JPS61240104A - 対象物の寸法、位置、姿勢を電気光学的に測定するための方法と装置 - Google Patents
対象物の寸法、位置、姿勢を電気光学的に測定するための方法と装置Info
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- JPS61240104A JPS61240104A JP60152118A JP15211885A JPS61240104A JP S61240104 A JPS61240104 A JP S61240104A JP 60152118 A JP60152118 A JP 60152118A JP 15211885 A JP15211885 A JP 15211885A JP S61240104 A JPS61240104 A JP S61240104A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は対象物の表面の寸法、位置、姿勢を光学的に測
定する方法と装ｆＫ関するものであシ、特定の実施例に
よシ歯車やタービン羽根等の複雑な形状を正確に測定す
ることが可能な座Ｉｌ測定機械に基〈光学的三角測量術
を例示するものである。
定する方法と装ｆＫ関するものであシ、特定の実施例に
よシ歯車やタービン羽根等の複雑な形状を正確に測定す
ることが可能な座Ｉｌ測定機械に基〈光学的三角測量術
を例示するものである。
本発明は更に対象となる特徴の２つの面におけるＸＹ軸
の位置、範囲、姿勢を５軸迄正確に測定するための部材
と対象物上の可変角度、寸法の測定について開示するも
のでろる。
の位置、範囲、姿勢を５軸迄正確に測定するための部材
と対象物上の可変角度、寸法の測定について開示するも
のでろる。
現在当核分野においては多くの三角測量センナが知られ
ているが、本開示において明らかＫされたような、表面
形状の高速分析が出来る方法で複雑な表面上ＫＯ，００
０１インチ又は５０．Ｌｌｏｏ、０００インチ迄も細か
く正確に計測を行えるものは知られていない。
ているが、本開示において明らかＫされたような、表面
形状の高速分析が出来る方法で複雑な表面上ＫＯ，００
０１インチ又は５０．Ｌｌｏｏ、０００インチ迄も細か
く正確に計測を行えるものは知られていない。
、 多様な形の表面を非常に正確に計測するためＫ
は、センサは寸法上の見かけの変更は行わずに、部品か
ら反射される元の強度が大巾に変化（例１０）しても作
動出来るものでなくてはならない。
は、センサは寸法上の見かけの変更は行わずに、部品か
ら反射される元の強度が大巾に変化（例１０）しても作
動出来るものでなくてはならない。
更に、センサは高解像度、ドリフトのない部分寸法のデ
ジタルでの読み取シをも可能にしなければならない０本
発明は上記の、更に別の特徴を有する。
ジタルでの読み取シをも可能にしなければならない０本
発明は上記の、更に別の特徴を有する。
第１図に於いて、三次元の物体（例えばタービン羽根、
歯車）の輪郭を計測するのに有利なｉｔを示す、このシ
ステムは二つの明らかなモードで作動させる事が出来る
。これらのモードの一つにおいて、理論上の対象物の形
状をコンビエータで記憶シ、コンビエータはセンサをコ
ントロールしながら対象物の理論上の形状内を移動し、
通常の寸法から偏差したものＫついてはセンナからの信
号がこれを知らせる・第二のモードは表面の形状をデジ
タル化するため対象物の表面を走査するのに便利である
。この第二のモードではセンサ自体がゼロ探索装置とし
て使用され、システムをゼロにしておくために必！！！
なセンサの動きが対象物形状としてコンピュータによル
記会される。
歯車）の輪郭を計測するのに有利なｉｔを示す、このシ
ステムは二つの明らかなモードで作動させる事が出来る
。これらのモードの一つにおいて、理論上の対象物の形
状をコンビエータで記憶シ、コンビエータはセンサをコ
ントロールしながら対象物の理論上の形状内を移動し、
通常の寸法から偏差したものＫついてはセンナからの信
号がこれを知らせる・第二のモードは表面の形状をデジ
タル化するため対象物の表面を走査するのに便利である
。この第二のモードではセンサ自体がゼロ探索装置とし
て使用され、システムをゼロにしておくために必！！！
なセンサの動きが対象物形状としてコンピュータによル
記会される。
この種のシステムの主要な利点の一つはこれが非接触で
あるということである。計測用光学装置を用いて、機械
的プローブで触るには柔かすぎるか、もろすぎるか、こ
われやすい対象物の計測が可能である。これに加えて、
センナ自体は何十分の１インチの精度の非常に小さな測
定範囲を有しているかも知れないが、全般には６〜ｌＯ
インチの程度の精度範囲を有する。これはセンナを広い
面積にわたって移動させることの出来る高解像度計測テ
ーブルの能力の故である。その他磨耗したり、穴にひっ
かかったシするコンタクトＩインドもなく、更に穴の有
無を点検することも出来る。
あるということである。計測用光学装置を用いて、機械
的プローブで触るには柔かすぎるか、もろすぎるか、こ
われやすい対象物の計測が可能である。これに加えて、
センナ自体は何十分の１インチの精度の非常に小さな測
定範囲を有しているかも知れないが、全般には６〜ｌＯ
インチの程度の精度範囲を有する。これはセンナを広い
面積にわたって移動させることの出来る高解像度計測テ
ーブルの能力の故である。その他磨耗したり、穴にひっ
かかったシするコンタクトＩインドもなく、更に穴の有
無を点検することも出来る。
かくして、対象物に触れることのない非常に正確な局所
センナ規準が得られ、更に何立方フィートかの測定量を
含む非常に正確な基準枠を得るものである。
センナ規準が得られ、更に何立方フィートかの測定量を
含む非常に正確な基準枠を得るものである。
システムは三つの基本部分よシ成るが、これらはセンサ
、可動テーブルシステムなラヒニコントロールコンビ二
一タでアル。
、可動テーブルシステムなラヒニコントロールコンビ二
一タでアル。
センサ（８）は、この場合出力がポッケルス電池（２）
によってフントロールされるレーザーである投射用光源
（１）から成る。ポッケルス電池を通過した後の光のエ
ネルギは対象物（４）の表面上の点２人へ焦点レンズ（
３）を介して集中する。対象物からの散光は角度αで結
像レンズ（５）によシ集められ、線形フォトダイオード
アレイ（７）上に結像する。鏡（６）の機能は包装全体
の大きさを減らすことにある。それから線形フォトダイ
オードアレイを使って結像した光のスイットの位置を感
じとる。適正なα角度は３０度〜５０度の範囲内である
。現在使用されているシステムは４５度で作動する。光
学システムは対象物の表面がその名目上の位置にある時
結像した元のスイットが線形フォトダイオードアレイ（
７）の中心に来るように調整する。対象物（４）をセン
ナ（８）から離すように、又はこれに向けて動かすと、
結像した光のスポットはフォトダイオードアレイ（７）
を横切るように動く。線形フォトダイオードアレイ（７
）内の結像した光のスイットの動きは結像レンズ（５）
を中心とした同様な三角形により関連づけられている。
によってフントロールされるレーザーである投射用光源
（１）から成る。ポッケルス電池を通過した後の光のエ
ネルギは対象物（４）の表面上の点２人へ焦点レンズ（
３）を介して集中する。対象物からの散光は角度αで結
像レンズ（５）によシ集められ、線形フォトダイオード
アレイ（７）上に結像する。鏡（６）の機能は包装全体
の大きさを減らすことにある。それから線形フォトダイ
オードアレイを使って結像した光のスイットの位置を感
じとる。適正なα角度は３０度〜５０度の範囲内である
。現在使用されているシステムは４５度で作動する。光
学システムは対象物の表面がその名目上の位置にある時
結像した元のスイットが線形フォトダイオードアレイ（
７）の中心に来るように調整する。対象物（４）をセン
ナ（８）から離すように、又はこれに向けて動かすと、
結像した光のスポットはフォトダイオードアレイ（７）
を横切るように動く。線形フォトダイオードアレイ（７
）内の結像した光のスイットの動きは結像レンズ（５）
を中心とした同様な三角形により関連づけられている。
このテクニツクを光学的三角測量法と称する＠対象物の
形状によっては、照明スポットの反対＠に同じような受
光システムを設けることが好ましい。これは、追加の結
儂しン、ｅ（１２） 、追加のｆｉ （１３）と追加の
線形フォトダイオードアレイ（１４）から成る。
形状によっては、照明スポットの反対＠に同じような受
光システムを設けることが好ましい。これは、追加の結
儂しン、ｅ（１２） 、追加のｆｉ （１３）と追加の
線形フォトダイオードアレイ（１４）から成る。
レーザーのスポット又は光のスポットを対象物表面上に
極〈小さくして保つことが精度上好ましいことも留意す
べきである。２０００〜５０００分の１インチ程度のス
ポットが通常は非常に好ましい。
極〈小さくして保つことが精度上好ましいことも留意す
べきである。２０００〜５０００分の１インチ程度のス
ポットが通常は非常に好ましい。
これが好ましいのは二つの理由からである・先ず第一に
、光のスポットを横切る表面の反射角度変化はプレイで
の中心の測定誤差を生じる。スポットを小さくしておく
ことによシこの種の誤差を劇的に減少させることが発見
されている。第二に対象物表面上のスポットはフォトグ
イオードアレイ上のレンズに依って拡大されるので、表
面上の小さなスポットはフォトダイオードプレイの上で
も適当に小さいスポットでなければならない。スポット
が不さければびんと張つ念曲線をも正確に測定すること
が出来る。
、光のスポットを横切る表面の反射角度変化はプレイで
の中心の測定誤差を生じる。スポットを小さくしておく
ことによシこの種の誤差を劇的に減少させることが発見
されている。第二に対象物表面上のスポットはフォトグ
イオードアレイ上のレンズに依って拡大されるので、表
面上の小さなスポットはフォトダイオードプレイの上で
も適当に小さいスポットでなければならない。スポット
が不さければびんと張つ念曲線をも正確に測定すること
が出来る。
投射用光源としてレーデ−を使用する場合、投射光の干
渉による結像中の小さな斑点の問題が轟然生ずる。この
問題を避けるための手段としては先ず第一に出来るだけ
大きい径を有する結像レンズを使用することであシ、第
二には巾の広いフォトダイオードアレイを使用すること
である。この巾の広いアレイはレーデ−のスポット中の
斑点を横方向に集める傾向がある。すなわち、３：１の
拡大層で０．０１フインチの巾のダイオードアレイを前
に使った０、００１インチの代シに使用するとシステム
の精度は可成〕改良された。
渉による結像中の小さな斑点の問題が轟然生ずる。この
問題を避けるための手段としては先ず第一に出来るだけ
大きい径を有する結像レンズを使用することであシ、第
二には巾の広いフォトダイオードアレイを使用すること
である。この巾の広いアレイはレーデ−のスポット中の
斑点を横方向に集める傾向がある。すなわち、３：１の
拡大層で０．０１フインチの巾のダイオードアレイを前
に使った０、００１インチの代シに使用するとシステム
の精度は可成〕改良された。
センサ（８）の設計上重要視しなければならない点は、
対象物表面から反射される光の量である。
対象物表面から反射される光の量である。
通常、対象物の表面は非常に鈍い光を反射するものから
非常に明るい光を反射するもの、非常に粗いものから非
常に滑らかなものと多種多様である・これらは轟然対象
物の表面から反射される光の量を変化させるものであシ
、従って７オトダイオードアレイ上の元の量をも変化さ
せる。スポットを検出するには成る最低量の光が必要と
されるので党の量が多すぎるとスーットの中心点の場所
が不確かとなシ、従って７オトダイオードアレイ上に投
射される光の量をコントロールすることが必要で６シ、
又はこれに対応して、光の収集時間を増やすためにフォ
トダイオードアレイの積算時間をコン）ｏ−ルすること
が必要である。このため、マイクロコンビ為−タ（１９
） ヲ使って４ツケルス電池上の電圧をコントロールし
、これＫよシ対象物表面ＫＷる光の量をコントロールす
ると共に１線形フオトダイオードアレイ（７）の作動時
間又は積算時間をコントロールする。通常の作動モード
では、７オトダイオードアレイを出来るだけ高速で動か
して作動速度を最大限にすることが好ましい、従って、
第一のコントロールモードはフォトダイオードアレイを
サンプリングすることにより表面に到達する電力を変化
させ、マイクロコンビ二一夕を介してフィードバックル
ープ内で７オトダイオードアレイの速度をコントロール
するものである。／ッケルス電池がレーザーからの光を
最大限に通過させる点に到達した時には、フォトダイオ
ードアレイの作動速度をゆるめ、レーザーの電力のみを
コントロールすることによシ、非常に鈍い光で仕上げた
表面を測定することが可能となる。この場合には、ｒ−
ジの全般的速度が減少するが光の鈍い表面からも測定を
行うことが可能である。このテクニックを利用して反射
度が拡大層５倍に迄（１０Ｘ）変化する表面を測定する
ことが出来る。
非常に明るい光を反射するもの、非常に粗いものから非
常に滑らかなものと多種多様である・これらは轟然対象
物の表面から反射される光の量を変化させるものであシ
、従って７オトダイオードアレイ上の元の量をも変化さ
せる。スポットを検出するには成る最低量の光が必要と
されるので党の量が多すぎるとスーットの中心点の場所
が不確かとなシ、従って７オトダイオードアレイ上に投
射される光の量をコントロールすることが必要で６シ、
又はこれに対応して、光の収集時間を増やすためにフォ
トダイオードアレイの積算時間をコン）ｏ−ルすること
が必要である。このため、マイクロコンビ為−タ（１９
） ヲ使って４ツケルス電池上の電圧をコントロールし
、これＫよシ対象物表面ＫＷる光の量をコントロールす
ると共に１線形フオトダイオードアレイ（７）の作動時
間又は積算時間をコントロールする。通常の作動モード
では、７オトダイオードアレイを出来るだけ高速で動か
して作動速度を最大限にすることが好ましい、従って、
第一のコントロールモードはフォトダイオードアレイを
サンプリングすることにより表面に到達する電力を変化
させ、マイクロコンビ二一夕を介してフィードバックル
ープ内で７オトダイオードアレイの速度をコントロール
するものである。／ッケルス電池がレーザーからの光を
最大限に通過させる点に到達した時には、フォトダイオ
ードアレイの作動速度をゆるめ、レーザーの電力のみを
コントロールすることによシ、非常に鈍い光で仕上げた
表面を測定することが可能となる。この場合には、ｒ−
ジの全般的速度が減少するが光の鈍い表面からも測定を
行うことが可能である。このテクニックを利用して反射
度が拡大層５倍に迄（１０Ｘ）変化する表面を測定する
ことが出来る。
センナの設計についてのもう一つの重要な点は、システ
ム内に使用した拡大層である。３倍から５倍にわ念る光
学的拡大室をもって、フォトダイオードアレイの寸法に
関するスポットの動きを最大限に利用するのが好ましい
。これに加えて、フォトダイオードアレイを通常の元の
入射角の方向に傾けることが出来る。これＫよシ二つの
機能を果すことが出来る。大巾な動きに、あわせてシス
テムの焦点をあわせ、更により高能率の拡大層を得るこ
とが出来る。
ム内に使用した拡大層である。３倍から５倍にわ念る光
学的拡大室をもって、フォトダイオードアレイの寸法に
関するスポットの動きを最大限に利用するのが好ましい
。これに加えて、フォトダイオードアレイを通常の元の
入射角の方向に傾けることが出来る。これＫよシ二つの
機能を果すことが出来る。大巾な動きに、あわせてシス
テムの焦点をあわせ、更により高能率の拡大層を得るこ
とが出来る。
移動テーブルシステムによシセンサのヘッドの゛範囲を
更に大きくすることが可能となる１例えば、Ｘ−Ｙ軸テ
ーブル（９）が各々６インチの移動範囲とｓ、ｏｏｏ万
分の１インチの解儂度を有するとした場合には、これは
センサ（８）の解偉度が非常に高いことと関連して、非
常に大きな高精度の測定を行うことが出来る。更ＫＺ軸
チーツル（１１）は１２〜１４インチの移動範囲を有す
ることが出来る。これは、回転テーブル（１０）により
対象物（４）を３６０度に全回転する能力と相俟って、
順番にＸ軸、Ｙ軸、２軸又は０軸を動かすことによ〕対
象物の全輪郭を描くことが出来る。コントロールコンビ
ーータはそのメモリに設計データを記憶し、対象物をテ
ーブルシステムを介してセンサ（８）の動きに変換する
ことが出来る。
更に大きくすることが可能となる１例えば、Ｘ−Ｙ軸テ
ーブル（９）が各々６インチの移動範囲とｓ、ｏｏｏ万
分の１インチの解儂度を有するとした場合には、これは
センサ（８）の解偉度が非常に高いことと関連して、非
常に大きな高精度の測定を行うことが出来る。更ＫＺ軸
チーツル（１１）は１２〜１４インチの移動範囲を有す
ることが出来る。これは、回転テーブル（１０）により
対象物（４）を３６０度に全回転する能力と相俟って、
順番にＸ軸、Ｙ軸、２軸又は０軸を動かすことによ〕対
象物の全輪郭を描くことが出来る。コントロールコンビ
ーータはそのメモリに設計データを記憶し、対象物をテ
ーブルシステムを介してセンサ（８）の動きに変換する
ことが出来る。
第２図にシステムの基本構成を示すが、ここでＦｉコン
トロールコンビ為−タ（１５）、命令ヤソノ他のデータ
をコンビ具−夕に入力する丸めの入力ターミナル（１６
） 、輪郭又は所望の輪郭からの偏ｆ 差をグロット
するためのＸ−Ｙ軸プ四ツタ（１７）、コントロールコ
ンビ晶−タからの命令ヲ受ケてセンサヘッドをスペース
中の色々な位置へ動かす４軸のチーグルコントローラ（
１８）と、アレイの走査速度と、光をコントロールする
ための一ツケルス電池へ印加する電圧とをコントロール
するセンサコントロール用マイクロコンビ為−タ（１９
”） 、！−から成る。これは単数又は複数の７オトダ
イオートアレイのレベルカウンタ（２０）（２１）から
情報を受け、マイクロフンピユータがフォトダイオード
アレイの積分時間の変更を行うようにする。
トロールコンビ為−タ（１５）、命令ヤソノ他のデータ
をコンビ具−夕に入力する丸めの入力ターミナル（１６
） 、輪郭又は所望の輪郭からの偏ｆ 差をグロット
するためのＸ−Ｙ軸プ四ツタ（１７）、コントロールコ
ンビ晶−タからの命令ヲ受ケてセンサヘッドをスペース
中の色々な位置へ動かす４軸のチーグルコントローラ（
１８）と、アレイの走査速度と、光をコントロールする
ための一ツケルス電池へ印加する電圧とをコントロール
するセンサコントロール用マイクロコンビ為−タ（１９
”） 、！−から成る。これは単数又は複数の７オトダ
イオートアレイのレベルカウンタ（２０）（２１）から
情報を受け、マイクロフンピユータがフォトダイオード
アレイの積分時間の変更を行うようにする。
一方、センナをｒ、θ、更に多分φで動かした時には極
座標に基いたシステムを利用することが出来る。極座標
を利用するのは、例えば凹面の輪郭を所望の特等有利で
ある。かかるシステムは、非常に速い速度で変化する曲
面の場合にも使用できる。極座標システムの更に別の利
点は、高精度の軸受モータとシャフトエン；−ダの組合
せで角度の走査（０又はφ）が可能となるので機械的に
非常に速く、且つ円滑に行うことができる。尚図中（２
２）ａ／ケットセルノヤワー；ントロール、（２３）は
フォトダイオードアレイ（７）の速度コントクールであ
シ、（２４）は７ｔトダイオードアレイ（１４）の速度
コントロールでおる。
座標に基いたシステムを利用することが出来る。極座標
を利用するのは、例えば凹面の輪郭を所望の特等有利で
ある。かかるシステムは、非常に速い速度で変化する曲
面の場合にも使用できる。極座標システムの更に別の利
点は、高精度の軸受モータとシャフトエン；−ダの組合
せで角度の走査（０又はφ）が可能となるので機械的に
非常に速く、且つ円滑に行うことができる。尚図中（２
２）ａ／ケットセルノヤワー；ントロール、（２３）は
フォトダイオードアレイ（７）の速度コントクールであ
シ、（２４）は７ｔトダイオードアレイ（１４）の速度
コントロールでおる。
本発明の別の実施例を第３図に示す。光学ヘッド内の電
気光学的システムはレーデ−（３３）、／ッケルス電池
（３２） 、分析器（３４）、ビーム焦点レン／（３１
）、対象物（２５）、結儂レンズ（２６）。
気光学的システムはレーデ−（３３）、／ッケルス電池
（３２） 、分析器（３４）、ビーム焦点レン／（３１
）、対象物（２５）、結儂レンズ（２６）。
（３５） 、鏡（２７）（３６） 、中和濃度フィルタ
（２８）（３７）、線形フォトダイオードアレイ各２個
（２９）（３８） 、ならび忙７オトダイオードアレイ
コントロールカーｒ各２個（３０）（３９）とから成る
。尚、説明の九め第３Ａ図のＰＣ７８０７回路図及び第
３Ｂ図のＰＣ７８０８回路図とを言葉の上で含む。
（２８）（３７）、線形フォトダイオードアレイ各２個
（２９）（３８） 、ならび忙７オトダイオードアレイ
コントロールカーｒ各２個（３０）（３９）とから成る
。尚、説明の九め第３Ａ図のＰＣ７８０７回路図及び第
３Ｂ図のＰＣ７８０８回路図とを言葉の上で含む。
７オトグイオードアレイから生じるビデオ信号をサンプ
ルし、クロックツ々ルスの間で保持して第４図と等しい
がックスカ一式ビデオ出力を生じる。
ルし、クロックツ々ルスの間で保持して第４図と等しい
がックスカ一式ビデオ出力を生じる。
アレイコントロール盤は外部のクロックと共に作動し、
光のレベル補償盤Ｐ、Ｃ，７８０８（４０）から供給さ
れる信号を開始する。ビデオ信号はグロダラム可能フィ
ルタ（ロウパス）（４１）へ送うれ、側面当シ４つのビ
デオフィルタ出力はその各マルチレベルスポットの中心
のファインダ（４２）へ送られ〜ことで信号の一つがえ
らばれる。ビデオ信号はそれからレベル検出し、その結
果得たカウント／中ルス順序はカウントした後、目視検
査のためディスプレイされる一方、Ａ／Ｄとデータディ
ストリビエーシ冒ンカードＰＣ７９０３（４３）へと送
られて、二進法でカウントする。その結果得た二進数は
マイクロコンビエータ（４４）へ送られ、そこでデータ
に目盛をつけ、線形化する。
光のレベル補償盤Ｐ、Ｃ，７８０８（４０）から供給さ
れる信号を開始する。ビデオ信号はグロダラム可能フィ
ルタ（ロウパス）（４１）へ送うれ、側面当シ４つのビ
デオフィルタ出力はその各マルチレベルスポットの中心
のファインダ（４２）へ送られ〜ことで信号の一つがえ
らばれる。ビデオ信号はそれからレベル検出し、その結
果得たカウント／中ルス順序はカウントした後、目視検
査のためディスプレイされる一方、Ａ／Ｄとデータディ
ストリビエーシ冒ンカードＰＣ７９０３（４３）へと送
られて、二進法でカウントする。その結果得た二進数は
マイクロコンビエータ（４４）へ送られ、そこでデータ
に目盛をつけ、線形化する。
実際の作動時には、外部のフントロールコンビ為−夕が
内部のマイクロコンビエータに信号を送って読み取シを
開始させる。するとマイクロフンピユータはポッケルス
電池コントローラ（４５） Ｋ ′信号を送シ、
光による読み取りを行う、これが終了すると、コントロ
ーラでポッケルス電池（３２）を一定の照明度にセット
し、この動作の後で光度補償回路に信号を与え一連のダ
イオードアレイ走査を始める。
内部のマイクロコンビエータに信号を送って読み取シを
開始させる。するとマイクロフンピユータはポッケルス
電池コントローラ（４５） Ｋ ′信号を送シ、
光による読み取りを行う、これが終了すると、コントロ
ーラでポッケルス電池（３２）を一定の照明度にセット
し、この動作の後で光度補償回路に信号を与え一連のダ
イオードアレイ走査を始める。
左側のチャンネルと右側のオプシ覆ナルチャンネルの読
み地〕が行われると、データをマイクロコンビエータへ
送って処理し、その後でデータをコンビエータ母線に入
れる。 ′線形ダイオードアレ
イを外部クロックで操作出来るようにセットし、各走査
を外からのスタートの命令で開始する。レンズ（２６）
Ｋよシダイオードアレイ（２９）上Ｅ１ｍ僚し念し−ザ
ース？ットの儂はダイオードアレイのビデオ出力上に電
圧ノ臂ルスを発し、ダイオードアレイ上のスポットの位
置を知らせる。このビデオノ々ルスの形状はレーザーの
ガウスによる電力分布により、その大きさは反射光の輝
度と、これに続く二回の走査の間の遅延分による投射ビ
ームの強さと、続いて行われる走査の間の遅砥が発生す
るのに基く第二のシステムに対処するためである・ コンビ凰−夕は外部のコントロール装置が新しく読み取
〕を開始すると、第一次の光のレベル補償が開始される
。？ッケルス電池コントローラはピークホールド回路を
通じてビデオノ譬ルスの電圧イ 測定を行い、この
測定に基いて投射ビームの強さを増減する。／ッケルス
電池電圧と、従って光の出力とは次に行われる寸法測定
中一定に保たれる。
み地〕が行われると、データをマイクロコンビエータへ
送って処理し、その後でデータをコンビエータ母線に入
れる。 ′線形ダイオードアレ
イを外部クロックで操作出来るようにセットし、各走査
を外からのスタートの命令で開始する。レンズ（２６）
Ｋよシダイオードアレイ（２９）上Ｅ１ｍ僚し念し−ザ
ース？ットの儂はダイオードアレイのビデオ出力上に電
圧ノ臂ルスを発し、ダイオードアレイ上のスポットの位
置を知らせる。このビデオノ々ルスの形状はレーザーの
ガウスによる電力分布により、その大きさは反射光の輝
度と、これに続く二回の走査の間の遅延分による投射ビ
ームの強さと、続いて行われる走査の間の遅砥が発生す
るのに基く第二のシステムに対処するためである・ コンビ凰−夕は外部のコントロール装置が新しく読み取
〕を開始すると、第一次の光のレベル補償が開始される
。？ッケルス電池コントローラはピークホールド回路を
通じてビデオノ譬ルスの電圧イ 測定を行い、この
測定に基いて投射ビームの強さを増減する。／ッケルス
電池電圧と、従って光の出力とは次に行われる寸法測定
中一定に保たれる。
寸法測定は、Ｉツケルス電池（３２）が新しい強度レベ
ルに落ちついてのち、マイクロコンビ晶−タ（４４）に
よシ開始される。線形ダイオードアレイは光レベル補償
盤（４０）から発せられる一定のクロック速度で操作す
る。この光レベル補償盤（４０）（ＰＣ７８０８）は更
にフォトダイオードアレイスタートパルスも発する。
ルに落ちついてのち、マイクロコンビ晶−タ（４４）に
よシ開始される。線形ダイオードアレイは光レベル補償
盤（４０）から発せられる一定のクロック速度で操作す
る。この光レベル補償盤（４０）（ＰＣ７８０８）は更
にフォトダイオードアレイスタートパルスも発する。
フォトダイオードアレイの発する信号の振幅は一定の光
学パワーレベルの光の積算時間に比例する。光の積算時
間は二つの相次いで行われる走査の開始の間に経過した
