ヘッド
の形成に用いられる感光′ｉ樹脂としては、上記の要求
特性を全て満足したものが見当たらないのか現状である
。

すなわち、記録ヘッド用の感光性樹脂としで、印刷版、
プリント配線等におけるパターン形成用としで用いられ
ているものは、感度及び解像度においては優れているが
、基板としで用いられるガラス、セラミックス、プラス
チックフィルムなどに対する接着性や密着性に劣り、し
かも硬化した際の機械的強度や耐久性が十分てない。そ
のため、記録ヘッドの製造段階において、または使用に
ともなって、例えば液体通路内の記録用液体の流れを明
答したつ、あるいは液滴吐出方向を不安　・定にするな
どして記録特性を低下させる等、記録ヘッドの信頼性を
著しく損なう原因となる樹脂硬化膜の変形や基板からの
剥離、損０！などが起き易いという欠点を有している。

一方、ガラス、金属、セラミックス等に用いる光硬化型
の塗料や接着剤として知られでいるものは、これらの材
質からなる基板に対する密着性や接着性に優れ、かつ硬
化した際に十分な機械的強度や耐久性か得られるという
利点を有しでいるものの、感度及び解像度に劣るために
、より高強度の露光装曹や長時間の露光操作が必要とさ
れ、また、その特性上、解像度良く精密な高密度パター
ンを得ることかできないために、特に微細な精把加工か
要求される記録ヘッド用としては向いていないという問
題点を有している。

本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであり
、前述したような諸要求特性を全て満足した樹脂硬化膜
からなる液体通路Ｖを有し、安価で精とであり、信頼゛
ｉか高く、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドを提供す
ることを目的とする。

本発明の他の目的は、液体通路か精度良くかつ歩留り良
く微細加工された構成を有した液体噴射記録ヘッドを提
供することにある。

本発明の他の目的は、マルチオリフィス化された場合に
も信頼性が高く、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドを
提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的は以下の本発明によって達成することができ
る。

本発明は、基板面に設けられ、液体の吐出口に連通する
液体通路が、活性エネルギー線によって硬化する樹脂組
成物の層に、該活゛注エネルギー線を用いた所定のパタ
ーン露光を為して前記樹脂組成物の硬化領域を形成し、
該層から未硬化領域を除去して形成されでいる液体噴射
記録ヘッドであって、前記樹脂組成物が （１）アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルお
よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマ
ーに由来する構造単位を主体とする幹鎖に、（Ａ）水酸
基含有アクリルモノマー、（８）アミノもしくはアルキ
ルアミノ基含有アク１ノルモノマー、（Ｃ）カルボキシ
ル基含有アクリルもしくはとニルモノマー、（Ｄ）　Ｎ
−ビニルピロリドンもしくはその誘導体、（Ｅ）ビニル
ピリジンもしくはその誘導体およびＣＦ）下記一般式■
で表わされるアクリルアミド誘導体からなる群より選ば
れた一種以上のモノマーに由来する構造単位を主体とす
る枝鎖が付加されでなるグラフト共重合高分子と、 ＣＨ２＝Ｃ−−−（Ｉ） ０＝Ｃ−ＮＨ−ＣＨ２−０−Ｒ２ （ただし、Ｒ１は水素または炭素原子数が１〜３のアル
キルもしくはヒドロキシアルキル基、Ｒ２は水素または
炭素原子数が１〜４のヒドロキシ基を有してもよいアル
キルもしくはアシル基を表わす。） （２）エチレン性不飽和結合を有する単量体と、（ｉｉ
ｉ）分子内にエポキシ基を２個以上有する化合物の少な
くとも１種を含んでなるエポキシ樹脂に存在するエポキ
シ基の一部を不飽和カルボン酸によってエステル化しで
なる樹脂 とを有してなるものであることを特徴とする液体噴射記
録ヘッドである。

すなわち本発明の記録ヘッドは、基板と、少なくとも液
体通路となる溝を形成する樹脂硬化膜層とを有しでなり
、記録ヘッドを構成する各部材の耐久性及び各部材間で
の接着性に優れ、しかも樹脂硬化膜層が精度良く微細加
工されでおり、優れた記録特性を有し、信頼性も高く、
使用に際しての耐久性にも優れた記録ヘッドである。

以下、図面に従って本発明の液体噴射記録ヘットを詳細
に説明する。

第１図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一例であり、第
１図（ａ）はその主要部の斜視図、第１図（ｂ）は第１
図（ａ）のｃ−ｃ　′線に添った切断断面図である。

この液体噴射記録ヘッドは、基本的に、基板１と、該基
板上に設けられ、所定の形状にパターンニングされた樹
脂硬化膜３Ｈと、該樹脂硬化膜上に積層された覆い７と
を有しでなり、これらの部材によって、記録用液体を吐
出するためのオリフィス９、該オリフィスに連通し、記
録用液体を吐出するためのエネルギーが記録用液体に作
用する部分を有する液体通路６−２及び該液体通路に供
給する記録用液体を貯留するための液室６−１が形成さ
れている。更に、覆いに設けられた貫通孔８には、記録
ヘッド外部から液室６−１に記録用液体を供給するため
の供給管１０が接合されている。尚、第１図（ａ）には
、供給管１０は省略しである。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路６−２の一部を構成する記録用液体に吐出エ
ネルギーを作用させる部分の所定の位置に配設された発
熱素子、圧電素子等の！！！々のタイプの吐出エネルギ
ー発生素子２に、これら素子に接続しである配線（不図
示）を介して吐出信号を所望に応して印加することによ
り発生される。

本発明の記録ヘッドを構成する基板］は、ガラス、セラ
ミックス、プラスチックあるいは金属等からなり、発生
素子２が所望の個数所定位置に配設される。なお、第１
図の例（こおいては発生素子が２個設けられているが、
発熱素子の個数及び配曹は記録ヘッドの所定の構成に応
して適宜決定される。

また、覆い７は、ガラス、セラミックス、プラスチック
あるいは金属等の平板からなつ、融着あるいは接着剤を
用いた接着方法により樹脂硬化膜３Ｈ上に接合されてお
り、また所定の位置に供給管１０ヲ接続するための貫通
孔８か設けられでいる。

本発明の記録ヘッドにおいて、液体通路６−２及び液室
６−１の壁を構成する所定の形状にパターンニングされ
た樹脂硬化膜３日は、基板１上に、または覆い７上に設
けた以下に説明する組成の樹脂組成物からなる層をフォ
トリソグラフィ一工程によってパターンニングして得ら
れたものである。

なお、該樹脂硬化膜３Ｈは、以下に説明する組成の樹脂
組成物からなる覆いに一体化しで、パターンニングされ
たものであっても良い。

このような少なくとも液体通路となる部分を構成するた
めに基板上（こ設けられた樹脂硬化膜を形成するために
用いる樹脂組成物は、 （１）アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルお
よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマ
ーに由来する構造単位を主体とする幹鎖に、（Ａ）水酸
基含有アクリルモノマー、ＣＢ）アミノもしくはアルキ
ルアミノ基含有アクリルモノマー、（Ｃ）カルボキシル
基含有アクリルもしくはビニルモノマー、（Ｄ）　Ｎ−
ビニルピロリドンもしくはその誘導体、（Ｄビニルピリ
ジンもしくはその誘導体およびＣＦ）下記一般式１で表
わされるアクリルアミド誘導体からなる群よつ選ばれた
一種以上のモノマーに由来する構造単位を主体とする枝
鎖が付加されでなるグラフト共重合高分子と、 Ｃ）１２＝Ｃ−−−（Ｉ） ■ ０＝ＣＮＨＣＨ！　　０−Ｒ２ （ただし、Ｒ１は水素または炭素原子数が１〜３のアル
キルもしくはヒドロキシアルキル基、Ｒ２は水素または
炭素原子数が１〜４のヒドロキシ基を有してもよいアル
キルもしくはアシル基を表わす、） （ｉｉ）エチレン性不飽和結合を有する単量体と、（ｉ
　ｉ　ｉ）分子内にエポキシ基を２個以上有する化合物
の少なくとも１種を含んでなるエポキシ樹脂に存在する
エポキシ基の一部を不飽和カルボン酸によってエステル
化してなる樹脂 とを有してなる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物であ
り、特に硬化膜とした際にガラス、プラスチック、セラ
ミックス等からなる基板に対して良好な接着性を有し、
かつインク等の記録用液体に　対する耐性及び機械的強
度にも優れ、しかも活性エネルギー線によるバターニン
グによって精密で高解像度のパターンを形成することが
できるという液体噴射記録ヘッドの構成部材として優れ
た特性を有するものである。更に、この樹脂組成物は、
ドライフィルムとして用いることができ、そのｍ＋こも
上記の優れた特性が発揮される。

以下、この本発明の記録ヘッドの形成に用いる活性エネ
ルギー硬化型樹脂組成物の組成について詳細に説明する
。

この活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の必須成分であ
る（ｉ）グラフト共重合高分子は、構造材料としての適
性を有する比較的剛直な性状を有する幹鎖に、親水性を
有する上記（Ａ）〜（Ｆ）のモノマーを主体にし、支持
体への優れた密着性を発揮する枝鎖を付加して成るもの
である。

