JPS6138384A - 雰囲気用アルゴンガスの回収方法 - Google Patents
雰囲気用アルゴンガスの回収方法Info
- Publication number
- JPS6138384A JPS6138384A JP59161810A JP16181084A JPS6138384A JP S6138384 A JPS6138384 A JP S6138384A JP 59161810 A JP59161810 A JP 59161810A JP 16181084 A JP16181084 A JP 16181084A JP S6138384 A JPS6138384 A JP S6138384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- argon
- argon gas
- liquid
- purity
- recovered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はシリコン半導体用単結晶製造時等、ア体状に再
生する方法に関する。
生する方法に関する。
（従来の技術）
従来、上記のような製造時に雰囲気ガスとして用いられ
るアルゴンガスは回収されることのないま＼に大気中に
自然放出していたのが大力の実情である。この不経済さ
に着目して用尽した回収アルゴンをフィルター、吸着剤
を介して不純物の一部を除去した后に精製工程に於てＮ
ｍ、０１を除去して最高シクスナインの純度のアルゴン
を再利用する試みが提案されている。
るアルゴンガスは回収されることのないま＼に大気中に
自然放出していたのが大力の実情である。この不経済さ
に着目して用尽した回収アルゴンをフィルター、吸着剤
を介して不純物の一部を除去した后に精製工程に於てＮ
ｍ、０１を除去して最高シクスナインの純度のアルゴン
を再利用する試みが提案されている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記先行技術に於てはＮｍの除去のため
にチタンゲッタ一方式を採用しているために、Ｎｌ除去
のために用いたチタンを再活性化することが出来ないと
云う不経済性をなお残しておシ、その改善が望まれてい
た。 ゛（問題を解決するだめの手段） 本発明は上記に鑑み精製に於て、低温無滴を採用すると
共に精製直前の回収アルゴンガスを雰囲気ガスの根源で
ある（高純度の）液体アルゴンの気化の冷熱・、必要に
よっては安価な液体窒素の冷熱を活用して液化させるこ
とにより経済性を更に改善したものである。
にチタンゲッタ一方式を採用しているために、Ｎｌ除去
のために用いたチタンを再活性化することが出来ないと
云う不経済性をなお残しておシ、その改善が望まれてい
た。 ゛（問題を解決するだめの手段） 本発明は上記に鑑み精製に於て、低温無滴を採用すると
共に精製直前の回収アルゴンガスを雰囲気ガスの根源で
ある（高純度の）液体アルゴンの気化の冷熱・、必要に
よっては安価な液体窒素の冷熱を活用して液化させるこ
とにより経済性を更に改善したものである。
本発明によると精製されるアルゴンはシクスナの高純度
のアルゴンガスとはならない迄もその他の雰囲気用ガス
としては広く適用出来るのである。
のアルゴンガスとはならない迄もその他の雰囲気用ガス
としては広く適用出来るのである。
即ち本発明は、高純度アルゴンガスを不活性雰囲気とし
て用尽した回収ガス中のダストをフィルターで除去し、
次に圧力吸着及びもしくは熱吸着によって不純物の一部
を除去し、続いて液体アルゴン及びもしくは液体窒素に
よシ液化し、最終的に低温無滴精製して高純度アルゴン
を液状もしくは気体状で回収することを特徴とする雰囲
気用アルゴンガスの回収方法に係わる。
て用尽した回収ガス中のダストをフィルターで除去し、
次に圧力吸着及びもしくは熱吸着によって不純物の一部
を除去し、続いて液体アルゴン及びもしくは液体窒素に
よシ液化し、最終的に低温無滴精製して高純度アルゴン
を液状もしくは気体状で回収することを特徴とする雰囲
気用アルゴンガスの回収方法に係わる。
（作用）
シリコン半導体単結晶製造時の不活性雰囲気として用尽
したアルゴンガス中には８ ｉｏｇ、油、水分。
したアルゴンガス中には８ ｉｏｇ、油、水分。
ＣＯ２、Ｏ宏、 Ｎｚ が不純物として含まれておシ、
純度が９７係のオーダであるが、このうち８ ｉｏ！及