時間である。従って積算時間ｔ−コントロールすること
Ｋよって、ダイオードアレイの出力電圧をコントロール
することが出来、且つクロックの速度を一定にすること
が出来る・クロックの速度が一定であると、ビデオ信号
の周波数の内容が走査毎に変らないので、一定の帯域中
のプログラム可能フィルタ（４１）を使用することが出
来る。これらのフィルタは、ビデオ信号の斑点効果によ
シ誘発された高周波数上の複数トリガの問題を回避する
九め必要となる。
学パワーレベルの光の積算時間に比例する。光の積算時
間は二つの相次いで行われる走査の開始の間に経過した
時間である。従って積算時間ｔ−コントロールすること
Ｋよって、ダイオードアレイの出力電圧をコントロール
することが出来、且つクロックの速度を一定にすること
が出来る・クロックの速度が一定であると、ビデオ信号
の周波数の内容が走査毎に変らないので、一定の帯域中
のプログラム可能フィルタ（４１）を使用することが出
来る。これらのフィルタは、ビデオ信号の斑点効果によ
シ誘発された高周波数上の複数トリガの問題を回避する
九め必要となる。
とのゲージに使用するシステムはＴ＝ｔ 、 ？＝２ｔ
＊Ｔ＝４ ｔ Ｉ ’ｒｚｓ を等の幾何学的配列によ
り（式中ｔは単位積算時間）ダイオードアレイに対して
スター ） ｉ４ ルスｔ−１−ｔ−る。従ってビデオ
出力電圧は各走査上の積算時間が増加するＫつれて、１
，２゜４．８等に変化する。各積算時間は二つの区分、
即ち待ち時間と走査時間とから成る・この設計では、ｔ
はアレイ走査時間と等しい、従うてＴ＝ｔの待ち時間は
ぜ四に等しく、Ｔ冨４ｔ１丁＝８を等では待ち時間は走
査時間よシ大きい。
＊Ｔ＝４ ｔ Ｉ ’ｒｚｓ を等の幾何学的配列によ
り（式中ｔは単位積算時間）ダイオードアレイに対して
スター ） ｉ４ ルスｔ−１−ｔ−る。従ってビデオ
出力電圧は各走査上の積算時間が増加するＫつれて、１
，２゜４．８等に変化する。各積算時間は二つの区分、
即ち待ち時間と走査時間とから成る・この設計では、ｔ
はアレイ走査時間と等しい、従うてＴ＝ｔの待ち時間は
ぜ四に等しく、Ｔ冨４ｔ１丁＝８を等では待ち時間は走
査時間よシ大きい。
上記の二進シーケンスはＤ６．Ｄ５．Ｄ４．Ｄｌｌ。
ＤＩＯから成る二進カウンタチェーンによ、り Ｐ０７
８０８上に発生する。シーケンス委号はカウンタＤ９に
よシ発せられ、マルチブレフサ０１２によシ選択をうけ
る。ダイオードプレイ走査が終る毎に、Ｄ９が増分され
、Ｄ１２の積算・時間が長くなる。待ち時間が終ると、
スタートパルスが発せられ、ダイオードプレイ走査を開
始する。両方のビデオ信号が一定の閾値レベルに達した
時、又はコンバラタＤ１５が走査サイクル終了信号を発
した時、シーケンスは終了し、これによシサムホイール
で事前にセットした数に二進シーケンスを限定する。
８０８上に発生する。シーケンス委号はカウンタＤ９に
よシ発せられ、マルチブレフサ０１２によシ選択をうけ
る。ダイオードプレイ走査が終る毎に、Ｄ９が増分され
、Ｄ１２の積算・時間が長くなる。待ち時間が終ると、
スタートパルスが発せられ、ダイオードプレイ走査を開
始する。両方のビデオ信号が一定の閾値レベルに達した
時、又はコンバラタＤ１５が走査サイクル終了信号を発
した時、シーケンスは終了し、これによシサムホイール
で事前にセットした数に二進シーケンスを限定する。
本設計に利用した光学三角測量法によると、咳当部分の
寸法に関する情報は、ダイオードプレイ１忙投射される
元のスポットの中心点の位置を計算するととＫよって得
られる複雑な計算方法を行うよシは、簡単な計数のテク
ニックを案出し、第５図に示す光学の中心又はスポット
の中心を見出した。
寸法に関する情報は、ダイオードプレイ１忙投射される
元のスポットの中心点の位置を計算するととＫよって得
られる複雑な計算方法を行うよシは、簡単な計数のテク
ニックを案出し、第５図に示す光学の中心又はスポット
の中心を見出した。
各ダイオードアレイ要素は人の区分では２として数え、
Ｂの区分でビデオ信号が閾値を超えると、各要素は１と
して数える。ビデオがＢの末端で閾値以下になると、ダ
イオードアレイ走査の終シで計数は全て停止する。従っ
て、カウンタは位置についての情報を有している。この
点でのカウントはスポットの始まる点と中心線の間のア
レイ要素の数の２倍であるが、閾値を２回超えているの
で、この数の正確さはＡ ＋ Ｂ ／ ２を計算した場
合にくらべて２倍である。この論法を押しすすめると、
複数の閾値を使って位置の解ｇ１度を更に改良すること
が出来る。第６図に２つの閾値を使ったシステムを示し
、印刷回路ＰＣ７８０７０４レベルのスポットの中心点
ファインダを４つの閾値レベルへと延長しえ・故に理論
上はこれで精度は４倍改良されることＫなる。
Ｂの区分でビデオ信号が閾値を超えると、各要素は１と
して数える。ビデオがＢの末端で閾値以下になると、ダ
イオードアレイ走査の終シで計数は全て停止する。従っ
て、カウンタは位置についての情報を有している。この
点でのカウントはスポットの始まる点と中心線の間のア
レイ要素の数の２倍であるが、閾値を２回超えているの
で、この数の正確さはＡ ＋ Ｂ ／ ２を計算した場
合にくらべて２倍である。この論法を押しすすめると、
複数の閾値を使って位置の解ｇ１度を更に改良すること
が出来る。第６図に２つの閾値を使ったシステムを示し
、印刷回路ＰＣ７８０７０４レベルのスポットの中心点
ファインダを４つの閾値レベルへと延長しえ・故に理論
上はこれで精度は４倍改良されることＫなる。
アナログスイッチＡ１．Ａ、とデコーダＡ３によシ、ビ
デオフィルタの選定が可能となる。緩衝増巾器Ａ４の出
力はレベル検出器Ａ７．Ａ８．Ａ９゜ＡＩＯの変換入力
へと供給する・Ａ６の緩衝層ル器は上記のレベル検出器
に対して一定の閾値を与え、閾値レベルは抵抗器チェー
ンＲ＠ ｅ Ｒ４＃ Ｒ＠ ｅ Ｒ＠ ｅ８１ ＃ Ｒ
＠ ｅ Ｒ１・によって作シ出され、Ｉ−テンジオメー
タＲ１２によシ調整される。エツジでトリがし九７リツ
グフロツプＤ４．Ｄ５．Ｄ６．Ｄｌｌはビデオパルスの
導爆をピン１１の入力上に、末端をピン３０入力上に検
出する。フリラグフロッグの出力はｆ−タセレクタＤ１
２が順に問合せをし、カウｙ／Ｄ１＃選択する。Ｄｌへ
のクロック入力はダイオードアレイのクロックの速度よ
シ８倍速い。Ｄｌの出力はレーデ−のスポットの光学中
心線上の位置情報を含むカウントパルスシーケンスであ
る。
デオフィルタの選定が可能となる。緩衝増巾器Ａ４の出
力はレベル検出器Ａ７．Ａ８．Ａ９゜ＡＩＯの変換入力
へと供給する・Ａ６の緩衝層ル器は上記のレベル検出器
に対して一定の閾値を与え、閾値レベルは抵抗器チェー
ンＲ＠ ｅ Ｒ４＃ Ｒ＠ ｅ Ｒ＠ ｅ８１ ＃ Ｒ
＠ ｅ Ｒ１・によって作シ出され、Ｉ−テンジオメー
タＲ１２によシ調整される。エツジでトリがし九７リツ
グフロツプＤ４．Ｄ５．Ｄ６．Ｄｌｌはビデオパルスの
導爆をピン１１の入力上に、末端をピン３０入力上に検
出する。フリラグフロッグの出力はｆ−タセレクタＤ１
２が順に問合せをし、カウｙ／Ｄ１＃選択する。Ｄｌへ
のクロック入力はダイオードアレイのクロックの速度よ
シ８倍速い。Ｄｌの出力はレーデ−のスポットの光学中
心線上の位置情報を含むカウントパルスシーケンスであ
る。
読み取りのジッターを紡ぐために、ビデオ信号レベルは
Ａｌｌ上の閾値忙到達してデータを正当なものとしなけ
ればならない。−回の走査中にこの閾値に遅しない時は
前よシも２倍の積算時間後ｋＰ０７８０８で新しい走査
を開始する。
Ａｌｌ上の閾値忙到達してデータを正当なものとしなけ
ればならない。−回の走査中にこの閾値に遅しない時は
前よシも２倍の積算時間後ｋＰ０７８０８で新しい走査
を開始する。
操作速度を高速にする時は、鯖ラインのテクニックを以
下の通）利用してビデオ信号を処理する必要がある。特
定の走査中に発したビデオ信号は処理をして信号が遅延
ラインを通過するのと同じ時間の間に光のスポット強度
の平均（又はピークの）電力読み取シを行う。それから
平均（又はピーク）電力読み取シを使りて閾値のレベル
をセットし、上述したように１ス４ツトの中心位置を得
るようＫなっている。
下の通）利用してビデオ信号を処理する必要がある。特
定の走査中に発したビデオ信号は処理をして信号が遅延
ラインを通過するのと同じ時間の間に光のスポット強度
の平均（又はピークの）電力読み取シを行う。それから
平均（又はピーク）電力読み取シを使りて閾値のレベル
をセットし、上述したように１ス４ツトの中心位置を得
るようＫなっている。
光学的測量テクニックを特定の問題に応用した例はイヤ
（４６）のピッチ、円、ランアウトの測定である。二つ
の光学的三角測量システムとエレクトロニクス部品を使
用して測定を行う、一つは基準位置と、基準センサ（４
７）と称するトリガユニットを形成するためであシ、も
う一つは基準センサの命令によシ測定を行うためであっ
て、これを測定センサ（４８）と称する。
（４６）のピッチ、円、ランアウトの測定である。二つ
の光学的三角測量システムとエレクトロニクス部品を使
用して測定を行う、一つは基準位置と、基準センサ（４
７）と称するトリガユニットを形成するためであシ、も
う一つは基準センサの命令によシ測定を行うためであっ
て、これを測定センサ（４８）と称する。
これらのユニットは同じであって、レーデ−光線光６！
（４９Ｘ５４）と？ヴケルス電池（５０Ｘ５５）から
成夛、光の出力の強さをコントロールする。Ｊｊｔの出
力は焦束レンズ（５１Ｘ５６）Ｋより小さな直径のスポ
ットとなシ、対象物上のこの光のスポットの儂は結像レ
ンズ（５２）（５７）Ｋよりて線形フォトダイオードア
レイ（５３）（５８）上にＷ！偉スデットを形成する。
（４９Ｘ５４）と？ヴケルス電池（５０Ｘ５５）から
成夛、光の出力の強さをコントロールする。Ｊｊｔの出
力は焦束レンズ（５１Ｘ５６）Ｋより小さな直径のスポ
ットとなシ、対象物上のこの光のスポットの儂は結像レ
ンズ（５２）（５７）Ｋよりて線形フォトダイオードア
レイ（５３）（５８）上にＷ！偉スデットを形成する。
線形フォトダイオードアレイを使用して光が結偉し友場
所の位置を計測し、これを計測ユニットに関してギヤ表
面の位置と関連づける・ 基準センサ（４７） 、測定センサ（４ｇ ）はギヤの
が偶数であるギヤではセンナは直径方向に相対しておシ
、奇数の場合はセンナはギヤの歯の半分をオフセットす
る回転角を有する。
所の位置を計測し、これを計測ユニットに関してギヤ表
面の位置と関連づける・ 基準センサ（４７） 、測定センサ（４ｇ ）はギヤの
が偶数であるギヤではセンナは直径方向に相対しておシ
、奇数の場合はセンナはギヤの歯の半分をオフセットす
る回転角を有する。
ギヤ（４６）が軸に沿って回転すると、基準センナはピ
ッチ円の半径に関してギヤの歯の表面の坐る時に蝶、基
準センサ（り２）は測定センサ（≠６）をトリガして基
準センサ（４７）に対向するギヤの歯の表面の半極上の
位置を測定する。完全なイヤでは、この表面もピッチ円
の半径上に存在する。
ッチ円の半径に関してギヤの歯の表面の坐る時に蝶、基
準センサ（り２）は測定センサ（≠６）をトリガして基
準センサ（４７）に対向するギヤの歯の表面の半極上の
位置を測定する。完全なイヤでは、この表面もピッチ円
の半径上に存在する。
しかしながらギヤの、歯の幾何学的中心がギヤの回転軸
から移動して形成されるピッチ、Ｆ（、ランアウトがあ
ると、被測定面の位置がｉ＠９図に示したようなサイク
ル状でピッチ円の半径から有効に離れる。ギヤが完全に
１回転した場合のギヤの歯の表面の半径方向の移動量は
ギヤの回転軸に関してピッチ円の中心の移動量の二倍で
ある。
から移動して形成されるピッチ、Ｆ（、ランアウトがあ
ると、被測定面の位置がｉ＠９図に示したようなサイク
ル状でピッチ円の半径から有効に離れる。ギヤが完全に
１回転した場合のギヤの歯の表面の半径方向の移動量は
ギヤの回転軸に関してピッチ円の中心の移動量の二倍で
ある。
ギヤのその他の）母うメータはこの概念を修正する歯を
観察して測定することが出来る。ギヤの歯の複雑な輪郭
は、−予回転メカニズム上に載置した高解像度の角度エ
ンコーダとセンサヘッドを半径方向に移動させる装置を
附加することＫよシ測定可能である。これらの変更は全
システムを変え、二次元の測定装量が極座標で作動する
。ギヤ（４６）の軸と平行方向に測定センサを移動させ
ると、ギヤの歯の三次元の形状の測定が可能となシ、ギ
ヤのらせん角とリードの偏差についての情報が得られる
。尚、図中（５９）及び（６０）は結像スポットの位置
分析エレクトロニクスであ！６、（６１）はコンビ島−
夕である。
観察して測定することが出来る。ギヤの歯の複雑な輪郭
は、−予回転メカニズム上に載置した高解像度の角度エ
ンコーダとセンサヘッドを半径方向に移動させる装置を
附加することＫよシ測定可能である。これらの変更は全
システムを変え、二次元の測定装量が極座標で作動する
。ギヤ（４６）の軸と平行方向に測定センサを移動させ
ると、ギヤの歯の三次元の形状の測定が可能となシ、ギ
ヤのらせん角とリードの偏差についての情報が得られる
。尚、図中（５９）及び（６０）は結像スポットの位置
分析エレクトロニクスであ！６、（６１）はコンビ島−
夕である。
ギヤのインがり瓢−計曲線又はらせん角を高速で測定す
るには、第１０図に示した光学的三角測量法テクニック
を更に変形することによシ可能である。この場合、イヤ
のインがリエート曲線又はらせん角のプレイの点の測定
は、ギヤ（６２）又は三角測量センサを移動するよシも
一列の光学三角測量センサによ〕同時に行って、必要な
測定数を生ぜしめる。各センナは光源（６３） 、焦束
レンズ（６４） 、結像レンズ（６５） 、線形７オト
ダイオードアレイ（６６）から成る。高速で測量を行う
には、光源（６３） Ｋ同時Ｋ 、ｐ４ルスを与え、構
成要素の動作を正しい位置で固定すると良い。この場合
、光源（６３）はセミコンダクタレーデ又は同様な装置
（−ノヤルスを与えて行う、線形フォトダイオードアレ
イ（６６）からの情報はシステムエレクトロニクスが読
み取シ最終の形状計算を行うためマイクロプロセッサに
移す。
るには、第１０図に示した光学的三角測量法テクニック
を更に変形することによシ可能である。この場合、イヤ
のインがリエート曲線又はらせん角のプレイの点の測定
は、ギヤ（６２）又は三角測量センサを移動するよシも
一列の光学三角測量センサによ〕同時に行って、必要な
測定数を生ぜしめる。各センナは光源（６３） 、焦束
レンズ（６４） 、結像レンズ（６５） 、線形７オト
ダイオードアレイ（６６）から成る。高速で測量を行う
には、光源（６３） Ｋ同時Ｋ 、ｐ４ルスを与え、構
成要素の動作を正しい位置で固定すると良い。この場合
、光源（６３）はセミコンダクタレーデ又は同様な装置
（−ノヤルスを与えて行う、線形フォトダイオードアレ
イ（６６）からの情報はシステムエレクトロニクスが読
み取シ最終の形状計算を行うためマイクロプロセッサに
移す。
このテクニックは完全ギヤ、タービン羽根その他機械的
システム等の構成要素上の個別の点や／譬うメータを光
学的三角測量法を使って高速測量にも適用可能である。
システム等の構成要素上の個別の点や／譬うメータを光
学的三角測量法を使って高速測量にも適用可能である。
第１１図には光学的三角測量法を特定の測定に応用した
別の例を示す。これは小型の平型ポンプの羽根（６７）
の厚さを高速で測定するなめ設計するものである。この
テクニックは二つの光学的三角測量センナを違ったモー
ドで操作して構成要素が測定領域を横切ってすべ夛落ち
るにつれて位置の誤′４！シを正すものである。
別の例を示す。これは小型の平型ポンプの羽根（６７）
の厚さを高速で測定するなめ設計するものである。この
テクニックは二つの光学的三角測量センナを違ったモー
ドで操作して構成要素が測定領域を横切ってすべ夛落ち
るにつれて位置の誤′４！シを正すものである。
二つの三角側量センサ（６８，６９）は同一であル、レ
ーデ光源（７０，７４）から成る。この光源（７０，７
４）の出力は焦束レンズ（７１，７５）によ多構成要素
の表面上の小さな直径のスーツ）Ｋ焦束される。この党
のスポットの像は結像レンズ（７３，７７）により線形
７オトダイオードアレイ（７２，７６） ＧＣ移される
。
ーデ光源（７０，７４）から成る。この光源（７０，７
４）の出力は焦束レンズ（７１，７５）によ多構成要素
の表面上の小さな直径のスーツ）Ｋ焦束される。この党
のスポットの像は結像レンズ（７３，７７）により線形
７オトダイオードアレイ（７２，７６） ＧＣ移される
。
線形フォトダイオードアレイ（７２，７６）は、三角測
量センナに関して構成要素の表面の位置に関して結像し
たスポットの幾何学的位置を測定するのく使用する。
量センナに関して構成要素の表面の位置に関して結像し
たスポットの幾何学的位置を測定するのく使用する。
センサ（６８，６９）の各々は、測定する対象物の厚さ
部分の相対する側面上におかれる。対象物（６７）は二
つの三角測量センナ（６８，６９）の測定領域を横切る
機械的軌跡に沿って移送される。測定領域内に対象物（
６７）が存在している場合はセンサ（６８゜６９）がこ
れを検出し、領域に旧ってセンサが移動して厚さを測定
する。厚さを得るくは各センサ（６８，ｆｉ９）に関し
て二つの表面の位置を測定し、これらの値を差引いて行
う・ 第１２図のクロックダイヤグラムは測定機能を行う電子
技術の概略を示すものである。二つのセンナユニット各
々の線形７オトダイオードアレイのビデオ出力は同じ様
に処理する。を子システムＦｉ線形ダイオードアレイ（
７２，７６）のコントロール用電子機器（７８，７９）
、信号ｙ４整システム（８０）、マイクロプロセッサイ
ンターフェース（８１） トマイクロプロセッサ（８２
）から成る。光源（７０，７４）の光の強さと線形フォ
トダイオードアルレイ（７２゜７６）の走査速度とを調
整して、ビデオ信号上の映像スポット端部の輪郭を明確
にするため線形フォトダイオードアレイ（７２、７６）
の応答を飽和点く近づける様にする。映儂の端部の位置
と全映像の位置とは、光学三角測量法のための電気光学
システムで記述した閾値テクニックを使って信号調整シ
ステム（ＳＯ）において測定する。
部分の相対する側面上におかれる。対象物（６７）は二
つの三角測量センナ（６８，６９）の測定領域を横切る
機械的軌跡に沿って移送される。測定領域内に対象物（
６７）が存在している場合はセンサ（６８゜６９）がこ
れを検出し、領域に旧ってセンサが移動して厚さを測定
する。厚さを得るくは各センサ（６８，ｆｉ９）に関し
て二つの表面の位置を測定し、これらの値を差引いて行
う・ 第１２図のクロックダイヤグラムは測定機能を行う電子
技術の概略を示すものである。二つのセンナユニット各
々の線形７オトダイオードアレイのビデオ出力は同じ様
に処理する。を子システムＦｉ線形ダイオードアレイ（
７２，７６）のコントロール用電子機器（７８，７９）
、信号ｙ４整システム（８０）、マイクロプロセッサイ
ンターフェース（８１） トマイクロプロセッサ（８２
）から成る。光源（７０，７４）の光の強さと線形フォ
トダイオードアルレイ（７２゜７６）の走査速度とを調
整して、ビデオ信号上の映像スポット端部の輪郭を明確
にするため線形フォトダイオードアレイ（７２、７６）
の応答を飽和点く近づける様にする。映儂の端部の位置
と全映像の位置とは、光学三角測量法のための電気光学
システムで記述した閾値テクニックを使って信号調整シ
ステム（ＳＯ）において測定する。
２つの線形フォトダイオードアレイ（７２，７６）上の
像の位ｔ［け信号調整システム（８０）からマイクログ
ロセッサインタフェース（８１）を介してマイクロプロ
セッサ（８２）へと移動する。マイクロプロセッサ（８
２）内でこの情報は対象物（６７）の厚さの測定値とし
て表わされる。対象物の厚さの一連の測定値は次の様に
記憶され、分析される・厚さの値が最も頻繁に見られる
部分が見出され、この値の特定の帯内での測定値の平均
をと）最終測定値を得る。この帯の外の情報は受は入れ
ない。
像の位ｔ［け信号調整システム（８０）からマイクログ
ロセッサインタフェース（８１）を介してマイクロプロ
セッサ（８２）へと移動する。マイクロプロセッサ（８
２）内でこの情報は対象物（６７）の厚さの測定値とし
て表わされる。対象物の厚さの一連の測定値は次の様に
記憶され、分析される・厚さの値が最も頻繁に見られる
部分が見出され、この値の特定の帯内での測定値の平均
をと）最終測定値を得る。この帯の外の情報は受は入れ
ない。
こうした処理テクニックは時間の平均値を見出し、表面
仕上のバラツキや粗度のバラツキに対処するのに使用す
る。
仕上のバラツキや粗度のバラツキに対処するのに使用す
る。
広範囲に変化する光のレベル下にありて上述した実施例
を操作するＯＫ使用する可変積算時間アプローチの他に
１走査のクロック速度を変化させることも可能である。
を操作するＯＫ使用する可変積算時間アプローチの他に
１走査のクロック速度を変化させることも可能である。
これは光が多すぎる時には走査の速度を上げ、表面から
光学システムへ反射される光が少ない時は速Ｋをゆるめ
ることＫよシ行う。
光学システムへ反射される光が少ない時は速Ｋをゆるめ
ることＫよシ行う。
この可変クロック速度システムは効果的ではあるが、残
念なことにゲージの周波数出力にバラツキをも九らし、
斑点やその他の表面上のノイズを減少させるのに有効な
ビデオフィルタを使うのが困難になる。
念なことにゲージの周波数出力にバラツキをも九らし、
斑点やその他の表面上のノイズを減少させるのに有効な
ビデオフィルタを使うのが困難になる。
しかしながら、この可変クロック速度の一つの利点は、
個々の走査においてクロック速度を変更することが可能
であるということである・これは例えば部品上に二つの
領域を投射した場合の様に一つ以上の骨が表面に存在し
た場合に便利である。
個々の走査においてクロック速度を変更することが可能
であるということである・これは例えば部品上に二つの
領域を投射した場合の様に一つ以上の骨が表面に存在し
た場合に便利である。
その他に、一定のスポットの平均的な個々の部分から戻
ってくる電力の平均化を行いたい時にも有利である。
ってくる電力の平均化を行いたい時にも有利である。
更に興味深いことはダイオードアレイの出力でアナログ
又はディジタルの遅延ラインを使用して以前のダイオー
ドアレイのトレースを記憶し、記憶し次値から次の走査
に対して積算時間やクロック速度の感度の選択を行うこ
とが出来るという事実である。
又はディジタルの遅延ラインを使用して以前のダイオー
ドアレイのトレースを記憶し、記憶し次値から次の走査
に対して積算時間やクロック速度の感度の選択を行うこ
とが出来るという事実である。
本発明においては一軸フオドダイオードアレイというよ
シも二軸のものを使用できる点について留意されるべき
である。例えば、四辺形マトリックスフォトダイオード
アレイの使用により、スポットが別の面に移動してもス
ポットの中心をみつけることができ、二つの面のスポッ
トの真の中心を計算することが可能となる。
シも二軸のものを使用できる点について留意されるべき
である。例えば、四辺形マトリックスフォトダイオード
アレイの使用により、スポットが別の面に移動してもス
ポットの中心をみつけることができ、二つの面のスポッ
トの真の中心を計算することが可能となる。
二軸のアレイも以下に論じる様に感賞の測定において一
軸で一つ以上のスポットが投影される時有利である。
軸で一つ以上のスポットが投影される時有利である。
円形のアレイを使用してもよい。特に便利なのは、中心
から全ての線が突出している様な放射線状のダイオード
アレイである。かかるアレイは現在では入手可能ではな
いが間もなく入手可能となる予定であシ、かかるアレイ
の使用によシ左右対称極座標の利用が可能となる。
から全ての線が突出している様な放射線状のダイオード
アレイである。かかるアレイは現在では入手可能ではな
いが間もなく入手可能となる予定であシ、かかるアレイ
の使用によシ左右対称極座標の利用が可能となる。
他の領域
以上部品上に投影されたスポット盤式の領域（例えば、
第１図の２Ａ）と、スポットの位置での対応読み取υに
ついて論じ念。第１３図には二つの元のレベルで取り囲
まれた部分上に投影された線を示す、実際には、間に暗
い領域を有する二つの点状の領域又は間に二本の線を有
する四つの点で、殆んど十字模様を成す領域である。
第１図の２Ａ）と、スポットの位置での対応読み取υに
ついて論じ念。第１３図には二つの元のレベルで取り囲
まれた部分上に投影された線を示す、実際には、間に暗
い領域を有する二つの点状の領域又は間に二本の線を有
する四つの点で、殆んど十字模様を成す領域である。
第１図と同じ様に利用したダイオードアレイユニットは
二つの輝く点の間の暗い領域の中心を容易に見つけるこ
とができ、度量衡年上からいえば、これは皐独のスポッ
トの中心を測定するよシも良い測定法であろう。
二つの輝く点の間の暗い領域の中心を容易に見つけるこ
とができ、度量衡年上からいえば、これは皐独のスポッ
トの中心を測定するよシも良い測定法であろう。
勿論、問題は表面上に輪郭がはりきシした線を如何に設
けるかということである。一つのや多方は部品上に線又
は十字線を結像させることでありて、これは焦点からの
距離の変動が大きすぎなければ可能である。当然、投射
システムの焦点から遠くなるにつれ、投影基盤がぼやけ
て来て、正確に輪郭をつかむのが困難となる。位置をア
ナログ限定するのに最低必要なラインは非常に細くなく
てはならず、そのため焦点は近くなければならない。
けるかということである。一つのや多方は部品上に線又
は十字線を結像させることでありて、これは焦点からの
距離の変動が大きすぎなければ可能である。当然、投射
システムの焦点から遠くなるにつれ、投影基盤がぼやけ
て来て、正確に輪郭をつかむのが困難となる。位置をア
ナログ限定するのに最低必要なラインは非常に細くなく
てはならず、そのため焦点は近くなければならない。
第二の可能性はレーザーのＴＥＭｏ、モードを投射する
ことであシ、これは実際にはかかる間隔をあけた一対の
スポットから成る。この場合の投射システムは第１図に
示したものと非常に似ている。唯一の相違はＴＥｒモー
ドは全体として広いが、その間の線が対応するＴＥＭｏ
。スポットよシも小さいということである。二軸の基盤
目が作シ出されると、二つの軸上での位置を感知するた
めに上述したマトリックスダイオードアレイが利用され
る。これにより対象物表面の姿勢情報を得る（第１４図
参照）。
ことであシ、これは実際にはかかる間隔をあけた一対の
スポットから成る。この場合の投射システムは第１図に
示したものと非常に似ている。唯一の相違はＴＥｒモー
ドは全体として広いが、その間の線が対応するＴＥＭｏ
。スポットよシも小さいということである。二軸の基盤
目が作シ出されると、二つの軸上での位置を感知するた