上記グラフト共重合高分子を構成するに際しで、その枝
ｍｔ構成すべく用いる上記（Ａ）〜（Ｆ）のモノマーを
具体的に示せば、（Ａ）の水酸基含有アクリルモノマー
としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート
（以下、（メタ）アクリレートと記す場合、アクリレー
トおよびメタアクリレートの双方を含むこと意味するも
のとする。）、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリ
レート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）
アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレ
ート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、５
−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、６−ヒド
ロキシエチル（メタ）アクリレート、あるいは１．４−
シクロヘキサンジメタツールとアクリル酸またはメタア
クリル酸とのモノエステルなどが挙げられ、商品名アロ
ニツクスＭ５７００（東亜合成化学■製）　、ＴＯＮＥ
Ｍｌｏｏ　　（カプロラクトンアクリレート、ユニオン
カーバイド■製）、ライトエステルＨＯ−ｍｐｐ　（共
栄社油脂化学工業■製）、ライトエステルＭ−６００Ａ
（２−ヒドロキシ−３−ノエノキシブロビルアクリレー
トの商品名、共栄社油脂化学工業■製）として知られて
いるものや、二価アルコール類、例えばｌ、１０−デカ
ンジオール、ネオペンチルグリコール、ビス（２−ヒド
ロキシエチル）テレフタレート、ビスフェノールＡとエ
チレンオキシドまたはプロピレンオキシドとの付加反応
物等と（メタ）アクリル酸とのモノエステル等ヲ使用す
ることができる。

ＣＢ）のアミノもしくはアルキルアミノ基含有アクリル
モノマーとしては、（メタ）アクリルアミド、Ｎ、Ｎ−
ジメチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ、Ｎ
−ジメチル（メタ）アクリルアミド、ｆｆ、Ｎ−ジメチ
ルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ、　Ｎ−
ジｔ−ブチルアミノエチル（メタ）アクリルアミドなど
が挙げられる。

（Ｃ）のカルボキシル基含有アクリルもしくはごニルモ
ノマーとしでは、（メタ）アクリル酸、フマール酸、イ
タコン酸あるいは東亜合成化学■製品の商品名アロニツ
クスＭ−５４００、アロニツクスＭ−５５００等で知ら
れるものか挙げられる。

（Ｅ）のビニルピリジンもしくはその誘導体としては、
２−ビニルピリジン、４〜ビニルピリジン、２−ビニル
−６−メチルピリジン、４−どニル−１−メチルどリジ
ン、２−ビニル−５−エチルピリジン、４−（４−ピペ
ニリノエチル）ピリジン等が挙げられる。

上記（Ａ）〜（Ｅ）のモノマーは、その何れもが親水性
を有するものであり、本発明に用いる該組成物がガラス
、セラミックス、プラスチックなどの支持体に接着する
際に、強固な密着性を付与するものである。

（Ｆ）の一般式Ｉで表わされるアクリルアミド誘導体と
しでは、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−
プロポキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ−ブ
トキシメチル（メタ）アクリルアミド、β−ヒドロキシ
エトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エトキシ
メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（
メタ）アクリルアミド、α−ヒドロキシメチル−Ｎ−メ
チロールアクリルアミド、α−ヒドロキシエチル−Ｎ−
ブトキシメチルアクリルアミド、α−ヒドロキシプロピ
ル−Ｎ−７０ボキシメチルアクリルアミド、α−エチル
−Ｎ−メチロールアクリルアミド、α−プロピル−Ｎ−
メチロールアクリルアミド等の親水゛ｉで且つ熱架橋性
を何するモノマーが挙げられる。これらモノマーＣＦ）
は、親木性はもとより加熱による縮合架橋性を有してお
り、一般には１００℃以上の温度で水分子あるいはアル
コールが脱離し架橋結合を形成してグラフト共重合高分
子自体（こも硬化後に網目構造を形成させ、硬化して得
られるパターンの耐薬品性および機械的強度等をより一
層向上させ、本発明をより効果的なものとするものであ
る。

また、上記（Ａ）〜（Ｆ）のモノマーに、熱によって開
環し、架橋するモノマー、例えばグリシジル（メタ）ア
クリレートを一部添加し枝ｍｔ構成することによって、
上記ＣＦ）におけると同様の効果が得られるものである
。

上記熱架橋の他、同様の目的で本発明における樹脂硬化
膜形成用の樹脂組成物に含まれるグラフト共重合体の枝
鎖の一部に光重合性モノマーを導入し、活性エネルギー
線によってグラフト共重合高分子を架橋させることも有
効である。このような、枝鎖に光重合性を付与させるた
めの方法としでは、例えば、 ■（メタ）アクリル酸等に代表されるカルボキシル基含
有モノマー、またはアミノ基もしくは三級アミノ基含有
モノマーを共重合させ、しかる後にグリシジル（メタ）
アクリレート等と反応させる方法、 ■１分子内に１個のインシアネート基と１個以上のアク
リルエステル基を持つポリインシアネートの部分ウレタ
ン化合物と、枝鎖の水酸基、アミノ基あるいはカルボキ
シル基とを反応させる方法、 ■枝鎖の水酸基にアクリル酸クロライドを反応させる方
法、 ■枝鎖の水酸基に酸無水物を反応させ、しかる後にグリ
シジル（メタ）アクリレートを反応させる方法、 ［相］枝鎖の水酸基と（Ｆ）に例示した縮合架橋性モノ
マーとを縮合させ、側鎖にアクリルアミド基を残す方法
、 ■枝鎖の水酸基にグリシジル（メタ）アクリレートを反
応させる方法、 等の方法を用いることができる。

グラフト共重合高分子の枝鎖が熱架橋性である場合１こ
は、活性エネルギー線の照射によりパターンを形成した
後に加熱を行なうことが好ましい。

一方、上記枝鎖が光重合性である場合にも、支持体の耐
熱性の面で許容され得る範囲内で加熱を行なうことは何
ら問題はなく、むしろより好ましい結果を与える。

尚、枝鎖は前記（Ａ）〜（Ｆ）に例示したような親木性
モノマーのみに由来するものの他、その他の種々の機能
を発揮させる各種の疎水性モノマー等を０〜約２５重里
％までの範囲内で共重合の成分として用いで成る枝鎖で
あってもよい。

グラフト共重合高分子の幹鎖を構成するモノマーは、メ
チルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、イソ
ブチルメタアクリレート、ｔ−ブチルメタアクリレート
などのアルキル基の炭素数か１〜４のアルキルメタアク
リレート、アクリロニトリルおよびスチレンである。

幹鎖は上記モノマーのみに由来するものの他、例えば上
記モノマーに、メチルアクリレート、エチルアク１ル−
ト、ｎ−ブチルアクリレート、ラウリルアクリレート、
ｎ−ブチルメタアクリレート、２−エチルへキシルメタ
アクリレート、グリシジルメタアクリレート、酢酸ビニ
ル等を０〜約５０重量％すでの範囲内で共重合の成分と
しで用いて成る幹鎖てあってもよい。

本発明の記録ヘッドの形成に用いるこの樹脂組成物にお
いで、上記幹鎖は該組成物に高い凝集強度を与える。該
組成物は、記録ヘッドの形成に際して溶液状あるいは固
形のフィルム状等、使用目的に応した種々の形状で提供
されるが、該組成物をフィルム状で維持するためには、
約５０℃以上のガラス転移温度を有する比較的剛直な幹
鎖を用いることか好ましい。この際、用いる幹鎖はガラ
ス転移温度の異なる二種以上のものから構成されたもの
でもよい。また、該組成物を溶液状にて用いるのであれ
ば、該組成物に柔軟性を与えるようなガラス転移温度の
低い幹Ｍ％用いることも可能である。しかしながら、こ
の場合にも、優れた耐薬品性と高い機械的強度を有する
パターンを得るためには、幹鎖をガラス転移温度の高い
ものとすることか好ましい。

本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に用いら
れるグラフト共重合高分子は、硬化性を有しないもの、
光重合性のもの、および熱架橋性のものに大別されるが
、何れにしでも本発明に用いる組成物の硬化工程（すな
わち、活性エネルギー線照射および必要に応じての熱硬
化）においで、該組成物に形態保持゛ｉを付与して精密
なパターニングを可能にするとともに、硬化しで得られ
るパターンに対しては優れた密着性、耐薬品性ならびに
高い機械的強度を与えるものである。

以上のようなグラフト共重合高分子は、公知の方法によ
って製造することか可能であり、具体的には例えば「ポ
リマーアロイ基礎と応用」１０〜３５頁（高分子学会編
集、東京化学同人−発行、１９８１年）に記載されでい
るような種々の方法によって製造することかできる。そ
れらの方法を例示すれば、■連鎖移動法、■放射線を用
いる方法、■酸化重合法、■イオングラフト重合法、■
マクロモノマー法か挙げられる。本発明の記録ヘッドの
形成に用いる樹脂組成物に含まれるグラフト共重合体は
、枝鎖の長さかそろっている方か界面活性効果が顕著と
なるので、■、■の方法を用いるのが好ましく、中でも
■のマクロモノマー法が材料設計上有利であり、特に好
ましい。グラフト共重合体の重量平均分子Ｉは、約５０
００〜３０万の範囲が好ましく、ドライフィルムとして
用いる場合には、約３万〜３０万の範囲か好ましい。