び油は、先づフィルターによって除去され、次に公知の
圧力スイング吸着及びもしくは熱スイング吸着によって
ＨＩ３ 、 ｃｏｗが取シ除かれる。 しかしｏｘ 、
Ｎｓをなお含む回収アルゴンガスは、次の低温蒸溜に付
される前に液化されるが、この液化の冷熱はアルゴン雰
囲気ガスの根源である高純度の液体アルゴンの気化の冷
熱を用いるが、液体アルゴンの冷熱のみでは冷熱がなお
不足するのであれば液体窒素の冷熱をもって補なうこと
が出来る。
純度が９７係のオーダであるが、このうち８ ｉｏ！及
び油は、先づフィルターによって除去され、次に公知の
圧力スイング吸着及びもしくは熱スイング吸着によって
ＨＩ３ 、 ｃｏｗが取シ除かれる。 しかしｏｘ 、
Ｎｓをなお含む回収アルゴンガスは、次の低温蒸溜に付
される前に液化されるが、この液化の冷熱はアルゴン雰
囲気ガスの根源である高純度の液体アルゴンの気化の冷
熱を用いるが、液体アルゴンの冷熱のみでは冷熱がなお
不足するのであれば液体窒素の冷熱をもって補なうこと
が出来る。
逆に液体窒素のみの冷熱によって液化をすることも可能
である。これら液体アルゴン及びもしくは窒素の冷熱は
、同液体アルゴン及びもしくは窒素を上記回収アルゴン
ガスの液化器の気化器を通して気化させることによって
得られる。そして、液化した液化回収アルゴンは、次に
低温蒸溜に付せられ沸点の最も低いＮ重（Ｂ、Ｐ−１９
５，８℃）が最初に、続いてＡｒ （Ｂ、Ｐ−１８５，
７ｂ ） 、その后０！（Ｂ、Ｐ−１８３℃）と云う順
次に夫々分溜され、アルゴンの純度はファイブナイン身
−に達する。
である。これら液体アルゴン及びもしくは窒素の冷熱は
、同液体アルゴン及びもしくは窒素を上記回収アルゴン
ガスの液化器の気化器を通して気化させることによって
得られる。そして、液化した液化回収アルゴンは、次に
低温蒸溜に付せられ沸点の最も低いＮ重（Ｂ、Ｐ−１９
５，８℃）が最初に、続いてＡｒ （Ｂ、Ｐ−１８５，
７ｂ ） 、その后０！（Ｂ、Ｐ−１８３℃）と云う順
次に夫々分溜され、アルゴンの純度はファイブナイン身
−に達する。
上記の回収方法の実施を示すフローチャートを第１図に
示す。―゛によって、上述した各プロセスをフローチャ
ートの各ブロック内に文字をもって表示しであることか
ら容易に理解され得よう。なお、高純度液体アルゴンか
らｓｉ半導体製造装置に至る間の気化器は、通常の気化
器であシこ＼で気化した高純度アルゴンガスと、前述の
ように高純度液体アルゴンの一部を回収アルゴンガスの
液化器の気化器（不図示）を経て気化した高純度アルゴ
ンガスとを合流させてＳｉ半導体製造装置に送致するよ
うにしたものである。回収液体アルゴンは純度がファイ
ブナインオーダーであるから、シクスナインオーダーの
要求されるＳｉ半導体装置には、そのま＼活用出来ず他
の雰囲気用に応用するものである。また、回収液体アル
ゴンは適宜気化して回収気体アルゴンとしてストックし
ても良い。
示す。―゛によって、上述した各プロセスをフローチャ
ートの各ブロック内に文字をもって表示しであることか
ら容易に理解され得よう。なお、高純度液体アルゴンか
らｓｉ半導体製造装置に至る間の気化器は、通常の気化
器であシこ＼で気化した高純度アルゴンガスと、前述の
ように高純度液体アルゴンの一部を回収アルゴンガスの
液化器の気化器（不図示）を経て気化した高純度アルゴ
ンガスとを合流させてＳｉ半導体製造装置に送致するよ
うにしたものである。回収液体アルゴンは純度がファイ
ブナインオーダーであるから、シクスナインオーダーの
要求されるＳｉ半導体装置には、そのま＼活用出来ず他
の雰囲気用に応用するものである。また、回収液体アル
ゴンは適宜気化して回収気体アルゴンとしてストックし
ても良い。
（発明の効果）
本発明は以上の如く、フィルター及び吸着によって粗精
製した回収アルゴンガスを液化した后、低温蒸溜によっ
てＮ！、０． を夫々分溜してファイブナイン−オー
ダーの回収液体アルゴンもしくは気体アルゴンを得るも
のであるから、従来のチタンゲッターを用いた精製手段
に較べて最終的な純度は低いものの経済的に有利に回収
アルゴンガスの再生が可能となり、この際上記液化を液
体アルゴンもしくは液体窒素の気化の冷熱によって実施
すればコスト的にも特筆となるものでｓｂ、一般的には
これ迄廃棄していた回収アルゴンガスの再生利用に一役
をかった発明である。
製した回収アルゴンガスを液化した后、低温蒸溜によっ
てＮ！、０． を夫々分溜してファイブナイン−オー