めに上述したマトリックスダイオードアレイが利用され
る。これにより対象物表面の姿勢情報を得る（第１４図
参照）。
従って、２，３．４等の複数の線の利用が可能である。
これを極ｆｉＫ行うと、中心がどこであるかという絶対
値を知ることが出来なくなる。故にここに述べたシステ
ムでは、線は一本か二本が最も有利であると考えられる
。これ以上の線を使う時には、例えば厚さを変えて、ど
れがどれかを区別できるようにするのがよいであろう。
値を知ることが出来なくなる。故にここに述べたシステ
ムでは、線は一本か二本が最も有利であると考えられる
。これ以上の線を使う時には、例えば厚さを変えて、ど
れがどれかを区別できるようにするのがよいであろう。
本発明の別の実施例を第１４図に示す、この場合、二軸
のマトリックスダイオードアレイカメラ（２００）をｇ
ｔ図に図示したタイプのセンナ（２０１）Ｋ付加え、測
定点（２０２Ａ）の囲シに隣接する領域を分光器（２０
３）を使用して検査を行う、この場合幾つかの利点が得
られる。第一に、ビデオディスプレイ（２０４）を設け
ることができ、これによりてオ、 ベレータが測定の
行われている領域を見ることが出来る。
のマトリックスダイオードアレイカメラ（２００）をｇ
ｔ図に図示したタイプのセンナ（２０１）Ｋ付加え、測
定点（２０２Ａ）の囲シに隣接する領域を分光器（２０
３）を使用して検査を行う、この場合幾つかの利点が得
られる。第一に、ビデオディスプレイ（２０４）を設け
ることができ、これによりてオ、 ベレータが測定の
行われている領域を見ることが出来る。
第二に、部品の隣接部分はマトリックスダイオードアレ
イの像を変更を加えることなしＫＸ−Ｙ軸面で測定する
ことが出来るので、例えば穴の直径を測定するため電気
−機械的にこれらの点食部を連続して測定する必要はな
い。これは自動車のダラシ＆ぎ−ド（２０５）を背後か
ら例えば穴（２０６）を照らして測定する例で示してい
る。穴のまわシの輪郭と部分の形状とは第１図に示す様
に測定するが、ここではコンビ為−タに連結し念マトリ
ックスアレイ（２０７）から計測する穴の寸法で穴の直
径と穴の辺縁が決定される。
イの像を変更を加えることなしＫＸ−Ｙ軸面で測定する
ことが出来るので、例えば穴の直径を測定するため電気
−機械的にこれらの点食部を連続して測定する必要はな
い。これは自動車のダラシ＆ぎ−ド（２０５）を背後か
ら例えば穴（２０６）を照らして測定する例で示してい
る。穴のまわシの輪郭と部分の形状とは第１図に示す様
に測定するが、ここではコンビ為−タに連結し念マトリ
ックスアレイ（２０７）から計測する穴の寸法で穴の直
径と穴の辺縁が決定される。
この穴に位置したカメラ（２００）を利用する第三の利
点は測定点を超えて感知し、−言でいえば、ユニットに
行く先を伝えることが出来ることである。換言すれば、
マトリックスアレイ（２０７）を通じて辺縁部（２２０
）の如き部分の辺縁部が近ずくのが見えｂＦｋ８には、
−一縁部（２□。）。位置はグ。７ラム中に記憶されセ
ンナユニットに対して他の位置へ動く様に指令すること
が出来る。言い換えれば、可成夛の時間の節約になる訳
である。尚、図中（２０８）は結像レンズである。
点は測定点を超えて感知し、−言でいえば、ユニットに
行く先を伝えることが出来ることである。換言すれば、
マトリックスアレイ（２０７）を通じて辺縁部（２２０
）の如き部分の辺縁部が近ずくのが見えｂＦｋ８には、
−一縁部（２□。）。位置はグ。７ラム中に記憶されセ
ンナユニットに対して他の位置へ動く様に指令すること
が出来る。言い換えれば、可成夛の時間の節約になる訳
である。尚、図中（２０８）は結像レンズである。
本発明の最後の実施例においては、発明を利用して姿勢
の感知、更Ｋ ａ ｆットやその他のオートメーシロン
にコントロールシステムを取り 入しることを説明する
。
の感知、更Ｋ ａ ｆットやその他のオートメーシロン
にコントロールシステムを取り 入しることを説明する
。
上記の第１４図では、三角測量法測定点による（３）軸
と、対象部からの伝達又は反射のどちらかに作動するマ
トリックスダイオードアレイによる（ｘ、ｙ）の二軸と
よシ成る三軸の可能性が設けられる。感知性能の向上の
為、更に二本の軸を加えて五本の軸のセンナユニットと
することが好ましい。ここで言う二本の軸とは偏揺角と
傾斜角即ちセンサからみてθ、φの角度である。θはＸ
２面にあシ、φはｙ−ｚ面にある。
と、対象部からの伝達又は反射のどちらかに作動するマ
トリックスダイオードアレイによる（ｘ、ｙ）の二軸と
よシ成る三軸の可能性が設けられる。感知性能の向上の
為、更に二本の軸を加えて五本の軸のセンナユニットと
することが好ましい。ここで言う二本の軸とは偏揺角と
傾斜角即ちセンサからみてθ、φの角度である。θはＸ
２面にあシ、φはｙ−ｚ面にある。
このセンナを追加するには二つの方法がある。
第一は例えば第１５図に示す様に簡単なもので、ずつ二
つのダイオードアレイを利用する時は両方に対して比例
しておシ、アレイ上の二つのスＩツサを第１図に示す様
に設ける場合は、被測定物がセンサのヘッドに対して完
全に直角である時には各＠に一つずつ設けたユニットの
いずれもが中心ビームから同じ角度にあシ、同じ読み取
シをされるという興味深い結果となる。これによシ角度
測定から得られる精度を可成シ高め、他の特徴とは無関
係にＩ角度測定を明確に行うことが出来る。
つのダイオードアレイを利用する時は両方に対して比例
しておシ、アレイ上の二つのスＩツサを第１図に示す様
に設ける場合は、被測定物がセンサのヘッドに対して完
全に直角である時には各＠に一つずつ設けたユニットの
いずれもが中心ビームから同じ角度にあシ、同じ読み取
シをされるという興味深い結果となる。これによシ角度
測定から得られる精度を可成シ高め、他の特徴とは無関
係にＩ角度測定を明確に行うことが出来る。
当然、二つの面０１戸上の姿勢測定を行うにはＸＹ軸内
で第一に対する感知が必要である。これは第１６図に示
すが、ここでは本発明による三軸のセンサヘッド（３０
０）がロボットのアーム（３０１）上に設けられ、θ、
φ、ｘ、ｙ、ｚ内で感知を行う、このセンサは被測定物
を検査する目的又はこれを自動的に操作する為に、口ざ
ットの近くの被測定物（３０３）の全位置を特徴づける
ことが完全に可能である。センサヘッドの軸は全てロボ
ットの制御コンビエータに戻され、そこで最善のアプロ
ーチを計算し、この計算はロゲットの端末部材（手）が
被測定物をつかむか、その他必要な動作を行う迄継続し
てセンサデータを送シ続ける。
で第一に対する感知が必要である。これは第１６図に示
すが、ここでは本発明による三軸のセンサヘッド（３０
０）がロボットのアーム（３０１）上に設けられ、θ、
φ、ｘ、ｙ、ｚ内で感知を行う、このセンサは被測定物
を検査する目的又はこれを自動的に操作する為に、口ざ
ットの近くの被測定物（３０３）の全位置を特徴づける
ことが完全に可能である。センサヘッドの軸は全てロボ
ットの制御コンビエータに戻され、そこで最善のアプロ
ーチを計算し、この計算はロゲットの端末部材（手）が
被測定物をつかむか、その他必要な動作を行う迄継続し
てセンサデータを送シ続ける。
第１４図と第１５図のセンサを組合せることによシ、か
かる五軸の可能性が得られることは明らかである。しか
しながら、第１６図に％にコンノ９クトで簡単なユニッ
トを示し、ここではマトリックスアレイカメラ（３０４
）がＸ、Ｙ軸中の部品を、例えばキセノンの環状光源（
３０６）を照らして検知する。四点プロジェクタ（３０
９） （第１３図も併せて参照）はレンズ（３１２）
Ｋよシ被測定物上に結儂した四つのダイオードレーデ（
３１０）から成る一組から成る。マイクロコンビエータ
（図示せず）はマトリックスプレイ（３０５）からのデ
ータを解釈するのに利用する。先ず初めにキセノンの環
状光源（３０６）を点灯し、部品の特徴（３２０）のＸ
、Ｙ軸位ぐ 置を測定する。それからダイオードレーデを点灯し、４
スデツト像の位置をマトリックスプレイ出力から測定す
る。スポットグループの中心位置を分析すると範囲が得
られ、個々のスポットの間隔ＢｉａＳ２によりθ、Ｉが
得られる。
かる五軸の可能性が得られることは明らかである。しか
しながら、第１６図に％にコンノ９クトで簡単なユニッ
トを示し、ここではマトリックスアレイカメラ（３０４
）がＸ、Ｙ軸中の部品を、例えばキセノンの環状光源（
３０６）を照らして検知する。四点プロジェクタ（３０
９） （第１３図も併せて参照）はレンズ（３１２）
Ｋよシ被測定物上に結儂した四つのダイオードレーデ（
３１０）から成る一組から成る。マイクロコンビエータ
（図示せず）はマトリックスプレイ（３０５）からのデ
ータを解釈するのに利用する。先ず初めにキセノンの環
状光源（３０６）を点灯し、部品の特徴（３２０）のＸ
、Ｙ軸位ぐ 置を測定する。それからダイオードレーデを点灯し、４
スデツト像の位置をマトリックスプレイ出力から測定す
る。スポットグループの中心位置を分析すると範囲が得
られ、個々のスポットの間隔ＢｉａＳ２によりθ、Ｉが
得られる。
次に、例えば主として回転ギヤ歯車等の動いている部品
を検知するのに有用な回路の実施例について述べる。被
測定部分の反射が変化するとレベルの検出の誤シからス
ーットの中心点の位置を検出するのに誤シが生じる。前
述した方法では光の積算時間とポッケルス電池を組合せ
喪ものを外部からコントロールし、そのコントローラは
準静止被測定物の測定にのみ適当である。
を検知するのに有用な回路の実施例について述べる。被
測定部分の反射が変化するとレベルの検出の誤シからス
ーットの中心点の位置を検出するのに誤シが生じる。前
述した方法では光の積算時間とポッケルス電池を組合せ
喪ものを外部からコントロールし、そのコントローラは
準静止被測定物の測定にのみ適当である。
被測定物が動いている時又は光源がノ々ルスタイグのと
き、又はこれら二つを組合せた時が、光学的三角測量法
を使用出来る唯一の方法である・被測定対象物が動いて
いる時には、部品の局所的な反射が表面の移動につれて
常に変っていることが問題である。角度の変化によって
変化が生じるか、又は単に色や反射の局所的変化である
時がある＠ＭＬＺ事が使用光源／４’ルスタイグ（パル
スレーザ−。
き、又はこれら二つを組合せた時が、光学的三角測量法
を使用出来る唯一の方法である・被測定対象物が動いて
いる時には、部品の局所的な反射が表面の移動につれて
常に変っていることが問題である。角度の変化によって
変化が生じるか、又は単に色や反射の局所的変化である
時がある＠ＭＬＺ事が使用光源／４’ルスタイグ（パル
スレーザ−。
フラッジ１チ為−プ等）Ｋした時に言え、この問題と相
俟って／４′ルスが起ってから後初めて戻ったビームの
光学的力が判明する。
俟って／４′ルスが起ってから後初めて戻ったビームの
光学的力が判明する。
上述した問題を解決するためには、別個の検出システム
を使って反射されたパルスを調べ、一定の蓄積エネルギ
のレベルに到達した場合光源を切ることが出来る。これ
は例えば写真などで使うサイリスタフラッジ為ガンで通
常行われている。
を使って反射されたパルスを調べ、一定の蓄積エネルギ
のレベルに到達した場合光源を切ることが出来る。これ
は例えば写真などで使うサイリスタフラッジ為ガンで通
常行われている。
第１７図に別のアプローチを示す。ダイオード７しく（
５００）が発する信号はビデオフィルタ（５０１）でフ
イルタシ、ビデオディレィシステム（５０５） Ｋ送ら
れる。このシステムは完全なビデオ走査−回分を記憶す
ることが出来る。ビデオディレィシステム（５０５）に
送られる信号のピーク値はピークホールド（５０２）が
検出し、検出された電圧はサンプルアンドホールド回路
（５０３）へ走査が終った時に移される。一度、完全な
ビデオ走査が記憶されると、サンプルアンドホールド回
路（５０３）がレベル検出器閾値を決め、記憶されたビ
デオがディレィシステム（５０５） カラコンノ臂うタ
（５０４）へクロックアウトされて、複数の閾値をもっ
て操作される。
５００）が発する信号はビデオフィルタ（５０１）でフ
イルタシ、ビデオディレィシステム（５０５） Ｋ送ら
れる。このシステムは完全なビデオ走査−回分を記憶す
ることが出来る。ビデオディレィシステム（５０５）に
送られる信号のピーク値はピークホールド（５０２）が
検出し、検出された電圧はサンプルアンドホールド回路
（５０３）へ走査が終った時に移される。一度、完全な
ビデオ走査が記憶されると、サンプルアンドホールド回
路（５０３）がレベル検出器閾値を決め、記憶されたビ
デオがディレィシステム（５０５） カラコンノ臂うタ
（５０４）へクロックアウトされて、複数の閾値をもっ
て操作される。
閾値を検出されたビデオは中心を見出す回路（本明細書
別途説明した）と−緒になって一連のカウントノ々ルス
を発し、カウンタで加算する。
別途説明した）と−緒になって一連のカウントノ々ルス
を発し、カウンタで加算する。
上記システムの利点はコンノ々ラタ（５０４）の閾値を
ダイオードアレイ（５００）の読み取シの後でセットす
ることが出来る点にあシ、従ってビデオ信号の変動が激
しい時に補償を自動的に行うことが出来る。
ダイオードアレイ（５００）の読み取シの後でセットす
ることが出来る点にあシ、従ってビデオ信号の変動が激
しい時に補償を自動的に行うことが出来る。
別の例を第１８図に示す。有意の差はこの例では可変ｒ
イン増巾器（５５０）が設けられておシ、この利得は高
速積算器（５５１） Ｋよシ測定した曲線下の領域と反
比例するように規制され、これは検出されたレーデスポ
ット中の光学エネルギを表わす・この例の作動順序は第
１７図のそれと同じであって、フィルターしたビデオ信
号が走査−回分の期間だけビデオディレィシステム（５
０５）中に記憶され、その期間が終ると高速積算器（５
５１）の内容が科され、サンプルアンドホールド回路（
５５２） 内に次の走査が続いている間中保留される。
イン増巾器（５５０）が設けられておシ、この利得は高
速積算器（５５１） Ｋよシ測定した曲線下の領域と反
比例するように規制され、これは検出されたレーデスポ
ット中の光学エネルギを表わす・この例の作動順序は第
１７図のそれと同じであって、フィルターしたビデオ信
号が走査−回分の期間だけビデオディレィシステム（５
０５）中に記憶され、その期間が終ると高速積算器（５
５１）の内容が科され、サンプルアンドホールド回路（
５５２） 内に次の走査が続いている間中保留される。
可変ゲイン増巾器（５５０）のゲインを検出ビデオ信号
のレベルと反比例する様にセットすることによシ、出力
電圧のレベルを一定に保つ。可変ゲイン増巾器（５５０
）の出力信号は複数のコンバラタ（５５４）を通じて一
定の電圧又は複数の電圧と比較し、中心点検出回路（５
５３）のための信号を発し、後者はスポットの中心位置
を検出する。
のレベルと反比例する様にセットすることによシ、出力
電圧のレベルを一定に保つ。可変ゲイン増巾器（５５０
）の出力信号は複数のコンバラタ（５５４）を通じて一
定の電圧又は複数の電圧と比較し、中心点検出回路（５
５３）のための信号を発し、後者はスポットの中心位置
を検出する。
本出願明細書を、部品の簡単な方向付けのため五軸口ｌ
ット（例：ｇｘ ６図）の指示とコードシステムを論じ
て終シとするのも一興であろう。
ット（例：ｇｘ ６図）の指示とコードシステムを論じ
て終シとするのも一興であろう。
ｇ１６図にロボットの指示ヘッドを示し、第１９図に追
加のテーブルを示す。これは二つの違ったセンサ技術の
組合せであって、二つの面（傾斜度。
加のテーブルを示す。これは二つの違ったセンサ技術の
組合せであって、二つの面（傾斜度。
偏揺度）における範囲と姿勢を測定する三角測量法とＸ
Ｙ軸面における多様な特徴をえるための二軸映倫走査で
ある。ここにおいて発明はロボットの１指示’に４？に
適したこれら二つの技術の組合せを提供するものである
。例えばかかる五輪センイ サ（ｘｙｚθφ）をロボ
ットのアームの最末端のジ璽インド又は他の操作点の後
に端末部材（手）の上又は近くにおくことを考えるとす
ると、このセンナは少なくともその視野内でセンナの手
に関して如何なる情勢であるかを正確に伝えるとメ゛が
十分可能である。つまシこれは手をその部品の万へ向け
るのに必要とする一般的特徴がわ゛かるという意味で全
く人間と同じである。
Ｙ軸面における多様な特徴をえるための二軸映倫走査で
ある。ここにおいて発明はロボットの１指示’に４？に
適したこれら二つの技術の組合せを提供するものである
。例えばかかる五輪センイ サ（ｘｙｚθφ）をロボ
ットのアームの最末端のジ璽インド又は他の操作点の後
に端末部材（手）の上又は近くにおくことを考えるとす
ると、このセンナは少なくともその視野内でセンナの手
に関して如何なる情勢であるかを正確に伝えるとメ゛が
十分可能である。つまシこれは手をその部品の万へ向け
るのに必要とする一般的特徴がわ゛かるという意味で全
く人間と同じである。
図には最も単純な例を示すが、２軸の範囲が三角測量法
により明らかとなシ、各軸の複数範囲の差動範囲測定で
姿勢が明らかとなる。Ｘ、Ｙの視野は公知の映像システ
ムによシ得られるが、この場合はマトリックスフォトダ
イオードアレイによる。
により明らかとなシ、各軸の複数範囲の差動範囲測定で
姿勢が明らかとなる。Ｘ、Ｙの視野は公知の映像システ
ムによシ得られるが、この場合はマトリックスフォトダ
イオードアレイによる。
図示した例ではＸ、Ｙ軸の部分はレンズを四方形マトリ
ックスダイオードアレイシステムを一緒に使って得る。
ックスダイオードアレイシステムを一緒に使って得る。
元はカメラレンズの周縁部のまわりの環状フラッシェ光
源から発する。他の光源を使うととも出来るが、環状７
ラツシ具光源はカメラの焦点ぼけを紡ぐことができ、コ
ンノぐクトで比較的影のない照明を提供する′のでこれ
を使用するのが最も便利である。実際には、実施にらた
りてコントラストをつけるためにシャドウが６る万が良
い時′もある。しかしアームの一般的な動きに関しては
、問題となった特定の部分に対するあらゆる情況下にお
ける攻撃の角度がわからないので、シャドウは実際には
障害となるであろうと考えられている。
源から発する。他の光源を使うととも出来るが、環状７
ラツシ具光源はカメラの焦点ぼけを紡ぐことができ、コ
ンノぐクトで比較的影のない照明を提供する′のでこれ
を使用するのが最も便利である。実際には、実施にらた
りてコントラストをつけるためにシャドウが６る万が良
い時′もある。しかしアームの一般的な動きに関しては
、問題となった特定の部分に対するあらゆる情況下にお
ける攻撃の角度がわからないので、シャドウは実際には
障害となるであろうと考えられている。
この中心部分のまわシには四つのＣＷｌ又は好ましくは
／ぐルス付の平行にした光源で、通常は光を発するダイ
オード又はダイオードレーデを有し、基盤目によって単
一のビームがスＩットに分れる様になったものを配置す
る。これらは元のスポットを一定の距離をへだてて被測
定物上に投射し、連続してパルスをつけることが出来る
。システムはこれ？ ＋７プル風に行って成る一定の時
にのみ問題となる特定のものの像が存在している様に作
動するのでこれは重要である。こうすればどの像がダイ
オードアレイ上にあるかを見出すことが可能である。全
ての場合に必要ではないが、可成シ便利である。
／ぐルス付の平行にした光源で、通常は光を発するダイ
オード又はダイオードレーデを有し、基盤目によって単
一のビームがスＩットに分れる様になったものを配置す
る。これらは元のスポットを一定の距離をへだてて被測
定物上に投射し、連続してパルスをつけることが出来る
。システムはこれ？ ＋７プル風に行って成る一定の時
にのみ問題となる特定のものの像が存在している様に作
動するのでこれは重要である。こうすればどの像がダイ
オードアレイ上にあるかを見出すことが可能である。全
ての場合に必要ではないが、可成シ便利である。
ロボット指示の付属的又は代替策としての応用はロボッ
トを使って製造する部分のコード化である０通常、かか
るコードはロフト番号又は通し番号等部品を識別するた
めに使用されるものである。
トを使って製造する部分のコード化である０通常、かか
るコードはロフト番号又は通し番号等部品を識別するた
めに使用されるものである。
これは勿論バーコードの自動読取シでも出来る。
（本書に開示したマトリックス又は線形アレイはこのた
めＫは素晴しいことがわかった。）但し興味深い局面の
一つはかかるコードは、被測定物の方向を決めるために
ロボットのアームの二軸マトリックスダイオードアレイ
に対し参考とする目的で付けたオリエンテーシ冒ンコー
ド”Ｃ４良いということである。当然、他の方法では方
向づけるのがむつかしい様な複雑な特徴を有する部分に
ついてはこの点が特に興味深い。
めＫは素晴しいことがわかった。）但し興味深い局面の
一つはかかるコードは、被測定物の方向を決めるために
ロボットのアームの二軸マトリックスダイオードアレイ
に対し参考とする目的で付けたオリエンテーシ冒ンコー
ド”Ｃ４良いということである。当然、他の方法では方
向づけるのがむつかしい様な複雑な特徴を有する部分に
ついてはこの点が特に興味深い。
オリエンテーシ冒ンコードは、可能な場合は、ロボット
の視野についての二つの必要を解決するものである。か
かるコードは、ロボットが部分を識別するために持って
いるコンビエータプログラムを行わず、部品を持ち上げ
たシ、機械の中へ入れ念シするのに必要な複雑な方向決
定を行わなくなる。
の視野についての二つの必要を解決するものである。か
かるコードは、ロボットが部分を識別するために持って
いるコンビエータプログラムを行わず、部品を持ち上げ
たシ、機械の中へ入れ念シするのに必要な複雑な方向決
定を行わなくなる。
例えば第１９図においてオリエンテーシ璽ンコードステ
ッカー（７００）が別個のバーコード式のもの（７１０
）と共に部品上に設は念ものを示す。これらの二つのコ
ードは組合せることが出来るがともかく最初には別々に
することが良いと考えられている。
ッカー（７００）が別個のバーコード式のもの（７１０
）と共に部品上に設は念ものを示す。これらの二つのコ
ードは組合せることが出来るがともかく最初には別々に
することが良いと考えられている。
オリエンテーシ冒ンコードには交差する軸線一式が含ま
れておシ、これＫよ１）ＸＹ＠Ｏ方向を決定する。この
コード上に例えば傾斜角の如き三次元の方向を明らかＫ
するサラコードがある。
れておシ、これＫよ１）ＸＹ＠Ｏ方向を決定する。この
コード上に例えば傾斜角の如き三次元の方向を明らかＫ
するサラコードがある。
第三の軸についての情報を供する他の方法は、コンベア
上にある被測定物の方向を表わす被測定物タイプパアー
コードを使用するコンビ晶−夕を検索することである。
上にある被測定物の方向を表わす被測定物タイプパアー
コードを使用するコンビ晶−夕を検索することである。
第１６図の製雪を使用し九組合せアゲクーチはロボット
のアームをセンサが部品から一定の距１１１に来る迄（
これはアーム上に簡単な三角側量センサを設けることく
よシ可能とナル）降して行う、それからユニットをプロ
グラム化して、正しい角度でコードをみ九時に、直角の
入射角でみた時に存在することが知れる間隔でパアコー
ドを計測するものである。この場合＼傾斜角と偏揺角セ
ンサは必ずしもここで必要ではない。
のアームをセンサが部品から一定の距１１１に来る迄（
これはアーム上に簡単な三角側量センサを設けることく
よシ可能とナル）降して行う、それからユニットをプロ
グラム化して、正しい角度でコードをみ九時に、直角の
入射角でみた時に存在することが知れる間隔でパアコー
ドを計測するものである。この場合＼傾斜角と偏揺角セ
ンサは必ずしもここで必要ではない。
口〆ットなる語は万能運搬袋ｆ （ＵＴＤ）なる語でも
その特徴を表わすととが出来る。しかしながら、ここに
開示する概念は全ゆる８ｔｓｔのオートメ化した材料取
シ扱いをコントロールするのに適切であって、必ずしも
普遍的をものではない。
その特徴を表わすととが出来る。しかしながら、ここに
開示する概念は全ゆる８ｔｓｔのオートメ化した材料取
シ扱いをコントロールするのに適切であって、必ずしも
普遍的をものではない。
第１図は本発明の一実施例を示す概略平面図である。
第２図は本発明に使用する四輪テーブル移動システムの
基本構成を示すチャート図である。 第３図は本発明の別の実施例を示すチャート図である。 第３Ａ図は本発明に使用される光のレベル補償盤のＰＣ
７８０７の回路図であシ、第３Ｂ図は同じくＰＣ７８０
８の回路図である。 第４図はぎツクスカーアレイ出力の波形図である・ 第５図はビデオ出力の単閾値を示す波形図である・ ｔＪｃ６図はビデオ出力の複数閾値を示す波形図である
。 第７図は本発明の別の実施例を示す概略図である・ 第８１ｉｆＯは第７図に示したギヤを計測する測定セン
サ及び基準センサの位置関係を示す正面図である。 第９図はギヤの各歯を測定してピッチ円と測定位激との
測定偏差を表わしたグラフである。 第１０図はギヤのインメリエート曲線又はらせん角を高
速で測定する方法を示す概略図である。 第１１図は平型Ｉンプの羽根を高速で測定する方法を示
す概略図である。 第１２図は第１１図に示し九平屋ポンプの羽根を高速で
測定した測定値をもとめる電子技術の概略ブロック図で
ある。 第１３図は光源を２点とじ九場合と４点とじ九場合の光
の領域及び光の輝度輪郭を表わした波形図である。 第１４図は本発明の他の実施例を示す概略図である。 第１５図は第１図のセンサに２つのスポットを使って対
象物の表面を測定する方法を示す概略図である。 第１６図は本発明の別の実施例を示す概略図である。 第１７図は本発明の別の実施例を示すブロック図でおる
。 第１８図は本発明の別の実施例を示すブロック図である
。 第１９図は第１６図に示した実施例に追加するテーブル
の概略図である。 図において、 １・・・投射用光源、２・・・ポッケルス電池、３・・
・焦点レンズ、４・・・対象物、５．１２・・・結像レ
ンズ、６．１３・・・鏡、７．１４．２９・・・線形７
オトダイオードアレイ、８・・・センサ、９・・・ｘ−
ｙ軸テーブル、１０・・・回転テーブル、１１・・・２
軸テーブル、１５・・・コントロールコンビスータ、１
６・−・入力ターミナル、１７・・・Ｘ−Ｙ＠ｆロッタ
、１８・・・テープルコントローラ、１９・・・センサ
コントロール用マイクロコンビエータ、２０．２１・・
・フォトダイオードアレイルベルカウンタ、２２・・・
４ケツトセルノ母ワーコントロール、２３．２４・・・
フォトダイオードアレイの速度コントロール、２５・・
・対象物、２６゜３５・・・結像レンズ、２７．３６・
・・鏡、２８．３７・・・中和濃度フィルタ、２９，３
８・・・線形フォトダイオードアレイ、３０．３９・・
・フォトダイオードアレイコントロール、３１・・・ビ