本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に用いる
エチレン性不飽和結合を有する単量体（ｉｉ）とは、後
に説明する樹脂成分（ｉｉｉ）とともに、本発明に用い
る樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に活性エネルギー線に
よる硬化性を発揮させ、とつわけこれに活性エネルギー
線に対する優れた感度を付与するための成分であり、好
ましくは大気圧下で１００℃以上の沸点を有し、エチレ
ン性不飽和結合を２個以上有するものであって、活性エ
ネルギー線の照射で硬化する公知の種々の単量体を用い
ることかできる。

そのような２個以上のエチレン性不飽和結合を有する単
量体を具体的に示せば、例えば■１分子中に２個以上の
エポキシ基を有する多官能エポキシ樹月旨のアクリル酸
エステノしまたはメタアク１ノル酸エステル、■多価ア
ルコールのアルキレンオキシド付加物のアクリル酸エス
テルまたはメタアクリル酸エステル、■二塩基酸と二価
アルコールから成る分子量５００〜３０００のポリエス
テルの分子鎖末端にアクリル酸エステル基を持つポリエ
ステルアクリレート、■多価イソシアネートと水酸基を
有するアクリル酸モノマーとの反応物が挙げられる。上
記■〜■の単量体は、分子内（こウレタン結合を有する
ウレタン変性物であってもよい。

■に属する単量体としては、後述する該樹脂組成物の（
ｉｉｉ）の樹脂成分（ハーフェステル化エポキシ樹脂）
の生成に用いられる多官能エポキシ樹脂のアクリル酸ま
たはメタアクリル酸エステルなどが挙げられる。

■に圧する単量体としでは、エチレシグリコールジ（メ
タ）アクリレート、ジエチレングリコール（メタ）アク
リレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、　１．６ヘキサンジオール（メタ）アクリレート
、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ペ
ンタエリストールトリ（メタ）アクリレートなどが挙げ
られ、商品名ＫＡＹＡＲＡＤ　　ＨＸ−２２０、ＨＸ−
６２０、Ｄ−３１０、Ｄ−３２０、Ｄ−３３０、ＤＰＨ
Ａ、　Ｒ−６０４、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３０、
ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０（以上、日本化薬■
製）、商品名Ｎにエステル８ＰＥ−２００、ＢＰＥ−５
００、ＢＰＥ−１３００、Ａ−８ＰＥ−４（以上、新中
村化学■製）等で知られるものを使用できる。

■に属する単量体としては、商品名アロニツクスＭ−６
１００、Ｍ−６２００、Ｍ−６２５０、Ｍ−６３００、
Ｍ−６４００、Ｍ−７１００、Ｍ−８０３０、Ｍ−８０
６０、Ｍ−８１００Ｃ以上、東亜合成化学■製）なくか
挙げられる。■に属し、ポリエステルのウレタシ結合金
有するものとしては、部品名アロニツクスＭ−１１００
、アロニツクスＭ−１２００（以上、東亜合成化学■製
）等として知られるものが挙げられる。

■に属する単量体としでは、トリレンジイソシアナート
、イソホロンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソ
シアナート、トリメチルへキザメチレンジインシアナー
ト、リジンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソ
シアナートなどのポリイソシアナートと水酸基含有アク
リルモノマーとの反応物が挙げられ、商品名スミジュー
ルＮ（ヘキサメチレンジイソシアナートのビユレット誘
導体）、スミジュールＬＨ−リレンジインシアナートの
トリメチロールプロパン変性体）（以上、住友バイエル
ウレタン■製）等で知られるポリイソシアナート化合物
に水酸基含有の（メタ）アクリル酸エステルを付加した
反応物などを使用できる。ここで言う水酸基含有アクリ
ルモノマーとしでは（メタ）アクリル酸エステルが代表
的なもので、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキ
シエチルメタアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリ
レートが好ましい。また、本明細書中のグラフト共重合
高分子の枝鎖に用いられるものとして挙げた水酸基含有
の他のアクリルモノマーも使用することができる。

上記したような２個以上のエチレン性不飽和結合を有す
る単量体の他、これ等と共に例えば以下に列挙するよう
なエチレン性不飽和結合を１個だ（丈有する単量体も用
いることができる。そのような１個のエチレン性不飽和
結合を有する単量体を例示すれば、例えばアクリル酸、
メタアクリル酸などのカルボキシル基含有不飽和モノマ
ー：グリシジルアクリレート、グリシジルメタアクリレ
ートなどのグリシジル基含有不飽和モノマー：ヒドロキ
シエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタアクリレ
ート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシプ
ロピルメタアクリレート等のアクリル酸またはメタクリ
ル酸のＣ２〜Ｃ８ヒドロキシアルキルエステル：ポリエ
チレングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリ
コールモノメタアクリレート、ポリプロどレンゲリコー
ルモノアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメ
タアクリレート等のアクリル酸またはメタクリル酸とポ
リエチレングリコールまたはポリプロピレングリコール
とのモノエステル：アクリル酸メチル、アクリル酸エチ
ル、アクリル酸プロピル、アクリル酸イソプロピル、ア
クリル酸ブチル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸オク
チル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸シクロヘキシル
、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリ
ル酸プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル
酸ブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸オクチ
ル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸シクロヘキシ
ル等のアクリル酸またはメタクリル酸のＣｌ−ＣＩ２ア
ルキルまたはシクロアルキルエステル：その他のモノマ
ーとしで、例えばスチレン、ビニルトルエン、メチルス
チレン、酢酸ビニル、塩化ビニル、ビニルインブチルエ
ーテル、アクソロニトリル、アクリルアミド、メタクリ
ルアミド、アルキルグリシジルエーテルのアクリル酸ま
たはメタクリル酸付加物、ビニルピロ１ノトン、ジシク
ロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ε−
カプロラクトン変性ヒドロキシアルキル（メタ）アクリ
レート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、フェノ
キシエチルアクリレートなど：か挙げられる。

何れにしても、上記エチレン性不飽和結合を有する単量
体を使用することにより、本発明の記録ヘッドの形成に
用いる該樹脂組成物に活性エネルギー線に対する高感度
で十分な硬化性が付与される。

本発明においで樹脂硬化膜形成用としで用いる該樹脂組
成物に含まれる１分子内にエポキシ基を２個以上含む化
合物の１種以上からなるエポキシ樹脂に存在するエポキ
シ基の一部を、不飽和カルボン酸によってエステル化し
て得られる樹脂成分（ｉｉｉ）　　（以後、ハーフェス
テル化エポキシ樹脂と略称する）は、該樹脂硬化膜形成
用樹脂組成物に前述したエチレン性不飽和結合を何する
単量体（ｉｉ）とともに活性エネルギー線による硬化性
を発揮させ、これに加えで、該樹脂組成物をガラス、プ
ラスチックス、セラミックス等からなる各種゛支持体上
（こ液体状で塗布してからこれを硬化させて硬化膜とし
て形成した際の、あるいはドライフィルムの形で各種支
持体上に接着しで用いた際の該樹脂、組成物からなる硬
化膜に、より良好な支持体との密着姓、耐水′ｉ、耐薬
品性、寸法安定゛け等を付与するための成分である。

このハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）は、エポ
キシ樹脂に、所定量の不飽和カルボン酸を、付加触媒及
び重合禁止剤の共存下で、溶媒の存在下若しくは不存在
下においで、８０〜１２０℃　の温度条件によって反応
させて、エポキシ樹脂に存在するエポキシ基の一部をカ
ルボン酸でエステル化（ハーフニスチル化）するなどの
方法によって得ることができる。

ハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）の形成に用い
ることのできる１分子内にエポキシ基を２個以上含む化
合物の１種以上を含んでなるエポキシ樹脂としでは、ヒ
゛スフエノールＡ型、ノボラック型、脂環型に代表され
るエポキシ樹脂、あるいは、ビスフェノールＳ、ビスフ
ェノールＦ、テトラヒドロキシフェニルメタンテトラグ
リシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテ
ル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリス
トールトリグリシジルエーテル、イソシアヌール酸トリ
グリシジルエーテルおよび下記一般式ＩＩ （ただし、Ｒはアルキル基またはオキシアルキルキル基
を表わす） で表わされるエポキシウレタン樹脂等の多官能性のエポ
キシ樹脂及びこれらの一種以上の混合物などを挙げるこ
とかできる。

