JPS6150353A - Eprom装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、主表面上に導電性配線/ソターンが形成さ
れた絶縁性基板上に直接EPROMチップを搭載するよ
うにしたEPROM装置に関する。
れた絶縁性基板上に直接EPROMチップを搭載するよ
うにしたEPROM装置に関する。
(従来の技術)
最近、上記のよりなEPROM装置が、特願昭58−2
24393号明細誉に記駿されているように同発明者に
よって考えられた。そのEPROM装置?第3図にボし
て説明する。
24393号明細誉に記駿されているように同発明者に
よって考えられた。そのEPROM装置?第3図にボし
て説明する。
第3図において、1はガラス・エポキシ樹脂など〃・ら
なる絶縁性基板で、主表面上のチツフ搭戦領域には、導
電性配線ツクターンと同−導体方)らなるチップ搭載部
2が形成される。また、絶縁性基板1の主表面上には、
前記チップ搭載部2の近傍から主表面上を引き廻されて
図示しない雄型コネクタ端子部に接続されるようにして
前記導電性配線パターン3が形成される。このような絶
縁性基板1上には、前記チップ搭載部2上においてEP
ROMチップ4がAgペーストまたはエポキシ樹脂5に
よって取着して直接搭載される。その場合、EPROM
チップ4は、紫外線照射面を上にして搭載される。
なる絶縁性基板で、主表面上のチツフ搭戦領域には、導
電性配線ツクターンと同−導体方)らなるチップ搭載部
2が形成される。また、絶縁性基板1の主表面上には、
前記チップ搭載部2の近傍から主表面上を引き廻されて
図示しない雄型コネクタ端子部に接続されるようにして
前記導電性配線パターン3が形成される。このような絶
縁性基板1上には、前記チップ搭載部2上においてEP
ROMチップ4がAgペーストまたはエポキシ樹脂5に
よって取着して直接搭載される。その場合、EPROM
チップ4は、紫外線照射面を上にして搭載される。
この搭載されたEPROMチップ4の電極と前記導電性
配線ノ母ターフ3とは金属細線6により接続される。ま
た、EPROMチップ4の電極の1つは、そのチップ4
のサブストレートと接続するためにチップ搭載部2に金
属MA線6a’t”接続される。そして、これら金属線
11!i!6.6aによる配線部およびEPROMチッ
プ部分は、中空キャップ7で覆われる。この中空キャッ
プ7は、紫外線透過性のガラス質(UVガラス、石英、
アルミナなど)または合成樹脂からなる。そして、この
中空キャップ7は、前述の部分を覆って絶縁性基板1に
合成樹脂(例えばエポキシ樹脂1東都セラミックNPO
−01商品名)8によ?)接着固定される。
配線ノ母ターフ3とは金属細線6により接続される。ま
た、EPROMチップ4の電極の1つは、そのチップ4
のサブストレートと接続するためにチップ搭載部2に金
属MA線6a’t”接続される。そして、これら金属線
11!i!6.6aによる配線部およびEPROMチッ
プ部分は、中空キャップ7で覆われる。この中空キャッ
プ7は、紫外線透過性のガラス質(UVガラス、石英、
アルミナなど)または合成樹脂からなる。そして、この
中空キャップ7は、前述の部分を覆って絶縁性基板1に
合成樹脂(例えばエポキシ樹脂1東都セラミックNPO
−01商品名)8によ?)接着固定される。
(発明が解決しようとする問題点)
l シvするに、このよりなEPROM
装置では、絶縁性基板1と中空キャップ7との樹脂接着
部および絶縁性基板1そのものを通して水分や腐蝕性イ
オン(Ka+、 K+、 CL−など)などが中空キャ
ップ7内に侵入して、EPROMチップ4の電極を腐蝕
させた9 N極間リーク音引き起すという不都合がある
ことが分った。
装置では、絶縁性基板1と中空キャップ7との樹脂接着
部および絶縁性基板1そのものを通して水分や腐蝕性イ
オン(Ka+、 K+、 CL−など)などが中空キャ
ップ7内に侵入して、EPROMチップ4の電極を腐蝕
させた9 N極間リーク音引き起すという不都合がある
ことが分った。
(問題点を解決するための手段)
そこで、この発明では、中空キャップ内に樹脂を充填す
る。
る。
(作用)
このようにすると、絶縁性基板と中空キャップとの樹脂
接着部および絶縁性基板そのものを通して水分や腐蝕性
イオンが中空キャップ内に侵入する可能性があっても、
それが、中空キャップ内の充填樹脂により防止される。
接着部および絶縁性基板そのものを通して水分や腐蝕性
イオンが中空キャップ内に侵入する可能性があっても、
それが、中空キャップ内の充填樹脂により防止される。
(実施例)
第1図はこの発明の一実施例を示す断面図、第2図はそ
の要部(中空キャップ部)の平面図である。これらの図
に示されるように、この発明の一実施例では、中空キャ
ップ7内が樹脂9で充填される。その場合、樹脂9とし
ては、第1のシリコン樹脂9aと第2のシリコン樹脂9