ーム焦点レンズ、３２・・・ポッケルス電池、３３・・
・レーザー、３４・・・分析器、４０・・・元のレベル
補償盤、４１・・・グロダラム可能フィルタ、４２・・
・マルチレベルスポット中心フェン／％４３・・・Ａ、
’Ｄとデータディストリビ為−シ璽ンカードＰＣ７９０
３，４４・・・マイクロコンビ、−タ、４５・・・ポッ
ケルス電池コントローラ、４６・・・ギヤ、４７・・・
基準センサ、４８・・・測定センサ、４９，５４・・・
レーザー光線光源、５０．５５・・・ポッケルス電池、
５１．５６・・・集束レンズ、５２．５７・・・結像レ
ンズ、５３．５８・・・線形フォトダイオードアレイ、
５９・・・結像スポットの位置分析エレクトロニクス、
６０・・・結像スポットの位置分析エレクトロニクス、
６１・・・コンビエータ、６２・・・ギヤ、６３・・・
光源、６４・・・集束レンズ、６５・・・結像レンズ、
６６・・・線形７オトダイオードアレイ、６７・・・平
形Ｉングの羽根、６８．６９・・・三角測量センサ、７
０．７４・・・光源、７１．７５・・・集束レンズ、７
２．７６・・・線形フォトダイオードアレイ、７３．７
７−・・結像レンズ、７８．７９・・・線形フォトダイ
オードアレイのコントロール用電子機器、８０・・・信
号調整システム、８１・・・マイクロプロセッサインタ
ーフェース、８２・・・マイクロプロセッサ、２００・
・・二軸のマトリックスダイオードアレイカメラ、２０
１・・・センサ、２０２Ａ・・・測定点、２０３・・・
分光器、２０４・・・ビデオディスグレイ、２０５・・
・自動車のダッシｚＭ−ド、２０６・・・自動車のダラ
シ＆が−ドの穴、２０７・・・マトリックスアレイ、２
０８・・・結像レンズ、２２０・・・自動車のダッシｚ
ｄｅ−ドの辺縁部、３００・・・センサヘッド、３０１
・・・ロビットのアーム、３′０３・・・被測定物、３
０４・・・マトリックスアレイカメラ、３０５・・・マ
トリックスアレイ、３０６・・・光源、３０９・・・四
点プロジェクタ、３１０・・・ダイオードレーデ、３１
２・・・レンズ、５００・・・ダイオードアレイ、５０
１−・・ビデオフィルタ、５０２・・・ピークホールド
、５０３・・・サンプルアンドホールＰ回路、５０４・
・・コンノｆラタ、５０５・・・ビデオディレィシステ
ム、５５０・・・可変ダイン増巾器、５５１・・・高速
積算器、５５２・・・サンプルアンドホールド回路、５
５３・・・中心点検出回路、５５４・・・コンノヤラタ
、７００・・・オリエンテーシ璽ンコードステッカ一式
テーブル、７１０・・・バーコード式テーブル。 特許出願人 株式会社 セック・トラストｔＭｆ図 第６図 部ジの眉Ｉう
基本構成を示すチャート図である。 第３図は本発明の別の実施例を示すチャート図である。 第３Ａ図は本発明に使用される光のレベル補償盤のＰＣ
７８０７の回路図であシ、第３Ｂ図は同じくＰＣ７８０
８の回路図である。 第４図はぎツクスカーアレイ出力の波形図である・ 第５図はビデオ出力の単閾値を示す波形図である・ ｔＪｃ６図はビデオ出力の複数閾値を示す波形図である
。 第７図は本発明の別の実施例を示す概略図である・ 第８１ｉｆＯは第７図に示したギヤを計測する測定セン
サ及び基準センサの位置関係を示す正面図である。 第９図はギヤの各歯を測定してピッチ円と測定位激との
測定偏差を表わしたグラフである。 第１０図はギヤのインメリエート曲線又はらせん角を高
速で測定する方法を示す概略図である。 第１１図は平型Ｉンプの羽根を高速で測定する方法を示
す概略図である。 第１２図は第１１図に示し九平屋ポンプの羽根を高速で
測定した測定値をもとめる電子技術の概略ブロック図で
ある。 第１３図は光源を２点とじ九場合と４点とじ九場合の光
の領域及び光の輝度輪郭を表わした波形図である。 第１４図は本発明の他の実施例を示す概略図である。 第１５図は第１図のセンサに２つのスポットを使って対
象物の表面を測定する方法を示す概略図である。 第１６図は本発明の別の実施例を示す概略図である。 第１７図は本発明の別の実施例を示すブロック図でおる
。 第１８図は本発明の別の実施例を示すブロック図である
。 第１９図は第１６図に示した実施例に追加するテーブル
の概略図である。 図において、 １・・・投射用光源、２・・・ポッケルス電池、３・・
・焦点レンズ、４・・・対象物、５．１２・・・結像レ
ンズ、６．１３・・・鏡、７．１４．２９・・・線形７
オトダイオードアレイ、８・・・センサ、９・・・ｘ−
ｙ軸テーブル、１０・・・回転テーブル、１１・・・２
軸テーブル、１５・・・コントロールコンビスータ、１
６・−・入力ターミナル、１７・・・Ｘ−Ｙ＠ｆロッタ
、１８・・・テープルコントローラ、１９・・・センサ
コントロール用マイクロコンビエータ、２０．２１・・
・フォトダイオードアレイルベルカウンタ、２２・・・
４ケツトセルノ母ワーコントロール、２３．２４・・・
フォトダイオードアレイの速度コントロール、２５・・
・対象物、２６゜３５・・・結像レンズ、２７．３６・
・・鏡、２８．３７・・・中和濃度フィルタ、２９，３
８・・・線形フォトダイオードアレイ、３０．３９・・
・フォトダイオードアレイコントロール、３１・・・ビ
ーム焦点レンズ、３２・・・ポッケルス電池、３３・・
・レーザー、３４・・・分析器、４０・・・元のレベル
補償盤、４１・・・グロダラム可能フィルタ、４２・・
・マルチレベルスポット中心フェン／％４３・・・Ａ、
’Ｄとデータディストリビ為−シ璽ンカードＰＣ７９０
３，４４・・・マイクロコンビ、−タ、４５・・・ポッ
ケルス電池コントローラ、４６・・・ギヤ、４７・・・
基準センサ、４８・・・測定センサ、４９，５４・・・
レーザー光線光源、５０．５５・・・ポッケルス電池、
５１．５６・・・集束レンズ、５２．５７・・・結像レ
ンズ、５３．５８・・・線形フォトダイオードアレイ、
５９・・・結像スポットの位置分析エレクトロニクス、
６０・・・結像スポットの位置分析エレクトロニクス、
６１・・・コンビエータ、６２・・・ギヤ、６３・・・
光源、６４・・・集束レンズ、６５・・・結像レンズ、
６６・・・線形７オトダイオードアレイ、６７・・・平
形Ｉングの羽根、６８．６９・・・三角測量センサ、７
０．７４・・・光源、７１．７５・・・集束レンズ、７
２．７６・・・線形フォトダイオードアレイ、７３．７
７−・・結像レンズ、７８．７９・・・線形フォトダイ
オードアレイのコントロール用電子機器、８０・・・信
号調整システム、８１・・・マイクロプロセッサインタ
ーフェース、８２・・・マイクロプロセッサ、２００・
・・二軸のマトリックスダイオードアレイカメラ、２０
１・・・センサ、２０２Ａ・・・測定点、２０３・・・
分光器、２０４・・・ビデオディスグレイ、２０５・・
・自動車のダッシｚＭ−ド、２０６・・・自動車のダラ
シ＆が−ドの穴、２０７・・・マトリックスアレイ、２
０８・・・結像レンズ、２２０・・・自動車のダッシｚ
ｄｅ−ドの辺縁部、３００・・・センサヘッド、３０１
・・・ロビットのアーム、３′０３・・・被測定物、３
０４・・・マトリックスアレイカメラ、３０５・・・マ
トリックスアレイ、３０６・・・光源、３０９・・・四
点プロジェクタ、３１０・・・ダイオードレーデ、３１
２・・・レンズ、５００・・・ダイオードアレイ、５０
１−・・ビデオフィルタ、５０２・・・ピークホールド
、５０３・・・サンプルアンドホールＰ回路、５０４・
・・コンノｆラタ、５０５・・・ビデオディレィシステ
ム、５５０・・・可変ダイン増巾器、５５１・・・高速
積算器、５５２・・・サンプルアンドホールド回路、５
５３・・・中心点検出回路、５５４・・・コンノヤラタ
、７００・・・オリエンテーシ璽ンコードステッカ一式
テーブル、７１０・・・バーコード式テーブル。 特許出願人 株式会社 セック・トラストｔＭｆ図 第６図 部ジの眉Ｉう
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、動いている対象物の寸法、位置又は姿勢を測定する
方法であつて、 光の領域を前記対象物の表面に投射するこ と、 前記対象物表面上の光の領域の像を、前記 投射光の軸に対し角度をなす軸上のレンズ装置によつて
フォトダイオードアレイ上に形成すること、 前記光の領域の投射を前記アレイ上に前記 像を形成させるに足る短期間行うこと、 順次続く光投射間隔の間に前記フォトタイ オートアレイを走査すること、 前記アレイ上の前記像のポジションから前 記光の領域によつて照らされた前記対象物表面の位置を
求めること、及び 前記対象物表面の位置から該対象物の位置、姿勢又は寸
法を求めること、 を含む方法。 ２、測定面に対し傾斜した対象物表面の傾斜角度を測定
する方法にして、 光投射方向を測定面に垂直にして少なくと も二つの光の領域を前記対象物表面に投射すること、 前記対象物表面上の前記光の領域の像を、 投射光の軸に対し角度をなす軸上のレンズ装置によつて
少なくとも１つのフォトダイオードアレイ上に形成する
こと、及び 前記ダイオードアレイ上の像の間隔から前 記測定面に対する前記対象物表面の傾斜角度を求めるこ
と、 を含む方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/034,278 US4373804A (en) | 1979-04-30 | 1979-04-30 | Method and apparatus for electro-optically determining the dimension, location and attitude of objects |
| US34278 | 1979-04-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61240104A true JPS61240104A (ja) | 1986-10-25 |
Family
ID=21875397
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5553880A Pending JPS5616802A (en) | 1979-04-30 | 1980-04-28 | Method and unit for measuring electro-optically dimension,position and form of object |
| JP60152118A Pending JPS61240104A (ja) | 1979-04-30 | 1985-07-09 | 対象物の寸法、位置、姿勢を電気光学的に測定するための方法と装置 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5553880A Pending JPS5616802A (en) | 1979-04-30 | 1980-04-28 | Method and unit for measuring electro-optically dimension,position and form of object |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (23) | US4373804A (ja) |
| JP (2) | JPS5616802A (ja) |
| DE (1) | DE3016361C2 (ja) |
| GB (1) | GB2051514B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016095289A (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-26 | Dmg森精機株式会社 | 測定対象物の断面形状測定方法 |
| CN108463688A (zh) * | 2015-11-02 | 2018-08-28 | 3D测量系统公司 | 用于对具有齿接物的机械组件进行非接触式三维检查的装置 |
| CN111322954A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-06-23 | 北京神工科技有限公司 | 一种装配工装位姿测量方法、装置、存储介质及电子设备 |
Families Citing this family (309)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4373804A (en) * | 1979-04-30 | 1983-02-15 | Diffracto Ltd. | Method and apparatus for electro-optically determining the dimension, location and attitude of objects |
| US5012574A (en) * | 1981-02-27 | 1991-05-07 | Diffracto Ltd. | Controlled machining of combustion chambers gears and other surfaces |
| US5825017A (en) * | 1980-03-27 | 1998-10-20 | Sensor Adaptive Machines Inc. | Method and apparatus for determining dimensions |
| US5112131A (en) * | 1981-02-27 | 1992-05-12 | Diffracto, Ltd. | Controlled machining of combustion chambers, gears and other surfaces |
| US4559684A (en) * | 1981-02-27 | 1985-12-24 | Pryor Timothy R | Controlled machining of combustion chambers, gears and other surfaces |
| US5871391A (en) * | 1980-03-27 | 1999-02-16 | Sensor Adaptive Machine Inc. | Apparatus for determining dimensions |
| JPS56168104A (en) * | 1980-05-28 | 1981-12-24 | Rikagaku Kenkyusho | Detector for mark position |
| US4468695A (en) * | 1980-11-20 | 1984-08-28 | Tokico Ltd. | Robot |
| US4492465A (en) * | 1980-12-18 | 1985-01-08 | The Boeing Company | Retro-reflective electro-optical angle measuring system |
| US5940302A (en) * | 1981-02-27 | 1999-08-17 | Great Lakes Intellectual Property | Controlled machining of combustion chambers, gears and other surfaces |
| EP0071667A1 (en) * | 1981-08-11 | 1983-02-16 | Karl-Erik Morander | Device for determining the real or the virtual distance of a source of light from a measuring plane |
| US4435079A (en) | 1981-08-28 | 1984-03-06 | American Optical Corporation | Apparatus for testing lenses by determining best focus |
| DE3138757A1 (de) * | 1981-09-29 | 1983-05-05 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur erfassung von textausschnitten aus einer vorlage und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
| DE3138699A1 (de) * | 1981-09-29 | 1983-04-07 | Siemens Ag | Einrichtung zur erfassung von bildvorlagen und verfahren zum betrieb dieser einrichtung. |
| US4652917A (en) * | 1981-10-28 | 1987-03-24 | Honeywell Inc. | Remote attitude sensor using single camera and spiral patterns |
| US5127736A (en) * | 1982-02-22 | 1992-07-07 | Armco Inc. | Apparatus for measuring wear in the lining of refractory furnaces |
| US4708482A (en) * | 1982-02-22 | 1987-11-24 | Armco Inc. | Method and apparatus for measuring wear in the lining of refractory furnaces |
| JPS58202751A (ja) * | 1982-05-20 | 1983-11-26 | Agency Of Ind Science & Technol | 大口径金属鏡の超精密切削加工法 |
| GB2124850A (en) * | 1982-08-04 | 1984-02-22 | Philips Electronic Associated | Rangefinder for marked targets |
| US4547674A (en) * | 1982-10-12 | 1985-10-15 | Diffracto Ltd. | Optical triangulation gear inspection |
| US4529316A (en) * | 1982-10-18 | 1985-07-16 | Robotic Vision Systems, Inc. | Arrangement of eliminating erroneous data in three-dimensional optical sensors |
| US4792698A (en) * | 1983-01-27 | 1988-12-20 | Diffracto Ltd. | Sensing location of an object with line image projection and rotation |
| DE3302948C2 (de) * | 1983-01-29 | 1985-01-10 | Wolfgang 3400 Göttingen Brunk | Meßgerät zur berührungslosen optischen Abstandsmessung |
| US4908782A (en) * | 1983-05-19 | 1990-03-13 | Compressor Components Textron Inc. | Airfoil inspection method |
| NL8302228A (nl) * | 1983-06-22 | 1985-01-16 | Optische Ind De Oude Delft Nv | Meetstelsel voor het onder gebruikmaking van een op driehoeksmeting berustend principe, contactloos meten van een door een oppervlakcontour van een objectvlak gegeven afstand tot een referentieniveau. |
| US4627734A (en) * | 1983-06-30 | 1986-12-09 | Canadian Patents And Development Limited | Three dimensional imaging method and device |
| US4666303A (en) * | 1983-07-11 | 1987-05-19 | Diffracto Ltd. | Electro-optical gap and flushness sensors |
| JPS60244802A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-04 | Mitsubishi Electric Corp | 距離計測装置 |
| US4657394A (en) * | 1984-09-14 | 1987-04-14 | New York Institute Of Technology | Apparatus and method for obtaining three dimensional surface contours |
| US4705395A (en) * | 1984-10-03 | 1987-11-10 | Diffracto Ltd. | Triangulation data integrity |
| US4593967A (en) * | 1984-11-01 | 1986-06-10 | Honeywell Inc. | 3-D active vision sensor |
| JPS61145410A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-03 | Penta Ocean Constr Co Ltd | 移動体の位置測量装置 |
| US4686639A (en) * | 1985-02-07 | 1987-08-11 | Rockwell International Corporation | Free space microscope digitizing aid |
| FR2580087B1 (ja) * | 1985-04-03 | 1988-12-02 | Hispano Suiza Sa | |
| US4825394A (en) * | 1985-05-07 | 1989-04-25 | General Dynamics Corporation | Vision metrology system |
| US4639878A (en) * | 1985-06-04 | 1987-01-27 | Gmf Robotics Corporation | Method and system for automatically determining the position and attitude of an object |
| US4743771A (en) * | 1985-06-17 | 1988-05-10 | View Engineering, Inc. | Z-axis height measurement system |
| JPS61296409A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Fanuc Ltd | ロボツト制御方式 |
| JPS6228613A (ja) * | 1985-07-30 | 1987-02-06 | Agency Of Ind Science & Technol | ３次元位置入力装置 |
| EP0233920B1 (en) * | 1985-08-12 | 1991-01-23 | Cyberware Laboratory Inc | Rapid three-dimensional surface digitizer |
| WO1989000675A1 (en) * | 1985-08-16 | 1989-01-26 | Grumman Aerospace Corporation | Hole centration gage |
| US4690563A (en) * | 1985-08-16 | 1987-09-01 | Grumman Aerospace Corporation | Hole centration gage |
| US4939439A (en) * | 1985-09-26 | 1990-07-03 | Unisearch Limited | Robot vision and optical location systems |
| JPS6271813A (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-02 | Yokokawa Kyoryo Seisakusho:Kk | 測定方法 |
| US4798469A (en) * | 1985-10-02 | 1989-01-17 | Burke Victor B | Noncontact gage system utilizing reflected light |
| US4834531A (en) * | 1985-10-31 | 1989-05-30 | Energy Optics, Incorporated | Dead reckoning optoelectronic intelligent docking system |
| FR2723208B1 (fr) * | 1986-06-17 | 1996-11-15 | Thomson Csf | Systeme de reperage spatial d'une direction liee a un corps mobile par rapport a une structure, utilisable notamment pour un viseur de casque |
| US4722603A (en) * | 1986-06-27 | 1988-02-02 | Chevron Research Company | Interferometric means and method for accurate determination of fiber-optic well logging cable length |
| JPS6316216A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | 距離計 |