なお、これら多官能゛注エポキシ樹脂の具体例としでは
以下のようなものを挙げることかできる。

すなわち、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂としでは、
例えばエピコー１−８２８．８３４．８７１．１００１
、＋００４　（商品名、シェル化学社製）　、ＤＥＲ３
３１−Ｊ　、３３７−Ｊ　、６６１−Ｊ　、６６４−Ｊ
　、６６７−Ｊ　　（ダウケミカル社製）及びエビクロ
ン８００（商品名、大日本インキ化学工業−社製）など
：ノボラック型エポキシ樹脂としでは、例えばエピコー
ト１５２．１５４　、１７２、（商品名、シェル化学社
製）、アラルダイトＥＰＮ　１１３８　（商品名、チバ
ガイキー社製）　、　ＤＥＲ４３１，４３８及び４３９
（商品名、ダウケミカル社製）など：脂環式エポキシ樹
脂としては、例えばアラルダイトｃＹａ７５、−１７６
．１７９、−１８２、−１８４、−１９２　（商品名、
チバガイギー社製）、チッソノツウス０９０．０９１、
ｏ９２．３ｏ１．３１３（商品名、チッソ■社製）、シ
ラキュアー（ＣＹＲＡＣＵＲＥ）６１００．６１１Ｏ２
６２００及び　ＥＲＬ　４０９０．４６１７．２２５６
．５４１１（商品名、ユニオンカーバイド社製）など：
脂肪族多価アルコールの多価グリシジルエーテル類とし
ては、例えばエチレングリコールジグリシジルエーテル
、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロ
ピレングリコールジグツシジルエーテル、ポリプロどレ
ンゲリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリ
コールジグリシジルエーテル、１．６−へ主サンジオー
ルジグリシジルエーテル、グソセソンジグリシジルエー
テル、トワメチロールプロパントリグリシジルエーテル
、水素添加ビスフェノールＡのジグリシジルエーテル、
２，２−ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジル
エーテル等：芳香族多価アルコールから誘導された多価
グリシジルエーテルとしては、ビスフェノールへのアル
キレンオキシドの２〜１６モル付加体のジグリシジルエ
ーテル、ビスフェノールＦのアルキレンオキシドの２〜
１６モル付加体のジグリシジルエーテル、ビスフェノー
ルＳのアルキレンオキシドの２〜１６モル付加体のジグ
リシジルエーテルなどがある。

エポキシ樹脂のハーフェステル化に用いることのできる
不飽和カルボン酸としては、種々のものを用いることか
できるが、本発明に用いるの該樹脂組成物に、より良好
な活゛け化工ネルキーによる硬化性を付与するためには
、少なくとも分子の一方の末端にアクリル性若しくはメ
タアクリル性ビニル基を有し、他方の末端にカルボキシ
ル基を有した一塩基性の不飽和カルボン酸を好適なもの
としで用いることができる。

そのような不飽和カルボン酸の代表例としては、アクリ
ル酸及びメタアクリル酸が挙げられるが、ジカルボン酸
と１個のヒドロキシル基を有する（メタ）アクリル酸エ
ステルとを反応させで得られるモノエステル化合物も使
用することができる。

上記のジカルボン酸としてはフタル酸、イソフタル酸、
テレフタル酸、シュウ酸、マロン酸、こはく酸、グルタ
ル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スペリン酸、アセライ
ン酸、セバシン酸、イソセバシン酸、テトラヒドロフタ
ル酸及びこれらの無水物などを挙げることができる。

また、上記の１個のヒドロキシル基を有する（メタ）ア
クリル酸エステルとしては、２−ヒドロキシプロピル（
メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロ
ピル（メタ）アクリレート、４〜ヒドロキシブチル（メ
タ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アク
リレート、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレー
ト及び６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート等
を挙げることかできる。

エポキシ樹脂のハーフェステル化反応に用いることので
きる付加反応触媒としては、例えば塩化亜鉛、塩化リチ
ウムなどの金属ハロゲン化物、例えばジメチルサルファ
イド、メチルフェニルサルファイドなどのサルファイド
類の化合物、例えばジメチルスルホキシド、メチルエチ
ルスルホキシドなどのスルホキト類の化合物、例えばＮ
、Ｎ−ジメチルアニリン、とリジン、トリエチルアミノ
、ペンシルジメチルアミノなどの第３級アミノ類の化合
物及びその塩酸塩若しくは臭酸塩、例えばテトラメチル
アンモニウムクロライド、トリメチルドデシルベンジル
アンモニウムクロライド、トリエチルベンジルアンモニ
ウムクロライドなどの第４級アンモニウム塩、例えばパ
ラトルエンスルホン酸などのスルホンＭ類の化合物及び
例えばエチルメルカプタン、プロピルメルカプタンなど
のメルカプタン類の化合物などを挙げることができる。

更に、ハーフェステル化（ご用いることのできる重合禁
止剤としては、例えばハイドロキノン、アルキル若しく
はアリール言換ハイドロキノン、第３ブチルカテコール
、ピロガロール、ナフチルアミノ、β−ナフトール、塩
化第一銅、２．６−ジ第３　　　　　゛ブチルー叶クレ
ゾール、フェノチアジン、ピリジン、Ｎ−ニトロンジフ
ェニルアミノ及びニトロへアセ′）などを挙げることが
できる。

また、ハーフェステル化を溶媒の存在下で行なう場合に
使用することのできる溶媒としでは、トルエン、キシレ
ン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、酢
酸エチル、酢酸ブチル及び酢酸イソブチルなどヲ挙げる
ことができる。

ハーフェステル化の際のエポキシ樹脂と不飽和カルボン
酸の使用量は、エポキシ樹脂のエポキシ基と不飽和カル
ボン酸のカルボキシル基との比率が、好ましくはＩ　：
０．２〜　Ｉ　：０．７　、よつ好ましくは１０．２〜
Ｉ　：０．５５となるように適宜選択される。

すなわち、ハーフェステル化エポキシ樹脂における不飽
和カルボン酸（こよるエポキシ基のエステル化率が、上
記の範囲よりも高いと、エポキシ樹脂に由来の良好な耐
薬品性や寸法安定性等を本発明の記録ヘットの形成に用
いる該樹脂組成物に有効に活すことかできない。また、
このエステル化率か上記の範囲よりも低いと、本発明の
記録ヘッドを形成する際のパターン形成性が悪くなる。

更に詳しく説明すると、前出のエチレン性不飽和結合を
有する単量体を該樹脂組成物から形成される硬化膜の特
粧を損なわない程度、いいかえれば本発明において示す
範囲内で可能なだけ量を増しで使用しても、パターン露
光による重合における重合率か低く、現像液に対する溶
解度のコントラストか低いものしか得られず、その結果
パターンの輪郭部に鮮明性か得られず、また鮮明なパタ
ーを得るための作業条件か極めて狭くなる。

以上説明したように、本発明の記録ヘットの形成に用い
る活性エネルギー線硬化型樹脂組成物には、必須成分と
しで含有されるエチレン性不飽和結合を有する単量体（
ｉｉ）及びハーフェステル化エポキシ樹脂（ｊ目）の有
する不飽和二重結合に基づく活性エネルギー線に対する
高感度Ｃ十分な硬化性に加え、ハーフェステル化エポキ
シ樹脂（ｉｉｉ）の有するエポキシ基に基づく熱硬化性
を有しでおり、例えば、この樹脂組成物に活性エネルギ
ー線を照射させて硬化させた後、８０°Ｃ以上で、１０
分〜３時間程度加熱して更に熱硬化させて得た硬化膜に
は、エポキシ樹脂に由来する良好な支持体との密着性、
耐薬品性や寸法安定注等が更に有効に付与される。

本発明に用いる樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物は、活性エネルギー線として波長２５０
ｎｍ〜４５０ｎｍの活性エネルギー線そ用いる場合には
、活性エネルギー線の作用により賦活化し得る有機遊離
ラジカル生成性のラジカル重合開始剤を該樹脂組成物中
（こ添加しておくことか好ましい。このラジカル重合開
始剤としでは、活性エネルギー線によって賦活化し、有
機遊離ラジカルを生成しで、ラジカル重合を開始させる
性質を有する公知の物質を特に限定することなく使用で
きる。

そのようなラジカル重合開始剤を具体的に示せば、ヘン
シル、ヘンジインアルキルエーテル類・ヘンジインイソ
ブチルエーテル、ヘンゾインイソブロビルニーテル、ヘ
ンジイン−ｎ−ブチルエーテル、ヘンジインエチルエー
テル、ヘンジインメチルエーテルなど、ヘンシフエノン
類：ベンゾフェノン、４．４′−ビス（１’ｒ、　Ｎ−
ジエチルアミノ）ヘンシフエノン、ヘンシフエノンメチ
ルエーテルなど、アントラキノン類：２−エチルアント
ラキノン、２−ｔブチルアントラキノンなど、キサント
ンＭ：２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジイ
ソプロピルチオキサントンなど、アセトフェノン類：２
．２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、α９
　α−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、ｐ−
ｔｅｒｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ　−ｔ
ｅｒｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、２，２−ジヱ
トキシアセトフエノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェ
ノンなど、あるいはヒドロキシシクロへキシルフェニル
ケトン（イルガキュア１８４　　チバ・ガイキーｔ！＠
製）、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロ
キシ−２−メチルプロパン−１−オン（グロキュア１１
１６　　メルク（ＶＥＲＣＫ）■製）、２−ヒドロキシ
−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン（グ
ロキュア１１７３　　メルり＃＠製ン等が好適に用いら
れるものとして挙げられる。これらのラジカル重合開始
剤に加えて、光重合促進剤としてアミノ化合物を添加し
でもよい。

光重合促進剤に用いられるアミノ化合物としでは、エタ
ノールアミノ、エチル−４−ジメチルアミノヘンゾエー
ト、２−（ジメチルアミノ）エチルヘンシェード、ｐ−
ジメチルアミノ安息香酸ｎ−アミルエステル、ｐ−ジメ
チルアミノ安息香酸インアミルエステル等が挙げられる
。