ダーの回収液体アルゴンもしくは気体アルゴンを得るも
のであるから、従来のチタンゲッターを用いた精製手段
に較べて最終的な純度は低いものの経済的に有利に回収
アルゴンガスの再生が可能となり、この際上記液化を液
体アルゴンもしくは液体窒素の気化の冷熱によって実施
すればコスト的にも特筆となるものでｓｂ、一般的には
これ迄廃棄していた回収アルゴンガスの再生利用に一役
をかった発明である。
第１図は本発明を実施するフローチャートである。
一以上一
Claims (1)
- １、高純度アルゴンガスを不活性雰囲気として用尽した
回収ガス中のダストをフィルターで除去し、次に圧力吸
着及びもしくは熱吸着によって不純物の一部を除去し、
続いて液体アルゴン及びもしくは液体窒素により液化し
、最終的に低温蒸溜精製して高純度アルゴンを液状もし
くは気体状で回収することを特徴とする雰囲気用アルゴ
ンガスの回収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59161810A JPS6138384A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 雰囲気用アルゴンガスの回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59161810A JPS6138384A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 雰囲気用アルゴンガスの回収方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138384A true JPS6138384A (ja) | 1986-02-24 |
Family
ID=15742340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59161810A Pending JPS6138384A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 雰囲気用アルゴンガスの回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138384A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4732580A (en) * | 1986-10-01 | 1988-03-22 | The Boc Group, Inc. | Argon and nitrogen coproduction process |
| JPH01310712A (ja) * | 1988-06-09 | 1989-12-14 | Kinki Reinetsu Kk | 加熱炉用雰囲気ガスの製造装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS594673A (ja) * | 1982-06-11 | 1984-01-11 | ミネソタ・マイニング・アンド・マニユフアクチユアリング・コンパニ− | 繊維状基材の処理方法 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP59161810A patent/JPS6138384A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS594673A (ja) * | 1982-06-11 | 1984-01-11 | ミネソタ・マイニング・アンド・マニユフアクチユアリング・コンパニ− | 繊維状基材の処理方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4732580A (en) * | 1986-10-01 | 1988-03-22 | The Boc Group, Inc. | Argon and nitrogen coproduction process |
| JPH01310712A (ja) * | 1988-06-09 | 1989-12-14 | Kinki Reinetsu Kk | 加熱炉用雰囲気ガスの製造装置 |
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