| DE3623083A1 (de) * | 1986-07-09 | 1988-01-21 | Precitronic | Vorrichtung zur schusssimulation |
| US4853771A (en) * | 1986-07-09 | 1989-08-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Robotic vision system |
| US4761072A (en) * | 1986-09-30 | 1988-08-02 | Diffracto Ltd. | Electro-optical sensors for manual control |
| DE3719422A1 (de) * | 1986-12-19 | 1988-06-30 | Hommelwerke Gmbh | Vorrichtung zur beruehrungsfreien messung eines abstandes von einer oberflaeche, insbesondere zur abtastung einer kontur einer oberflaeche eines werkstueckes laengs eines messweges |
| FR2610400B1 (fr) * | 1987-02-04 | 1989-04-28 | Paramythioti Michel | Procede et dispositif de relevement tridimensionnel |
| US4977512A (en) * | 1987-02-05 | 1990-12-11 | Shibuya Kogyo Co., Ltd. | Three dimensional simultaneous machining and measuring system |
| US4983043A (en) * | 1987-04-17 | 1991-01-08 | Industrial Technology Institute | High accuracy structured light profiler |
| JPS63288683A (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-25 | 株式会社東芝 | 組立てロボット |
| US4866626A (en) * | 1987-09-18 | 1989-09-12 | Egli Werner H | Navigation by a video-camera sensed ground array |
| US4893933A (en) * | 1987-09-30 | 1990-01-16 | Armco Inc. | Automatic BOF vessel remaining lining profiler and method |
| US5019699A (en) * | 1988-08-31 | 1991-05-28 | Norand Corporation | Hand-held optical character reader with means for instantaneously reading information from a predetermined area at an optical sensing area |
| US4897858A (en) * | 1988-03-25 | 1990-01-30 | Westinghouse Electric Corp. | Nuclear fuel pellet collating system and method |
| US4842808A (en) * | 1988-03-25 | 1989-06-27 | Westinghouse Electric Corp. | Nuclear fuel pellet collating system |
| GB2222047A (en) * | 1988-07-25 | 1990-02-21 | Unisearch Ltd | Optical mapping of field of view and information storage |
| US6688523B1 (en) | 1988-08-31 | 2004-02-10 | Intermec Ip Corp. | System for reading optical indicia |
| JPH02256430A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-17 | Mitsubishi Electric Corp | 自動組立装置および方法 |
| US4943157A (en) * | 1989-05-18 | 1990-07-24 | Corning Incorporated | Fiber optic triangulation gage |
| JPH0393920A (ja) * | 1989-09-05 | 1991-04-18 | Zenitakagumi:Kk | 補強土工法 |
| US5313260A (en) * | 1989-10-12 | 1994-05-17 | High Tech Concepts & Inventions Corporation | Photosensitive probes |
| JP2510786B2 (ja) * | 1990-04-14 | 1996-06-26 | 松下電工株式会社 | 物体の形状検出方法及びその装置 |
| US5202742A (en) * | 1990-10-03 | 1993-04-13 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Laser radar for a vehicle lateral guidance system |
| US5390118A (en) * | 1990-10-03 | 1995-02-14 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Automatic lateral guidance control system |
| EP0479271B1 (en) * | 1990-10-03 | 1998-09-09 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Automatic lateral guidance control system |
| US6161055A (en) * | 1993-05-17 | 2000-12-12 | Laser Measurement International Inc. | Method of determining tool breakage |
| US5517311A (en) * | 1993-05-25 | 1996-05-14 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Optical 3D measuring apparatus used for measuring chamber volume of a cylinder head and chamber volume correcting method for a cylinder head of an engine |
| US5652658A (en) * | 1993-10-19 | 1997-07-29 | View Engineering, Inc. | Grid array inspection system and method |
| US5917726A (en) * | 1993-11-18 | 1999-06-29 | Sensor Adaptive Machines, Inc. | Intelligent machining and manufacturing |
| CA2115859C (en) * | 1994-02-23 | 1995-12-26 | Brian Dewan | Method and apparatus for optimizing sub-pixel resolution in a triangulation based distance measuring device |
| US5519204A (en) * | 1994-04-25 | 1996-05-21 | Cyberoptics Corporation | Method and apparatus for exposure control in light-based measurement instruments |
| US5546189A (en) * | 1994-05-19 | 1996-08-13 | View Engineering, Inc. | Triangulation-based 3D imaging and processing method and system |
| US5500516A (en) * | 1994-08-30 | 1996-03-19 | Norand Corporation | Portable oblique optical reader system and method |
| JPH08166813A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Fanuc Ltd | ウィービング動作を伴うロボットのトラッキング制御方法 |
| AT404517B (de) * | 1995-02-07 | 1998-12-28 | Plastounik Guenther | Vorrichtung zum positionieren von elementen |
| US5684531A (en) * | 1995-04-10 | 1997-11-04 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Ranging apparatus and method implementing stereo vision system |
| US5673082A (en) * | 1995-04-10 | 1997-09-30 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Light-directed ranging system implementing single camera system for telerobotics applications |
| US5742291A (en) * | 1995-05-09 | 1998-04-21 | Synthonics Incorporated | Method and apparatus for creation of three-dimensional wire frames |
| US5600435A (en) * | 1995-05-24 | 1997-02-04 | Fori Automation, Inc. | Intelligent sensor method and apparatus for an optical wheel alignment machine |
| US5825666A (en) * | 1995-06-07 | 1998-10-20 | Freifeld; Daniel | Optical coordinate measuring machines and optical touch probes |
| GB9515311D0 (en) | 1995-07-26 | 1995-09-20 | 3D Scanners Ltd | Stripe scanners and methods of scanning |
| US5850282A (en) * | 1995-10-11 | 1998-12-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Distance measuring device |
| US20020014533A1 (en) * | 1995-12-18 | 2002-02-07 | Xiaxun Zhu | Automated object dimensioning system employing contour tracing, vertice detection, and forner point detection and reduction methods on 2-d range data maps |
| US5870178A (en) * | 1996-02-20 | 1999-02-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Distance measuring apparatus |
| US6003773A (en) * | 1996-03-01 | 1999-12-21 | Intermec Ip Corp. | Tablet style indicia reader with system for handling multiple indicia |
| AUPN968996A0 (en) * | 1996-05-06 | 1996-05-30 | Vision Products Pty Ltd | Filter integrity monitoring system |
| AUPN968896A0 (en) * | 1996-05-06 | 1996-05-30 | Vision Products Pty Ltd | Optical scatter dectector controlling circuit and method |
| US5969820A (en) * | 1996-06-13 | 1999-10-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface position detecting system and exposure apparatus using the same |
| US5859924A (en) * | 1996-07-12 | 1999-01-12 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for measuring object features |
| US5978077A (en) * | 1996-10-31 | 1999-11-02 | Fori Automation, Inc. | Non-contact method and apparatus for determining camber and caster of a vehicle wheel |
| US6075883A (en) | 1996-11-12 | 2000-06-13 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for imaging an object or pattern |
| US5757485A (en) * | 1996-11-22 | 1998-05-26 | Eastman Kodak Company | Digital camera image sensor positioning method including a non-coherent interferometer |
| US5757486A (en) * | 1996-11-22 | 1998-05-26 | Eastman Kodak Company | Digital camera image sensor positioning apparatus including a non-coherent light interferometer |
| US5978089A (en) * | 1997-04-15 | 1999-11-02 | Nextel Ltd. | Non-contact method for measuring the shape of an object |
| US6097428A (en) * | 1997-05-23 | 2000-08-01 | Inspex, Inc. | Method and apparatus for inspecting a semiconductor wafer using a dynamic threshold |
| CA2242179C (en) * | 1997-07-07 | 2006-10-03 | Takao Shibayama | Method of, and apparatus for, measuring position of hole |
| GB9719514D0 (en) * | 1997-09-12 | 1997-11-19 | Thames Water Utilities | Non-contact measuring apparatus |
| US6094269A (en) * | 1997-12-31 | 2000-07-25 | Metroptic Technologies, Ltd. | Apparatus and method for optically measuring an object surface contour |
| DE19806288A1 (de) * | 1998-02-16 | 1999-08-26 | Fraunhofer Ges Forschung | Laserscanner-Meßsystem |
| US6125904A (en) | 1998-06-01 | 2000-10-03 | Aim Automotive Integrated Manufacturing, Inc. | Robotic apparatus and method for assembling a tire to a rim |
| US6483580B1 (en) | 1998-03-06 | 2002-11-19 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
| DE19911419A1 (de) * | 1998-03-16 | 1999-10-14 | Cyberoptics Corp | Digitales Bereichssensorsystem |
| US7065462B2 (en) * | 1998-07-24 | 2006-06-20 | Merilab, Inc. | Vehicle wheel alignment by rotating vision sensor |
| GB9827377D0 (en) * | 1998-12-11 | 1999-02-03 | Surface Inspection Ltd | Machine vision system and tile inspection apparatus incorporating such a system |
| US6744914B1 (en) | 2000-04-28 | 2004-06-01 | Orametrix, Inc. | Method and system for generating a three-dimensional object |
| US6728423B1 (en) | 2000-04-28 | 2004-04-27 | Orametrix, Inc. | System and method for mapping a surface |
| US6744932B1 (en) | 2000-04-28 | 2004-06-01 | Orametrix, Inc. | System and method for mapping a surface |
| US7068836B1 (en) | 2000-04-28 | 2006-06-27 | Orametrix, Inc. | System and method for mapping a surface |
| US7068825B2 (en) * | 1999-03-08 | 2006-06-27 | Orametrix, Inc. | Scanning system and calibration method for capturing precise three-dimensional information of objects |
| US6532299B1 (en) | 2000-04-28 | 2003-03-11 | Orametrix, Inc. | System and method for mapping a surface |
| US6413084B1 (en) | 2000-04-28 | 2002-07-02 | Ora Metrix, Inc. | Method and system of scanning |
| US6771809B1 (en) | 2000-04-28 | 2004-08-03 | Orametrix, Inc. | Method and system for registering data |
| CA2309008C (en) | 1999-05-24 | 2007-07-17 | Richard Mcbain | High speed laser triangulation measurements of shape and thickness |
| AU5897400A (en) * | 1999-06-30 | 2001-01-31 | M And M Precision Systems Corporation | Apparatus and method for determining dimensional geometries for an object |
| US6209216B1 (en) | 1999-08-16 | 2001-04-03 | General Electric Company | Methods and apparatus for measuring airfoil coordinates |
| JP4195154B2 (ja) * | 1999-08-31 | 2008-12-10 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | 位置検出装置及び演算処理装置 |
| US6259519B1 (en) * | 1999-08-31 | 2001-07-10 | Intelligent Machine Concepts, L.L.C. | Method of determining the planar inclination of a surface |
| GB9923795D0 (en) | 1999-10-09 | 1999-12-08 | British Aerospace | Micropositioning system |
| US6289600B1 (en) * | 1999-11-02 | 2001-09-18 | United States Pipe & Foundry Company | Non-contact measuring device |
| JP2001141429A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Japan Atom Energy Res Inst | 基線長可動型表面形状測定装置 |
| US6635894B1 (en) * | 1999-11-22 | 2003-10-21 | Renishaw Plc | Optical measuring apparatus for measuring objects on machines |
| US8788092B2 (en) | 2000-01-24 | 2014-07-22 | Irobot Corporation | Obstacle following sensor scheme for a mobile robot |
| US8412377B2 (en) | 2000-01-24 | 2013-04-02 | Irobot Corporation | Obstacle following sensor scheme for a mobile robot |
| JP2001209097A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Masashi Saito | 口腔内撮影用カメラシステム |
| US20010041073A1 (en) * | 2000-02-03 | 2001-11-15 | Noam Sorek | Active aid for a handheld camera |
| US6888640B2 (en) | 2000-02-04 | 2005-05-03 | Mario J. Spina | Body spatial dimension mapper |
| US6618505B2 (en) * | 2000-03-09 | 2003-09-09 | The Boeing Company | Method, apparatus and computer program product for determining shim shape |
| US6617601B1 (en) | 2000-03-10 | 2003-09-09 | Lmi Technologies Inc. | Molten metal pouring control system and method |
| US6956348B2 (en) | 2004-01-28 | 2005-10-18 | Irobot Corporation | Debris sensor for cleaning apparatus |
| WO2001084479A1 (en) * | 2000-04-28 | 2001-11-08 | Orametirix, Inc. | Method and system for scanning a surface and generating a three-dimensional object |
| US7027642B2 (en) * | 2000-04-28 | 2006-04-11 | Orametrix, Inc. | Methods for registration of three-dimensional frames to create three-dimensional virtual models of objects |
| US6624899B1 (en) | 2000-06-29 | 2003-09-23 | Schmitt Measurement Systems, Inc. | Triangulation displacement sensor |