更に、本発明に用いる活性エネルギー線硬化型樹脂組成
物には、ハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）の有
するエポキシ基についても、活性エネルギー線の作用に
より光重合が行なわれるように、特公昭５２−１４２７
８号公報に示されている第Ｖｉａ族に居する元素を含む
光感知性を有する芳香族オムニラム塩化合物、または特
公昭５２−１４２７９号公報に示されでいる第Ｖａ族に
属する元素を含む光感知性を有する芳香族オムニラム塩
化合物を配合することができる。

第ＶＴａ族若しくは第Ｖａ族に属する元素の光感知性の
芳香族オムニラム塩化合物には、代表的には下記一般式
■： ［（Ｒ）ＩＩ　（Ｒ’）ｂ　（Ｒ２）ｃｘ］、ｉ　［Ｍ
Ｑ、ドａ−＋＋・・・（ＩＩＩ） （上記式中、Ｒは一価の有機芳香族基、Ｒ１はアルキル
基、ジシクロアルキル基及び１換アルキル基から選らば
れる一価の有機脂肪族基、Ｒ２は脂肪族基及び芳香族基
から選らばれる複素環若しくは縮合環構造を構成する多
価有機基、Ｘはイオウ、セレン及びテルルから選らばれ
る第ＶＴａ族または窒素、リン、ヒ素、アンチモン及び
ビスマスから選らばれる第Ｖａ族に属する元素、Ｍは金
属または半金属及びＱはハロゲン基をそれぞれ表わし、
ａはＸが第ＶＴａ族に属する元素である場合にはＯ〜３
の整数、Ｘが第Ｖａ族に屈する元素である場合にはＯ〜
４の整数、ｂは０〜２の整数、ＣはＸが第ＶＴａ族に属
する元素である場合には０または１の整数、Ｘが第Ｖａ
族に属する元素である場合にはＯ〜２の整数、ｆはＭの
価数で２〜７の整数、ｅはｆより大で８以下の整数であ
り、かつａとｂとＣの和はＸが第ＶＴａ族に属する元素
である場合には３、Ｘが第Ｖａ族に属する元素である場
合には４及びｄ＝ｅ−ｆである）で表される化合物があ
り、これらに光を照射するとオニウム塩がルイス酸を放
出し、これがエポキシ樹脂を硬化させるという特性を有
する。

このような第ＶＴａ族若しくは第Ｖａ族に屈する元素を
含む光感知性の芳香族オムニラム塩化合物の具体例とし
ては、例えば などの第Ｖｌａ族に属する元素の光感知性の芳香族オム
ニラム塩、及び例えば などの第Ｖａ族に属する元素の光感知性の芳香族オムニ
ラム塩などヲ挙げることができる。

本発明に用いる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を構
成する前記材料の構成比率は、グラフト共重合高分子（
ｉ）　２０〜８０重量部、好ましくは２０〜５０重量部
、エチレン性不飽和結合を有する単量体（ｉｉ）とハー
フェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）の合計８０〜２０
重量部、好ましくは５０〜８０重量部とされる［（ｉ）
÷（ｉｉ）＋（ｉｉｉ）＝　１００重量部］。

また、エチレン性不飽和結合を有する単量体（ｉｉ）と
ハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）との含有比が
、３０　：　７０〜７０　：　３０となるようにこれら
の成分を用いるのが各々の成分の特徴をともに有効に発
揮させるために好ましい。

すなわち、ハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）は
支持体との密着性、耐薬品性、寸法安定性等の硬化膜の
物件を、エポキシ樹脂硬化膜のその優れた物性に近づけ
るために、またエチレン性不飽和結合を有する単量体（
ｉｉ）は、活性化エネルギーに対する高い感度を樹脂組
成物に付与するためにそれぞれ有効であり、成分（ｉｉ
）と（ｉｉｉ）の含有比が上記のような範囲内にあれば
、両者の性質をともに具備した樹脂組成物及び該組成物
からの硬化膜を得ることができる。これに対しで、ハー
フェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）の含有率が上記の
範囲よりも高いと、樹脂組成物中に活性エネルギー線に
対する硬化゛ｉに直＋９関与する成分の十分な含有量か
得られず、例えばパターンを形成する場合に、パターン
露光による重合にあける重合率が低くなり、その結果パ
ターンの輪郭部に鮮明性が得られず、また鮮明なパター
ンを得るための作業条件が極めて狭くなる。更に、ハー
フェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）の含有率が上記の
範囲よりも低いと、樹脂組成物中でのエポキシ基の含有
量が少なくなり、その結果露光後の加熱による重合反応
が起りにくくなり、優れた支持体との密着性、耐薬品性
、寸法安定性等の特性が十分に発現しないので好ましく
ない。

本発明で用いる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物に、
活性化工ネルキー線の作用により賦活化するラジカル重
合開始剤を用いる場合の該重合開始剤は、グラフト共重
合高分子、エチレン性不飽和結合を有する単量体及びハ
ーフェステル化エポキシ樹脂より成る樹脂成分［（１）
・（ｉｉ）・（ｉｉｉ）３１００重量部に対して０．１
〜２０重量部、好ましくは１〜１０重量部の範囲である
。

また、第Ｖｌａ族若しくは第Ｖａ族にイする元素を含む
光感知性の芳香族オムニラム塩を用いる場合の該化合物
の含有量は、グラフト共重合高分子、エチレン性不飽和
結合を有する単量体およびハーフェステル化エポキシ樹
脂［（１）・（２）・（自′ｌ）］脂より成る樹脂成分
１００重量部に対して０．２〜１５重量部、好ましくは
０．５〜１０重量部の範囲である。

本発明で用いる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を溶
液状で用いる際、あるいはドライフィルムとする際のフ
ィルム基材であるプラスチックフィルムなどの上に塗布
する場合などに用いる溶剤としでは、アルコール類、グ
リコールエーテル類、グリコールエステル類等の親水性
溶剤などが挙げられる。もちろん、これら親水性溶剤を
主体とし、それらに必要に応じてメチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトン等のケトン類、酢酸エチル、酢
酸イソブチル等のエステル類、トルエン、キシレン等の
芳香族炭化水素及びそのハロゲン置換体、塩化メチレン
、１．１．１−トリクロルエタン等の塩素含有の脂肪族
溶剤等を適宜混合したものを用いることもできる。尚、
これら溶剤は、本発明で用いる樹脂組成物の現像液とし
て用いることもできる。

本発明で用いる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物には
、上記ラジカル重合開始剤あるいは溶剤の他、例えば縮
合架橋の触媒、熱重合禁止剤、着色剤（染料及び顔料）
、微粒子状充填剤、密着促進剤、可塑剤等の添加物を必
要に応じて含有させることができる。

縮合架橋触媒としては、パラトルエンスルホン酸に代表
されるスルホン酸、ギ酸などのカルボン酸等が挙げられ
る。熱重合禁止剤としでは、ハイドロ主ノンおよびその
誘導体、バラメトキシフェノール、フェノチアジン等が
挙げられる。着色剤としては、油溶性染料及び顔料が活
性エネルギー線の透過を実質的に防げない範囲で添加さ
れ得る。充填剤は、塗膜の硬度上昇、着色、密着性、機
械的強度上昇のために、塗料一般で使用される体質顔料
、プラスチック微粒子等が用いられる。

密着促進剤としては、無機質表面改質剤としてのシラン
カップリング剤、低合子界面活性剤が本発明で用いる該
組成物に有効である。

また、本発明で用いる活性エネルギー線硬化型樹脂組成
物には、エポキシ樹脂の硬化剤を必要に応じて添加しで
もぎしつがえない。本発明で用いる該樹脂組成物に添加
することのできるエポキシ樹脂の硬化剤としては、例え
ばポリアミノ、°ポリアミド、酸無水物、三フッ化ホウ
素−アミノコンプレックス、ジシアンジアミド、イミダ
ゾール類、イミダゾールと金属塩のコンプレックスなど
を挙げることができる。

以上のような組成からなる樹脂組成物を活性エネルギー
線によって硬化させて、本発明の記録ヘッドの有する樹
脂硬化膜３Ｈが形成される。

以下、樹脂硬化膜３Ｈ形成用の樹脂組成物としてドライ
フィルムタイプのもを用いた場合を一例としで、図面を
用いて本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法を詳細に
説明する。

第２図〜第６図は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製作
手順を説明するための模式図である。

本発明の液体噴射記録ヘッドを形成するには、まず、第
２図に示すように、ガラス、セラミック、プラスチ・ン
クあるいは金属等の基板１上に発熱素子やどニジ素子等
の吐出エネルギー発生素子２が所望の個数配百される。

尚、必要に応じて記録用液体に対する耐性、電気絶縁性
等を基板１表面に付与する目的で、該表面に５ｉＯｚ、
■ａ２０１、ガラス等の保護層を被覆してもよい。また
、吐出エネルギー発生素子２には、図示されていないが
、記録信号入力用電極力Ｘ接続しである。