bの2種類が使用される。第1のシリコン樹脂9H紫外
線透過性のシリコン樹脂、例えば東し社製JCR612
2または6127(いずれも商品名)であり、 EPR
OMチップ4の上部に充填される。一方、第2のシリコ
ン樹脂9bは紫外線の透過性が低く、紫外線透過性を有
するとは断言できないシリコン樹脂、例えば東し社製J
CR6116(商品名)であり、中空キャップ7内の残
りの部分に充填される。その他の ・構成は第3図の
従来と同一であり、同一部分は第3図と四−符号を付し
てその説明を割愛する。たたし、この例では、中空キャ
ップ7の上面部に充填樹脂注入口10とエアー抜き穴1
1が形成されている。
の要部(中空キャップ部)の平面図である。これらの図
に示されるように、この発明の一実施例では、中空キャ
ップ7内が樹脂9で充填される。その場合、樹脂9とし
ては、第1のシリコン樹脂9aと第2のシリコン樹脂9
bの2種類が使用される。第1のシリコン樹脂9H紫外
線透過性のシリコン樹脂、例えば東し社製JCR612
2または6127(いずれも商品名)であり、 EPR
OMチップ4の上部に充填される。一方、第2のシリコ
ン樹脂9bは紫外線の透過性が低く、紫外線透過性を有
するとは断言できないシリコン樹脂、例えば東し社製J
CR6116(商品名)であり、中空キャップ7内の残
りの部分に充填される。その他の ・構成は第3図の
従来と同一であり、同一部分は第3図と四−符号を付し
てその説明を割愛する。たたし、この例では、中空キャ
ップ7の上面部に充填樹脂注入口10とエアー抜き穴1
1が形成されている。
上記のよりなEPROM装置は次のようにして製造され
る。まず、チップ搭載部2に対するEPROMチップ4
の載置と金属線IfjA6による配線全行う。 ゛
その後、EPROMチップ4の上面上に紫外線透過
1性の第1シリコン樹脂9aQポツテイングにょうて滴
下する。そして、その第1のシリコン樹脂9aが硬化し
ない時間(1〜2時間)内に中空キャップ7を装着する
もので、これにより前記中空キャップ7が被せられ、〃
)つその上面部内壁とEPROMチップ4の上面との間
にW、1のシリコン樹脂9aが充填された構造が得られ
る。しかる後、150℃。
る。まず、チップ搭載部2に対するEPROMチップ4
の載置と金属線IfjA6による配線全行う。 ゛
その後、EPROMチップ4の上面上に紫外線透過
1性の第1シリコン樹脂9aQポツテイングにょうて滴
下する。そして、その第1のシリコン樹脂9aが硬化し
ない時間(1〜2時間)内に中空キャップ7を装着する
もので、これにより前記中空キャップ7が被せられ、〃
)つその上面部内壁とEPROMチップ4の上面との間
にW、1のシリコン樹脂9aが充填された構造が得られ
る。しかる後、150℃。
1〜2時間の加熱によって第1のシリコン樹脂9aを硬
化させる。この時、同時に、接着剤としての合成樹脂8
も硬化し、中空キャップ7が絶縁性基板l上に固定され
る。し70する後、第2のシリコン樹脂9bを充填樹脂
注入口101・ら中空キャラフッ内にボッティングで注
入して、この第2のシリコン樹脂9bで中空キャップ7
内の残りの部分を充填する。そして、その後、150℃
、1時間程度の加熱を行って第2のシリコン樹脂9bi
硬化させる。
化させる。この時、同時に、接着剤としての合成樹脂8
も硬化し、中空キャップ7が絶縁性基板l上に固定され
る。し70する後、第2のシリコン樹脂9bを充填樹脂
注入口101・ら中空キャラフッ内にボッティングで注
入して、この第2のシリコン樹脂9bで中空キャップ7
内の残りの部分を充填する。そして、その後、150℃
、1時間程度の加熱を行って第2のシリコン樹脂9bi
硬化させる。
このようにして製造された上記−実施例のEPROM装
置において、EPROMチップ4の上面には、記は情報
の消去時に紫外線が照射される。そこで、EPROMチ
ップ4上の充填樹脂としては、紫外線透過性の第1のシ
リコン樹脂9ai用いた。これに対して、中空キャップ
7内の残りの部分も前記第1のシリコン樹脂9aで充填
してもよいのだが(これを他の実施例とする)、この第
1のシリコン樹1]1t9aに比較して第2のシリコン
樹脂9b(東し社製JCR6116商品名のように紫外
線透過性が低く、紫外線透過性を有するとは断言できな
いシリコン樹脂)の方が信頼性的および物理的安定度な
どの特性的にはるη1に優れているので、消去に必要な
部分にだけ窓状に紫外線透過性の第1のシリコンN(l
it98を用い、その他の部分は第2のシリコン樹脂9
bで充填する構造にした。
置において、EPROMチップ4の上面には、記は情報
の消去時に紫外線が照射される。そこで、EPROMチ
ップ4上の充填樹脂としては、紫外線透過性の第1のシ
リコン樹脂9ai用いた。これに対して、中空キャップ
7内の残りの部分も前記第1のシリコン樹脂9aで充填