| US6803906B1 (en) | 2000-07-05 | 2004-10-12 | Smart Technologies, Inc. | Passive touch system and method of detecting user input |
| WO2004091956A2 (en) | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Pryor Timothy R | Reconfigurable vehicle instrument panels |
| US6825936B2 (en) | 2000-08-23 | 2004-11-30 | Lmi Technologies, Inc. | High speed camera based sensors |
| US6618155B2 (en) | 2000-08-23 | 2003-09-09 | Lmi Technologies Inc. | Method and apparatus for scanning lumber and other objects |
| US6512587B1 (en) | 2000-10-27 | 2003-01-28 | Eastman Kodak Company | Measurement method and apparatus of an external digital camera imager assembly |
| US6734981B1 (en) | 2000-11-28 | 2004-05-11 | Honeywell International Inc. | Multiple laser optical systems and methods |
| US6831263B2 (en) * | 2002-06-04 | 2004-12-14 | Intel Corporation | Very high speed photodetector system using a PIN photodiode array for position sensing |
| US6678062B2 (en) | 2000-12-08 | 2004-01-13 | Cyberoptics Corporation | Automated system with improved height sensing |
| US6690134B1 (en) | 2001-01-24 | 2004-02-10 | Irobot Corporation | Method and system for robot localization and confinement |
| US7571511B2 (en) | 2002-01-03 | 2009-08-11 | Irobot Corporation | Autonomous floor-cleaning robot |
| US6875993B2 (en) * | 2001-04-12 | 2005-04-05 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for optically detecting and identifying objects in an environment |
| DE10127239A1 (de) * | 2001-05-28 | 2002-12-12 | Inst Mikroelektronik Und Mecha | Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Auswertung von durch Meßgeräte aufgenommenen Daten |
| US6567162B2 (en) | 2001-05-31 | 2003-05-20 | The Regents Of The University Of Michigan | Reconfigurable apparatus and method for inspection during a manufacturing process |
| US8396592B2 (en) | 2001-06-12 | 2013-03-12 | Irobot Corporation | Method and system for multi-mode coverage for an autonomous robot |
| US7429843B2 (en) | 2001-06-12 | 2008-09-30 | Irobot Corporation | Method and system for multi-mode coverage for an autonomous robot |
| DE10131897A1 (de) * | 2001-07-04 | 2003-01-16 | Leica Microsystems | Verfahren und Messvorrichtung zum Detektieren eines Objekts |
| US6615113B2 (en) * | 2001-07-13 | 2003-09-02 | Tru-Si Technologies, Inc. | Articles holders with sensors detecting a type of article held by the holder |
| US6817528B2 (en) * | 2001-07-17 | 2004-11-16 | Honeywell International Inc. | Reflective apparatus and method for optically sensing relative torque employing Moirè fringes |
| JP2003075137A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Minolta Co Ltd | 撮影システム並びにそれに用いられる撮像装置および３次元計測用補助ユニット |
| US6980692B2 (en) * | 2001-09-20 | 2005-12-27 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for dynamic thresholding of grayscale images to delineate image attributes |
| US7474781B2 (en) * | 2001-09-20 | 2009-01-06 | International Business Machines Corporation | Image based bar-code reading and robotic registration apparatus for use in automated tape library systems |
| US7269284B2 (en) * | 2001-09-20 | 2007-09-11 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus using dual bounding boxes as dynamic templates for cartridge rack identification and tracking |
| US7015452B2 (en) * | 2001-10-09 | 2006-03-21 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Intensified hybrid solid-state sensor |
| DE10159574B9 (de) * | 2001-10-15 | 2009-04-30 | Tropf, Hermann, Dr.-Ing. | Vorrichtung und Verfahren zur Korrektur der Bewegung von Greif- und Bearbeitungswerkzeugen |
| DE10151563A1 (de) * | 2001-10-23 | 2003-04-30 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmessgerät |
| US20030093170A1 (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-15 | Escobar Benjamin Angeles | System and method for manufacturing a material using concurrent dimension certification |
| US6930763B2 (en) * | 2001-12-18 | 2005-08-16 | General Electric Company | Three dimensional sensor laser noise reduction method |
| US9128486B2 (en) | 2002-01-24 | 2015-09-08 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
| JP2005515910A (ja) | 2002-01-31 | 2005-06-02 | ブレインテック カナダ インコーポレイテッド | シングルカメラ３ｄビジョンガイドロボティクスの方法および装置 |
| CA2369845A1 (en) | 2002-01-31 | 2003-07-31 | Braintech, Inc. | Method and apparatus for single camera 3d vision guided robotics |
| US7881896B2 (en) | 2002-02-14 | 2011-02-01 | Faro Technologies, Inc. | Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner |
| US6891148B1 (en) | 2002-02-25 | 2005-05-10 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronatics And Space Administration | Scaling device for photographic images |
| US6700668B2 (en) * | 2002-06-25 | 2004-03-02 | General Electric Company | Method of measuring a part with a wide range of surface reflectivities |
| US8428778B2 (en) | 2002-09-13 | 2013-04-23 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
| US8386081B2 (en) | 2002-09-13 | 2013-02-26 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
| US6954197B2 (en) * | 2002-11-15 | 2005-10-11 | Smart Technologies Inc. | Size/scale and orientation determination of a pointer in a camera-based touch system |
| DE20218352U1 (de) * | 2002-11-26 | 2003-01-23 | Reishauer Ag, Wallisellen | Einzentriervorrichtung zum Ausrichten von vorverzahnten Werkstücken auf Verzahnungsfeinbearbeitungsmaschinen |
| DE50213746D1 (de) * | 2002-12-12 | 2009-09-17 | Siemens Ag | Verfahren zur Messung des Abstands eines an einer Referenzfläche vorbei gefürhrten Bauteils und Durchführung des Verfahrens |
| US7532206B2 (en) | 2003-03-11 | 2009-05-12 | Smart Technologies Ulc | System and method for differentiating between pointers used to contact touch surface |
| US6723951B1 (en) | 2003-06-04 | 2004-04-20 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Method for reestablishing holes in a component |
| US6959487B2 (en) * | 2003-06-04 | 2005-11-01 | Seagate Technology Llc | Head disc merge assembly for use at a merging station |
| US20040263862A1 (en) * | 2003-06-24 | 2004-12-30 | Amparan Alfonso Benjamin | Detecting peripheral points of reflected radiation beam spots for topographically mapping a surface |
| JP3741282B2 (ja) * | 2003-07-28 | 2006-02-01 | セイコーエプソン株式会社 | 入力装置、電子機器及び入力装置の駆動方法 |
| DE10336085A1 (de) * | 2003-08-06 | 2005-03-10 | Siemens Ag | Bestimmung der Postion eines Transportgutes durch Kombination lokaler, absoluter Positionsmessung und relativer Positionsmessung |
| JP2005067281A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-17 | Toshiba Corp | 距離検出装置、エアバッグ制御装置および距離検出方法 |
| US7411575B2 (en) | 2003-09-16 | 2008-08-12 | Smart Technologies Ulc | Gesture recognition method and touch system incorporating the same |
| US7274356B2 (en) | 2003-10-09 | 2007-09-25 | Smart Technologies Inc. | Apparatus for determining the location of a pointer within a region of interest |
| US7460250B2 (en) * | 2003-10-24 | 2008-12-02 | 3Dm Devices Inc. | Laser triangulation system |
| US7332890B2 (en) | 2004-01-21 | 2008-02-19 | Irobot Corporation | Autonomous robot auto-docking and energy management systems and methods |
| DE102004012220B4 (de) * | 2004-03-12 | 2018-05-03 | Sick Ag | Optoelektronischer Sensor |
| US7085626B2 (en) * | 2004-04-15 | 2006-08-01 | York International Corporation | Method and apparatus to prevent low temperature damage using an HVAC control |
| US7460110B2 (en) | 2004-04-29 | 2008-12-02 | Smart Technologies Ulc | Dual mode touch system |
| JP2008508572A (ja) | 2004-06-24 | 2008-03-21 | アイロボット コーポレーション | 携帯ロボットのプログラミングおよび診断ツール |
| US8972052B2 (en) | 2004-07-07 | 2015-03-03 | Irobot Corporation | Celestial navigation system for an autonomous vehicle |
| US7706917B1 (en) | 2004-07-07 | 2010-04-27 | Irobot Corporation | Celestial navigation system for an autonomous robot |
| JP2008506953A (ja) * | 2004-07-14 | 2008-03-06 | ブレインテック カナダ インコーポレイテッド | 機械視覚のための方法及び装置 |
| FR2873204B1 (fr) * | 2004-07-19 | 2007-04-27 | Plastic Omnium Cie | Appareil de mesure pour le controle de pieces de carrosserie peintes, muni d'un dispositif anti-deterioration |
| FR2873205B1 (fr) * | 2004-07-19 | 2007-05-18 | Plastic Omnium Cie | Procede et poste de controle de peinture de piece de carrosserie de vehicules automobiles |
| DE102004052508B4 (de) * | 2004-10-21 | 2006-08-03 | Pixargus Gmbh | System und Verfahren zum Vermessen und zum Überwachen der Oberfläche eines Körpers |
| US7515253B2 (en) * | 2005-01-12 | 2009-04-07 | Kla-Tencor Technologies Corporation | System for measuring a sample with a layer containing a periodic diffracting structure |
| US7379163B2 (en) * | 2005-02-08 | 2008-05-27 | Canesta, Inc. | Method and system for automatic gain control of sensors in time-of-flight systems |
| EP1850725B1 (en) | 2005-02-18 | 2010-05-19 | iRobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for wet and dry cleaning |
| US8392021B2 (en) | 2005-02-18 | 2013-03-05 | Irobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for wet cleaning |
| US7620476B2 (en) | 2005-02-18 | 2009-11-17 | Irobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for dry cleaning |
| US8930023B2 (en) | 2009-11-06 | 2015-01-06 | Irobot Corporation | Localization by learning of wave-signal distributions |
| DE102005039094B4 (de) * | 2005-08-08 | 2009-03-19 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Führen eines Maschinenteils entlang einer definierten Bewegungsbahn über einer Werkstücksoberfläche |
| ES2423296T3 (es) | 2005-12-02 | 2013-09-19 | Irobot Corporation | Robot modular |
| EP2829939B1 (en) | 2005-12-02 | 2019-11-13 | iRobot Corporation | Autonomous coverage robot navigation system |
| ATE534941T1 (de) | 2005-12-02 | 2011-12-15 | Irobot Corp | Abdeckungsrobotermobilität |
| EP2816434A3 (en) | 2005-12-02 | 2015-01-28 | iRobot Corporation | Autonomous coverage robot |
| EP2466411B1 (en) | 2005-12-02 | 2018-10-17 | iRobot Corporation | Robot system |
| CA2536411C (en) * | 2006-02-14 | 2014-01-14 | Lmi Technologies Inc. | Multiple axis multipoint non-contact measurement system |
| US7525114B2 (en) | 2006-02-14 | 2009-04-28 | Lmi Technologies Ltd. | Multiple axis multipoint non-contact measurement system |
| US7861751B2 (en) * | 2006-03-21 | 2011-01-04 | Mcgehee Development Company Llc | Edge trimming and board ripping apparatus and method |
| FR2898969B1 (fr) * | 2006-03-24 | 2008-10-24 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Procede et installation de controle de la qualite de pieces |
| DE102006015627B4 (de) * | 2006-03-31 | 2008-03-27 | Innovent E.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung und Vermessung von Formabweichungen und Welligkeiten an rotationssymmetrischen Teilen |
| US7676061B2 (en) * | 2006-05-02 | 2010-03-09 | Telesis Technologies, Inc. | Laser safety system |
| ES2693223T3 (es) | 2006-05-19 | 2018-12-10 | Irobot Corporation | Eliminación de residuos de robots de limpieza |
| WO2007149183A2 (en) * | 2006-05-25 | 2007-12-27 | Braintech Canada, Inc. | System and method of robotically engaging an object |
| US8417383B2 (en) | 2006-05-31 | 2013-04-09 | Irobot Corporation | Detecting robot stasis |
| KR100801087B1 (ko) * | 2006-07-05 | 2008-02-11 | 삼성전자주식회사 | 스트럭처드 라이트를 이용한 이동체 감지 시스템 및 방법,상기 시스템을 포함하는 이동 로봇 |
| US8437535B2 (en) * | 2006-09-19 | 2013-05-07 | Roboticvisiontech Llc | System and method of determining object pose |
| US7557914B2 (en) * | 2006-10-09 | 2009-07-07 | The Boeing Company | Rotating laser measurement system |
| US9442607B2 (en) | 2006-12-04 | 2016-09-13 | Smart Technologies Inc. | Interactive input system and method |
| WO2008076942A1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-06-26 | Braintech Canada, Inc. | System and method of identifying objects |