次（こ、筒２図の工程を経て得られた基板１の表面を清
浄化すると共に例えば８０〜１５０°Ｃで乾燥させた後
、第３図（ａ）及び第３図（ｂ）に示したようにドライ
フィルムダイブ（膜厚、約２０μｍ〜２００μｆｆＩ）
の前述した活性エネルギー線硬化型樹脂組成物３を、４
０〜１５０°Ｃ程度に加温して、例えば０．５−０．４
　ｆ　／ｍｉｎ、の速度、１〜３　Ｋ（１／　ｃｍ２の
加圧条件下で基板面ＩＡ上にラミネートする。

続いて、第４図に示すように、基板面ＩＡ上に設けたド
ライフィルム層３上に、活性エネルギー線を透過しない
所定の形状のパターン４Ｐを有するフォトマス））４を
重ね合わせた後、このフォトマスク４の上部から露光を
行なう。

なお、フォトマスク４と基板１との位置合わせは、露光
、現像処理等の工程を経て、最終的に形成される液体通
路領域中に上記素子２が位置するように行なわれ、例え
ば、位置合せマークを、基板１とマスク４のそれぞれに
予め描いておき、そのマークに従って位置合わせする方
法等によって実施できる。

このように露光を行うと、前記パターンに覆われた領域
塩クト、すなわちトライフィルム層３の露光された部分
か重合硬化し、露光されなかった部分が、溶剤可溶°止
のままであるのに対して溶剤不溶性となる。

このパターン露光に用いる活性エネルギー線としては、
既に広く実用化されでいる紫外線あるいは電子線などが
挙げられる。紫外線光源としでは、波長２５０ｎｍ〜４
５０ｎｍの光を多く含む高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メ
タルハライドランプ等か挙げられ、実用的に許容される
ランプ−被照射物間の距離において３６５ｎｍの近傍の
光の強度が１　ｍＷ／ｃｍ’〜　Ｉ００ｍＷ／　ｃｍ’
程度のものが好ましい。電子線照射装置としでは、特に
限定はないが、０．５〜２０　Ｍ　Ｒａｄの範囲の線量
を有する装置が実用的に適している。

ドライフィルム層３のパターン露光を終了したら、次に
、露光済みのトライフィルム３を、例えば１．１．Ｉ−
トリクロルエタン等の揮発牲有機溶剤中に浸漬するなど
して現像処理し、溶剤可溶性であるドライフィルム層３
の未重合（未硬化）部分を基板１上から溶解除去し、第
５図（ａ）および第５図（ｂ）に示すように基板１上に
残存した樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体通路６−
２及び液室６−１となる溝を形成する。

次（こ、基板１上の硬化樹脂膜３日を、少なくとも８０
°Ｃ以上の温度で、１０分〜３時間程度加熱し熱重合さ
せる。なあ、熱硬化性のグラフト共重合高分子が樹脂組
成物３に用いられている場合には、この加熱処理温度を
、少なくとも１００℃で５〜６０分程度とする。

なお、本例の記録ヘッドにおいでは、液体通路６−２及
び液室６−１となる溝の形成に、ドライフィルムタイプ
の樹脂組成物、つまり固体状のものを使用した例につい
で説明しているが、本発明の記録ヘッドの形成に際して
使用できる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物としては
、固体状のもののみに限られるものではなく、液状のも
のももちろん使用可能である。

基板上に液状の樹脂組成物を用いて該組成物からなる層
を形成する方法としては、例えばレリーフ画像の作製時
に用いられるスキージによる方法、すなわち所望の樹脂
組成物の塗膜の厚さに相当した高さの壁を基板の周囲（
こ設け、スキージによって余分な樹脂組成物を除去する
方法等を挙げることができる。この場合、樹脂組成物の
粘度は、ｌ００ｃｐ〜３０００ｃｐか適当である。また
、基板の周囲に貫く壁の高さは、感光性樹脂組成物の含
有する溶剤分の蒸発による減盪分を見込んで決定する必
要がある。

また、固体状の樹脂組成物を用いる場合には、前記のよ
うにドライフィルムを基板上に加熱圧着して貼着する方
法等が好適である。

しかしながら、本発明の記録ヘッドを形成するに際しで
は、取扱い上で、あるいは厚さの制御が容易かつ正確に
できる点に於いて、固体状のフィルムタイプのものか便
利である。

このようにしで、樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体
通路６−２及び液室６−１を構成する溝を形成した後、
第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示すように、溝の覆い
となる平板７を樹脂硬化膜３Ｈ上に接着剤に接合し、接
合体を形成する。

第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示した工程に於いて、
覆い７を付設する具体的な方法としでは、例えばガラス
、セラミック、金属、プラスチック等の平板７にエポキ
シ樹脂系接着剤を厚さ３〜４μＡにスピンコードした後
、予備加熱して接着剤層を、いわゆるＢステージ化させ
、これを硬化したドライフィルム３Ｈ上に貼り合わせた
後前記接着剤層を、本硬化させる等の方法があるが、ア
クリル系樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレン等の熱可塑性
樹脂の平板７を樹脂硬化膜３Ｈ上に、直接、熱融着させ
る等の接着剤を使用しない方法でも良い。

また、覆い７の液体通路と接合する側に、本発明におけ
る樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物からなる樹脂層を設け
、これを液体通路を形成した樹脂硬化膜３日と熱融着さ
せ、しかる後に活性エネルギー線を照射して加熱すると
いう方法、すなわち本発明における樹脂硬化膜形成用の
樹脂組成物を接着剤としで用いる方法も好ましい。

尚、第６図に於いで、６−１は液室、６−２は液体通路
、８は液室６−１に不図示の記録ヘッド外部から内部へ
記録用液体を供給するための供給管（不図示）を連結す
るための貫通孔を示す。

このようにして、基板１上に設けられた樹脂硬化膜３Ｈ
と平板７との接合が完了した後、この接合体を第６図（
ａ）及び第６図（ｂ）に示した液体通路６−２の下流側
にあたるＣ−Ｃ＝に添って切削しで、切削面に於ける液
体通路の開口部である、記録用液体を吐出するためのオ
リフィスを形成する。

この工程は、吐出エネルギー発生素子２とオリフィス９
との間隔を適正化するために行なうものであり、ここで
切削する領域は適宜選択される。

この切削に際しては、半導体工業で通常採用されでいる
ダイシング法等を採用することができる。

なお、本発明でいう液体通路下流部とは、記録ヘッドを
用いて記録を行なっている際の記録用液体の流れ方向に
於ける下流領域、具体的には、吐出ヱネルギー発牛素子
２の設冨位＝より下流の液体通路の部分を言う。

切削が終了したところで、切削面を研磨して平滑化し、
貫通孔８に供給管１０を取付けて第１図に示したような
液体噴射記録ヘッドを完成する。

なお、以上に説明した記録ヘッドに於いては、液体通路
６−２と液室６−１が樹脂硬化膜３Ｈによって一体成形
されているが、本発明の記録ヘッドはこのような構造（
こ限定されるものではなく、液体通路と液室を別々に成
形したものでもよい。しかしながら、何れの構造を取る
場合においでも、本発明の記録ヘッドは、液体通路を形
成する樹脂の少なくとも一部が、先に挙げた活性エネル
ギー線硬化型樹脂組成物を用いて形成されたものである
。

〔発明の効果〕

本発明の液体噴射記録ヘッド（は、該へ・ンドの構成部
材である活性エネルギー線硬化型樹脂組成物として、該
組成物に必須成分として含有されるエチレン性不飽和結
合を有する単量体とハーフェステル化エポキシ樹脂とに
よって主に付与されたパターン形成材料としての活性エ
ネルギー線に対する非常に優れた感度と解像度を有する
ものを用いたものであり、該活性エネルギー線硬化型樹
脂組成物を用いることによって、寸法精度に優れた液体
噴射記録ヘッドを歩留り良く得ることが可能になった。

また、本発明に用いる樹脂硬化膜形成用の活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物は、必須成分としてのグラフト共
重合高分子とハーフェステル化エポキシ樹脂の有するエ
ポキシ樹脂としての特性が有効に活されであり、すなわ
ち、主に、グラフト共重合高分子によって付与される優
れた支持体との密着牲及び機械的強度に加えて、主に、
ハーフェステル化エポキシ樹脂によって付与される優れ
た耐薬品性及び寸法安定性とを有しており、該組成物を
用いることによって長期の耐久性を有する記録ヘッドを
得ることも可能になった。

更に、硬化性を有するグラフト共重合高分子を用いた活
性エネルギー線硬化型樹脂組成物を使用した場合には、
上記３着性、機械的強度あるいは耐薬８牲か特に優れた
液体噴射記録ヘッドを得ることが可能である。

〔実施例］ 以下、合成例および実施例により本発明を更に詳細に説
明する。

合成例１ アニオン重合法で得られるリビングポリマー（２−ヒド
ロキシエチルメタアクリレート／ブチルアクリレート１
−　（＝　８０／２０重量比））とｐ−ビニルベンジル
クロリドとを反応させて、分子鎖の片末端にビニル基を
持つ重量平均分子量約１８００のマクロモノマー（ｐ−
ビニルヘンシルポリ−２−ヒドロキシエチルメタアクリ
レート／ブチルアクリレート）を得た。このマクロモノ
マー３０重量部とメチルメタアクリレート７０重量部を
メチルセロソルブ中で溶液重合し、重量平均分子量？、
ＯＸ　１０’の熱可塑性のグラフト共重合高分子（これ
をＧＰ−１とする）を得た。なおこのＧＰ−１の主ａｔ
構成するポリメチルメタクリレート鎖のガラス転移温度
は１００℃である。