してもよいのだが(これを他の実施例とする)、この第
1のシリコン樹1]1t9aに比較して第2のシリコン
樹脂9b(東し社製JCR6116商品名のように紫外
線透過性が低く、紫外線透過性を有するとは断言できな
いシリコン樹脂)の方が信頼性的および物理的安定度な
どの特性的にはるη1に優れているので、消去に必要な
部分にだけ窓状に紫外線透過性の第1のシリコンN(l
it98を用い、その他の部分は第2のシリコン樹脂9
bで充填する構造にした。
そして、上記−実施例のEFROM装置によれば、中空
キャップ7内を樹脂9で充填シールしたので、絶縁性基
板1と中空キャップ7との樹脂接着部および絶縁性基板
1そのものを通して水分や腐蝕性イオンなどが中空キャ
ップ7内に侵入する可能性があっても、それが、前記充
填樹脂9により防止される。特に上記−実施例によれば
、EPROMチ1 ’) 7’ 4よ’e!<殆
ど。部分ヶ、9頼□的およ。特性的に優れた第2のシリ
コン樹脂9bで充填したので、上記防止効果が顕著であ
る。よって、上記一実施例によれば、水分や腐蝕性イオ
ンなどの侵入によるEPROMチップ4の電極の腐蝕や
電極間リーク全防止でき、信頼性の高いEPROM装置
?得ることができる。
キャップ7内を樹脂9で充填シールしたので、絶縁性基
板1と中空キャップ7との樹脂接着部および絶縁性基板
1そのものを通して水分や腐蝕性イオンなどが中空キャ
ップ7内に侵入する可能性があっても、それが、前記充
填樹脂9により防止される。特に上記−実施例によれば
、EPROMチ1 ’) 7’ 4よ’e!<殆
ど。部分ヶ、9頼□的およ。特性的に優れた第2のシリ
コン樹脂9bで充填したので、上記防止効果が顕著であ
る。よって、上記一実施例によれば、水分や腐蝕性イオ
ンなどの侵入によるEPROMチップ4の電極の腐蝕や
電極間リーク全防止でき、信頼性の高いEPROM装置
?得ることができる。
(発明の効果)
以上詳述したように、この発明のEFROM装置は、中
空キャップ内に樹脂を充填して、中空キャップ内への水
分、腐蝕性イオンなどの侵入會防いだ刀・ら、EPRO
Mチップの電極の腐蝕や電極間リークを防止でき、信頼
性?高めることができる。
空キャップ内に樹脂を充填して、中空キャップ内への水
分、腐蝕性イオンなどの侵入會防いだ刀・ら、EPRO
Mチップの電極の腐蝕や電極間リークを防止でき、信頼
性?高めることができる。
第1図はこの発明のEFROM装置の一実施例を示す断
面図、第2図は第1図の要部の平面図、第3図は同発明
者によって既に考えられたEPROM装置?示す断面図
である。 1・・・絶縁性基板、2・・・チップ搭載部、3・・・
導電性配線パターン、4・・・EPROMチップ、6・
・・金属iIa線、7・・・中空キャップ、9・・・樹
脂、9a・・・第1のシリコン樹脂、9b・・・第2の
シリコン樹脂。 特許出願人 沖電気工業体弐会社 第1図 第2図
面図、第2図は第1図の要部の平面図、第3図は同発明
者によって既に考えられたEPROM装置?示す断面図
である。 1・・・絶縁性基板、2・・・チップ搭載部、3・・・
導電性配線パターン、4・・・EPROMチップ、6・
・・金属iIa線、7・・・中空キャップ、9・・・樹
脂、9a・・・第1のシリコン樹脂、9b・・・第2の
シリコン樹脂。 特許出願人 沖電気工業体弐会社 第1図 第2図
Claims (4)
- (1)主表面上に導電性配線パターンが形成された絶縁
性基板の前記主表面上チップ搭載領域にEPROMチッ
プを配置し、そのEPROMチップ上面の電極を前記導
電性配線パターンに金属細線により配線し、その配線部
および前記EPROMチップ部を紫外線透過性の中空キ
ャップで覆つてなるEPROM装置において、少なくと
もEPROMチップ上には紫外線透過性樹脂を使用して
前記中空キャップ内を樹脂で充填することを特徴とする
EPROM装置。 - (2)樹脂はすべてが紫外線透過性樹脂であることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載のEPROM装置。 - (3)樹脂はEPROMチップ上の部分が紫外線透過性
の第1の樹脂であり、他はこれと異なる第2の樹脂であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のEPR
OM装置。 - (4)樹脂はシリコン樹脂であることを特徴とする特許
請求の範囲第1項ないし第3項いずれか記載のEPRO
M装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59171453A JPS6150353A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | Eprom装置 |
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