| TW200902964A (en) * | 2007-03-21 | 2009-01-16 | Camtek Ltd | System and method for height measurement |
| US7864309B2 (en) | 2007-05-04 | 2011-01-04 | Burke E. Porter Machinery Company | Non contact wheel alignment sensor and method |
| KR101160393B1 (ko) | 2007-05-09 | 2012-06-26 | 아이로보트 코퍼레이션 | 소형 자율 커버리지 로봇 |
| US20090028686A1 (en) * | 2007-07-23 | 2009-01-29 | Abb Inc. | Robotic palletizing system |
| US7957583B2 (en) * | 2007-08-02 | 2011-06-07 | Roboticvisiontech Llc | System and method of three-dimensional pose estimation |
| CA2597891A1 (en) * | 2007-08-20 | 2009-02-20 | Marc Miousset | Multi-beam optical probe and system for dimensional measurement |
| US7836772B2 (en) * | 2007-09-26 | 2010-11-23 | Siemens Energy, Inc. | Method and apparatus for tracking a rotating blade tip for blade vibration monitor measurements |
| WO2009039875A1 (en) | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Trimble 3D Scanning | Distance measuring instrument and method |
| DE102007055204B4 (de) * | 2007-11-19 | 2010-04-08 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Roboter, medizinischer Arbeitsplatz und Verfahren zum Projizieren eines Bildes auf die Oberfläche eines Objekts |
| US8194240B1 (en) * | 2008-03-04 | 2012-06-05 | Kla-Tencor Corporation | Enhanced focusing capability on a sample using a spot matrix |
| JP4719241B2 (ja) * | 2008-04-15 | 2011-07-06 | 三菱電機株式会社 | 円形加速器 |
| US8902193B2 (en) | 2008-05-09 | 2014-12-02 | Smart Technologies Ulc | Interactive input system and bezel therefor |
| US20100031792A1 (en) * | 2008-08-08 | 2010-02-11 | Mcgehee Development Company Llc | Saw Assembly for Wood Product Sawing Apparatus and Method |
| US8126662B2 (en) * | 2008-09-24 | 2012-02-28 | Siemens Energy, Inc. | Method and apparatus for monitoring blade vibration with a fiber optic ribbon probe |
| US8151647B2 (en) * | 2008-09-24 | 2012-04-10 | Siemens Energy, Inc. | Apparatus for monitoring blade vibration with an imaging fiber optic ribbon probe |
| US8559699B2 (en) * | 2008-10-10 | 2013-10-15 | Roboticvisiontech Llc | Methods and apparatus to facilitate operations in image based systems |
| US8339378B2 (en) | 2008-11-05 | 2012-12-25 | Smart Technologies Ulc | Interactive input system with multi-angle reflector |
| WO2010071782A1 (en) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Panasonic Avionics Corporation | System and method for performing real-time data analysis |
| US7876249B2 (en) * | 2009-02-17 | 2011-01-25 | Advis, Inc. | Image sensing system |
| DE102009036776B4 (de) * | 2009-08-08 | 2014-11-27 | Niles Werkzeugmaschinen Gmbh | Verfahren zur Messung des Aufmaßes eines hartfeinzubearbeitenden Zahnrades |
| US8378277B2 (en) | 2009-11-30 | 2013-02-19 | Physical Optics Corporation | Optical impact control system |
| JP5079826B2 (ja) * | 2010-02-09 | 2012-11-21 | シャープ株式会社 | 光学式測距センサおよび電子機器 |
| EP3192419B1 (en) | 2010-02-16 | 2021-04-07 | iRobot Corporation | Vacuum brush |
| US8401692B2 (en) | 2010-09-09 | 2013-03-19 | Flow International Corporation | System and method for tool testing and alignment |
| EP2428765A1 (de) * | 2010-09-14 | 2012-03-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Turbinenschaufeln |
| WO2012103092A2 (en) | 2011-01-24 | 2012-08-02 | Datalogic ADC, Inc. | Exception detection and handling in automated optical code reading systems |
| US8631577B2 (en) | 2011-07-22 | 2014-01-21 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Method of fabricating integrally bladed rotor and stator vane assembly |
| US8689634B2 (en) * | 2011-09-27 | 2014-04-08 | Genral Electric Company | Systems and methods for mode shape identification |
| WO2013163017A1 (en) * | 2012-04-24 | 2013-10-31 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Multi-channel light measurement methods, systems, and apparatus having reduced signal-to-noise ratio |
| US9157989B2 (en) | 2012-08-29 | 2015-10-13 | Trimble Ab | Distance measurement methods and apparatus |
| US8786850B2 (en) * | 2012-10-29 | 2014-07-22 | Kla-Tencor Corporation | Illumination energy management in surface inspection |
| US20140193165A1 (en) * | 2013-01-08 | 2014-07-10 | Silicon Image, Inc. | Electronic alignment of optical signals |
| CN104020781A (zh) * | 2013-02-28 | 2014-09-03 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 量测控制系统及方法 |
| US9945499B2 (en) * | 2013-02-28 | 2018-04-17 | Showa Rasenkan Seisakusho Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing interlocking pipe |
| US9293500B2 (en) | 2013-03-01 | 2016-03-22 | Apple Inc. | Exposure control for image sensors |
| US9276031B2 (en) | 2013-03-04 | 2016-03-01 | Apple Inc. | Photodiode with different electric potential regions for image sensors |
| US9741754B2 (en) | 2013-03-06 | 2017-08-22 | Apple Inc. | Charge transfer circuit with storage nodes in image sensors |
| US9549099B2 (en) | 2013-03-12 | 2017-01-17 | Apple Inc. | Hybrid image sensor |
| US9319611B2 (en) | 2013-03-14 | 2016-04-19 | Apple Inc. | Image sensor with flexible pixel summing |
| US9596423B1 (en) | 2013-11-21 | 2017-03-14 | Apple Inc. | Charge summing in an image sensor |
| US9596420B2 (en) | 2013-12-05 | 2017-03-14 | Apple Inc. | Image sensor having pixels with different integration periods |
| US9473706B2 (en) | 2013-12-09 | 2016-10-18 | Apple Inc. | Image sensor flicker detection |
| US9778650B2 (en) | 2013-12-11 | 2017-10-03 | Honda Motor Co., Ltd. | Apparatus, system and method for kitting and automation assembly |
| US10285626B1 (en) | 2014-02-14 | 2019-05-14 | Apple Inc. | Activity identification using an optical heart rate monitor |
| US9232150B2 (en) | 2014-03-12 | 2016-01-05 | Apple Inc. | System and method for estimating an ambient light condition using an image sensor |
| US9277144B2 (en) | 2014-03-12 | 2016-03-01 | Apple Inc. | System and method for estimating an ambient light condition using an image sensor and field-of-view compensation |
| US9584743B1 (en) | 2014-03-13 | 2017-02-28 | Apple Inc. | Image sensor with auto-focus and pixel cross-talk compensation |
| US9497397B1 (en) | 2014-04-08 | 2016-11-15 | Apple Inc. | Image sensor with auto-focus and color ratio cross-talk comparison |
| US9538106B2 (en) | 2014-04-25 | 2017-01-03 | Apple Inc. | Image sensor having a uniform digital power signature |
| US9686485B2 (en) | 2014-05-30 | 2017-06-20 | Apple Inc. | Pixel binning in an image sensor |
| DE102014211115A1 (de) * | 2014-06-11 | 2015-12-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zur gestengesteuerten Einstellung von Einstellgrößen an einer Röntgenquelle |
| CN104101612B (zh) * | 2014-06-24 | 2017-09-12 | 杭州利珀科技有限公司 | 平面材料表面缺陷检测装置 |
| US9510505B2 (en) | 2014-10-10 | 2016-12-06 | Irobot Corporation | Autonomous robot localization |
| US11115798B2 (en) | 2015-07-23 | 2021-09-07 | Irobot Corporation | Pairing a beacon with a mobile robot |
| US10034421B2 (en) | 2015-07-24 | 2018-07-31 | Irobot Corporation | Controlling robotic lawnmowers |
| US10455216B2 (en) | 2015-08-19 | 2019-10-22 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional imager |
| US10444006B2 (en) | 2015-08-19 | 2019-10-15 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional imager |
| US9815204B2 (en) * | 2016-01-22 | 2017-11-14 | The Boeing Company | Apparatus and method to optically locate workpiece for robotic operations |
| US10459063B2 (en) | 2016-02-16 | 2019-10-29 | Irobot Corporation | Ranging and angle of arrival antenna system for a mobile robot |
| US9912883B1 (en) | 2016-05-10 | 2018-03-06 | Apple Inc. | Image sensor with calibrated column analog-to-digital converters |
| US10658419B2 (en) | 2016-09-23 | 2020-05-19 | Apple Inc. | Stacked backside illuminated SPAD array |
| TWI616794B (zh) * | 2016-12-20 | 2018-03-01 | 友達光電股份有限公司 | 光感測電路與其缺陷修補方法 |
| US10656251B1 (en) | 2017-01-25 | 2020-05-19 | Apple Inc. | Signal acquisition in a SPAD detector |
| WO2018140522A2 (en) | 2017-01-25 | 2018-08-02 | Apple Inc. | Spad detector having modulated sensitivity |
| US10962628B1 (en) | 2017-01-26 | 2021-03-30 | Apple Inc. | Spatial temporal weighting in a SPAD detector |
| JP6671309B2 (ja) | 2017-03-13 | 2020-03-25 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 検査装置および検査方法 |
| US10753726B2 (en) | 2017-03-26 | 2020-08-25 | Cognex Corporation | System and method for 3D profile determination using model-based peak selection |
| WO2018226963A1 (en) * | 2017-06-08 | 2018-12-13 | Taylor Geoff W | Thyristor-based lidar detector array |
| US10622538B2 (en) | 2017-07-18 | 2020-04-14 | Apple Inc. | Techniques for providing a haptic output and sensing a haptic input using a piezoelectric body |
| US10378889B2 (en) | 2017-08-22 | 2019-08-13 | Faro Technologies, Inc. | Measurement system having a cooperative robot and three-dimensional imager |
| US10440301B2 (en) | 2017-09-08 | 2019-10-08 | Apple Inc. | Image capture device, pixel, and method providing improved phase detection auto-focus performance |
| US11314220B2 (en) | 2018-04-26 | 2022-04-26 | Liberty Reach Inc. | Non-contact method and system for controlling an industrial automation machine |
| US11019294B2 (en) | 2018-07-18 | 2021-05-25 | Apple Inc. | Seamless readout mode transitions in image sensors |
| US10848693B2 (en) | 2018-07-18 | 2020-11-24 | Apple Inc. | Image flare detection using asymmetric pixels |
| US10776949B2 (en) | 2018-10-30 | 2020-09-15 | Liberty Reach Inc. | Machine vision-based method and system for measuring 3D pose of a part or subassembly of parts |
| CN109343037B (zh) * | 2018-11-27 | 2024-06-21 | 森思泰克河北科技有限公司 | 光探测器安装误差检测装置、方法和终端设备 |
| US10955236B2 (en) | 2019-04-05 | 2021-03-23 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional measuring system |
| CN111168718B (zh) * | 2020-01-03 | 2021-06-22 | 北京理工大学 | 协作型机械臂与环境碰撞力与碰撞功率检测装置 |
| IT202000004063A1 (it) * | 2020-02-27 | 2021-08-27 | Cesare Galdabini S P A | Metodo per determinare l'eccentricità e/o l'errore di rotondità di ruote dentate e l'errore di rettilineità di cremagliere, apparecchiatura implementante un tale metodo e macchina raddrizzatrice provvista di una tale apparecchiatura |
| US11563910B2 (en) | 2020-08-04 | 2023-01-24 | Apple Inc. | Image capture devices having phase detection auto-focus pixels |
| CN112629414A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-09 | 桂林量具刃具有限责任公司 | 一种非接触式齿轮径向跳动检测设备及方法 |
| US11546532B1 (en) | 2021-03-16 | 2023-01-03 | Apple Inc. | Dynamic correlated double sampling for noise rejection in image sensors |
| US12192644B2 (en) | 2021-07-29 | 2025-01-07 | Apple Inc. | Pulse-width modulation pixel sensor |
| US12069384B2 (en) | 2021-09-23 | 2024-08-20 | Apple Inc. | Image capture devices having phase detection auto-focus pixels |
| EP4300133A1 (en) * | 2022-06-27 | 2024-01-03 | VoxelSensors SRL | Optical sensing system |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4928051B1 (ja) * | 1966-11-14 | 1974-07-23 | ||
| JPS51140655A (en) * | 1975-05-29 | 1976-12-03 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | Method and apparatus for optical measurement |
Family Cites Families (63)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA728860A (en) * | 1966-03-01 | W. Rignall Michael | Distance measuring devices | |
| US3227886A (en) * | 1962-05-21 | 1966-01-04 | Machinery Electrification Inc | Photoelectric article coding and classifying device |
| US3715953A (en) * | 1966-02-04 | 1973-02-13 | Us Army | Aerial surveillance and fire-control system |
| US3513320A (en) * | 1966-10-31 | 1970-05-19 | Markstems Inc | Article identification system detecting plurality of colors disposed on article |
| US3481672A (en) | 1967-01-03 | 1969-12-02 | Hughes Aircraft Co | F.m. laser contour mapper |
| US3520607A (en) * | 1967-10-17 | 1970-07-14 | Hughes Aircraft Co | Phase sensing laser contour mapper |
| BE707075A (ja) * | 1967-11-24 | 1968-05-24 | ||