エビクロン１０５０（ビスフェノール型エポキシ樹脂、
エポキシ当１１４５０〜５００、大日本インキ化学工業
（株）の製品）　２５０９をフラスコに入れ、７０℃で
溶解し、０．５９のハイドロキノン（熱重合禁止剤）と
、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド３９を加
え、混合した。これにアクリル酸２０９を撹拌しながら
３０分かけて滴下し反応させた。滴下が終了した後ざら
に８０°Ｃで４時間撹拌を続は反応を終了させた。この
反応においてエポキシ基のモル数とアクリル酸のモル数
は、１０：５になるように設定した。以上の操作によっ
てエビクロン］０５ｏの部分アクリル酸エステル化物（
これをＨＥ−１と称す）を得た。

上記のＧＰ−１とＨＥ−１８用い下記組成の活性エネル
ギー線硬化型樹脂組成物を得た。

ＧＰ−１（グラフト共重合高分子）１００重量部ＨＥ−
１（エポキシ部分エステル）＋００／／ネオペンチルグ
リコール ジアクリレート　　　　　５Ｑ　　ｌｌベンゾフェノン
　　　　　　　　　　１２〃ミヒラーのケトン　　　　
　　　　　６　／／クリスタルバイオレット　　　　　
　ｌ　　／１メチルエチルケトン／トルエン （１／１混合物）　　　　　　　　３００　　／／上記
の組成物を、１６μＡのポリエチレンテレフタレートフ
ィルム（ルミラーＴタイプ）にバーコーターで乾燥後の
厚さが７５−となるように塗布し、これを１００℃の熱
風オーブン中でＩＯ分間乾乾燥ることにより、膜厚７５
μｍの活性エネルギー線硬化型樹脂組成物層を有するド
ライフィルムを作成し、以後の本発明の液体噴射記録ヘ
ッドの形成に用いた。

合成例２ ネオペンチルグリコールジアクリレート６０重量部のか
わりに２．２−ビス［４−（アクリロキシジェトキシ）
フェニルコプロパンヲ６０重量部用いた他は、合成例１
と同様にして膜厚７５μｍの活性エネルギー線硬化型樹
脂層を有するドライフィルムを作成し、以後の本発明の
液体噴射記録ヘッドの形成に用いた。

合成例３ ネオペンチルグリコールジアクリレート６０重量部のか
わりにトリメチロールブロバントリアクリレートヲ６０
重量部用いた他は、合成例１と同様にしで膜厚７５μｍ
の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物層を有するドライ
フィルムを作成し、以後の本発明の液体噴射記録ヘッド
の形成に用いた。

合成例４ ネオペンチルグリコールジアクリレート６０重量部のか
わりにアロニツクスＭ−８０３０京１７ａ６０重量部用
いた他は、合成例１と同様にして膜厚７５μの活性エネ
ルギー線硬化型樹脂組成物層を有するドライフィルムを
作成し、以後の本発明の液体噴射記録ヘッドの形成に用
いた。

本１　東亜合成化学（株）のポリエステルアクリレート
の商品名 合成例５ アニオン重合法で得られるリビングポリマー（Ｎ−メチ
ロールメタクリルアミド／２−ヒドロキシエチルメタア
クリレート（＝　３０／７０重量比））とｐ−ビニルベ
ンジルクロリドとを反応させて、分子鎖の片末端にビニ
ル基を持つ重量平均分子量約１５００のマクロモノマー
（ｐ−ビニルベンジルポリ−Ｎ−メチロールメタクリル
アミド／２−ヒドロキシエチルメタアクリレート）を得
た。

この分子量約１５００のマクロモノマー３０重量部とメ
チルメタアクリレート７０重量部をメチルセロンルブ中
で溶液重合し、重量平均分子量？、７ＸＩＯ’で熱架橋
性を有するグラフト共重合高分子（これをＧＰ−２とす
る）を得た。なおこのＧＰ−２の主ｉｔ構成するポリメ
チルメタクリレート鎖のガラス転移温度は１００℃であ
る。

また合成例１と同様の方法を用い、エビクロンＮ−６６
５（ノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量２００〜
２３０、大日本インキ化学工業（株）製）　２５０９を
用い、エポキシ基のモル数／アク１ノル酸のモル数＝Ｉ
Ｏ１５となるように、アクリル酸を反応させた。これに
よりエビクロンＮ−６６５の部分アクリル酸エステル化
物（これ５ＨＥ−２と称す）を得た。

上記の熱架橋性を有するグラフト共重合高分子ＧＰ−２
と部分アクリル酸エステル化物ＨＥ−２とを用い下記組
成の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を調整した。

ＧＰ−２（グラフト共重合高分子）１００重量部ＨＥ−
２（エポキシ部分エステル）　　８０　　ｎネオペンチ
ルグリコール ジアクリレート　　　　６０〃 ウレタンアクリレート本２　　　　　６０　〃ベンゾフ
ェノン　　　　　　　　　　　１２〃ミヒラーのケトン
　　　　　　　　　６　〃クリスタルバイオレット　　
　　　　　１　〃パラトルエンスルホン酸　　　　　　
３　〃メチルエチルケトン／トルエン　　４００〃（１
：１混合物） 本２：　ＰＰＧ＃４００とインホロンジイソシアネート
と２−ヒドロキシエチルアクリレートをＰＰＧ＃４００
の囲碁のモル数：イソホロンジイアネートの囲碁のモル
数：２−ヒドロキシエチルアクリレートのモル数＝２．
４・２で反応させて得られるウレタンアクリ レート 次に、上記の組成物を１６μｍのポリエチレンテレフタ
レートフィルム（ルミラーＴタイプ）にバーコーターで
乾燥後の厚さが７５−となるように塗布し、膜厚７５−
の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物層を有するドライ
フィルムを作成し、以後の本発明の液体噴射記録ヘッド
の形成に用いた。

合成例６ ネオベンチルグリコールジアクリレート６０重量部のか
わりに２．２−ヒス［４−（アクリロキシジプロポキシ
）フェニルコプロパンを６０重量部用いた他は、合成例
５と同様にして膜厚７５μ■の活性エネルギー線硬化型
樹脂組成物層を有するドライフィルムを作成し、以後の
本発明の液体噴射記録ヘッドの形成に用いた。

実施例１ 合成例１で製造したドライフィルムを用い、先に明細書
中で説明した第１図〜第６図の工程に従って、吐出エネ
ルギー発生素子として発熱素子［ハフニウムポライド（
ＨｆＢ２）　］　１０個のオリフィス（オリフィス寸法
ニア５鱗×５０μ、と・ンチ０．１２５ｍｍ）　＠有す
るオンデマンド型液体噴射記録ヘッドの作成を以下のよ
うにして実施した。尚、記録ヘッドは、同形状のものを
各３０個宛試作した。

まず、シリコンからなる基板上に発熱素子の複数を所定
の位盲に配設し、これらに記録信号印加用電極を接続し
た。

次に、発熱素子が配設された基板面上に保護膜としての
５ｉ０２層（厚さ１．０μｍ）を設け、保護層の表面を
清浄化すると共に乾燥させた後、保護層に重ねて、１０
５℃に加温された合成例１に示した膜厚７５μｍのドラ
イフィルムを、ロール温度１０５℃、１ｍ／ｍｉｎの速
度、１　Ｋ９／　ｃｍ’の加圧条件下でラミネータＨＲ
Ｌ−２４（商品名、デュポン（株）製）を用いて、ラミ
ネートした。なお、この状態で、基板上にラミネートさ
れた活性エネルギー線硬化型樹脂組成物からなる層上に
はポリエチレンテレフタレートフィルムが積層されてい
る。

続いて、基板面上に設けたドライフィルム上に、液体通
路及び液室の形状に対応したノ＼ターンを有するフォト
マスクを重ね合わせ、最終的に形成される液体通路中（
こ上記素子か設けられるように位置合せを行なった後、
このフォトマスクの上部から３６５ｎｍ近傍の紫外線エ
ネルギーがＩ　２ｍＷ／ｃｍ　’であるような平行性の
高い焼き付は光源を用いて４５秒間ドライフィルムを露
光した。

次に、露光済みのドライフィルム上にあるポリエチレン
テレフタレートフィルムを基板上から剥がしてから、露
光済みのトライフィルムを、１．１．１−トリクロルエ
タン中に浸漬して現像処理し、ドライフィルムの未重合
（未硬化）部分を基板上から溶解除去して、基板上に残
存した硬化ドライフィルム膜によって最終的に液体通路
及び液室となる溝を形成した。

現像処理を終了した後、３６５ｎｍ近傍の紫外線エネル
ギーが８０ｍＷ／ｃｍ２であるような高圧水銀灯を用い
て基板上の硬化ドライフィルム膜のポストキュアを行な
い、更にこれを１２０°Ｃで３０分間加熱し十分に硬化
させた。