| AT301331B (de) * | 1968-11-25 | 1972-08-25 | Eumig | Einrichtung zur Entfernungsmessung |
| US3679307A (en) * | 1970-02-19 | 1972-07-25 | Ati Inc | Non-contacting optical probe |
| US3674925A (en) * | 1970-12-03 | 1972-07-04 | Us Navy | Cable-less television system |
| US3796492A (en) * | 1971-06-01 | 1974-03-12 | Autech Corp | Laser dimension comparator |
| US3895870A (en) * | 1971-06-01 | 1975-07-22 | Autech Corp | Laser dimension comparator |
| US3897156A (en) * | 1971-07-27 | 1975-07-29 | Atmospheric Sciences Inc | Structure for measuring the average diameter of an approximately circular cross-section of an object |
| US4047025A (en) * | 1972-01-24 | 1977-09-06 | Lemelson Jerome H | Position indicating system and methods |
| US3854035A (en) * | 1972-07-31 | 1974-12-10 | Ferranti Packard Ltd | Method and means for reading coded information |
| US3888362A (en) * | 1973-05-31 | 1975-06-10 | Nasa | Cooperative multiaxis sensor for teleoperation of article manipulating apparatus |
| US3875870A (en) * | 1973-07-19 | 1975-04-08 | Rail Or Trail Corp | Convertible rail-highway vehicle axle assembly |
| US3947119A (en) * | 1974-02-04 | 1976-03-30 | Ball Brothers Research Corporation | Active sensor automatic range sweep technique |
| US3899250A (en) * | 1974-02-04 | 1975-08-12 | Ball Brothers Res Corp | Active-gated television automatic range sweep technique |
| US3909131A (en) * | 1974-02-12 | 1975-09-30 | United Technologies Corp | Surface gauging by remote image tracking |
| US3994583A (en) * | 1974-02-25 | 1976-11-30 | Hutchins Iv Thomas B | Noncontacting method and apparatus for monitoring the speed and travel of a moving article |
| US4017721A (en) * | 1974-05-16 | 1977-04-12 | The Bendix Corporation | Method and apparatus for determining the position of a body |
| US4171917A (en) * | 1974-07-02 | 1979-10-23 | Centre De Recherches Metallurgiques-Centrum Voor Research In De Metallurgie | Determining the profile of a surface of an object |
| GB1526209A (en) * | 1974-12-23 | 1978-09-27 | Secretary Industry Brit | Automatic stitching machines |
| US4040738A (en) * | 1975-03-20 | 1977-08-09 | Gulton Industries, Inc. | Railroad track profile spacing and alignment apparatus |
| DE2513389C2 (de) * | 1975-03-26 | 1982-11-11 | Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8000 München | Einrichtung für die berührungslose Überprüfung und Bestimmung der Abmessungen und Form von großen Werkstücken |
| US3986774A (en) * | 1975-05-08 | 1976-10-19 | United Technologies Corporation | Gauging surfaces by remotely tracking multiple images |
| US4004852A (en) * | 1975-06-30 | 1977-01-25 | Rockwell International Corporation | Integrated automatic ranging device for optical instruments |
| US4146924A (en) * | 1975-09-22 | 1979-03-27 | Board Of Regents For Education Of The State Of Rhode Island | System for visually determining position in space and/or orientation in space and apparatus employing same |
| CA1043463A (en) * | 1975-12-05 | 1978-11-28 | Paul A. Mueller | Lumber inspection and optimization system |
| US4200393A (en) * | 1976-06-07 | 1980-04-29 | Tokyo Shibaura Elecric Co., Ltd. | Method of positioning a semiconductor member by examining it and a die bonding apparatus using the same |
| JPS5335567A (en) * | 1976-09-13 | 1978-04-03 | Shinetsu Chem Ind Co | Apparatus for measuring thickness of semiconductor wafer |
| US4173788A (en) * | 1976-09-27 | 1979-11-06 | Atmospheric Sciences, Inc. | Method and apparatus for measuring dimensions |
| US4146327A (en) * | 1976-12-27 | 1979-03-27 | Autech | Optical triangulation gauging system |
| GB1536022A (en) * | 1977-01-10 | 1978-12-13 | Integrated Photomatrix Ltd | Measurement of position using an array of photosensitive elements |
| US4135204A (en) * | 1977-06-09 | 1979-01-16 | Chesebrough-Pond's Inc. | Automatic glass blowing apparatus and method |
| US4188544A (en) * | 1977-08-22 | 1980-02-12 | Weyerhaeuser Company | Method and apparatus for automatically processing a workpiece employing calibrated scanning |
| US4158853A (en) * | 1977-09-12 | 1979-06-19 | Acushnet Company | Monitoring system for measuring kinematic data of golf balls |
| CH628138A5 (de) * | 1977-10-06 | 1982-02-15 | Tino Celio | Verfahren und vorrichtung zur messung der entfernung eines zielobjekts durch beaufschlagung mit einem strahlenbuendel sowie anwendung des verfahrens. |
| US4183672A (en) * | 1977-11-26 | 1980-01-15 | United Technologies Corporation | Optical inspection system employing spherical mirror |
| JPS54126023A (en) | 1978-03-23 | 1979-09-29 | Canon Inc | Optical device |
| GB2018422B (en) * | 1978-03-29 | 1983-01-19 | Hitachi Ltd | Mark detecting system |
| DE2960925D1 (en) * | 1978-05-18 | 1981-12-17 | Ciba Geigy Ag | Dioxaphosphepines, their preparation and use as stabilisers for organic materials |
| US4187051A (en) * | 1978-05-26 | 1980-02-05 | Jerry Kirsch | Rotary video article centering, orienting and transfer device for computerized electronic operating systems |
| CH628139A5 (de) * | 1978-08-03 | 1982-02-15 | Fruengel Frank | Verfahren und einrichtung zur wolkenhoehenmessung. |
| JPS5927842B2 (ja) * | 1978-08-24 | 1984-07-09 | 工業技術院長 | タ−ゲット・マ−クの変位測定方法 |
| US4264208A (en) * | 1978-10-25 | 1981-04-28 | Semperit Aktiengesellschaft | Method and apparatus for measuring the surface of an object |
| US4248532A (en) * | 1978-12-26 | 1981-02-03 | Nosler John C | Electro-optical distance-measuring system |
| US4221973A (en) * | 1978-12-26 | 1980-09-09 | Nosler John C | Linear array signal processing circuitry for locating the midpoint of a source of light |
| US4305661A (en) * | 1979-02-27 | 1981-12-15 | Diffracto, Ltd. | Method and apparatus for determining physical characteristics of objects and object surfaces |
| US5280179A (en) * | 1979-04-30 | 1994-01-18 | Sensor Adaptive Machines Incorporated | Method and apparatus utilizing an orientation code for automatically guiding a robot |
| US4373804A (en) * | 1979-04-30 | 1983-02-15 | Diffracto Ltd. | Method and apparatus for electro-optically determining the dimension, location and attitude of objects |
| US5164579A (en) * | 1979-04-30 | 1992-11-17 | Diffracto Ltd. | Method and apparatus for electro-optically determining the dimension, location and attitude of objects including light spot centroid determination |
| US4674869A (en) * | 1979-04-30 | 1987-06-23 | Diffracto, Ltd. | Method and apparatus for electro-optically determining dimension, location and altitude of objects |
| US4248432A (en) * | 1979-07-16 | 1981-02-03 | The B. F. Goodrich Company | Golf ball |
| US4386848A (en) * | 1980-08-11 | 1983-06-07 | Martin Marietta Corporation | Optical target tracking and designating system |
| US4613942A (en) * | 1982-02-19 | 1986-09-23 | Chen Richard M | Orientation and control system for robots |
| US4547674A (en) * | 1982-10-12 | 1985-10-15 | Diffracto Ltd. | Optical triangulation gear inspection |
| US4674867A (en) * | 1984-01-17 | 1987-06-23 | Kabushiki Kaisha Shashin Kogyo | Photographic contact printing apparatus for duplicating of original color picture |
| US4613429A (en) * | 1984-07-05 | 1986-09-23 | University Of Pittsburgh | Process for removing mineral matter from coal |
| US4741621A (en) * | 1986-08-18 | 1988-05-03 | Westinghouse Electric Corp. | Geometric surface inspection system with dual overlap light stripe generator |
| US4736247A (en) * | 1987-05-04 | 1988-04-05 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Range and range rate system |
| US5673082A (en) * | 1995-04-10 | 1997-09-30 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Light-directed ranging system implementing single camera system for telerobotics applications |
-
1979
- 1979-04-30 US US06/034,278 patent/US4373804A/en not_active Expired - Lifetime
-
1980
- 1980-04-18 GB GB8012837A patent/GB2051514B/en not_active Expired
- 1980-04-28 JP JP5553880A patent/JPS5616802A/ja active Pending
- 1980-04-28 DE DE3016361A patent/DE3016361C2/de not_active Expired
-
1985
- 1985-07-09 JP JP60152118A patent/JPS61240104A/ja active Pending
-
1993
- 1993-09-21 US US08/124,605 patent/US5362970A/en not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-11-02 US US08/334,350 patent/US5510625A/en not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-06-05 US US08/463,094 patent/US5811825A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/462,096 patent/US5866916A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/463,083 patent/US5773840A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/465,645 patent/US5693953A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/462,247 patent/US5691545A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/462,248 patent/US6211506B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/463,343 patent/US5677541A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/462,382 patent/US5981965A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/465,649 patent/US5734172A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/462,094 patent/US5767525A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/465,656 patent/US5786602A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/463,095 patent/US5854491A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/465,650 patent/US6127689A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/462,245 patent/US5877491A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/465,255 patent/US5883390A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/463,097 patent/US5811827A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/465,260 patent/US5866915A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/463,100 patent/US5684292A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/463,096 patent/US5880459A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-05 US US08/465,259 patent/US5670787A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4928051B1 (ja) * | 1966-11-14 | 1974-07-23 | ||
| JPS51140655A (en) * | 1975-05-29 | 1976-12-03 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | Method and apparatus for optical measurement |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016095289A (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-26 | Dmg森精機株式会社 | 測定対象物の断面形状測定方法 |
| CN108463688A (zh) * | 2015-11-02 | 2018-08-28 | 3D测量系统公司 | 用于对具有齿接物的机械组件进行非接触式三维检查的装置 |
| JP2018537693A (ja) * | 2015-11-02 | 2018-12-20 | ムジュール‐システムズ３Ｄ | 歯部付き機械部品の非接触三次元検査を実施する装置 |
| US11371836B2 (en) | 2015-11-02 | 2022-06-28 | DWFritz Automation, Inc. | Device for the contactless three-dimensional inspection of a mechanical component with toothing |
| CN111322954A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-06-23 | 北京神工科技有限公司 | 一种装配工装位姿测量方法、装置、存储介质及电子设备 |
| CN111322954B (zh) * | 2020-03-19 | 2021-07-27 | 北京神工科技有限公司 | 一种装配工装位姿测量方法、装置、存储介质及电子设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5786602A (en) | 1998-07-28 |
| US5684292A (en) | 1997-11-04 |
| US5677541A (en) | 1997-10-14 |
| US5510625A (en) | 1996-04-23 |
| US5734172A (en) | 1998-03-31 |
| US5811827A (en) | 1998-09-22 |
| GB2051514B (en) | 1984-02-01 |
| DE3016361A1 (de) | 1981-04-02 |
| US5691545A (en) | 1997-11-25 |
| US5883390A (en) | 1999-03-16 |
| GB2051514A (en) | 1981-01-14 |
| US4373804A (en) | 1983-02-15 |
| US5880459A (en) | 1999-03-09 |
| US5767525A (en) | 1998-06-16 |
| US5670787A (en) | 1997-09-23 |
| US5693953A (en) | 1997-12-02 |
| US6127689A (en) | 2000-10-03 |
| DE3016361C2 (de) | 1983-12-22 |
| US5811825A (en) | 1998-09-22 |
| US5877491A (en) | 1999-03-02 |
| US5981965A (en) | 1999-11-09 |
| US6211506B1 (en) | 2001-04-03 |
| US5866916A (en) | 1999-02-02 |
| US5773840A (en) | 1998-06-30 |
| JPS5616802A (en) | 1981-02-18 |
| US5362970A (en) | 1994-11-08 |
| US5866915A (en) | 1999-02-02 |
| US5854491A (en) | 1998-12-29 |
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