このようにして、硬化ドライフィルム膜によって液体通
路及び液室となる溝を基板上に形成した後、形成した溝
のでいとなるソーダガラスからなる貫通孔の設けられた
平板にエポキシ系樹脂接着剤を厚さ３μｍにスピンコー
ドした後、予備加熱しでＢステージ化させ、これを硬化
したドライフィルム上に貼り合わせ、更に、撞着剤を本
硬化させて接着固定し、接合体を形成した。

続いて、接合体の液体通路の下流側、すなわち吐出エネ
ルギー発止素子の設Ｈ位貫から下流側へ０、ｌ５０ｍｍ
のところを液体通路に対して垂直に、市販のダイシング
・ソー（商品名；　ＤＡｏ　２Ｈ／６型、ＤＩＳＣＯ社
製）を用いて切削し、記録用液体を吐出するためのオリ
フィスを形成した。

最後に、切削面を洗浄したのち乾燥させ、更に、切削面
を研磨して平滑化し、貫通孔に記録用液体の供給管を取
付けて液体噴射記録ヘッドを完成した。得られた記録ヘ
ッドは、何れもマスクパターンを忠実に再現した液体通
路及び液室を有する寸法精度に優れたものであった。ち
なみに、オリフィス寸法は、５０±５−、オリフィスピ
ッチは、＋２５±５μの範囲にあった。

このようにして試作した記録ヘッドの品質及び長期使用
に際しての耐久性を以下のようにして試験した。

ます、得られた記録ヘッドについて、次の各組成からな
る記録用液体中に、６０°Ｃで１０００時間浸漬処理（
記録ヘッドの長期使用時に匹敵する環境条件）する耐久
試験を実施した。

記録用液体成分 １）Ｈ２Ｏ／ポリエチレングリコール井４００／グリセ
リン／　Ｃ，１，フードブラック　２″（・７５／＋５
１５１５重量部）　ｐｈ＝ｓ、。

２）Ｈ２Ｏ／エチレングリコール／ジエチレングリコー
ル／ポリエチレングリコール井４００　／１．３−ジメ
チル−２−イミダゾリジノン／　Ｃ，１，フードブラッ
ク　２′１ （・５５１５／２０／１０１５１５重量部）　ｐＨ・９
．０３）Ｈ２Ｏ／ジエチレングリコール／ポリエチレン
グリコール井３００／プロピレングリコール／Ｃ，Ｉ。

ダイレクトブルー８６″ （・６２１５／＋５１５／３重量部）　ｐＨ・７．０４
）Ｈ２Ｏ／ジエチレングリコール／ポリエチレンクワコ
ール井３００／スルホラン／Ｃ，１，ダイレクトブルー
８６′２ （・６０／＋５／ｌｏ／１０１５重量部）　ｐＨ・１０
．０尚、注）′１〜′２は、水溶′注染料であり、ｐＨ
の調整には、カセイソーダを用いた。

耐久試験後、該試験を実施した各ヘッドにつき基板及び
覆いと硬化ドライフィルム膜の接合状態を観察した結果
、すべての記録ヘッドにおいで剥離や損傷は全く認めら
れず、良好な密着牲を示していた。

次いでこれとは別に、得られた記録ヘッドの１０個につ
いて、各ヘッドを記録装置に取付け、前記の記録用液体
を用いて１０日パルスの記録信号を１４時間連続的に記
録ヘッドに印加して印字を行なう印字試験を実施した。

何れの記録ヘッドに関しでも、印字開始直後と１４時間
経過後において、記録用液体の吐出性能及び印字状態共
に性能の低下が殆ど認められず、耐久性に優れた記録ヘ
ッドであった。

実施例２〜６ 合成例２〜６で製造したドライフィルムを個々に用いる
以外は実施例１と同様にして液体噴射記録ヘッドの作成
を実施した。

更に作成した記録ヘッドのそれぞれ（こ実施例１と同様
の耐久試験及び印字試験を行なった。

耐久試験後、該試験を実施した各ヘッドにつき基板及び
覆いと硬化ドライフィルム膜の接合状態を観察した結果
、すべての記録ヘッドにおいで剥離や損傷は全く認めら
れず、良好な配着性を示していた。

また、印字試験においても、何れの記録ヘッドに関して
も、印字開始直後と１４時間経過後に、記録用液体の吐
出性能及び印字状態共に性能の低下は殆ど認められず、
何れの記録ヘッドも耐久“牲に優れたものであった。

比較例 膜厚７５μｍの市販のドライフィルムＶａｃｒｅｌ　（
ドライフィルムソルダーマスクの商品名、デュボンド・
ネモアース■製）、および膜厚５０μＬの市販のドライ
フィルムＰｈｏｔｅｃ　５Ｒ−３０００（商品名、日立
化成工業■製）を用いる以外は、実施例１と同様にして
、記録ヘッドを作成した。

これらの記録へ・ンドについて、実施例１と同様の耐久
性試験を実施した。

耐久性試験の経過中、ドライフィルムとしでＶａｃｒｅ
ｌを用いた場合は、１００時間で２）および４）の記録
用液体で剥離が認められた。また、３００時間で、１）
および３）の記録用液体で剥離が認められた。

一方、ドライフィルムとしてＰｈｏｔｅａ　５Ｒ−３０
００！用いた場合は、１）〜４）の各記録用液体で３０
０時間で剥離が認められた。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明の液体噴射記録ヘッドならびに
その製造方法を説明するための模式図である。 １：基板 ２：吐出エネルギー発生素子 ３：樹脂層 ３Ｈ：樹脂硬化膜 ４：フォトマスク ４Ｐ：マスクパターン ６−１：液室 ６−２＝液体通路 ７：覆い ８：貫通孔 ９ニオリフイス １０：供給管

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）基板面に設けられ、液体の吐出口に連通する液体通
   路が、活性エネルギー線によって硬化する樹脂組成物の
   層に、該活性エネルギー線を用いた所定のパターン露光
   を為して前記樹脂組成物の硬化領域を形成し、該層から
   未硬化領域を除去して形成されている液体噴射記録ヘッ
   ドであって、前記樹脂組成物が （ｉ）アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルお
   よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマ
   ーに由来する構造単位を主体とする幹鎖に、（Ａ）水酸
   基含有アクリルモノマー、（Ｂ）アミノもしくはアルキ
   ルアミノ基含有アクリルモノマー、（Ｃ）カルボキシル
   基含有アクリルもしくはビニルモノマー、（Ｄ）Ｎ−ビ
   ニルピロリドンもしくはその誘導体、（Ｅ）ビニルピリ
   ジンもしくはその誘導体および（Ｆ）下記一般式 I で
   表わされるアクリルアミド誘導体からなる群より選ばれ
   た一種以上のモノマーに由来する構造単位を主体とする
   枝鎖が付加されてなるグラフト共重合高分子と、 ▲数式、化学式、表等があります▼−−−（ I ） （ただし、Ｒ＾１は水素または炭素原子数が１〜３のア
   ルキルもしくはヒドロキシアルキル基、Ｒ＾２は水素ま
   たは炭素原子数が１〜４のヒドロキシ基を有してもよい
   アルキルもしくはアシル基を表わす。） （ｉｉ）エチレン性不飽和結合を有する単量体と、（ｉ
   ｉｉ）分子内にエポキシ基を２個以上有する化合物の少
   なくとも１種を含んでなるエポキシ樹脂に存在するエポ
   キシ基の一部を不飽和カルボン酸によってエステル化し
   てなる樹脂 とを有してなるものであることを特徴とする液体噴射記
   録ヘッド。 ２）前記活性エネルギー線によって硬化する樹脂組成物
   が、前記（ｉ）のグラフト共重合高分子２０〜８０重量
   部と、前記（ｉｉ）のエチレン性不飽和結合を有する単
   量体と前記（ｉｉｉ）の樹脂との合計８０〜２０重量部
   とを含有するものである特許請求の範囲第１項に記載の
   液体噴射記録ヘッド。 ３）前記活性エネルギー線によって硬化する樹脂組成物
   中での前記（ｉｉ）のエチレン性不飽和結合を有する単
   量体と前記（ｉｉｉ）の樹脂の含有比が、３０：７０〜
   ７０：３０である特許請求の範囲第１項または第２項に
   記載の液体噴射記録ヘッド。 ４）前記活性エネルギー線によって硬化する樹脂組成物
   が、前記（ｉ）のグラフト共重合高分子、前記（ｉｉ）
   のエチレン性不飽和結合を有する単量体及び前記（ｉｉ
   ｉ）の樹脂の合計量１００重量部に対して、０．１〜２
   ０重量％の活性エネルギー線の作用により賦活化し得る
   ラジカル重合開始剤を配合して成るものである特許請求
   の範囲第１項〜第３項のいずれかに記載の液体噴射記録
   ヘッド。 ５）前記活性エネルギー線によって硬化する樹脂組成物
   が、前記（ｉ）のグラフト共重合高分子、前記（ｉｉ）
   のエチレン性不飽和結合を有する単量体及び前記（ｉｉ
   ｉ）の樹脂の合計量１００重量部に対して、０．２〜１
   ５重量％の周期率表第VIａ族若しくは第Ｖａ族に属する
   元素を含む光感知性を有する芳香族オニウム塩化合物を
   配合して成るものである特許請求の範囲第１項〜第４項
   のいずれかに記載の液体噴射記録ヘッド。